JP2005276992A - 部品認識装置、表面実装機、及び、部品検査装置 - Google Patents

部品認識装置、表面実装機、及び、部品検査装置 Download PDF

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Abstract

【課題】 簡素な構成でありながらも部品撮像時における振れを抑制し、部品認識の精度を高める。
【解決手段】 表面実装機の実装用ヘッド121で電子部品Cを吸着した際の位置ずれを補正する部品認識装置であって、実装用ヘッド121を複数備えたヘッドユニット120に取り付けられ、この電子部品Cを撮像するカメラ132と、このカメラ132をヘッドユニット120に対して移動させる撮像ユニット軸サーボモータ136と、この撮像ユニット軸サーボモータ136を制御するサーボ制御部201と、このサーボ制御部201からから出力されるカメラ132の速度及び位置に関するデータに基づき、撮像時の電子部品Cに対するカメラ132の振れ量を算出する演算部203と、この演算部203で算出された振れ量に基づきこのカメラ132の振れを補正するカメラ132とを備える。
【選択図】 図4

Description

本発明は、IC等の電子部品をプリント基板等に搭載するための表面実装機や、この電子部品を検査する部品検査装置に備えられ、上記電子部品をヘッドにより吸着して所定位置から目的位置に移動させる際に、上記電子部品を撮像して吸着状態を認識する部品認識装置に関する。
従来から、ICチップ等の電子部品を所定位置からピックアップし、この電子部品をプリント基板上に搭載させる表面実装機や、このピックアップした電子部品を検査用電気回路に接触させて電子部品を検査する部品検査装置のような部品搬送装置としては、主に下記のものが知られている。
この部品搬送装置は、上記電子部品を吸着して上記電子部品をピックアップするヘッドと、このヘッドを複数有するヘッドユニットとを備え、このヘッドユニットを移動させることにより上記所定位置から上記プリント基板が配置されている箇所又は上記検査用電気回路が配置されている箇所に上記電子部品を搬送する。
このような装置を用いる場合、上記ヘッドで電子部品を吸着する際に位置ずれが生じているのが通常なので、このヘッドでピックアップされた電子部品を上記プリント基板又は上記検査用電気回路に対し適切な位置に配置するときには、上記ずれの量に応じて上記ヘッドの位置補正を行う必要がある。
そこで、この位置補正を行うべく、上記電子部品を撮像するための撮像手段(例えばCCDカメラ等)を上記部品搬送装置に設け、この撮像手段で上記ヘッドに吸着された電子部品を撮像することにより上記電子部品の吸着状態を認識し、この認識した吸着状態に応じて上記位置補正を適宜行うものが存在する。
特に最近では、作業時間を短縮すべく、上記撮像手段を上記ヘッドユニットに設置し、このヘッドユニットで上記電子部品を搬送しつつ上記撮像手段で上記電子部品を撮像することが行われている。
またさらに、部品認識のための処理速度も速めるべく、上記ヘッドユニットに設けた撮像手段を上記ヘッドに対し移動させながら上記複数のヘッドに各々吸着された電子部品を順次撮像することが行われている(例えば特許文献1)。
特開平11−298198号公報 特開平10−191147号公報
しかしながら、上記撮像手段による撮像は、上記ヘッドに対し移動させながら行うため、この撮像時において映像がぼける、すなわち振れが生じるおそれがあり、この振れにより上記位置補正の補正量に誤差が生ずるおそれがある。すなわち、上記プリント基板又は上記検査用電気回路に上記電子部品を配置する際に誤差が生ずるおそれがある。なお、ヘッドに対応する位置で撮像手段を一旦停止させて撮像すれば、上記振れは防止ないし抑制されるが、その反面、処理速度が遅くなる。
そこで、かかる課題を解決する方法として、一般のカメラ等で使用されている手ぶれ防止機構を適用することが考えられ、例えば特許文献2に記載されているように、角速度計等に代表されるような上記振れの量を適宜検出する検出部材と、この検出部材で検出された振れ量に応じて撮像手段を補正する補正手段とを備えた構造を、上記部品搬送装置に適用することが考えられる。
しかしながら、このような構造を適用した場合、既述のとおり、角速度計等のような検出部材を新たに配置する必要があり、部品点数が増えて製造コストが上昇したり、装置の大きさが大きくなる等の問題がある。
そこで、本発明は、簡素な構成でありながらも上記撮像時における振れを抑制し、部品認識の精度を高めることができるものを提供することを目的とする。
上記課題を解決するため、本発明は、電子部品を吸着するヘッドを備えたヘッドユニットを有し、このヘッドユニットで上記電子部品を所定位置から目的位置に移動させる際に上記電子部品を撮像してこの電子部品の上記ヘッドに対する吸着状態の認識を行う部品認識装置であって、上記ヘッドユニットに取り付けられて上記ヘッドに吸着された上記電子部品を撮像する撮像手段と、上記撮像手段を上記ヘッドに対して移動させる移動手段と、この移動手段を制御する移動制御手段と、この移動制御手段から出力される制御データに基づき、撮像時の上記撮像手段の振れ量を算出する振れ量算出手段と、この振れ量算出手段で算出された振れ量に基づき上記撮像手段の振れを補正する振れ補正手段とを備えたことを特徴とする。
なお、本発明における振れとは、前記撮像時において、前記撮像手段が前記電子部品に対し動くことによって映像がぼけることを差す。
この構成によれば、上記移動制御手段から出力される制御データに基づき上記振れ量算出手段で撮像時における振れ量が算出され、この算出された振れ量に基づいて振れの補正を行うことが可能となる。すなわち角速度センサーなどの部材を新たに配置しなくても上記振れを補正することが可能となる。したがって、部品点数が増えるのを阻止して簡素な構成としつつも上記撮像時における振れを抑制し、上記部品認識の精度を高めることが出来る。
また本発明は、上記ヘッドユニットは複数の上記ヘッドを備え、上記移動手段は、上記各ヘッドに対応する位置を順次通過するように上記撮像手段を移動させ、上記撮像手段は、上記各ヘッドに対応する位置を通過するときに当該各ヘッドに吸着された上記電子部品を撮像する構成を採るのがより好ましい。
かかる構成によれば、上記ヘッドユニットは複数のヘッドを備えているので、上記電子部品の搬送効率を高めることが可能となる。
さらに、上記各ヘッドに対応する位置を順次通過するように上記撮像手段を移動させ、上記撮像手段は、上記各ヘッドに対応する位置を通過するときに当該各ヘッドに吸着された上記電子部品を撮像するようにしているため、上記撮像手段が上記ヘッドに対応する位置まで移動した際にその都度上記撮像手段の移動を停止させて撮像する方式を採るよりも、部品認識の速度を高めることが可能となる。
また、上記制御データには、上記撮像手段の位置及び移動速度に関するデータが含まれているのが好ましい。かかる構成によれば、上記撮像手段の位置及び移動速度に関するデータを加味して上記振れ量を算出することが出来るため、上記振れ量をより正確に算出することが可能となる。
さらに、上記振れ量算出手段は、上記制御データに含まれる上記位置及び移動速度に関するデータに基づき上記撮像手段の加速度を算出し、この加速度のデータを加味して上記撮像手段の振れ量を算出するのが好ましい。かかる構成によれば、上記加速度も加味して上記振れ量を算出することが出来るため、上記振れ量をより正確に算出することが可能となる。
またさらに、上記振れ量算出手段は、上記ヘッドユニットの歪みを加味して上記撮像手段の振れ量を算出するのが好ましい。かかる構成によれば、上記歪も加味して上記振れ量を算出することが出来るため、上記振れ量をより正確に算出することが可能となる。
また本発明は、上記部品認識装置を備え、上記電子部品が供給される供給位置からこの電子部品が搭載されるプリント基板が配置される配置位置に上記電子部品を搬送し、この電子部品を上記プリント基板上に実装する表面実装機であって、上記電子部品を吸着するヘッドを備えたヘッドユニットと、このヘッドユニットを上記所定位置と上記配置位置との間を移動させる移動手段とを備えたものである。
さらに本発明は、上記部品認識装置を備え、上記電子部品が供給される供給位置からこの電子部品を検査する検査位置まで上記電子部品を搬送し、この電子部品を上記検査位置に配置された検査用電気回路に接触させる部品検査装置であって、上記電子部品を吸着するヘッドを備えたヘッドユニットと、このヘッドユニットを上記所定位置と上記検査位置との間を移動させる移動手段とを備えたものである。
本発明の部品認識装置によれば、角速度センサーなどの部材を新たに配置しなくても、撮像時における振れを補正することが出来る。したがって、部品点数が増えるのを阻止して簡素な構成としつつも、上記撮像時における振れを抑制し、上記補正量の誤差を少なくすることが出来る。
以下、本発明の好ましい実施形態について図面を参照して説明する。
図1は、本発明に係る部品認識装置を搭載した表面実装機の部分平面図である。また図2は同部分正面図であり、図3は同部分側面図である。当実施形態の表面実装機は、主に各部機構の作動によってプリント基板Pに電子部品C(IC、トランジスタ、コンデンサ等の小片状のチップ部品)を実装する本体機構部100と、その作動を制御するコントローラ200(図4参照)とからなる。本体機構部100は、基台110等からなる実装機本体と、この実装機本体に対して移動可能なヘッドユニット120とを有している。上記基台110上には、プリント基板搬送用のコンベア111が配置され、プリント基板Pがこのコンベア111上を搬送されて所定の装着作業位置で停止されるようになっている。
上記コンベア111の両側には、部品供給部112が配置されている。これらの部品供給部112には、多数列のテープフィーダー112aが設けられている。各テープフィーダー112aは、各々、電子部品Cを所定間隔おきに収納、保持したテープがリールから導出されるように構成されており、ヘッドユニット120により電子部品Cが間欠的に取り出されるようになっている。
基台110の上方には、部品装着用のヘッドユニット120が装備されている。このヘッドユニット120は、部品供給部112、すなわち部品供給位置(所定位置)とプリント基板Pが配置される基板配置位置(目的位置)とにわたって移動可能とされ、X軸方向及びY軸方向に移動することができるようになっている。
すなわち、基台110上には、Y軸方向の固定レール113と、Y軸サーボモータ114により回転駆動されるボールねじ軸115とが配設され、上記固定レール113上にヘッドユニット支持部材116が配置されて、この支持部材116に設けられたナット部分116aが上記ボールねじ軸115に螺合している。また、上記支持部材116には、X軸方向のガイド部材117と、X軸サーボモータ118により駆動されるボールねじ軸119とが配設され、上記ガイド部材117にヘッドユニット120が移動可能に保持され、このヘッドユニット120に設けられたナット部分(図示せず)が上記ボールねじ軸119に螺合している。そして、Y軸サーボモータ114の作動により上記支持部材116がY軸方向に移動するとともに、X軸サーボモータ118の作動によりヘッドユニット120が支持部材116に対してX軸方向に移動するようになっている。
すなわち、ヘッドユニット120は、ボールねじ軸115、ヘッドユニット支持部材116、X軸サーボモータ118、ボールねじ軸119により構成されたヘッドユニット移動手段により移動可能となっている。
ヘッドユニット120には、電子部品を保持する吸着ノズル121aを先端に備えた複数(本実施形態においては6個)の実装用ヘッド121が設けられている。この実装用ヘッド121は、ヘッドユニット120のフレームに対して昇降(Z軸方向の移動)及びノズル中心軸(R軸)回りの回転が可能とされ、Z軸サーボモータ122(図4参照)等の昇降駆動手段及びR軸サーボモータ123(図4参照)等の回転駆動手段により作動されるようになっている。
更にヘッドユニット120には、撮像ユニット130が搭載されている。撮像ユニット130は、吸着ノズル121aに吸着された電子部品Cを撮像するためのユニットで、フレーム131にカメラ132(撮像手段)、ミラー133、及び、照明装置134を取付けたものである。
図3に示すように、フレーム131は、ヘッドユニット120の背面(図3では左側)から下方にかけて設けられた枠体であって、ヘッドユニット120に支持されている。フレーム131の上部にはX軸方向に延び、ヘッドユニット120の支持されているボールねじ軸135(移動手段)が挿通されている。またフレーム131にはボールねじ軸135に螺合するナット部分(図示せず)が設けられている。ボールねじ軸135は撮像ユニット軸サーボモータ136(移動手段)により回転駆動され、その回転によってフレーム131がX軸方向(実装用ヘッド121の列設方向)に移動するようになっている。
すなわち、撮像ユニット130がボールねじ軸135及び撮像ユニット軸サーボモータ136からなる移動手段により駆動されてヘッド配列方向に移動し、これによってカメラ132及びミラー133が各実装用ヘッド121に対応する位置を順次通過するようになっている。
照明装置134は、LED等からなり、フレーム131における吸着ノズル121aの下方に設けられ、吸着ノズル121aに吸着された電子部品Cを下方から照明するようになっている。
ミラー133は、フレーム131における照明装置134の下方に配置され、鏡面を斜め後ろ上方に向けた状態(上方から入射した光が後方のカメラ132に向けて反射する状態。Y軸、Z軸に対する傾斜角は約45°)で固定されている。
カメラ132は、レンズ132a、複数の撮像素子132b、及び、振れ補正手段132cを備えており(図4参照)、フレーム131におけるミラー133の後方に配置され、レンズ面を前方のミラー133に向けた状態でフレーム131に固定されている。そして、このカメラ132を上記撮像ユニット軸サーボモータ136でX軸方向に移動させつつ吸着ノズル121aに吸着された電子部品Cを撮像することにより、ミラー133を介し、X−Y平面に平行な電子部品Cの像を得ることができるようになっている。
振れ補正手段132cは、このカメラ132の移動させる際の振れを補正し、上記電子部品Cの像を得るものである。
具体的な構成としては、図5(a)に示したようなガラス平行平板141、又は、赤外カットフィルター142を傾ける方法、同5(b)に示したような撮像素子132bをシフトする方法、図5(c)に示したような撮影可変頂角プリズム143をピッチ方向又はヨー方向に回転させる方法、図5(d)に示したような撮影用ズーム144の一部をシフトする方法等を用いることが可能である。
本実施形態における制御系統について図4を用いて説明する。
コントローラ200は、本体機構部100の内部の適所に設けられ、論理演算を実行する周知のCPU、そのCPUを制御する種々のプログラムなどを予め記憶するROMおよび装置動作中に種々のデータを一時的に記憶するRAM等から構成されている。コントローラ200は、機能構成としては、サーボ制御部201(移動制御手段)、画像メモリ202(移動制御手段)、演算部203(振れ算出手段)を含んでいる。
なお、このコントローラ200に加え、撮像ユニット130を含む構成が、本実施形態における部品認識装置として機能する。
サーボ制御部201は、上記表面実装機に設けられているY軸サーボモータ114、X軸サーボモータ118、Z軸サーボモータ122、R軸サーボモータ123、及び、撮像ユニット軸サーボモータ136の駆動を制御する。また、演算部203に対し、撮像ユニット軸サーボモータ136の駆動に関するデータ、すなわち撮像ユニット130に関する位置と速度との相関データ(位置及び速度に関する制御データ)を出力する。
画像メモリ202は、カメラ132で撮像した画像を記憶するものであって、カメラ132の撮像素子132bから取り込まれた画像データをこの画像メモリ202内で記憶する。
演算部203は、CPU等のような演算機能を有するものである。この演算部203では、カメラ132の撮像素子132bの制御を行い、このカメラ132が各撮像位置を通過するタイミングにあわせて撮像素子132bで電子部品Cの撮像を行うように制御する。
さらに、サーボ制御部201から出力される撮像ユニット130に関する位置と速度との相関データに基いて撮像ユニット130の加速度を算出するとともに、この加速による慣性力によって発生する撮像ユニット130の歪を算出し、これらの速度データ、加速度データ、及び、歪データに基づいて、各撮像位置の撮像時における振れ量を算出し、カメラ132の振れ補正手段132cに対し、算出した振れ量を出力する。
またさらに、吸着ノズル121aによる電子部品Cの吸着状態の位置ずれに応じてプリント基板Pに対する部品装着位置を補正する機能も有し、画像メモリ202に記憶された電子部品Cの画像に基づいて上記位置ずれを計測し、この計測された位置ずれ量に基づいて位置補正量を算出し、この位置補正量をサーボ制御部201に対し出力する。
次に、図6に基づいて、電子部品Cの認識に関する手順について説明する。
まず、ステップS1において、サーボ制御部201でY軸サーボモータ114及びX軸サーボモータ118を制御し、ヘッドユニット120を部品供給部112上に位置するように移動させる。
次に、ステップS2において、サーボ制御部201でZ軸サーボモータ122、R軸サーボモータ123を制御し、実装用ヘッド121を上下させて電子部品Cを吸着することにより、電子部品Cをピックアップし、さらに、ステップS3において、プリント基板Pが配置されている基板配置位置に向けてヘッドユニット120の移動を開始する。
その後、ステップS4において、サーボ制御部201でヘッドユニット120をプリント基板Pに移動させるように制御しつつも、撮像ユニット130に関する位置と移動速度との相関データをサーボ制御部201から出力し、このデータを演算部203に入力する。
さらに、ステップS5において、演算部203で、上記相関データに基づいて各撮像位置における撮像ユニット130の加速度を算出するとともに、この加速によって発生する撮像ユニット130の歪を算出する。またさらに、これらの速度データ、加速度データ、及び、歪データに基づいて、各撮像位置におけるカメラ132の振れ量を算出し、この振れ量に基づいて振れの補正量を算出する。
そして、ステップS6において、撮像ユニット軸サーボモータ136を駆動させ、撮像ユニット130の移動を開始する。
さらに、演算部203から振れ補正量のデータが出力され、このデータが振れ補正手段132cに入力され(ステップS7)、この入力された振れ補正量のデータに基づき、撮像ユニット130に備えられたカメラ132が各撮像位置を通過するタイミングにあわせて振れ補正手段132cでカメラ132の振れの補正がなされる(ステップS8)。
そして、ステップS9において、カメラ132が撮像位置を通過するタイミングにあわせて演算部203から撮像素子132bに対し撮像する指示を送信し、吸着ノズル121aに吸着された電子部品Cを撮像する。
さらに、ステップS10において、撮像素子132bで撮像した画像を画像メモリ202に入力し、画像メモリ202でこの画像を記憶し、ステップS11において、上記振れ補正手段132cを補正前の状態に戻す。
かかる状態において、電子部品Cが吸着されているすべての吸着ノズル121aの撮像が終了したかを判断し(ステップS12)、かかる撮像が終了していない場合(ステップS12においてNO)の場合は、ステップS7以降の処理を繰り返す。
また、電子部品Cが吸着されているすべての吸着ノズル121aの撮像が終了している場合(ステップS12においてYES)には、電子部品Cの位置ずれの補正を行うべく、ステップS13において、画像メモリ202に記憶された撮像画像のデータを演算部203に入力する。
その後、ステップS14において、演算部203内で、この画像のデータに基づいて電子部品Cの位置を計測し、ステップS15において、実装用ヘッド121の中心からの位置ずれ量を算出するとともに、この位置ずれ量に基づいて位置補正量を算出する。
そして、ステップS16においてこの位置補正量をサーボ制御部201に出力し、この位置補正量に基づいてこのサーボ制御部201でX軸、Y軸、R軸の各サーボモータ118、114、123を制御し、電子部品Cの位置補正を行う。
続いて、ステップS17において、プリント基板P上でZ軸サーボモータ122によって実装用ヘッド121を上下させ、プリント基板P上に電子部品Cを搭載する。
本実施形態の構成によれば、サーボ制御部201から出力される撮像ユニット130の位置及び移動速度に関する制御データに基づき上記演算部203で撮像時における振れ量が算出され、この算出された振れ量に基づいて撮像ユニット130に備えられたカメラ132の振れの補正を行うことが可能となる。すなわち角速度センサーなどの部材を新たに配置しなくても上記振れを補正することが可能となる。したがって、部品点数が増えるのを阻止して簡素な構成としつつも上記撮像時における振れを抑制し、上記電子部品Cの認識精度を高めることが出来る。
また、ヘッドユニット120は複数の実装用ヘッド121を備えているので、上記電子部品Cの搬送効率を高めることが可能となる。
さらに、カメラ132は、上記各実装用ヘッド121に対応する位置を順次通過することが可能となっており、さらに、ヘッドユニット120が各撮像位置を通過するタイミングにあわせて撮像素子132bで電子部品Cの撮像を行うように演算部203で制御されているため、このカメラ132が上記各撮像位置まで移動した際にその都度このカメラ132の移動を停止させて撮像する方式を採るよりも、部品認識の速度を高めることが可能となる。
また、演算部203は、サーボ制御部201から出力される撮像ユニット130に関する位置及び移動速度に関する制御データに基いて撮像ユニット130の加速度を算出するとともに、この加速による慣性力によって発生する撮像ユニット130の歪を算出し、これらの速度データ、加速度データ、及び歪データに基づいて、各撮像位置の撮像時における振れ量を算出するため、よりこの振れ量を正確に算出することが出来、電子部品Cの認識精度を高めることが可能となる。
その他実施形態
以上、本発明の一実施形態について説明したが、これら以外にも特許請求の範囲内で適宜変形して良い。これらの変形例としては、主に下記のものが挙げられる。
(1) 本実施形態の部品認識装置は、表面実装機のみに適用可能であるものではなく、例えば、電子部品Cを供給する部品供給部と、この電子部品Cを検査する検査用電気回路と、この電子部品Cを上記部品供給部から上記検査用電気回路に搬送するヘッドユニットとを備えた部品検査装置に適用することも可能である。
(2) 本発明の目的位置は、必ずしもプリント基板Pが配置されている基板配置位置であるとは限らない。例えば、上記部品検査装置においては、上記検査用電気回路が配置された検査位置が目的位置となる。また、この部品認識装置を設置する装置の目的に応じて適宜目的位置を設定してもよい。
(3) 本発明の所定位置は、必ずしも上記電子部品Cが供給される部品供給部である必要はなく、この部品認識装置を設置する装置の目的に応じて適宜を設定することが可能である。
(4) 演算部203における撮像ユニット130の振れ量を算出する際、撮像ユニット130の移動速度及び現在位置のデータのみならず、ヘッドユニット120自体の移動量に関しても考慮するようにしてもよい。すなわち、サーボ制御部201から、撮像ユニット130に関するデータ(撮像ユニット軸サーボモータ136に関するデータ)のみならずY軸サーボモータ114及びX軸サーボモータ118に関するデータも演算部203に対し出力し、これらのデータに基づき、ヘッドユニット120の移動により生じる歪等を加味してカメラ132の振れ量を算出してもよい。かかる方法を採れば、より電子部品Cの認識精度を高めることが可能となる。
本発明の第一実施形態に係る表面実装機を概略的に示す平面図である。 上記表面実装機の一部を省略して示す正面図である。 上記表面実装機の一部を省略して示す側面図である。 上記表面実装機の概略制御ブロック図である。 上記表面実装機の実装動作のための概略フローチャートである。 上記表面実装機の振れ防止手段として適用可能な構造を例示したものである。
符号の説明
114 Y軸サーボモータ(ヘッドユニット移動手段)
115 ボールねじ軸(ヘッドユニット移動手段)
116 ヘッドユニット支持部材(ヘッドユニット移動手段)
118 X軸サーボモータ(ヘッドユニット移動手段)
119 ボールねじ軸(ヘッドユニット移動手段)
120 ヘッドユニット
121 実装用ヘッド(ヘッド)
130 撮像ユニット(部品認識装置)
132 カメラ(撮像手段)
132c 振れ補正手段
135 ボールねじ軸(移動手段)
136 撮像ユニット軸サーボモータ(移動手段)
200 コントローラ(部品認識装置)
202 サーボ制御部(移動制御手段)
203 演算部(振れ算出手段)
C 電子部品
P プリント基板

Claims (7)

  1. 電子部品を吸着するヘッドを備えたヘッドユニットを有し、このヘッドユニットで上記電子部品を所定位置から目的位置に移動させる際に上記電子部品を撮像してこの電子部品の上記ヘッドに対する吸着状態の認識を行う部品認識装置であって、
    上記ヘッドユニットに取り付けられて上記ヘッドに吸着された上記電子部品を撮像する撮像手段と、
    上記撮像手段を上記ヘッドに対して移動させる移動手段と、
    この移動手段を制御する移動制御手段と、
    この移動制御手段から出力される制御データに基づき、撮像時の上記撮像手段の振れ量を算出する振れ量算出手段と、
    この振れ量算出手段で算出された振れ量に基づき上記撮像手段の振れを補正する振れ補正手段と
    を備えたことを特徴とする部品認識装置。
  2. 請求項1記載の部品認識装置において、
    上記ヘッドユニットは複数の上記ヘッドを備え、
    上記移動手段は、上記各ヘッドに対応する位置を順次通過するように上記撮像手段を移動させ、
    上記撮像手段は、上記各ヘッドに対応する位置を通過するときに当該各ヘッドに吸着された上記電子部品を撮像する
    ことを特徴とする部品認識装置。
  3. 請求項1又は2記載の部品認識装置において、
    上記制御データには、上記撮像手段の位置及び移動速度に関するデータが含まれていること
    を特徴とする部品認識装置。
  4. 請求項3記載の部品認識装置において、
    上記振れ量算出手段は、上記制御データに含まれる上記位置及び移動速度に関するデータに基づき上記撮像手段の加速度を算出し、この加速度のデータを加味して上記撮像手段の振れ量を算出する
    ことを特徴とする部品認識装置。
  5. 請求項3又は4記載の部品認識装置において、
    上記振れ量算出手段は、
    上記ヘッドユニットの歪みを加味して上記撮像手段の振れ量を算出する
    ことを特徴とする部品認識装置。
  6. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の部品認識装置を備え、上記電子部品が供給される供給位置からこの電子部品が搭載されるプリント基板が配置される基板配置位置に上記電子部品を搬送し、この電子部品を上記プリント基板上に実装する表面実装機であって、
    上記電子部品を吸着するヘッドを備えたヘッドユニットと、
    このヘッドユニットを上記供給位置と上記基板配置位置との間を移動させるヘッドユニット移動手段とを備えた
    ことを特徴とする表面実装機。
  7. 請求項1〜5のいずれか1項に記載の部品認識装置を備え、上記電子部品が供給される供給位置からこの電子部品を検査する検査位置まで上記電子部品を搬送し、この電子部品を上記検査位置に配置された検査用電気回路に接触させる部品検査装置であって、
    上記電子部品を吸着するヘッドを備えたヘッドユニットと、
    このヘッドユニットを上記供給位置と上記検査位置との間を移動させるヘッドユニット移動手段とを備えた
    ことを特徴とする部品検査装置。
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