JP6223091B2 - 位置計測装置、アライメント装置、パターン描画装置および位置計測方法 - Google Patents
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Description
基板のうち光ビームの有効ビーム径よりも大きく光ビームに対して透過性を有する第1透過部と、第1透過部を通過する光ビームとを同一視野内で撮像する撮像部と、撮像部で撮像された画像に基づいて光ビームに対する基板の位置を求める位置導出部とを有する位置計測部と、位置導出部により求められた光ビームに対する基板の位置に基づき基板および光学ヘッドのうち少なくとも一方を光ビームの進行方向と直交する面内で移動させて光ビームに対する基板の位置を調整する位置調整部とを備え、撮像部の視野は第1透過部よりも大きく、画像には第1透過部の像および光ビームの像が存在し、位置調整部による調整を行った上で、第1透過部以外の基板の表面に変調光ビームを照射してパターンを描画することを特徴としている。当該発明においても、上記位置計測部を用いることで光ビームに対する基板の位置が正確に求まり、光ビームに対する基板の位置が高精度に調整される。その上で、変調光ビームが基板の表面に照射されてパターンが描画される。したがって、優れたパターンが基板の表面に形成される。
6、6a…光学ヘッド
9…撮像部
31…支持ステージ
32…(第2)透過部
32a、32b…透過用貫通孔(第2貫通孔、第2透過部)
32c…窓部材
91…CCDカメラ(撮像部)
111…位置導出部
Ia、Ib、Ic…画像
LB…光ビーム
MK1…十字マーク(第1基準マーク)
S…基板
Sa、Sb…アライメント用貫通孔(第1貫通孔、第1透過部)
Sc…マーク付与部(第1透過部)
Z…(光ビームの進行)方向
Claims (11)
- 光学ヘッドから基板に照射される光ビームに対する前記基板の位置を計測する位置計測装置であって、
前記基板のうち前記光ビームの有効ビーム径よりも大きく前記光ビームに対して透過性を有する第1透過部と、前記第1透過部を通過する前記光ビームとを同一視野内で撮像する撮像部と、
前記撮像部で撮像された画像に基づいて前記光ビームに対する前記基板の位置を求める位置導出部とを備え、
前記撮像部の視野は前記第1透過部よりも大きく、前記画像には前記第1透過部の像および前記光ビームの像が存在することを特徴とする位置計測装置。 - 請求項1に記載の位置計測装置であって、
前記撮像部は、前記光ビームの進行方向に前記基板を貫通して設けられた第1貫通孔を前記第1透過部として撮像する位置計測装置。 - 請求項1に記載の位置計測装置であって、
前記撮像部は、前記光ビームに対して透過性を有するシート部材で構成された前記基板のうち第1基準マークが付されたマーク付与部を前記第1透過部として撮像する位置計測装置。 - 請求項1ないし3のいずれか一項に記載の位置計測装置であって、
前記光ビームが入射する前記基板の主面の反対側から前記基板を支持する支持ステージを備え、
前記支持ステージは、前記第1透過部を通過してきた前記光ビームを通過させて前記撮像部に案内する第2透過部を有し、
前記撮像部は、前記第2透過部を介して前記光ビームおよび前記第1透過部を同一視野内で撮像する位置計測装置。 - 請求項4に記載の位置計測装置であって、
前記第2透過部は、前記光ビームの進行方向に前記支持ステージを貫通して設けられた第2貫通孔を有する位置計測装置。 - 請求項5に記載の位置計測装置であって、
前記第2透過部は、前記光ビームに対して透過性を有する透過性材料で構成されて前記第2貫通孔を塞ぐように前記支持ステージに設けられた窓部材を有し、
前記撮像部は、前記窓部材を介して前記光ビームおよび前記第1透過部を同一視野内で撮像する位置計測装置。 - 請求項6に記載の位置計測装置であって、
前記第2透過部では、前記窓部材に対して第2基準マークが付される位置計測装置。 - 請求項2に記載の位置計測装置であって、
前記光ビームが入射する前記基板の主面の反対側から前記基板を支持する支持ステージを備え、
前記支持ステージは、前記第1貫通孔の内径よりも大きな内径で前記光ビームの進行方向に前記支持ステージを貫通して設けられた第2貫通孔を有し、前記光ビームの前記進行方向と反対の方向から見た平面視で前記第1貫通孔が前記第2貫通孔に内包されるように、前記基板を支持し、
前記撮像部は、前記第2透過部を介して前記光ビームおよび前記第1透過部を同一視野内で撮像する位置計測装置。 - 請求項1ないし8のいずれか一項に記載の位置計測装置と同一構成を有する位置計測部と、
前記位置計測部の位置導出部により求められた前記光ビームに対する前記基板の位置に基づき前記基板および前記光学ヘッドのうち少なくとも一方を前記光ビームの進行方向と直交する面内で移動させて前記光ビームに対する前記基板の位置を調整する位置調整部と
を備えることを特徴とするアライメント装置。 - 光ビームを変調する光変調器を有し、前記光変調器で光変調した変調光ビームを基板に照射する光学ヘッドと、
前記基板のうち前記光ビームの有効ビーム径よりも大きく前記光ビームに対して透過性を有する第1透過部と、前記第1透過部を通過する前記光ビームとを同一視野内で撮像する撮像部と、前記撮像部で撮像された画像に基づいて前記光ビームに対する前記基板の位置を求める位置導出部とを有する位置計測部と、
前記位置導出部により求められた前記光ビームに対する前記基板の位置に基づき前記基板および前記光学ヘッドのうち少なくとも一方を前記光ビームの進行方向と直交する面内で移動させて前記光ビームに対する前記基板の位置を調整する位置調整部とを備え、
前記撮像部の視野は前記第1透過部よりも大きく、前記画像には前記第1透過部の像および前記光ビームの像が存在し、
前記位置調整部による調整を行った上で、前記第1透過部以外の前記基板の表面に前記変調光ビームを照射してパターンを描画することを特徴とするパターン描画装置。 - 光学ヘッドから基板に照射された光ビームに対する前記基板の位置を計測する位置計測方法であって、
前記基板のうち前記光ビームの有効ビーム径よりも大きく前記光ビームに対して透過性を有する透過部に前記光ビームを照射する工程と、
前記第1透過部よりも大きな視野を有する撮像部によって前記透過部を通過する前記光ビームおよび前記透過部を同一視野内で撮像することで前記第1透過部の像および前記光ビームの像が存在する画像を得る工程と、
前記画像に基づいて前記基板の位置を求める工程と
を備えることを特徴とする位置計測方法。
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