KR102548626B1 - 로봇 구동 자동 보정 시스템 - Google Patents

로봇 구동 자동 보정 시스템 Download PDF

Info

Publication number
KR102548626B1
KR102548626B1 KR1020210070571A KR20210070571A KR102548626B1 KR 102548626 B1 KR102548626 B1 KR 102548626B1 KR 1020210070571 A KR1020210070571 A KR 1020210070571A KR 20210070571 A KR20210070571 A KR 20210070571A KR 102548626 B1 KR102548626 B1 KR 102548626B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
alignment mark
module
unit
mark image
robot
Prior art date
Application number
KR1020210070571A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20220162287A (ko
Inventor
서승환
임성진
차정학
Original Assignee
주식회사 대곤코퍼레이션
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 주식회사 대곤코퍼레이션 filed Critical 주식회사 대곤코퍼레이션
Priority to KR1020210070571A priority Critical patent/KR102548626B1/ko
Publication of KR20220162287A publication Critical patent/KR20220162287A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR102548626B1 publication Critical patent/KR102548626B1/ko

Links

Images

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1679—Programme controls characterised by the tasks executed
    • B25J9/1692—Calibration of manipulator
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00—Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02—Sensing devices
    • B25J19/021—Optical sensing devices
    • B25J19/023—Optical sensing devices including video camera means
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1628—Programme controls characterised by the control loop
    • B25J9/1653—Programme controls characterised by the control loop parameters identification, estimation, stiffness, accuracy, error analysis
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1656—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1656—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators
    • B25J9/1664—Programme controls characterised by programming, planning systems for manipulators characterised by motion, path, trajectory planning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J9/00—Programme-controlled manipulators
    • B25J9/16—Programme controls
    • B25J9/1694—Programme controls characterised by use of sensors other than normal servo-feedback from position, speed or acceleration sensors, perception control, multi-sensor controlled systems, sensor fusion
    • B25J9/1697—Vision controlled systems
    • G—PHYSICS
    • G05—CONTROLLING; REGULATING
    • G05B—CONTROL OR REGULATING SYSTEMS IN GENERAL; FUNCTIONAL ELEMENTS OF SUCH SYSTEMS; MONITORING OR TESTING ARRANGEMENTS FOR SUCH SYSTEMS OR ELEMENTS
    • G05B19/00—Programme-control systems
    • G05B19/02—Programme-control systems electric
    • G05B19/18—Numerical control [NC], i.e. automatically operating machines, in particular machine tools, e.g. in a manufacturing environment, so as to execute positioning, movement or co-ordinated operations by means of programme data in numerical form

Abstract

본 발명은 로봇이 작동하며 안 좋은 결과를 만들기 전에, 작동 과정에서 발생되는 오차를 감지하여 오차를 자동으로 보정할 수 있도록 한다. 이와 같은 로봇 구동 자동 보정 시스템은 복수 개의 모터모듈과 적어도 하나의 위치기준마크가 형성된 암모듈을 포함하고, 연산부와 연결되어 연산부에서 전달되는 신호에 따라 모터모듈의 구동이 제어되는 로봇부와 조정패턴과 정렬마크가 형성된 정렬마크모듈을 포함하며, 외측에서 로봇부의 암모듈이 진입 가능한 위치기준조정부과 적어도 하나의 카메라가 설치되어, 위치기준조정부의 상부에 설치되어 위치기준조정부를 촬영하며 정렬마크모듈에 대한 정렬마크이미지를 생성하는 카메라부 그리고 기준마크이미지를 포함하고 카메라부와 연결되어 카메라부에서 생성한 정렬마크이미지를 기준마크이미지와 대비하여 제1축의 차이값과 제2축의 차이값을 산출하여, 차이값이 기준값을 초과하면 정렬마크이미지를 기준마크이미지로 대체한 후, 제1축의 차이값에 대응하는 제1보정값과 제2축의 차이값에 대응하는 제2보정값을 로봇부의 모터모듈에 인가하여 암모듈의 위치기준마크와 기준마크이미지의 정렬마크를 가상의 선상에 위치시키는 연산부를 포함한다.

Description

로봇 구동 자동 보정 시스템{Automatic Calibration System Of Robot Driven}
본 발명은 로봇이 반복적으로 구동하면서 발생되는 오차를 보정하는 기술이다.
산업 현장에서는 작업 환경 개선 및 생산성 향상에 목적을 로봇을 두고 많이 사용하고 있다. 로봇은 단순 반복 작업이나 사람이 직접 수행하기 어렵고 위험한 작업을 신속하고 정확하게 처리할 수 있다는 점에서 각광을 받고 있다. 현재, 로봇의 사용은 증가 추세를 보이고 있다.
로봇의 사용의 증가 추세와 맞물려, 로봇이 항상 신속하고 정확한 작업을 수행할 수 있도록, 로봇을 유지보수 하는 기술 개발이 활발하게 진행되고 있다. 여기서, 로봇을 유지보수 하는 기술은 로봇이 반복적으로 구동하며 미세한 틀어짐 및 기울어짐 등이 누적되어 발생되는 오차를 보정하는 기술이 된다.
이와 같은 기술은 로봇을 유지보수 하는 기술에 적용되어, 로봇이 작업을 정밀하고 신속하게 수행할 수 있도록 하며 설치 목적을 달성할 수 있도록 한다.
현재 대다수의 로봇의 구동 오차를 제어하는 방법은 로봇의 구동 오차를 정량적으로 파악할 수 없어, 작업 결과를 통해 로봇의 구동축에 오차가 있는지를 파악하도록 한다.
이러한 방법은 작업자가 로봇의 구동 오차를 직관적으로 판단하지 못하고 로봇의 작업 결과를 통해 간접적으로 판단할 수 있도록 한다.
따라서, 로봇이 안 좋은 결과를 만들어 낸 후에, 작업자가 그 문제를 해결해야 하는 문제가 있다. 더욱이, 이러한 문제는 작업 효율 및 생산성을 저하시키는 문제를 발생시키고 있다.
대한민국 공개특허 제10-2017-0087996호(공개일자: 2017.08.01)
본 발명이 해결하고자 하는 과제는 로봇이 안 좋은 결과를 만들어 낸 후에, 작업자가 그 문제를 해결하게 되면서 작업 효율 및 생산성이 저하되는 문제가 발생되지 않도록 한다.
본 발명의 기술적 과제는 이상에서 언급한 과제들로 제한되지 않으며, 언급되지 않은 또 다른 기술적 과제들은 아래의 기재로부터 당업자에게 명확하게 이해될 수 있을 것이다.
상기 기술적 과제를 달성하기 위한 본 발명의 로봇 구동 자동 보정 시스템은 복수 개의 모터모듈과, 블레이드와, 블레이드의 왼쪽에 제1위치기준마크가 형성되고 블레이드의 오른쪽에 제2위치기준마크가 형성된 암모듈을 포함하는 로봇부, 복수 개의 제1조정패턴과 복수 개의 제1조정패턴의 중앙에 제1정렬마크가 형성된 제1정렬마크모듈 그리고 복수 개의 제2조정패턴과 복수 개의 제2조정패턴의 중앙에 제2정렬마크가 형성된 제2정렬마크모듈을 포함하며 외측에서 로봇부의 암모듈이 진입 가능한 위치기준조정부, 위치기준조정부의 상부에 설치된 제1카메라모듈과 제2카메라모듈을 포함하여, 제1카메라모듈을 통해 제1정렬마크모듈을 촬영해 제1정렬마크이미지를 생성하고, 제2카메라모듈을 통해 제2정렬마크모듈을 촬영해 제2정렬마크이미지를 생성하는 카메라부; 및 기준마크이미지를 포함하고, 카메라부에서 제1정렬마크이미지와 제2정렬마크이미지를 수신하여, 기준마크이미지와 제1정렬마크이미지를 대비하여 좌표계 X축의 차이값과 좌표계 Y축의 차이값을 산출해, 차이값이 기준값을 초과하면 제1정렬마크이미지를 기준마크이미지로 대체하고, 기준마크이미지와 제2정렬마크이미지를 대비하여 좌표계 X축의 차이값과 좌표계 Y축의 차이값을 산출해, 차이값이 기준값을 초과하면 제2정렬마크이미지를 기준마크이미지로 대체한 후, 블레이드의 제1위치기준마크와 제2위치기준마크가 기준마크이미지의 정렬마크와 동일한 선상에 위치하도록 모터모듈을 제어하는 연산부를 포함한다. 여기서, 제2정렬마크모듈은 제1정렬마크모듈에서 일방향으로 이격되어 제1정렬마크모듈과 동일하게 형성되고, 카메라부는 제1카메라모듈과 제2카메라모듈이 설치된 프레임모듈을 포함할 수 있다. 또한, 카메라부는 로봇부의 암모듈에 빛을 조사한 후, 반사되는 빛을 수신하여 암모듈과 거리를 측정하는 거리센서모듈을 더 포함할 수 있다.
본 발명의 로봇 구동 자동 보정 시스템은 로봇이 작동하며 안 좋은 결과를 만들기 전에, 작동 과정에서 발생되는 오차를 감지하여 오차를 자동으로 보정한다. 이를 통해, 로봇이 설치되는 본연의 목적인 작업의 신속성 및 정확성을 높게 유지시킬 수 있다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로봇 구동 자동 보정 시스템의 사시도이다.
도 2 및 도 3은 도 1의 로봇의 작동도이다.
도 4는 도 1의 위치기준조정부와 카메라부를 나타낸 도면이다.
도 5는 도 1의 카메라부에서 촬영한 위치기준조정부의 제1정렬마크이미지와 제2정렬마크이미지를 나타낸 도면이다.
도 6은 연산부에서 제2카메라에서 촬영한 제2정렬마크이미지를 보정하여 기준마크이미지를 생성하는 상태를 나타낸 도면이다.
도 7은 도 1의 로봇의 엔드이펙터를 나타낸 도면이다.
도 8은 연산부가 로봇의 위치를 보정하는 상태를 나타낸 도면이다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예들을 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 실시 예들은 당해 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위하여 제공되는 것이며, 하기 실시 예들은 여러 가지 다른 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 하기 실시 예에 한정되는 것은 아니다. 오히려, 이들 실시 예들은 본 개시를 단지 충실 및 완전하게 하여, 당업자에게 본 발명의 사상을 완전하게 전달하기 위하여 제공되는 것일 뿐이다. 또한, 도면에서 각 층의 두께나 크기는 설명의 편의 및 명확성을 위하여 과장된 것이며, 도면상에서 동일 부호는 동일한 요소를 지칭한다.
본 명세서에서 사용된 바와 같이, 용어 ‘및/또는’ 은 해당 열거된 항목 중 어느 하나 및 하나 이상의 모든 조합을 포함한다. 아울러, 본 명세서에서 사용된 용어는 특정 실시 예를 설명하기 위하여 사용되며, 본 발명을 제한하기 위한 것이 아니다.
이하, 본 발명의 실시 예들은 본 발명의 이상적인 실시 예들을 개략적으로 도시한 도면들을 참조하여 설명된다. 다만, 본 발명의 로봇 구동 자동 보정 시스템에 대한 설명이 간결하고 명확해질 수 있도록 도 1 내지 도 3을 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 로봇 구동 자동 보정 시스템(1) 및 본 발명의 일 실시예에 따른 로봇 구동 자동 보정 시스템(1)의 작동에 대해 개략적으로 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로봇 구동 자동 보정 시스템의 사시도이고, 도 2 및 도 3은 도 1의 로봇의 작동도이다.
본 발명의 로봇 구동 자동 보정 시스템(1, 이하 자동 보정 시스템)은 로봇이 작동하며 안 좋은 결과를 만들기 전에, 작동 과정에서 발생되는 오차를 감지하여 오차를 보정한 후, 객체를 정확한 위치로 이동시킨다. 이를 통해, 본 발명은 로봇 설치의 본연의 목적인 작업의 신속성 및 정확성을 높은 상태로 유지시킬 수 있다. 일례로, 자동 보정 시스템은 반도체 웨이퍼를 가공하는 프로세스에 하나가 될 수 있다. 따라서, 객체는 일례로 웨이퍼가 될 수 있다.
이와 같은 자동 보정 시스템에 대한 설명은 통상의 기술자가 본 명세서를 통해 본 발명을 명확하게 이해할 수 있도록, 반도체 웨이퍼를 가공하는 시스템에 사용되는 장치를 일례로 한다. 본 발명은 도 1에 도시된 바와 같이, FOUP(Front Opening Unified Pod), Buffer(C), 제1챔버(D) 및 제2챔버(E) 그리고 FOUP 내지 제2챔버의 앞에 설치된 레일부(A)가 설치된 반도체 웨이퍼를 가공하는 시스템에 설치되어 FOUP에 들어 있는 웨이퍼를 제1챔버(D)와 제2챔버(E)로 이송하는 장치가 될 수 있다.
이러한 자동 보정 시스템(1)은 레일부(A)에 설치되어 슬라이딩 이동하는 로봇부(10), FOUP(B)와 Buffer(C) 사이에 위치하는 위치기준조정부(20), 위치기준조정부(20)와 상방으로 이격되어 설치된 카메라부(30)를 포함한다. 그리고 카메라부(30) 그리고 로봇부(10)와 연결되어 카메라부(30)에서 수신되는 데이터를 연산하여 출력값을 로봇부(10)에 인가하여 로봇부의 오차를 제어하는 연산부(40)를 포함한다. 여기서, 로봇부(10)는 복수 개의 모터모듈(110)과 제1가이드패턴(123)과 제2가이드패턴(124) 그리고 제1가이드패턴(123)과 제2가이드패턴(124) 사이에 형성된 적어도 하나의 위치기준마크(122)를 포함하는 암모듈(120) 즉, 블레이드(121)와 위치기준마크(122)로 형성된 엔드이펙터를 포함하는 로봇이 될 수 있다. 즉, 로봇부(10)는 Wafer Transfer Robot이 될 수 있다.
이러한 로봇부(10)는 도 2에 도시된 바와 같이, 레일부(A)를 좌표축의 X축 방향으로 슬라이딩 하며 FOUP(B)내지 제2챔버(E) 사이를 이동할 수 있다. 그리고 도 3에 도시된 바와 같이 좌표축의 Z축 방향으로 로봇부의 승강모듈이 이동하며 제1챔버에 웨이퍼를 내려 놓거나, 제1챔버에 있는 웨이퍼를 들어올릴 수 있다. 이와 같은 로봇부(10)는 연산부(40)에서 출력되는 신호에 따라 작동될 수 있다.
본 발명의 자동 보정 시스템(1)은 로봇부(10)가 FOUP(B)에 삽입되어 있는 웨이퍼를 제1챔버(D) 또는 제2챔버(E)로 이송하기 전에, 위치기준조정부(20)에 위치한 후 암모듈(120) 즉, 엔드이펙터를 정렬마크모듈(220)과 중첩되도록 위치시켜 로봇부의 구동 오차를 추출하고, 추출된 오차값에 대응해 로봇부(10)의 위치를 자동으로 보정시킨다.
이와 같은 본 발명의 자동 보정 시스템(1)은 기존의 로봇 보정 시스템에서 로봇부의 구동 오차를 파악하여 수동으로 보정하는 방식이 아닌, 구동 오차를 파악하여 파악된 값과 대응되는 값으로 로봇부의 암의 위치를 보정한다. 이러한 본 발명의 특징은 종래의 로봇 보정 시스템과 큰 차이가 되도록 하는 주요 특징이 된다.
이하, 도 4 내지 도 8을 참조하여 본 발명의 위치기준조정부, 카메라부 및 연산부에 대한 구체적인 설명과 위치기준조정부, 카메라부 및 연산부를 통한 본 발명의 주요 특징에 대해 구체적으로 설명한다.
도 4는 도 1의 위치기준조정부와 카메라부를 나타낸 도면이고, 도 5는 도 1의 카메라부에서 촬영한 위치기준조정부의 제1정렬마크이미지와 제2정렬마크이미지를 나타낸 도면이다. 그리고 도 6은 연산부에서 제2카메라에서 촬영한 제2정렬마크이미지를 보정하여 기준마크이미지를 생성하는 상태를 나타낸 도면이고, 도 7은 도 1의 로봇의 엔드이펙터를 나타낸 도면이다. 그리고 도 8은 연산부가 로봇의 위치를 보정하는 상태를 나타낸 도면이다.
위치기준조정부(20)는 지지모듈(210)과 지지모듈(210)의 상측면에 정렬마크모듈(220)이 설치되어, 로봇부의 오차를 산출하는데 있어 기준위치를 설정하는 장치가 된다. 이러한 위치기준조정부(20)는 엔드이펙터의 제1날과 제2날의 위치에 대한 기준을 설정할 수 있도록 도 4에 도시된 바와 같이, 제1정렬마크모듈(221)과 제1정렬마크모듈(221)에서 일방향으로 이격되어 제1정렬마크모듈(221)과 동일하게 형성된 제2정렬마크모듈(222)을 포함한다.
이와 같은 제1정렬마크모듈(221)에는 동일한 형상의 원이 복수 개 형성된 제1조정패턴(2211)과 제1조정패턴(2211)의 중앙에 형성된 ‘+’형상의 제1정렬마크(2212)가 형성될 수 있다. 그리고 제2정렬마크모듈(222)에는 동일한 형상의 원이 복수 개 형성된 제2조정패턴(2221)과 제2조정패턴(2221)의 중앙에 형성된 ‘+’형상의 제2정렬마크(2222)가 형성될 수 있다.
카메라부(30)는 위치기준조정부(20)를 촬영하며 위치기준조정부(20)의 정렬마크모듈(220)과 정렬마크모듈(220)로 유입되는 암모듈 즉, 엔드이펙터를 촬영한다. 이러한 카메라부(30)는 천장에 설치되는 프레임모듈(31)과 프레임모듈(31)에 하방을 촬영하도록 설치된 복수 개의 카메라모듈(301,302)을 포함할 수 있다. 일례로, 카메라부(30)는 도 4에 도시된 바와 같이 프레임모듈(31)과 프레임모듈(31)에 설치되는 제1카메라모듈(301), 제2카메라모듈(302)을 포함한다. 그리고, 거리센서모듈(303)을 포함한다. 이와 같은 카메라부(30)는 도 5에 도시된 바와 같이 제1카메라모듈(301)을 통해 제1정렬마크모듈(221)을 촬영하여 제1정렬마크이미지(311)를 생성할 수 있다. 그리고 제2카메라모듈(302)을 통해 제2정렬마크모듈(222)을 촬영하여 제2정렬마크이미지(312)를 생성할 수 있다. 또한, 카메라부(30)는 거리센서모듈(303)을 통해 로봇부의 암모듈(120)에 빛을 조사한 후, 반사되는 빛을 수신하여 암모듈(120)과 거리값을 산출할 수 있다.
이와 같이 카메라부(30)는 생성된 제1정렬마크이미지와 제2정렬마크이미지 그리고 암모듈 간 거리값을 연산부(40)에 전송한다.
연산부(40)는 카메라부(30)에서 데이터를 수신하여 연산 한 후, 연산된 값에 대응되는 값을 출력해 로봇부(10)에 인가하는 컴퓨터가 될 수 있다. 연산부(40)는 도 6에 도시된 바와 같이 기준마크이미지(400)를 포함할 수 있다. 또한, 연산부(40)는 정렬마크(410)와 조정패턴의 모양 간에 거리값(d1~d3)을 저장하고 있을 수 있다.
연산부(40)는 카메라로부터(30)로부터 제1정렬마크이미지(311)와 제2정렬마크이미지(312)를 수신한 후, 기준마크이미지(400)와 제1정렬마크이미지(311) 그리고 기준마크이미지(400)와 제2정렬마크이미지(312)를 대비하여 제1축의 차이값과 제2축의 차이값을 산출할 수 있다. 이때, 제1축은 좌표계의 X축이 될 수 있고, 제2축은 좌표계의 Y축이 될 수 있다. 일례로, 연산부(40)는 기준마크이미지(400)와 제2정렬마크이미지(312)를 대비하여 제1축의 차이값인 dx값과 제2축의 차이값인 dy를 산출할 수 있다.이와 같은 연산부(40)는 기준마크이미지(400)와 제1정렬마크이미지(311)를 대비한 차이값이 기준값을 초과하면 제1정렬마크이미지(311)를 기준마크이미지(400)로 대체하고, 기준마크이미지(400)와 제2정렬마크이미지(312)를 대비한 차이값이 기준값을 초과하면 제2정렬마크이미지(312)를 기준마크이미지(400)로 대체한다. 일례로, 연산부(40)는 도 8의 (b)와 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 제2정렬마크이미지(312)를 기준마크이미지(400)로 대체한다.
이후, 연산부(40)는 도 8의 (c)에 도시된 바와 같이, 제1축의 차이값과 제2축을 로봇부(10)의 모터모듈(110)에 인가하여 암모듈(120)의 위치기준마크(122)와 기준마크이미지(400)의 정렬마크(410)가 가상의 선상에 위치하도록 한다. 암모듈(120)의 블레이드(121)의 왼쪽에 위치한 제1위치기준마크(1221)와 블레이드(121)의 오른쪽에 위치한 제2위치기준마크(1222)가 기준마크이미지(400)의 정렬마크(410)와 동일한 선상에 위치하도록 모터모듈을 제어하며 로봇부의 오차를 자동 보정한다.
아울러, 연산부(40)는 로봇의 오차로 인해 정렬마크(410)가 카메라부의 촬영영역 안에 들어오지 않는 경우, 제2축 방향으로 엔드이펙터를 구동시켜 제1가이드패턴(123) 또는 제2가이드패턴(124)를 찾고, 제1축 방향으로 엔드이펙터를 구동시켜 위치기준마크(122)를 찾는다. 연산부(40)는 이와 같이 위치기준마크(122)를 찾으며 암모듈(120)의 위치기준마크(122)가 기준마크이미지(400)의 정렬마크(410)와 동일한 선상에 위치하도록 로봇부의 오차를 자동 보정한다.
이상 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 실시예들을 설명하였지만, 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자는 본 발명이 그 기술적 사상이나 필수적인 특징을 변경하지 않고서 다른 구체적인 형태로 실시될 수 있다는 것을 이해할 수 있을 것이다. 그러므로 이상에서 기술한 실시예들은 모든 면에서 예시적인 것이며 한정적이 아닌 것으로 이해해야 한다.
1: 로봇 구동 자동 보정 시스템
10: 로봇부
110: 모터모듈 120: 암모듈
121: 블레이드 122: 위치기준마크
1221: 제1위치기준마크 1222: 제2위치기준마크
123: 제1가이드패턴 124: 제2가이드패턴
20: 위치기준조정부
210: 지지모듈 220: 정렬마크모듈
221: 제1정렬마크모듈
2211: 제1조정패턴 2212: 제1정렬마크
222: 제2정렬마크모듈
2221: 제2조정패턴 2222: 제2정렬마크
30: 카메라부
31: 프레임모듈
301: 제1카메라모듈 302: 제2카메라모듈
303: 거리센서모듈 310: 정렬마크이미지
311: 제1정렬마크이미지 312: 제2정렬마크이미지
40: 연산부 400: 기준마크이미지
410: 정렬마크
A: 레일부 B: FOUP
C: Buffer D: 제1챔버
E: 제2챔버

Claims (3)

  1. 복수 개의 모터모듈(110)과, 블레이드(121)와, 블레이드(121)의 왼쪽에 제1위치기준마크(1221)가 형성되고 블레이드(121)의 오른쪽에 제2위치기준마크(1222)가 형성된 암모듈(120)을 포함하는 로봇부(10);
    복수 개의 제1조정패턴(2211)과 복수 개의 제1조정패턴(2211)의 중앙에 제1정렬마크(2212)가 형성된 제1정렬마크모듈(221) 그리고 복수 개의 제2조정패턴(2221)과 복수 개의 제2조정패턴(2221)의 중앙에 제2정렬마크(2222)가 형성된 제2정렬마크모듈(222)을 포함하며 외측에서 로봇부의 암모듈(120)이 진입 가능한 위치기준조정부(20);
    위치기준조정부(20)의 상부에 설치된 제1카메라모듈(301)과 제2카메라모듈(302)을 포함하여, 제1카메라모듈(301)을 통해 제1정렬마크모듈(221)을 촬영해 제1정렬마크이미지(311)를 생성하고, 제2카메라모듈(302)을 통해 제2정렬마크모듈(222)을 촬영해 제2정렬마크이미지(312)를 생성하는 카메라부(30); 및
    기준마크이미지(400)를 포함하고,
    카메라부(30)에서 제1정렬마크이미지(311)와 제2정렬마크이미지(312)를 수신하여, 기준마크이미지(400)와 제1정렬마크이미지(311)를 대비하여 좌표계 X축의 차이값과 좌표계 Y축의 차이값을 산출해, 차이값이 기준값을 초과하면 제1정렬마크이미지(311)를 기준마크이미지(400)로 대체하고,
    기준마크이미지(400)와 제2정렬마크이미지(312)를 대비하여 좌표계 X축의 차이값과 좌표계 Y축의 차이값을 산출해, 차이값이 기준값을 초과하면 제2정렬마크이미지(312)를 기준마크이미지(400)로 대체한 후, 블레이드(121)의 제1위치기준마크(1221)와 제2위치기준마크(1222)가 기준마크이미지(400)의 정렬마크(410)와 동일한 선상에 위치하도록 모터모듈(110)을 제어하는 연산부(40)를 포함하는, 로봇 구동 자동 보정 시스템.
  2. 제1항에 있어서,
    제2정렬마크모듈(222)은,
    제1정렬마크모듈(221)에서 일방향으로 이격되어 제1정렬마크모듈(221)과 동일하게 형성되고,
    카메라부(30)는,
    제1카메라모듈(301)과 제2카메라모듈(302)이 설치된 프레임모듈(31)을 포함하는, 로봇 구동 자동 보정 시스템.
  3. 제2항에 있어서,
    카메라부(30)는,
    로봇부의 암모듈(120)에 빛을 조사한 후, 반사되는 빛을 수신하여 암모듈(120)과 거리를 측정하는 거리센서모듈(303)을 더 포함하는, 로봇 구동 자동 보정 시스템.
KR1020210070571A 2021-06-01 2021-06-01 로봇 구동 자동 보정 시스템 KR102548626B1 (ko)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210070571A KR102548626B1 (ko) 2021-06-01 2021-06-01 로봇 구동 자동 보정 시스템

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020210070571A KR102548626B1 (ko) 2021-06-01 2021-06-01 로봇 구동 자동 보정 시스템

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20220162287A KR20220162287A (ko) 2022-12-08
KR102548626B1 true KR102548626B1 (ko) 2023-06-28

Family

ID=84436986

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020210070571A KR102548626B1 (ko) 2021-06-01 2021-06-01 로봇 구동 자동 보정 시스템

Country Status (1)

Country Link
KR (1) KR102548626B1 (ko)

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2743613B2 (ja) 1991-05-10 1998-04-22 神鋼電機株式会社 移動ロボットの制御方法
JP2019153775A (ja) 2018-03-05 2019-09-12 キヤノントッキ株式会社 ロボット、ロボットシステム、デバイス製造装置、デバイス製造方法、ティーチング位置調整方法、プログラム、及び記憶媒体
JP2020196116A (ja) 2019-05-30 2020-12-10 パナソニックｉ−ＰＲＯセンシングソリューションズ株式会社 カメラおよびロボットシステム

Family Cites Families (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR102314092B1 (ko) 2016-01-21 2021-10-19 현대중공업지주 주식회사 로봇의 캘리브레이션 장치 및 그 방법

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2743613B2 (ja) 1991-05-10 1998-04-22 神鋼電機株式会社 移動ロボットの制御方法
JP2019153775A (ja) 2018-03-05 2019-09-12 キヤノントッキ株式会社 ロボット、ロボットシステム、デバイス製造装置、デバイス製造方法、ティーチング位置調整方法、プログラム、及び記憶媒体
JP2020196116A (ja) 2019-05-30 2020-12-10 パナソニックｉ−ＰＲＯセンシングソリューションズ株式会社 カメラおよびロボットシステム

Also Published As

Publication number Publication date
KR20220162287A (ko) 2022-12-08

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US10112301B2 (en) Automatic calibration method for robot systems using a vision sensor
US8255082B2 (en) Method for teaching carrier means, storage medium and substrate processing apparatus
KR100787704B1 (ko) 반송용 로봇 티칭 장치 및 반송용 로봇의 티칭 방법
KR100772843B1 (ko) 웨이퍼 얼라인 장치 및 방법
US11565422B2 (en) Controller of robot apparatus for adjusting position of member supported by robot
JP2011177845A (ja) ロボットのキャリブレーション方法及びロボット用キャリブレーション装置
CN112720458B (zh) 一种在线实时校正机器人工具坐标系的系统及方法
JP6900290B2 (ja) ロボットシステム
KR20090045504A (ko) 웨이퍼 이송 로봇을 구비하는 반도체 제조 설비 및 그의자동 티칭 방법
US11173608B2 (en) Work robot and work position correction method
JP4622912B2 (ja) 認識対象の中心位置を認識する方法および装置
KR20090051418A (ko) 기판 이송 로봇을 구비하는 반도체 제조 설비 및 그의 티칭방법, 그리고 그의 자동 티칭 장치 및 방법
JPH041505A (ja) ワークの３次元位置計測方法とワークの捕捉方法
KR100771496B1 (ko) 레이저 마킹 시스템의 보정 장치 및 방법
KR102548626B1 (ko) 로봇 구동 자동 보정 시스템
KR101792499B1 (ko) 반도체 제조 장치의 티칭 방법
US20230123629A1 (en) 3d computer-vision system with variable spatial resolution
JP2009184069A (ja) ウエハ搬送装置及びその調整方法
US20200171668A1 (en) Automatic positioning method and automatic control device
JP4622913B2 (ja) 認識対象の位置を認識する方法
KR101329699B1 (ko) 기판 처리 설비 및 기판 이송 로봇의 자동 티칭 방법
KR20190101111A (ko) 자동화 장비의 위치 및 자세 교정용 시스템 및 방법
US20230009468A1 (en) System and Method for Automated Movement of a Robotic Arm
KR20190005568A (ko) 센서 퓨전에 의한 웨이퍼 로봇 위치 교정용 시스템
CN114571199A (zh) 一种锁螺丝机及螺丝定位方法

Legal Events

Date Code Title Description
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right