JP7165514B2 - 教示データ作成システムおよび教示データ作成方法 - Google Patents
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Description
図1は、本発明の実施の形態にかかる教示データ作成システム23を含むロボットシステム1の構成を説明するためのブロック図である。図2は、図1に示す水平多関節ロボット3、カセット6およびダミーカセット7を示す平面図である。
図3は、図2に示すダミーカセット7の平面図である。図4は、図3に示すダミーカセット7の正面図である。図5(A)は、図3に示すセンサ31の構成および配置を説明するための図であり、図5(B)は、図3に示すセンサ32の構成および配置を説明するための図である。図6は、図3に示すセンサ33の構成を説明するための図である。図7は、図3に示す検知機構28によって水平方向の位置および高さが測定されるときの基板2の状態を説明するための図である。
ロボット3の教示作業を行ってロボット3の教示データを作成するときには、ダミーカセット7を使用する。すなわち、ロボット3の教示作業を行ってロボット3の教示データを作成するときには、上述のように、1個のカセット6をダミーカセット7に置き換える。ダミーカセット7は、置き換えられる1個のカセット6が設置されていた位置と同じ位置に設置される。
以上説明したように、本形態では、ダミーカセット7は、ハンド11に搭載されて基板載置部24の上側に配置される基板2の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構28を備えている。また、本形態では、ロボット制御部4は、検知機構28の測定結果に基づいて、ダミーカセット7に対するロボット3の教示データである基準教示データを作成している。
上述した形態は、本発明の好適な形態の一例ではあるが、これに限定されるものではなく本発明の要旨を変更しない範囲において種々変形実施が可能である。
3 ロボット(水平多関節ロボット)
4 ロボット制御部(教示データ作成部)
6 カセット
7 ダミーカセット
11 ハンド
23 教示データ作成システム
24 基板載置部
28 検知機構
29 第1検知機構
30 第2検知機構
31 センサ(第1センサ)
32 センサ(第2センサ)
33 センサ(第3センサ)
X 左右方向
Y 前後方向
Claims (5)
- 上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚のガラス基板を収容可能な同形状の複数のカセットに対する前記ガラス基板の搬送を行う水平多関節ロボットの教示データを作成するための教示データ作成システムであって、
前記ガラス基板が載置される複数の基板載置部を有し前記カセットと同形状に形成されるとともに前記水平多関節ロボットの教示作業で使用されるダミーカセットと、前記水平多関節ロボットの教示データを作成する教示データ作成部とを備え、
前記ダミーカセットは、前記水平多関節ロボットのハンドによって前記ダミーカセットに搬入されるとともに前記基板載置部に載置される前に前記基板載置部の上側に配置される前記ガラス基板、および、前記基板載置部から前記ハンドによって持ち上げられて前記基板載置部の上側に配置される前記ガラス基板の少なくともいずれか一方の前記ガラス基板の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構を備え、
前記検知機構は、前記ダミーカセットの上端側と下端側との2箇所に設置され、
前記教示データ作成部には、前記ダミーカセットに対する複数の前記カセットのそれぞれの相対位置のデータである位置データが記憶され、
前記教示データ作成部は、前記検知機構の測定結果に基づいて、前記ダミーカセットに対する前記水平多関節ロボットの教示データである基準教示データを作成するとともに、前記基準教示データと前記位置データとに基づいて、複数の前記カセットのそれぞれに対する前記水平多関節ロボットの教示データを作成することを特徴とする教示データ作成システム。 - 前記検知機構は、前記ガラス基板の水平方向の位置を測定するための第1検知機構を備え、
前記ダミーカセットに対する前記ガラス基板の搬入搬出方向を前後方向とし、上下方向と前後方向とに直交する方向を左右方向とすると、
前記第1検知機構は、前記ガラス基板の左右方向の位置を測定する第1センサと、前記ガラス基板の前後方向の位置を測定する第2センサとを備えることを特徴とする請求項1記載の教示データ作成システム。 - 前記第1検知機構は、前後方向に間隔をあけた状態で配置される2個の前記第1センサを備えることを特徴とする請求項2記載の教示データ作成システム。
- 前記検知機構は、前記ガラス基板の高さを測定するための第2検知機構を備え、
前記第2検知機構は、長方形状に形成される前記ガラス基板の四隅のそれぞれに対応する位置に配置される4個の第3センサを備えることを特徴とする請求項1から3のいずれかに記載の教示データ作成システム。 - 上下方向に間隔をあけた状態で配置される複数枚のガラス基板を収容可能な同形状の複数のカセットに対する前記ガラス基板の搬送を行う水平多関節ロボットの教示データを作成するための教示データ作成方法であって、
前記ガラス基板が載置される複数の基板載置部を有し前記カセットと同形状に形成されるダミーカセットであって、前記水平多関節ロボットのハンドによって前記ダミーカセットに搬入されるとともに前記基板載置部に載置される前に前記基板載置部の上側に配置される前記ガラス基板、および、前記基板載置部から前記ハンドによって持ち上げられて前記基板載置部の上側に配置される前記ガラス基板の少なくともいずれか一方の前記ガラス基板の水平方向の位置および高さを測定するための検知機構を備えるダミーカセットを使用し、
前記検知機構は、前記ダミーカセットの上端側と下端側との2箇所に設置され、
前記検知機構の測定結果に基づいて、前記ダミーカセットに対する前記水平多関節ロボットの教示データである基準教示データを作成するとともに、前記ダミーカセットに対する複数の前記カセットのそれぞれの相対位置のデータである位置データと前記基準教示データとに基づいて、複数の前記カセットのそれぞれに対する前記水平多関節ロボットの教示データを作成することを特徴とする教示データ作成方法。
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