KR101771391B1 - 이송로봇 티칭장치 - Google Patents

이송로봇 티칭장치 Download PDF

Info

Publication number
KR101771391B1
KR101771391B1 KR1020160006167A KR20160006167A KR101771391B1 KR 101771391 B1 KR101771391 B1 KR 101771391B1 KR 1020160006167 A KR1020160006167 A KR 1020160006167A KR 20160006167 A KR20160006167 A KR 20160006167A KR 101771391 B1 KR101771391 B1 KR 101771391B1
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
cassette
height sensor
glass substrate
height
transfer robot
Prior art date
Application number
KR1020160006167A
Other languages
English (en)
Other versions
KR20170087548A (ko
Inventor
이충걸
윤정태
이도연
Original Assignee
로체 시스템즈(주)
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 로체 시스템즈(주) filed Critical 로체 시스템즈(주)
Priority to KR1020160006167A priority Critical patent/KR101771391B1/ko
Priority to CN201710033032.5A priority patent/CN106976725B/zh
Publication of KR20170087548A publication Critical patent/KR20170087548A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR101771391B1 publication Critical patent/KR101771391B1/ko

Links

Images

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • B65G49/064Transporting devices for sheet glass in a horizontal position
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/063Transporting devices for sheet glass
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J11/00Manipulators not otherwise provided for
    • B25J11/005Manipulators for mechanical processing tasks
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B25HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
    • B25JMANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
    • B25J19/00Accessories fitted to manipulators, e.g. for monitoring, for viewing; Safety devices combined with or specially adapted for use in connection with manipulators
    • B25J19/02Sensing devices
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G43/00Control devices, e.g. for safety, warning or fault-correcting
    • B65G43/08Control devices operated by article or material being fed, conveyed or discharged
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G47/00Article or material-handling devices associated with conveyors; Methods employing such devices
    • B65G47/74Feeding, transfer, or discharging devices of particular kinds or types
    • B65G47/90Devices for picking-up and depositing articles or materials
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G49/00Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for
    • B65G49/05Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles
    • B65G49/06Conveying systems characterised by their application for specified purposes not otherwise provided for for fragile or damageable materials or articles for fragile sheets, e.g. glass
    • B65G49/061Lifting, gripping, or carrying means, for one or more sheets forming independent means of transport, e.g. suction cups, transport frames
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02FOPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/13Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
    • G02F1/1303Apparatus specially adapted to the manufacture of LCDs
    • H01L51/56
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2201/00Indexing codes relating to handling devices, e.g. conveyors, characterised by the type of product or load being conveyed or handled
    • B65G2201/02Articles
    • B65G2201/0214Articles of special size, shape or weigh
    • B65G2201/022Flat
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B65CONVEYING; PACKING; STORING; HANDLING THIN OR FILAMENTARY MATERIAL
    • B65GTRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS
    • B65G2203/00Indexing code relating to control or detection of the articles or the load carriers during conveying
    • B65G2203/04Detection means
    • B65G2203/042Sensors

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Robotics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
  • Manipulator (AREA)
  • Manufacturing & Machinery (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)

Abstract

대형 글래스 기판의 경우에도 처짐을 고려하여 티칭하게 되므로, 글래스 기판의 파손을 예방할 수 있는 이송로봇 티칭장치가 개시된다. 이러한 이송로봇 티칭장치는 제1 높이 센서부, 제2 높이 센서부 및 간격 센서부를 포함한다. 상기 제1 높이 센서부는, 카세트의 인입/인출구에 부착되어, 글래스 기판의 이송을 수행하는 로봇 핸드의 핑거부 높이를 측정한다. 상기 제2 높이 센서부는, 상기 카세트의 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어, 로봇 핸드의 핑거부 높이를 측정한다. 상기 간격 센서부는, 상기 카세트의 측부에 부착되어, 로봇 핸드의 핑거부가 상기 카세트의 상기 측부에 평행한지를 센싱한다.

Description

이송로봇 티칭장치{APPARATUS FOR TEACHING A TRANSFERRING ROBOT}
본 발명은 이송로봇 티칭장치에 관한 것으로, 보다 상세히 평판디스플레이 제조에 사용되는 글라스 기판의 이송로봇 티칭장치에 관한 것이다.
플라즈마 디스플레이 패널(PDP), 액정표시 패널(LCD) 및 유기전계 발광표시 장치(OLED)와 같은 대형 평판디스플레이(FPD)들이 각 가정에 보급되어 널리 사용되어지고 있다. 일반적으로, 평판디스플레이는 글래스 기판 위에 여러 전자소자를 형성함으로써 구현된다.
이러한 글래스 기판은 다수개가 적재함에 적재되어 이송되어 지며, 글래스 기판을 카세트에 인입하거나, 카세트로부터 인출하기 위해서 이송로봇이 사용된다. 이송로봇은 로봇 핸드를 이용하여 카세트에 글래스 기판을 인입하거나, 카세트로부터 글래스 기판을 인출하는데, 로봇 핸드의 제어가 정확하지 않은 경우, 글래스 기판이 파손되는 문제가 발생하게 된다.
이러한 문제점을 해결하기 위해서 이송로봇 티칭장치가 사용된다.
대한민국 등록특허 10-0575159, '이송로봇 티칭장치'는 카세트에 적재하도록 이동가능하게 마련된 아암을 구비한 이송로봇의 티칭장치에 관한 것으로서, 카세트에 대응하여 마련된 지그프레임과, 지그프레임에 장착되어 아암이 카세트에 대해 출입하는 방향인 전후방향으로 아암과 거리를 검출하는 적어도 하나의 제1위치센서와, 전후방향의 좌우방향으로 아암과 거리를 검출하는 적어도 하나의 제2위치센서와, 전후 및 좌우방향의 가로방향인 방향으로 상기 아암과 거리를 검출하는 적어도 하나의 제3위치센서를 갖는 티칭지그와, 제1 내지 제3위치센서에서 검출된 신호를 전달받아 이송로봇을 제어하여 아암이 카세트에 제품을 적재하도록 지그프레임에 대한 아암의 기준위치를 설정하는 제어부를 포함하도록 구성되어 있다.
즉, 대한민국 등록특허 10-0575159에서 개시된 이송로봇 티칭장치는 스마트폰과 같은 소형평판디스플레이 장치용 글래스 기판에는 적합하지만 TV와 같은 대형 평판디스플레이 장치용 글래스 기판에는 적합하지 않다.
보다 상세히 설명하면, 일반적으로 상기 이송로봇의 로봇 핸드는 캔틸레버 구조로서, 글래스 기판이 로봇 핸드에 올려지는 경우, 처짐이 발생하게 되는데, 소형 글래스 기판의 경우, 상대적으로 무겁지 않아서, 처짐을 고려하지 않아도 크게 문제되지 않으나, 평판 텔레비전과 같은 대형 글래스 기판의 경우, 매우 무거워서 처짐을 고려하지 않는 경우 문제가 발생된다.
대한민국 등록특허 10-0575159
따라서, 본 발명이 해결하고자 하는 과제는, 대형 글래스 기판에 적용할 수 있는 이송로봇 티칭장치를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명이 해결하고자 하는 다른 과제는 이러한 이송로봇 티칭장치를 제어하는 방법을 제공하는 것이다.
이러한 과제를 해결하기 위한 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 이송로봇 티칭장치는 제1 높이 센서부, 제2 높이 센서부 및 간격 센서부를 포함한다. 상기 제1 높이 센서부는, 카세트의 인입/인출구에 부착되어, 글래스 기판의 이송을 수행하는 로봇 핸드의 핑거부 높이를 측정한다. 상기 제2 높이 센서부는, 상기 카세트의 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어, 로봇 핸드의 핑거부 높이를 측정한다. 상기 간격 센서부는, 상기 카세트의 측부에 부착되어, 로봇 핸드의 핑거부가 카세트의 상기 측부에 평행한지를 센싱한다.
예컨대, 상기 제1 높이 센서부는, 카세트의 제1 측에 부착되는 제1 높이 센서, 및 상기 제1 측에 대향하는 제2 측에 부착되는 제2 높이 센서를 포함하고, 상기 제2 높이 센서부는, 카세트의 제1 측에 부착되는 제3 높이 센서, 및 상기 제2 측에 부착되는 제4 높이 센서를 포함할 수 있다.
한편, 상기 이송로봇 티칭장치는, 제3 높이 센서부 및 제4 높이 센서부를 더 포함할 수 있다. 상기 제3 높이 센서부는, 카세트의 인입/인출구에 부착되어, 글래스 기판의 높이를 측정한다. 상기 제4 높이 센서부는, 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어, 글래스 기판 높이를 측정한다.
이때, 상기 제3 높이 센서부는, 카세트의 제1 측에 부착되는 제5 높이 센서, 및 상기 제1 측에 대향하는 제2 측에 부착되는 제6 높이 센서를 포함하고, 상기 제4 높이 센서부는, 카세트의 제1 측에 부착되는 제7 높이 센서, 및 상기 제2 측에 부착되는 제8 높이 센서를 포함할 수 있다.
예컨대, 상기 간격 센서부는, 상기 카세트의 측부에 이격되서 부착되는 제1 간격 센서 및 제2 간격 센서를 포함할 수 있다.
또한, 이송로봇 티칭장치는, 상기 카세트의 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어 글래스 기판의 후면과의 거리를 측정하기 위한 제3 간격 센서를 더 포함할 수 있다.
바람직하게, 이송로봇 티칭장치는, 센서들의 측정결과를 표시하는 디스플레이부를 더 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예에 의한 이송로봇 티칭장치에 의하면, 대형 글래스 기판의 경우에도 처짐을 고려하여 티칭하게 되므로, 글래스 기판의 파손을 예방할 수 있다.
보다 상세히, 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트의 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 제1 높이 센서부가 로봇 핸드의 핑거부 단부의 높이를 측정하여, 카세트에 진입시 글래스 기판의 단부를 회피할 수 있게 되므로, 글래스 기판의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트의 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 제1 높이 센서부와 제2 높이 센서부가 로봇 핸드의 핑거부의 들림을 측정하여, 로봇 핸드가 글래스 기판을 픽업한 경우 평행을 유지할 수 있도록 함으로써, 핑거부가 처짐으로 인해 글래스 기판이 흘러내려 깨짐을 방지할 수 있다.
또한, 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트에 글래스 기판을 적재하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 글래스 기판의 진입초기 제3 높이 센서부가 글래스의 높이를 측정함으로써 지지핀 사이의 공간으로 안정적으로 삽입할 수 있도록 하여, 글래스 기판과 지지핀의 접촉으로 인한 글래스 기판의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트에 글래스 기판을 적재하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 글래스 기판의 진입과정에서, 제3 높이 센서부 및 제4 높이 센서부가 글래스의 높이를 측정함으로써 지지핀 사이의 공간으로 안정적으로 삽입할 수 있도록 하여, 글래스 기판과 지지핀의 접촉으로 인한 글래스 기판의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 간격 센서부는, 로봇 핸드와 카세트와의 평행을 측정함으로써, 카세트에 잘못 진입된 로봇 핸드가 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시 글래스 기판과 카세트의 접촉으로 인한 글래스 기판의 파손을 방지할 수 있다.
또한, 제3 간격 센서는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트에 글래스 기판을 적재하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 글래스 기판이 카세트의 후단부까지 적절하게 삽입되었는지를 판단하여 안정적인 적재를 구현할 수 있다.
도 1a, 1b 및 1c는 각각 본 발명에 의한 이송로봇 티칭장치가 구비된 카세트를 도시하는 사시도, 정면도, 측면도이다.
도 2는 도 1a에서 도시된 A영역의 확대도이다.
도 3은 도 1a에서 도시된 B영역의 확대도이다.
도 4는 도 1a에서 도시된 C영역의 확대도이다.
도 5는 도 1a의 상면도로서, 본 발명에 의한 이송로봇 티칭장치의 각 센서들이 형성된 위치를 도시한다.
도 6a는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트의 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 카세트에 진입 전 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 6b는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트의 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 카세트에 진입 후 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 7a는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트에 글래스 기판을 배치하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 카세트에 진입 전 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 7b는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트에 글래스 기판을 배치하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 카세트에 진입 후 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 8은 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트의 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 카세트에 잘못 진입 후 동작을 개략적으로 도시한 상면도이다.
도 9는 본 발명에 의한 이송로봇 티칭장치의 제어 방법을 도시한 순서도이다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는 바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나, 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다. 각 도면을 설명타측서 유사한 참조 부호를 유사한 구성 요소에 대해 사용하였다. 첨부된 도면에 있어서, 구조물들의 치수는 본 발명의 명확성을 기하기 위하여 실제보다 과장하여 도시한 것일 수 있다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성 요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성 요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위를 벗어나지 않으면서 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예들을 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성 요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다. 또한, A와 B가'연결된다', '결합된다'라는 의미는 A와 B가 직접적으로 연결되거나 결합하는 것 이외에 다른 구성요소 C가 A와 B 사이에 포함되어 A와 B가 연결되거나 결합되는 것을 포함하는 것이다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미를 가지고 있다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥 상 가지는 의미와 일치하는 의미를 가지는 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 바람직한 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다.
도 1a, 1b 및 1c는 각각 본 발명에 의한 이송로봇 티칭장치가 구비된 카세트를 도시하는 사시도, 정면도, 측면도이고, 도 2는 도 1a에서 도시된 A영역의 확대도이고, 도 3은 도 1a에서 도시된 B영역의 확대도이며, 도 4는 도 1a에서 도시된 C영역의 확대도이다. 도 5는 도 1a의 상면도로서, 본 발명에 의한 이송로봇 티칭장치의 각 센서들이 형성된 위치를 도시한다.
도 1a 내지 도 5를 참조하면, 본 발명의 예시적인 일 실시예에 의한 이송로봇 티칭장치는 제1 높이 센서부(110), 제2 높이 센서부(120 및 간격 센서부(150)를 포함한다. 또한, 상기 이송로봇 티칭장치는, 제3 높이 센서부(130) 및 제4 높이 센서부(140)를 더 포함할 수 있다. 바람직하게, 이송로봇 티칭장치는, 센서들의 측정결과를 표시하는 디스플레이부(160)를 더 포함할 수 있다.
상기 제1 높이 센서부(110)는, 카세트(100)의 인입/인출구에 부착되어, 글래스 기판의 이송을 수행하는 로봇 핸드(200)의 핑거부(220) 높이를 측정한다. 여기서, 카세트(100)의 인입/인출구는 글래스 기판이 인입 또는 인출되는 부분으로서, 예컨대 상기 카세트(100)의 앞부분 수 있다. 예컨대, 상기 제1 높이 센서부(110)는, 카세트의 제1 측에 부착되는 제1 높이 센서(111), 및 상기 제1 측에 대향하는 제2 측에 부착되는 제2 높이 센서(112)를 포함할 수 있다. 예컨대, 상기 디스플레이부(160)가 구비된 정면에서 볼 때, 상기 제1 측은 좌측편이고, 상기 제2 측은 우측편일 수 있다. 이때, 상기 제1 높이 센서(111)는 로봇 핸드(200)의 맨 좌측편 핑거부(220) 상부에 배치되도록 부착되고, 상기 제 2 높이 센서(112)는 로봇 핸드(200)의 맨 우측편 핑거부(220) 상부에 배치되도록 부착될 수 있다.
상기 제2 높이 센서부(120)는, 상기 카세트의 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어, 로봇 핸드(200)의 핑거부(220) 높이를 측정한다. 여기서, 카세트(100)의 인입/인출구의 반대편은 예컨대, 상기 카세트(100)의 뒷부분일 수 있다. 예컨대, 상기 제2 높이 센서부(120)는, 카세트의 제1 측에 부착되는 제3 높이 센서(121), 및 상기 제2 측에 부착되는 제4 높이 센서(122)를 포함할 수 있다. 상기 제3 높이 센서(121)는 로봇 핸드(200)의 맨 좌측편 핑거부(220) 상부에 배치되도록 부착되고, 상기 제4 높이 센서(122)는 로봇 핸드(200)의 맨 우측편 핑거부(220) 상부에 배치되도록 부착될 수 있다.
상기 제3 높이 센서부(130)는, 카세트의 인입/인출구에 부착되어, 글래스 기판의 높이를 측정한다. 예컨대, 상기 제3 높이 센서부(130)는, 카세트(100)의 제1 측에 부착되는 제5 높이 센서(131), 및 상기 제1 측에 대향하는 제2 측에 부착되는 제6 높이 센서(132)를 포함할 수 있다. 상기 제5 높이 센서(131) 및 상기 제6 높이 센서(132)는, 글래스 기판의 높이를 측정하므로, 로봇 핸드(200)의 핑거부(220) 외측 또는 핑거부(220) 사이의 상부에 배치되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 예컨대, 상기 제5 높이 센서(131)는 상기 제1 높이 센서(111) 좌측편에 배치되고, 상기 제6 높이 센서(132)는 상기 제2 높이 센서(112)의 우측편에 배치된다.
상기 제4 높이 센서부(140)는, 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어, 글래스 기판 높이를 측정한다. 예컨대, 상기 제4 높이 센서부(140)는, 카세트의 제1 측에 부착되는 제7 높이 센서(141), 및 상기 제2 측에 부착되는 제8 높이 센서(142)를 포함할 수 있다. 상기 제7 높이 센서(141) 및 상기 제8 높이 센서(142)는, 글래스 기판의 높이를 측정하므로, 로봇 핸드(200)의 핑거부(220) 외측 또는 핑거부(220) 사이의 상부에 배치되는 것이 바람직하다. 본 실시예에서는 예컨대, 상기 제7 높이 센서(141)는 상기 제3 높이 센서(121) 좌측편에 배치되고, 상기 제8 높이 센서(142)는 상기 제4 높이 센서(122)의 우측편에 배치된다.
상기 제1 내지 4 높이 센서부(110, 120, 130, 140)의 동작은 도 6a 내지 도 7b를 참조로 보다 상세히 설명될 것이다.
상기 간격 센서부(150)는, 상기 카세트의 측부에 부착되어 로봇 핸드(200)의 핑거부(220)가 카세트(100)에 평행한지를 센싱한다. 예컨대, 상기 간격 센서부(150)는, 상기 카세트(100)의 측부에 이격되서 부착되는 제1 간격 센서(151) 및 제2 간격 센서(152)를 포함할 수 있다. 이를 통해서, 상기 제1 간격 센서(151) 및 상기 제2 간격 센서(152)가 로봇 핸드(200)의 핑커부(220)와의 간격을 측정함으로써, 로봇 핸드(200)의 핑거부(220)가 카세트(100)에 평행한지 검사할 수 있다. 즉, 상기 제1 간격 센서(151)에서 측정된 핑거부(220)와의 간격과, 상기 제2 간격 센서(152)에서 측정된 핑거부(220)와의 간격이 동일한 경우, 카세트(100)와 핑거부(200)가 평행한 것으로 판단하고, 간격이 상이한 경우, 카세트(100)와 핑거부(200)가 평행하지 아니한 것으로 판단된다. 이러한 판단은 도 8을 참조로 보다 상세히 설명될 것이다.
또한, 이송로봇 티칭장치는, 상기 카세트(100)의 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어 글래스 기판의 후면과의 거리를 측정하기 위한 제3 간격 센서(153)를 더 포함할 수 있다.
이하, 도면을 참조로 각 센서들의 기능을 보다 상세히 설명한다.
도 6a는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트의 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 카세트에 진입 전 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 6a를 참조하면, 카세트의 지지핀(SP) 상부에 배치된 글래스 기판(G)를 픽업하기 위하여 로봇 핸드의 핑거부(220)가 카세트에 진입시 제1 높이 센서부(110)는 핑거부(220)의 단부의 높이(d1)를 측정한다.
이와 같이, 이송로봇의 로봇 핸드(200)가 카세트의 글래스 기판(G)을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 제1 높이 센서부(110)가 로봇 핸드의 핑거부(220) 단부의 높이를 측정하여, 카세트에 진입시 글래스 기판(G)의 단부를 회피할 수 있게 되므로, 글래스 기판(G)의 파손을 방지할 수 있다.
도 6b는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트의 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 카세트에 진입 후 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 5 및 도 6b를 참조하면, 이송 로봇의 로봇 핸드(200)는 팜부(210) 및 상기 팜부(210)와 연결된 다수의 핑거부(220)로 구성된다. 그런데, 다수의 핑거부(220)는 상기 팜부(210)와 결합될 때, 상기 다수의 핑거부(220)의 단부가 들리도록 결합된다. 따라서, 핑거부(220)에 글래스 기판이 올려진 경우, 핑거부(220)의 단부에 처짐이 발생되어 수평을 유지할 수 있게 된다.
이와 같이, 이송로봇의 로봇 핸드(200)가 카세트의 글래스 기판(G)을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 제1 높이 센서부(110)와 제2 높이 센서부(120)가 로봇 핸드(200)의 핑거부(220)의 높이(d2, d3)를 각각 측정하여, 핑거부(220)의 들림을 측정하고, 로봇 핸드가 글래스 기판(G)을 픽업한 경우 평행을 유지할 수 있도록 함으로써, 핑거부(220)가 처짐으로 인해 글래스 기판(G)이 흘러내려 깨짐을 방지할 수 있다.
도 7a는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트에 글래스 기판을 배치하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 카세트에 진입 전 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 5 및 도 7a를 참조하면, 이송로봇의 로봇 핸드(200)가 카세트에 글래스 기판(G)을 적재하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 글래스 기판(G)의 진입 초기 제3 높이 센서부(130)가 글래스(G)의 높이(d4)를 측정함으로써 지지핀(SP) 사이의 공간으로 안정적으로 삽입할 수 있도록 하여, 글래스 기판(G)과 지지핀(SP)의 접촉으로 인한 글래스 기판(G)의 파손을 방지할 수 있다.
도 7b는 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트에 글래스 기판을 배치하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 카세트에 진입 후 동작을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 5 및 도 7b를 참조하면, 이송로봇의 로봇 핸드(200)가 카세트에 글래스 기판(G)을 적재하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 글래스 기판(G)의 진입과정에서, 제3 높이 센서부(130) 및 제4 높이 센서부(140)가 글래스 기판(G)의 높이(d5, d6)를 측정함으로써 지지핀(SP) 사이의 공간으로 안정적으로 삽입할 수 있도록 하여, 글래스 기판(G)과 지지핀(SP)의 접촉으로 인한 글래스 기판(G)의 파손을 방지할 수 있다.
즉, 글래스 기판(G)이 언혀진 로봇 핸드(200)의 핑거부(220)가 수평이 유지되는 경우에는, 도 7a에서와 같이, 핑거부(220)가 카세트에 진입시에만 높이(d4)를 측정하면 글래스 기판(G)을 안정적으로 카세트에 배치할 수 있으나, 글래스 기판(G)이 언혀진 로봇 핸드(200)의 핑거부(220)가 수평이 유지되지 못하여, 처짐이 있는 경우, 카세트에 진입과정에서 글래스 기판(G)이 지지핀(SP)과 접촉될 수 있다.
따라서, 제3 높이 센서부(130) 및 제4 높이 센서부(140)는 진입과정에서 글래스 기판의 높이(d5, d6)을 측정하여, 이러한 글래스 기판(G)와 지지핀(SP)의 접촉문제를 해소할 수 있다.
또한, 제3 간격 센서(153)는 이송로봇의 로봇 핸드(200)가 카세트에 글래스 기판(G)을 적재하는 글래스 풋 모션(glass put motion) 동작 수행시, 글래스 기판(G)이 카세트의 후단부까지 적절하게 삽입되었는지를 판단하여 안정적인 적재를 구현할 수 있다.
도 8은 이송로봇의 로봇 핸드가 카세트의 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시, 카세트에 잘못 진입 후 동작을 개략적으로 도시한 상면도이다.
도 5 및 도 8을 참조하면, 로봇 핸드(200)가 카세트에 수평으로 진입하지 못한 상태로, 진입하여 글래스 기판(G)을 픽업한 후, 다시 화살표 방향으로 움직이는 경우, 글래스 기판(G)이 카세트와 접촉되어 파손될 수 있다.
이러한 문제점을 해소하기 위해서, 간격 센서부(150)의 제1 간격 센서(151) 및 제2 간격 센서(152)는, 로봇 핸드(200)와 카세트의 평행을 측정함으로써, 카세트에 잘못 진입된 로봇 핸드(200)가 글래스 기판을 픽업하는 글래스 겟 모션(glass get motion) 동작 수행시 글래스 기판(G)과 카세트의 접촉으로 인한 글래스 기판(G)의 파손을 방지할 수 있다.
도 9는 본 발명에 의한 이송로봇 티칭장치의 제어 방법을 도시한 순서도이다.
도 5 및 9를 참조하면, 본 발명에 의한 이송로봇 티칭장치를 구동하기 위해서 전원을 투입하면(단계 S110), 제어부가 구동된다(단계 S120).
상기 제어부는 상기 제1 내지 제4 높이 센서부(110, 120, 130, 140)의 초기값을 확인한다(단계 S130).
초기값이 표시되었는지를 확인하고(단계 S140), 표시되지 않은 경우, 상/하한 값을 벗어났는지 확인하고(단계 S150), 벗어나지 않은 경우, 통신 케이블에 이상없는지를 체크한다(단계 S160).
통신 케이블에 이상이 있는 경우, 케이블을 교체한다(단계 S170). 단계 S150에서 상/하한 값을 벗어난 경우, 센서의 위치들을 재조정한다(단계 S180). 또한 단계 S160에서 통신 케이블에 이상이 없는 경우, 센서들에 이상이 생긴 것으로 판단하고, 센서를 교체한다(단계 S190).
단계 S140에서 초기값이 정상적으로 표시된 경우에는 설정치(예컨대 ±0.5mm) 이상 틀어졌는지를 판단한다(단계 S210). 설정치 이상 틀어진 경우 다시 단계 S180으로 진행하고, 설정치 이상 틀어지지 않은 경우, 제 1 내지 제 3 간격 센서들(151, 152, 153)을 체크한다.(단계 S220).
정상적으로 수치가 변화되지 않는 경우, 다시 단계 S160으로 진행하고, 정상적인 경우, 정상임을 디스플레이부에 표시한다(단계 S240).
본 발명의 실시예에 의한 이송로봇 티칭장치에 의하면, 대형 글래스 기판의 경우에도 처짐을 고려하여 티칭하게 되므로, 글래스 기판의 파손을 예방할 수 있다.
앞서 설명한 본 발명의 상세한 설명에서는 본 발명의 바람직한 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술분야의 숙련된 당업자 또는 해당 기술분야에 통상의 지식을 갖는 자라면 후술될 특허청구범위에 기재된 본 발명의 사상 및 기술 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100: 카세트
110: 제1 높이 센서부
111: 제1 높이 센서 112: 제2 높이 센서
120: 제2 높이 센서부
121: 제3 높이 센서 122: 제4 높이 센서
130: 제3 높이 센서부
131: 제5 높이 센서 132: 제6 높이 센서
140: 제4 높이 센서부
141: 제7 높이 센서 142: 제8 높이 센서
150: 간격 센서부
151: 제1 간격 센서 152: 제2 간격 센서
153: 제3 간격 센서
160: 디스플레이부
200: 로봇 핸드
210: 팜부 220: 핑거부
G: 글래스 기판 SP: 서포트 핀

Claims (7)

  1. 카세트의 인입/인출구에 부착되어, 글래스 기판의 이송을 수행하는 로봇 핸드의 핑거부 높이를 측정하는 제1 높이 센서부;
    상기 카세트의 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어, 로봇 핸드의 핑거부 높이를 측정하는 제2 높이 센서부;
    상기 제1 높이 센서부보다 외측의 카세트의 인입/인출구에 부착되어, 글래스 기판의 높이를 측정하는 제3 높이 센서부; 및
    상기 제2 높이 센서부보다 외측의 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어, 글래스 기판 높이를 측정하는 제4 높이 센서부; 및
    상기 카세트의 측부에 부착되어, 로봇 핸드의 핑거부가 상기 카세트의 상기 측부에 평행한지를 센싱하는 간격 센서부;
    를 포함하고,
    상기 제3 높이 센서부는,
    카세트의 제1 측에 부착되는 제5 높이 센서; 및
    상기 제1 측에 대향하는 제2 측에 부착되는 제6 높이 센서; 를 포함하고,
    상기 제4 높이 센서부는,
    카세트의 제1 측에 부착되는 제7 높이 센서; 및
    상기 제2 측에 부착되는 제8 높이 센서; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇 티칭장치.
  2. 제1 항에 있어서,
    상기 제1 높이 센서부는,
    카세트의 제1 측에 부착되는 제1 높이 센서; 및
    상기 제1 측에 대향하는 제2 측에 부착되는 제2 높이 센서; 를 포함하고,
    상기 제2 높이 센서부는,
    카세트의 제1 측에 부착되는 제3 높이 센서; 및
    상기 제2 측에 부착되는 제4 높이 센서; 를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇 티칭장치.
  3. 삭제
  4. 삭제
  5. 제1 항에 있어서,
    상기 간격 센서부는,
    상기 카세트의 측부에 이격되서 부착되는 제1 간격 센서 및 제2 간격 센서를 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇 티칭장치.
  6. 제1 항에 있어서,
    상기 카세트의 상기 인입/인출구의 반대편에 부착되어 글래스 기판의 후면과의 거리를 측정하기 위한 제3 간격 센서;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇 티칭장치.
  7. 제1 항, 제2 항, 제5 항 및 제6 항 중 어느 한 항에 있어서,
    센서들의 측정결과를 표시하는 디스플레이부;
    를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 이송로봇 티칭장치.
KR1020160006167A 2016-01-19 2016-01-19 이송로봇 티칭장치 KR101771391B1 (ko)

Priority Applications (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160006167A KR101771391B1 (ko) 2016-01-19 2016-01-19 이송로봇 티칭장치
CN201710033032.5A CN106976725B (zh) 2016-01-19 2017-01-17 自动移送机械教导装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
KR1020160006167A KR101771391B1 (ko) 2016-01-19 2016-01-19 이송로봇 티칭장치

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20170087548A KR20170087548A (ko) 2017-07-31
KR101771391B1 true KR101771391B1 (ko) 2017-08-25

Family

ID=59340838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020160006167A KR101771391B1 (ko) 2016-01-19 2016-01-19 이송로봇 티칭장치

Country Status (2)

Country Link
KR (1) KR101771391B1 (ko)
CN (1) CN106976725B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230143004A (ko) 2022-04-04 2023-10-11 두산로보틱스 주식회사 운동 센서가 마련된 단말기를 이용한 로봇 티칭 장치 및 방법

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7165514B2 (ja) * 2018-06-14 2022-11-04 日本電産サンキョー株式会社 教示データ作成システムおよび教示データ作成方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100322921B1 (ko) * 1997-10-17 2002-02-09 기시모토 마사도시 웨이퍼 반송 장치
KR101215746B1 (ko) * 2007-03-23 2012-12-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 이동 탑재 장치, 기판 이동 탑재 방법, 및 기억 매체

Family Cites Families (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6245036A (ja) * 1985-08-23 1987-02-27 Canon Inc ウエハ処理装置
JPH11179692A (ja) * 1997-12-16 1999-07-06 Shin Meiwa Ind Co Ltd 産業用ロボットのハンド異常検出装置及びハンド異常検出方法
KR100885846B1 (ko) * 2002-11-16 2009-02-27 엘지디스플레이 주식회사 액정표시패널의 기판수납장치 및 이를 이용한 로봇팔움직임 보정방법
KR101349606B1 (ko) * 2012-03-19 2014-01-10 로체 시스템즈(주) 유리 기판 반송 장치

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100322921B1 (ko) * 1997-10-17 2002-02-09 기시모토 마사도시 웨이퍼 반송 장치
KR101215746B1 (ko) * 2007-03-23 2012-12-26 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 기판 이동 탑재 장치, 기판 이동 탑재 방법, 및 기억 매체

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20230143004A (ko) 2022-04-04 2023-10-11 두산로보틱스 주식회사 운동 센서가 마련된 단말기를 이용한 로봇 티칭 장치 및 방법

Also Published As

Publication number Publication date
CN106976725B (zh) 2019-03-26
KR20170087548A (ko) 2017-07-31
CN106976725A (zh) 2017-07-25

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR101771391B1 (ko) 이송로봇 티칭장치
KR20170118987A (ko) 이송 로봇의 오토 티칭 시스템
US20150324043A1 (en) Display device with touch panel
KR101725406B1 (ko) 이송 로봇의 오토 티칭 시스템
US20160124253A1 (en) Automated Detection Method
CN209872223U (zh) 升降装置及玻璃基板检测系统
CN107207107B (zh) 利用弹性薄片的薄膜附着器用托盘式工艺对应单元
KR20190011015A (ko) Oht 레일 처짐 감지 장치
KR20080046380A (ko) 쉘프 콘트롤 시스템 및 이를 포함하는 스토커
KR101374670B1 (ko) 카세트 이송 장치
KR102568309B1 (ko) 카세트 반송 시스템 및 카세트 위치 자동 티칭 방법
CN109693941B (zh) 液晶面板的传输设备
JP2006185960A (ja) 基板処理装置及びその搬送位置合わせ方法
KR101979075B1 (ko) 클린룸용 스택커
US20090156082A1 (en) Apparatus for Transferring Substrate
KR101691879B1 (ko) 기판 지지 장치
JP2010052866A (ja) ガラス基板移載システム
KR102365455B1 (ko) 인쇄회로기판 폴딩 장치
KR20180014138A (ko) 트레이 이송 장치 및 그를 이용한 트레이의 이송 방법
CN205771984U (zh) 一种支撑装置及中转系统
TWI401134B (zh) 調校治具和應用其之校正方法
KR101048709B1 (ko) 스토커의 제어시스템
KR100585023B1 (ko) 기판 수납 장치
KR100977222B1 (ko) 카세트 검사 방법
KR20150130688A (ko) 스토커 티칭 방법 및 그 시스템

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
AMND Amendment
E601 Decision to refuse application
AMND Amendment
X701 Decision to grant (after re-examination)
GRNT Written decision to grant