KR100585023B1 - 기판 수납 장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 수납 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 대형 기판을 다수 장 수납할 수 있고, 적재된 기판의 중간 부분이 자체 하중에 의하여 처지는 현상이 발생하지 않는 기판 수납 장치에 관한 것이다.

본 발명은, 반출입장치에 의해 이송 가능한 기판을 수납할 수 있는 기판 수납부를 갖는 기판 수납장치에 있어서, 상기 기판수납부 내에 상기 기판의 하측면에 소정의 이격 간격을 두고 상기 기판의 판면방향을 따라 배치되는 지지대와; 상기 지지대와 상기 기판 사이에 개재되어 상기 기판을 접촉지지하는 복수의 지지부재를 포함하며, 상기 지지부재는 상기 지지대와 상기 기판 사이에서 상기 반출입장치가 삽입가능한 이격 간격을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 장치를 제공한다.

평판표시소자, 평판표시소자 제조장치, 기판 수납 장치, 보강부재

Description

기판 수납 장치{Apparatus for receiving substrate}

도 1은 종래의 기판 수납 장치의 구조를 설명하는 사시도이다.

도 2는 종래의 기판 수납 장치에 기판을 적재한 경우의 모습을 나타내는 부분 단면도이다.

도 3은 본 발명에 따른 기판 수납 장치의 구조를 나타내는 부분 사시도이다.

도 4는 본 발명에 따른 지지대 및 지지부재의 구조를 나타내는 부분 사시도이다.

도 5는 본 발명에 따른 기판 수납 장치에 기판을 적재한 경우의 모습을 나타내는 부분 단면도이다.

도 6은 본 발명에 따른 지지대에 보강부재를 구비시킨 모습을 나타내는 저면사시도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

10 : 종래의 기판 수납 장치 20 : 기판

100 : 본 발명에 따른 기판 수납 장치 110 : 하부 프레임

120 : 상부 프레임 130 : 측벽 프레임

140 : 지지대 150 : 지지부재

160 : 기판 반출입 장치 170 : 보강부재

본 발명은 기판 수납 장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 대형 기판을 다수 장 수납할 수 있고, 적재된 기판의 중간 부분이 자체 하중에 의하여 처지는 현상이 발생하지 않는 기판 수납 장치에 관한 것이다.

최근 컴퓨터, 텔레비젼 등 전자기기의 수요가 폭발적으로 증가함에 따라 이러한 전자기기에 필수적으로 사용되는 평판표시소자에 대한 수요도 증가하고 있다. 이러한 평판표시소자(Flat Panel Display)로는 LCD(Liquid Crystal Display), PDP(Plasma Display Panel), FED(Field Emission Display) 등이 있으며, 평판표시소자의 제조에 있어서는 그 제조공정상의 효율성을 위하여 취급되는 기판의 크기가 점진적으로 대형화되는 추세이다.

특히, 최근 생산라인이 가설되고 있는 6세대 이후에는 취급되는 기판의 크기가 최소 2200×2300 mm 정도까지 초대형화되는 실정이다.

이러한 대형 기판을 제조하는 평판표시소자 제조에 있어서는 필수적으로 도 1에 도시된 바와 같이, 대형 기판을 적재하여 보관할 수 있는 기판 수납 장치(10)가 요구된다. 즉, 기판에 특정의 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 기판을 반입하고, 평판표시소자 제조장치에 의하여 처리된 기판을 반출하는 경우, 반입될 새로운 기판과 반출된 기판을 임시로 보관할 수 있는 기판 수납 장치(일명 카세트라고 함, 10)가 평판표시소자 제조장치의 외부에 위치되어 있어서, 새로운 기판을 차례대로 평판표시소자 제조장치에 반입시키고, 처리된 기판을 차례대로 다시 기판 수납 장치(10)에 적재한다.

상술한 바와 같이 기판 수납 장치(10)를 사용하는 이유는 기판 하나 하나를 운반하는 경우 기판 운반에 매우 시간이 많이 소요되고, 또한 운반 과정에서 기판이 파손될 가능성이 많이 있기 때문에 기판 수납 장치에 다수 장을 적재시킨 후 기판 수납 장치(10) 자체를 운반하는 것이다.

여기서, 종래의 기판 수납장치(10)를 간단하게 살펴본다. 종래의 기판 수납 장치(10)는 도 1에 도시된 바와 같이, 기판 수납 장치(10)를 기판 수납 장치 재치대(도면에 미도시)에 재치하는 경우 재치대에 재치되는 하부 프레임(2), 하부 프레임(2) 상부에 소정의 이격 공간을 두고 하부 프레임(2)과 상호 대응하도록 마련되는 상부 프레임(4), 하부 프레임(2)과 상부 프레임(4)의 양 측단을 연결하는 공간에 개재되며 하부 프레임(2)과 상부 프레임(4)을 연결 고정시키는 막대 형상의 측벽 프레임(6), 측벽 프레임(6)의 길이 방향을 따라 내측 수평방향으로 상호 대응 하도록 소정 길이 돌출 형성되는 측벽 지지바(7), 하부 프레임(2)과 상부 프레임(4)의 후측단을 연결하는 공간에 개재되며, 하부 프레임(2)과 상부 프레임(4)을 연결 고정시키는 막대 형상의 후방 프레임(8), 후방 프레임(8)의 길이 방향을 따라 내측 수평 방향으로 소정 길이 돌출 형성되는 중앙 지지바(9)를 포함한다.

상술한 종래의 기판 수납 장치(10)에 기판(20)을 수납하게 되면, 도 2에 도시된 바와 같이, 측벽 지지바(7)가 기판(20)의 양측 단부를 지지하게 된다. 이때 측벽 지지바(7)가 기판(20)의 길이 방향 전멱적을 접촉하여 지지하지 않고 양측 단부만을 지지하는 이유는 다음과 같다. 기판 수납 장치(10)에 수납되어 있는 기판(20)을 다른 곳으로 운반하거나, 다른 곳에 적재되어 있는 기판을 기판 수납 장치(10)로 이동시켜 수납시키는 로봇암이 기판 수납 장치(10) 내로 삽입되어 기판(20)을 반입 또는 반출하여야 하는데, 측벽 지지바(7)가 기판의 길이 방향 전면적을 지지할 경우 측벽 지지바(7)에 의하여 로봇암의 진출입이 막히므로 측벽 지지바(7)의 길이를 짧게 하여 로봇암의 진출입 공간을 확보하기 위한 것이다.

그러나 종래의 기판 수납 장치(10)의 경우에는, 기판(20)이 적재될 때 기판(20)의 양측 단부만이 측벽 지지바(7)에 의하여 지지되므로 기판의 중앙 부분이 자체 하중에 의하여 처지게 되는데, 중앙 지지바(9)가 이를 보정해 주는 것이다.

그럼에도 불구하고, 적재되는 기판이 대형 기판이면 도 2에 도시된 바와 같이 기판 수납 장치(10)에 의하여 지지되지 않는 기판의 중간 부분은 자체 하중에 의하여 하부로 처지는 문제점이 여전히 남아 있다.

상술한 바와 같이, 적재되는 기판이 자체 하중에 의하여 하부로 처질 경우 기판의 반출입을 위해 로봇암이 기판 사이로 진입하면서 기판의 처진 부분을 건드려 기판이 파손될 위험성이 있다.

본 발명의 목적은 대형 기판을 중간 부분이 처지지 않도록 수납할 수 있는 기판 수납 장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 반출입장치에 의해 이송 가능한 기판을 수납할 수 있는 기판 수납부를 갖는 기판 수납장치에 있어서, 상기 기판수납부 내에 상기 기판의 하측면에 소정의 이격 간격을 두고 상기 기판의 판면방향을 따라 배치되는 지지대와; 상기 지지대와 상기 기판 사이에 개재되어 상기 기판을 접촉지지하는 복수의 지지부재를 포함하며, 상기 지지부재는 상기 지지대와 상기 기판 사이에서 상기 반출입장치가 삽입가능한 이격 간격을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 장치를 제공한다.

또한 본 발명에 따른 기판 수납 장치는, 지지부재 상단에 기판을 보호하는 보호부가 더 구비되어 있어서 지지부재에 기판을 적재하는 경우 기판에 손상을 주지않는다.

또한 본 발명에 따른 기판 수납 장치에는, 지지대 일측에 지지대와 나란하게 보강부재가 더 접촉 구비되어, 지지대의 강도를 보강하여 지지대가 자체 하중에 의하여 처지는 현상을 원천적으로 방지한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구체적인 실시예를 상세하게 설명한다.

본 실시예에 따른 기판 수납 장치(100)는 도 3에 도시된 바와 같이, 다수 장의 기판을 수납할 수 있는 구조를 가진다.

즉, 본 실시예에 따른 기판 수납 장치(100)는, 기판 수납 장치(100)를 소정의 기판 수납 장치 지지대에 지지하는 경우 기판 수납 장치 지지대와 접촉하고 기판 수납 장치(100)를 지지하는 하부 프레임(110), 하부 프레임(110)과 소정 간격 이격되도록 구비되며, 하부 프레임(110)과 호응되도록 구비되는 상부 프레임(120), 하부 프레임(110)과 상부 프레임(120)의 양 측단을 연결하는 다수개의 측벽 프레임(130), 각 측벽 프레임(130)에 다수개가 구비되되, 각 측벽 프레임(130)에 구비되는 높이는 동일한 다수개의 지지대(140), 지지대(140)에 소정 간격을 두고 구비되되, 그 높이는 기판 반출입 장치의 두께보다 높은 지지부재(150)를 포함한다.

따라서 각 측벽 프레임(130)에 형성된 지지대(140)들은 각 측벽 프레임(130) 상에서 동일한 높이에 형성된 것들을 연결하는 경우 하나의 평면을 이루게 되고, 그 평면 상부에 기판이 적재되는 것이다. 즉, 같은 높이에 형성된 지지대를 연결하여 형성되는 가상의 평면은 기판 수납 장치(100)에 적재되는 기판과 평행하게 되는 것이다.

그리고 측벽 프레임(130)이 형성됨에 있어서 각 측벽 프레임(130) 사이의 간격은 그 사이에서 기판이 자체 하중에 의하여 처지지 않도록 좁게 형성되는 것이 바람직하다.

또한 하나의 측벽 프레임(130)에 구비되는 각 지지대(140) 간의 간격은 지지 부재(150)의 높이와 기판의 두께를 더한 길이보다 더 크게 구비되어야 한다.

지지대(140)는 도 4에 도시된 바와 같이, 양 측벽 프레임(130)의 소정 부분에 결합되어 구비되는데, 지지대(140)의 양 단에 결합공(142)를 형성시키고, 그 결합공(142) 내부는 암나사 구조를 가지도록 하고, 측벽 프레임(130)에는 상술한 결합공(142)와 동일한 지름을 가지는 제1 관통공(132)을 형성시키고, 나사(134)를 제1 관통공(132)과 결합공(142)을 통과하여 결합시킴으로써 지지대(140)가 측벽 프레임(130)에 결합된다.

그리고 지지대(140)의 상부면에는 도 3에 도시된 바와 같이, 지지부재(150)가 형성된다. 지지부재(150)는 각 지지대(140) 마다 소정 간격으로 다수개가 형성되며, 각 지지부재(150)는 동일한 길이를 가진다. 각 지지부재(150)의 길이는 지지부재(150) 사이를 통과하는 기판 반출입 장치(160)의 두께보다 길게 형성되어, 기판 반출입 장치(160)가 지지부재(150) 상부에 적재된 기판을 건드리지 않고, 출입할 수 있도록 하는 것이 바람직하다. 기판 수납 장치(100)에 기판이 적재되는 경우 도 5에 도시된 바와 같이, 실제로 기판과 접촉하는 부분은 지지대(140)가 아니라 지지부재(150)이며, 본 실시예에 따른 기판 수납 장치(100)에 기판을 수납하는 경우에는 기판(20)의 가운데 부분이 하부로 처지는 현상이 발생하지 않는다.

그리고 지지부재(150)는 도 4에 도시된 바와 같이, 지지대(140)의 상부에 소정 간격으로 체결공(144)을 형성시키고, 지지부재(150)의 하단에는 체결부(152)를 형성시키고, 그 체결부(152)를 체결공(144)에 삽입하여 지지대(140)에 결합된다.

그리고 하나의 지지대(140)에 형성되는 각 지지부재(150) 사이의 간격은 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 반출입 장치(160)가 출입할 수 있도록 기판 반출입 장치(160)의 폭보다 넓어야 한다. 그러나 모든 지지부재(150) 간의 간격이 이렇게 넓어야 하는 것이 아니고, 기판 반출입 장치(160)가 출입할 때 지나가는 부분에 위치되는 지지부재(150) 사이의 간격만 넓게 하고, 나머지 지지부재(150) 사이는 이 간격보다 좁게 형성시키는 것이 기판의 자체 하중에 의한 처짐을 방지할 수 있어서 바람직하다.

그리고 지지부재(150)의 상단에는 도 4에 도시된 바와 같이, 보호부(154)가 더 형성될 수 있다. 보호부(154)는 기판을 기판 수납 장치(100)에 수납하는 경우 기판이 실제로 접촉되는 부분으로서 기판을 손상시키지 않아야 한다. 따라서 기판을 손상시키지 않는 재료로 구비되는 것이 바람직하므로, 지지부재(150)의 다른 부분과 별도로 형성되는 것이다. 지지부재(150)의 다른 부분은 기판을 지지하는 데 있어서, 그 하중을 잘 견딜 수 있는 재료로 형성된다.

상술한 바와 같이, 지지대(140) 및 지지부재(150) 만으로 기판(20)을 처지지 않게 수납하는 것이, 간단한 구조이므로 바람직하다. 그러나 기판(20)이 대형화되는 경우 지지대(140)의 양단 사이의 거리가 3m에 가까워지면서 지지대(140)에 형성되는 지지부재(150)의 수도 증가하고, 지지대(140) 자체의 하중 및 그 상부에 적재되는 기판(20)의 하중의 증가에 의하여 지지대(140)의 가운데 부분이 휠 염려가 있다. 따라서 지지대(140)의 강도를 보강해줄 필요성이 있다.

따라서 본 실시예에서는 지지대(140)의 강도를 강화하여 지지대(140)의 중간 부분이 처지는 것을 방지하기 위하여, 도 6에 도시된 바와 같이 지지대(140)의 일 측면에 그 지지대(140)와 나란하게 보강부재(170)를 더 구비시킨다. 보강부재(170)는 가공 및 시공이 용이한 선재로 이루어진 보강선이 바람직하며, 특히 높은 인장강도를 가지는 고탄성강선으로 이루어지는 것이 더욱 바람직하다. 그리고 보강부재(170)는 지지대(140)의 소정 부분에 구비되고, 그 양단이 측벽 프레임(130)의 소정부분에 연결되어 고정된다. 즉, 측벽 프레임(130) 중 지지대(140)가 결합되는 관통공(132)에 인접한 하부에 보강부재(170)가 통과할 수 있는 작은 구멍을 형성시키고, 보강부재(170)를 그 구멍으로 통과시켜서 측벽 프레임(130)의 외측에서 별도의 고정수단에 결속하여 팽팽하게 고정하는 것이다. 따라서 보강부재(170)는 지지대(140)의 하부에서 지지대(140)를 받쳐줌으로써, 지지대(140)가 하부로 처지는 것을 방지하는 것이다.

이때 보강부재(170)는 도 6에 도시된 바와 같이, 2개 이상이 구비되는 것이 바람직하다. 보강부재(170)가 1개만 형성되는 경우에는 보강부재(170)에 의하여 지지되는 지지대(140)의 무게 중심을 제대로 잡지 못하는 문제점이 있을 수 있으므로 2개 이상의 보강부재(170)를 구비시킴으로써 지지대(140)의 무게 중심을 쉽게 잡을 수 있도록 하기 위함이다.

또한 보강부재(170)가 지지대(140)에서 이탈하지 않고 지지대(140)를 지지하도록 하기 위하여 도 6에 도시된 바와 같이, 보강부재 삽입홈(172)을 형성시킨다. 즉, 보강부재(170)가 삽입되어 위치될 홈을 소정 깊이로 길게 형성시키고, 보강부재(170)를 그 홈에 삽입되도록 구비시키는 것이다. 이처럼 보강부재(170)가 보강부 재 삽입홈(172)에 삽입되어 구비되면 보강부재(170)가 지지대(140)에서 벗어나는 경우 등이 발생하지 않는 장점이 있다.

그리고 보강부재(170)는 지지대(140)의 저면에 구비될 수도 있지만, 지지대(140)의 옆면에 구비될 수도 있다. 이 경우에는 보강부재 삽입홈(172)이 지지대(140)의 옆면에 소정 깊이로 형성되어 있어야 한다.

또한 보강부재(170)를 지지대(140)의 제조과정에서 지지대(140)의 내부에 삽입시켜 형성시킬 수도 있다.

본 발명에 의한 지지대와 지지부재는 다수 장의 기판을 동시에 수납할 수 있는 기판 수납 장치에서는 물론이거니와 평판표시소자 제조 공정에서 기판을 임시로 적재하는데 사용되는 곳(예를 들어 버퍼 같은 것)에는 모두 사용될 수 있다.

본 발명에 의하면 대형 기판을 수납하더라도, 기판의 여러 지점을 지지하므로 지지되지 않는 부분이 짧아서 기판의 중간 부분이 하방으로 처지지 않는 장점이 있다.

Claims (7)

1. 상기 기판수납부 내에 상기 기판의 하측면에 소정의 이격 간격을 두고 상기 기판의 판면방향을 따라 배치되는 지지대와; 상기 지지대와 상기 기판 사이에 개재되어 상기 기판을 접촉지지하는 복수의 지지부재를 포함하며, 반출입장치에 의해 이송 가능한 기판을 수납할 수 있는 기판 수납부를 갖는 기판 수납장치에 있어서,

   상기 지지부재 상단에는 기판을 보호하는 보호부가 더 마련되고,

   상기 지지대에는 그 일 측면에 상기 지지대와 접촉하여 나란하게 구비되어 상기 지지대의 강도를 보강하는 2줄 이상의 보강선이 더 구비되며,

   상기 지지부재는 상기 지지대와 상기 기판 사이에서 상기 반출입장치가 삽입가능한 이격 간격을 형성하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 장치.
2. 삭제
3. 제1항에 있어서,

   상기 지지대는 소정 간격의 이격 거리를 두고 형성되는 체결공을 가지며,

   상기 지지부재는 상기 체결공에 체결됨으로써 상기 지지부재를 상기 지지대에 고정 결합시키는 체결부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 수납 장치.
4. 삭제
5. 삭제
6. 삭제
7. 제1항에 있어서,

   상기 지지대의 일 측면 중 상기 보강부재가 구비되는 측면에는 보강부재가 삽입되어 위치되는 보강부재 삽입홈이 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 수납 장치.

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