KR100673580B1 - 기판 수납용 트레이 - Google Patents

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KR100673580B1
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샤프 가부시키가이샤
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Abstract

기판, 예를 들어, 디스플레이용 유리기판은 파손과 먼지 부착없이, 고효율로 이송되고 보관될 수 있다. 기판 수납용 트레이는, 상기 프레임 부재(12)에 의해 둘러싸인 내부 영역에 형성된, 탄성을 갖는 4개의 지지 부재와 유리기판보다 더 큰 장방형 프레임 형상을 갖도록 형성된 프레임 부재(12)를 포함한다. 프레임 부재(12)는 한 쌍의 세로 방향 프레임(12a) 및 한 쌍의 가로 방향 프레임(12b)으로 형성되고, 4개의 지지 부재(11)는 상기 프레임 부재(12)와 결합되면서 배치된다. 각 지지 부재(11)는 원재료로서 합성 수지 비즈상에 도전성 입자를 코팅하고, 상기 코팅 상태에서 상기 입자를 발포함으로써 성형되는 도전성 폴리에틸렌 발포체를 포함한다. 따라서, 유리기판위에의 수지의 전사는 이송 및 보관동안 방지될 수 있다.

Description

기판 수납용 트레이{SUBSTRATE ACCOMMODATING TRAY}
도1은 본 발명에 사용되는 기판 수납용 트레이의 예시적인 실시예의 평면도 및 저면도이다.
도2a는 도1의 A-A 선을 따라 취해진 기판 수납용 트레이의 부분 단면도이다.
도2b는 2개의 기판 수납용 트레이가 수직으로 적재되는 상태에서 도2a에 대응하는 부분 단면도이다.
본 특허 출원은 2003년 12월 19일에 일본에 출원된 No. 2003-422758의 35 U.S.C. §119(a)에 의거하여 우선권을 주장하고, 그의 전체 내용은 여기서 참조로 통합된다.
본 발명은 디스플레이용 유리기판 등과 같은, 정방형 또는 장방형 기판을 이송하는데 사용되는 기판 수납용 트레이에 관한 것이다. 유리기판은 예를 들어, 액정표시장치의 표시패널을 생산하는데 사용된다.
액정표시장치용 표시패널은 일반적으로 서로 대향하고 함께 밀봉된 한 쌍의 표시유리기판, 및 상기 한 쌍의 유리기판 사이에 밀봉된 액정재료를 포함한다. 상 기 표시패널을 생산하기 위해, 유리기판은 표시패널 제조 공장으로 이송된다. 유리기판을 이송하기 위해, 복수의 유리기판을 수납하기 위한 유리기판 수납박스가 사용된다. 유리기판은 액정표시장치 뿐 아니라 여러 타입의 표시장치의 표시패널에 사용된다. 상술한 타입의 유리기판 수납박스는 또한, 액정표시장치와 다른 여러 타입의 표시장치용으로 사용되는 유리기판을 이송하는데 사용된다.
표시패널을 생산하기 위해, 동일한 타입의 유리기판 수납박스는 유리기판상에 전극을 갖는 반제품으로서의 표시패널을 이송하기 위해 사용된다.
최근에, 0.7 mm 이하의 두께를 갖는 유리기판은 여러 타입의 표시패널에 대해 널리 사용된다. 유리기판이 대형화됨에 따라, 표시패널 제조 공장에 반입되는 유리기판의 평면 영역이 커지고, 1.3 m 이상의 측변 길이를 갖는 장방형 유리기판이 사용된다.
이와 같이 대형이고 박형의 유리기판은 쉽게 휘어진다. 복수의 유리기판이 간격을 두고 박스에 수직으로 수납되면, 유리기판은 이송동안 휘어지고 서로 접촉하여 파손될 수 있다. 이것을 회피하기 위해, 박스의 유리기판 사이에 적절한 거리를 유지하는 것이 필요하다.
예를 들어, 20 ~ 30 mm의 폭을 갖는 지지 부재로 주변을 따라 수직으로 지지되면, 0.7 mm의 두께 및 1.3 m 이상의 측변 길이를 갖는 유리기판은 그의 중앙부에서 90 mm 이상 휘어질 수 있다. 따라서, 유리기판 수납 박스내에서는, 상기 박스의 유리기판 사이에 수평 방향으로 적어도 100 mm 이상의 거리를 유지할 필요가 있다.
유리기판은 일반적으로, 한 쌍의 평판형 흡착 패드를 갖는 유리기판 흡착 핸 드를 사용하여 유리기판 수납 박스로부터 옮겨진다. 상기 유리기판 흡착 핸드가 사용되면, 2개의 인접한 유리기판 사이에 각각 흡착 패드를 삽입할 필요가 있고, 따라서 삽입을 위한 충분한 간격이 필요하다. 평판형 흡착 패드는 일반적으로 약 20 mm의 두께를 갖는다. 따라서, 박스의 유리기판 사이의 거리는, 상기 유리기판이 휘어질 때에도 상기 유리기판이 서로 접촉하지 않도록 충분한 거리의 합일 필요가 있다. 또한, 흡착 패드를 삽입하기 위해 약 20 mm의 거리가 필요하다.
유리기판 수납박스에 수납되는 복수의 유리기판은 기판 사이에 적당한 간격을 가질 필요가 있기 때문에, 소정의 크기를 갖는 유리기판 수납 박스에 수납될 수 있는 유리기판의 수는 제한된다. 따라서, 이송 및 보관을 위한 간격 효율, 즉, 단위 체적당 수납될 수 있는 유리기판의 수는 감소한다.
1.3 m 이상의 측변 길이를 갖는 유리기판은 기판 당 중량이 5 kg 정도로 무겁다. 유리기판 수납박스내에 수납되는 유리기판의 수가 20 이상이면, 한명의 작업원이 이들 유리기판을 운반할 수 없다.
이들 문제점을 해결하기 위해, 일본 특개평 No.10-287382는 하나의 유리기판을 수납하기 위한 기판 트레이 카세트를 개시한다. 기판 트레이 카세트의 기판 수납 부분은 격자 구조를 갖는다. 기판 트레이 카세트는 삽입가능한 결합 구조를 갖고, 복수의 기판 트레이 카세트는 수직으로 적재될 수 있다. 상기 기판 트레이 카세트는 대형이고 박형의 유리기판이 이송동안 휘어짐이나 파손없이 수납되도록 한다. 더 많은 수의 기판 트레이 카세트가 이송 및 보관을 위해 수직으로 적재될 수 있기 때문에, 간격 효율이 향상될 수 있다.
일본 특개평 No.10-287382에서, 수납된 유리기판은 지지핀에 의해 지지되고, 유리기판 흡착 핸드의 각 흡착 패드는 상기 유리기판 아래의 공간에 삽입된다. 상기 흡착 패드용 공간은 기판 수납용 트레이를 대형화시킨다. 또한, 상기 기판 수납 부분은 격자 모양으로 형성되기 때문에, 트레이의 강도는 한계를 갖고, 따라서 수직으로 적재된 기판 트레이의 수는 제한된다.
이들 문제점을 해결하기 위해, 휘어짐없이 평판형 지지 부재상에 유리기판을 설치하기 위한 기판 수납용 트레이가 고려된다. 그러나, 휘어짐없이 유리기판이 지지 부재상에 설치될 때, 상기 지지 부재는 유리기판의 넓은 면적과 접하고, 따라서, 유리기판은 지지 부재의 특성에 따라 이송동안 파손될 수 있다.
유리기판이 파손되는 것을 방지하기 위해, 합성 수지 발포체가 지지 부재로서 사용될 수 있다. 상기 합성 수지 발포체는 비교적 우수한 탄성을 갖는다. 그러나, 상기 지지 부재는 합성 수지 발포체로 이루어지더라도, 다음과 같은 문제점이 있다. 즉, 유리기판의 표면은 그의 특성에 따라 지지 부재에 의해 손상된다. 또한, 유리기판과의 마찰 때문에 먼지가 발생하여 상기 유리기판에 부착된다.
먼지가 유리기판에 부착되는 것을 방지하기 위해, 정전기 방지 기능이 지지 부재에 부가되는 것이 고려된다. 예를 들어, 일본 특허 공개 공보 No.2003-251769는 정전기 방지 폴리프로필렌 수지의 적층 발포 시트를 개시한다. 상기 정전기 방지 폴리프로필렌 수지의 적층 발포 시트는 예를 들어, 대형 크기의 액정표시패널과 같이 무거운 물체용 포장체로서 사용된다.
상기 발포 시트에서, 정전기 방지제와 배합된 미발포 폴리프로필렌 수지층은 발포 폴리프로필렌 수지층의 적어도 하나의 측면상에 형성되고, 상기 발포 시트는 액정패널의 포장 재료로서 적합하게 사용된다. 그러나, 상기 정전기 방지 폴리프로필렌 수지의 적층 발포 시트는 불충분한 탄성 및 높은 강성, 즉, 높은 경도를 갖고, 따라서 유리기판을 손상시키거나 유리기판과의 마찰로 인해 먼지를 생성한다. 정전기 방지제와 결합된 미발포 폴리프로필렌 수지층에서, 정전기 방지제는 유리기판과의 마찰로 인해 쉽게 박리되고, 따라서 긴 기간동안 대전 기능이 안정화되지 않는다. 게다가, 미발포 폴리프로필렌 수지층은 발포층과 미발포층의 적층 구조를 갖기 때문에, 용이하게 생성될 수 없다.
성형체는 카본(carbon) 등과 같은 정전기 방지제와 원재료로서의 합성 수지 비즈를 혼합하여 발포함으로써 생성된다. 상기 성형체는, 발포판 표면상의 취성때문에, 즉, 표면이 약해지기 때문에, 유리기판과 같은 무거운 물체를 지지할 때 충격에 의해 파손된다. (일본 특허 공개 공보 No.2003-251769의 [0006] 단락을 참조)
게다가, 정전기 성질을 발포 시트에 제공하기 위해 전도성을 갖는 정전기 방지제가 유기 물질인 수지와 혼합되면, 발포 시트 표면상의 수지는 유리기판의 표면과 접하고 그위에 전사된다. 온도와 습도가 고정적이라는 조건하에, 예를 들어, 청정 룸에서, 수지는 유리기판상에 거의 전사되지 않고 가시적 레벨에 있지 않는다. 따라서, 이것은 유리기판 등에 전극을 갖는 액정패널에서 큰 문제가 아니다. 그러나, 온도가 약 70℃이고 습도는 약 80%인 조건하에, 예를 들어, 여름에 트럭에 의한 이송동안, 수지가 액정패널용으로 사용하기 전의 유리기판상에 전사되면, 액정패널을 제작하는 미세가공에 대한 가공 수율이 감소한다.
본 발명은 이들 문제점을 해결하고, 디스플레이용 유리기판 등과 같은 기판을 효율적으로 이송하고 보관하기 위한 기판 수납용 트레이를 제공하는 것을 그 목적으로 한다. 상기 기판 수납용 트레이는 정전기 방지 마찰을 제공함으로써, 기판에 먼지가 부착되지 않고 기판을 파손시키지 않고서 기판을 효율적으로 이송하고 보관할 수 있다. 상기 기판 수납용 트레이는 정전기 방지 마찰을 갖는데 발생되는 문제점, 즉, 상기 트레이의 수지가 기판상에 전사되는 문제점을 갖지 않는다.
본 발명의 일 측면에 따르면, 기판을 설치하기 위한 평판형 지지 부재를 갖는 기판 수납용 트레이가 제공된다. 상기 지지 부재는 1014Ω/□ 미만의 표면 저항을 갖고, 수지가 기판상에 전사되는 것을 방지할 수 있는 수지 발포체를 포함한다.
본 발명의 일 실시예에서, 지지 부재는 도전성 입자를 폴리에틸렌 수지 비즈상에 코팅하고 상기 코팅 상태에서 상기 도전성 입자를 발포시킴으로써 생성된 성형체이다.
본 발명의 일 실시예에서, 도전성 입자는 카본 입자이다.
본 발명의 일 실시예에서, 지지 부재는 1014 ~ 108Ω/□의 표면 저항을 갖는다.
본 발명의 일 실시예에서, 상기 지지 부재는 프레임 부재에 의해 둘러싸인 내부 영역에 배치된다.
본 발명의 일 실시예에서, 복수의 지지 부재는 설치된 기판을 파손하지 않도 록 프레임 부재의 내부상에 배치된다.
본 발명의 기판 수납용 트레이는 수지가 기판상에 전사되지 않는 도전성 수지 발포체로 이루어진 도전성 지지 부재를 포함한다. 따라서, 상기 트레이는 고온다습의 조건하에 기판이 이송되고 보관될 때 수지가 기판상에 전사되지 않도록 방지할 수 있다. 게다가, 상기 수납된 기판은 깨지지 않고 먼지가 부착되지도 않기 때문에, 상기 트레이는 기판이 패널 등으로 가공될 때 가공 수율이 감소되는 것을 방지할 수 있다.
더욱이, 정전기 방지 기능은 긴 시간동안 안정화될 수 있기 때문에, 상기 트레이는 긴 시간동안 안정하게 사용될 수 있다.
이하에, 본 발명은 첨부한 도면을 참조하여 예시적인 실시예를 통해 설명된다.
도1은 본 발명에 대해 사용되는 기판 수납용 트레이의 예시적인 실시예의 평면도 및 저면도이다. 도2a는 도1의 A-A 선을 따라 취해진 기판 수납용 트레이의 부분 단면도이다. 도1에서, 도면의 중심에서 띠줄 CL의 왼쪽은 평면도이고 오른쪽은 저면도이다.
기판 수납용 트레이(10)는 액정표시패널용으로 사용되는 디스플레이용 장방형유리기판, 구체적으로, 1.3 m 이상의 측변 길이와 0.7 mm 이하의 두께를 갖는 장방형또는 정방형 유리기판을 수납하고 이송하는데 사용된다.
기판 수납용 트레이(10)는 장방형을 갖는 프레임 부재(12), 및 프레임 부재 (12)에 의해 둘러싸인 내부 영역에 수평 방향으로 평행하게 나란히 배치되는 4개의 평판형 지지 부재(11)를 포함한다. 하나의 유리기판(20)(도2a)은 이들 4개의 지지 부재(11)상에 수평으로 설치된다.
프레임 부재(12)는 장방형을 갖고, 한 쌍의 세로 방향 프레임(12a) 및 한 쌍의 가로 방향 프레임(12b)을 포함한다. 프레임(12a)은 세로 방향을 따라 약 2000 mm의 길이를 갖고, 프레임(12b)은 세로 방향에 수직인 가로 방향을 따라 약 1700 mm의 길이를 갖는다. 서로 인접한 세로 방향 프레임(12a) 및 가로 방향 프레임(12b)은 연결 부재 및 리벳과 연결된다.
각각의 지지 부재(11)는 동일한 구성을 갖는다. 각 지지 부재(11)는 도전성 발포 폴리에틸렌 수지로 이루어지는 정방형 및 평판형을 갖고, 약 15 mm의 두께와 약 800 mm의 측변 길이를 갖는다. 상기 발포 폴리에틸렌 수지는 표면 저항이 1014Ω/□ 미만인 탄성과 도전성을 갖는다. 각 지지 부재(11)는 발포 폴리에틸렌 비즈상에 카본 입자를 원재료로서 코팅하고, 상기 코팅된 상태로 금형에서 발포하고, 소정의 형상을 갖도록 성형되어 있다. 상기 가공에서, 카본 입자는 도전성 재료로서 사용된다. 예를 들어, 지지 부재(11)는 Asahi Kasei Corporation에 의해 제조된 제품명 "MEF-CB"에 의해 성형된다.
상기 비즈의 각각에 코팅된 카본 입자는 상기 비즈를 발포함으로써 용융결합되고, 따라서, 결합된 카본은 확실하게 지지 부재(11) 내부에 존재한다. 따라서, 상기 지지 부재(11)는 도전체로 고려될 수 있어 대전이 방지될 수 있다. 도전성 발 포 폴리에틸렌 수지(Asahi Kasei Corporation에 의해 제조된 제품명 "MEF-CB")의 표면의 단위 면적당 전기 저항은 107 ~ 108Ω이고, 상기 도전성 발포 폴리에틸렌 수지는 각 지지 부재(11)용으로 사용된다. 폴리에틸렌 수지와 카본 입자를 혼합하고 상기 혼합 상태에서 상기 혼합물을 발포함으로써 성형체가 생성되면, 상기 성형체의 표면의 단위 면적당 전기 저항은 1011 ~ 1012Ω이다. 따라서, 도전성 발포 폴리에틸렌 수지의 도전성은 뚜렷하게 향상된다.
카본 입자는 용융결합되기 때문에, 도전성 발포 폴리에틸렌 수지의 취성은 감소하고, 즉, 지지 부재(11)는 단단하여, 상기 지지 부재(11)는 진동 등에 의해 파손되지 않고, 비즈와 카본 입자를 혼합하는 상태에서 발포하는 경우보다, 마찰로 인해 카본이 탈락하지 않는다.
각 4개의 지지 부재(11)는 프레임 부재(12)의 각 코너부와 결합하도록 프레임 부재(12)의 내부에 배치된다. 프레임 부재(12)상에, 한 쌍의 지지 부재(11)는 제1간격(10a)을 형성하도록 가로 방향 프레임(12b)을 따라 설치된다. 상기 제1간격(10a)은 상기 한 쌍의 세로 방향 프레임(12a) 사이의 중앙 영역에서 고정 폭을 갖는다. 따라서, 프레임 부재(12)의 상기 한 쌍의 지지 부재(11)는 제1간격(10a)에 의해 2개로 분할된다.
하나의 지지 부재(13)는 제1간격(10a)을 따라 한 쌍의 지지 부재(11)의 주변부와 결합된다. 이들 지지 부재(11)는 가로 방향 프레임(12b)을 따라 설치된다.
가로 방향 프레임(12b)을 따라 설치된 한 쌍의 지지 부재(11)에 대해, 가로 방향 프레임(12b)의 중앙부와 지지 부재(13)의 중앙부 사이에 제2간격(제2개구부)(10b)이 형성된다. 상기 제2간격(10b)은 제1간격(10a)보다 작은 고정폭을 갖는다. 따라서, 동일한 가로 방향 프레임(12b)을 따라 각 지지 부재(11)는 제2간격(10b)에 의해 2개로 분할된다.
지지 부재(11)에서, 정방형 개구부(11a)가 프레임 부재(12)의 코너 부근에 제공된다. 제공된 정방형 개구부(11a)의 각 측변은 프레임 부재(12)의 세로 방향 프레임(12a) 또는 가로 방향 프레임(12b) 중 어느 하나에 평행하다. 상기 개구부(11a)는 지지 부재(11) 각각의 표면적의 1/4보다 작은 면적을 갖는다.
프레임 부재(12)의 가로 방향 프레임(12b)을 따라 배치된 지지 부재(11) 쌍에 대해, 1본의 직선빔 형상을 갖는 하나의 지지 부재(13)는 세로 방향의 전체 측면을 따라 상기 지지 부재(11)를 결합하여 설치되고, 상기 측면은 제1간격(10a)을 따라서 있다. 상기 지지 부재(13)는 알루미늄으로 형성되고, 프레임 부재(12)의 세로 방향 프레임(12a) 쌍 사이에 가설되어 있다.
한 쌍의 보강 부재(14)는 지지 부재(13)와 결합된 각 지지 부재(11)에서 각 지지 부재(13)에 평행하게 삽입된다. 상기 보강 부재(14)는 상기 프레임 부재(12)의 세로 방향 프레임(12a) 쌍 사이에 배치된다. 상기 보강 부재(14)는 지지 부재(11)의 강도를 보강하기 위해 알루미늄 파이프로 형성된다.
각각의 보강 부재(14)는 세로 방향 프레임(12a) 쌍 사이에 배치된다. 따라서, 각 보강 부재(14)는 제2간격(10b)에서 노출된다.
각 보강 부재(14)는 상기 지지 부재(11)에 제공된 스루홀(through hole)에 각각 설치된다. 각각의 스루홀은 각 지지 부재(11)의 배면 측에서 개구된다. 보강 부재(14, 15)는 각 지지 부재(11)의 탄성력을 이용하여 스루홀의 개구부로부터 각각 대응하는 스루홀로 삽입되어 설치된다. 보강 부재(14)는 유리기판(20)이 설치되는 지지 부재(11)의 표면상에 노출되지 않는다.
도2a는 도1의 A-A 선을 따라 취해진 부분 단면도이다. 프레임 결합부(11e)는 프레임 부재(12)의 세로 방향 프레임(12a)과 가로 방향 프레임(12b)을 따라 지지 부재(11)의 각각의 주변부에 제공된다. 프레임 결합부(11e)는 프레임(12a) 및 프레임 (12b)과 결합된다. 각각의 프레임 결합부(11e)는 그 상부 표면 및 하부 표면이 수평인 고정 두께를 갖는다. 각각의 지지 부재(11)에서, 상부 돌출부(11f)가 각각 제공되고, 이들 상부 돌출부(11f)는 각 프레임 결합부(11e)로부터 상향으로 계속적으로 돌출한다. 프레임 결합부(11e)에 대향하는 상부 돌출부(11)로부터의 내부는 수평의 평탄면을 갖고, 상기 평탄면은 프레임 결합부(11e)의 상부 표면보다 약간 높고 상부 돌출부(11f)의 상부 표면보다 약간 낮다. 유리기판(20)은 상기 평탄면상에 설치된다.
프레임 부재(12)의 세로 방향 프레임(12a) 및 가로 방향 프레임(12b)은 서로 동일한 단면 형상을 갖고, 예를 들어, 성형된 알루미늄으로 형성된다. 각 프레임(12a 및 12b)상에, 프레임 본체부(12c)는 지지 부재(11)의 프레임 결합부(11e)의 각 측면과 접하도록 전체 주변을 따라 제공된다. 상기 프레임 본체부(12c)는 단면 공동 직방체형상을 갖는다. 프레임 본체부(12c)는 프레임 결합부(11e)의 상부 및 하부 표면으로부터 상향 및 하향으로 돌출한다. 프레임 본체부(12c)로부터 상향으 로 돌출하는 단부는 상기 상부 돌출부(11f)의 상부 표면보다 상방에 배치되고, 상기 프레임 본체부(12c)의 하부 표면은 상기 지지 부재(11)의 배면보다 하방에 배치된다.
프레임 본체부(12c)상에, 상부 결합부(12d)는 전체 주변을 따라 제공된다. 상기 상부 결합부(12d)는 수평 벨트판 형상을 갖고, 상기 지지 부재(11)의 프레임 결합부(11e)의 상부 표면과 접한다. 프레임 본체부(12c)에, 하부 결합부(12e)가 제공된다. 상기 하부 결합부(12e)는 프레임 결합부(11e)의 하부 표면과 접한다. 상기 하부 결합부(12e)는 프레임 본체부(12c)의 하부 측면에 부착되고, 단면이 편평한, 공동 직방체형상을 갖고, 내부에 테이퍼 형상의 하부 표면을 갖는다.
프레임 본체부(12c)상에, 플랜지부(12f)는 상부 결합부(12d)와 거의 동일한 높이로 전체 주변을 따라 제공된다. 상기 플랜지부(12f)는 상부 결합부(12d)에 대향하여 바깥쪽으로 돌출한다. 상기 플랜지부(12f)는 수평 상태에서 상기 트레이(10)를 운반할 때, 처킹(chucking) 장치 등에 의해 기판 수납용 트레이(10)를 처킹하는데 사용된다.
기판 수납용 트레이(10)는 수직으로 적재될 수 있다. 도2b에 도시된 바와 같이, 각 기판 수납용 트레이(10)가 수직으로 적재될 때, 프레임 부재(12)의 프레임 본체부(12c)의 상단부는 지지되도록 상기 제1수납 트레이(10) 위에 배치되는 제2수납 트레이(10)의 프레임 본체부(12c)의 하단부와 결합된다. 프레임 본체(12c)의 상단부는 프레임 본체부(12c)의 하단부와 결합되어 위치할 수 있다.
도2b에 도시된 바와 같이, 유리기판(20)이 수납되는 복수의 기판 수납용 트 레이(10)는 수직으로 적재되어 이송될 수 있다. 이 경우에, 상측의 기판 수납용 트레이(10)는 수납 트레이(10)의 하측의 프레임 본체부(12c)의 상단부와 상기 상측 수납 트레이의 프레임 본체부(12c)의 하단부와 결합하여 배치시킴으로써 하측상의 기판 수납용 트레이(10)와 결합된다. 따라서, 수직으로 적재된 기판 수납용 트레이(10)는 서로에 대해 수평 방향으로 미끄러지지 않는다.
각 지지 부재(11)상에 수납된 유리기판(20)의 표면은 프레임 부재(12)의 상면보다 더 낮게 배치되기 때문에, 유리기판(20)의 표면은 상부에 적재된 기판 수납용 트레이(10)와 접하지 않는다.
상술한 구조를 갖는 기판 수납용 트레이(10)에서, 예를 들어, 0.7 mm 이하의 두께 및 1300 mm 이상의 측변 길이를 갖는 액정패널용 유리기판(20)은 저면부(11)의 상면에 수납된다. 전극 등을 갖지 않는 유리기판(20)의 표면은 하단부(11)의 상면과 접하고 있다. 유리기판(20)은 휘어짐없이 수평 상태에서 각 지지 부재(11)에 의해 지지된다.
유리기판(20)은 탄성을 갖는 도전성 발포 폴리에틸렌 수지를 포함하는 4개의 지지 부재(11)상에 설치된다. 상기 지지 부재(11)는 폴리프로필렌 발포체 등보다 더 우수한 탄성 및 내마모성을 갖는다. 따라서, 유리기판(20)은 이송동안 기판 수납용 트레이(10)에 대해 가해지는 충격 등에 의한 파손이 방지될 수 있다. 게다가, 유리기판과의 마찰로 인한 먼지의 발생은 제어될 수 있다. 각 지지 부재(11)는 도전성이기 때문에, 기판(20)은 대전되는 것이 방지될 수 있고, 따라서 상기 유리기판(20)상에 먼지가 부착되지 않게 된다.
각 지지 부재(11)는 도전성 재료로서 폴리에틸렌 수지의 비즈상에 카본을 코팅하고 코팅된 상태에서 상기 카본을 발포시킴으로써 성형되기 때문에, 각 지지 부재(11)에 포함되는 폴리에틸렌 수지는 고온 다습 조건하에서도 유리기판(20)상에 전사되지 않는다. 따라서, 유리기판(20)이 액정표시패널을 형성하도록 가공될 때, 가공 수율의 감소가 방지될 수 있다.
본 발명에 따른 기판 수납용 트레이(20)에서, 상기 수납된 유리기판(20)이 제거될 때, 제거핀(31)은 제1 및 제2간격(10a 및 10b)에 삽입되고, 인접한 지지 부재(11)와 각 지지 부재(11)에 제공된 제1개구부(11a) 사이에 제공된다. (도1을 참조.) 예를 들어, 4개의 제거핀(31)은 각 지지 부재(11)에 제공된 개구부(11a)에 각 프레임 부재(12)의 코너에 근접한 코너에 삽입된다. 2개의 제거핀(31)은 프레임(12)의 가로 방향의 중앙부에 형성된 각 제2간격(10b)의 각각의 가로 방향 프레임(12b)에 근접한 위치에 삽입된다. 3개의 제거핀(31)은 프레임 부재(12)의 세로 방향의 중앙부에 형성된 제1간격(10a)의 각 지지 부재(13)를 따라 삽입된다. 그 후에, 총 12개의 제거핀(31)은 기판 수납용 트레이(10)에 수납된 유리기판(20)을 상향으로 들어올리고, 그에 의해 상기 유리기판(20)은 상기 기판 수납용 트레이(10)로부터 옮겨진다.
상기 예에서, 하나의 유리기판(20)은 4개의 지지 부재(11)에 의해 지지된다. 본 발명은 상기한 구조에 제한되지 않고, 설치 기판이 적어도 휘어지지 않으면, 기판, 예를 들어, 유리기판(20) 등은 복수의 지지 부재 또는 하나의 지지 부재에 의해 지지될 수 있다.
상기 예에서, 기판 수납용 트레이(10)는 액정표시패널용 유리기판(20)을 수납하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 기판 운송 장치에 의해 처리되는 기판 수납용 트레이는 상기의 기판에 제한되지 않고, 다른 타입의 표시패널용 유리기판일 수 있다. 본 발명에 따른 기판 운송 장치에 의해 처리되는 기판은 유리기판에 제한되지 않고, 합성 수지 기판 등일 수 있다.
상술한 바와 같이, 본 발명은 본 발명에 따른 바람직한 예를 이용하여 설명될 수 있다. 본 발명은 상기 예에 제한되지는 않는다. 본 발명의 적용가능한 범위는 청구범위에 의해서만 해석되어야 한다. 계약자는 본 발명에 따른 바람직한 구체예의 설명으로부터, 본 발명에 따른 설명 및 기술적 상식에 기초한 동등한 범위를 실행할 수 있다. 특허, 특허 출원 및 본 명세서에서 인용되는 문서는 본 명세서에 대해 참조로서 사용됨과 동시에, 이들의 내용은 본 명세서에서 구체적으로 설명된다.
상술한 바와 같이, 기판 수납용 트레이에서, 디스플레이용 유리기판 등과 같은 기판은 파손이나 먼지 부착 없이 높은 효율로 이송되고 보관될 수 있고, 가공 수율의 감소가 방지될 수 있다. 기판 수납용 트레이는, 예를 들어, 디스플레이용 유리기판 등과 같은 장방형 또는 정방형 기판을 이송하는데 사용되고, 상기 유리기판은 예를 들어, 액정표시장치의 표시패널을 생성하는데 사용된다.
본 발명에 의하면, 기판 수납용 트레이가 정전기 방지 마찰을 제공함으로써, 기판에 먼지가 부착되지 않고 기판을 파손하지 않고서 기판을 효율적으로 이송하고 보관할 수 있다.

Claims (7)

  1. 기판을 설치하기 위한 평판형 지지 부재를 갖는 기판 수납용 트레이로서,
    상기 지지 부재는 1014Ω/□ 미만의 표면 저항을 갖고, 수지가 상기 기판상에 전사되어 설치되는 것을 방지할 수 있는 수지 발포체를 포함하는 기판 수납용 트레이.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재는 폴리에틸렌 수지 발포체를 포함하는 기판 수납용 트레이.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 지지 부재는 폴리에틸렌 수지 비즈상에 도전성 입자를 코팅하고, 코팅 상태에서 상기 입자를 발포함으로써 생성되는 성형체인 기판 수납용 트레이.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 도전성 입자는 카본 입자인 기판 수납용 트레이.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재는 107 ~ 108Ω/□의 표면 저항을 갖는 기판 수납용 트레이.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 지지 부재는 프레임 부재에 의해 둘러싸인 내부 영역상에 배치되는 기판 수납용 트레이.
  7. 제6항에 있어서,
    복수의 지지 부재는 상기 설치된 기판이 휘어지지 않도록 상기 프레임 부재의 내부에 배치되는 기판 수납용 트레이.
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