JP6191672B2 - 基板用トレイ - Google Patents
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Description
また、本発明の基板用トレイは、四角形状で板状の基板の保管や移動をする際に、多層に積み重ねて使用される基板用トレイであって、前記基板用トレイは、枠部と、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部とを備え、前記基板支持部が、前記枠部のうち少なくとも対向する2辺の枠内側領域に設けられ、前記枠内側領域の基板支持部の上側に、上側に突起部を有する前記基板を保持する基板保持部と、前記枠内側領域の基板支持部の下側に、前記基板の振動を制御する振動制御部と、を備えた基板保持部材、が固定されていることを特徴とする。
図1に、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略を示す。図1(a)は枠部12の4辺に支持された基板支持部13が、直線状に基板111の端部を支持する基板用トレイの実施の形態の1例の概略図である。図1(b)は枠部12の4辺のうち一方の対向する2辺に固定された基板支持部13が直線状に基板111の両端を支持し、枠部12の4辺のうち他方の対向する2辺に固定された基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませて、基板111の両端を支持する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略図である。また、図示はしていないが、基板用トレイ11は、基板を安定に保持する為に、4辺に固定された基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませて、基板111の4辺を支持する基板用トレイ11であってもよい。また、基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませる場合、撓んだ基板支持部13を支持する枠部12は、直線であってもよく、前記基板支持部13の撓みにあわせて撓んだ形状であってもよい。前記撓みの形状は、円弧状でも放物線上でもよく、撓ませた基板の、端部中央部の高さの差は基板サイズによって適宜設計される。
前記肉薄部23は、基板支持部13に沿って前記肉厚部21より薄く形成されており、基板振動発生時に基板111が金属からなる前記基板支持部13との接触を妨げ、金属との接触による傷付きを防止する。前記肉薄部23は、前記基板111が前記基板支持部13との接触を妨げる機能を有していればよく、前記基板111との接触時に前記基板111に悪影響を及ぼさない平坦な形状であればよく、前記肉薄部23の厚さは、前記基板支持部13に沿って均一な厚さで形成されていてもよく、基板用トレイ11の内側方向へ向かって減少してもよい。
前記厚さ変化部22は、肉厚部21と肉薄部23との接続部であり、肉厚部21の基板用トレイ内側の端部31に角部を形成させずに、滑らかに肉薄部へ変化させる役割を担っている。肉厚部21のトレイ内側の端部31が角部を有していると、基板振動時に角部31と基板111が接触し、基板111に傷が入る、基板111が破損する等の不具合が発生することがある。図3(b)は、図1(b)に示した、枠部の4辺のうち一方の対向する2辺を鉛直方向下側に撓ませて基板111を支持する基板用トレイ11のD−D’方向の断面の概略図の1例であり、基板支持部13が傾斜して直線状に形成されている。前記基板支持部13は、基板111の湾曲に合わせて形成されていてもよく、前記基板支持部13が基板111の湾曲に合わせて形成されている場合、基板保持部材14は、前記基板支持部13の湾曲に沿って形成される。
本発明の基板保持部材を有する基板用トレイ11の基板支持部13の厚さfは、変形することなく基板111を保持する必要があるとともに軽量化のため、1mm〜3mmが好ましい。
また、前記肉厚部21の厚さは3.8mm、前記肉薄部23の厚さhは1.5mm(前記肉厚部21と前記肉薄部23の厚さの差j=2.3mm)、前記突起部の厚さlは2.5mm(前記突起部15の下面と、前記基板保持部14bの上面との間隔k=0.2mm)、前記基板保持部14bの厚さは1.5mm(前記突起部15と前記基板保持部14bとの間隙の幅k=0.2mm)でとした。
さらに、突起部15を除く角部は全て曲率半径1mm〜10mmの範囲で面取りされた形状とした。
12 枠部
13 基板支持部
14 基板保持部材
14a 振動制御部
14b 基板保持部
15 突起部
21 肉厚部
22 厚さ変化部
23 肉薄部
81 肉厚部の中央部
82 肉厚部端部
103 搬送用架台
111 基板
131 機能層
161a 嵌合部
161b 嵌合部
162 位置決め部
Claims (14)
- 四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材を備えた基板用トレイであって、
前記基板保持部材は、前記基板支持部下面より下側に突出して固定された振動制御部からなり、
前記振動制御部は、前記基板支持部の下面の形状に沿って固定され、該基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記振動制御部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部からなることを特徴とする基板保持部材であって、
さらに、前記基板保持部材が、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を、前記基板保持部材の前記振動制御部の前記肉厚部の下側に有することを特徴とする基板保持部材であって、
積載する基板の一方向の断面の幅をa、前記基板の両端を保持する前記基板の両端部にある基板支持部に固定された基板保持部材の突起部の、それぞれ基板と接触する突起部の端面(トレイ内側面)間の距離をcとしたときに、cの距離は基板の幅aより1mm〜10mm大きく設定してある基板保持部材が固定され、
前記肉厚部の下面と、前記基板保持部の上面との間隔が、前記基板の厚さの2倍〜5
倍であることを特徴とする基板用トレイ。 - 四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材を備えた基板用トレイであって、
前記基板保持部材は、前記基板支持部下面より下側に突出して固定された振動制御部からなり、
前記振動制御部は、前記基板支持部の下面の形状に沿って固定され、該基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記振動制御部は、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部、肉薄部からなることを特徴とする基板保持部材であって、
さらに、前記基板保持部材が、前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を、前記基板保持部材の前記振動制御部の前記肉厚部の下側に有することを特徴とする基板保持部材であって、
積載する基板の一方向の断面の幅をa、前記基板の両端を保持する前記基板の両端部にある基板支持部に固定された基板保持部材の突起部の、それぞれ基板と接触する突起部の端面(トレイ内側面)間の距離をcとしたときに、cの距離は基板の幅aより1mm〜10mm大きく設定してある基板保持部材が固定され、
前記肉厚部の下面と、前記基板保持部の上面との間隔が、前記基板の厚さの2倍〜5
倍であることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項1または2に記載の基板用トレイであって、
前記振動制御部に加えて、基板支持部の上側に基板を保持する基板保持部をさらに有する基板保持部材が固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材を備えた基板用トレイであって、
前記枠内側領域の基板支持部の上側に、上側に前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板を保持する基板保持部と、前記枠内側領域の基板支持部の下側に、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部をこの順で有する振動制御部と、を備えた基板保持部材であって、
積載する基板の一方向の断面の幅をa、前記基板の両端を保持する前記基板の両端部にある基板支持部に固定された基板保持部材の突起部の、それぞれ基板と接触する突起部の端面(トレイ内側面)間の距離をcとしたときに、cの距離は基板の幅aより1mm〜10mm大きく設定してある基板保持部材が固定され、
前記肉厚部の下面と、前記基板保持部の上面との間隔が、前記基板の厚さの2倍〜5
倍であることを特徴とする基板用トレイ。 - 四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、トレイ枠部の枠内側領域において、前記基板をその下側から保持する前記枠部に支持された基板支持部を備えた、前記基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材を備えた基板用トレイであって、
前記枠内側領域の基板支持部の上側に、上側に前記基板の水平方向の移動を規制する突起部を有する前記基板を保持する基板保持部と、前記枠内側領域の基板支持部の下側に、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、肉厚部、厚さ変化部、肉薄部をこの順で有する振動制御部と、を備えた基板保持部材であって、
積載する基板の一方向の断面の幅をa、前記基板の両端を保持する前記基板の両端部にある基板支持部に固定された基板保持部材の突起部の、それぞれ基板と接触する突起部の端面(トレイ内側面)間の距離をcとしたときに、cの距離は基板の幅aより1mm〜10mm大きく設定してある基板保持部材が固定され、
前記肉厚部の下面と、前記基板保持部の上面との間隔が、前記基板の厚さの2倍〜5
倍であることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項4または5に記載の基板用トレイであって、
前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、基板保持面が平坦な基板保持部を有する基板保持部材が、前記基板支持部の上面に固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項4ないし6いずれか1項に記載の基板用トレイであって、
前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、端部の面取り部以外の厚さが均一である基板保持部を備える基板保持部材、が固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項1ないし7いずれか1項に記載の基板用トレイであって、
前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、均一な厚みを有する肉厚部を備える基板保持部材、が固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項1ないし7いずれか1項に記載の基板用トレイであって、
前記基板保持部材が固定された枠部の辺部に直交する鉛直方向の断面において、前記基板保持部材が固定された枠部の辺部側からトレイ内側へ向かって、厚さが薄くなっていく肉厚部を備える基板保持部材、が固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項1ないし9いずれか1項に記載の基板用トレイであって、
前記基板保持部材の突起部が、前記基板の端面のみと接するように形成されている基板保持部材、が固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項1ないし10いずれか1項に記載の基板用トレイであって、
前記基板保持部材の突起部の前記基板との接触面が、前記基板の端面と概平行である基板保持部材、が固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項1ないし11のいずれか1項に記載の基板用トレイであって、
前記基板保持部材が固定された枠部の辺部と平行な鉛直方向の断面において、前記基板保持部材の中央部は前記基板保持部材の裏面に沿って均一な厚みを持ち、中央部より端部へ向かってテーパー状に厚さが減少していく肉厚部を備える基板保持部材、が固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項1ないし12のいずれか1項に記載の基板用トレイであって、
熱可塑性樹脂からなる基板保持部材、が固定されていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項1ないし13のいずれか1項に記載の基板用トレイであって、
支持される前記基板が、表示パネル用のカラーフィルター形成基板、あるいは、前記カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板であることを特徴とする基板用トレイ。
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