JP6056203B2 - 基板保持部材 - Google Patents
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Description
従来、こういった基板の搬送や保管をおこなう際は、基板を傷や破損から守るため、基板同士が接触しないように所定間隔で並列収納できる箱形の収納容器を用いていた。
このような中、近年、特に液晶表示用のフラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、搬送や保管に対して、更に一層の搬送効率向上による搬送コスト節減や保管場所の省スペース化が求められている。
しかしながら、上記のような収納容器による搬送では、搬送時の振動により割れや傷が発生しやすく、トレイのコンパクト化が非常に困難であった。
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている基板保持部材であって、前記振動制御部Bが、着脱可能に作製されていることを特徴とする。
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている基板保持部材であって、前記振動制御部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする。
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている基板保持部材であって、前記振動制御部Bに、前記移動規制面に対して垂直方向の溝が、少なくとも1つ形成されていることを特徴とする。
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている基板保持部材であって、前記振動制御部Bに、前記移動規制面に対して垂直方向の溝が、少なくとも1つ形成されていることを特徴とする。
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている基板保持部材であって、前記振動制御部B、前記振動制御部A、および前記基板規制部にまたがる前記移動規制面に対して垂直方向の溝が、少なくとも1つ形成されていることを特徴とする。
搬送または保管時の振動により、基板には、鉛直方向の振動だけではなく水平方向の移動も発生する。このような移動を防止するために、特開2006−168748号公報(特許文献1)、特開2010−120690号公報(特許文献2)、特開2008−155995号公報(特許文献3)では、基板への当接材を使用し基板を固定している、またはテーパー状の基板保持部材の使用により基板の移動を規制している。当接材の使用は、基板の汚れ、傷の原因となるとともに、基板が固定されていることにより、固定部に振動発生時の応力が発生し、基板の破損が発生する可能性がある。また、テーパー状の基板保持部材では、徐々に上下の間隙が狭くなっていくことによって水平方向の基板の移動を規制しているが、テーパー部により形成されるくさび状の間隙に、基板が挟まれることにより基板が固定され、振動発生時に応力が集中し、基板の破損が発生したりする可能性がある。
さらに、本発明の基板保持部材は、振動制御部Aとよぶ基板に鉛直方向の振動が発生した時に前記基板と接触する部位を有しており、通常は基板と接していない。さらに、前記振動制御部Aの下に移動規制面を有する振動制御部Bとよぶ突起を有しており、前記振動制御部Aの振動制御部Bより枠内側の平坦な下面部分の移動規制面と垂直方向の幅を規定することにより、振動発生時に、一般的に基板の外周に位置する非機能部とよぶ機能性表面加工が施されていない機能を持たない領域のみと接触するように設計することにより、振動等が発生した時でも、基板の機能を損なう可能性が少なく、破損、汚れを防止した安定的な前記基板を保管または搬送が可能となる。
図1に、本発明の基板保持部材14を有する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略を示す。図1(a)は枠体12の4辺に支持された基板支持部13が、直線状に基板111の端部を支持する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略図である。図1(b)は枠体12の4辺のうち一方の対向する2辺に固定された基板支持部13が直線状に基板111の両端を支持し、枠体12の4辺のうち他方の対向する2辺に固定された基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませて、基板111の両端を支持する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略図である。また、図示はしていないが、基板用トレイ11は、基板111を安定に保持するために、4辺に固定された基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませて、基板111の4辺を支持する基板用トレイ11であってもよい。また、基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませる場合、撓んだ基板支持部13を支持する枠体12は、直線であって前記基板支持部13が鉛直方向下側に撓んだ形状であってもよい。前記撓みの形状は、円弧状でも放物線上でもよく、撓ませた基板111の、端部と中央部の高さの差は基板サイズによって適宜設計される。
図4(a)および図11に示すように、基板保持部14aの平坦な上面36の上に基板111が載せられた基板用トレイ11が重ねられて、保管または搬送に供せられる。基板111は、図1に示すようにトレイに載せられる。
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bを形成することにより、上下に位置する前記基板保持部材14同士の接触を防止し、接触時に発生する異物の発生の抑制、ならびに接触による前記基板保持部材14の変形を防止することが可能となる。
b<aの関係により、重ねた状態で下側に位置する第1の基板用トレイの基板保持部材の基板保持部の平坦な上面36と、その上に位置する前記第2の基板用トレイの基板保持部材14の基板規制部の平坦な下面37と、が接触することがなく、異物の発生等を抑制することが可能となる。
a-b<dの関係により、下側に位置する第1の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面36と、上側に位置する前記第2の基板保持部材14の基板規制部の平坦な下面37と、の間隔が、保持される基板111の厚さより小さくなることから、前記間隔に、保持される基板が挟み込まれることを容易に防止でき、基板111の破損防止効果が向上する。
a−c>dの位置関係により、振動が発生していない通常時、前記振動制御部A32と前記基板111は接触せず、接触による基板111の汚染および傷つきの防止を低減することが可能となる。
前記a、b、c、dの数値は、多段に重ねた基板用トレイ11の間隔、基板支持部の厚さ等により適宜設計される。
前記溝101は、基板保持部14aに形成されていても良い。
前記溝101は、振動制御部B33に形成されても良い。前記溝101は、振動制御部B33と振動制御部A32にまたがって形成されていても良い。前記溝101は、振動制御部B33と振動制御部A32と基板規制部14bにまたがって形成されていても良い。前記溝101は、振動制御部B33と基板規制部14bに形成されていても良い。前記溝101は、振動制御部B33と振動制御部A32にまたがって形成され、さらに基板規制部14bに形成されていても良い。
このように、各部材間にまたがって溝101が形成されることにより、前記基板保持部材14の可撓性が向上するため、前記基板111の保管または搬送時の振動に対する前記基板保持部材14の耐久性および固定の安定性をさらに向上させるものである。
液晶用G6サイズ基板(1850mm×1500mm×0.7mmt;機能層は基板中央に形成され、機能層の領域のサイズは1820mm×1470mm)用の基板用トレイ11を作製し、搬送・保管テストをおこなった。前記基板保持部材14は、長辺側は8個、短辺側は7個配置した。
前記振動制御部40は、材料にUPE(超高分子量ポリエチレン)を用い、切削加工により作製した。前記移動規制部31および前記振動制御部40には、それぞれU字型の溝101を2箇所、ねじ穴を形成した。図10に示すように、前記基板規制部14bと前記振動制御部40とをねじにより固定し、さらに前記嵌合部123および前記位置決め部124に使用して、前記基板保持部14aと固定した前記基板規制部14bと前記振動制御部40とを前記基板支持部13の開口部へ固定した。
前記底部が円弧状に形成されている溝101により、湾曲部への取り付けも安定しておこなうことが出来た。
液晶用G6サイズ基板(1850mm×1500mm×0.7mmt;機能層は基板中央に形成され、機能層の領域のサイズは1820mm×1470mm)を、新規液晶用基板(1800mm×1500mm×0.7mmt;機能層は基板中央に形成され、機能層の領域のサイズは1770mm×1470mm)に変更するため、前記基板用トレイ11の短辺側に配置された前記基板保持部材14の交換し、搬送・保管テストをおこなった。
(1)各辺全ての基板保持部材14の前記振動制御部40を交換し、基板サイズ変更に対応
(2)各辺全ての基板保持部材14の前記振動制御部40のねじ穴の位置を変更し取り付け位置の変更を行い、基板サイズ変更に対応
(3)各辺に固定された基板保持部材14うち、両端の2個と中間に位置する1個の振動制御部40を交換し、基板サイズ変更に対応
(4)各辺に固定された基板保持部材14うち、両端の2個と中間に位置する1個の振動制御部40のねじ穴の位置を変更し取り付け位置の変更を行い、基板サイズ変更に対応
(5)7個の基板保持部材14うち、両端の2個の振動制御部40を交換し、基板サイズ変更に対応
(6)7個の基板保持部材14うち、両端の2個の振動制御部40のねじ穴の位置を変更し取り付け位置の変更を行い、基板サイズ変更に対応
して基板用トレイ11を準備して、搬送・保管テストをおこなった。それぞれ、前記新規液晶用基板に対応するため、相対する2辺の移動規制面35間の距離が長辺側が1805mm、短辺側が1505mmとなるような変更をおこなった。
12 枠体
13 基板支持部
14 基板保持部材
14a 基板保持部
14b 基板規制部
32 振動制御部A
33 振動制御部B
35 移動規制面
36 基板保持部の平坦な上面
37 基板規制部の平坦な下面
38 振動制御部Aの振動制御部Bより枠内側の平坦な下面部分
39 振動制御部Aの厚さ変化部
40 振動制御部
81 非機能部の幅
101 溝
103 搬送用架台
111 基板
112 機能部
123 嵌合部
124 位置決め部
Claims (19)
- 四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、
前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、少なくとも基板保持部、基板規制部、および振動制御部を備え、前記振動制御部は、少なくとも振動制御部Aと振動制御部Bとを備え、
前記基板保持部は、その上に基板を保持する平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、
前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、
さらに、前記基板規制部は、該基板規制部の下面に前記振動制御部Aを有し、前記振動制御部Aは該振動制御部Aの下面に前記振動制御部Bを有し、
前記振動制御部Bは、保持する基板の水平方向の移動を規制する、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面を有し、前記基板用トレイの対向する2辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の振動制御部Bの前記移動規制面間に基板を保持し、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
下側に位置する第1の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第2の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をa、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の振動制御部Bの下面と、の間隔をb、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の基板保持部材の振動制御部Aの振動制御部Bより枠内側の平坦な下面部分と、の間隔をc、
保持される基板の厚さをd、
とした時に、
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている
基板保持部材であって、
前記振動制御部Bが、着脱可能に作製されていることを特徴とする基板保持部材。 - 四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、
前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、少なくとも基板保持部、基板規制部、および振動制御部を備え、前記振動制御部は、少なくとも振動制御部Aと振動制御部Bとを備え、
前記基板保持部は、その上に基板を保持する平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、
前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、
さらに、前記基板規制部は、該基板規制部の下面に前記振動制御部Aを有し、前記振動制御部Aは該振動制御部Aの下面に前記振動制御部Bを有し、
前記振動制御部Bは、保持する基板の水平方向の移動を規制する、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面を有し、前記基板用トレイの対向する2辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の振動制御部Bの前記移動規制面間に基板を保持し、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
下側に位置する第1の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第2の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をa、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の振動制御部Bの下面と、の間隔をb、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の基板保持部材の振動制御部Aの振動制御部Bより枠内側の平坦な下面部分と、の間隔をc、
保持される基板の厚さをd、
とした時に、
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている
基板保持部材であって、
前記振動制御部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする基板保持部材。 - 四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、
前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、少なくとも基板保持部、基板規制部、および振動制御部を備え、前記振動制御部は、少なくとも振動制御部Aと振動制御部Bとを備え、
前記基板保持部は、その上に基板を保持する平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、
前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、
さらに、前記基板規制部は、該基板規制部の下面に前記振動制御部Aを有し、前記振動制御部Aは該振動制御部Aの下面に前記振動制御部Bを有し、
前記振動制御部Bは、保持する基板の水平方向の移動を規制する、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面を有し、前記基板用トレイの対向する2辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の振動制御部Bの前記移動規制面間に基板を保持し、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
下側に位置する第1の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第2の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をa、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の振動制御部Bの下面と、の間隔をb、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の基板保持部材の振動制御部Aの振動制御部Bより枠内側の平坦な下面部分と、の間隔をc、
保持される基板の厚さをd、
とした時に、
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている
基板保持部材であって、
前記振動制御部Bに、前記移動規制面に対して垂直方向の溝が、少なくとも1つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、
前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、少なくとも基板保持部、基板規制部、および振動制御部を備え、前記振動制御部は、少なくとも振動制御部Aと振動制御部Bとを備え、
前記基板保持部は、その上に基板を保持する平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、
前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、
さらに、前記基板規制部は、該基板規制部の下面に前記振動制御部Aを有し、前記振動制御部Aは該振動制御部Aの下面に前記振動制御部Bを有し、
前記振動制御部Bは、保持する基板の水平方向の移動を規制する、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面を有し、前記基板用トレイの対向する2辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の振動制御部Bの前記移動規制面間に基板を保持し、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
下側に位置する第1の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第2の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をa、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の振動制御部Bの下面と、の間隔をb、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の基板保持部材の振動制御部Aの振動制御部Bより枠内側の平坦な下面部分と、の間隔をc、
保持される基板の厚さをd、
とした時に、
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている
基板保持部材であって、
前記振動制御部Bおよび前記振動制御部Aにまたがる前記移動規制面に対して垂直方向の溝が、少なくとも1つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に多段に重ねて、複数の前記基板を保管または搬送する基板用トレイにおいて、
前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、少なくとも基板保持部、基板規制部、および振動制御部を備え、前記振動制御部は、少なくとも振動制御部Aと振動制御部Bとを備え、
前記基板保持部は、その上に基板を保持する平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、
前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、
さらに、前記基板規制部は、該基板規制部の下面に前記振動制御部Aを有し、前記振動制御部Aは該振動制御部Aの下面に前記振動制御部Bを有し、
前記振動制御部Bは、保持する基板の水平方向の移動を規制する、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面である移動規制面を有し、前記基板用トレイの対向する2辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の振動制御部Bの前記移動規制面間に基板を保持し、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねて使用する状態で、
下側に位置する第1の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第2の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をa、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の振動制御部Bの下面と、の間隔をb、
前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の基板保持部材の振動制御部Aの振動制御部Bより枠内側の平坦な下面部分と、の間隔をc、
保持される基板の厚さをd、
とした時に、
b<a、a-b<d、a-c>d
なる関係を全て満たすように、振動制御部Aおよび振動制御部Bが形成されている
基板保持部材であって、
前記振動制御部B、前記振動制御部A、および前記基板規制部にまたがる前記移動規制面に対して垂直方向の溝が、少なくとも1つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項3ないし請求項5のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部Bが、着脱可能に作製されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項3ないし請求項5のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部が、着脱可能に作製されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項3ないし請求項7のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部に、前記移動規制面に対して垂直方向の溝が、少なくとも1つ形成されていることを特徴とする基板保持部
材。 - 請求項1ないし請求項8のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部Aの少なくとも1辺が、厚さが減少する厚さ変化部を有していることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項3ないし請求項9のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記移動規制面に対して垂直方向の溝の底部が円弧状に形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1ないし請求項10のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記振動制御部Aの振動制御部Bより枠内側の平坦な下面部分の、移動規制面と垂直方向の幅が、保持される基板の外周に位置する非機能部の幅より小さいことを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1ないし請求項11のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材が、可撓性を有していることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1ないし請求項12のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材が、熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 基板用トレイであって、請求項1ないし請求項13のいずれか1項に記載の基板保持部材の前記移動規制面が、保持される基板の端面と平行になるように、前記基板保持部材が固定されることを特徴とする基板用トレイ。
- 請求項14に記載の基板用トレイであって、前記基板用トレイの対向する2辺の前記基板支持部に固定された基板保持部材の移動規制面間の距離が、保持される基板の幅より大きくなるように、前記基板保持部材が固定されることを特徴とする基板用トレイ。
- 請求項14ないし請求項15のいずれか1項に記載の基板用トレイであって、請求項1ないし請求項13のいずれか1項に記載の基板保持部材が、前記基板用トレイの前記基板支持部の形状に沿って固定されていることを特徴とする基板用トレイ。
- 請求項16に記載の基板用トレイであって、保持される基板の少なくとも一対の対向する2辺を、辺の両側から中央へ向けて鉛直下方へ湾曲した状態で、保持することを特徴とする基板用トレイ。
- 請求項14ないし請求項17のいずれか1項に記載の基板用トレイであって、
前記基板用トレイの前記枠体の各辺それぞれに、請求項1ないし請求項13のいずれか1項に記載の基板保持部材が間隔をおいて複数取り付けられていることを特徴とする基板用トレイ。 - 請求項18に記載の基板用トレイであって、
前記基板用トレイの前記枠体の各辺において、1辺に対して複数固定された基板保持部材のうち少なくとも2個以上の基板保持部材が、前記振動制御部または前記振動制御部Bを着脱可能に作製されていることを特徴とする基板用トレイ。
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