KR100548745B1 - 기판 수납 트레이 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (25)
- 기판을 수납하기 위한 기판 수납 트레이에 있어서,서로 대향하는 한 쌍의 제1 프레임부 및 서로 대향하는 한 쌍의 제2 프레임부를 포함하는 프레임;기판을 지지하기 위해 상기 프레임에 의해 둘러싸인 영역에 제공되고, 상기 한 쌍의 제1 프레임부 사이에 제공되는 제1 개구를 갖는 판상의 지지 요소; 및상기 지지 요소를 지지하기 위해 상기 한 쌍의 제1 프레임부 사이의 상기 제1 개구를 따라 제공되는 지지 부재를 포함하는 기판 수납 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 지지 부재는, 상기 지지 요소의 상면 보다 낮은 높이로 제공되는 기판 수납 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 지지 요소는 상기 한 쌍의 제2 프레임부 사이에 제공되는 제2 개구를 갖는 기판 수납 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 지지 요소는 발포 합성 수지를 포함하는 기판 수납 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 프레임 및 상기 지지 부재는 각각 알루미늄으로 이루어지는 기판 수납 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 지지 요소를 보강하기 위한 것으로, 상기 한 쌍의 제1 프레임부 사이에서 상기 지지 요소에 제공되는 보강 부재를 더 포함하는 기판 수납 트레이.
- 제6항에 있어서, 상기 보강 부재는, 상기 지지 요소의 상면 보다 낮은 높이로 상기 지지 요소에 제공되는 기판 수납 트레이.
- 제6항에 있어서, 상기 보강 부재는, 알루미늄 파이프에 의해 형성되는 기판 수납 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 지지 요소는 상기 프레임의 복수의 코너 근방에 각각 제공되는 복수의 개구부를 갖는 기판 수납 트레이.
- 제1항에 있어서, 상기 지지 부재는,직선상 빔형 지지 보디부;상기 지지 보디부의 일측상의 상측 위치에 제공된 제1 상부 플랜지부; 및상기 지지 보디부의 일측상의 하측 위치에 제공된 제1 하부 플랜지부를 포함하고,상기 제1 상부 플랜지부 및 상기 제1 하부 플랜지부는 그 사이에 공간을 갖는 기판 수납 트레이.
- 제10항에 있어서, 상기 지지 보디부는 사다리꼴 단면을 갖는 기판 수납 트레이.
- 제10항에 있어서, 상기 지지 보디부는 중공(hollow)인 기판 수납 트레이.
- 제12항에 있어서, 상기 지지 부재는 상기 지지 요소의 평면 방향에 대해 실질적으로 수직으로 상기 지지 보디부에 제공되는 보강 리브(rib)를 더 포함하는 기판 수납 트레이.
- 제10항에 있어서, 상기 지지 부재는,상기 지지 보디부의 타측상의 상측 위치에 제공된 제2 상부 플랜지부; 및상기 지지 보디부의 타측상의 하측 위치에 제공된 제2 하부 플랜지부를 포함하고,상기 제2 상부 플랜지부 및 상기 제2 하부 플랜지부는 그 사이에 공간을 갖는 기판 수납 트레이.
- 제14항에 있어서, 상기 지지 보디부는 사다리꼴 단면을 갖는 기판 수납 트레 이.
- 제14항에 있어서, 상기 지지 보디부는 중공(hollow)인 기판 수납 트레이.
- 제16항에 있어서, 상기 지지 부재는 상기 지지 요소의 평면 방향에 대해 실질적으로 수직으로 상기 지지 보디부에 제공되는 보강 리브(rib)를 더 포함하는 기판 수납 트레이.
- 제1항에 있어서,상기 한 쌍의 제1 프레임부는 서로 실질적으로 평행하고,상기 한 쌍의 제1 프레임부와 상기 한 쌍의 제2 프레임부는 서로 실질적으로 수직하며,상기 프레임은 사각형 프레임인 기판 수납 트레이.
- 기판을 수납하기 위한 기판 수납 트레이에 있어서,서로 대향하는 한 쌍의 제1 프레임부 및 서로 대향하는 한 쌍의 제2 프레임 부를 포함하는 프레임; 및기판을 지지하기 위해 상기 프레임에 의해 둘러싸인 영역에 제공되는 판상(plate-like)의 지지 요소를 포함하는 기판 수납 트레이.
- 제19항에 있어서, 상기 지지 요소는 상기 프레임의 복수의 코너 근방에 각각 제공되는 복수의 개구부를 갖는 기판 수납 트레이.
- 제19항에 있어서, 상기 지지 요소는 발포 합성 수지를 포함하는 기판 수납 트레이.
- 제19항에 있어서, 상기 프레임은 알루미늄으로 이루어지는 기판 수납 트레이.
- 제19항에 있어서, 상기 지지 요소를 보강하기 위한 것으로, 상기 한 쌍의 제1 프레임부 사이에서 상기 지지 요소에 제공되는 보강 부재를 더 포함하는 기판 수납 트레이.
- 제23항에 있어서, 상기 보강 부재는, 상기 지지 요소의 상면 보다 낮은 높이로 상기 지지 요소에 제공되는 기판 수납 트레이.
- 제23항에 있어서, 상기 보강 부재는, 알루미늄 파이프에 의해 형성되는 기판 수납 트레이.
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