JP6123329B2 - 基板保持部材 - Google Patents

Description

本発明は四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に複数重ねて、複数の前記基板を保管、搬送する基板用トレイにおいて、基板の揺動、移動を制御し、傷や汚れを防ぐ、前記基板を保持する基板保持部材に関するものである。

プラズマディスプレイパネル、液晶ディスプレイパネル等のフラットパネル部材といった機能層を有した板状物からなる基板は、その機能層を損傷したり、汚したりすることなく搬送または保管することが重要である。
従来、こういった基板を搬送、保管する際は、基板を傷や破損から守るため、基板同士が接触しないように所定間隔で並列収納できる、箱形の収納容器を用いていた。
このような中、近年、特に、液晶表示用のフラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、搬送、保管に対して、更に一層の、搬送効率向上による搬送コスト節減や保管場所の省スペース化が求められている。
しかしながら、上記のような収納容器による搬送では、搬送時の振動により基板が跳
ねやすく、割れや傷が発生しやすく、トレイの薄型化が非常に困難であった。

基板の割れや傷を防ぎ、基板の汚染を防止し、さらに高密度で搬送、保管を行うために、多くの検討が行われてきている。

たとえば、特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）、特開２０１０−１２０６９０号公報（特許文献２）では、基板の動きを抑えるため、当該基板の一層上の枠体に基板押さえ部を形成し、基板保持部材に積載した当該基板上に、基板押さえ部に当接させて、当該基板を保持している。このような手法により、基板の移動を防ぐことが可能となるが、当接部での基板の汚染、傷、搬送時の振動による当接部での応力発生による基板の割れ等の課題があり、安定した基板搬送には至っていない。

また、前記当接部の接触による汚染、傷、割れを防止するために、特開２００８−１５５９９５号公報（特許文献３）では、基板に振動が発生した時のみ当接するテーパー状の基板移動制限部材を用いることにより、前記当接部の接触による汚染、傷、割れを防止する方法が提示されているが、この方法では、基板の振動発生時に、前記テーパー状の基板移動制限部材が当接する位置が制御できず、基板上に形成された機能層への汚染、傷の発生が懸念されるとともに、基板の水平方向への移動が発生した場合、テーパー部に基板が挟まって、応力により割れが発生するといった懸念もある。

特開２００６−１６８７４８号公報 特開２０１０−１２０６９０号公報 特開２００８−１５５９９５号公報

四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に複数重ねて、複数の前記基板を保管、搬送する基板用トレイにおいて、前記基板を保持する基板保持部材に関する。特に、自重により撓む、平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料（例えば、ガラスやプラスチックなど）ないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物や、それらに処理を施した板状の処理部材の、搬送、保管に適した基板用トレイに関するものであり、保持する基板を損傷したり汚したりすることなく、輸送及び保管することが可能な基板用トレイに用いる基板保持部材、並びに前記基板保持部材を用いた基板用トレイを提供することを目的とする。

本発明の基板保持部材は、以下の各態様に記載の手段により上記の課題を解決するものである。

本発明の第１の態様は、基板を水平方向に保持し、鉛直方向に複数重ねて、複数の前記基板を保管、搬送する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材は、少なくとも基板保持部、移動規制部Ａ、基板規制部、振動制御部、移動規制部Ｂ、および移動規制部Ｃを有し、前記基板保持部は、前記基板支持部の上面より突出して前記基板支持部に固定され、前記基板規制部は、前記基板支持部の下面より突出して前記基板支持部に固定される基板保持部材であって、前記基板保持部は、平坦な上面を有し、前記移動規制部Ａは、前記基板保持部の上面に形成され、さらに移動規制面Ａを有し、前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記振動制御部は、前記基板規制部の下面に形成され、さらに前記移動規制部Ｂおよび前記移動規制部Ｃは、前記振動制御部の下面に形成され、前記移動規制部Ｂは移動規制面Ｂを有し、前記移動規制部Ｃは移動規制面Ｃを有し、前記移動規制面Ａ、前記移動規制面Ｂ、および前記移動規制面Ｃは、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面であって、前記移動規制部Ｂと前記移動規制部Ｃは間隔をおいて配置されるとともに、前記移動規制面Ｂと前記移動規制面Ｃが同一平面になるように配置され、さらに、前記基板用トレイを鉛直方向に複数重ねて使用する状態で、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制部Ａが、その直上に位置する第２の基板保持部材の移動規制部Ｂと前記移動規制部Ｃとの間隙部に位置し、また、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制部Ａの移動規制面Ａと、その直上に位置する第２の基板保持部材の前記移動規制面Ｂおよび前記移動規制面Ｃが同一平面になるように形成されていることを特徴とする。

本発明の第２の態様は、前記第１の態様に記載の基板保持部材であって、前記基板用トレイを鉛直方向に複数重ねて使用する状態で、下側に位置する第１の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第２の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をａ、前記移動規制部Ａの上面と、該移動規制部を有する基板保持部の平坦な上面と、の間隔をｂ、前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の移動規制部Ｂまたは移動規制部Ｃの下面と、の間隔のうち大きい方をｃ、前記基板保持部材の振動制御部の下面と、該基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をｄ、保持される基板の厚さをｅ、とした時に、
ｂ＜ａ-ｄ、ｃ＜ａ、ｂ+ｃ＞ａ、ａ−ｄ＞ｅ
なる関係を全て満たすように、基板保持部、移動規制部Ａ、基板規制部、振動制御部、移動規制部Ｂ、および移動規制部Ｃが形成されていることを特徴とする。

本発明の第３の態様は、前記第１ないし第２の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記振動制御部の平坦な下面の、移動規制部Ｂより枠内側方向の幅が、保持される基板の外周に位置する非機能部の幅より小さいことを特徴とする。

本発明の第４の態様は、前記第１ないし第３の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材が、可撓性を有していることを特徴とする基板保持部材。

本発明の第５の態様は、前記第１ないし第４の態様いずれかひとつの態様に記載の基板保持部材であって、前記基板保持部材が、熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする基板保持部材。

本発明の第６の態様は、前記基板用トレイであって、前記第１ないし第５の態様のいずれかひとつの態様に記載の基板保持部材が、前記基板用トレイの前記枠体の少なくとも一対の対向する２辺に、間隔をおいて複数取り付けられていることを特徴とする。

本発明の基板保持部材は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下側から水平方向に保持し、鉛直方向に複数重ねて、複数の前記基板を保管、搬送する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持するものである。
搬送または保管時の振動により、基板は鉛直方向の振動だけではなく、水平方向の移動も発生する。このような移動を防止するために、特開２００６−１６８７４８号公報（特許文献１）、特開２０１０−１２０６９０号公報（特許文献２）、特開２００８−１５５９９５号公報（特許文献３）では、基板への当接材を使用し固定している、またはテーパー状の基板保持部材の使用により移動を規制している。当接材の使用は、基板の汚れ、傷の原因となるとともに、基板が固定され、固定部に振動発生時の応力が発生することにより、基板の破損が発生する可能性がある。また、テーパー状の基板保持部材では、徐々に上下の間隙が狭くなっていくことにより水平方向の基板の移動が規制されるが、テーパー部により形成される間隙に、基板がくさび状に挟まれることにより基板保持部材が損傷し異物が発生する。さらに、基板が固定され、振動発生時の応力により、基板の破損が発生する等の可能性がある。

本発明の基板保持部材は、前記基板を固定することなく、水平方向及び鉛直方向に前記基板の可動域を確保するとともに、前記可動域を規制し、安定に前記基板を保持するものであり、保持される基板の破損、汚れ等を防止し、安定的な基板を保管、搬送を可能とするものである。

図１（ａ）、図１（ｂ）は、本発明の基板保持部材の実施の形態の１例の概略図で、図１（ｃ）は、図１（ａ）及び図１（ｂ）の本発明の基板保持部材を有する基板用トレイを上方から見た平面図の概略図である。 図２（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイに基板を積載し、複数重ねて前記基板を保持している概略図である。 図３（ａ）は、本発明の基板保持部材の概略図、図３（ｂ）は、本発明の基板保持部材を図３（ａ）のＥ方向より見た概略図、図３（ｃ）は、本発明の基板保持部材を鉛直上方より見た概略図、図３（ｄ）は、本発明の基板保持部材を図３（ａ）のＦ方向より見た概略図である。 図４は、本発明の基板保持部材の、基板用トレイへの取り付け方法の１例の概略図である。 図５は、本発明の基板保持部材の、基板用トレイへの取り付け方法の１例の概略図である。 図６は、本発明の基板保持部材の、基板用トレイへの取り付け方法の１例の概略図である。 図７は、本発明の基板保持部材の、基板用トレイへの取り付け方法の１例の概略図である。 図８（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を有する基板用トレイが積層されている１例の概略図である。図８（ｃ）は、本発明の基板保持部材の基本となる寸法の概略図である。 図９（ａ）、（ｂ）は、本発明の基板保持部材を、基板用トレイの内側から見た概略図である。 図１０（ａ）、（ｂ）、（ｃ）は、本発明の基板保持部材を、斜めに形成された基板支持部へ固定する様子の概略図である。

以下、本発明の基板保持部材１４の実施の形態について、図面を参照して説明する。
図１に、本発明の基板保持部材１４を有する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略を示す。図１（ａ）は枠体１２の４辺に支持された基板支持部１３が、直線状に基板１１１の端部を支持する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略図である。図１（ｂ）は枠体１２の４辺のうち一方の対向する２辺に固定された基板支持部１３が直線状に基板１１１の両端を支持し、枠体１２の４辺のうち他方の対向する２辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の両端を支持する基板用トレイ１１の実施の形態の１例の概略図である。また、図示はしていないが、基板用トレイ１１は、基板１１１を安定に保持する為に、４辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の４辺を支持する基板用トレイ１１であってもよい。また、基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませる場合、撓んだ基板支持部１３を支持する枠体１２は、直線であって、前記基板支持部１３が鉛直方向下側に撓んだ形状であってもよい。前記撓みの形状は、円弧状でも放物線上でもよく、撓ませた基板１１１の、端部中央部の高さの差は基板サイズによって適宜設計される。

図１（ｃ）は、図１（ａ）及び図１（ｂ）の基板用トレイ１１を上方から見た平面図の概略図である。なお。図１（ａ），（ｂ），（ｃ）の概略図には記載されていないが、本発明の基板保持部材１４を有する基板用トレイ１１は、上下に位置する基板用トレイ１１間の相対的な位置関係を一定に保つため、複数枚重ねた時に、上下に位置する基板用トレイ１１の相対的な位置関係が一定になるような嵌合機能を有していてもよい。（ここで言う嵌合機能とは、互いにはまり合う機能を有していることである。）該嵌合機能は、安定に固定可能で、上下に位置する基板用トレイ１１の相対的な位置関係を一定に保つことが出来る形状であれば、どのような形状を有していてもよい。さらに、機械搬送に用いるための取手部等の部位を有していてもよい。

図２（ａ）、（ｂ）は、前記基板用トレイ１１が、輸送及び保管のために積層されている概略図である。図２（ａ）は、４辺が直線状の基板用トレイ１１、図２（ｂ）は、枠体１２の４辺のうち一方の対向する２辺に固定された基板支持部１３が直線状に基板１１１の両端を支持し、枠体１２の４辺のうち他方の対向する２辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の両端を支持する基板用トレイ１１を搬送用架台１０３上に積層している概略図である。本発明の基板保持部材１４は、図１に示した基板用トレイ１１に固定され、前記基板トレイ１１は、図２のように積層して使用される。

図１の基板用トレイ１１の枠体１２は、搬送または保管時に多数積層して使用されるため、強度が必要とされ、一般に金属材料が使用される。ガラスファイバー、カーボンファイバーと樹脂により成形した材料を用いてもよいが、積層時、輸送時等に傷が発生しやすく異物問題の要因となる為、金属性であることが好ましい。特に、多層積層時の軽量化を図る為、強度、軽量性を兼ね備えたジュラルミン等のアルミ合金を使用するのが好ましい。また、前記枠体１２が支持する基板支持部１３は、溶接等により前記枠体１２と接合させてもよいが、強度、作製のしやすさ等を鑑みて、押し出し成形等により、前記枠体１２と同時に作製するのが好ましい。

基板保持部材１４は、成形のしやすさ、振動の緩衝材としての機能、異物発生の少なさ、傷付き防止、基板１１１への汚染防止等を考慮して、熱可塑性樹脂が用いられる。前記基板保持部材１４が、熱可塑性樹脂で形成されていることにより、前記基板保持部材１４が射出成形で成形可能となり、切削加工で前記基板保持部材１４を作製する方法と比較して、多大な費用をかけずに多数の前記基板保持部材１４を作製することが可能となるとともに、樹脂製であることにより、前記基板１１１への傷付きを低減することが可能となる。さらに、熱可塑性樹脂の中でも、特にポリエチレン（ＰＥ）、ポリプロピレン（ＰＰ）、ナイロン６６やナイロン６１０といったポリアミド系樹脂、ポリエーテルエーテルケトン（ＰＥＥＫ）やポリイミドが望ましい。なお、同様の機能を有すれば、基板保持部材１４の材質はこれらに限定はされない。また、移動規制部Ａ３１、振動制御部３２、移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４を着脱可能に作製する場合、これらは、前記熱可塑性樹脂だけでなく、切削加工による成形が可能なＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）、ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン）、ＰＰＳ（ポリフェニレンスルファイド）、ＭＣナイロン、ＰＯＭ（ポリアセタール、アセタール樹脂）、フェノール樹脂等のエンジニアリングプラスチックを使用しても良い。中でも、切削加工適性、柔軟性を検討した結果、ＵＰＥ（超高分子量ポリエチレン）が好ましいことを確認した。なお、同様の機能を有すれば、移動規制部Ａ３１、振動制御部３２、移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４の材質はこれらに限定はされるものではない。

本発明の基板保持部材１４は、図３に示すとおり、前記基板保持部材１４は、基板保持部１４ａ、前記基板保持部１４ａの上面に形成された移動規制部Ａ３１、基板規制部１４ｂ、前記基板規制部１４ｂの下面に形成された振動制御部３２、移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４を有している。

前記基板保持部１４ａの上面が平坦であることにより、保持される基板１１１への前記基板保持部材１４の材料の転写の防止、前記基板保持部材１４により保持される基板１１１への傷の防止が可能となる。また、前記基板規制部１４ｂの下面が平坦であることにより、複数重ねて使用した時、基板振動発生時等による保持される基板１１１と前記基板規制部１４ｂの下面との接触を低減させることが可能となり、前記基板保持部材１４による保持される基板１１１への傷の防止が可能となる。

前記移動規制部Ａ３１は、前記基板保持部の平坦な上面３６と垂直な平面（移動規制面Ａ４１）を有している。前記移動規制面Ａ４１は、移動規制部Ａ３１の枠内側方向にあり、保持される基板１１１の端面と接触する。前記移動規制部Ａ３１は、図３に示すように、一般的には直方体に形成されるが、前記移動規制面Ａ４１を有していれば良く、直方体に限定するものではない。前記移動規制部Ａ３１の上面は、基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねて使用する時に、その上段の基板保持部材１４との接触を避ける為、また、より高密度に基板用トレイを積載する為に、平坦であることが好ましい。

前記振動制御部３２、前記移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４を合わせた部分（以下、基板抑制部４０という。）は、図３（ｄ）に示すように、該基板保持部材１４が固定された枠体１２の内側方向にむかって、移動規制部Ｂ３３、移動規制部Ｃ３４、および平坦な下面を有する振動制御部３２が重複した部分、移動規制部（移動規制部Ｂ３３と移動規制部Ｃ３４）より枠内側方向の振動制御部の平坦な下面部分３８、ならびに振動制御部の厚さ変化部３９の順で形成されている。また、前記移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４は、前記移動規制面Ａ４１と平行な移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３を枠内側方向に有している。

また、図３、図８、図１０等に示されるように、移動規制部Ｂ３３と移動規制部Ｃ３４は間隔をおいて配置されるとともに、移動規制面Ｂ４２と移動規制面Ｃ４３が同一平面になるように配置され、さらに、前記基板用トレイを鉛直方向に複数重ねて使用する状態で、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制部Ａ３１が、その直上に位置する第２の基板保持部材の移動規制部Ｂ３３と前記移動規制部Ｃ３４との間隙部に位置し、また、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制部Ａ３１の移動規制面Ａ４１と、その直上に位置する第２の基板保持部材の前記移動規制面Ｂ４２および前記移動規制面Ｃ４３が同一平面になるように形成されている。このように、上下より移動規制面を形成することにより、移動規制面を有する移動規制部と相対する基板保持部材との間隙に、基板が挟み込まれることを防止することできる。

図３（ｃ）、図１０（ｂ）に示すよう、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねたときに、下側に位置する第１の基板保持部材１４の移動規制部Ａ３１と、その上に位置する第２の基板保持部材１４の移動規制部Ｂ３３および移動規制部Ｃ３４とがお互いに干渉しない位置になるよう前記移動規制部Ａ３１と前記移動規制部Ｂ３３および移動規制部Ｃ３４は形成される。
図１（ａ）に示すように、枠体１２の４辺に支持された基板支持部１３が、直線状に基板１１１の端部を支持する基板用トレイ１１の辺部Ａ−Ａ’、Ｂ−Ｂ’、及び図１（ｂ）に示す枠体１２の４辺のうち一方の対向する２辺に固定された基板支持部１３が直線状に基板１１１の両端を支持し、枠体１２の４辺のうち他方の対向する２辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の両端を支持する基板用トレイ１１の鉛直方向下側に撓ませて基板１１１を支持する辺部Ｃ−Ｃ’においては、図３（ｄ）に示すように前記基板支持部１３は水平に形成され、前記移動規制部Ａ３１の移動規制面Ａ、前記移動規制部Ｂの移動規制面Ｂ、および前記移動規制部Ｃの移動規制面Ｃは、図３（ｃ）のＧ−Ｇ’、図３（ｄ）のＨ−Ｈ’、図８（ｂ）Ｉ−Ｉ’に示すように同一の平面状に位置するように形成し、前記移動規制面Ａ４１、前記移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３が、保持される基板１１１の端面と平行になるよう、基板保持部材１４を前記基板用トレイ１１へ固定する。
前記移動規制面Ａ４１、前記移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３は、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面であって、前記移動規制面Ｂと前記移動規制面Ｃが同一平面になるように配置され、かつ前記基板用トレイを鉛直方向に複数重ねて使用する状態で、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制部Ａの移動規制面Ａと、その直上に位置する第２の基板保持部材の前記移動規制面Ｂおよび前記移動規制面Ｃが同一平面になるように形成されていることによって、該保持される基板１１１の端面と面接触が可能となり、保持される基板１１１との接触時の応力集中の低減が可能となり、基板１１１の破損等の防止に効果がある。

また、図１（ｂ）に示す枠体１２の４辺のうち一方の対向する２辺に固定された基板支持部１３が直線状に基板１１１の両端を支持し、枠体１２の４辺のうち他方の対向する２辺に固定された基板支持部１３を鉛直方向下側に撓ませて、基板１１１の両端を支持する基板用トレイ１１の直線状に基板１１１を支持する辺部Ｃ-Ｃ’においては、図１０（ａ）に示すように、前記基板支持部１３は斜めになる。この場合、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねたときに、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制部Ａが、その直上に位置する第２の基板保持部材の移動規制部Ｂと前記移動規制部Ｃとの間隙部に位置するよう前記移動規制部Ａ３１、前記移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４が形成されるとともに、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねたときに、前記第１の基板保持部材１４の移動規制部Ａ３１の前記移動規制面Ａ４１と、その上に位置する第２の基板保持部材１４の移動規制部Ｂ３３および移動規制部Ｃ３４の移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３が、同一平面上（図１０（ａ）Ｌ−Ｌ’）になるよう前記移動規制部Ａ３１の移動規制面Ａ４１と、前記移動規制部Ｂ３３および移動規制部Ｃ３４の移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３を設計、形成し、前記移動規制面Ａ４１、前記移動規制面Ｂ４２、および移動規制面Ｃ４３が、保持される基板１１１の端面と平行になるよう、前記基板用トレイ１１への固定を行う。この場合、図３（ｂ）、（ｃ）に示すように、本発明の基板保持部材１４の、移動規制部Ａ３１の移動規制面Ａ４１と、移動規制部Ｂ３３および移動規制部Ｃ３４の移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３は、同一平面とはならない。移動規制部Ａ３１の前記移動規制面Ａ４１と、移動規制部Ｂ３２の移動規制面Ａ３５の位置関係は、前記基板支持部１３の角度により、適宜設計される。

前記移動規制面Ａ４１、前記移動規制面Ｂ４２、および前記移動規制面Ｃ４３は、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねて輸送及び保管する時の振動で、保持される基板１１１に水平方向の移動が発生した時に、前記保持される基板１１１の端面と接触し、保持される基板１１１の水平方向の移動を規制するものであり、保持される基板１１１の端面との接触時に発生する応力を極力低減する為、点接触より線接触、さらには面接触させることが好ましく、前記移動規制面Ａ４１、前記移動規制面Ｂ４２、および前記移動規制面Ｃ４３は、該基板保持部１４ａと垂直に形成され、前記移動規制面Ａ４１及び前記移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３が、保持される基板１１１の端面と平行になるよう基板支持部１３へ固定されることにより、保持される基板１１１の端面と面接触が可能となる。

また、前記振動制御部３２は、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねて輸送及び保管する時の振動で、保持される基板１１１に鉛直方向の移動が発生した時のみ、前記保持される基板１１１と接触し、保持される基板１１１の鉛直方向の移動、振動を規制するものである。前記保持される基板１１１を自由に振動させずに、前記振動制御部３２により、保持される基板１１１の端部の上下方向の移動、振動を規制することにより、前記基板１１１全体の振動を制御することが可能となり、基板１１１の破損防止効果が向上する。また、振動が発生していない通常時、前記振動規制部Ａ３２と前記基板１１１は接触していない為、接触による基板１１１の汚染及び傷つきの防止を低減することが可能となる。
前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねて輸送及び保管する時の振動で、前記保持される基板１１１と接触した時、前記保持される基板１１１の接触が、点ではなく、線もしくは面で接触できるように前記振動制御部３２は、平坦な下面を有している。点ではなく、線もしくは面で接触することにより、接触時に、前記保持される基板１１１への応力の分散が可能となり、前記保持される基板１１１の破損及び汚れを抑制することが可能となる。前記平坦な下面は、前記基板規制部の平坦な下面３７と平行に形成されていても良く、前記振動制御部３２の厚さが、前記基板規制部１４ｂが固定された前記枠体１３の内側へ向かって厚さが減少するように斜めに形成されていても良い。

また、図３（ｄ）に示すように、前記振動制御部３２は角部を形成せず、端部から該基板保持部材１４が固定された前記枠体の内側へ向かって厚さが減少している振動制御部の厚さ変化部３９を有する。前記角部を形成しないことにより、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねて輸送及び保管する時の鉛直方向の振動で、前記基板保持部材１４の振動制御部３２と前記保持される基板１１１が接触した時、前記基板１１１に前記基板保持部材１４の振動制御部３２の角部が衝突することが無くなり、前記前記保持される基板１１１への応力の集中を回避でき、前記前記保持される基板１１１の破損及び汚れを抑制することが可能となる。さらに、前記振動制御部３２は、図９に示すように、移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３と垂直方向の辺部に、振動制御部の厚さ変化部３９を有していても良い。垂直方向の振動により、前記基板１１１が振動制御部３２と接した時に、角部が接触し応力が集中することにより基板が破損することを防止することが可能となる。

また、前記移動規制部Ｂ３３および移動規制部Ｃ３４の下面は、基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねて使用する時に、その下段の基板保持部材１４との接触を避ける為、また、より高密度に基板用トレイを積載する為に、平坦であることが好ましい。

また、図８（ｂ）、図１０（ａ）に示すとおり、移動規制部Ｂより枠内側方向の振動制御部の平坦な下面部分３８の、移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３と垂直方向の幅を、表面加工された保持される基板１１１の外周に位置する非機能部の幅８１より小さく作製することにより、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねて輸送及び保管する時の鉛直方向の振動で、前記基板保持部材１４の振動制御部３２と前記保持される基板１１１が接触した時、前記表面加工された保持される基板１１１の機能部１１２と前記振動制御部３２の接触を避けることが可能とるため、機能部１１２への傷及び汚れの発生等の防止が可能となる。

図４〜図７は、本発明の基板保持部材１４の基板トレイ１１への設置方法の１例の概略図である。
図４（ａ）および図４（ｂ）は、前記基板保持部材１４を、位置決め機能兼ね備えた嵌合部１２３を形成した基板保持部１４ａと移動規制部Ａ３１を有した部分と、位置決め機能兼ね有した嵌合部１２３を形成した基板規制部１４ｂと基板抑制部４０を有した部分とを、別途成形し、前記基板支持部１３に形成した開口部へ、上下より嵌合させて固定する方法の概略図である。位置決め機能兼ね有した嵌合部１２３は、図４（ｂ）のように、位置決め部１２４、嵌合部１２３が分かれて形成されていても良い。前記嵌合部１２３および前記位置決め部１２４の形状は、前記基板支持部へ安定して固定できれば良く、適宜設計される。
図５は、前記嵌合部１２３を形成した基板保持部１４ａと移動規制部Ａ３１を有した部分と、前記嵌合部１２３を形成した基板規制部１４ｂと基板抑制部４０を有した部分とを、可撓性を持つヒンジ部を介して一体成形した前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３に形成した開口部へ、前記ヒンジ部を折り曲げて上下より嵌合させて固定する方法の概略図である。
図６は、基板保持部１４ａと、移動規制部Ａ３１と、基板規制部１４ｂと、基板抑制部４０とを有した基板保持部材１４を一体成形し、前記基板支持部１３の開口部へ嵌め込み、固定する方法の概略図である。図に示されるように、嵌め込みの為の溝が前記基板保持部材１４の周囲に形成されている。
図７は、一体成形した前記基板保持部材１４を、前記基板支持部１３の切り欠き部へ挿入し、固定する方法の概略図である。図に示されるように、嵌め込みの為の溝が前記基板保持部材１４の周囲に形成されている。

また、図に示していないが、前記基板保持部１４ａと移動規制部Ａ３１を有した部分と、基板規制部１４ｂと基板抑制部４０を有した部分とを、前記基板支持部１３へ、接着剤等を使用して貼り付けてもよい。また、位置精度を出す為に、前記基板支持部１３へざぐりを形成し、接着剤等を使用して貼り付けてもよい。基板保持部材１４の基板支持部１３への固定方法は、位置精度、固定強度が満たされていればよく、前述した方法に限るものではない。

また、図８（ｃ）に図示されるように、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねて使用する状態で、下側に位置する第１の基板保持部材１４の基板保持部の平坦な上面３６と、その直上に位置する第２の基板保持部材１４の基板規制部の平坦な下面３７と、の間隔をａ、前記移動規制部Ａ３１の上面と、該移動規制部Ａ３１を有する基板保持部の平坦な上面３６と、の間隔をｂ、前記基板保持部材１４の基板規制部の平坦な下面３７と、該基板保持部材１４の移動規制部Ｂ３３および移動規制部Ｃ３４の下面と、の間隔をｃ、前記基板保持部材１４の振動制御部の平坦な下面３８と、該基板保持部材１４の基板規制部の平坦な下面３７と、の間隔をｄ、保持される基板１１１の厚さをｅ、とした時に、ｂ＜ａ-ｄ、ｃ＜ａ、ｂ+ｃ＞ａ、ａ−ｄ＞ｅなる関係を全て満たすように、移動規制部Ａ３１と基板抑制部４０とを形成する。ｂ＜ａ-ｄ、ｃ＜ａの位置関係で設計することにより、上下に位置する前記基板保持部材１４同士の接触を防止し、接触時に発生する異物の発生の抑制、ならびに接触による前記基板保持部材１４の変形を防止することが可能となるとともに、ｂ+ｃ＞ａの位置関係により、下側に位置する前記第１の基板保持部材１４の移動規制部Ａ３１と上側に位置する前記第２の基板保持部材１４の基板規制部の平坦な下面３７との隙間、及び、上側に位置する前記基板保持部材１４の前記基板抑制部４０の前記移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４の下面と下側に位置する前記基板保持部材１４の基板保持部の平坦な上面３６との隙間に、保持される基板が挟み込まれることを容易に防止でき、基板１１１の破損防止効果が向上する。さらに、前記基板用トレイ１１の作製誤差、使用中の変形等による、枠の垂直方向のずれへの対応が可能となり、基板１１１の安定した輸送及び保管が可能となる。また、ａ−ｄ＞ｅの位置関係により、振動が発生していない通常時、前記振動制御部３２と前記基板１１１は接触せず、接触による基板１１１の汚染及び傷つきの防止を低減することが可能となる。
基板１１１の搬送、保管の振動、応力等による前記枠体１２、前記基板支持部１３に小さな変形が発生した場合も、ｂ+ｃ＞ａなる関係により、基板保持部材１４が前述の構成からなることにより、前記基板１１１を安定して保持することが可能となる。
前記ａ、ｂ、ｃ、ｄの数値は、複数重ねた基板用トレイ１１の間隔、基板支持部の厚さ等により適宜設計される。

さらに、上側に位置する基板保持部材１４の基板抑制部４０と下側に位置する前記基板保持部材１４の基板保持部の平坦な上面３６との隙間に基板が入り込むのを防止するために、ａ−ｃ＜ｅであることが好ましい。また、下側に位置する前記基板保持部材１４の移動規制部Ａ３１の上面と振動制御部３２との隙間に基板が入り込むのを防止するために、ａ−ｄ-ｂ＜ｅであることが好ましい。

本発明の基板保持部材１４は、図９に示すように、該基板保持部材１４が固定される基板支持部１３が平面であれば平面に、湾曲面であれば湾曲面に、前記基板支持部１３の形状に沿って固定される。該基板保持部材１４が前記基板支持部１３の形状に沿って固定されることにより、基板１１１の大型化に伴い、安定な前記基板１１１の搬送、保管を行う為、少なくとも一対の対向する２辺を、辺の両側から中央へ向けて鉛直下方へ湾曲させた状態で前記基板１１１を下側から保持する基板用トレイ１１への対応が可能となる。また、前記固定を行う際、基板保持部材１４並びに前記基板支持部１３の作製誤差等による隙間が生じる場合があり、このような作製誤差等を吸収するために、前記基板保持部材１４は可撓性を有していることが重要である。また、前記基板保持部材１４の可撓性は、固定後の枠体１２もしくは基板支持部１３の振動、経時変化等による変形が発生した場合、前記基板保持部材１４に応力がかかり破損したり、固定部が外れたりすることを防止するのに有効である。

本発明の基板保持部材１４は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板１１１を、前記基板１１１の下側から水平方向に保持し、鉛直方向に複数重ねて、複数の前記基板１１１を保管、搬送する基板用トレイ１１において、前記基板用トレイ１１の枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板１１１を下面から保持するものであり、前記基板保持部材１４は、前記基板１１１を固定することなく、水平方向、鉛直方向に前記基板１１１の可動域を確保するとともに、前記可動域を規制することにより前記基板１１１の水平方向、鉛直方向の可動範囲を限定し、安定に前記基板１１１を保持するものである。本方法により基板１１１を保持することにより、基板１１１の移動に自由度ができ、基板１１１を固定して輸送及び保管等を行う時と比較して、振動の発生時等に、基板固定部に応力が発生することを防止することができる為、基板１１１の破損の防止が可能となる。

前記基板１１１の可動域を確保とともに可動域を規制するため、基板用トレイ１１の一対の対向する２辺に設置された対向する前記基板保持部材１４において、一方の基板保持部材１４の移動規制面Ａ４１、移動規制面Ｂ４２、および移動規制面Ｃ４３がなす同一の平面（図３（ｃ）Ｇ−Ｇ’）と、他方の基板保持部材１４の移動規制面Ａ４１、移動規制面Ｂ４２、および移動規制面Ｃ４３がなす同一の平面（図３（ｃ）Ｇ−Ｇ’）との距離は、保持される基板１１１の幅より大きくなるように、前記基板保持部材１４は、前記基板支持部１３に設置される。前記距離は、保持される基板１１１のサイズ及び前記基板保持部材１４の移動規制部Ｂより枠内側方向の振動制御部の平坦な下面部分３８の移動規制面Ｂ４２に対して垂直方向の幅（保持される基板１１１の基板端の非機能部の幅８１に対応して設計される。）により、適宜設計され、前記距離は、“前記基板１１１の幅＋移動規制部Ｂより枠内側方向の振動制御部の平坦な下面部分３８の、移動規制面Ｂ４２に対して垂直方向の幅以下”となるよう設計されることが好ましい。また、前記基板１１１を湾曲させて保持させる場合、前記距離は、直線距離ではなく、保持される基板１１１の湾曲に沿った曲線状の距離となる。

上述のように、対向する前記基板保持部材１４の、移動規制面Ａ４１間の距離は、保持される基板１１１のサイズに依存する。基板１１１のサイズに変更が生じた場合、もしくは移動規制部Ａ３１、振動制御部３２、移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４に傷つき等による交換の必要が発生した場合、移動規制部Ａ３１、振動制御部３２、移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４が、前記基板保持部材１４として一体成形されていると、前記基板保持部材１４全体の新規作成もしくは交換が必要となり、時間、費用等のコストが増大する。部品交換による対応が可能となるように、基板保持部材１４は、移動規制部Ａ３１、振動制御部３２、移動規制部Ｂ３３、および移動規制部Ｃ３４が着脱可能に作製しても良い。着脱可能に作成されていることにより、基板サイズの変更への対応も容易に可能となる。

本発明の基板保持部材１４は、前記枠体１２の少なくとも一対の対向する２辺に固定された前記基板支持部１３に取り付けられていればよく、さらに、１辺に対して、保持される基板１１１に対応した大きさの前記基板保持部材１４が一つ取り付けられていればよいが、間隔をおいて複数個取り付けられていてもよい。間隔をおいて複数個取り付けられていることにより、前記基板保持部材１４の大きさが小さくなり、該基板保持部材１４の製造が容易になる。さらに、前記基板保持部材１４に傷が発生する等で交換が必要になった場合、全体を交換せずに必要に応じて問題が発生したもののみ交換することで対応が可能となる。また、保持する基板１１１のサイズが変更になった場合、一部の交換のみで対応が可能となる。前記基板保持部材１４のサイズ、取付け間隔は、基板サイズにより適宜設計されるが、作製の容易さ、交換の容易さ等を考慮すると、前記基板保持部材１４のサイズは、前記移動規制面Ａ４１と前記基板保持部の平坦な上面３６との交線と平行な方向（方向Ａ）の幅は１５ｃｍ−３０ｃｍ程度、移動規制面Ａ４１と垂直の幅は３ｃｍ−１５ｃｍ程度が好ましく、取付け間隔は、保持される基板１１１のサイズ、前記基板保持部材１４のサイズのより、適宜設計されるが、基板保持部材１４との接触面積を増加させ、安定した保管、搬送を行うためには、隣り合った基板保持部材１４が接触することを避けられる範囲で設計する。例えば、液晶用のＧ６サイズの基板（１，５００ｍｍ×１，８００ｍｍ）用の基板用トレイ１１の場合、長辺側は８個程度、短辺側は７個程度で設計するのが好ましい。

また、本発明の基板保持部材１４を固定した基板用トレイ１１を使用することにより、表示パネル用のカラーフィルター形成基板または前記カラーフィルター形成基板を作製するための中間工程基板の保管中および搬送中の基板の汚れ、傷付き等を防止することが可能となる。

本発明の実施例を以下に説明する。

・第１の実施の形態
液晶用Ｇ６サイズ基板（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ×０．７ｍｍｔ；機能層は基板中央に形成され、機能層の領域のサイズは１８２０ｍｍ×１４７０ｍｍ）用の基板用トレイ１１を作製し、搬送・保管テストを行った。前記基板保持部材１４は、長辺側は８個、短辺側は７個配置した。

枠体１２は、長辺側の２辺を直線状に、短辺側を曲率半径３０００ｍｍになるように鉛直下側へ撓ませて作製した。枠体１２の鉛直方向の幅は１０ｍｍになるよう作製した。また、枠体１２には、前記基板用トレイ１１を上下に多数積層したときに、積層されたそれぞれの前記基板用トレイ１１が、上面から見て同じ位置になるように嵌合部１２３を設けるとともに、機械搬送用の取手を設けた。基板支持部１３の厚さは２ｍｍで、前記前記枠体１２に沿って形成した。前記前記枠体１２に支持された基板支持部１３に、基板保持部材１４設置用の開口部を長辺側８箇所、短辺側７箇所を切削加工により形成した。
図４（ｂ）に示すように、嵌合部１２３および位置決め部１２４を形成し、基板用トレイ１１に固定した。

基板トレイ１１の枠体１２の４辺のうち一方の対向する直線状の枠体に固定された基板支持部１３に固定する基板保持部材は、図１０に示すように、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねたときに、下側に位置する第１の基板保持部材１４の移動規制面Ａ４１と、その上に位置する第２の基板保持部材１４の移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３が同一平面上になるよう、前記移動規制面Ａ４１と、前記移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３とをずらして形成した。また、基板トレイ１１の枠体１２の４辺のうち一方の対向する湾曲する枠体に固定された基板支持部１３に固定する基板保持部材は、図８に示すように、前記基板用トレイ１１を鉛直方向に複数重ねたときに、前記第１の基板保持部材１４の移動規制面Ａ４１と、その上に位置する第２の基板保持部材１４の移動規制面Ｂ４２および移動規制面Ｃ４３が同一平面上になるよう形成した。

基板保持部材１４は、基板保持部１４ａおよび移動規制部Ａ３１を射出成形法により一体成形し、基板規制部１４ｂおよび基板抑制部４０を射出成形法により一体成形し、それぞれに嵌合部を形成し、基板支持部に固定した。材料にポリプロピレンを用いた。

前記基板保持部材１４は、前記移動規制面Ａと前記基板保持部の平坦な上面との交線と平行な方向（図３の方向Ａ）の長さを１８０ｍｍ、前記方向Ａと垂直な方向の長さを５０ｍｍとした。また、前記基板保持部材１４が固定される前記基板用トレイ１１を複数積層したとき、下側に位置する第１の基板保持部材１４の基板保持部１４ａの平坦な上面３６と、その直上に位置する第２の基板保持部材１４の基板規制部１４ｂの平坦な下面３７と、の間隔（図８（ｃ）のａ）が４．８ｍｍになるように、前記基板保持部１４ａ及び前記基板規制部１４ｂの厚さを設計し、前記基板保持部材１４を形成した。前記移動規制部の平坦な上面と、該移動規制部を有する基板保持部の平坦な上面３６と、の間隔（図８（ｃ）のｂ）は１．５ｍｍ、前記基板保持部材１４の移動規制部Ｂ３３および移動規制部Ｃ３４の下面と、該基板保持部材１４の基板規制部の平坦な下面３７と、の間隔（図８（ｃ）のｃ）は４ｍｍ、前記基板保持部材１４の振動制御部の平坦な下面と、該基板保持部材１４の基板規制部の平坦な下面３７と、の間隔（図８（ｃ）のａ）ｄは３ｍｍ、移動規制部Ｂより枠内側方向の振動制御部の平坦な下面部分の前記方向Ａと垂直方向の幅は９ｍｍ、前記移動規制部Ａ３１及び前記振動制御部３２の底部が円弧状に形成されている溝１０１は、幅４ｍｍ、深さ３ｍｍ、円弧の半径は２ｍｍで、振動制御部の厚さ変化部３９は半径４ｍｍの外側に凸の曲面を持つように、前記移動規制部Ａ３１と前記基板抑制部４０を作製した。

前記基板用トレイ１１の一対の対向する２辺に設置された対向する前記基板保持部材１４において、一方の基板保持部材１４の前記移動規制面Ａと前記移動規制面Ｂがなす同一の平面（図３（ｃ）Ｇ−Ｇ’）と、他方の基板保持部材１４の前記移動規制面Ａと前記移動規制面Ｂがなす同一の平面（図３（ｃ）Ｇ−Ｇ’）との距離は、Ｇ６サイズの基板（１８５０ｍｍ×１５００ｍｍ）に対応する為、それぞれ１８５５ｍｍ、１５０５ｍｍとなるよう前記基板保持部材１４を前記基板用トレイ１１に固定した。

上述の前記基板保持部材１４を固定した基板用トレイ１１を用いて、前記液晶用Ｇ６サイズ基板の保管、搬送テストを行った結果、保管、搬送テスト中の振動に対して、及び枠体１２、基板支持部１３の応力等による変形に対して、前記基板保持部材１４の脱落、破損、及び基板の汚染、破損等のトラブルが発生することなく、安定に保管、搬送が可能なことを確認できた。

本発明は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板の面方向を水平方向として、前記基板を、その上側に載せて水平に支持するトレイであり、平面型ディスプレイパネル用の板状の各種材料(例えば、ガラスやプラスチックなど)ないし部材、あるいは、金属、レアメタル、シリコンなどの板状物からなる基板や、それらに処理を施した板状の処理部材の、搬送、保管に利用可能である。

１１ 基板用トレイ
１２ 枠体
１３ 基板支持部
１４ 基板保持部材
１４ａ 基板保持部
１４ｂ 基板規制部
３１ 移動規制部Ａ
３２ 振動制御部
３３ 移動規制部Ｂ
３４ 移動規制部Ｃ
３６ 基板保持部の平坦な上面
３７ 基板規制部の平坦な下面
３８ 移動規制部Ｂより枠内側方向の振動制御部の平坦な下面部分
３９ 振動制御部の厚さ変化部
４０ 振動制御部
４１ 移動規制面Ａ
４２ 移動規制面Ｂ
４３ 移動規制面Ｃ
８１ 非機能部の幅
１０３ 搬送用架台
１１１ 基板
１１２ 機能部
１２３ 嵌合部
１２４ 位置決め部

Claims (6)

1. 基板を水平方向に保持し、鉛直方向に複数重ねて、複数の前記基板を保管、搬送する基板用トレイにおいて、前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を保持する基板保持部材であって、
   前記基板保持部材は、少なくとも基板保持部、移動規制部Ａ、基板規制部、振動制御部、移動規制部Ｂ、および移動規制部Ｃを有し、
   前記基板保持部は、前記基板支持部の上面より突出して前記基板支持部に固定され、前記基板規制部は、前記基板支持部の下面より突出して前記基板支持部に固定される基板保持部材であって、
   前記基板保持部は、平坦な上面を有し、
   前記移動規制部Ａは、前記基板保持部の上面に形成され、さらに移動規制面Ａを有し、
   前記基板規制部は、平坦な下面を有し、
   前記振動制御部は、前記基板規制部の下面に形成され、
   さらに前記移動規制部Ｂおよび前記移動規制部Ｃは、前記振動制御部の下面に形成され、
   前記移動規制部Ｂは移動規制面Ｂを有し、
   前記移動規制部Ｃは移動規制面Ｃを有し、
   前記移動規制面Ａ、前記移動規制面Ｂ、および前記移動規制面Ｃは、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な平面であって、
   前記移動規制部Ｂと前記移動規制部Ｃは間隔をおいて配置されるとともに、前記移動規制面Ｂと前記移動規制面Ｃが同一平面になるように配置され、
   さらに、前記基板用トレイを鉛直方向に複数重ねて使用する状態で、
   下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制部Ａが、その直上に位置する第２の基板保持部材の移動規制部Ｂと前記移動規制部Ｃとの間隙部に位置し、
   また、下側に位置する第１の基板保持部材の移動規制部Ａの移動規制面Ａと、その直上に位置する第２の基板保持部材の前記移動規制面Ｂおよび前記移動規制面Ｃが同一平面になるように形成されていることを特徴とする基板保持部材。
2. 請求項１に記載の基板保持部材であって、
   前記基板用トレイを鉛直方向に複数重ねて使用する状態で、
   下側に位置する第１の基板保持部材の基板保持部の平坦な上面と、その直上に位置する第２の基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をａ、
   前記移動規制部Ａの上面と、該移動規制部を有する基板保持部の平坦な上面と、の間隔をｂ、
   前記基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、該基板保持部材の移動規制部Ｂまたは移動規制部Ｃの下面と、の間隔のうち大きい方をｃ、
   前記基板保持部材の振動制御部の下面と、該基板保持部材の基板規制部の平坦な下面と、の間隔をｄ、
   保持される基板の厚さをｅ、
   とした時に、
   ｂ＜ａ-ｄ、ｃ＜ａ、ｂ+ｃ＞ａ、ａ−ｄ＞ｅ
   なる関係を全て満たすように、基板保持部、移動規制部Ａ、基板規制部、振動制御部、移動規制部Ｂ、および移動規制部Ｃが形成されていることを特徴とする基板保持部材。
3. 請求項１ないし請求項２のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
   前記振動制御部の平坦な下面の、移動規制部Ｂより枠内側方向の幅が、保持される基板の外周に位置する非機能部の幅より小さいことを特徴とする基板保持部材。
4. 請求項１ないし請求項３のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
   前記基板保持部材が、可撓性を有していることを特徴とする基板保持部材。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか１項に記載の基板保持部材であって、
   前記基板保持部材が、熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする基板保持部材。
6. 前記基板用トレイであって、
   請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の基板保持部材が、前記基板用トレイの前記枠体の少なくとも一対の対向する２辺に、間隔をおいて複数取り付けられていることを特徴とする基板用トレイ。
   

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