JP2009188057A - ワーク搬送用トレイおよびトレイ群遮蔽用トレイ - Google Patents

Abstract

【課題】ラフクリーン環境で用いてもワークの汚染が生じにくいワーク搬送用トレイを提供する。
【解決手段】ワーク搬送用トレイ１は、基板Ｓの搬送に用いられるものであって、桟４と、外枠２と、樹脂ブロック８と、シール部材５１とを備えている。桟４は、基板Ｓを載置するワーク載置面を有する。外枠２は、桟４を支持する。樹脂ブロック８は、外枠２に設けられ、他のワーク搬送用トレイ１に積まれた状態で上に積まれる他のワーク搬送用トレイ１の重量を支持する。シール部材５１は、外枠２に沿って配置され、外枠２と上に積まれる他のワーク搬送用トレイ１の外枠２との間の隙間を遮蔽する。
【選択図】図１

Description

本発明は、薄板状のワークを載置して搬送するトレイに関し、特に、複数のトレイを積み重ねて保管することのできるワーク搬送用トレイに関する。

例えば薄型表示装置の製造工程等において、ガラス基板に代表される薄板状の物品を搬送する技術が必要となっている。薄板状の物品は捻れや撓み等の変形が発生しやすく、搬送中に変形が原因で周囲に接触して、表面に傷が付いたり破損したりする恐れがある。このため搬送には、薄板状の物品を変形させずに載置できる専用の容器が用いられる。
薄板状の物品を、１枚ずつ個別の容器に載置して搬送することで、搬送中の物品の変形を防止することができる。しかし、個別の容器を用いると、搬送途中で一時保管を行う場合に、保管スペースを広く占めてしまうという問題があった。また、別の場所に容器をまとめて移送したい場合にも手間がかかるという問題があった。

そこで、薄板状の物品を個別に載置可能であり、しかも一時保管や別の場所への移送の際には容器同士を積み重ねることのできる容器が考案された。しかしながら、これらの容器には、容器内にダストが蓄積したり、積み重ねる際に自身からダストが発生して載置した物品を汚染したりするという問題が発生した。また、複数の容器を積み重ねた場合の全体の重量が重くなり、保管や運搬が不便であるという問題があった。

このような問題を解決するために、４本の枠部材からなる矩形状の外枠と、枠部材間に掛け渡された複数の桟とからなるワーク搬送用トレイが考案された（例えば、特許文献１を参照。）。
特開２００７−３５７６１号公報

従来のワーク搬送用トレイは、一般に、積み重ねられた状態（以下、「段積みトレイ」という。）で搬送・待機させられる。例えば自動倉庫内で使用されている場合は、フィルタによってパーティクルやダストを除去したクリーンエアを段積みトレイにサイドフローで送って、物品へのパーティクルの付着を防止している。この場合、部分的に配置された樹脂ブロックによってトレイ同士の隙間が確保されているため、トレイに送風が十分に届いてパーティクル除去が効率よく行われる。

しかし、従来のワーク搬送用トレイをラフクリーンの環境で使用する場合には、トレイ同士の隙間からパーティクルが段積みトレイ内に入り込んでガラス基板上に載りやすい。一方、ラフクリーン用に別途異なる形状のトレイを製作すると、それ自体のコストが高くなるのみならず、装置もそのトレイに対応する必要があるため、コストがアップしてしまう。

本発明の課題は、ラフクリーン環境で用いてもワークの汚染が生じにくいワーク搬送用トレイを提供することにある。

請求項１に記載のワーク搬送用トレイは、薄板状のワークの搬送に用いられるものであって、ワーク載置部と、枠と、重量支持部材と、弾性部材とを備えている。ワーク載置部は、ワークを載置するワーク載置面を有する。枠は、ワーク載置部を支持する。重量支持部材は、枠に設けられ他のワーク搬送用トレイに積まれた状態で上に積まれる他のワーク搬送用トレイの重量を支持する。弾性部材は、枠に沿って配置され、枠と上に積まれる他のワーク搬送用トレイの枠との間の隙間を遮蔽する。

このトレイでは、複数のトレイを積み重ねた場合に、下側のトレイの枠に沿って配置さされた弾性部材が枠と上側の他のトレイの枠との間の隙間を遮断するために、トレイ群の外部から内部にパーティクルが侵入しにくい。したがって、ラフクリーン環境で用いてもワークがパーティクルによって汚染されにくい。しかも、重量支持部材によって他のトレイの重量は支持されているため、弾性部材に所定以上の重量が作用することがない。そのため、弾性部材の剛性を低く設定することができ、それにより段積み時のピッチ誤差を小さくできる。

請求項２に記載のワーク搬送用トレイでは、請求項１において、弾性部材は、枠の上部に配置されている。
このトレイでは弾性部材が枠の上部に配置されているため、小さな弾性部材を用いても確実に上側のトレイとの密着を確保できる。

請求項３に記載のワーク搬送用トレイでは、請求項１または２において、枠は、ワーク載置部を支持する支持部と、支持部から斜めに延びる傾斜部とを有している。弾性部材は、傾斜部の上側部分に配置され、上に積まれる他のワーク搬送用トレイの枠の傾斜部の下側部分に当接可能である。
このトレイでは、弾性部材は傾斜部の上側部分に配置された他のトレイの枠の傾斜部の下側部分に当接するため、小さな弾性部材を用いても確実に上側のトレイとの密着を確保できる。

請求項４に記載のワーク搬送用トレイでは、請求項１〜３のいずれかにおいて、弾性部材は、枠に固定される第１部分と、第１部分から側方に延び上に積まれる他のワーク搬送用トレイの枠に当接可能な第２部分とを有する。
このトレイでは、弾性部材の第２部分が第１部分の真上になく、そのため弾性部材が曲げ変形することで、上側のトレイとの接触を維持する。したがって、弾性部材の剛性を低く設定することができ、その結果、段積み時のピッチ誤差が生じにくい。

請求項５に記載のトレイ群遮蔽用トレイは、複数のワーク搬送用トレイが積み上げられたトレイ群の内部を外部から遮蔽するために用いられるものであって、ワークを載置するワーク載置面を有するワーク載置部と、ワーク載置部を支持する枠と、ワーク載置部全体を覆うカバー部材とを備えている。
このトレイでは、トレイ群の最下部または最上部に用いられることで、トレイ群全体の内部空間を外部から遮断できる。したがって、トレイ群の外部から内部にパーティクルが侵入しにくい。

本発明に係るワーク搬送用トレイでは、複数のトレイを積み重ねた場合に、下側のトレイの弾性部材が上側のトレイとの間の隙間を遮断するために、トレイ群の外部から内部にパーティクルが侵入しにくい。したがって、ラフクリーン環境で用いてもワークが汚染されにくい。

１．第１実施形態
以下、本発明を適用したワーク搬送用トレイの実施形態を、図面を参照しつつ詳細に説明する。
（１）ワーク搬送用トレイの全体構造
図１は本発明に係るワーク搬送用トレイ１（以下、「トレイ１」と省略する。）を積み上げて構成される段積みトレイまたはトレイ群の部分断面図である。図２および図３は、シール部材（後述）を取り除いた状態のトレイ１を示す図である。

トレイ１は、薄板状の物品が載置され、物品を搬送するために用いられる。トレイ１は、主に、矩形状の外枠２と、外枠２の対向する長辺枠部材２ａの間に掛け渡された複数の桟４（ワーク載置部）とを備えている。なお、この実施例では、薄板状の物品としてガラス基板Ｓを用いて説明する。
（２）外枠の構造
外枠２は、２本の長辺枠部材２ａと２本の短辺枠部材２ｂとから構成される。本実施例における枠部材２ａ，２ｂには一定の板厚のアルミ押し出し材が使用されている。

図４及び図５は段積みされたトレイ１の部分斜視図である。図４および図５も、シール部材（後述）を取り除いた状態のトレイ１を示す図である。
枠部材２ａ，２ｂは、図１の断面形状から明らかなように、外側平坦部１１と、外側平坦部１１よりも高い位置に形成される内側平坦部１２を備えており、外側平坦部１１と内側平坦部１２の間に傾斜部１３が設けられている。内側平坦部１２は傾斜部１３の上端部から内方に延出しており、外側平坦部１１は傾斜部１３の下端部から外方に延出している。外側平坦部１１には、樹脂ブロック８（後述）を取り付けるためのブロック取付孔１７が複数箇所設けられている。傾斜部１３は、外枠２が形成されたときに下方に向けて広がった形状となるように角度が付けられている。

傾斜部１３の高さは、枠部材２ａ，２ｂ同士が長方形の外枠２として組み合わされた場合に、外枠２の平面度を所定量以内に維持するために必要な強度を保てる高さに設定される。このため、傾斜部１３の高さが、１枚の基板Ｓを安全に収容するために必要な収容高さを越えた高さになる場合がある。ここで、「安全に収容する」とは、トレイが段積みされた状態において、ガラス基板が全て、あるいは一部のトレイに搭載されており、全体が所定の移動により振動を加えられても、ガラス基板や桟の上面が上側の桟に接触することがない、ことを意味する。外枠２の形状が大型化された場合には要求される強度が大きくなり、外枠２を強化するために傾斜部１３の高さはより高くなる。小型の外枠２で要求される強度が低い場合には、傾斜部１３を低くすることができる。

枠部材２ａ，２ｂ同士を接合することにより、本実施例の外枠２が形成される。本実施例の外枠２は、その断面形状が、上述したように、外側平坦部１１、外側平坦部１１の内側端から連続して上昇する傾斜部１３、この傾斜部１３の上端部から連続する内側平坦部１２とで形成される。形成された外枠２の単体としての高さは傾斜部１３の高さで決定されるが、複数のトレイ１を積み重ねる場合には、傾斜部１３で囲まれた部分の一部が、別のトレイが入り込むための収容空間１３ａ（図１）として機能するために、より小さいピッチで積み重ねることが可能となる。

長辺枠部材２ａと短辺枠部材２ｂは、両端同士が、図１２に示すように、第１接合部材２８と第２接合部材２９によって接合される。第１接合部材２８は、Ｌ字形状のプレートであって、枠部材２ａ，２ｂの内側平坦部１２同士をリベットを介して固定している。第２接合部材２９は、Ｌ字形状のプレートであって、枠部材２ａ，２ｂの外側平坦部１１同士をリベットを介して固定している。

なお、枠部材２ａ，２ｂの接続端部同士の隙間は、図示しないパッキンやシール材によって封止されている。
（３）桟の構造
外枠２の対向する長辺枠部材２ａの間に、複数の桟４が掛け渡されて、ガラス基板Ｓの載置部を構成している。桟４には一定の板厚のアルミ押し出し材が使用されている。

外枠２の長辺枠部材２ａには、桟４を支持するための複数の支持部材１４が固定されている。支持部材１４は、図１に示すように、プレート部材であって、外枠２の傾斜部１３の内側に接してリベット８１によって固定される固定部１４ａと、その上端から内側に延びる支持部１４ｂとを有している。
桟４の一端部の拡大図を図１０に示す。桟４は、ワーク載置面としての平坦部４１と、その両側に形成され断面コの字形状を構成する一対の側壁部４２と、各側壁部４２から外側に延びる一対のフランジ４３とから構成されている。以上の形状によって、桟４は、平板の部材を用いた場合よりも梁強度が向上しており、このため、桟４にはより板厚の薄い素材を用いることが可能となっており、桟４の軽量化が図られている。平坦部４１の上面には、ガラス基板Ｓを支持するための複数の載置ピン４４が固定されている。載置ピン４４は耐磨耗性の高いポリエーテル・エーテル・ケトン（ＰＥＥＫ（登録商標））や超高分子量ポリエチレン（ＵＰＥ）等で形成されており、ガラス基板Ｓを繰り返し搭載しても、磨耗によるダストがほとんど発生せず、ガラス基板Ｓを汚染しない。平坦部４１の両端には、断面コの字形状内に支持部材１４の支持部１４ｂが配置されており、両者はリベット８２によって固定されている。このようにして、平坦部４１は、支持部材１４を介して外枠２に支持されている。

このトレイ１では、外枠２の枠部材２ａ，２ｂの傾斜部１３の上部と内側平坦部１２が、桟４の平坦部４１の周囲を覆う囲い部材として機能している。具体的には、囲い部材は、桟４の平坦部４１より高い壁となっている。したがって、ガラス基板Ｓの外周部が外部から保護されている。また、例えば装置の急停止によってガラス基板Ｓが移動しても、ガラス基板Ｓがトレイ１から飛び出したり、あるいは、万一破損した場合でも破片が周囲に飛散しにくい構造となっている。
（４）樹脂ブロックの構造
樹脂ブロック８は、枠部材２ａ，２ｂの外側平坦部１１に取りつけられた部材であり、各トレイ１同士の高さ方向のスペースを確保するためのスペーサであり、さらに各トレイ１同士の位置ずれを防止するためのトレイ位置規制部材である。

樹脂ブロック８は、上下に積み重ねられるトレイ１との接触部となるために、ダストの発生が抑えられた素材で形成されることが好ましい。本実施例における樹脂ブロック８は、耐磨耗性が高く、機械的な強度に優れたＰＥＥＫやＵＰＥで形成されている。樹脂ブロック８は、ブロック同士が接触しても摩耗が極めて少なく、ダストが発生したとしても落下しにくいために、搬送するガラス基板Ｓを汚染しにくい。
（５）第１樹脂ブロックと第２樹脂ブロックの構造および配置
樹脂ブロック８は、２種類のブロック、第１樹脂ブロック８Ａと第２樹脂ブロック８Ｂを有している。以下、各ブロックの構造を説明し、次に配置を説明する。

（ａ）共通構造
図６（ａ）は第１樹脂ブロック８Ａの上面図であり、図６（ｂ）は第１樹脂ブロック８Ａの正面図であり、図６（ｃ）は第１樹脂ブロック８Ａの底面図であり、図６（ｄ）は第１樹脂ブロック８Ａの側面図である。図８（ａ）は第２樹脂ブロック８Ｂの正面図であり、図８（ｂ）第２樹脂ブロック８Ｂの底面図であり、図８（ｃ）は第２樹脂ブロック８Ｂの側面図である。

最初に、第１樹脂ブロック８Ａと第２樹脂ブロック８Ｂの共通構造について説明する。
樹脂ブロック８Ａ，８Ｂは、主に、略直方体の本体部２０を有している。本体部２０は、図左右方向に長くなっている。本体部２０の高さは、１枚の基板Ｓを安全に収容するための収容高さＨ１（図１を参照）と等しくなるように形成されている。本体部２０の上面には凸部２１が設けられている。凸部２１は、概ね円錐形または円錐台形状に形成されている。

本体部２０の両側部には、トレイを段積み、段ばらしする際に支持するための接触部となる被支持部２３が延びている。被支持部２３には、枠部材２ａ，２ｂに樹脂ブロック８を固定するための外枠取付孔２４が貫通しており、樹脂ブロック８Ａ，８Ｂは、外枠２に、取付孔２４を貫通するボルト・ナット１９もしくはリベットによって固定される。図３と図４は、樹脂ブロック８Ａ，８Ｂが枠部材２ａ，２ｂにボルト・ナットもしくはリベットによって固定された状態を示す斜視図である。樹脂ブロック８Ａ，８Ｂは、被支持部２３の上面が枠部材２ａ，２ｂの外側平坦部１１の下面に突き当てられて、ブロック取付孔１７から凸部２１と本体部２０の上部が突出した状態で固定されている。樹脂ブロック８Ａ，８Ｂは、本体部２０の上面が、枠部材２ａ，２ｂの外側平坦部１１よりも高くなっている。また、本体部２０の下面（後述する凸部２５の下面）は、外側平坦部１１の下面よりも低くなっている。

このような配置により、上下方向にトレイ１を多段で積み重ねると、各々のトレイ１の樹脂ブロック８Ａ，８Ｂの本体部２０の上面と下面が互いに接することとなり、トレイ１は、樹脂ブロック８Ａ，８Ｂの本体部２０の高さをピッチとして積み重ねられる。
以上に述べたように、本実施例のトレイ１は、接触部である樹脂ブロック８Ａ，８Ｂと外枠２を異なる素材で別々に形成してから固定する構成となっている。このことにより、接触部だけにダストの発生を抑えられた素材を適用することが可能となり、接触部を容易に加工し、形成することができる。一方、外枠２の他の部分は、他のトレイ１や設備等とほとんど接触しないため、ダストの抑制よりも強度を重視した素材を適用することが可能となり、外枠２の素材を選択する自由度を広げることができる。

（ｂ）異なる構造
次に、第１樹脂ブロック８Ａと第２樹脂ブロック８Ｂの異なる構造について説明する。
図６に示すように、第１樹脂ブロック８Ａの本体部２０の下面には、凹部２２が設けられている。凹部２２は、本体部２０の長手方向に延びる一対の凸部２５の間に形成されており、両端が開放された溝である。凹部２２は、上面の凸部２１に対応した断面形状を有している。図７は２つの第１樹脂ブロック８Ａが互いに係合した状態を示す側面図である。この状態で、第１樹脂ブロック８Ａは本体部２０の長手方向に相対移動可能である。また、第１樹脂ブロック８Ａは凸部２１の中心軸回りに相対回転可能である。

図８に示すように、第２樹脂ブロック８Ｂの本体部２０の下面には、凹部２６が設けられている。凹部２６は、本体部２０の長手方向に離れた一対の凸部２７の間に形成されており、本体部２０の短手方向に開放されている。図９は２つの第２樹脂ブロック８Ｂが互いに係合した状態を示す部分正面図である。この状態で、凸部２１は、凹部２６に対して左右・前後に隙間を確保している。以上より、第２樹脂ブロック８Ｂは、上側にあるトレイ１の重量は支持するが、トレイ１同士を位置決めしていない。

（ｃ）配置
第１樹脂ブロック８Ａと第２樹脂ブロック８Ｂの配置について説明する。図３に示すように、樹脂ブロック８Ａ、８Ｂは、各枠部材２ａ，２ｂに三カ所ずつ合計１２カ所に設けられている。
第１樹脂ブロック８Ａは、図３のＡ位置，Ｂ位置，Ｃ位置の三カ所に配置されている。Ａ位置，Ｂ位置は、図下側の短辺枠部材２ｂの両端側である。Ｃ位置は、図左側の長辺枠部材２ａ上の図下側の短辺枠部材２ｂから離れた側である。このように、Ａ位置の第１樹脂ブロック８ＡとＢ位置の第１樹脂ブロック８Ａは同じ短辺枠部材２ｂに配置されており、凹部２２の向きも同じである。それに対して、Ｃ位置の第１樹脂ブロック８Ａは、Ａ位置の第１樹脂ブロック８ＡとＢ位置の第１樹脂ブロック８Ａを結ぶ直線上に配置されておらず、さらに凹部２２の向きが両者の凹部２２の向きと異なる。残りの９カ所には、第２樹脂ブロック８Ｂが配置されている。

以上に述べた構造によって、部品精度や組立精度のバラツキにも影響を受けずに段積みが可能になる。さらに段積み後にも最小限の隙間で第１樹脂ブロック８Ａ同士が互いの移動を規制している。したがって、段積み状態で搬送中に急制動が作用した場合でも、トレイ１のずれの累積を最小限に抑えることができる。
なお、トレイ１の寸法が大きく、しかも軽量化のために外枠２の強度を十分にとれない場合は、図３の位置Ｄの第２樹脂ブロック８Ｂは、第１樹脂ブロック８Ａに置き換えても良い。Ｄ位置は、図左側の長辺枠部材２ａ上の図下側の短辺枠部材２ｂに近い側である。その場合は、外枠２の弾性変形による樹脂ブロック８間の位置変化を効果的に制限することができる。
（６）基板位置決め部材の構造
次に、トレイ１に搭載されるガラス基板Ｓを位置決めするための基板位置決め部材３０を説明する。

図１１は基板位置決め部材３０の斜視図であり、図１２は外枠２の枠部材２ａ，２ｂの角部分の部分上面図であり、図１３は基板位置決め部材３０を含む外枠２周辺のトレイ１の断面図である。
基板位置決め部材３０は、外枠２の角部に固定され、ガラス基板Ｓの平面方向への移動を防止するための部材である。基板位置決め部材３０は、樹脂製であり、平坦部３１と、そこから下方に延びる柱部３２と、平坦部３１の一端から上方に延びる壁部３４と、その上端からなだらかに続いて直線状に延びる傾斜部３５と、その下端部からさらに伸びる平坦部３６とを有している。平坦部３６には、球形凸状の基板載置部３７が形成されている。平坦部３１および柱部３２にはネジ穴３３が形成されている。

基板位置決め部材３０は、図１２に示すように、外枠２の各角部の二カ所に設けられており、より具体的には、各枠部材２ａ，２ｂの両端位置から枠部材の長手方向に直角に延びて配置されている。基板位置決め部材３０の平坦部３１の上面は、外枠２の内側平坦部１２の下面に当接しており、壁部３４は内側平坦部１２の先端面に当接している。この状態で、例えばボルトがネジ穴３３に螺合することによって、基板位置決め部材３０は内側平坦部１２に固定されている。この結果、平坦部３６は内側平坦部１２より内側下方に位置しており、基板載置部３７にはガラス基板Ｓが載置されている。この状態で、傾斜部３５が基板Ｓの位置決めを行っている。傾斜部３５は、実際のガラス基板Ｓの寸法に対して片側で例えば１〜３ｍｍのクリアランスを確保できるように配置されている。

また、ガラス基板Ｓをトレイ１上に搭載する際、傾斜部３５によりガラス基板Ｓ端面が誘い込まれ、位置ずれを補正する。
基板位置決め部材３０が従来の脱落防止部材と載置ピンとを一体化した構造であるため、ガラス基板Ｓと外枠２との間の隙間が従来より小さくなっている。この結果、従来のトレイに比べて外枠の小型化が達成されている。

なお、基板位置決め部材３０は、耐磨耗性の高いＰＥＥＫやＵＰＥで形成されており、基板Ｓが位置決めのために繰り返し接触しても、磨耗によるダストがほとんど発生せず、基板Ｓが汚染されにくい。
（７）シール部材の構造
図１に示すように、各外枠２には上に積まれる他のトレイ１との間の隙間を遮蔽するためのシール部材５１が設けられている。シール部材５１は弾性変形可能な部材からなり、例えばエラストマー成形品からなる。なお、シール部材５１は、ゴムやプラスチックなどの他の材料から構成されていても良い。

シール部材５１は、各枠部材２ａ，２ｂの内側平坦部１２に固定され、上側のトレイ１の外側平坦部１１に当接して、上下のトレイ１の間の内部空間を外部から遮断する。そのために、トレイ群の外部から内部にパーティクルが侵入しにくい。したがって、ラフクリーン環境で用いても基板Ｓが汚染されにくい。
シール部材５１は、枠部材２ａ，２ｂに沿って長く延びる板形状である。より詳細には、図１４および図１５に示すように、シール部材５１は、内側平坦部１２の上辺に固定された平坦な固定部５２と、固定部５２から外側下方に斜めに延びる傾斜部５３と、傾斜部５３からさらに外側に延びる当接部５４とから構成されている。当接部５４は、自由状態では外側上方に斜めに延びている。より詳細には、固定部５２の外側端は、内側平坦部１２の外側端からさらに外方に延びている。積み上げられた状態で、当接部５４の外側部分が外側平坦部１１の内側部分（傾斜部１３との境界）の下面に当接して、上下に積まれたトレイ１同士の境界を遮断している。

図１５に示すように、外枠２の角部では、シール部材５１の端部同士は互いに密着している。
なお、他のトレイ１の重量は樹脂ブロック８によって支持されているため、シール部材５１に所定以上の重量が作用することがない。そのため、シール部材５１の剛性を低く設定することができ、それにより段積み時のピッチ誤差を小さくできる。

シール部材５１が外枠２の上部に配置されているため、小さな弾性部材を用いても確実に上側のトレイ１との密着を確保できる。
シール部材５１が傾斜部１３の上側部分（内側平坦部１２）に配置された他のトレイ１の傾斜部１３の下側部分（外側平坦部１１）に当接するため、小さな弾性部材を用いても確実に上側のトレイ１との密着を確保できる。

シール部材５１は、外枠２に固定される固定部５２と、固定部５２から側方に延び上に積まれる他のワーク搬送用トレイ１の外枠２に当接可能な当接部５４とを有する。シール部材５１の当接部５４が固定部５２の真上になく、そのためシール部材５１が曲げ変形することで、上側のトレイ１との接触を維持する。したがって、シール部材５１の剛性を低く設定することができ、その結果、段積み時のピッチ誤差が生じにくい。
（８）段積みトレイの構造
図１に、５枚重ねられたトレイ１の断面図を示す。図１から明らかなように、上から載せられた別のトレイ１の傾斜部１３が下側のトレイ１の傾斜部１３を覆って積み重ねられる。言い換えると、上側のトレイ１の傾斜部１３の内側の収容空間１３ａ内に下側のトレイ１の囲い部材（外枠２の枠部材２ａ，２ｂの傾斜部１３の上部と内側平坦部１２）が入り込む。そのため、積み重ねたときに小さなスペースで多くのトレイ１を保管することが可能となっている。

本実施例のトレイ１は、外枠２に固定された樹脂ブロック８の本体部２０の上面と下面だけが互いに接した状態で積み重ねられる。樹脂ブロック８の高さが、１枚のガラス基板Ｓを安全に収容する為の収容高さＨ１となっており、トレイ１の外枠２の他の部分及び桟４は、積み重ねたときに上下のトレイ１とは接触しない。このことから、トレイ１は、樹脂ブロック８によって規定される高さ、即ち収容高さＨ１をピッチとして積み重ねられる。

トレイ１が樹脂ブロック８によって規定される収容高さＨ１のピッチで積み重ねられるとき、上側のトレイ１の外枠２内に、下側のトレイ１の外枠２が入り込む。たとえ、外枠２の強度を高くするために傾斜部１３の高さを高くしたトレイ１を積み重ねたとしても、傾斜部１３が上側のトレイ１の傾斜部１３の収容空間１３ａ内に納められている限り、全体の高さに対する影響は無い。このように、本実施例のトレイ１は、上側のトレイ１の傾斜部１３に、下側の別のトレイ１の傾斜部１３が入り込む収容空間１３ａが設けられることで、たとえ傾斜部１３の高さを変更した場合であっても、常により小さいピッチで積み重ねることが可能となっている。

上述したように、本実施例のトレイ１が上下方向に積み重ねられているとき、上下のトレイ１の間では、樹脂ブロック８だけが接触しており、外枠２と桟４は他のトレイ１と全く接触しない。樹脂ブロック８はＰＥＥＫやＵＰＥで形成されているために接触によってもダストがほとんど発生しない。また外枠２と桟４は他のトレイ１と接触しないためにダストを発生させない。このように、本実施例のトレイ１は積み重ねてもダストがほとんど発生せず、基板Ｓの汚染が極めて小さい。

更に、本実施例のトレイ１は、上積みされたトレイ１の重量を、樹脂ブロック８が支持する構成となっており、外枠２には、上側のトレイ１の重量が加えられることがない。このために、外枠２は、自らの重量と、載置した基板Ｓの重量を支持できる強度を備えていればよく、外枠２によって上積みされたトレイ１を支持する構成を採用した場合と比較すると、要求される強度は小さい。このため、外枠２に要求される強度を容易に得ることができ、軽量化を図ることができる。

さらに、本実施形態では、トレイ１の自重によってシール部材５１の密閉機能が実現されるため、特別な部材による密閉が不要であり、構造が簡単になる。
図１に示す段積みトレイでは、最下部のトレイ１’と最上部のトレイ１’’には基板Ｓは載置されておらず、これら２つのトレイは段積みトレイのカバーとして用いられている。

最下部のトレイ１’と最上部のトレイ１’’には、桟４の上側を覆う矩形状のカバー６１が固定されている。カバー６１は、桟４の平坦部４１の上面に配置された覆い部６２と、覆い部６２の外周縁から上側に延びる壁部６３と、壁部から外側に延びシール部材５１の固定部５２上に配置されたフランジ部６４とを有している。最下部のトレイ１’および最上部のトレイ１’’の平坦部４１には載置ピン４４は設けられていない。覆い部６２はボルトによって平坦部４１に固定されている。

最下部のトレイ１’と最上部のトレイ１’’を設けることで、トレイ群の上下両側が遮断され、トレイ群全体の内部空間を外部から遮断できる。したがって、トレイ群の外部から内部にパーティクルが侵入しにくい。この場合、特別な蓋用のトレイを準備する必要がないため、コストを下げることができる。
以上に述べたシール構造によって、図１において、トレイ群の内部空間（二点鎖線で示した部分）は外部からのパーティクルによって汚染されにくい。

トレイ１および１’、１’’からなる段積みトレイは、ラフクリーン環境では、上述のように、各トレイ１にシール部材５１を取付け、さらにカバー６１を設けた一対のトレイ１’、１’’を用意することでパーティクルによる基板Ｓの汚染を防止できる。さらに、トレイ１からなる段積みトレイは、クリーンルーム環境では、シール部材５１やカバー６１を取り外したトレイ１を用いることでクリーンエアによるサイドフローによってパーティクルの付着を防止できる。以上より、トレイ１に追加部品を脱着することで、クリーンルームの内外で共通して利用することが可能になり、さらにトレイ１を扱う装置も共通化できる。
２．他の実施形態
以上、実施例において本発明の具体例を詳細に説明したが、これらは例示にすぎず、特許請求の範囲を限定するものではない。特許請求の範囲に記載の技術には、以上に例示した具体例を様々に変形、変更したものが含まれる。
（１）各部材の接合
外枠の枠部材同士の接合方法や接合箇所、外枠と桟の接合方法や接合箇所は、搭載する薄板状の物品の大きさや重量に合わせて、適宜変更が可能である。
（２）各部材の構造
外枠の形状や、樹脂ブロックの形状や配置を、作用効果を損なわない範囲において、変更することが可能である。
（３）樹脂ブロックの変形例
図１６（ａ）は他の実施形態の第３樹脂ブロック１０８の上面図であり、図１６（ｂ）は第３樹脂ブロック１０８の縦断面図である。

第３樹脂ブロック１０８は、主に、略直方体の本体部１２０を有している。本体部１２０の高さは、１枚の薄板状の物品を安全に収容する為の収容高さＨ１と等しくなるように形成されている。本体部１２０の上面には凸部１２１が設けられている。凸部１２１は、円錐台形状に形成されている。本体部１２０の両側部には、トレイを段積み、段ばらしする際に支持するための接触部となる被支持部１２３が延びている。被支持部１２３には、枠部材に樹脂ブロック８を固定するための外枠取付孔１２４が貫通している。

第３樹脂ブロック１０８は、外枠に、リベット若しくはネジによって固定される。第３樹脂ブロック１０８は、被支持部１２３の上面が枠部材の外側平坦部の下面に突き当てられて、ブロック取付孔から凸部１２１と本体部１２０の上部が突出した状態で固定されている。
このような配置により、上下方向にワーク搬送用トレイを多段で積み重ねると、各々のトレイの第３樹脂ブロック１０８の本体部１２０の上面と下面が互いに接することとなり、ワーク搬送用トレイは、第３樹脂ブロック１０８の本体部１２０の高さをピッチとして積み重ねられる。

第３樹脂ブロック１０８の本体部１２０の下面には凹部１２２が設けられている。凹部１２２は、凸部１２１とほぼ同じ形状及び寸法の孔であり、凹部と凸部の隙間は最小限確保されている。図１８は２つの第３樹脂ブロック１０８が互いに係合する様子を示す側面図である。この状態で、第３樹脂ブロック１０８は左右・前後方向にはほとんど移動不能であるが、回転方向には制限なく移動できる。

第３樹脂ブロック１０８は、トレイの全ての箇所に取りつけられていても良いし、前記実施形態における第１樹脂ブロック８Ａや第２樹脂ブロック８Ｂと適宜組み合わせられても良い。
（４）トレイの枠の形状の変形例
前記実施形態ではトレイの枠は支持部から外方に向かって下り勾配の傾斜部を有していたが、トレイの枠の傾斜部が支持部から外方に向かって上り勾配であっても良い。以下、前記実施形態と異なる点を中心に説明して、同様の構造については説明を省略する。

図１９に示すように、トレイ２０１の枠部材２０２ａ，２０２ｂは、外側平坦部２１１と、外側平坦部２１１よりも低い位置に形成される内側平坦部２１２を備えており、外側平坦部２１１と内側平坦部２１２の間に傾斜部２１３が設けられている。内側平坦部２１２は傾斜部２１３の下端部から内方に延出しており、外側平坦部２１１は傾斜部２１３の上端部から外方に延出している。傾斜部２１３は、外枠２０２が形成されたときに上方に向けて広がった形状となるように角度が付けられている。

各外枠２０２には、上に積まれる他のトレイ２０１との間の隙間を遮蔽するためのシール部材２５１が設けられている。
シール部材２５１は、各枠部材２０２ａ，２０２ｂの外側平坦部２１１に固定され、上側のトレイ２０１の内側平坦部２１２に当接して、上下のトレイ２０１の間の内部空間を外部から遮断する。そのために、トレイ群の外部から内部にパーティクルが侵入しにくい。したがって、ラフクリーン環境で用いても基板Ｓが汚染されにくい。

より詳細には、図１９に示すように、シール部材２５１は、外側平坦部２１１の上辺に固定された平坦な固定部２５２と、固定部２５２から内側下方に斜めに延びる傾斜部２５３と、傾斜部２５３からさらに内側に延びる当接部２５４とから構成されている。当接部２５４は、自由状態では内側上方に斜めに延びている。より詳細には、固定部２５２の内側端は、外側平坦部２１１の内側端からさらに内方に延びている。トレイ２０１が積み上げられた状態で、当接部２５４の内側部分が内側平坦部２１２の外側部分（傾斜部２１３との境界）の下面に当接して、上下に積まれたトレイ２０１同士の境界を遮断している。

この実施形態によって得られる効果は前記実施形態と同様である。
（５）外枠および桟の材料の変形例
前記実施形態では枠部材はアルミの押出加工形成されていたが、一定の板厚の鋼材（例えば、ＳＵＳ３０４）を板金加工によって同一の断面形状となるように加工しても良い。
（６）支持部材の変形例
前記実施形態では支持部材は枠部材に固定されていたが、支持部材は、内側平坦部と同様に、傾斜部に一体に形成されていても良い。

また、支持部材と桟とを固定するリベットの数は１個に限定されない。つまり、リベットは複数個でも良い。

本発明の一実施例としてのワーク搬送用トレイが積み上げられて構成されている一つのトレイ群の部分断面図。 本発明の一実施形態としてのワーク搬送用トレイの斜視図。 ワーク搬送用トレイの平面図。 段積みトレイの角部の斜視図。 段積みトレイの角部の斜視図。 第１樹脂ブロックの各図。 第１樹脂ブロック同士の載置を示すための側面図。 第２樹脂ブロックの各図。 第２樹脂ブロック同士の載置を示すための側面図。 桟の部分斜視図。 位置決め部材の斜視図。 ワーク搬送用トレイの部分平面図。 位置決め部材の断面図。 ワーク搬送用トレイの積み上げ動作を説明するための部分断面図。 ワーク搬送用トレイの角部の部分上面図。 他の実施形態における樹脂ブロックの各図。 他の実施形態における樹脂ブロックの側面図。 他の実施形態における樹脂ブロック同士の係合の関係を示すための部分断面図。 他の実施形態における段積みトレイのシール構造を示す部分断面図。

符号の説明

１ ワーク搬送用トレイ
２ 外枠
２ａ 長辺枠部材
２ｂ 短辺枠部材
４ 桟
８ 樹脂ブロック
１１ 外側平坦部
１２ 内側平坦部
１３ 傾斜部
２０ 本体部
２１ 凸部
２２ 凹部
２３ 被支持部
５１ シール部材
５２ 固定部（第１部分）
５３ 傾斜部
５４ 当接部（第２部分）
６１ カバー
６２ 覆い部
６３ 壁部
６４ フランジ部

Claims (5)

1. 薄板状のワークの搬送に用いられるワーク搬送用トレイであって、
   前記ワークを載置するワーク載置面を有するワーク載置部と、
   前記ワーク載置部を支持する枠と、
   前記枠に設けられ他のワーク搬送用トレイに積まれた状態で上に積まれる他のワーク搬送用トレイの重量を支持するための重量支持部材と、
   前記枠に沿って配置され、前記枠と上に積まれる他のワーク搬送用トレイの枠との間の隙間を遮蔽するための弾性部材と、
   を備えたワーク搬送用トレイ。
2. 前記弾性部材は、前記枠の上部に配置されている、請求項１に記載のワーク搬送用トレイ。
3. 前記枠は、前記ワーク載置部を支持する支持部と、前記支持部から斜めに延びる傾斜部とを有しており、
   前記弾性部材は、前記傾斜部の上側部分に配置され、上に積まれる他のワーク搬送用トレイの枠の傾斜部の下側部分に当接可能である、請求項１または２に記載のワーク搬送用トレイ。
4. 前記弾性部材は、前記枠に固定される第１部分と、前記第１部分から側方に延び上に積まれる他のワーク搬送用トレイの枠に当接可能な第２部分とを有する、請求項１〜３のいずれかに記載のワーク搬送用トレイ。
5. 複数のワーク搬送用トレイが積み上げられたトレイ群の内部を外部から遮蔽するために用いられるトレイ群遮蔽用トレイであって、
   前記ワークを載置するワーク載置面を有するワーク載置部と、
   前記ワーク載置部を支持する枠と、
   前記ワーク載置部全体を覆うカバー部材と、
   を備えたトレイ群遮蔽用トレイ。

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