JP2014072274A - 基板保持部材 - Google Patents
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Abstract
その表面の機能層を損傷したり汚したりすることなく、効率良く保管、搬送することが可能な基板用トレイの基板保持部材を提供することを目的とする。
【解決手段】 本発明の基板保持部材は、四角形状で剛性のある板状物からなる基板を、前記基板の下側から水平方向に保持する基板用トレイにおいて、前記基板を保持する基板保持部材であって、前記基板保持部材が、前記基板保持部材の上面に突起を有し、下面に凹部を有することにより、安定に、効率よく、保管、搬送することが可能な基板保持部材を提供することにより上記の課題を解決する。
【選択図】 図12
Description
従来、こういった基板を搬送、保管する際は、基板を傷や破損から守るため、基板同士が接触しないように所定間隔で並列収納できる、箱形の収納容器を用いていた。
このような中、近年、特に、液晶表示用のフラットパネルにおいては、より大型のカラーフィルター形成基板の製造が要求されており、搬送、保管に対して、更に一層の、搬送効率向上による搬送コスト節減や保管場所の省スペース化が求められている。
しかしながら、上記のような収納容器による搬送では、搬送時の振動により基板が跳
ねやすく、割れや傷が発生しやすく、トレイの薄型化が非常に困難であった。
搬送または保管時の振動により、基板は鉛直方向の振動だけではなく、水平方向の移動も発生する。このような移動を防止するために、特開2006−168748号公報(特許文献1)、特開2010−120690号公報(特許文献2)、特開2008−155995号公報(特許文献3)では、基板への当接材を使用し固定している、またはテーパー状の基板保持部材の使用により移動を規制している。当接材の使用は、基板の汚れ、傷の原因となるとともに、基板が固定され、固定部に振動発生時の応力が発生することにより、基板の破損が発生する可能性がある。また、テーパー状の基板保持部材では、徐々に上下の間隙が狭くなっていくことにより水平方向の基板の移動が規制されるが、テーパー部により形成される間隙に、基板がくさび状に挟まれることにより基板保持部材が損傷し異物が発生する、さらに、基板が固定され、振動発生時の応力により、基板の破損が発生する等の可能性がある。
さらに、前記基板保持部材は、振動等が発生した時のみ前記基板と接触する移動規制面を有する移動規制部および基板規制部を有しており、振動等が発生した時でも、基板の機能を損なう可能性が少なく、破損、汚れを防止した、安定的な前記基板を保管、搬送が可能となる。
図1に、本形態の基板保持部材14を有する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略を示す。図1(a)は枠体12の4辺に支持された基板支持部13が、直線状に基板111の端部を支持する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略図である。図1(b)は枠体12の4辺のうち一方の対向する2辺に固定された基板支持部13が直線状に基板111の両端を支持し、枠体12の4辺のうち他方の対向する2辺に固定された基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませて、基板111の両端を支持する基板用トレイ11の実施の形態の1例の概略図である。また、図示はしていないが、基板用トレイ11は、基板111を安定に保持する為に、4辺に固定された基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませて、基板111の4辺を支持する基板用トレイ11であってもよい。また、基板支持部13を鉛直方向下側に撓ませる場合、撓んだ基板支持部13を支持する枠体12は、直線であって、前記基板支持部13が鉛直方向下側に撓んだ形状であってもよい。前記撓みの形状は、円弧状でも放物線上でもよく、撓ませた基板111の、端部中央部の高さの差は基板サイズによって適宜設計される。
前記a、b、dの数値は、複数段に重ねた基板用トレイ11の間隔、基板支持部の厚さ等により適宜設計される。
12 枠体
13 基板支持部
14 基板保持部材
14a 基板保持部
14b 基板規制部
31 移動規制部
34 移動規制面
35 凹部
36 基板保持部の平坦な上面
37 基板規制部の平坦な下面
101 溝
103 搬送用架台
111 基板
123 嵌合部
124 位置決め部
Claims (8)
- 四角形状で剛性のある板状物からなる基板を下から水平方向に保持し、鉛直方向に複数重ねて、複数の前記基板を保管および搬送する基板用トレイにおいて、
前記基板用トレイの枠体の内側に設けられた基板支持部に固定され、前記基板を下面から保持する基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、少なくとも基板保持部、移動規制部、基板規制部を備え、
前記基板保持部は、平坦な上面を有し、前記基板支持部の上面より突出して固定され、
さらに、前記基板保持部は、該基板保持部の上面に前記移動規制部を有し、
前記移動規制部は、前記基板保持部の平坦な上面と垂直な移動規制面を有し、
前記基板規制部は、平坦な下面を有し、前記基板支持部の下面より突出して固定され、
さらに、前記基板規制部は、該基板規制部の下面に凹部を有し、
前記基板用トレイを鉛直方向に多段に重ねたときに、下側に位置する第1の基板保持部材の移動規制部が、その直上に位置する第2の基板保持部材の凹部に接触せずにはまるよう、前記移動規制部と前記基板保持部材の凹部が形成される、
ことを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材が、可撓性を有していることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1ないし請求項2のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材が、熱可塑性樹脂で形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記移動規制部に、溝が、少なくとも1つ形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項4に記載の基板保持部材であって、
前記溝の底部が円弧状に形成されていることを特徴とする基板保持部材。 - 請求項1ないし請求項5のいずれか1項に記載の基板保持部材であって、
前記基板保持部材は、前記基板用トレイの前記基板支持部の形状に沿って固定されていることを特徴とする基板保持部材。 - 前記基板用トレイであって、
請求項1ないし請求項6のいずれか1項に記載の基板保持部材が、
前記基板用トレイの前記枠体の少なくとも一対の対向する2辺に、複数取り付けられていること
を特徴とする基板用トレイ。 - 請求項7に記載の基板用トレイであって、
前記移動規制面が、保持される基板の端面と平行になるよう基板用トレイに設置されることを特徴とする基板用トレイ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2012215596A JP5978894B2 (ja) | 2012-09-28 | 2012-09-28 | 基板保持部材 |
Applications Claiming Priority (1)
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Publications (2)
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JP2014072274A true JP2014072274A (ja) | 2014-04-21 |
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Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP5978894B2 (ja) |
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