WO2010038553A1 - 基板収納トレイ - Google Patents

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WO2010038553A1
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substrate
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武徳 吉澤
浩人 柴田
Original Assignee
シャープ株式会社
サイデック株式会社
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    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders

Definitions

  • the present invention relates to a substrate storage tray used when a substrate having a square shape or a rectangular shape such as a glass substrate for a display panel such as a liquid crystal display panel is stored or carried.
  • the substrate storage tray 101 includes a rectangular bottom portion 101a on which the glass substrate 20 is placed in a horizontal state, and a frame portion that protrudes upward from a side edge over the entire circumference of the bottom portion 101a. 101b.
  • the glass substrates 20 are stored in the substrate storage trays 101 stacked vertically on the pallet 102 so that the processing surfaces 20a are on the upper side one by one.
  • a pin insertion hole 101c into which a substrate support pin (not shown) is inserted from below is formed in the bottom 101a of each glass substrate storage tray 101.
  • the procedure for taking out the glass substrate 20 from each of the substrate storage trays 101 stacked above and below will be described. First, for example, the substrate storage tray 101 located at the bottom is left, and the substrate storage trays 101, 101, 101,.
  • a substrate support pin (not shown) is inserted into the pin insertion hole 101c of the substrate storage tray 101 located at the bottom from the bottom, and the glass substrate 20 is floated on the bottom 101a of the substrate storage tray 101.
  • the lowermost glass substrate 20 lifted by the substrate transfer arm (not shown) is taken out. Thereafter, the raised substrate storage trays 101, 101, 101,... Are lowered. Thereby, the glass substrate 20 is taken out from the lowermost substrate storage tray 101.
  • the glass substrates 20 can be taken out one by one from the stacked substrate storage trays 101 and conveyed to a predetermined processing line or the like.
  • the substrate storage tray 101 that stores the glass substrate 20 is transported from the manufacturer to a display panel manufacturing factory or the like. There is a concern that the size of the substrate storage tray 101 exceeds the maximum size of a loading platform of a vehicle such as a general truck or trailer used.
  • the maximum size of trucks and trailers is restricted based on the Road Traffic Act. If the size of the board storage tray 101 exceeds this limit, a special approval application is required.
  • the substrate storage tray 101 is transported from its manufacturer to a display panel manufacturing factory or the like using a special vehicle or a transport helicopter.
  • the problem to be solved by the present invention is that it can be reduced so that it can be accommodated in the size of the carrier when transported by a general truck, trailer, etc.
  • the present invention is to provide a substrate storage tray provided with a telescopic mechanism that can be extended and used when storing substrates.
  • the present invention is a substrate storage tray for storing a large-sized substrate, and has a pair of second frame portions opposed to a pair of first frame portions opposed to each other, and is formed in a frame shape. And a plate-like substrate support member that is provided in an inner region surrounded by the frame member and supports one surface of the substrate, and is provided in the middle of the pair of first frame portions in the longitudinal direction.
  • the gist of the invention is that the portion is provided with an extending portion for widening the interval between the pair of second frame portions.
  • an extending portion for widening the interval between the pair of second frame portions is provided in the middle of the pair of first frame portions constituting the frame member of the substrate storage tray. Therefore, it is possible to change the size of the substrate storage tray by extending or contracting it in the vertical or horizontal direction.
  • the size of the substrate storage tray extended to accommodate the substrate exceeds the maximum size limit of the loading platform of a truck or trailer traveling on a general road, it is necessary to transport these trays when transporting them. Since it can be shrunk to fit within the size of the cargo bed, it can be transported at the same transportation cost as before.
  • the second frame portion is not provided with an extension portion, and the extension portion is provided only on the first frame portion. Even in a state in which the substrate is stored in the subsequent substrate storage tray, it is possible to sufficiently ensure rigidity against warping, bending, and the like.
  • the pair of first frame portions are formed in a cylindrical shape in cross section, and the extending portion is inserted into each divided first frame portion divided into a plurality of lengths in the extending portion. If it is the structure which can be extended
  • the fixing means is configured to fix the side surface of the divided first frame portion and the side surface of the insertion bar in the divided first frame portion by screwing, the first frame can be simply tightened. The stretched state of the part can be easily held.
  • the fixing means is configured such that a locking member provided so as to be able to advance and retreat outward from the side surface of the insertion bar is locked in a locking hole opened in the side surface of the divided first frame portion. If it has, it can hold
  • the substrate support member is configured to bridge between the pair of first frame portions, an extension portion is provided for the plate-like substrate support member as well as the second frame portion. Therefore, the substrate support member can have a simple structure and its rigidity is prevented from being lowered.
  • the reinforcing member for reinforcing the mechanical strength of the substrate supporting member is further provided so as to bridge between the pair of first frame portions, the rigidity of the substrate supporting member is improved. It is possible to reduce the thickness by reducing the thickness of the substrate support member.
  • the substrate storage tray having the above-described configuration for example, it can be shrunk so that it can be accommodated in the size of the cargo bed when transported so that it can be transported by a general truck or trailer, and the display panel of the transport destination When storing a glass substrate in a manufacturing factory, etc., it can be extended and used, so that the transportation cost can be equivalent to that of the conventional one, and the storage property and portability of the stored glass substrate are also conventional. It is possible to be equivalent.
  • FIG. 1A is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1B
  • FIG. 1B is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 1A
  • FIG. It is sectional drawing along CC line. It is sectional drawing which showed the state which accumulated the board
  • FIG. 1 shows a schematic configuration of an extended state of a substrate storage tray according to the present invention, where (a) is a plan view and (b) is a side view thereof.
  • 2 shows a schematic configuration of the substrate storage tray of FIG. 1 in a contracted state, where (a) is a plan view and (b) is a side view thereof.
  • FIG. 3A is a cross-sectional view taken along the line AA in FIG. 1B
  • FIG. 3B is a cross-sectional view taken along the line BB in FIG. 1A
  • FIG. It is sectional drawing along CC line of (a).
  • FIG. 4 is a cross-sectional view of the substrate storage trays stacked in the vertical direction.
  • the substrate storage tray 1 is for storing a glass substrate 20 having a rectangular shape for a display panel such as a liquid crystal display panel and storing and carrying the glass substrate 20.
  • the size of the substrate storage tray 1 can be reduced.
  • the substrate storage tray 1 includes a frame member 2 formed in a frame shape larger than the outer shape of the glass substrate 20 to be stored, and a plate-like substrate support member disposed in an inner region surrounded by the frame member 2 3 and 4.
  • the frame member 2 includes a pair of first frame portions 5 and 5 that face each other so as to be parallel to each other, and a pair of the frame members 2 that are arranged so as to be perpendicular to the first frame portions 5 and 5 and face each other so as to be parallel to each other.
  • the second frame portions 6 and 6 are provided, and both ends of each of the frame portions 5 and 6 are connected to each other by a connecting member or the like, thereby forming a rectangular frame shape.
  • the substrate support members 3 and 4 on which the glass substrate 20 is placed are flat plate members having a predetermined plate thickness made of a foamed resin having elasticity.
  • the substrate storage tray 1 includes five substrate support members 3, 3, 3,... Along the longitudinal direction of the first frame portions 5, 5, respectively. It is arranged so as to bridge between the five.
  • two substrate support members 4 and 4 are disposed inside each of the second frame portions 6 and 6.
  • FIG. 3B which is a sectional view taken along line BB in FIG. 1A
  • the end portion of the substrate support member 3 is engaged with the inner side surface of the first frame portion 5.
  • a frame engaging portion 3a is provided.
  • the frame engaging portion 3a has a certain thickness in which the upper surface and the lower surface are horizontal.
  • a convex portion 3b protruding upward is provided on the upper surface of the frame engaging portion 3a.
  • FIG. 3C which is a cross-sectional view taken along the line CC of FIG. 1A
  • the second frame portion 6 is provided at the end portion along the outer periphery of the substrate support member 4.
  • the frame engaging part 4a engaged with the inner side surface is provided.
  • the frame engaging portion 4a also has a certain thickness with the upper and lower surfaces being horizontal.
  • a convex portion 4b protruding upward is provided on the upper surface of the frame engaging portion 4a.
  • the first frame portions 5 and 5 and the second frame portions 6 and 6 have a hollow shape having a substantially rectangular tube in cross section.
  • it is formed from an aluminum material.
  • the upper and lower surfaces of the first frame portion 5 and the second frame portion 6 protrude above and below the substrate placement surfaces 3c and 4c of the substrate support members 3 and 4 and the lower surfaces thereof, respectively. Further, the tips of the oblique projecting portions 5a and 6a projecting obliquely outward from the upper surfaces of the first frame portion 5 and the second frame portion 6 from the upper surfaces of the convex portions 3b and 4b of the substrate support members 3 and 4, respectively. Is also located above. The lower surfaces of the first frame portion 5 and the second frame portion 6 are located below the lower surfaces of the substrate support members 3 and 4.
  • first frame portion 5 and the second frame portion 6 On the inner side surfaces of the first frame portion 5 and the second frame portion 6 are horizontal strip-shaped upper surface engaging portions 5b that are in contact with the upper surfaces of the frame engaging portions 3a and 4a of the substrate support members 3 and 4, respectively. 6b is provided over the inner periphery. Similarly, on the inner side surface of each of the first frame portion 5 and the second frame portion 6, a horizontal strip-like lower surface engaging portion that contacts the lower surfaces of the frame engaging portions 3 a and 4 a of the substrate support members 3 and 4. 5c and 6c are provided. The frame engaging portions 3a and 4a of the substrate support members 3 and 4 are sandwiched between the upper surface engaging portions 5b and 6b and the lower surface engaging portions 5c and 6c, and are engaged by rivets or screws not shown. It is fixed.
  • flange portions 5 d and 6 d that protrude in the outward direction are located on the outer circumferences at substantially the same height as the upper surface engaging portions 5 b and 6 b. It is provided over. These flange portions 5d and 6d are used for chucking by a chucking device or the like when the substrate storage tray 1 is lifted and conveyed or when the glass substrate 20 is taken out.
  • the substrate storage tray 1 is configured so that it can be stacked in the vertical direction.
  • the first frame portion 5 and the second frame portion of the substrate storage tray 1 arranged on the upper side inside the oblique protrusions 5a and 6a formed on the upper surfaces of the first frame portion 5 and the second frame portion 6 of the tray 1.
  • the lower surface of 6 is positioned and placed, and is prevented from being displaced laterally by the oblique protrusions 5a and 6a.
  • the insertion bar 8 is inserted into the hollow portion of the first frame portion 5 as shown in FIGS.
  • the insertion bar 8 is made of, for example, a chamfered corner made of aluminum material and has an outer diameter slightly smaller than the inner diameter of the hollow portion of the first frame portion 5.
  • first frame portion 5 is divided into five, and divided first frame portions 51 and 51 arranged on both sides, and three divided first frame portions 52, 52, and 52 arranged therebetween. These three divided first frame parts 52, 52, 52 and the insertion bar 8 constitute an extending part 7. In this case, as shown in FIG. 2A, the insertion bar 8 has a length that can be accommodated in the hollow portion before the first frame portion 5 is extended by the extending portion 7.
  • the divided first frame portions 51, 51 on both sides are at both end portions of the insertion bar 8, as shown in FIGS. 1 (b) and 3 (a).
  • the three divided first frame portions 52, 52, 52 at the center are arranged so as to be separated by a predetermined length along the longitudinal direction of the intermediate portion of the insertion bar 8.
  • the divided first frame portions 52, 52, 52 are arranged one by one at the center of the insertion bar 8 and one by one at a predetermined distance on both sides of the center.
  • the division first frame portions 51 and 52 are fixed to the insertion bar 8 by fixing the fixing screws 10 in the screw holes 5e formed on the outer side surfaces of the division first frame portions 51 and 52, respectively. This is done by pressing and locking the tip of the screw 10 against the outer side surface of the insertion bar 8.
  • three fixing screws 10 are used for fixing each of the divided first frame portions 51 and 51 arranged on both sides to both ends of the insertion bar 8.
  • two fixing screws 10 are used to fix the divided first frame portions 52, 52, 52 arranged at substantially the center to the insertion bar 8.
  • the right end of the moved divided first frame portion 51 is positioned from the left end portion of the insertion bar 8 to the first positioning mark 9.
  • the divided first frame portion 51 is fixed at a predetermined position of the left end portion of the insertion bar 8 by screwing the tip ends of the three fixing screws 10 so as to be pushed into the side surface of the insertion bar 8.
  • the left divided first frame part 52 is moved in the left direction relative to the insertion bar 8. Then, the both ends of the moved divided first frame portion 52 are positioned between the second surface and the third positioning marks 9, 9 from the left end portion of the insertion bar 8, and the tips of the two fixing screws 10 are positioned.
  • the divided first frame portion 52 is fixed at a predetermined position of the insertion bar 8 by being screwed so as to be pushed into the side surface of the insertion bar 8.
  • the stop member 11 may be configured to be locked in a locking hole 5f that is opened through the inside from the outer side surface of each of the divided first frame portions 51 and 52.
  • an elastic leaf spring is used as the locking member 11.
  • the locking member 11 is formed with a locking portion 11a that is curved outward at a substantially central position.
  • both end portions of the locking member 11 are fixed at both end positions in the longitudinal direction of the housing portion 8 a that is recessed in the outer side surface of the insertion bar 8.
  • the accommodating part 8a has the depth which the latching
  • the locking portion 11a of the locking member 11 is in contact with the inner wall surface of the hollow portion of each divided first frame portion 51, 52, the locking portion 11a is once bent and deformed to When 11a is positioned in the locking hole 5f of each divided first frame portion 51, 52, the locking portion 11a is locked to the locking hole 5f by being restored and deformed.
  • the divided first frame portions 51 and 52 are inserted more than when the divided first frame portions 51 and 52 are fixed to the insertion bar 8 using the fixing screw 10 described above. Positioning and fixing can be performed simply by moving along the bar 8. Further, the positioning mark 9 for positioning can be eliminated.
  • One glass substrate 20 can be stored in the substrate storage tray 1 in which the space between the second frame portions 6 and 6 is widened by the extending portions 7 and 7 of the first frame portions 5 and 5 having such a configuration. It has become.
  • the glass substrate 20 has a back surface 20b on the flat substrate mounting surface 3c of the support members 3 and 4 so that the processing surface 20a on which various processing is performed for forming electrodes and the like is on the upper side. , 4c are placed in contact with each other.
  • the substrate support member 3 having a strip shape provided so as to bridge between the first frame portions 5 and 5 has a substrate support member 3 as shown in FIGS. 3 (a) to 3 (c).
  • a pair of reinforcing members 12, 12 are provided along the longitudinal direction of the substrate support member 3 to increase the rigidity so as to prevent warping or bending in the longitudinal direction.
  • an aluminum pipe is used for the reinforcing member 12 and is provided so as to be buried from the lower surface side of the substrate support member 3.
  • the gap between the substrate support members 3 and 4 formed by the extension of the first frame portions 5 and 5 of the substrate storage tray 1 is a pin through which a substrate support pin (not shown) is inserted. It can be used as the insertion hole 13.
  • extension unit 7 Next, a more specific example of the above-described extension unit 7 will be described with reference to FIG. Note that the same components as those shown in FIG. 3B are denoted by the same reference numerals, description thereof is omitted, and different points will be mainly described.
  • the insertion bar 8 has a hollow shape with a substantially rectangular tube cross section, and is formed of, for example, an aluminum material.
  • reinforcing ribs 8b and 8c formed in a stepped shape are provided along the longitudinal direction above the inner side surface of the insertion bar 8 and below the outer side surface.
  • Such reinforcing ribs 8b and 8c are provided for the purpose of improving the rigidity against warping or bending of the insertion bar 8 in the longitudinal direction.
  • the divided first frame portions 51 and 52 having a hollow shape through which the insertion bar 8 is inserted have a cross-sectional shape that matches the shape of the reinforcing ribs 8b and 8c of the insertion bar 8, and similarly. Reinforcing ribs 5g and 5h bulging and formed in steps are provided. Accordingly, the divided first frame portions 51 and 52 are also improved in rigidity against warping and bending in the longitudinal direction by the reinforcing ribs 5g and 5h.
  • each divided first frame portion 51, 52 is fixed to the insertion bar 8 by screwing formed on the outer side surface of each divided first frame portion 51, 52.
  • the fixing screw 10 is screwed into the hole 5e, and the tip of the fixing screw 10 is pressed against the outer side surface of the insertion bar 8 to be locked.
  • the divided first frame portions 51 and 52 and the insertion bar 8 are fixed by screwing the fixing screw 10 into the screwing hole 15a of the cap nut 15 attached to the outer side surface.
  • the interval between the second frame portions 6, 6 is widened in the middle of the first frame portions 5, 5 constituting the frame member 2 of the substrate storage tray 1. Therefore, the size of the substrate storage tray 1 can be changed by extending or contracting in the horizontal direction.
  • the size of the substrate storage tray 1 shown in FIG. 1 that is stretched so as to accommodate the glass substrate 20 exceeds the limit of the maximum size of the loading platform of a vehicle such as a truck or a trailer traveling on a general road. Even in the case of transportation, since it can be reduced to the state shown in FIG. 2 so as to fit in the size of the loading platform, it can be transported at the same transportation cost as before.
  • the second frame parts 6 and 6 which are paired with the paired first frame parts 5 and 5 constituting the frame member 2, the second frame parts 6 and 6 are not provided with an extension part, Since the extending portions 7 and 7 are provided only in the middle of the first frame portions 5 and 5, the rigidity against warpage and bending is sufficiently ensured even when the glass substrate 20 is stored in the extended substrate storage tray 1. ing.
  • the 1st frame part 5 is formed in a cross-section cylinder shape, and the extension part 7 is penetrated in each division
  • the first frame portion 5 and the insertion bar 8 in the first frame portion 5 are fixed as shown in FIG. 3A or FIG. 6. If it is made the structure made by the screwing by 10, it can hold
  • FIG. 3A or FIG. 6 If it is made the structure made by the screwing by 10, it can hold
  • a locking member 11 provided so as to be movable forward and backward from the side surface of the insertion bar 8 is provided on the side surface of the first frame portion 5. It may be configured to be locked in the opened locking hole 5f. In this case, the extended state of the first frame portion can be maintained only by extending the first frame portion at the extending portion 7.
  • the substrate support members 3 and 4 are provided so as to bridge the first frame portions 5 and 5, the extension portions of the substrate support members 3 and 4 are also provided in the same manner as the second frame portions 6 and 6. Is not provided, the substrate support members 3 and 4 can have a simple configuration, and a decrease in rigidity thereof is prevented.
  • the reinforcement member 12 for reinforcing the mechanical strength of the substrate support member 3 is further provided so as to bridge between the first frame parts 5 and 5, the rigidity of the substrate support member 3 is improved, The board pressure of the substrate support member 3 can be reduced to reduce the weight.
  • the configuration in which the glass substrate 20 is stored in the extended substrate storage tray 1 illustrated in FIG. 1 has been described.
  • the contracted substrate storage tray 1 illustrated in FIG. It is possible to store glass substrates, and a plurality of types of glass substrates having different sizes can be stored by properly using the extended state and the contracted state of the substrate storage tray 1.
  • the configuration of the extending portion 7 provided in the middle portion of the first frame portion 5 and the fixing method of the first frame portion 5 to the insertion bar 8 are not limited to the above-described embodiment, and various extending portions can be provided. Configurations and fixing methods are applicable. Moreover, although the structure which divided the 1st frame part 5 into 5 was demonstrated, it is not limited to embodiment mentioned above also about the division

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Abstract

　持ち運び等する際にはサイズを小さくすることができる基板収納トレイを提供することである。 　大型の基板２０が収納される基板収納トレイ１であって、対向する一対の第１枠部５，５と対向する一対の第２枠部６，６を有して枠状に形成された枠部材２と、該枠部材２によって囲まれた内側の領域に設けられ、基板２０の一方の面を支持する板状の基板支持部材３，４とを備え、一対の第１枠部５，５の長手方向の途中部位には、一対の第２枠部６，６間の間隔を広げるための伸長部７，７が設けられている。

Description

基板収納トレイ
　本発明は、液晶表示パネル等の表示パネル用のガラス基板等の正方形状または長方形状を有する基板を保管する際や持ち運びする際に用いられる基板収納トレイに関するものである。
　近年、液晶表示パネル等の表示パネル用のガラス基板は、大型化（第８世代：２１６０ｍｍ×２４６０ｍｍ）されてきており、このような大型のガラス基板を表示パネル製造工場内において保管および持ち運びする際には、例えば下記特許文献１に開示されるような基板収納トレイが用いられている。
　図７に示されるように、基板収納トレイ１０１は、ガラス基板２０が水平状態で載置される長方形状の底部１０１ａと、この底部１０１ａの全周にわたる側縁部から上方に突出された枠部１０１ｂを有している。
　図示されるように、パレット１０２上で上下に積み重ねられた各基板収納トレイ１０１には、一枚ずつ処理面２０ａが上側になるようにガラス基板２０が収納されている。この場合、各ガラス基板収納トレイ１０１の底部１０１ａには図示しない基板支持ピンが下方から挿入されるピン挿入孔１０１ｃが開口形成されている。
　このように上下に積み重ねられた各基板収納トレイ１０１からガラス基板２０を取り出す手順について説明する。先ず、例えば一番下に位置する基板収納トレイ１０１を残して、その上側の基板収納トレイ１０１，１０１，１０１，・・・を持ち上げる。
　次に、図示しない基板支持ピンを下方から一番下に位置する基板収納トレイ１０１のピン挿入孔１０１ｃに挿入して、その基板収納トレイ１０１の底部１０１ａ上でガラス基板２０を浮上させる。
　そして、図示しない基板搬送アームによって浮上された一番下のガラス基板２０を取り出す。その後、持ち上げられていた基板収納トレイ１０１，１０１，１０１，・・・を降ろす。これにより、一番下の基板収納トレイ１０１からガラス基板２０が取り出されることになる。このような動作を繰り返すことで、積み重ねられた各基板収納トレイ１０１からガラス基板２０を一枚ずつ取り出して、所定の加工ライン等に搬送することができる。
特開２００４－１８６２４９号公報
　しかしながら、今後、更にガラス基板２０の大型化に伴ってこれを収納する上述した基板収納トレイ１０１も大型化されると、この基板収納トレイ１０１をその製造元から表示パネル製造工場等に輸送するのに使用される一般的なトラックやトレーラーなどの車両の荷台の最大サイズを、基板収納トレイ１０１のサイズが超えてしまうことが懸念されている。
　一般道路を走行するトラックやトレーラーなどの車両の荷台の最大サイズは道路交通法に基づいた制限があるため、この制限を基板収納トレイ１０１のサイズが超えている場合は、特別な認可申請が必要な特殊車両や輸送ヘリ等を使用して、基板収納トレイ１０１をその製造元から表示パネル製造工場等に輸送することになってしまう。
　一般的なトラックやトレーラーを使用して輸送した場合よりも、特別な認可申請が必要な特殊車両や輸送ヘリ等を使用して輸送した場合のほうが非常に高く輸送コストがかかり、その結果、基板収納トレイ１０１の輸送コストが増大すると、基板収納トレイ１０１の単価も高くなってしまい、コスト的に見合わないことになってしまうという問題がある。
　そこで、本発明が解決する課題は、一般的なトラックやトレーラー等によって輸送できるように、輸送する際にはそれらの荷台サイズに収まるように縮めることができると共に、輸送先の表示パネル製造工場等において、基板を収納する際には、伸ばして用いることができる伸縮機構を備えた基板収納トレイを提供することである。
　上記課題を解決するため本発明は、大型の基板が収納される基板収納トレイであって、対向する一対の第１枠部と対向する一対の第２枠部を有して枠状に形成された枠部材と、該枠部材によって囲まれた内側の領域に設けられ、前記基板の一方の面を支持する板状の基板支持部材とを備え、前記一対の第１枠部の長手方向の途中部位には、前記一対の第２枠部間の間隔を広げるための伸長部が設けられていることを要旨とするものである。
　このような構成の基板収納トレイによれば、基板収納トレイの枠部材を構成する一対の第１枠部の途中部位には、一対の第２枠部間の間隔を広げるための伸長部が設けられているので、基板収納トレイを縦方向または横方向に伸縮させてそのサイズを変更することが可能である。
　したがって、基板を収納できるように伸ばした状態の基板収納トレイのサイズが、一般道路を走行するトラックやトレーラーなどの車両の荷台の最大サイズの制限を超えている場合でも、輸送する際にはそれらの荷台サイズに収まるように縮めることができるので、従来と同じ輸送コストで輸送することができる。
　また、枠部材を構成する一対の第１枠部と一対の第２枠部のうち、第２枠部には伸長部を設けず、第１枠部にだけ伸長部を設けた構成なので、伸長後の基板収納トレイに基板を収納した状態でも反りや撓み等に対する剛性が十分に確保することが可能である。
　この場合、前記一対の第１枠部は断面筒状に形成され、前記伸長部は、該伸長部において長手方向に複数に分割された各分割第１枠部内に挿通される１本の挿通バーに沿って伸長がなされる構成となっていれば、簡易な伸長構造とすることができる上に、伸ばした状態の第１枠部の長手方向の反りや撓み等に対する剛性も十分に確保することが可能である。
　また、前記伸長部において、前記各分割第１枠部と該各分割第１枠部内の前記挿通バーとが固定手段により固定されている構成にすれば、第１枠部の伸ばした状態を保持することができる。
　更に、前記固定手段が、前記分割第１枠部の側面と該分割第１枠部内の前記挿通バーの側面とをネジ止めにより固定する構成となっていれば、ネジを締めるだけで第１枠部の伸ばした状態を簡便に保持することができる。
　また、前記固定手段が、前記挿通バーの側面から外側方向に進退動可能に設けられた係止部材が、前記分割第１枠部の側面に開口された係止孔に係止される構成となっていれば、第１枠部を伸長部において伸ばすだけで第１枠部の伸ばした状態を保持することができる。
　更に、前記基板支持部材は、前記一対の第１枠部間を橋渡しするように設けられている構成にすれば、第２枠部と同様に板状の基板支持部材についても伸長部が設けられていないので、基板支持部材を簡易な構造とすることができる上に、その剛性の低下が防止されている。
　そして、前記基板支持部材の機械的強度を補強するための補強部材が前記一対の第１枠部間を橋渡しするように更に設けられている構成にすれば、基板支持部材の剛性が向上すると共に、基板支持部材の板厚を薄くして軽量化することが可能である。
　上記構成を有する基板収納トレイによれば、例えば、一般的なトラックやトレーラー等によって輸送できるように、輸送する際にはそれらの荷台サイズに収まるように縮めることができると共に、輸送先の表示パネル製造工場等において、ガラス基板を収納する際には、伸ばして用いることができるので、従来と同等の輸送コストとすることができる上に、収納したガラス基板の保管性および持ち運び性についても従来と同等とすることが可能である。
本発明の一実施形態に係る基板収納トレイの伸びた状態の概略構成を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。 図１の基板収納トレイの縮んだ状態の概略構成を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）は側面図である。 （ａ）は図１（ｂ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、（ｂ）は図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図、（ｃ）は図１（ａ）のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。 基板収納トレイを上下方向に積み重ねた状態を示した断面図である。 図３（ａ）の伸長部の構造の変形例を示した図である。 図３（ｂ）の伸長部の構造のより具体的な例を示した図である。 従来用いられてきた基板収納トレイの概略構成を示した図である。
　以下に、本発明に係る基板収納トレイの一実施形態について、図面を参照して詳細に説明する。
　図１は本発明に係る基板収納トレイの伸びた状態の概略構成を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）はその側面図である。図２は図１の基板収納トレイの縮んだ状態の概略構成を示しており、（ａ）は平面図、（ｂ）はその側面図である。
　また、図３（ａ）は図１（ｂ）のＡ－Ａ線に沿った断面図、（ｂ）は図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図、（ｃ）は図１（ａ）のＣ－Ｃ線に沿った断面図である。そして、図４は基板収納トレイを上下方向に積み重ねた状態の断面図である。
　図示されるように、基板収納トレイ１は、液晶表示パネルなどの表示パネル用の長方形状を有するガラス基板２０を収納して、ガラス基板２０の保管や持ち運びを行うためのもので、ガラス基板２０を収納する前の基板収納トレイ１単体の状態において持ち運び等する際には、そのサイズを小さくすることができるようになっている。
　基板収納トレイ１は、収納されるガラス基板２０の外形よりも大きい枠状に形成された枠部材２と、この枠部材２によって囲まれた内側の領域に配設された平板状の基板支持部材３，４とを有している。
　枠部材２は、互いに平行になるように向かい合う一対の第１枠部５，５と、この第１枠部５，５と直角になるように配された同じく互いに平行になるように向かい合う一対の第２枠部６，６とを備え、これらの各枠部５，６の両端同士が連結部材等により連結されることで、長方形状を有した枠状に形成されている。
　ガラス基板２０が載置される基板支持部材３，４は、弾力性を有する発泡樹脂等によって、所定の板厚を有した平板状の部材である。図１に示されるように、基板収納トレイ１には、第１枠部５，５の長手方向に沿って５つの基板支持部材３，３，３，・・・がそれぞれ第１枠部５，５間を橋渡しするように配設されている。また、第２枠部６，６のそれぞれの内側に、２つ基板支持部材４，４が配設されている。
　図１（ａ）のＢ－Ｂ線に沿った断面図である図３（ｂ）に示されるように、基板支持部材３の端部には、第１枠部５の内側の側面に係合される枠係合部３ａが設けられている。この枠係合部３ａは、上面および下面がそれぞれ水平になった一定の厚みを有している。
　また、枠係合部３ａの上面には、上方に突出した凸部３ｂが設けられている。そして、凸部３ｂに対して枠係合部３ａとは反対側の内側部分が、枠係合部３ａの上面よりやや上方であって凸部３ｂの上面よりも下方に位置する水平な基板載置面３ｃとなっており、この基板載置面３ｃにガラス基板２０が載置されるようになっている。
　同様に、図１（ａ）のＣ－Ｃ線に沿った断面図である図３（ｃ）に示されるように、基板支持部材４の外周に沿った端部には、第２枠部６の内側の側面に係合される枠係合部４ａが設けられている。この枠係合部４ａも、上面および下面がそれぞれ水平になった一定の厚みを有している。
　また、枠係合部４ａの上面には、上方に突出した凸部４ｂが設けられている。そして、凸部４ｂに対して枠係合部４ａとは反対側の内側部分が、枠係合部４ａの上面よりやや上方であって凸部４ｂの上面よりも下方に位置する水平な基板載置面４ｃとなっており、この基板載置面４ｃにガラス基板２０の端部が載置されるようになっている。
　図３（ｂ）および図３（ｃ）に示されるように、第１枠部５，５および第２枠部６，６は、それぞれ同様に断面が略角筒状の中空形状を有しており、例えばアルミニウム材料から成形されている。
　第１枠部５と第２枠部６の上面および下面は、上述した基板支持部材３，４の基板載置面３ｃ，４ｃおよびその下面よりもそれぞれ上方および下方に突出している。また、第１枠部５と第２枠部６のそれぞれの上面から外側に斜め方向に突出した斜め突出部５ａ，６ａの先端が、基板支持部材３，４の凸部３ｂ，４ｂの上面よりも上方に位置している。また、第１枠部５と第２枠部６のそれぞれの下面は、基板支持部材３，４の下面よりも下方に位置している。
　第１枠部５と第２枠部６のそれぞれの内側の側面には、基板支持部材３，４の枠係合部３ａ，４ａの上面に接する水平な帯板状の上面係合部５ｂ，６ｂが内周にわたって設けられている。同じく、第１枠部５と第２枠部６のそれぞれの内側の側面には、基板支持部材３，４の枠係合部３ａ，４ａの下面に接する水平な帯板状の下面係合部５ｃ，６ｃが設けられている。これら上面係合部５ｂ，６ｂと下面係合部５ｃ，６ｃとの間に基板支持部材３，４の枠係合部３ａ，４ａが挟み込まれて図示しないリベットやネジ止め等により係合状態で固定されている。
　また、第１枠部５と第２枠部６のそれぞれの外側の側面には、上面係合部５ｂ，６ｂとほぼ同じ高さの位置において、外側方向に突出したフランジ部５ｄ，６ｄが外周にわたって設けられている。これらフランジ部５ｄ，６ｄは、基板収納トレイ１を持ち上げて搬送する際やガラス基板２０を取り出す際に、チャッキング装置等によってチャッキングするために用いられる。
　基板収納トレイ１は、上下方向に積み重ねることができるように構成されており、各基板収納トレイ１を上下方向に積み重ねる場合には、図４に示されるように、下側に配置される基板収納トレイ１の第１枠部５および第２枠部６の上面に形成された斜め突出部５ａ，６ａの内側に、上側に配置される基板収納トレイ１の第１枠部５および第２枠部６の下面が位置決めされて載置されるようになっており、斜め突出部５ａ，６ａによって横方向へずれてしまうことが防止されている。
　このような基板収納トレイ１が備える第１枠部５，５の途中部位には、第２枠部６，６間の間隔を広げるための伸長部７，７が設けられている。この場合、第１枠部５の中空部には、図３（ａ），（ｂ）に示されるように、挿通バー８が挿通されている。この挿通バー８は、例えばアルミニウム材料からなる角材の角部を面取りしたものが用いられており、第１枠部５の中空部の内径よりもやや小さい外径を有している。
　また、第１枠部５は５つに分割されて、両側に配置された分割第１枠部５１、５１と、これらの間に配置される３つの分割第１枠部５２，５２，５２とからなり、これら３つの分割第１枠部５２，５２，５２と挿通バー８によって伸長部７が構成されている。この場合、挿通バー８は、図２（ａ）に示されるように、第１枠部５を伸長部７によって伸ばす前の状態において、その中空部に収まる長さとなっている。
　第１枠部５を伸長部７によって伸ばした場合には、図１（ｂ）および図３（ａ）に示されるように、両側の分割第１枠部５１，５１は挿通バー８の両端部に配置され、中央の３つの分割第１枠部５２，５２，５２は、挿通バー８の途中部位の長手方向に沿ってそれぞれ所定の長さで離間するように配置されている。具体的には、分割第１枠部５２，５２，５２は、挿通バー８の中央に１つ、その中央の両側の所定距離離れた位置にそれぞれ１つずつ配置されている。
　挿通バー８の外側の側面には、打痕状に凹設してそこに塗料が着色された三角形状の複数の位置決めマーク９，９，９，・・・が設けられており、これら位置決めマーク９を基準にして各分割第１枠部５１，５２の位置決めがなされるようになっている。
　各分割第１枠部５１，５２の挿通バー８への固定は、各分割第１枠部５１，５２の外側の側面に形成された螺合孔５ｅに固定ネジ１０を螺合し、その固定ネジ１０の先端を挿通バー８の外側の側面に押圧して係止させることによってなされている。
　この場合、両側に配置される分割第１枠部５１，５１の挿通バー８の両端部へのそれぞれの固定には、３つの固定ネジ１０が用いられている。また、略中央に配置される分割第１枠部５２，５２，５２の挿通バー８へのそれぞれの固定には、２つの固定ネジ１０が用いられている。
　具体的に基板収納トレイ１を図２に示される伸ばす前の状態から、図１に示される伸ばした後の状態にする手順について説明する。図１（ｂ）および図３（ａ）に示されるように、先ず、図２の状態の左側の分割第１枠部５１を挿通バー８に対して相対的に左方向へと移動させる。
　次に、挿通バー８の左端部から１番目の位置決めマーク９に、移動させた分割第１枠部５１の右端を位置決めする。そして、３つの固定ネジ１０の先端を挿通バー８の側面に押し込むように螺合させることで、挿通バー８の左端部の所定の位置に分割第１枠部５１が固定される。
　次に、図２の状態の３つの分割第１枠部５２，５２，５２のうち左側の分割第１枠部５２を同じく挿通バー８に対して相対的に左方向へと移動させる。そして、挿通バー８の左端部から２番面と３番目の位置決めマーク９，９との間に、移動させた分割第１枠部５２の両端を位置決めして、２つの固定ネジ１０の先端を挿通バー８の側面に押し込むように螺合させることで、挿通バー８の所定の位置に分割第１枠部５２が固定される。残りの分割第１枠部５１，５２，５２についても同様に行うことで、基板収納トレイ１は図２の状態から図１の状態へと伸ばされたことになる。
　尚、３つの分割第１枠部５２，５２，５２のうちの中央の分割第１枠部５２については、移動させる必要がないので、予め固定ネジ１０によって挿通バー８に固定させておくのが好ましい。
　このような挿通バー８への各分割第１枠部５１，５２の固定手段としては、図５に示されるような　挿通バー８の外側の側面から更に外側方向に進退動可能に設けられた係止部材１１が、各分割第１枠部５１，５２の外側の側面から内部に向かって貫通して開口された係止孔５ｆに係止される構成にしても良い。
　この場合、係止部材１１は、例えば弾性を有する板バネが用いられている。また、係止部材１１には、略中央位置で外側方向に湾曲した係止部１１ａが形成されている。この場合、係止部材１１の両端部は、挿通バー８の外側の側面に凹設された収容部８ａの長手方向の両端位置で固定されている。また、収容部８ａは係止部材１１の係止部１１ａが内側に撓み変形可能な深さを有している。
　具体的には、係止部材１１の係止部１１ａが各分割第１枠部５１，５２の中空部の内壁面に当接している際には、一旦内側に撓み変形して、係止部１１ａが各分割第１枠部５１，５２の係止孔５ｆに位置した際には、復帰変形して、係止部１１ａが係止孔５ｆに係止されるようになっている。
　このような構成にすることで、上述した固定ネジ１０を用いて挿通バー８への各分割第１枠部５１，５２の固定を行う場合よりも、各分割第１枠部５１，５２を挿通バー８に沿って移動させるだけで、位置決めと固定が簡便に行われるようになる。また、位置決め用の位置決めマーク９を不要とすることができる構成でもある。
　このような構成の第１枠部５，５の伸長部７，７によって、第２枠部６，６間の間隔が広げられた基板収納トレイ１には、ガラス基板２０が一枚収納可能になっている。この場合、ガラス基板２０は、電極等の形成のために種々の処理がなされる処理面２０ａが上側になるように、その裏面２０ｂが、各支持部材３，４の平坦な基板載置面３ｃ，４ｃに接触するように載置される。
　尚、第１枠部５，５の間を橋渡しするように設けられた帯板形状を有する基板支持部材３には、図３（ａ）～（ｃ）に示されるように、基板支持部材３の長手方向の反りや撓み等を防止するようにその剛性を高めるための一対の補強部材１２，１２が、基板支持部材３の長手方向に沿って設けられている。この補強部材１２は、例えばアルミニウムパイプが用いられており、基板支持部材３の下面側から埋没するように設けられている。
　また、図１に示されるように、基板収納トレイ１の第１枠部５，５の伸長によって形成される各基板支持部材３，４間の隙間は、図示しない基板支持ピンが挿通されるピン挿通孔１３として用いることができるようになっている。
　次に、上述した伸長部７のより具体的な例について、図６を用いて説明する。尚、図３（ｂ）に示したものと同一の構成については同符号を付して説明は省略し、異なる点を中心に説明する。
　図示されるように挿通バー８は、断面が略角筒状の中空形状を有しており、例えばアルミニウム材料から成形されている。この場合、挿通バー８の内側の側面の上方と、外側の側面の下方には、段差状に膨出形成された補強リブ８ｂ，８ｃが長手方向に沿って設けられている。このような補強リブ８ｂ，８ｃは、挿通バー８の長手方向の反りや撓み等に対する剛性を向上させる目的で設けられている。また、挿通バー８が内部に挿通される中空形状を有した分割第１枠部５１，５２は、挿通バー８の補強リブ８ｂ，８ｃの形状に合わせた断面形状を有しており、同様に段差状に膨出形成された補強リブ５ｇ，５ｈが設けられている。したがって、分割第１枠部５１，５２も、このような補強リブ５ｇ，５ｈによって長手方向の反りや撓み等に対する剛性が向上されている。
　また、図３（ｂ）に示した構成では、各分割第１枠部５１，５２の挿通バー８への固定は、各分割第１枠部５１，５２の外側の側面に形成された螺合孔５ｅに固定ネジ１０を螺合し、その固定ネジ１０の先端を挿通バー８の外側の側面に押圧して係止させることによってなされていたが、図６に示した構成では、挿通バー８の外側の側面に取り付けられたキャップナット１５の螺合孔１５ａに、固定ネジ１０を螺合させることで、各分割第１枠部５１，５２と挿通バー８の固定がなされている。このような構成にすることで、伸長時の各分割第１枠部５１，５２と挿通バー８の固定ネジ１０による固定をより強固にすることができる。
　以上説明した基板収納トレイ１によれば、基板収納トレイ１の枠部材２を構成する第１枠部５，５の長手方向の途中部位には、第２枠部６，６間の間隔を広げるための伸長部７，７が設けられているので、基板収納トレイ１を横方向に伸縮させてそのサイズを変更することが可能である。
　したがって、例えばガラス基板２０を収納できるように伸ばした状態の図１に示される基板収納トレイ１のサイズが、一般道路を走行するトラックやトレーラーなどの車両の荷台の最大サイズの制限を超えている場合でも、輸送する際にはそれらの荷台サイズに収まるように図２に示される状態に縮めることができるので、従来と同じ輸送コストで輸送することが可能である。
　また、枠部材２を構成する対になった第１枠部５，５と同じく対になった第２枠部６，６のうち、第２枠部６，６には伸長部を設けず、第１枠部５，５の途中部位にだけ伸長部７，７を設けた構成なので、伸長後の基板収納トレイ１にガラス基板２０を収納した状態でも反りや撓み等に対する剛性が十分に確保されている。
　この場合、第１枠部５を断面筒状に形成し、伸長部７をその伸長部７において長手方向に複数分割された各分割第１枠部５１，５２内に挿通される１本の挿通バー８に沿って伸長がなされる構成となっているので、伸長部７を簡易な構造とすることができる上に、伸ばした状態の第１枠部５の長手方向の反りや撓み等に対する剛性も十分に確保されている。
　更に、第１枠部５の伸長部７において、第１枠部５とその第１枠部５内の挿通バー８との固定が、図３（ａ）または図６に示されるように固定ネジ１０によるネジ止めによってなされる構成にすれば、固定ネジ１０を締めるだけで簡便に第１枠部５の伸ばした状態を保持することができる。
　また、このような挿通バー８への第１枠部５の固定については、挿通バー８の側面から外側方向に進退動可能に設けられた係止部材１１が、第１枠部５の側面に開口された係止孔５ｆに係止される構成にしても良く、この場合は、第１枠部を伸長部７において伸ばすだけで第１枠部の伸ばした状態を保持することができる。
　更に、基板支持部材３，４は、第１枠部５，５間を橋渡しするように設けられていることにより、第２枠部６，６と同様に基板支持部材３，４についても伸長部が設けられていないので、基板支持部材３，４を簡易な構成とすることができる上に、その剛性の低下が防止されている。
　そして、基板支持部材３の機械的強度を補強するための補強部材１２が第１枠部５，５間を橋渡しするように更に設けられているので、基板支持部材３の剛性が向上すると共に、基板支持部材３の板圧を薄くして軽量化することが可能である。
　以上、本発明に係る基板収納トレイの実施の形態について説明したが、本発明はこうした実施の形態に何ら限定されるものではなく、本発明の要旨を逸脱しない範囲において、種々なる態様で実施できることは勿論である。
　例えば、図１に示される伸ばした状態の基板収納トレイ１にガラス基板２０を収納する構成について説明したが、図２に示される縮んだ状態の基板収納トレイ１にもガラス基板２０より小さいサイズのガラス基板を収納することは可能であり、基板収納トレイ１の伸ばした状態と縮めた状態を使い分けることで、サイズの異なる複数種類のガラス基板を収納することができるようになっている。
　また、第１枠部５の途中部位に設けられた伸長部７の構成や挿通バー８への第１枠部５の固定方法についても上述した実施形態には限定されず、種々なる伸長部の構成や固定方法が適用可能である。また、第１枠部５を５分割した構成について説明したが、分割数についても上述した実施の形態には限定されない。

Claims (7)

  1. 　大型の基板が収納される基板収納トレイであって、対向する一対の第１枠部と対向する一対の第２枠部を有して枠状に形成された枠部材と、該枠部材によって囲まれた内側の領域に設けられ、前記基板の一方の面を支持する板状の基板支持部材とを備え、前記一対の第１枠部の長手方向の途中部位には、前記一対の第２枠部間の間隔を広げるための伸長部が設けられていることを特徴とする基板収納トレイ。
  2. 　前記一対の第１枠部は断面筒状に形成され、前記伸長部は、該伸長部において長手方向に複数に分割された各分割第１枠部内に挿通される１本の挿通バーに沿って伸長がなされる構成となっていることを特徴とする請求項１に記載の基板収納トレイ。
  3. 　前記伸長部において、前記各分割第１枠部と該各分割第１枠部内の前記挿通バーとが固定手段により固定されていることを特徴とする請求項２に記載の基板収納トレイ。
  4. 　前記固定手段は、前記分割第１枠部の側面と該分割第１枠部内の前記挿通バーの側面とをネジ止めにより固定する構成となっていることを特徴とする請求項３に記載の基板収納トレイ。
  5. 　前記固定手段は、前記挿通バーの側面から外側方向に進退動可能に設けられた係止部材が、前記分割第１枠部の側面に開口された係止孔に係止される構成となっていることを特徴とする請求項３に記載の基板収納トレイ。
  6. 　前記基板支持部材は、前記一対の第１枠部間を橋渡しするように設けられていることを特徴とする請求項１から５のいずれか一項に記載の基板収納トレイ。
  7. 　前記基板支持部材の機械的強度を補強するための補強部材が前記一対の第１枠部間を橋渡しするように更に設けられていることを特徴とする請求項６に記載の基板収納トレイ。
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