JP5970754B2 - 輸送用架台装置 - Google Patents
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Description
さらに、輸送コストの節減や省スペース化の要求から高密度に集積して保管することが必要であり、また輸送時における破損や割れから基板を保護することも要求される。
ちなみに、第8世代といわれるガラス基板は、2200mm×2500mmのサイズ、第9世代は、2400mm×2800mmのサイズとなっている。
輸送用架台装置100は、大型薄板ガラス基板を湾曲させて水平に多段に積層し載置できるインナーパレット10と防振パレット20とで構成される。防振パレット20の嵌合用突起部24とインナーパレット20の裏面の嵌合用枠部12(図3)とで嵌め合わせて運用する構造物である。
防振パレット20は、複数の防振素子23と上部枠体21と下部枠体22とで構成される。上部枠体21は、板厚20mmから25mmのSUS材料(Steel Use Stainless)からなる金属板を使用し、4辺の金属枠からなるフレーム枠部21(21a,21b、21c、21dからなる)を有し、フレーム枠部21aの中央位置と、フレーム枠部21bの中央位置の間に梁部材25を固着し、更に、梁部材25の両側で、梁部材25と平行に延びる梁部材26(26a、26b)を固着する。つぎに、フレーム枠部21cの中央位置と、フレーム枠部21dの中央位置の間に梁部材27を、梁部材25,26を跨ぎ組み合わせ固着している。すなわち、フレーム枠部21の補強として、梁部材25,26,27を上記のように配置している。
インナーパレット10の下部枠体12は、防振パレット20の上部枠体21から嵌合用突起部24を除いた構造となっている。嵌合用突起部24(24a、24b、24c、24d)を除いた箇所が、それぞれ嵌合用枠部13(13a,13b、13c、13d)となり、嵌合用突起部24を嵌め合わせる。尚、図面3では、嵌合用枠部13を枠形状で形成したが、嵌合用突起部24が収まる穴形状で形成してもよい。
大型薄板ガラス基板を積載した輸送用架台装置100を加振台に乗せ、試験を行った。
本発明の実施形態でもあるSUS材料で作成した物と比較するため、アルミ材料で作成した輸送用架台装置を用意し、図4のように、加振台床面50と、枠体(トレイ)に収納した大型薄板ガラス基板を積層したトレイ最上面60の振動を測定した。
加振条件:ASTMトラックレベル3(エアサス車相当)
加速度サンプリングレイト:5ms
図5は、アルミ材料で作成した輸送用架台装置の振動を測定したグラフである。
図6は、SUS材料で作成した輸送用架台装置の振動を測定したグラフである。
それぞれの図において、
(1)を付したグラフは、加振台床面50の振動を示している。
(2)を付したグラフは、トレイ最上面60の振動を示している。
図5と図6の結果から、本発明のSUS材料で作成したものは、明らかにアルミ材料で作成しものと比較し、振動をよく吸収していることがわかる。
11 上部枠体(インナーパレット部)
12 下部枠体(インナーパレット部)
13 嵌合用枠部
20 防振パレット
21 フレーム枠部21(21a、21b、21c、21d)
23 防振素子
24 嵌合用突起部(24a、24b、24c、24d)
25 梁部材
26 梁部材(26a、26b)
27 梁部材
28 嵌合用梁部材(28a、28b、28c、28d)
29 上部枠体(防振パレット部)
30 下部枠体(防振パレット部)
40 加振台
50 加振台床面
60 トレイ最上面
70 嵌合用目印
100 輸送用架台装置
Claims (3)
- 大型薄板ガラス基板を湾曲させて水平に多段に積層し載置できるインナーパレットと、該大型薄板ガラス基板を多段に積層した状態の前記インナーパレットを、輸送する用途に供する防振パレットとからなる輸送用架台装置であって、
前記防振パレットは、平面視矩形状の上部枠体と、該上部枠体の下方に離間して位置する平面視矩形状の下部枠体と、前記上部枠体と前記下部枠体は、複数の防振素子のみで当接され、前記上部枠体の上面には平面視前後の辺で一対の突起からなる嵌合用突起部とからなり、
前記上部枠体は、
平面視前後の辺の中央位置に固着され左右の辺と平行に延びる第1の梁部材、
平面視左右の辺の中央位置に固着され前後の辺と平行に延びる第2の梁部材、
および、
前記第2の梁部材の両側に、平面視左右の辺に固着され平面視前後の辺と平行に延びる、第3の梁部材と第4の梁部材を有し、
さらに、
平面視左右の辺と前記第1の梁部材の略中間位置に、平面視前後の辺のいずれかと前記第3の梁部材または第4の梁部材のいずれかに固着され左右の辺と平行に延びる嵌合用梁部材を有し、
前記防振素子が、前記上部枠体の4隅、4辺それぞれの辺の中央位置、前記第1の梁部材と前記第2の梁部材の交差部に配置されており、
前記嵌合用突起部が、前記上部枠体の平面視前後の辺と前記嵌合用梁部材で構成される角部に設けられており、
前記インナーパレットの下面には、前記防振パレットの前記嵌合用突起部と嵌め合わせる枠部からなる嵌合用枠部を設け、前記防振パレットの前記嵌合用突起部と前記インナーパレットの前記嵌合用枠部の嵌め合わせにより、前記防振パレットと前記インナーパレットの位置合わせがされることを特徴とする輸送用架台装置。 - 前記インナーパレットの前記嵌合用枠部が形成されている辺の側面、および、前記防振パレットの前記嵌合用突起部が形成されている辺の側面に、位置合わせのための印を設けたことを特徴とする請求項1に記載の輸送用架台装置。
- 前記インナーパレットと前記防振パレットの部材は、SUS(Steel Use Stainless)材料より構成されていることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の輸送用架台装置。
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