JP5708195B2 - インナーパレット - Google Patents
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Description
さらに、輸送コストの節減や省スペース化の要求から高密度に集積して保管することが必要であり、搬送時または保管時における破損や割れから基板を保護し、塵埃の混入や汚染を防止することも要求される。
本発明は、このように薄板基板を湾曲させて載置する基板保持用枠体を、多段に積み重ねてなる基板保持用枠体の積み重ね体を、荷崩れやガタツキの生じないように、安全に保管あるいは搬送するためのパレットに関するものである。
特許文献2の図9に記載されるパレットも湾曲形状面を有するが、同様にガラス基板と接触しない構造や嵌合構造が考慮されていない。
基板保持用枠体10は、平面視は矩形状の枠体であるが、斜視図(図6参照)では、前後の辺が下方(重力方向)に湾曲した枠体となっている。四辺に、フレーム状の金属枠部11(11a,11b、11c、11dからなる)を有している。図5において、薄板基板1は、金属枠部の四辺11a,11b、11c、11dから延出して設けた基板支持部13にその四周縁部がのるように載置されている。
金属枠部11の上面からは、内周下方向に傾斜して一定幅で延出して設けられている第2嵌合部13と、同じく金属枠部11の下面からは、内周下方向に傾斜して短く延出する突起片として設けられている第1嵌合部12とからなる。この第2嵌合部13の上面と第1嵌合部12の下面の嵌め合わせにより、上下の基板保持用枠体10相互間の位置合わせがなされ、多段に積み重ねを可能にしている。
上記のことから図1に示すように、湾曲した基板保持用枠体10を多段に積層し、安定に搬送および保管するには、ガラス基板を湾曲させた状態で安定に載置出来る上面が湾曲した湾曲形状保持部30が必要となる。また、積層された基板保持用枠体10と収納されたガラス基板の総重量は1.5トン以上となるため、頑丈な構造が求められる。さらに、フォークリフト等の移動搬送装置に対応できる移動搬送装置対応部40が必要となる。そのため、これらを上下に固着した2層構造からなるインナーパレット100が採用されている。
湾曲形状保持部30は、4辺を厚さ2mmから2.5mmの金属枠からなるフレーム枠部31(31a,31b、31c、31dからなる)を有している。
図2(B)は湾曲形状保持部30の右側面図である。左側面も同様になる。フレーム枠部31の右辺31bは平坦な金属枠からなり、その内部には平坦部補強柱33をフレーム枠部31bの両端と中間2箇所に等間隔に配置し補強してある。左辺31aも同様である。
嵌合用枠体20は図3に示すように、基板保持用枠体10と同様で、四辺に、フレーム状の嵌合用金属枠部21を有している。嵌合用金属枠部21から内周側下方向に傾斜して一定幅で延出して設けられたパレット側嵌合部22とからなる。
基板保持用枠体10の第2嵌合部13は、金属枠部11の上面からは内周側下方向に傾斜して一定幅で延出して設けられ、第1嵌合部12は金属枠部11の下面から内周側下方向に傾斜して短く延出する突起片として設けられている。
インナーパレット100に使用する材料には、軽量で腐食を生じない金属材料を使用できる。具体的には、純アルミニウム、ジュラルミン(アルミ、銅(3.5〜5.5%)、マグネシウム)系、アルミニウム−マンガン系等のアルミニウム合金等を使用できる。
ダミー基板50の材質には、軽量で腐食を生じない金属材料および樹脂等が使用される。変形しないように、0.5mmから1.0mm程度の厚みのもが採用される。
10 基板保持用枠体
11 金属枠部(11a,11b,11c,11d)
12 第1嵌合部
13 第2嵌合部
20 嵌合用枠体
21 嵌合用金属枠部
22 パレット側金属枠部
23 ダミー基板支持部
30 湾曲形状保持部
31 フレーム枠部(31a,31b,31c,31d)
33 平坦部補強柱
34 湾曲部補強柱
40 移動搬送装置対応部
41 フォークの抜差用開口部
50 ダミー基板
100 インナーパレット
Claims (4)
- 矩形状の薄板基板を、左右の辺が平坦であって前後の辺が下方に湾曲している平面視矩形状の金属枠部と、該金属枠部の下面から内周下方向に傾斜して設けた嵌合部とからなる基板保持用枠体に、薄板基板を水平に、且つ下方に湾曲させた状態で収納した基板保持用枠体の多段積み重ね体を、その下面で支持する用途に供するインナーパレットであって、該インナーパレットは、前記薄板基板の湾曲形状に沿うように形成されてなる湾曲形状保持部である上層と、移動搬送装置対応部である下層と、を上下に固着してなる2層構造からなり、前記湾曲形状保持部の上面には、左右の辺が平坦であって前後の辺が下方に湾曲している平面視矩形状の嵌合用金属枠部と、該嵌合用金属枠部の上面から内周下方向に傾斜して設けたパレット側嵌合部とからなる嵌合用枠体が固着されており、前記基板保持用枠体の嵌合部と前記嵌合用枠体のパレット側嵌合部との嵌め合わせにより、前記金属枠部と前記嵌合用金属枠部間の位置合わせがされることを特徴とするインナーパレット。
- 前記嵌合用枠体は、該嵌合用枠体の内周に設けてある前記パレット側嵌合部とさらにその先に延出してなるダミー基板支持部が形成されてなり、該ダミー基板支持部に前記嵌合用枠体の内周内側を覆う1枚の板状物からなるダミー基板が固定されていることを特徴とする請求項1記載のインナーパレット。
- 前記湾曲形状保持部の上面の前後の辺の湾曲形状の曲率半径は、前記基板保持用枠体の曲率半径より13%の範囲内で小さいことを特徴とする請求項1または請求項2記載のインナーパレット。
- 前記移動搬送装置対応部は、該移動搬送装置対応部の少なくとも正面および背面に、フォークリフトのフォークが抜差可能に設けられた2個一対の第1差込口が開設され、そして、前記下層パレットの左右の側面に、前記フォークリフトのフォークが抜差可能に設けられた2個一対の第2差込口が開設されていることを特徴とする請求項1から請求項3の何れか1の請求項に記載のインナーパレット。
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