JP2004186249A - 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイのそれぞれから、効率よく基板を取り出す。
【解決手段】上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイ１０のそれぞれを、水平状態で保持するトレイ保持ユニット３２が設けられており、トレイ保持ユニット３２による保持が解除された各基板収納用トレイ１０が、昇降台３３に上下方向に積み重ねた状態で載置される。昇降台３３が下降されると、昇降台３３上に上下方向に積み重ねられた状態で載置される各基板収納用トレイ１０の各開口部をそれぞれ挿通するように、複数の支持ピン３４が設けられており、それぞれの上端部によってガラス基板２０が水平状態で支持される。
【選択図】 図５
【解決手段】上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイ１０のそれぞれを、水平状態で保持するトレイ保持ユニット３２が設けられており、トレイ保持ユニット３２による保持が解除された各基板収納用トレイ１０が、昇降台３３に上下方向に積み重ねた状態で載置される。昇降台３３が下降されると、昇降台３３上に上下方向に積み重ねられた状態で載置される各基板収納用トレイ１０の各開口部をそれぞれ挿通するように、複数の支持ピン３４が設けられており、それぞれの上端部によってガラス基板２０が水平状態で支持される。
【選択図】 図５
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置等の表示パネルを形成するために使用されるディスプレイ用ガラス基板等の基板を、基板収納用トレイ内から取り出すため、および、基板収納用トレイ内に収納するために使用される基板移載装置、および、基板収納用トレイからの基板の取り出し方法、さらには、基板移載装置を使用した基板の収納方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置の表示パネルは、通常、相互に対向して配置された一対のディスプレイ用のガラス基板の間に液晶を封入することにより形成される。このような表示パネルを工場にて製造する場合には、ディスプレイ用のガラス基板が、表示パネルの製造工場に輸送される。ガラス基板を工場に輸送する場合には、通常、複数のガラス基板を収納するガラス基板収納ボックスが使用される。ガラス基板は、液晶表示装置の表示パネルに限らず、各種表示装置の表示パネルの製造にも使用されており、各種の表示パネルに使用されるガラス基板を輸送するためにも、複数のガラス基板を収納するガラス基板収納ボックスが使用される。
【０００３】
また、表示パネルを製造するために、表面に電極等が形成された状態のガラス基板の半製品を輸送する場合にも、同様のガラス基板収納ボックスが使用される。
【０００４】
近時、各種の表示パネルには、０．７ｍｍ以下の薄さのガラス基板が使用されるようになっている。また、表示パネルの大型化にともなって、製造工場に搬入されるガラス基板も大型化しており、一辺が１．３ｍ以上の長方形状のガラス基板も工場に搬入されるようになっている。
【０００５】
このような大きな面積で薄いガラス基板は撓みやすいために、ガラス基板収納ボックス内に、複数枚のガラス基板を垂直な状態で相互に適当な間隔をあけた状態で収納されていると、輸送時に各ガラス基板が撓んで隣接するガラス基板同士が接触して破損するおそれがある。このために、ガラス基板収納ボックス内には、収納される各ガラス基板が、撓むことによって相互に接触しないような間隔をあけて配置する必要がある。
【０００６】
例えば、厚さが０．７ｍｍ、一辺の長さが１．３ｍ以上のガラス基板は、その側縁部を２０〜３０ｍｍの幅寸法で垂直状態に支持すると、ガラス基板の中央部における撓みは９０ｍｍ以上になる。このために、ガラス基板収納ボックス内では、ガラス基板同士を、少なくとも１００ｍｍ以上の間隔をあけて保持する必要があり、ガラス基板収納ボックスが大型化する。
【０００７】
また、ガラス基板収納ボックスからガラス基板を取り出す場合には、例えば、特開２００１−９３９６９号公報（特許文献１）に開示されているような、一対の平板状の吸着パッドを有するガラス基板吸着ハンドが使用される。このようなガラス基板吸着ハンドを使用する場合には、各吸着パッドを隣接するガラス基板の間に挿入する必要があり、ガラス基板収納ボックスには、そのためのスペースも必要になる。平板状の各吸着パッドは、通常、厚さが２０ｍｍ程度になっており、従って、隣接するガラス基板の間には、各ガラス基板が撓んでも相互に接触しないような間隔と、さらに、吸着パッドが挿入されるための２０ｍｍ程度の間隔を設ける必要があり、このことによっても、ガラス基板収納ボックスは大型化する。
【０００８】
このように、ガラス基板収納ボックス内に収納される複数のガラス基板は、適当な間隔をあける必要があるために、所定の大きさのガラス基板収納ボックス内に収納することができるガラス基板の枚数が減少し、その結果、輸送および保管に際して、ガラス基板収納ボックスが占有するスペースに対するガラス基板の枚数が低下して、スペース効率が低下するという問題がある。
【０００９】
このような問題を解決するために、特開平１０−２８７３８２号公報（特許文献２）には、１枚のガラス基板を収納する基板用トレイカセットが開示されている。この基板用トレイカセットは、ガラス基板が載置される部分が板格子状に構成されており、また、上下方向に積み重ねることができる入り組み係合構造になっている。このような基板用トレイカセットでは、薄くて大きな１枚のガラス基板を撓むことなく収納することができるために、輸送時にガラス基板が破損することを防止することができ、しかも、上下方向に多数の基板用トレイカセットを重ね合わせて輸送および保管することによって、スペース効率を改善することができる。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−９３９６９号公報
【００１１】
【特許文献２】
特開平１０−２８７３８２号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２に開示された基板用トレイカセットでは、内部に収納されるガラス基板が、樹脂ピンによって支持されており、支持ピンによって支持されたガラス基板の下方の空間に、ガラス基板吸着ハンドの各吸着パッドが挿入されるように構成されている。このように、ガラス基板の下方に、吸着パッドが挿入される空間が設られていることにより、基板用トレイカセット全体が大型化するという問題がある。
【００１３】
また、このような基板用トレイカセットに収納されているガラス基板を吸着ハンドによって取り出すためには、上下方向に積み重ねられた状態の各基板用トレイカセットを、１つずつに分離して、収納されているガラス基板の上方に大きな空間を形成する必要がある。従って、上下方向に積み重ねられた各基板用トレイカセットから、ガラス基板をそれぞれ自動的に取り出すためには、複雑で大きな装置が必要になるという問題がある。
【００１４】
また、それぞれにガラス基板が収納された状態で上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイのそれぞれから、ガラス基板を取り出して、基板が取り出された各基板収納用トレイを、再度、上下方向に積み重ねるためには、大きな作業スペースが必要になり、また、効率よく作業することができないという問題もある。
【００１５】
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、ディスプレイ用ガラス基板等の基板がそれぞれ収納されて上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイのそれぞれから、基板を、効率よく取り出すことができるとともに、基板が取り出された各基板収納用トレイを効率よく上下方向に積み重ねることができる基板移載装置および基板取り出し方法を提供すること、さらには、基板移載装置を使用して効率よく基板収納用トレイに基板を収納する方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板移載装置は、基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、搬入される基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンを有し、各支持ピンが、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイを上下方向に挿通する長さを有することを特徴とする。
【００１７】
前記基板収納用トレイが載置されて昇降する昇降台をさらに有し、前記複数の支持ピンは、該昇降台の下降に伴って、該昇降台上に上下方向に積み重ねられた状態に載置された各基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通する。
【００１８】
また、本発明の基板移載装置は、基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを、水平状態で保持するトレイ保持ユニットと、該トレイ保持ユニットによって保持が解除された最下部の基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、を具備する。
【００１９】
また、本発明の基板移載装置は、基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、前記基板収納用トレイを保持するトレイ保持ユニットと、該トレイ保持ユニットによって保持が解除された複数の基板収納用トレイそれぞれの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、を具備する
さらに、本発明の基板移載装置は、基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、複数の基板収納用トレイを上下方向に積み重ねられた状態で保持するトレイ保持ユニットと、該トレイ保持ユニットによる保持が解除された各基板収納用トレイを、上下方向に積み重ねた状態で載置される昇降台と、該昇降台の下降に伴って、該昇降台上に上下方向に積み重ねられた状態で載置される各基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、を具備する。
【００２０】
前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイのそれぞれを水平状態で保持する。
前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイにおける最下部基板収納用トレイのみを水平状態で保持する。
【００２１】
前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の基板収納用トレイに対して係合可能になった係合爪部によって、基板収納用トレイを水平状態で保持する。
【００２２】
前記トレイ保持ユニットは、基板収納用トレイを摩擦力によって水平状態で保持する。
【００２３】
前記昇降台が、ボールネジ機構によって昇降される。
【００２４】
前記昇降台が、ベルト搬送機構によって昇降される。
【００２５】
本発明の基板の取り出し方法は、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイの最下部の基板収納用トレイを分離して下方に移動させる工程と、下方に移動される該基板収納用トレイの各開口部内に、それぞれが垂直状態で配置された各支持ピンを挿入して、各支持ピンによって該基板収納用トレイ内に収納された基板を持ち上げる工程と、を包含する
また、本発明の基板の取り出し方法は、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイの最下部の基板収納用トレイを分離して下方に移動させる移動工程と、下方に移動される該基板収納用トレイの各開口部内に、それぞれが垂直状態で配置された各支持ピンを挿入して、各支持ピンによって該基板収納用トレイ内に収納された基板を持ち上げる取り出し工程と、各支持ピンによって持ち上げられた基板を搬出する搬出工程と、前記移動工程、取り出し工程、搬出工程をその順番で繰り返す工程と、を包含する。
【００２６】
さらに、本発明の基板の取り出し方法は、前記基板移載装置によって、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを前記昇降台上に載置する第１工程と、該昇降台上に載置された基板収納用トレイにおける基板が収納された状態で最下部に位置する基板収納用トレイよりも上方の全ての基板収納用トレイを、前記トレイ保持ユニットによって保持する第２工程と、該昇降台を下降させて、該昇降台上に載置された基板収納用トレイの各開口部に、前記各支持ピンを挿通させ、各支持ピンによって、該昇降台上に載置された基板収納用トレイ内の基板を、該基板収納用トレイから上方に持ち上げる第３工程と、各支持ピンによって持ち上げられた基板を搬出する第４工程と、を包含する。
【００２７】
前記基板を搬出する第４工程に次いで、前記昇降台を上昇させて、該昇降台上の基板収納用トレイを、前記トレイ保持ユニットによって保持された最下部の基板収納用トレイに当接させる第５工程と、前記トレイ保持ユニットにおける全ての基板収納用トレイの保持を解除して、全ての基板収納用トレイを前記昇降台上に載置する第６工程と、該第６工程の後に、前記第２工程から第４工程の各工程を順番に実施する第７工程とをさらに含む。
【００２８】
前記全ての基板収納用トレイから基板がそれぞれ取り出されるまで、前記第５工程〜第７工程の各工程が順番に繰り返される。
【００２９】
また、本発明の基板の収納方法は、前記基板移載装置によって、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内に基板をそれぞれ収納する方法であって、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを、それぞれに基板が収納されていない状態で、下降された状態の前記昇降台上に載置して、各支持ピンが載置された全ての基板収納用トレイのそれぞの開口部を挿通した状態とする第１工程と、各支持ピン上に基板を水平状態で載置する第２工程と、該昇降台を上昇させて、前記各支持ピンによって支持された基板を、該昇降台上の最上部に載置された基板収納用トレイに収納するとともに、基板が収納された最上部の基板収納用トレイが前記トレイ保持ユニットによって保持される位置とする第３工程と、該トレイ保持ユニットによって、基板が収納された基板収納用トレイを保持する第４工程と、前記昇降台を下降させて、基板が収納された基板収納用トレイ以外の基板収納用トレイの各開口部に、前記各支持ピンをそれぞれ挿通させる第５工程と、を包含する。
【００３０】
前記基板収納トレイの全てに対して基板がそれぞれ収納されるまで、前記第１工程〜第５工程の各工程が順番に繰り返される。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【００３２】
本発明の基板移載装置は、例えば、図１〜図３に示す基板収納用トレイ１０に収納されたガラス基板２０を、その基板収納用トレイ１０から取り出すために使用される。
【００３３】
図１は、基板収納用トレイ１０の一例を示す平面図、図２は、その斜視図、図３は、図１のＡ−Ａ線における断面図である。この基板収納用トレイ１０は、液晶表示パネルに使用される長方形状のガラス基板、特に、一辺が１．３ｍ以上であって、厚さが０．７ｍｍ以下の液晶表示パネル用のガラス基板を収容して輸送するために使用される。
【００３４】
基板収納用トレイ１０は、発泡ポリエチレン樹脂等によって、薄い直方体状に一体的に成形されており、輸送するガラス基板２０が水平状態で載置される長方形状の底部１１と、底部１１の全周にわたる側縁部に上方に突出するように設けられた枠部１２とを有している。
【００３５】
底部１１は、収容されるガラス基板２０よりも一回り大きな長方形状であって、例えば、１５ｍｍ程度の厚さに形成されており、底部１１の上面にガラス基板２０が載置される。
【００３６】
底部１１の各コーナー部近傍には、正方形状の開口部１１ａがそれぞれ形成されるとともに、底部１１の各側縁に沿った各コーナー部間のそれぞれの中間位置にも開口部１１ａがそれぞれ形成されており、さらには、底部１１の中央部にも開口部１１ａが形成されている。従って、底部１１には、９個の開口部１１ａが、３行×３列のマトリクス状に設けられている。底部１１に設けられた各開口部１１ａは、底部１１上に載置されたガラス基板２０を基板収納用トレイ１０から取り出すための支持部材としての支持ピンがそれぞれ挿入されるために設けられている。
【００３７】
枠部１２は、例えば、底部１１の側縁部に３０ｍｍ程度の幅寸法で全周にわたって、底部１１の上面から５ｍｍ程度にわたって突出した状態で設けられており、底部１１上に載置されたガラス基板２０を水平方向に適当な間隔をあけた状態で、全周にわたって取り囲むようになっている。
【００３８】
枠部１２の上部には、例えば３０ｍｍ程度の幅寸法で外側に水平状態でフランジ状に突出する係合部１３が、全周にわたって設けられている。この係合部１３は、断面長方形状に構成されており、この係合部１３に、基板収納用トレイ１０を所定位置に搬送する際のチャッキング用の爪部が係合するようになっている。
【００３９】
係合部１３の上面は、枠部１２の上面よりも外側の上方において、水平な状態になっている。従って、係合部１３の上面と、枠部１２の上面との間に、枠部１２よりも外側に垂直な段差が形成されており、その段差によって位置決め部１４が、全周にわたって形成されている。
【００４０】
このような構成の基板収納用トレイ１０は、例えば、厚さが０．７ｍｍ以下の液晶パネル用のガラス基板２０が、開口部１１ａが設けられた底部１１の上面に載置された状態で収納される。この場合、液晶パネル用のガラス基板２０は、電極等が設けられる表面とは反対側の裏面が、底部１１の上面に接触するように載置される。底部１１は、収納されるガラス基板２０よりも一回り大きくなっており、従って、ガラス基板２０は、枠部１２に対して、若干の間隙が設けられた状態で底部１１上に載置される。
【００４１】
ガラス基板２０が収納された基板収納用トレイ１０は、図４に示すように、複数が上下方向に積み重ねられた状態で輸送される。この場合、上側に積み重ねられる基板収納用トレイ１０は、下側の基板収納用トレイ１０における係合部１３上面と枠部１２上面との段差である位置決め部１４に、底部１１の下端部が係合した状態になり、上下方向に積み重ねられた各ディスプレイ用基板収納用トレイ１０同士は、水平方向に相互に位置ズレするおそれがない。
【００４２】
基板収納用トレイ１０は、それぞれにガラス基板２０が収納された状態で、例えば１０個程度が上下方向に積み重ねられて輸送される。これにより、輸送および保管に際してのスペース効率が著しく向上し、多量のガラス基板２０を効率よく輸送および保管することができる。
【００４３】
上側に積み重ねられた基板収納用トレイ１０は、底部１１の下端部が、下側の基板収納用トレイ１０の上端部に設けられた位置決め部１４に係合しており、従って、上側に積み重ねられた基板収納用トレイ１０の枠部１２の上部に設けられた係合部１３は、下側の基板収納用トレイ１０の枠部１２の上部に設けられた係合部１３とは、適当な間隔が形成される。
【００４４】
本発明の基板移載装置は、このような基板収納用トレイ１０に収納されたガラス基板２０を取り出すために使用される。図５は、本発明の基板移載装置の実施の形態の一例を示す正面図、図６は、その側面図、図７は、その平面図である。
【００４５】
この基板移載装置３０は、上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイ１０を保持するように架台３１上に設けられたトレイ保持ユニット３２と、このトレイ保持ユニット３２による保持が解除された基板収納用トレイ１０が載置されて昇降するように、架台３１の内部に昇降可能に設けられた昇降台３３と、この昇降台３３を上下方向にそれぞれ挿通するとともに、この昇降台３３上に載置された１または複数の基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａを挿通するように、架台３１の内部に垂直状態で配置された複数の支持ピン３４とを有している。
【００４６】
架台３１上のトレイ保持ユニット３２には、上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイ１０が搬入されるようになっており、トレイ保持ユニット３２は、搬入された各基板収納用トレイ１０の両側の各側縁部をそれぞれ保持するように、相互に対向して設けられた一対のトレイ側縁保持部３２ａを有している。
【００４７】
各トレイ側縁保持部３２ａは、搬入される基板収納用トレイ１０の各側縁部に沿って水平状態で配置された長板状の支持台３２ｂと、この支持台３２ｂ上に配置された３つのトレイ側縁係合部材３２ｃとをそれぞれ有している。支持台３２ｂは、架台３１の上面に設けられた一対のスライドガイド３２ｄによって、搬入された基板収納用トレイ１０に対して接近および離間するようにスライド可能になっており、架台３１の上面に設けられた油圧シリンダ３２ｅによって、搬入された基板収納用トレイ１０に対して接近および離隔するように駆動される。
【００４８】
各支持台３２ｂにそれぞれ設けられた３つのトレイ側縁係合部材３２ｃは、搬入される基板収納用トレイ１０の対向する側縁部に沿って等しい間隔をあけて配置されており、一方の支持台３２上に設けられた３つのトレイ側縁係合部材３２ｃと、他方の支持台３２上に設けられた３つのトレイ側縁係合部材３２ｃとが、それぞれ相互に対向した状態になっている。そして、各トレイ側縁保持部材３２ｃにおける基板収納用トレイ１０に対向する面には、上下方向に積み重ねられた状態の各基板収納用トレイ１０のフランジ状の係合部１３にそれぞれ係合する複数の係合爪部３２ｆが、上下方向に沿ってそれぞれ設けられている。
【００４９】
各トレイ側縁保持部３２ａの油圧シリンダ３２ｅ同士は、相互に同期して駆動されるようになっており、各支持台３２ｂは、搬入された基板収納用トレイ１０に対して、同期して相互に接近および離隔するようになっている。従って、各支持台３２ｂ上に設けられた各トレイ側縁係合部材３２ｃも一体となって、搬入された基板収納用トレイ１０に対して相互に接近および離隔し、各トレイ側縁係合部材３２ｃに設けられた各係合爪部３２ｆが、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０の係合部１３に、それぞれ係合する。このように、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０の係合部１３の両側部分に、各トレイ側縁保持部にそれぞれ配置された３つのトレイ側縁係合部材３２ｃの係合爪部３２ｆがそれぞれ係合するによって、各基板収納用トレイ１０が水平状態で保持される。
【００５０】
架台３１の内部に昇降可能に設けられた昇降台３３は、基板収納トレイ１０が載置されるように水平状態に配置されたテーブル部３３ａを有している。このテーブル部３３ａは、基板収納トレイ１０の平面形状に対応した長方形のフレーム３３ｂの内部が、例えば、縦方向に沿った一対の桟３３ｃと横方向に沿った一対の桟３３ｄとによって格子状に形成されている。そして、横方向に沿った一対の桟３３ｄが、一対の支持アーム３３ｅによってそれぞれ支持されており、各支持アーム３３ｂが、昇降ユニット３５に連結されている。
【００５１】
架台３１の内部には、昇降台３３のテーブル部３３ａに載置される基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａ内をそれぞれ挿通する９本の支持ピン３４が、それぞれ垂直状態で、各開口部１１ａにそれぞれ対応した３行×３列に配置されている。各支持ピン３４は、昇降台３３のテーブル部３３ａの内部を挿通し得るようになっており、それぞれの上端部は、トレイ保持ユニット３２にて保持される基板収納トレイ１０よりも若干下方に達している。
【００５２】
昇降台３３を昇降させる昇降ユニット３５は、昇降台３３の一対の支持アーム３３ｅを一体となって昇降させるボールネジ機構を有している。ボールネジ機構は、ボールネジにスライドブロックが係合された通常のボールネジ機構が採用されており、ボールネジの正転によって、昇降台３３は上昇し、ボールネジの逆転によって、昇降台３３は下降する。ボールネジ機構のボールネジには、駆動モータ３５ａの回転が、減速機３５ｂを介して伝達されて回転されるようになっている。
【００５３】
このような構成の基板移載装置３０の動作は、以下の通りである。まず、基板移載装置３０の昇降台３３が、昇降ユニット３５によって上昇されて、図８に示すように、昇降台３３のテーブル部３３ａが、トレイ保持ユニット３２における各トレイ側縁保持部３２ａ間の下部に位置される。この場合、各トレイ側縁保持部３２ａの支持台３２ｂは、相互に離間した状態になっており、各支持台３２ｂにそれぞれ設けられた各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃ同士が、相互に離隔した状態になっている。
【００５４】
このような状態になると、それぞれに１枚のガラス基板２０が収納された複数の基板収納トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態で、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置される。これにより、上下方向に積み重ねられた複数の基板収納トレイ１０は、各トレイ側縁保持部３２ａにおけるトレイ側縁係合部材３２ｃ間に配置される。
【００５５】
次に、図９に示すように、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された複数の基板収納用トレイ１０における最下部の基板収納用トレイ１０以外の基板収納用トレイ１０のそれぞれが、両側の各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃに設けられた係合爪部３２ｆにそれぞれ係合されるように、すなわち、上下方向に積み重ねられた基板収納用トレイ１０において、内部にガラス基板２０が収容された最下部の基板収納用トレイ１０のみが両側の各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃに設けられた係合爪部３２ｆにそれぞれ係合されないように、昇降台３３の高さが調整される。そして、このような状態に昇降台３３が調整されると、各トレイ側縁保持部３２ａに設けられた各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃ同士が相互に接近するように、架台３１上の油圧シリンダ３２ｅがそれぞれ同期して駆動される。
【００５６】
これにより、ガラス基板２０が収容されている最下部の基板収納用トレイ１０以外の全ての基板収納用トレイ１０の係合部が、各トレイ側縁保持部３２ａに設けられた各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃの対応する係合爪部３２ｆによってそれぞれ係合された状態になり、最下部の基板収納用トレイ１０以外の全ての基板収納用トレイ１０が、トレイ保持ユニット３２によって保持される。この場合、最下部の基板収納用トレイ１０は、トレイ保持ユニット３２によって保持されることなく、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された状態を維持する（図１０参照）。
【００５７】
このような状態になると、図１０に示すように、昇降ユニット３５によって、昇降台３３が下降される。これにより、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された最下部の基板収納用トレイ１０も一体となって下降する。そして、昇降台３３の下降に伴って、架台３１の内部に設けられた各支持ピン３４が、昇降台３３の格子状のテーブル部３３ａを挿通して、基板収納用トレイ１０の底部１１に設けられた各開口部１１ａ内に挿入される。
【００５８】
その後、さらに昇降台３３が下降すると、図１１に示すように、各支持ピン３４の上端部が、テーブル部３３ａ上に載置された基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａ内に収納されたガラス基板２０の裏面にそれぞれ当接し、昇降台３３の下降に伴って、そのガラス基板２０は、各支持ピン３４によって、基板収納用トレイ１０の底部１１から持ち上げられ、さらにその後の昇降台３３の下降に伴って、各支持ピン３４の上端部が、基板収納用トレイ１０の上方に突出した状態になり、各支持ピン３４は、基板収納用トレイ１０からガラス基板２０を上方に取り出して、所定の高さ位置に水平な状態で保持する。
【００５９】
このように、ガラス基板２０が各支持ピン３４にて持ち上げられた状態になるまで昇降台３３は下降され、その後に昇降台３３の下降が停止される。そして、各支持ピン３４上に水平状態で保持されたガラス基板２０が、吸着ハンド等の搬送手段によって、所定の位置にまで搬送され、各支持ピン３４上からガラス基板２０が取り除かれる。
【００６０】
ガラス基板２０の搬送手段としては、例えば、特開２００１−９３９６９号公報に開示されているような吸着ハンドが使用される。吸着ハンドは、それぞれが水平な状態で、同じ高さ位置にて相互に平行に配置された一対の吸着パッドを有している。各吸着パッドは、それぞれ、ガラス基板２０の裏面に真空吸着するように厚さが２０ｍｍ程度の平板状に構成されており、各吸着パッドが、各支持ピン３４にて水平状態に持ち上げられたガラス基板２０の下方に挿入されて、各吸着パッドが上方にスライドすることにより、各吸着パッド上にガラス基板２０が載置される。そして、ガラス基板２０が、各吸着パッドによって真空吸着されると、各吸着パッドによって、ガラス基板２０は、所定の位置にまで搬送される。
【００６１】
各支持ピン３４にと保持されたガラス基板２０が搬出されると、昇降ユニット３５によって昇降台３３が上昇され、昇降台３５のテーブル部３５ａ上に、ガラス基板２０が取り出された基板収納用トレイ１０が載置された状態になり、基板収納用トレイ１０は昇降台３３ともに上昇する。そして、図１２に示すように、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された基板収納用トレイ１０が、昇降台３３とともに上昇して、トレイ保持ユニット３１にて保持された最下部の基板収納用トレイ１０に当接した状態になり、このような状態になると、昇降台３５の上昇が停止される。
【００６２】
このような状態になると、図１３に示すように、トレイ保持ユニット３２における各トレイ側縁保持部３２ａの支持台３２ｂが、相互に離間するように、各油圧シリンダ３２ｅによって駆動される。これにより、各トレイ側縁保持部３２ａのそれぞれのトレイ側縁係合部材３２ｃと、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０の係合部１３との係合状態が解除され、昇降台３５のテーブル部３５ａ上に載置されているガラス基板２０が収納されていない最下部の基板収納用トレイ１０上に、ガラス基板２０がそれぞれ収納されて上下方向に積み重ねられた基板収納用トレイ１０が、積み重ねられた状態になる。従って、昇降台３３のテーブル部３３ａ上には、最下部以外の基板収納用トレイ１０内にガラス基板２０がそれぞれ収納された所定の個数の基板収納用トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態で載置される。
【００６３】
その後、図１４に示すように、昇降台３５が、１つの基板収納用トレイ１０に相当する分だけ下降され、ガラス基板２０が収納されていない最下部の基板収納用トレイ１０と、その上側にガラス基板２０が収納された状態で積み重ねられた１つの基板収納用トレイ１０以外の基板収納用トレイ１０、すなわち、それぞれにガラス基板２０が収納された状態で上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイ１０における最下部の基板収納用トレイ１０が、両側の各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃに設けられた係合爪部３２ｆにそれぞれ係合されるように、昇降台３３の高さが調整される。そして、昇降台３３がこのような高さに調整されると、各トレイ側縁保持部３２ａ同士が相互に接近するように、架台３１上の各油圧シリンダ３２ｅが同期して駆動される。
【００６４】
これにより、図１５に示すように、最下部の基板収納用トレイ１０と、その上側の１つの基板収納用トレイ１０以外の全ての基板収納用トレイ１０の係合部が、各トレイ側縁保持部３２ａに設けられたそれぞれ３つのトレイ側縁係合部材３２ｃの対応する係合爪部３２ｆによってそれぞれ係合された状態になり、最下部の基板収納用トレイ１０およびその上側の１つの基板収納用トレイ１０以外の基板収納用トレイ１０が、トレイ保持ユニット３２によって保持された状態になる。この場合、最下部の基板収納用トレイ１０およびその上側の１つの基板収納用トレイ１０以外の基板収納用トレイ１０は、トレイ保持ユニット３２によって保持されることなく、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置される。
【００６５】
このような状態になると、昇降ユニット３５によって、昇降台３３が下降される。これにより、昇降台３３の下降に伴って、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された２つの基板収納用トレイ１０も一体となって下降し、架台３１の内部に設けられた各支持ピン３４が、昇降台３３の格子状のテーブル部３３ａを挿通して、テーブル部３３ａ上に載置されている最下部およびその上側に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａ内を順番に挿通する。
【００６６】
その後、さらに昇降台３３が下降することによって、図１６に示すように、各支持ピン３４の上端部が、最下部の基板収納用トレイ１０上に積み重ねられた基板収納用トレイ１０内に収納されているガラス基板２０の裏面にそれぞれ当接して、そのガラス基板２０を、所定の高さ位置に持ち上げた状態に保持する。これにより、ガラス基板２０は、各支持ピン３４によって、２段に積み重ねられた基板収納用トレイ１０から上方に取り出されて、それらの基板収納用トレイ１０の上方の所定の高さ位置に水平な状態で保持する。
【００６７】
その後、昇降台３３の下降が停止されると、各支持ピン３４上に水平状態で保持されたガラス基板２０が、吸着ハンド等の搬送手段によって、所定の位置にまで搬送され、各支持ピン３４上からガラス基板２０が取り除かれる。これにより、昇降台３３のテーブル部３３ａ上には、ガラス基板２０がそれぞれ収納されていない２つの基板収納用トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態になる。
【００６８】
以後、同様の動作が繰り返されることによって、トレイ保持ユニット３２によって保持された最下部の基板収納用トレイ１０が、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置されている基板収納用トレイ１０上に順次積み重ねられられて、昇降台３３が下降することによって、その基板収納用トレイ１０内に収納されたガラス基板２０が、各支持ピン３４の上端部によって水平状態で取り出される。
【００６９】
このようにして、それぞれにガラス基板２０が収納されて上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイ１０における最下部の基板収納用トレイ１０からガラス基板２０が順番に取り出されて、取り出されたガラス基板２０が搬送されることによって、図１７に示すように、昇降台３３のテーブル部３３ａ上には、ガラス基板２０がそれぞれ収納されていない複数の基板収納用トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態で残ることになる。そして、上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイ１０が、積み重ねられた状態で、テーブル部３３ａから搬送されることになる。
【００７０】
本発明の基板移載装置は、このように、それぞれにガラス基板２０が収納されて上下方向に積み重ねられた各ガラス基板収納用トレイ１０から、ガラス基板２０を、効率よく取り出すことができる。しかも、上下方向に積み重ねられた基板収納用トレイ１０を、上下方向に分離してガラス基板２０を取り出しているために、装置全体が占有する面積を小さくすることができ、また、装置構成も簡略にすることができる。
【００７１】
さらに、本発明の基板移載装置では、このように、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０内にそれぞれ収納されたガラス基板２０を取り出す場合に限らず、ガラス基板２０が収納されない状態で上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０内に、ガラス基板２０をそれぞれ収納することもできる。
【００７２】
この場合には、前述した動作とは逆の動作が順番に実施されることになり、まず、昇降台３３のテーブル３３ａ上に、ガラス基板２０がそれぞれ収納されていない状態の複数の基板収納用トレイ１０を上下方向に積み重ねた状態で載置して、昇降台３３を下降させる（図１８参照）。なお、各基板収納用トレイ１０は、昇降台３３のテーブル部３３ａを下降させた状態で、そのテーブル部３３ａ上に、ガラス基板２０がそれぞれ収納されていない状態の複数の基板収納用トレイ１０を上下方向に積み重ねた状態で載置するようにしてもよい。
【００７３】
昇降台３３が下降された状態では、架台３１内の各基板支持ピン３４が、テーブル部３３ａ上に上下方向に積み重ねられて載置された各基板収納用トレイ１０をそれぞれ挿通した状態になり、各支持ピン３４の上端部が、最上部の基板収納用トレイ１０の上方に位置している。
【００７４】
次に、図１８に示すように、各支持ピン３４の上端部上に１枚のガラス基板２０を、例えば吸着ハンド等の基板搬送手段によって水平状態で載置する。その後、昇降台３３を上昇させると、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された最上部の基板収納用トレイ１０内に、各支持ピン３４上に載置されたガラス基板２０が収納された状態になる。最上部の基板収納用トレイ１０内にガラス基板２０が収納された後も、昇降台３３は上昇され、図１９に示すように、ガラス基板２０が収納された最上部の基板収納用トレイ１０が、トレイ保持ユニット３２における各トレイ側縁係合部３２ａに設けられた各側縁係合部材３２ｃの最下部の係合爪部３２ｆによって係合される位置とされる。
【００７５】
このような状態になると、昇降台３３の上昇が停止されて、図２０に示すように、各側縁係合部材３２ｃの最下部に位置する結合爪部３２ｆによって、ガラス基板２０が収納された最上部の基板収納用トレイ１０が保持される。
【００７６】
その後、昇降台３３が下降される。これにより、ガラス基板２０が収納されてトレイ保持ユニット３２によって保持された最上部の基板収納用トレイ１０を除いて、テーブル部３３ａ上に上下方向に積み重ねられた状態の各基板収納用トレイ１０は、昇降台３３とともに下降し、架台３１の内の各支持ピン３４が、テーブル部３３ａ上に載置された各基板収納用トレイ１０を挿通した状態になる。
【００７７】
次に、図２１に示すように、各支持ピン３４の上端部上に１枚のガラス基板２０を、例えば吸着ハンド等の基板搬送手段によって水平状態で載置した後に、昇降台３３を上昇させると、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された最上部の基板収納用トレイ１０内に、各支持ピン３４上に載置されたガラス基板２０が収納される。その後、さらに昇降台３３が上昇されると、図２２に示すように、昇降台３３上の最上部に載置されて内部にガラス基板２０が収納された基板収納用トレイ１０が、トレイ保持ユニット３２に保持されている基板収納用トレイ１０の下側に当接した状態とされ、昇降台３３の上昇が停止される。
【００７８】
このような状態になると、図２３に示すように、トレイ保持ユニット３２による基板収納用トレイ１０の保持が解除されて、その基板収納用トレイ１０が、テーブル部３３ａ上に載置された各基板収納用トレイ１０の最上部に積み重ねられた状態になる。その後、昇降台３３が、図２４に示すように、１つの基板収納用トレイ１０分だけ上昇されて、ガラス基板２０が収納されている最上部から２つ目の基板収納用トレイ１０が、各トレイ側縁係合部３２ａに設けられた各側縁係合部材３２ｃの最下部の係合爪部３２ｆによって係合される位置とされる。
【００７９】
このような状態になると、昇降台３３の上昇が停止されて、図２５に示すように、各側縁係合部材３２ｃの最下部に位置する結合爪部３２ｆによって、ガラス基板２０が収納された基板収納用トレイ１０が保持されるとともに、その上側に積み重ねられてガラス基板２０が収納された基板収納用トレイ１０も各側縁係合部材３２ｃの最下部から２つ目に位置する結合爪部３２ｆによって保持される。
【００８０】
その後、図２５に示すように、昇降台３３が下降されると、ガラス基板２０が収納されてトレイ保持ユニット３２によって保持された最上部および２つ目の基板収納用トレイ１０を除いて、テーブル部３３ａ上に上下方向に積み重ねられた状態の各基板収納用トレイ１０は、昇降台３３とともに下降されて、架台３１の内の各支持ピン３４が、テーブル部３３ａ上に載置された各基板収納用トレイ１０を挿通した状態になる。
【００８１】
以後、前述した動作と同様の動作が繰り返されることにより、内部にそれぞれガラス基板２０が収納された各基板収納用トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態で、テーブル部３３ａ上に載置される。そして、テーブル部３３ａ上にて上下方向に積み重ねられた状態の全ての基板収納用トレイ１０が一体となって搬送される。
【００８２】
このように本発明の基板移載装置では、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０のそれぞれに、効率よくガラス基板２０を収納することができ、しかも、各ガラス基板２０がそれぞれ収納された状態で、基板収納用トレイ１０が上下方向に積み重ねられることになり、基板収納用トレイ１０内へのガラス基板２０の収納作業効率を著しく向上させることができる。
【００８３】
なお、前記実施形態では、液晶表示パネル用のガラス基板２０を収納する収納用トレイについて説明したが、収納する基板はそれに限らず、他の表示パネル用のガラス基板であってもよく、また、ガラス基板に限らず、合成樹脂基板であってもよい。
【００８４】
また、前記実施形態では、昇降台３３を昇降させる昇降ユニット３５を、ボールネジ機構によって構成したが、このような構成に限らず、例えば、上下方向に配置した一対のプーリにベルトを巻き掛けたベルト搬送機構によって、昇降台３３を昇降させるようにしてもよい。
【００８５】
さらに、本発明の基板移載装置は、昇降台３３および昇降ユニット３５を設けることなく、トレイ保持ユニット３２の下方に基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａにそれぞれ対応した複数の支持ピン３４のみを設けるようにしてもよい。このような構成では、トレイ保持ユニット３２によって保持される複数の基板収納用トレイ１０における最下部の基板収納用トレイ１０のみの保持を解除して、その基板収納用トレイ１０を自重によって下方に移動させ、各支持ピン３４によって、下方に移動する基板収納用トレイ１０内に収納されたガラス基板２０を取り出すようにしてもよい。これにより、基板移載装置の構成をさらに簡略化することができる。
【００８６】
この場合には、自重によって下方に移動する基板収納用トレイ１０の速度を緩和するように構成すれば、ガラス基板２０を損傷させることなく、確実に取り出すことができる。
【００８７】
また、支持ピン３４は、複数の基板収納用トレイ１０が積み重ねられた状態で上下方向に挿通するような長さに限らず、１つの基板収納用トレイ１０のみを挿通するような長さとして、１つの基板収納用トレイ１０からガラス基板２０が取り出されることにより、基板収納用トレイ１０を搬出するようにしてもよい。この場合には、装置全体をさらに小型化することができる。
【００８８】
さらに、支持ピン３４を、複数の基板収納用トレイ１０が積み重ねられた状態で上下方向に挿通するような長さとする場合には、昇降台３３およびトレイ保持ユニット３２を設けることなく、適当な方法によって、１つの基板収納用トレイ１０を搬入するようにしてもよい。搬入された基板収納用トレイ１０は、各支持ピン３４は、搬入された基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａをそれぞれ挿通するように下降される。これにより、基板収納用トレイ１０内に収納されたガラス基板２０が各支持ピン３４によって支持され、支持されたガラス基板２０が搬出される。以後、このような工程を繰り返すことによって、基板収納用トレイ１０は、ガラス基板２０が取り出されると同時に上下方向に積み重ねられた状態とされる。
【００８９】
【発明の効果】
本発明の基板移載装置および基板の取り出し方法は、このように、それぞれに基板が収納されて上下方向に積み重ねられた基板収納用トレイのそれぞれから、基板を効率よく順番に取り出すことができる。しかも、基板がそれぞれ取り出された基板収納用トレイを、上下方向に積み重ねた状態とすることができるために、以後の基板収納用トレイの搬送作業等も効率よく実施することができる。
【００９０】
本発明の基板移載装置は、占有面積が小さく小型であり、経済性に優れている。さらに、このような基板移載装置によって、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイに対して、ガラス基板等の基板を効率よく収納することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板移載装置に使用される基板収納用トレイの一例を示す平面図である。
【図２】その基板収納用トレイの斜視図である。
【図３】その基板収納用トレイの要部の断面図である。
【図４】その基板収納用トレイを上下方向煮積み重ねた状態の要部の断面図である。
【図５】本発明の基板移載装置の実施形態の一例を示す正面図である。
【図６】その基板移載装置の側面図である。
【図７】その基板移載装置の平面図である。
【図８】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図９】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１０】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１１】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１２】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１３】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１４】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１５】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１６】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１７】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１８】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１９】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２０】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２１】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２２】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２３】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２４】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２５】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【符号の説明】
１０ 基板収納用トレイ
１１ 底部
１１ａ 開口部
１２ 枠部
１３ 係合部
２０ ガラス基板
３０ 基板移載装置
３１ 架台
３２ トレイ保持ユニット
３２ａ トレイ側縁係合部
３２ｃ トレイ側縁係合部材
３２ｄ スライドガイド
３２ｆ 係合爪部
３３ 昇降台
３３ａ テーブル部
３４ 支持ピン
３５ 昇降ユニット
【発明の属する技術分野】
本発明は、液晶表示装置等の表示パネルを形成するために使用されるディスプレイ用ガラス基板等の基板を、基板収納用トレイ内から取り出すため、および、基板収納用トレイ内に収納するために使用される基板移載装置、および、基板収納用トレイからの基板の取り出し方法、さらには、基板移載装置を使用した基板の収納方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】
液晶表示装置の表示パネルは、通常、相互に対向して配置された一対のディスプレイ用のガラス基板の間に液晶を封入することにより形成される。このような表示パネルを工場にて製造する場合には、ディスプレイ用のガラス基板が、表示パネルの製造工場に輸送される。ガラス基板を工場に輸送する場合には、通常、複数のガラス基板を収納するガラス基板収納ボックスが使用される。ガラス基板は、液晶表示装置の表示パネルに限らず、各種表示装置の表示パネルの製造にも使用されており、各種の表示パネルに使用されるガラス基板を輸送するためにも、複数のガラス基板を収納するガラス基板収納ボックスが使用される。
【０００３】
また、表示パネルを製造するために、表面に電極等が形成された状態のガラス基板の半製品を輸送する場合にも、同様のガラス基板収納ボックスが使用される。
【０００４】
近時、各種の表示パネルには、０．７ｍｍ以下の薄さのガラス基板が使用されるようになっている。また、表示パネルの大型化にともなって、製造工場に搬入されるガラス基板も大型化しており、一辺が１．３ｍ以上の長方形状のガラス基板も工場に搬入されるようになっている。
【０００５】
このような大きな面積で薄いガラス基板は撓みやすいために、ガラス基板収納ボックス内に、複数枚のガラス基板を垂直な状態で相互に適当な間隔をあけた状態で収納されていると、輸送時に各ガラス基板が撓んで隣接するガラス基板同士が接触して破損するおそれがある。このために、ガラス基板収納ボックス内には、収納される各ガラス基板が、撓むことによって相互に接触しないような間隔をあけて配置する必要がある。
【０００６】
例えば、厚さが０．７ｍｍ、一辺の長さが１．３ｍ以上のガラス基板は、その側縁部を２０〜３０ｍｍの幅寸法で垂直状態に支持すると、ガラス基板の中央部における撓みは９０ｍｍ以上になる。このために、ガラス基板収納ボックス内では、ガラス基板同士を、少なくとも１００ｍｍ以上の間隔をあけて保持する必要があり、ガラス基板収納ボックスが大型化する。
【０００７】
また、ガラス基板収納ボックスからガラス基板を取り出す場合には、例えば、特開２００１−９３９６９号公報（特許文献１）に開示されているような、一対の平板状の吸着パッドを有するガラス基板吸着ハンドが使用される。このようなガラス基板吸着ハンドを使用する場合には、各吸着パッドを隣接するガラス基板の間に挿入する必要があり、ガラス基板収納ボックスには、そのためのスペースも必要になる。平板状の各吸着パッドは、通常、厚さが２０ｍｍ程度になっており、従って、隣接するガラス基板の間には、各ガラス基板が撓んでも相互に接触しないような間隔と、さらに、吸着パッドが挿入されるための２０ｍｍ程度の間隔を設ける必要があり、このことによっても、ガラス基板収納ボックスは大型化する。
【０００８】
このように、ガラス基板収納ボックス内に収納される複数のガラス基板は、適当な間隔をあける必要があるために、所定の大きさのガラス基板収納ボックス内に収納することができるガラス基板の枚数が減少し、その結果、輸送および保管に際して、ガラス基板収納ボックスが占有するスペースに対するガラス基板の枚数が低下して、スペース効率が低下するという問題がある。
【０００９】
このような問題を解決するために、特開平１０−２８７３８２号公報（特許文献２）には、１枚のガラス基板を収納する基板用トレイカセットが開示されている。この基板用トレイカセットは、ガラス基板が載置される部分が板格子状に構成されており、また、上下方向に積み重ねることができる入り組み係合構造になっている。このような基板用トレイカセットでは、薄くて大きな１枚のガラス基板を撓むことなく収納することができるために、輸送時にガラス基板が破損することを防止することができ、しかも、上下方向に多数の基板用トレイカセットを重ね合わせて輸送および保管することによって、スペース効率を改善することができる。
【００１０】
【特許文献１】
特開２００１−９３９６９号公報
【００１１】
【特許文献２】
特開平１０−２８７３８２号公報
【００１２】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、特許文献２に開示された基板用トレイカセットでは、内部に収納されるガラス基板が、樹脂ピンによって支持されており、支持ピンによって支持されたガラス基板の下方の空間に、ガラス基板吸着ハンドの各吸着パッドが挿入されるように構成されている。このように、ガラス基板の下方に、吸着パッドが挿入される空間が設られていることにより、基板用トレイカセット全体が大型化するという問題がある。
【００１３】
また、このような基板用トレイカセットに収納されているガラス基板を吸着ハンドによって取り出すためには、上下方向に積み重ねられた状態の各基板用トレイカセットを、１つずつに分離して、収納されているガラス基板の上方に大きな空間を形成する必要がある。従って、上下方向に積み重ねられた各基板用トレイカセットから、ガラス基板をそれぞれ自動的に取り出すためには、複雑で大きな装置が必要になるという問題がある。
【００１４】
また、それぞれにガラス基板が収納された状態で上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイのそれぞれから、ガラス基板を取り出して、基板が取り出された各基板収納用トレイを、再度、上下方向に積み重ねるためには、大きな作業スペースが必要になり、また、効率よく作業することができないという問題もある。
【００１５】
本発明は、このような問題を解決するものであり、その目的は、ディスプレイ用ガラス基板等の基板がそれぞれ収納されて上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイのそれぞれから、基板を、効率よく取り出すことができるとともに、基板が取り出された各基板収納用トレイを効率よく上下方向に積み重ねることができる基板移載装置および基板取り出し方法を提供すること、さらには、基板移載装置を使用して効率よく基板収納用トレイに基板を収納する方法を提供することにある。
【００１６】
【課題を解決するための手段】
本発明の基板移載装置は、基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、搬入される基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンを有し、各支持ピンが、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイを上下方向に挿通する長さを有することを特徴とする。
【００１７】
前記基板収納用トレイが載置されて昇降する昇降台をさらに有し、前記複数の支持ピンは、該昇降台の下降に伴って、該昇降台上に上下方向に積み重ねられた状態に載置された各基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通する。
【００１８】
また、本発明の基板移載装置は、基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを、水平状態で保持するトレイ保持ユニットと、該トレイ保持ユニットによって保持が解除された最下部の基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、を具備する。
【００１９】
また、本発明の基板移載装置は、基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、前記基板収納用トレイを保持するトレイ保持ユニットと、該トレイ保持ユニットによって保持が解除された複数の基板収納用トレイそれぞれの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、を具備する
さらに、本発明の基板移載装置は、基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、複数の基板収納用トレイを上下方向に積み重ねられた状態で保持するトレイ保持ユニットと、該トレイ保持ユニットによる保持が解除された各基板収納用トレイを、上下方向に積み重ねた状態で載置される昇降台と、該昇降台の下降に伴って、該昇降台上に上下方向に積み重ねられた状態で載置される各基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、を具備する。
【００２０】
前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイのそれぞれを水平状態で保持する。
前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイにおける最下部基板収納用トレイのみを水平状態で保持する。
【００２１】
前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の基板収納用トレイに対して係合可能になった係合爪部によって、基板収納用トレイを水平状態で保持する。
【００２２】
前記トレイ保持ユニットは、基板収納用トレイを摩擦力によって水平状態で保持する。
【００２３】
前記昇降台が、ボールネジ機構によって昇降される。
【００２４】
前記昇降台が、ベルト搬送機構によって昇降される。
【００２５】
本発明の基板の取り出し方法は、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイの最下部の基板収納用トレイを分離して下方に移動させる工程と、下方に移動される該基板収納用トレイの各開口部内に、それぞれが垂直状態で配置された各支持ピンを挿入して、各支持ピンによって該基板収納用トレイ内に収納された基板を持ち上げる工程と、を包含する
また、本発明の基板の取り出し方法は、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイの最下部の基板収納用トレイを分離して下方に移動させる移動工程と、下方に移動される該基板収納用トレイの各開口部内に、それぞれが垂直状態で配置された各支持ピンを挿入して、各支持ピンによって該基板収納用トレイ内に収納された基板を持ち上げる取り出し工程と、各支持ピンによって持ち上げられた基板を搬出する搬出工程と、前記移動工程、取り出し工程、搬出工程をその順番で繰り返す工程と、を包含する。
【００２６】
さらに、本発明の基板の取り出し方法は、前記基板移載装置によって、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを前記昇降台上に載置する第１工程と、該昇降台上に載置された基板収納用トレイにおける基板が収納された状態で最下部に位置する基板収納用トレイよりも上方の全ての基板収納用トレイを、前記トレイ保持ユニットによって保持する第２工程と、該昇降台を下降させて、該昇降台上に載置された基板収納用トレイの各開口部に、前記各支持ピンを挿通させ、各支持ピンによって、該昇降台上に載置された基板収納用トレイ内の基板を、該基板収納用トレイから上方に持ち上げる第３工程と、各支持ピンによって持ち上げられた基板を搬出する第４工程と、を包含する。
【００２７】
前記基板を搬出する第４工程に次いで、前記昇降台を上昇させて、該昇降台上の基板収納用トレイを、前記トレイ保持ユニットによって保持された最下部の基板収納用トレイに当接させる第５工程と、前記トレイ保持ユニットにおける全ての基板収納用トレイの保持を解除して、全ての基板収納用トレイを前記昇降台上に載置する第６工程と、該第６工程の後に、前記第２工程から第４工程の各工程を順番に実施する第７工程とをさらに含む。
【００２８】
前記全ての基板収納用トレイから基板がそれぞれ取り出されるまで、前記第５工程〜第７工程の各工程が順番に繰り返される。
【００２９】
また、本発明の基板の収納方法は、前記基板移載装置によって、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内に基板をそれぞれ収納する方法であって、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを、それぞれに基板が収納されていない状態で、下降された状態の前記昇降台上に載置して、各支持ピンが載置された全ての基板収納用トレイのそれぞの開口部を挿通した状態とする第１工程と、各支持ピン上に基板を水平状態で載置する第２工程と、該昇降台を上昇させて、前記各支持ピンによって支持された基板を、該昇降台上の最上部に載置された基板収納用トレイに収納するとともに、基板が収納された最上部の基板収納用トレイが前記トレイ保持ユニットによって保持される位置とする第３工程と、該トレイ保持ユニットによって、基板が収納された基板収納用トレイを保持する第４工程と、前記昇降台を下降させて、基板が収納された基板収納用トレイ以外の基板収納用トレイの各開口部に、前記各支持ピンをそれぞれ挿通させる第５工程と、を包含する。
【００３０】
前記基板収納トレイの全てに対して基板がそれぞれ収納されるまで、前記第１工程〜第５工程の各工程が順番に繰り返される。
【００３１】
【発明の実施の形態】
以下、図面を参照しながら本発明の実施の形態を説明する。
【００３２】
本発明の基板移載装置は、例えば、図１〜図３に示す基板収納用トレイ１０に収納されたガラス基板２０を、その基板収納用トレイ１０から取り出すために使用される。
【００３３】
図１は、基板収納用トレイ１０の一例を示す平面図、図２は、その斜視図、図３は、図１のＡ−Ａ線における断面図である。この基板収納用トレイ１０は、液晶表示パネルに使用される長方形状のガラス基板、特に、一辺が１．３ｍ以上であって、厚さが０．７ｍｍ以下の液晶表示パネル用のガラス基板を収容して輸送するために使用される。
【００３４】
基板収納用トレイ１０は、発泡ポリエチレン樹脂等によって、薄い直方体状に一体的に成形されており、輸送するガラス基板２０が水平状態で載置される長方形状の底部１１と、底部１１の全周にわたる側縁部に上方に突出するように設けられた枠部１２とを有している。
【００３５】
底部１１は、収容されるガラス基板２０よりも一回り大きな長方形状であって、例えば、１５ｍｍ程度の厚さに形成されており、底部１１の上面にガラス基板２０が載置される。
【００３６】
底部１１の各コーナー部近傍には、正方形状の開口部１１ａがそれぞれ形成されるとともに、底部１１の各側縁に沿った各コーナー部間のそれぞれの中間位置にも開口部１１ａがそれぞれ形成されており、さらには、底部１１の中央部にも開口部１１ａが形成されている。従って、底部１１には、９個の開口部１１ａが、３行×３列のマトリクス状に設けられている。底部１１に設けられた各開口部１１ａは、底部１１上に載置されたガラス基板２０を基板収納用トレイ１０から取り出すための支持部材としての支持ピンがそれぞれ挿入されるために設けられている。
【００３７】
枠部１２は、例えば、底部１１の側縁部に３０ｍｍ程度の幅寸法で全周にわたって、底部１１の上面から５ｍｍ程度にわたって突出した状態で設けられており、底部１１上に載置されたガラス基板２０を水平方向に適当な間隔をあけた状態で、全周にわたって取り囲むようになっている。
【００３８】
枠部１２の上部には、例えば３０ｍｍ程度の幅寸法で外側に水平状態でフランジ状に突出する係合部１３が、全周にわたって設けられている。この係合部１３は、断面長方形状に構成されており、この係合部１３に、基板収納用トレイ１０を所定位置に搬送する際のチャッキング用の爪部が係合するようになっている。
【００３９】
係合部１３の上面は、枠部１２の上面よりも外側の上方において、水平な状態になっている。従って、係合部１３の上面と、枠部１２の上面との間に、枠部１２よりも外側に垂直な段差が形成されており、その段差によって位置決め部１４が、全周にわたって形成されている。
【００４０】
このような構成の基板収納用トレイ１０は、例えば、厚さが０．７ｍｍ以下の液晶パネル用のガラス基板２０が、開口部１１ａが設けられた底部１１の上面に載置された状態で収納される。この場合、液晶パネル用のガラス基板２０は、電極等が設けられる表面とは反対側の裏面が、底部１１の上面に接触するように載置される。底部１１は、収納されるガラス基板２０よりも一回り大きくなっており、従って、ガラス基板２０は、枠部１２に対して、若干の間隙が設けられた状態で底部１１上に載置される。
【００４１】
ガラス基板２０が収納された基板収納用トレイ１０は、図４に示すように、複数が上下方向に積み重ねられた状態で輸送される。この場合、上側に積み重ねられる基板収納用トレイ１０は、下側の基板収納用トレイ１０における係合部１３上面と枠部１２上面との段差である位置決め部１４に、底部１１の下端部が係合した状態になり、上下方向に積み重ねられた各ディスプレイ用基板収納用トレイ１０同士は、水平方向に相互に位置ズレするおそれがない。
【００４２】
基板収納用トレイ１０は、それぞれにガラス基板２０が収納された状態で、例えば１０個程度が上下方向に積み重ねられて輸送される。これにより、輸送および保管に際してのスペース効率が著しく向上し、多量のガラス基板２０を効率よく輸送および保管することができる。
【００４３】
上側に積み重ねられた基板収納用トレイ１０は、底部１１の下端部が、下側の基板収納用トレイ１０の上端部に設けられた位置決め部１４に係合しており、従って、上側に積み重ねられた基板収納用トレイ１０の枠部１２の上部に設けられた係合部１３は、下側の基板収納用トレイ１０の枠部１２の上部に設けられた係合部１３とは、適当な間隔が形成される。
【００４４】
本発明の基板移載装置は、このような基板収納用トレイ１０に収納されたガラス基板２０を取り出すために使用される。図５は、本発明の基板移載装置の実施の形態の一例を示す正面図、図６は、その側面図、図７は、その平面図である。
【００４５】
この基板移載装置３０は、上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイ１０を保持するように架台３１上に設けられたトレイ保持ユニット３２と、このトレイ保持ユニット３２による保持が解除された基板収納用トレイ１０が載置されて昇降するように、架台３１の内部に昇降可能に設けられた昇降台３３と、この昇降台３３を上下方向にそれぞれ挿通するとともに、この昇降台３３上に載置された１または複数の基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａを挿通するように、架台３１の内部に垂直状態で配置された複数の支持ピン３４とを有している。
【００４６】
架台３１上のトレイ保持ユニット３２には、上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイ１０が搬入されるようになっており、トレイ保持ユニット３２は、搬入された各基板収納用トレイ１０の両側の各側縁部をそれぞれ保持するように、相互に対向して設けられた一対のトレイ側縁保持部３２ａを有している。
【００４７】
各トレイ側縁保持部３２ａは、搬入される基板収納用トレイ１０の各側縁部に沿って水平状態で配置された長板状の支持台３２ｂと、この支持台３２ｂ上に配置された３つのトレイ側縁係合部材３２ｃとをそれぞれ有している。支持台３２ｂは、架台３１の上面に設けられた一対のスライドガイド３２ｄによって、搬入された基板収納用トレイ１０に対して接近および離間するようにスライド可能になっており、架台３１の上面に設けられた油圧シリンダ３２ｅによって、搬入された基板収納用トレイ１０に対して接近および離隔するように駆動される。
【００４８】
各支持台３２ｂにそれぞれ設けられた３つのトレイ側縁係合部材３２ｃは、搬入される基板収納用トレイ１０の対向する側縁部に沿って等しい間隔をあけて配置されており、一方の支持台３２上に設けられた３つのトレイ側縁係合部材３２ｃと、他方の支持台３２上に設けられた３つのトレイ側縁係合部材３２ｃとが、それぞれ相互に対向した状態になっている。そして、各トレイ側縁保持部材３２ｃにおける基板収納用トレイ１０に対向する面には、上下方向に積み重ねられた状態の各基板収納用トレイ１０のフランジ状の係合部１３にそれぞれ係合する複数の係合爪部３２ｆが、上下方向に沿ってそれぞれ設けられている。
【００４９】
各トレイ側縁保持部３２ａの油圧シリンダ３２ｅ同士は、相互に同期して駆動されるようになっており、各支持台３２ｂは、搬入された基板収納用トレイ１０に対して、同期して相互に接近および離隔するようになっている。従って、各支持台３２ｂ上に設けられた各トレイ側縁係合部材３２ｃも一体となって、搬入された基板収納用トレイ１０に対して相互に接近および離隔し、各トレイ側縁係合部材３２ｃに設けられた各係合爪部３２ｆが、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０の係合部１３に、それぞれ係合する。このように、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０の係合部１３の両側部分に、各トレイ側縁保持部にそれぞれ配置された３つのトレイ側縁係合部材３２ｃの係合爪部３２ｆがそれぞれ係合するによって、各基板収納用トレイ１０が水平状態で保持される。
【００５０】
架台３１の内部に昇降可能に設けられた昇降台３３は、基板収納トレイ１０が載置されるように水平状態に配置されたテーブル部３３ａを有している。このテーブル部３３ａは、基板収納トレイ１０の平面形状に対応した長方形のフレーム３３ｂの内部が、例えば、縦方向に沿った一対の桟３３ｃと横方向に沿った一対の桟３３ｄとによって格子状に形成されている。そして、横方向に沿った一対の桟３３ｄが、一対の支持アーム３３ｅによってそれぞれ支持されており、各支持アーム３３ｂが、昇降ユニット３５に連結されている。
【００５１】
架台３１の内部には、昇降台３３のテーブル部３３ａに載置される基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａ内をそれぞれ挿通する９本の支持ピン３４が、それぞれ垂直状態で、各開口部１１ａにそれぞれ対応した３行×３列に配置されている。各支持ピン３４は、昇降台３３のテーブル部３３ａの内部を挿通し得るようになっており、それぞれの上端部は、トレイ保持ユニット３２にて保持される基板収納トレイ１０よりも若干下方に達している。
【００５２】
昇降台３３を昇降させる昇降ユニット３５は、昇降台３３の一対の支持アーム３３ｅを一体となって昇降させるボールネジ機構を有している。ボールネジ機構は、ボールネジにスライドブロックが係合された通常のボールネジ機構が採用されており、ボールネジの正転によって、昇降台３３は上昇し、ボールネジの逆転によって、昇降台３３は下降する。ボールネジ機構のボールネジには、駆動モータ３５ａの回転が、減速機３５ｂを介して伝達されて回転されるようになっている。
【００５３】
このような構成の基板移載装置３０の動作は、以下の通りである。まず、基板移載装置３０の昇降台３３が、昇降ユニット３５によって上昇されて、図８に示すように、昇降台３３のテーブル部３３ａが、トレイ保持ユニット３２における各トレイ側縁保持部３２ａ間の下部に位置される。この場合、各トレイ側縁保持部３２ａの支持台３２ｂは、相互に離間した状態になっており、各支持台３２ｂにそれぞれ設けられた各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃ同士が、相互に離隔した状態になっている。
【００５４】
このような状態になると、それぞれに１枚のガラス基板２０が収納された複数の基板収納トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態で、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置される。これにより、上下方向に積み重ねられた複数の基板収納トレイ１０は、各トレイ側縁保持部３２ａにおけるトレイ側縁係合部材３２ｃ間に配置される。
【００５５】
次に、図９に示すように、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された複数の基板収納用トレイ１０における最下部の基板収納用トレイ１０以外の基板収納用トレイ１０のそれぞれが、両側の各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃに設けられた係合爪部３２ｆにそれぞれ係合されるように、すなわち、上下方向に積み重ねられた基板収納用トレイ１０において、内部にガラス基板２０が収容された最下部の基板収納用トレイ１０のみが両側の各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃに設けられた係合爪部３２ｆにそれぞれ係合されないように、昇降台３３の高さが調整される。そして、このような状態に昇降台３３が調整されると、各トレイ側縁保持部３２ａに設けられた各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃ同士が相互に接近するように、架台３１上の油圧シリンダ３２ｅがそれぞれ同期して駆動される。
【００５６】
これにより、ガラス基板２０が収容されている最下部の基板収納用トレイ１０以外の全ての基板収納用トレイ１０の係合部が、各トレイ側縁保持部３２ａに設けられた各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃの対応する係合爪部３２ｆによってそれぞれ係合された状態になり、最下部の基板収納用トレイ１０以外の全ての基板収納用トレイ１０が、トレイ保持ユニット３２によって保持される。この場合、最下部の基板収納用トレイ１０は、トレイ保持ユニット３２によって保持されることなく、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された状態を維持する（図１０参照）。
【００５７】
このような状態になると、図１０に示すように、昇降ユニット３５によって、昇降台３３が下降される。これにより、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された最下部の基板収納用トレイ１０も一体となって下降する。そして、昇降台３３の下降に伴って、架台３１の内部に設けられた各支持ピン３４が、昇降台３３の格子状のテーブル部３３ａを挿通して、基板収納用トレイ１０の底部１１に設けられた各開口部１１ａ内に挿入される。
【００５８】
その後、さらに昇降台３３が下降すると、図１１に示すように、各支持ピン３４の上端部が、テーブル部３３ａ上に載置された基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａ内に収納されたガラス基板２０の裏面にそれぞれ当接し、昇降台３３の下降に伴って、そのガラス基板２０は、各支持ピン３４によって、基板収納用トレイ１０の底部１１から持ち上げられ、さらにその後の昇降台３３の下降に伴って、各支持ピン３４の上端部が、基板収納用トレイ１０の上方に突出した状態になり、各支持ピン３４は、基板収納用トレイ１０からガラス基板２０を上方に取り出して、所定の高さ位置に水平な状態で保持する。
【００５９】
このように、ガラス基板２０が各支持ピン３４にて持ち上げられた状態になるまで昇降台３３は下降され、その後に昇降台３３の下降が停止される。そして、各支持ピン３４上に水平状態で保持されたガラス基板２０が、吸着ハンド等の搬送手段によって、所定の位置にまで搬送され、各支持ピン３４上からガラス基板２０が取り除かれる。
【００６０】
ガラス基板２０の搬送手段としては、例えば、特開２００１−９３９６９号公報に開示されているような吸着ハンドが使用される。吸着ハンドは、それぞれが水平な状態で、同じ高さ位置にて相互に平行に配置された一対の吸着パッドを有している。各吸着パッドは、それぞれ、ガラス基板２０の裏面に真空吸着するように厚さが２０ｍｍ程度の平板状に構成されており、各吸着パッドが、各支持ピン３４にて水平状態に持ち上げられたガラス基板２０の下方に挿入されて、各吸着パッドが上方にスライドすることにより、各吸着パッド上にガラス基板２０が載置される。そして、ガラス基板２０が、各吸着パッドによって真空吸着されると、各吸着パッドによって、ガラス基板２０は、所定の位置にまで搬送される。
【００６１】
各支持ピン３４にと保持されたガラス基板２０が搬出されると、昇降ユニット３５によって昇降台３３が上昇され、昇降台３５のテーブル部３５ａ上に、ガラス基板２０が取り出された基板収納用トレイ１０が載置された状態になり、基板収納用トレイ１０は昇降台３３ともに上昇する。そして、図１２に示すように、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された基板収納用トレイ１０が、昇降台３３とともに上昇して、トレイ保持ユニット３１にて保持された最下部の基板収納用トレイ１０に当接した状態になり、このような状態になると、昇降台３５の上昇が停止される。
【００６２】
このような状態になると、図１３に示すように、トレイ保持ユニット３２における各トレイ側縁保持部３２ａの支持台３２ｂが、相互に離間するように、各油圧シリンダ３２ｅによって駆動される。これにより、各トレイ側縁保持部３２ａのそれぞれのトレイ側縁係合部材３２ｃと、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０の係合部１３との係合状態が解除され、昇降台３５のテーブル部３５ａ上に載置されているガラス基板２０が収納されていない最下部の基板収納用トレイ１０上に、ガラス基板２０がそれぞれ収納されて上下方向に積み重ねられた基板収納用トレイ１０が、積み重ねられた状態になる。従って、昇降台３３のテーブル部３３ａ上には、最下部以外の基板収納用トレイ１０内にガラス基板２０がそれぞれ収納された所定の個数の基板収納用トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態で載置される。
【００６３】
その後、図１４に示すように、昇降台３５が、１つの基板収納用トレイ１０に相当する分だけ下降され、ガラス基板２０が収納されていない最下部の基板収納用トレイ１０と、その上側にガラス基板２０が収納された状態で積み重ねられた１つの基板収納用トレイ１０以外の基板収納用トレイ１０、すなわち、それぞれにガラス基板２０が収納された状態で上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイ１０における最下部の基板収納用トレイ１０が、両側の各３つのトレイ側縁係合部材３２ｃに設けられた係合爪部３２ｆにそれぞれ係合されるように、昇降台３３の高さが調整される。そして、昇降台３３がこのような高さに調整されると、各トレイ側縁保持部３２ａ同士が相互に接近するように、架台３１上の各油圧シリンダ３２ｅが同期して駆動される。
【００６４】
これにより、図１５に示すように、最下部の基板収納用トレイ１０と、その上側の１つの基板収納用トレイ１０以外の全ての基板収納用トレイ１０の係合部が、各トレイ側縁保持部３２ａに設けられたそれぞれ３つのトレイ側縁係合部材３２ｃの対応する係合爪部３２ｆによってそれぞれ係合された状態になり、最下部の基板収納用トレイ１０およびその上側の１つの基板収納用トレイ１０以外の基板収納用トレイ１０が、トレイ保持ユニット３２によって保持された状態になる。この場合、最下部の基板収納用トレイ１０およびその上側の１つの基板収納用トレイ１０以外の基板収納用トレイ１０は、トレイ保持ユニット３２によって保持されることなく、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置される。
【００６５】
このような状態になると、昇降ユニット３５によって、昇降台３３が下降される。これにより、昇降台３３の下降に伴って、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された２つの基板収納用トレイ１０も一体となって下降し、架台３１の内部に設けられた各支持ピン３４が、昇降台３３の格子状のテーブル部３３ａを挿通して、テーブル部３３ａ上に載置されている最下部およびその上側に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａ内を順番に挿通する。
【００６６】
その後、さらに昇降台３３が下降することによって、図１６に示すように、各支持ピン３４の上端部が、最下部の基板収納用トレイ１０上に積み重ねられた基板収納用トレイ１０内に収納されているガラス基板２０の裏面にそれぞれ当接して、そのガラス基板２０を、所定の高さ位置に持ち上げた状態に保持する。これにより、ガラス基板２０は、各支持ピン３４によって、２段に積み重ねられた基板収納用トレイ１０から上方に取り出されて、それらの基板収納用トレイ１０の上方の所定の高さ位置に水平な状態で保持する。
【００６７】
その後、昇降台３３の下降が停止されると、各支持ピン３４上に水平状態で保持されたガラス基板２０が、吸着ハンド等の搬送手段によって、所定の位置にまで搬送され、各支持ピン３４上からガラス基板２０が取り除かれる。これにより、昇降台３３のテーブル部３３ａ上には、ガラス基板２０がそれぞれ収納されていない２つの基板収納用トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態になる。
【００６８】
以後、同様の動作が繰り返されることによって、トレイ保持ユニット３２によって保持された最下部の基板収納用トレイ１０が、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置されている基板収納用トレイ１０上に順次積み重ねられられて、昇降台３３が下降することによって、その基板収納用トレイ１０内に収納されたガラス基板２０が、各支持ピン３４の上端部によって水平状態で取り出される。
【００６９】
このようにして、それぞれにガラス基板２０が収納されて上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイ１０における最下部の基板収納用トレイ１０からガラス基板２０が順番に取り出されて、取り出されたガラス基板２０が搬送されることによって、図１７に示すように、昇降台３３のテーブル部３３ａ上には、ガラス基板２０がそれぞれ収納されていない複数の基板収納用トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態で残ることになる。そして、上下方向に積み重ねられた複数の基板収納用トレイ１０が、積み重ねられた状態で、テーブル部３３ａから搬送されることになる。
【００７０】
本発明の基板移載装置は、このように、それぞれにガラス基板２０が収納されて上下方向に積み重ねられた各ガラス基板収納用トレイ１０から、ガラス基板２０を、効率よく取り出すことができる。しかも、上下方向に積み重ねられた基板収納用トレイ１０を、上下方向に分離してガラス基板２０を取り出しているために、装置全体が占有する面積を小さくすることができ、また、装置構成も簡略にすることができる。
【００７１】
さらに、本発明の基板移載装置では、このように、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０内にそれぞれ収納されたガラス基板２０を取り出す場合に限らず、ガラス基板２０が収納されない状態で上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０内に、ガラス基板２０をそれぞれ収納することもできる。
【００７２】
この場合には、前述した動作とは逆の動作が順番に実施されることになり、まず、昇降台３３のテーブル３３ａ上に、ガラス基板２０がそれぞれ収納されていない状態の複数の基板収納用トレイ１０を上下方向に積み重ねた状態で載置して、昇降台３３を下降させる（図１８参照）。なお、各基板収納用トレイ１０は、昇降台３３のテーブル部３３ａを下降させた状態で、そのテーブル部３３ａ上に、ガラス基板２０がそれぞれ収納されていない状態の複数の基板収納用トレイ１０を上下方向に積み重ねた状態で載置するようにしてもよい。
【００７３】
昇降台３３が下降された状態では、架台３１内の各基板支持ピン３４が、テーブル部３３ａ上に上下方向に積み重ねられて載置された各基板収納用トレイ１０をそれぞれ挿通した状態になり、各支持ピン３４の上端部が、最上部の基板収納用トレイ１０の上方に位置している。
【００７４】
次に、図１８に示すように、各支持ピン３４の上端部上に１枚のガラス基板２０を、例えば吸着ハンド等の基板搬送手段によって水平状態で載置する。その後、昇降台３３を上昇させると、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された最上部の基板収納用トレイ１０内に、各支持ピン３４上に載置されたガラス基板２０が収納された状態になる。最上部の基板収納用トレイ１０内にガラス基板２０が収納された後も、昇降台３３は上昇され、図１９に示すように、ガラス基板２０が収納された最上部の基板収納用トレイ１０が、トレイ保持ユニット３２における各トレイ側縁係合部３２ａに設けられた各側縁係合部材３２ｃの最下部の係合爪部３２ｆによって係合される位置とされる。
【００７５】
このような状態になると、昇降台３３の上昇が停止されて、図２０に示すように、各側縁係合部材３２ｃの最下部に位置する結合爪部３２ｆによって、ガラス基板２０が収納された最上部の基板収納用トレイ１０が保持される。
【００７６】
その後、昇降台３３が下降される。これにより、ガラス基板２０が収納されてトレイ保持ユニット３２によって保持された最上部の基板収納用トレイ１０を除いて、テーブル部３３ａ上に上下方向に積み重ねられた状態の各基板収納用トレイ１０は、昇降台３３とともに下降し、架台３１の内の各支持ピン３４が、テーブル部３３ａ上に載置された各基板収納用トレイ１０を挿通した状態になる。
【００７７】
次に、図２１に示すように、各支持ピン３４の上端部上に１枚のガラス基板２０を、例えば吸着ハンド等の基板搬送手段によって水平状態で載置した後に、昇降台３３を上昇させると、昇降台３３のテーブル部３３ａ上に載置された最上部の基板収納用トレイ１０内に、各支持ピン３４上に載置されたガラス基板２０が収納される。その後、さらに昇降台３３が上昇されると、図２２に示すように、昇降台３３上の最上部に載置されて内部にガラス基板２０が収納された基板収納用トレイ１０が、トレイ保持ユニット３２に保持されている基板収納用トレイ１０の下側に当接した状態とされ、昇降台３３の上昇が停止される。
【００７８】
このような状態になると、図２３に示すように、トレイ保持ユニット３２による基板収納用トレイ１０の保持が解除されて、その基板収納用トレイ１０が、テーブル部３３ａ上に載置された各基板収納用トレイ１０の最上部に積み重ねられた状態になる。その後、昇降台３３が、図２４に示すように、１つの基板収納用トレイ１０分だけ上昇されて、ガラス基板２０が収納されている最上部から２つ目の基板収納用トレイ１０が、各トレイ側縁係合部３２ａに設けられた各側縁係合部材３２ｃの最下部の係合爪部３２ｆによって係合される位置とされる。
【００７９】
このような状態になると、昇降台３３の上昇が停止されて、図２５に示すように、各側縁係合部材３２ｃの最下部に位置する結合爪部３２ｆによって、ガラス基板２０が収納された基板収納用トレイ１０が保持されるとともに、その上側に積み重ねられてガラス基板２０が収納された基板収納用トレイ１０も各側縁係合部材３２ｃの最下部から２つ目に位置する結合爪部３２ｆによって保持される。
【００８０】
その後、図２５に示すように、昇降台３３が下降されると、ガラス基板２０が収納されてトレイ保持ユニット３２によって保持された最上部および２つ目の基板収納用トレイ１０を除いて、テーブル部３３ａ上に上下方向に積み重ねられた状態の各基板収納用トレイ１０は、昇降台３３とともに下降されて、架台３１の内の各支持ピン３４が、テーブル部３３ａ上に載置された各基板収納用トレイ１０を挿通した状態になる。
【００８１】
以後、前述した動作と同様の動作が繰り返されることにより、内部にそれぞれガラス基板２０が収納された各基板収納用トレイ１０が、上下方向に積み重ねられた状態で、テーブル部３３ａ上に載置される。そして、テーブル部３３ａ上にて上下方向に積み重ねられた状態の全ての基板収納用トレイ１０が一体となって搬送される。
【００８２】
このように本発明の基板移載装置では、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ１０のそれぞれに、効率よくガラス基板２０を収納することができ、しかも、各ガラス基板２０がそれぞれ収納された状態で、基板収納用トレイ１０が上下方向に積み重ねられることになり、基板収納用トレイ１０内へのガラス基板２０の収納作業効率を著しく向上させることができる。
【００８３】
なお、前記実施形態では、液晶表示パネル用のガラス基板２０を収納する収納用トレイについて説明したが、収納する基板はそれに限らず、他の表示パネル用のガラス基板であってもよく、また、ガラス基板に限らず、合成樹脂基板であってもよい。
【００８４】
また、前記実施形態では、昇降台３３を昇降させる昇降ユニット３５を、ボールネジ機構によって構成したが、このような構成に限らず、例えば、上下方向に配置した一対のプーリにベルトを巻き掛けたベルト搬送機構によって、昇降台３３を昇降させるようにしてもよい。
【００８５】
さらに、本発明の基板移載装置は、昇降台３３および昇降ユニット３５を設けることなく、トレイ保持ユニット３２の下方に基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａにそれぞれ対応した複数の支持ピン３４のみを設けるようにしてもよい。このような構成では、トレイ保持ユニット３２によって保持される複数の基板収納用トレイ１０における最下部の基板収納用トレイ１０のみの保持を解除して、その基板収納用トレイ１０を自重によって下方に移動させ、各支持ピン３４によって、下方に移動する基板収納用トレイ１０内に収納されたガラス基板２０を取り出すようにしてもよい。これにより、基板移載装置の構成をさらに簡略化することができる。
【００８６】
この場合には、自重によって下方に移動する基板収納用トレイ１０の速度を緩和するように構成すれば、ガラス基板２０を損傷させることなく、確実に取り出すことができる。
【００８７】
また、支持ピン３４は、複数の基板収納用トレイ１０が積み重ねられた状態で上下方向に挿通するような長さに限らず、１つの基板収納用トレイ１０のみを挿通するような長さとして、１つの基板収納用トレイ１０からガラス基板２０が取り出されることにより、基板収納用トレイ１０を搬出するようにしてもよい。この場合には、装置全体をさらに小型化することができる。
【００８８】
さらに、支持ピン３４を、複数の基板収納用トレイ１０が積み重ねられた状態で上下方向に挿通するような長さとする場合には、昇降台３３およびトレイ保持ユニット３２を設けることなく、適当な方法によって、１つの基板収納用トレイ１０を搬入するようにしてもよい。搬入された基板収納用トレイ１０は、各支持ピン３４は、搬入された基板収納用トレイ１０の各開口部１１ａをそれぞれ挿通するように下降される。これにより、基板収納用トレイ１０内に収納されたガラス基板２０が各支持ピン３４によって支持され、支持されたガラス基板２０が搬出される。以後、このような工程を繰り返すことによって、基板収納用トレイ１０は、ガラス基板２０が取り出されると同時に上下方向に積み重ねられた状態とされる。
【００８９】
【発明の効果】
本発明の基板移載装置および基板の取り出し方法は、このように、それぞれに基板が収納されて上下方向に積み重ねられた基板収納用トレイのそれぞれから、基板を効率よく順番に取り出すことができる。しかも、基板がそれぞれ取り出された基板収納用トレイを、上下方向に積み重ねた状態とすることができるために、以後の基板収納用トレイの搬送作業等も効率よく実施することができる。
【００９０】
本発明の基板移載装置は、占有面積が小さく小型であり、経済性に優れている。さらに、このような基板移載装置によって、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイに対して、ガラス基板等の基板を効率よく収納することもできる。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の基板移載装置に使用される基板収納用トレイの一例を示す平面図である。
【図２】その基板収納用トレイの斜視図である。
【図３】その基板収納用トレイの要部の断面図である。
【図４】その基板収納用トレイを上下方向煮積み重ねた状態の要部の断面図である。
【図５】本発明の基板移載装置の実施形態の一例を示す正面図である。
【図６】その基板移載装置の側面図である。
【図７】その基板移載装置の平面図である。
【図８】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図９】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１０】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１１】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１２】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１３】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１４】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１５】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１６】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１７】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１８】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図１９】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２０】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２１】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２２】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２３】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２４】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【図２５】その基板移載装置の動作説明のための概略図である。
【符号の説明】
１０ 基板収納用トレイ
１１ 底部
１１ａ 開口部
１２ 枠部
１３ 係合部
２０ ガラス基板
３０ 基板移載装置
３１ 架台
３２ トレイ保持ユニット
３２ａ トレイ側縁係合部
３２ｃ トレイ側縁係合部材
３２ｄ スライドガイド
３２ｆ 係合爪部
３３ 昇降台
３３ａ テーブル部
３４ 支持ピン
３５ 昇降ユニット
Claims (18)
- 基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、
搬入される基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンを有し、各支持ピンが、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイを上下方向に挿通する長さを有することを特徴とする基板移載装置。 - 前記基板収納用トレイが載置されて昇降する昇降台をさらに有し、
前記複数の支持ピンは、該昇降台の下降に伴って、該昇降台上に上下方向に積み重ねられた状態に載置された各基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通する請求項１に記載の基板移載装置。 - 基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、
上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを、水平状態で保持するトレイ保持ユニットと、
該トレイ保持ユニットによって保持が解除された最下部の基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、
を具備する基板移載装置。 - 基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、
前記基板収納用トレイを保持するトレイ保持ユニットと、
該トレイ保持ユニットによって保持が解除された複数の基板収納用トレイそれぞれの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、
を具備する基板移載装置。 - 基板を水平状態で収納するとともに、収納された基板を上方に持ち上げる支持ピンが挿入されるように複数の開口部が設けられた基板収納用トレイから基板を取り出すことができる基板移載装置であって、
複数の基板収納用トレイを上下方向に積み重ねられた状態で保持するトレイ保持ユニットと、
該トレイ保持ユニットによる保持が解除された各基板収納用トレイを、上下方向に積み重ねた状態で載置される昇降台と、
該昇降台の下降に伴って、該昇降台上に上下方向に積み重ねられた状態で載置される各基板収納用トレイの各開口部をそれぞれ挿通するとともに、それぞれの上端部によって基板を水平状態で支持するように配置された複数の支持ピンと、
を具備する基板移載装置。 - 前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイのそれぞれを水平状態で保持する請求項３〜５のいずれかに記載の基板移載装置。
- 前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイにおける最下部基板収納用トレイのみを水平状態で保持する請求項３〜５のいずれかに記載の基板移載装置。
- 前記トレイ保持ユニットは、上下方向に積み重ねられた状態の基板収納用トレイに対して係合可能になった係合爪部によって、基板収納用トレイを水平状態で保持する請求項６または７に記載の基板移載装置。
- 前記トレイ保持ユニットは、基板収納用トレイを摩擦力によって水平状態で保持する請求項６または７に記載の基板移載装置。
- 前記昇降台が、ボールネジ機構によって昇降される請求項２または３に記載の基板移載装置。
- 前記昇降台が、ベルト搬送機構によって昇降される請求項２または３に記載の基板移載装置。
- 上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、
基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイの最下部の基板収納用トレイを分離して下方に移動させる工程と、
下方に移動される該基板収納用トレイの各開口部内に、それぞれが垂直状態で配置された各支持ピンを挿入して、各支持ピンによって該基板収納用トレイ内に収納された基板を持ち上げる工程と、
を包含する基板の取り出し方法。 - 上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、
基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイの最下部の基板収納用トレイを分離して下方に移動させる移動工程と、
下方に移動される該基板収納用トレイの各開口部内に、それぞれが垂直状態で配置された各支持ピンを挿入して、各支持ピンによって該基板収納用トレイ内に収納された基板を持ち上げる取り出し工程と、
各支持ピンによって持ち上げられた基板を搬出する搬出工程と、
前記移動工程、取り出し工程、搬出工程をその順番で繰り返す工程と、
を包含する基板の取り出し方法。 - 請求項５に記載された基板移載装置によって、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内にそれぞれ収納された基板を取り出す方法であって、
基板がそれぞれ収納されて、上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを前記昇降台上に載置する第１工程と、
該昇降台上に載置された基板収納用トレイにおける基板が収納された状態で最下部に位置する基板収納用トレイよりも上方の全ての基板収納用トレイを、前記トレイ保持ユニットによって保持する第２工程と、
該昇降台を下降させて、該昇降台上に載置された基板収納用トレイの各開口部に、前記各支持ピンを挿通させ、各支持ピンによって、該昇降台上に載置された基板収納用トレイ内の基板を、該基板収納用トレイから上方に持ち上げる第３工程と、
各支持ピンによって持ち上げられた基板を搬出する第４工程と、
を包含する基板の取り出し方法。 - 前記基板を搬出する第４工程に次いで、前記昇降台を上昇させて、該昇降台上の基板収納用トレイを、前記トレイ保持ユニットによって保持された最下部の基板収納用トレイに当接させる第５工程と、
前記トレイ保持ユニットにおける全ての基板収納用トレイの保持を解除して、全ての基板収納用トレイを前記昇降台上に載置する第６工程と、
該第６工程の後に、前記第２工程から第４工程の各工程を順番に実施する第７工程とをさらに含む請求項１２に記載の基板の取り出し方法。 - 前記全ての基板収納用トレイから基板がそれぞれ取り出されるまで、前記第５工程〜第７工程の各工程が順番に繰り返される請求項１５に記載の基板の取り出し方法。
- 請求項５に記載の基板移載装置によって、上下方向に積み重ねられた各基板収納用トレイ内に基板をそれぞれ収納する方法であって、
上下方向に積み重ねられた状態の複数の基板収納用トレイを、それぞれに基板が収納されていない状態で、下降された状態の前記昇降台上に載置して、各支持ピンが載置された全ての基板収納用トレイのそれぞの開口部を挿通した状態とする第１工程と、
各支持ピン上に基板を水平状態で載置する第２工程と、
該昇降台を上昇させて、前記各支持ピンによって支持された基板を、該昇降台上の最上部に載置された基板収納用トレイに収納するとともに、基板が収納された最上部の基板収納用トレイが前記トレイ保持ユニットによって保持される位置とする第３工程と、
該トレイ保持ユニットによって、基板が収納された基板収納用トレイを保持する第４工程と、
前記昇降台を下降させて、基板が収納された基板収納用トレイ以外の基板収納用トレイの各開口部に、前記各支持ピンをそれぞれ挿通させる第５工程と、
を包含する基板の収納方法。 - 前記基板収納トレイの全てに対して基板がそれぞれ収納されるまで、前記第１工程〜第５工程の各工程が順番に繰り返される請求項１７に記載の基板の収納方法。
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