CN103057945A - 一种多层基板存储装置 - Google Patents

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Abstract

本发明属于液晶产品制造领域,更具体的说,涉及一种多层基板存储装置,包括基座、支架和多个托架,所述托架上下叠放并且可沿支架上下滑动,所述多层基板存储装置还包括托架移动装置,所述托架移动装置可带动部分或全部托架上下移动。本发明所述托架可沿支架上下滑动,托架之间的间距只要能取放基板就可以,不必为机械手预留空间,所以在相同高度的空间内,可以容置更多的基板;在取放基板时,本发明特设的托架移动装置可以把全部或部分托架托起并升高,以提供空间使机械手自由出入,当取放基板完毕后,利用托架移动装置恢复托架之间的间距,以待下一次取放基板。

Description

一种多层基板存储装置
技术领域
本发明属于液晶产品制造领域,更具体的说,涉及一种多层基板存储装置。
背景技术
液晶面板生产线的制程多,生产设备种类也多,由于各设备有时会产生不良品,但前面的正常设备并不会因此停止生产,这样制程之间需要设置半成品暂存区,液晶面板生产线中的半成品主要是基板,如图1所示,为现有技术中的多层基板存储装置,包括基座、支架和托架,所述托架与支架为固定连接,相邻托架之间的距离较大,需要预留足够的空间供机械手进入取件和放件,在有限的厂房高度内存储的基板数量较少,比如在6米高的厂房,如果相邻托架之间的距离为20厘米,则最多只能放置30片基板,空间利用率很低,甚至有时在暂存区需要并列设置两个多层基板存储装置。由于相邻托架之间的距离被尽量压缩,导致机械手取放基板需要控制速度、小心翼翼,存取效率较低。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种取放片速度快、效率高、且可存储更多基板的多层基板存储装置。
本发明的技术方案为:一种多层基板存储装置,包括基座、支架和多个托架,所述托架上下叠放并且可沿支架上下滑动,所述多层基板存储装置还包括托架移动装置,所述托架移动装置可带动部分或全部托架上下移动。
优选的,所述托架移动装置包括丝杆、伺服电机和安装在丝杆上用于夹持托架的夹持结构,所述伺服电机带动丝杆旋转,所述丝杆旋转带动夹持结构沿丝杆上下移动。采用伺服电机配合丝杆,丝杆旋转平稳,提升有力,可以使托架和基板平稳上升和下降,有效防止振动对基板的不良影响。
优选的,所述夹持结构包括U形架、两个抱臂和拉杆,所述两个抱臂中部固定在U形架端部,两个抱臂的内侧端部均与拉杆连接,所述拉杆拉动时,两个抱臂抱合。
优选的,所述拉杆与一伸缩气缸或直线电机连接,所述伸缩气缸或直线电机驱动拉杆轴向移动。
优选的,所述夹持结构包括上夹持结构和下夹持结构,可以实现机械手一次取两片基板,提高取放效率。
优选的,所述伺服电机固定在基座上,所述丝杆一端固定在基座上,另一端固定在支架上。
优选的,所述支架两侧分别对应设置一组托架移动装置。两组托架移动装置同时工作,对托架产生平衡的托举力,从而有效减小托架与支架之间的滑动摩擦力。
优选的,每组托架移动装置的夹持结构都包括上夹持结构和下夹持结构。
优选的,所述支架为光轴,所述托架上设有与所述支架配合的导套,所述导套可沿支架上下滑动,可以进一步减小托架3与支架2之间的滑动摩擦力。
优选的,所述托架之间还设有调节托架间距的垫片,所述垫片套设在支架上,以适应不同的工作环境,提高托架的通用性。
本发明的有益效果为:本发明所述多层基板存储装置的托架与支架并不采用固定连接,而是采用滑动连接,即托架可沿支架上下滑动,所述托架上下叠放,托架之间的间距只要能取放基板就可以,不必为机械手预留空间,所以在相同高度的空间内,可以容置更多的基板;在取放基板时,本发明特设的托架移动装置可以把全部或部分托架托起并升高,以提供空间使机械手自由出入,此时可以把托架升得稍高一些,使机械手的移动空间更大,这样不必担心机械手会撞到附近的物体,可以调高机械手的取放速度,从而提高效率,当取放基板完毕后,利用托架移动装置恢复托架之间的间距,以待下一次取放基板。
附图说明
图1是现有技术中多层基板存储装置的结构示意图;
图2是本发明所述多层基板存储装置实施例一的结构示意图;
图3是本发明所述多层基板存储装置实施例一取放基板时的状态示意图;
图4是本发明所述多层基板存储装置实施例一中托架和夹持结构的俯视图;
图5是本发明所述多层基板存储装置实施例一的夹持结构处于夹持状态的示意图;
图6是本发明所述多层基板存储装置实施例二的结构示意图;
图7是本发明所述多层基板存储装置实施例二取放基板时的状态示意图。
其中:1、基座;2、支架;3、托架;31、导套;4、托架移动装置;41、丝杆;42、伺服电机;43、夹持结构;431、U形架;432、抱臂;433、拉杆;434、伸缩气缸;44、上夹持结构;45、下夹持结构;5、基板。
具体实施方式
本发明公开一种多层基板存储装置,作为本发明多层基板存储装置的实施例一,如图2至图5所示,包括基座1、支架2和多个托架3,所述托架3上下叠放并且可沿支架2上下滑动,所述多层基板存储装置还包括托架移动装置4,所述托架移动装置4可带动部分或全部托架3上下移动。
本发明所述多层基板存储装置的托架3与支架2并不采用固定连接,而是采用滑动连接,即托架3可沿支架2上下滑动,所述托架3上下叠放,托架3之间的间距只要能取放基板5就可以,不必为机械手预留空间,所以在相同高度的空间内,可以容置更多的基板5,比如在6米高的厂房,如果相邻托架之间的距离为25毫米,并为机械手留出30厘米的空间,则可以放置200片以上的基板,空间利用率高;在取放基板5时,本发明特设的托架移动装置4可以把全部或部分托架3托起并升高,以提供空间使机械手自由出入,此时可以把托架3升得稍高一些,使机械手的移动空间更大,这样不必担心机械手会撞到附近的物体,可以调高机械手的取放速度,从而提高效率,当取放基板5完毕后,利用托架移动装置4恢复托架3之间的间距,以待下一次取放基板。
在本实施例中,所述托架移动装置4包括丝杆41、伺服电机42和安装在丝杆41上用于夹持托架3的夹持结构43,所述伺服电机42带动丝杆41旋转,所述丝杆41旋转带动夹持结构43沿丝杆41上下移动,所述托架移动装置4采用伺服电机42配合丝杆41,丝杆41旋转平稳,提升有力,可以使托架3和基板5平稳上升和下降,有效防止振动对基板5的不良影响。
在本实施例中,所述伺服电机42固定在基座1上,所述丝杆41一端固定在基座1上,另一端固定在支架2上,所述支架2两侧分别对应设置一组托架移动装置4,两组托架移动装置4同时工作,对托架3产生平衡的托举力,从而有效减小托架3与支架2之间的滑动摩擦力,另外采用光轴来制作支架2,并在托架3上设置与所述支架配合的导套31,所述导套31和托架3可沿支架2上下滑动,可以进一步减小托架3与支架2之间的滑动摩擦力。
在本实施例中,如图4所示,所述夹持结构43包括U形架431、两个抱臂432和拉杆433,所述两个抱臂432中部固定在U形架431端部,两个抱臂432的内侧端部均与拉杆433连接,所述拉杆433拉动时,两个抱臂432抱合,所述拉杆433与一伸缩气缸434连接,所述伸缩气缸434驱动拉杆433轴向移动。当夹持结构43处于未夹持状态时,夹持结构43可以自由上下移动,不会碰到基板5和托架3;如图5所示,当夹持结构43移动到合适的高度时,伸缩气缸434动作,使夹持结构43进入夹持状态,所述两个抱臂432就会抱合支架,当丝杆带动夹持结构43上升时,就同时把托架提升,当把托架恢复至原位时,就再使伸缩气缸反向动作,使两个抱臂打开,进入待命状态,本实施例所述的夹持结构安全可靠。
本实施例中,所述伸缩气缸也可以用直线电机来替代,同样能拉动拉杆轴向移动,能取得相同的有益效果。
作为本发明多层基板存储装置的实施例二,如图6和图7所示,本实施例中仍然是有两组托架移动装置,与实施例一不同之处在于所述夹持结构包括上夹持结构44和下夹持结构45,本实施例的多层基板存储装置可以实现机械手一次取两片基板5。
首先启动伺服电机42把上夹持结构44移动到预设的高度,然后使上夹持结构44进行夹持,然后再使上夹持结构44上升,同时上夹持结构44带动部分托架上升,然后使下夹持结构45移动到预设的高度,并使下夹持结构45进行夹持,最后再使下夹持结构45上升,同时下夹持结构45也带动部分托架上升,此时多层基板存储装置就出现了两个机械手的操作空间,实现同时取二片基板,提高取放效率。
本发明中,由于基板的厚度可能不同,机械手的动作精度可能也不一致,就需要调整托架之间的间距,以适应具体的工作环境,本发明可以在托架之间设置调节托架间距的垫片,所述垫片套设在支架上,这样可以提高托架的通用性。
以上内容是结合具体的优选实施方式对本发明所作的进一步详细说明,不能认定本发明的具体实施只局限于这些说明。对于本发明所属技术领域的普通技术人员来说,在不脱离本发明构思的前提下,还可以做出若干简单推演或替换,都应当视为属于本发明的保护范围。

Claims (10)

1.一种多层基板存储装置,包括基座、支架和多个托架,其特征在于,所述托架上下叠放并且可沿支架上下滑动,所述多层基板存储装置还包括托架移动装置,所述托架移动装置可带动部分或全部托架上下移动。
2.如权利要求1所述的多层基板存储装置,其特征在于,所述托架移动装置包括丝杆、伺服电机和安装在丝杆上用于夹持托架的夹持结构,所述伺服电机带动丝杆旋转,所述丝杆旋转带动夹持结构沿丝杆上下移动。
3.如权利要求2所述的多层基板存储装置,其特征在于,所述夹持结构包括U形架、两个抱臂和拉杆,所述两个抱臂中部固定在U形架端部,两个抱臂的内侧端部均与拉杆连接,所述拉杆拉动时,两个抱臂抱合。
4.如权利要求3所述的多层基板存储装置,其特征在于,所述拉杆与一伸缩气缸或直线电机连接,所述伸缩气缸或直线电机驱动拉杆轴向移动。
5.如权利要求3所述的多层基板存储装置,其特征在于,所述夹持结构包括上夹持结构和下夹持结构。
6.如权利要求2所述的多层基板存储装置,其特征在于,所述伺服电机固定在基座上,所述丝杆一端固定在基座上,另一端固定在支架上。
7.如权利要求2所述的多层基板存储装置,其特征在于,所述支架两侧分别对应设置一组托架移动装置。
8.如权利要求7所述的多层基板存储装置,其特征在于,每组托架移动装置的夹持结构都包括上夹持结构和下夹持结构。
9.如权利要求1所述的多层基板存储装置,其特征在于,所述支架为光轴,所述托架上设有与所述支架配合的导套,所述导套可沿支架上下滑动。
10.如权利要求1所述的多层基板存储装置,其特征在于,所述托架之间还设有调节托架间距的垫片,所述垫片套设在支架上。
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Cited By (34)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103693433A (zh) * 2013-12-19 2014-04-02 京东方科技集团股份有限公司 一种基板缓存装置
CN104370119A (zh) * 2014-12-05 2015-02-25 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种抽屏装置
CN105058346A (zh) * 2015-07-28 2015-11-18 四川蓝讯宝迩电子科技有限公司 弧形焊件固定储放装置
CN105858214A (zh) * 2016-06-01 2016-08-17 武汉华星光电技术有限公司 基板存放设备
CN106737519A (zh) * 2017-01-09 2017-05-31 甘肃中水电水工机械有限公司 一种车间钢板分类存放架
CN106829474A (zh) * 2016-12-20 2017-06-13 重庆渝泰玻璃有限公司 玻璃分隔工装
CN106863251A (zh) * 2017-03-30 2017-06-20 浙江省建材集团建筑产业化有限公司 一种板件放置架
CN107243878A (zh) * 2017-07-28 2017-10-13 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板存储装置
WO2017193788A1 (zh) * 2016-05-11 2017-11-16 京东方科技集团股份有限公司 缓存装置及设有该缓存装置的涂胶显影机
CN107628443A (zh) * 2017-10-27 2018-01-26 旭东机械(昆山)有限公司 一种液晶面板的自动分等暂存装置及自动分等暂存方法
CN107686005A (zh) * 2017-09-20 2018-02-13 广东金弘达自动化科技股份有限公司 一种键帽自动扫码取料设备
CN107826155A (zh) * 2017-12-19 2018-03-23 福建志坤能源科技开发有限公司 一种活动型废弃线路板安放架
CN107826391A (zh) * 2017-12-06 2018-03-23 宣城杰爱新材料科技有限公司 一种活动型保温板安放架
CN107884964A (zh) * 2017-12-21 2018-04-06 武汉华星光电技术有限公司 具有升降功能的基板装载装置
CN108100667A (zh) * 2017-12-11 2018-06-01 合肥右传媒科技有限公司 一种电路板生产堆叠码放装置
CN108557254A (zh) * 2017-12-05 2018-09-21 安徽安缆模具有限公司 一种冰箱隔层运输架组件
CN108750366A (zh) * 2018-05-04 2018-11-06 芜湖良匠机械制造有限公司 一种用于临时存放玻璃基板的多功能可折叠机架
CN108945810A (zh) * 2018-07-26 2018-12-07 湖州圣远物流有限公司 一种新型玻璃运输箱
CN109335341A (zh) * 2018-09-28 2019-02-15 芜湖华宇彩晶科技有限公司 一种显示屏半成品转运工装及其使用方法
CN109984478A (zh) * 2019-04-04 2019-07-09 温州医科大学 一种精神病院管理用档案柜
CN110421540A (zh) * 2019-09-06 2019-11-08 昆山晟丰精密机械有限公司 一种气缸步进进给升降暂存机
WO2020024494A1 (zh) * 2018-08-03 2020-02-06 通威太阳能(安徽)有限公司 一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置
CN110860509A (zh) * 2019-11-28 2020-03-06 湖南凯通电子有限公司 一种基板清洗装置及其清洗方法
CN110980300A (zh) * 2020-03-05 2020-04-10 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 板件载具及玻璃传送系统
CN110979937A (zh) * 2019-12-16 2020-04-10 安徽超文玻璃科技有限公司 一种玻璃产品用的运输装置
CN111361995A (zh) * 2020-03-25 2020-07-03 上海精测半导体技术有限公司 一种上料装置及方法
CN111703647A (zh) * 2020-07-16 2020-09-25 华联机械集团有限公司 一种自动落盒分盒机
CN112591307A (zh) * 2020-12-07 2021-04-02 娄底市宝丰传动设备有限公司 一种用于存放运输陶瓷的存储装置
US11106143B2 (en) 2017-08-11 2021-08-31 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Mask fork for transferring mask, and corresponding mask box and mask transferring method
CN113351554A (zh) * 2021-06-03 2021-09-07 伊斯特电子科技(东台)有限公司 一种线路板清洁除尘装置
CN113562309A (zh) * 2021-09-27 2021-10-29 徐州和润电子材料有限公司 一种通讯电子产品制造用硅晶片无损存储装置
CN113693386A (zh) * 2021-08-27 2021-11-26 武汉洛洛雨科技有限公司 一种智慧库存自动存取货一体化系统及其使用方法
CN116110836A (zh) * 2023-04-13 2023-05-12 北京锐洁机器人科技有限公司 半导体单片变多片晶圆搬运执行机构、机械手及操作方法
CN116280646A (zh) * 2023-05-19 2023-06-23 苏州锐杰微科技集团有限公司 一种用于芯片封装的晶圆存储转运箱及工作方法

Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08333008A (ja) * 1995-06-12 1996-12-17 Hitachi Ltd 自動昇降機構およびそれを用いた立体保管庫
JPH0943310A (ja) * 1995-07-31 1997-02-14 Advantest Corp Ic試験装置
US6139239A (en) * 1997-03-25 2000-10-31 Asm International N.V. System for transferring wafers from cassettes to furnaces and method
JP2003188225A (ja) * 2001-12-14 2003-07-04 Mitsubishi Electric Corp ワーク昇降装置、ワーク昇降方法及び半導体製造装置、半導体装置
JP2004186249A (ja) * 2002-11-29 2004-07-02 Sharp Corp 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法
CN1750219A (zh) * 2004-09-16 2006-03-22 大日本网目版制造株式会社 基板烧成装置
CN201247360Y (zh) * 2008-09-02 2009-05-27 北京京东方光电科技有限公司 液晶面板装载卡匣
CN101584530A (zh) * 2009-06-19 2009-11-25 北京理工大学 应用于闭架书库的智能轨道车及巷道车接口结构
CN101659346A (zh) * 2009-09-03 2010-03-03 友达光电股份有限公司 基板传输系统及其基板取出方法
JP2010098048A (ja) * 2008-10-15 2010-04-30 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウェーハ移載装置及び縦型熱処理装置
CN101746587A (zh) * 2010-01-07 2010-06-23 济南汇力数控机械有限公司 自动化立体货柜
CN101989563A (zh) * 2009-08-03 2011-03-23 东京毅力科创株式会社 基板载置机构和使用该基板载置机构的基板处理装置
CN102101570A (zh) * 2009-12-16 2011-06-22 吴江市新吴纺织有限公司 坯布卷输出装置及带有该装置的储布器

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2005311038A (ja) * 2004-04-21 2005-11-04 Shinko Electric Co Ltd ガラス状板のパレットカセット及びガラス状板の搬入出装置
TWI268265B (en) * 2004-08-13 2006-12-11 Au Optronics Corp Glass substrate cassette
CN100462292C (zh) * 2006-02-06 2009-02-18 友达光电股份有限公司 移载机
KR101239825B1 (ko) * 2006-06-29 2013-03-06 엘지디스플레이 주식회사 엘씨디 글래스 적재용 카세트장치
KR20080062398A (ko) * 2006-12-29 2008-07-03 엘지디스플레이 주식회사 기판 이송용 카세트

Patent Citations (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08333008A (ja) * 1995-06-12 1996-12-17 Hitachi Ltd 自動昇降機構およびそれを用いた立体保管庫
JPH0943310A (ja) * 1995-07-31 1997-02-14 Advantest Corp Ic試験装置
US6139239A (en) * 1997-03-25 2000-10-31 Asm International N.V. System for transferring wafers from cassettes to furnaces and method
JP2003188225A (ja) * 2001-12-14 2003-07-04 Mitsubishi Electric Corp ワーク昇降装置、ワーク昇降方法及び半導体製造装置、半導体装置
JP2004186249A (ja) * 2002-11-29 2004-07-02 Sharp Corp 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法
CN1750219A (zh) * 2004-09-16 2006-03-22 大日本网目版制造株式会社 基板烧成装置
CN201247360Y (zh) * 2008-09-02 2009-05-27 北京京东方光电科技有限公司 液晶面板装载卡匣
JP2010098048A (ja) * 2008-10-15 2010-04-30 Shin Etsu Handotai Co Ltd ウェーハ移載装置及び縦型熱処理装置
CN101584530A (zh) * 2009-06-19 2009-11-25 北京理工大学 应用于闭架书库的智能轨道车及巷道车接口结构
CN101989563A (zh) * 2009-08-03 2011-03-23 东京毅力科创株式会社 基板载置机构和使用该基板载置机构的基板处理装置
CN101659346A (zh) * 2009-09-03 2010-03-03 友达光电股份有限公司 基板传输系统及其基板取出方法
CN102101570A (zh) * 2009-12-16 2011-06-22 吴江市新吴纺织有限公司 坯布卷输出装置及带有该装置的储布器
CN101746587A (zh) * 2010-01-07 2010-06-23 济南汇力数控机械有限公司 自动化立体货柜

Cited By (46)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103693433B (zh) * 2013-12-19 2015-12-02 京东方科技集团股份有限公司 一种基板缓存装置
CN103693433A (zh) * 2013-12-19 2014-04-02 京东方科技集团股份有限公司 一种基板缓存装置
CN104370119A (zh) * 2014-12-05 2015-02-25 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种抽屏装置
CN104370119B (zh) * 2014-12-05 2016-05-25 合肥鑫晟光电科技有限公司 一种抽屏装置
CN105058346A (zh) * 2015-07-28 2015-11-18 四川蓝讯宝迩电子科技有限公司 弧形焊件固定储放装置
WO2017193788A1 (zh) * 2016-05-11 2017-11-16 京东方科技集团股份有限公司 缓存装置及设有该缓存装置的涂胶显影机
US10446424B2 (en) 2016-05-11 2019-10-15 Boe Technology Group Co., Ltd. Storage device and photoresist coating and developing machine having storage device
CN105858214A (zh) * 2016-06-01 2016-08-17 武汉华星光电技术有限公司 基板存放设备
CN105858214B (zh) * 2016-06-01 2018-03-13 武汉华星光电技术有限公司 基板存放设备
CN106829474A (zh) * 2016-12-20 2017-06-13 重庆渝泰玻璃有限公司 玻璃分隔工装
CN106737519A (zh) * 2017-01-09 2017-05-31 甘肃中水电水工机械有限公司 一种车间钢板分类存放架
CN106863251A (zh) * 2017-03-30 2017-06-20 浙江省建材集团建筑产业化有限公司 一种板件放置架
CN107243878A (zh) * 2017-07-28 2017-10-13 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板存储装置
CN107243878B (zh) * 2017-07-28 2019-08-02 京东方科技集团股份有限公司 一种掩膜板存储装置
US11106143B2 (en) 2017-08-11 2021-08-31 Shanghai Micro Electronics Equipment (Group) Co., Ltd. Mask fork for transferring mask, and corresponding mask box and mask transferring method
CN107686005A (zh) * 2017-09-20 2018-02-13 广东金弘达自动化科技股份有限公司 一种键帽自动扫码取料设备
CN107686005B (zh) * 2017-09-20 2023-09-22 广东金弘达自动化科技股份有限公司 一种键帽自动扫码取料设备
CN107628443A (zh) * 2017-10-27 2018-01-26 旭东机械(昆山)有限公司 一种液晶面板的自动分等暂存装置及自动分等暂存方法
CN108557254A (zh) * 2017-12-05 2018-09-21 安徽安缆模具有限公司 一种冰箱隔层运输架组件
CN107826391A (zh) * 2017-12-06 2018-03-23 宣城杰爱新材料科技有限公司 一种活动型保温板安放架
CN108100667A (zh) * 2017-12-11 2018-06-01 合肥右传媒科技有限公司 一种电路板生产堆叠码放装置
CN107826155A (zh) * 2017-12-19 2018-03-23 福建志坤能源科技开发有限公司 一种活动型废弃线路板安放架
CN107884964A (zh) * 2017-12-21 2018-04-06 武汉华星光电技术有限公司 具有升降功能的基板装载装置
CN108750366A (zh) * 2018-05-04 2018-11-06 芜湖良匠机械制造有限公司 一种用于临时存放玻璃基板的多功能可折叠机架
CN108945810A (zh) * 2018-07-26 2018-12-07 湖州圣远物流有限公司 一种新型玻璃运输箱
WO2020024494A1 (zh) * 2018-08-03 2020-02-06 通威太阳能(安徽)有限公司 一种便于镀舟安装石墨舟陶瓷环的装置
CN109335341A (zh) * 2018-09-28 2019-02-15 芜湖华宇彩晶科技有限公司 一种显示屏半成品转运工装及其使用方法
CN109984478A (zh) * 2019-04-04 2019-07-09 温州医科大学 一种精神病院管理用档案柜
CN110421540A (zh) * 2019-09-06 2019-11-08 昆山晟丰精密机械有限公司 一种气缸步进进给升降暂存机
CN110860509A (zh) * 2019-11-28 2020-03-06 湖南凯通电子有限公司 一种基板清洗装置及其清洗方法
CN110860509B (zh) * 2019-11-28 2021-05-04 湖南凯通电子有限公司 一种基板清洗装置及其清洗方法
CN110979937A (zh) * 2019-12-16 2020-04-10 安徽超文玻璃科技有限公司 一种玻璃产品用的运输装置
CN110980300B (zh) * 2020-03-05 2020-06-02 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 板件载具及玻璃传送系统
CN110980300A (zh) * 2020-03-05 2020-04-10 蓝思智能机器人(长沙)有限公司 板件载具及玻璃传送系统
CN111361995A (zh) * 2020-03-25 2020-07-03 上海精测半导体技术有限公司 一种上料装置及方法
CN111361995B (zh) * 2020-03-25 2021-07-30 上海精测半导体技术有限公司 一种上料装置及方法
CN111703647A (zh) * 2020-07-16 2020-09-25 华联机械集团有限公司 一种自动落盒分盒机
CN112591307A (zh) * 2020-12-07 2021-04-02 娄底市宝丰传动设备有限公司 一种用于存放运输陶瓷的存储装置
CN113351554A (zh) * 2021-06-03 2021-09-07 伊斯特电子科技(东台)有限公司 一种线路板清洁除尘装置
CN113693386A (zh) * 2021-08-27 2021-11-26 武汉洛洛雨科技有限公司 一种智慧库存自动存取货一体化系统及其使用方法
CN113562309A (zh) * 2021-09-27 2021-10-29 徐州和润电子材料有限公司 一种通讯电子产品制造用硅晶片无损存储装置
CN113562309B (zh) * 2021-09-27 2021-12-14 徐州和润电子材料有限公司 一种通讯电子产品制造用硅晶片无损存储装置
CN116110836A (zh) * 2023-04-13 2023-05-12 北京锐洁机器人科技有限公司 半导体单片变多片晶圆搬运执行机构、机械手及操作方法
CN116110836B (zh) * 2023-04-13 2023-07-04 北京锐洁机器人科技有限公司 半导体单片变多片晶圆搬运执行机构、机械手及操作方法
CN116280646A (zh) * 2023-05-19 2023-06-23 苏州锐杰微科技集团有限公司 一种用于芯片封装的晶圆存储转运箱及工作方法
CN116280646B (zh) * 2023-05-19 2023-08-15 苏州锐杰微科技集团有限公司 一种用于芯片封装的晶圆存储转运箱及工作方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN103057945B (zh) 2015-07-15
WO2014023048A1 (zh) 2014-02-13

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