KR20040048338A - 기판 이송 장치, 상기 기판의 제거 방법 및 상기 기판의수납 방법 - Google Patents

기판 이송 장치, 상기 기판의 제거 방법 및 상기 기판의수납 방법 Download PDF

Info

Publication number
KR20040048338A
KR20040048338A KR1020030085602A KR20030085602A KR20040048338A KR 20040048338 A KR20040048338 A KR 20040048338A KR 1020030085602 A KR1020030085602 A KR 1020030085602A KR 20030085602 A KR20030085602 A KR 20030085602A KR 20040048338 A KR20040048338 A KR 20040048338A
Authority
KR
South Korea
Prior art keywords
substrate
tray
substrate storage
storage tray
trays
Prior art date
Application number
KR1020030085602A
Other languages
English (en)
Other versions
KR100586354B1 (ko
Inventor
요시자와타케노리
우미노시게노부
Original Assignee
샤프 가부시키가이샤
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 샤프 가부시키가이샤 filed Critical 샤프 가부시키가이샤
Publication of KR20040048338A publication Critical patent/KR20040048338A/ko
Application granted granted Critical
Publication of KR100586354B1 publication Critical patent/KR100586354B1/ko

Links

Classifications

    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/6734—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders specially adapted for supporting large square shaped substrates
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/673—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders
    • H01L21/67346—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere using specially adapted carriers or holders; Fixing the workpieces on such carriers or holders characterized by being specially adapted for supporting a single substrate or by comprising a stack of such individual supports
    • H—ELECTRICITY
    • H01—ELECTRIC ELEMENTS
    • H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/683—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping
    • H01L21/687—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches
    • H01L21/68707—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for supporting or gripping using mechanical means, e.g. chucks, clamps or pinches the wafers being placed on a robot blade, or gripped by a gripper for conveyance
    • Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10S414/00—Material or article handling
    • Y10S414/135—Associated with semiconductor wafer handling
    • Y10S414/137—Associated with semiconductor wafer handling including means for charging or discharging wafer cassette

Abstract

수평 상태로 기판을 수납하는 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위한 기판 이송 장치는, 상기 기판 수납 트레이상의 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위한 복수의 지지 핀을 포함한다. 상기 기판 수납 트레이는, 상기 복수의 지지 핀이 삽입되는 복수의 개구를 포함하고, 상기 복수의 지지 핀은, 기판을 상승시키기 위해, 상기 기판 수납 트레이에 관해 상승되고 상기 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입된다. 상기 복수의 지지 핀은 각각, 수직으로 적층되는 복수의 기판을 통해 수직으로 삽입되기에 충분한 길이를 갖는다.

Description

기판 이송 장치, 상기 기판의 제거 방법 및 상기 기판의 수납 방법{SUBSTRATE TRANSFER APPARATUS, METHOD FOR REMOVING THE SUBSTRATE, AND METHOD FOR ACCOMMODATING THE SUBSTRATE}
본 발명은 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하거나, 또는 기판 수납 트레이에 기판을 수납하거나 또는 기판을 배치시키는 기판 이송 장치, 기판 이송 장치를 사용하여 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하는 방법, 및 기판 이송 장치를 사용하여 기판 수납 트레이에 기판을 수납하는 방법에 관한 것이다. 상기 기판은 예컨대 액정 표시 장치의 표시 패널의 제조에 사용되는 것이다.
액정 표시 장치용 표시 패널은, 통상, 서로 대향되고 함께 봉입되어 있는 한 쌍의 표시 유리 기판, 및 상기 쌍의 유리 기판 사이에 봉입되어 있는 액정 재료를 포함한다. 이러한 표시 패널을 제조하기 위해, 표시 패널 제조 공장으로 유리 기판이 이송된다. 유리 기판 이송을 위해, 복수의 유리 기판을 수납하는 유리 기판 수납 박스가 통상 사용된다. 액정 표시 장치뿐만 아니라 각종 표시 장치의 표시 패널에는 유리 기판이 사용된다. 또한, 상기 타입의 유리 기판 수납 박스는 액정 표시 장치 이외의 각종 표시 장치에 사용되는 유리 기판의 이송에도 사용된다.
동일한 형태의 유리 기판 수납 박스는 반제품과 같이 그 위에 전극 등이 형성되는, 표시 패널의 제조에 사용되는 유리 기판을 이송하는데에 사용된다.
최근, 두께가 0.7mm 이하인 유리 기판이 각종 표시 패널에 널리 사용되고 있다. 유리 기판의 사이즈가 증가됨에 따라, 표시 패널 제조 공장으로 이송되는 유리 기판의 평면 면적은 증가되고 있으며, 심지어 한 변의 길이가 1.3m 이상인 유리 기판도 사용되고 있다.
이와 같이 대형이고 박형인 유리 기판은 용이하게 휘어진다. 복수의 상기 유리 기판이 간격을 두고 상기 박스에 수직으로 수납될 때, 유리 기판은 휘거나 또한 서로 접촉될 수 있으며, 이송 중에 파손될 수도 있다. 이를 방지하기 위해, 박스내의 유리 기판 사이의 거리를 적절히 지지할 필요가 있다.
예컨대, 두께가 0.7mm이고 한 변의 길이가 1.3m 이상인 유리 기판은, 그 외주를 따라 폭이 20∼30mm인 지지 부재에 의해 수직상태로 지지되면, 그 중앙부에서 90mm 이상 휘어질 수 있다. 유리 기판 수납 박스에서는, 박스 내의 유리 기판 사이의 거리를 100mm 이상 지지할 필요가 있다. 이에 의해 유리 수납 박스의 사이즈가 당연히 증가하게 된다.
유리 기판은 예컨대 일본 공개 특허 공보 제2001-93969호에 개시되어 있는 유리 기판 흡착 핸드를 사용하여 유리 기판 수납 박스로부터 제거된다. 유리 기판 흡착 핸드는 한 쌍의 평평한 흡착 패드를 갖고 있다. 각 흡착 패드는 2개의 인접한 유리 기판 사이에 삽입될 필요가 있고, 상기 흡착 패드를 삽입하기 위해서는 공간이 필요하다. 평평한 흡착 패드는 통상 약 20mm의 두께를 갖는다. 따라서, 박스 내의 유리 기판 사이의 거리는, 유리 기판이 휘어지더라도 상기 유리 기판이 서로 접촉되는 것을 방지하기에 충분한 거리 및 상기 흡착 패드를 삽입하기 위한 약 20mm의 거리의 합으로 할 필요가 있다. 이에 의해서도 유리 수납 박스의 사이즈가 당연히 증가하게 된다.
2개의 인접한 유리 기판 사이에 필요한 공간 때문에, 소정의 사이즈를 갖는 유리 기판 수납 박스내에 수납될 수 있는 유리 기판의 수는 제한된다. 이는 이송 및 보관의 공간 효율성, 즉 단위 부피당 수납될 수 있는 유리 기판의 수를 감소시킨다.
이들 문제를 해결하기 위해, 일본국 공개 특허 공보 제98-287382호에는 하나의 유리 기판을 수납하는 기판 트레이 카세트가 개시되어 있다. 상기 기판 트레이 카세트의 기판 수납부는 격자 구조를 갖고 있다. 기판 트레이 카세트는 복수의 기판 트레이 카세트가 수직으로 적층될 수 있도록 구성되어 있다. 이러한 기판 트레이 카세트는 대형이고 박형인 유리 기판을 휘어짐 없이 이송 중에 파손되지 않도록 수납시킬 수 있다. 많은 수의 기판 트레이 카세트는 이송 및 보관 시에 수직으로 적층될 수 있기 때문에, 공간 효율성을 향상시킬 수 있다.
그러나, 이 기판 트레이 카세트는 다음과 같은 문제점을 갖고 있다. 상기 수납된 유리 기판은 수지 핀에 의해 지지되고, 유리 기판 흡착 핸드의 한 쌍의 흡착 패드는 수지 핀에 의해 지지되어 있는 유리 기판 하부의 공간에 삽입된다. 흡착 패드의 이러한 공간은 기판 트레이 카세트의 사이즈를 증가시킨다.
흡착 핸드를 사용하여 기판 트레이 카세트에 수납되어 있는 유리 기판을 제거하기 위해서는, 상기 수납된 유리 기판 위에 큰 공간을 제공하기 위해 수직으로 적층된 복수의 기판 트레이 카세트를 하나씩 분리할 필요가 있다. 따라서, 수직으로 적층된 각 기판 트레이 카세트로부터 유리 기판을 자동적으로 제거하기 위해서는, 대형의 복잡한 장치가 필요하다.
수직으로 적층된 복수의 기판 트레이 카세트의 각각으로부터 유리 기판을 제거하고, 상기 기판 트레이 카세트로부터 유리 기판을 제거한 후에 수직으로 상기 기판 트레이 카세트를 적층하기 위해서는, 대형의 작업 공간이 필요하게 되어, 효율적으로 작업하기 어렵게 된다.
본 발명의 한 양태에 의하면, 수평 상태로 기판을 수납하는 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위한 기판 이송 장치가 제공된다. 상기 기판 이송 장치는, 상기 기판 수납 트레이상의 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위한 복수의 지지 핀을 포함한다, 상기 기판 수납 트레이는, 상기 복수의 지지 핀이 삽입되는 복수의 개구를 포함한다, 상기 복수의 지지 핀은, 기판을 상승시키기 위해, 상기 기판 수납 트레이에 관해 위로 이동되고 상기 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입된다. 상기 복수의 지지 핀은 각각, 수직으로 적층되는 복수의 기판 수납 트레이를 통해 수직으로 삽입되기에 충분한 길이를 갖는다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 승강가능한 테이블상에 기판 수납 트레이를 갖는 동안 상기 기판 수납 트레이를 상승 및 하강시키기 위한 승강가능한 테이블을 더 포함하고, 상기 복수의 지지 핀은, 승강가능한 테이블이 하강함에 따라 이 승강가능한 테이블상에 수직으로 적층되는 복수의 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입된다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 승강가능한 테이블은 볼 스크류 기구에 의해 상하로 이동된다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 승강가능한 테이블은 벨트 이송 기구에 의해 상하로 이동된다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 수평 상태로 기판을 수납하는 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위한 기판 이송 장치가 제공된다. 상기 기판 이송 장치는, 수평 상태로, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이 중 적어도 하나를 지지하기 위한 트레이 지지 유닛; 및 상기 기판 수납 트레이상의 트레이 지지 유닛으로부터 해제되는 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위한 복수의 지지 핀을 포함한다. 상기 기판 수납 트레이는 각각, 상기 복수의 지지 핀이 삽입되는 복수의 개구를 포함한다. 상기 복수의 지지 핀은, 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위해, 상기 기판 수납 트레이에 관해 위로 이동되고 상기 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입된다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 복수의 지지 핀은, 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위해, 상기 트레이 지지 유닛으로부터 해제된 복수의 기판 수납 트레이의 복수의 개구내로 삽입된다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 승강가능한 테이블상에 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 갖는 동안 상기 트레이 지지 유닛으로부터 해제된 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 상승 및 하강시키기 위한 승강가능한 테이블을 더 포함한다. 수직으로 적층된 상기 복수의 지지 핀이 승강가능한 테이블에 위치될 때, 상기 복수의 지지 핀이, 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위해, 상기 승강가능한 테이블이 하강함에 따라 이 승강가능한 테이블상에 위치된 복수의 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입된다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 트레이 지지 유닛은, 수평상태로 상기 복수의 기판 수납 트레이의 각각을 지지한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 트레이 지지 유닛은, 수평상태로 상기 복수의 기판 수납 트레이 중 적어도 하나를 지지하고, 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이는 기판을 수납한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 트레이 지지 유닛은, 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이와 결합되는 결합 클로우(claw)를 포함한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 트레이 지지 유닛은, 마찰력에 의해 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 지지한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 승강가능한 테이블은 볼 스크류 기구에 의해 상하로 이동한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 승강가능한 테이블은 벨트 이송 기구에 의해 상하로 이동한다.
본 발명의 다른 양태에 의하면, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법이 제공된다. 상기 방법은, (a) 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이 중, 제2의 최저 기판 수납 트레이로부터, 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이 중, 최저 기판 수납 트레이를 분리하고, 상기 최저 기판 수납 트레이를 하강시키는 단계; 및 (b) 상기 하강된 기판 수납 트레이에 형성된 복수의 개구내로 복수의 지지 핀을 삽입하여, 상기 복수의 지지 핀에 의해 하방으로 이동된 상기 하강된 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키는 단계를 포함한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 방법은, 복수의 지지 핀에 의해 상승된기판을 이송하는 단계(c)를 더 포함하고, 상기 단계(a) 내지 (c)가 반복된다.
본 발명의 또 다른 양태에 의하면, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법이 제공된다. 상기 방법은, (a) 승강가능한 테이블상에 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이를 위치시키는 단계; (b) 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이 중, 최저 기판 수납 트레이 이외의 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이 중 적어도 하나를 트레이 지지 유닛에 의해 지지하는 단계; (c) 상기 승강가능한 테이블을 하강시키고 상기 승강가능한 테이블상에 위치된 기판 수납 트레이에 형성된 복수의 개구내로 복수의 지지 핀을 삽입하여, 상기 복수의 지지 핀에 의해 상기 승강가능한 테이블상에 위치된 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키는 단계; 및 (d) 상기 복수의 지지 핀에 의해 상승된 기판을 이송하는 단계를 포함한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 단계(d) 후, (e) 상기 승강가능한 테이블을 상승시키고 상기 트레이 지지 유닛에 의해 지지된 적어도 하나의 기판 수납 트레이 중 최저 기판 수납 트레이와 상기 승강가능한 테이블상에 위치된 기판 수납 트레이를 접촉시키는 단계; (f) 상기 트레이 지지 유닛으로부터 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 해제하고 상기 승강가능한 테이블상에 상기 해제된 기판 수납 트레이를 위치시키는 단계; 및 (g) 단계(f) 후, 단계 (b) 내지 (d)를 1회 이상 행하는 단계를 포함한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, 상기 단계(e) 내지 (g)가 반복된다.
본 발명의 또 다른 양태에 의하면, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 기판을 수납하는 방법이 제공된다. 상기 방법은, (a) 상기 승강가능한 테이블상에 기판을 수납하지 않은 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 위치시키고 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이에 형성된 복수의 개구내로 복수의 지지 핀을 삽입하는 단계; (b) 수평 상태로 상기 복수의 지지 핀상에 기판을 위치시키는 단계; (c) 상기 승강가능한 테이블을 상승시키고 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이 중, 최고 기판 수납 트레이에 있어서 지지 핀에 의해 지지된 기판을 수납하는 단계; 및 (d) 트레이 지지 유닛에 의해, 기판을 수납하는 기판 수납 트레이를 지지하는 단계를 포함한다.
본 발명의 1 실시예에 있어서, (e) 상기 단계(d) 후, 상기 승강가능한 테이블을 하강시키고 기판을 수납하지 않은 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이에 형성된 복수의 개구내로 복수의 지지 핀을 삽입하는 단계를 더 포함하고, 상기 단계 (b) 내지 (e)가 반복된다.
이에 따라, 상기 본 발명은, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각으로부터, 표시용 유리 기판 등과 같은 기판을 제거하고 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 이와 같은 기판을 고효율로 수납하기 위한 기판 이송 장치; 및 상기 기판 이송 장치를 사용하여 기판을 제거하는 방법, 및 상기 기판 이송 장치를 사용하여 기판을 수납하기 위한 방법을 제공할 수 있다.
본 발명의 이들 및 기타의 장점은 이하의 도면을 참조한 설명으로부터 보다 명백히 이해될 것이다.
도1은, 본 발명에 사용되는 기판 수납 트레이의 일례의 평면도이다.
도2는, 도1에 도시된 기판 수납 트레이의 등축도이다.
도3은, 도1에 도시된 기판 수납 트레이의 부분 단면도이다.
도4는, 도3에 각각 도시되어 있는, 모두 수직으로 적층되어 있는 복수의 기판 수납 트레이의 부분 단면도이다.
도5는, 본 발명에 따른 기판 이송 장치의 정면도이다.
도6은, 도5에 도시된 기판 이송 장치의 측면도이다.
도7은, 도5에 도시된 기판 이송 장치의 평면도이다.
도8 내지 도17은, 도1에 도시된 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위한 도5에 도시된 기판 이송 장치의 동작을 도시하는 개략도이다.
도18 내지 도25는, 도1에 도시된 기판 수납 트레이에 기판을 배치시키기 위한 도5에 도시된 기판 이송 장치의 동작을 도시하는 개략도이다.
이하, 첨부 도면을 참조하면서, 상술하는 실시예를 통해 본 발명을 설명한다.
도1은 본 발명에 사용되는 기판 수납 트레이(10)를 도시하는 평면도이다. 도2는 기판 수납 트레이(10)의 사시도이고, 도3은 기판 수납 트레이(10)의 도1의 A-A 선의 부분 단면도이다. 기판 수납 트레이(10)는 예컨대 액정 표시 패널에 사용되는 유리 기판, 특히 한변의 길이가 1.3m 이상이고, 두께가 0.7mm 이하인 유리 기판을 수납하여 이송 또는 보관하기 위해 사용된다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치(30)(도5)는 예컨대 기판 수납 트레이(10)로부터 유리 기판(20)을 제거하는데에 사용된다.
기판 수납 트레이(10)는 박형의 직육면체 형태로 형성된다. 기판 수납 트레이(10)는, 표시 기판으로서의 유리 기판(20)을 거의 수평 상태로 배치하는 직사각형 저부(11), 및 유리 기판(20)이 저부(11)에 배치될 때 유리 기판(20)의 전 주위를 둘려싸는 프레임(12)을 포함한다. 프레임(12)은 상기 저부(11)의 전 주위를 따라 제공되고, 저부(11)의 상면의 레벨보다 높은 레벨로 돌출된다. 저부(11) 및 프레임(12)은 합성 수지 발포 재료인 발포 폴리에틸렌 수지 등으로부터 일체적으로 형성된다. 프레임(12)은, 유리 기판(20)의 적어도 일부분을 둘러싸도록, 저부(11)의 주위를 따라 제공되어도 좋다.
저부(11)는 유리 기판(20)보다 약간 큰 직사각형 형태이고, 두께는 예컨대 약 15mm이다. 유리 기판(20)은 저부(11)의 상면에 배치된다.
정방형 개구(11a)는 저부(11)의 코너 주변과 저부(11)의 4변을 따른 코너 사이의 중간 위치에 형성된다. 정방형 개구(11a)는 저부(11)의 중앙에도 형성된다. 따라서, 저부(11)는 3×3 매트릭스 형태로 배열된 9개의 개구(11a)를 갖는다. 개구(11a)에는 지지 부재로서 지지 핀(34)(도5)을 삽입할 수 있다. 지지 핀(34)은 기판 수납 트레이(10)로부터 유리 기판(20)을 제거하기 위해 저부(11)로부터 유리 기판(20)을 상승시킨다.
프레임(12)은 상기와 같이 저부(11)의 전 주위를 따라 제공되고, 폭은 약 30mm이다. 프레임(12)은 저부(11)의 상면의 레벨보다 약 5mm 이상 높은 레벨로 돌출된다. 프레임(12)은 유리 기판(20)의 에지로부터 적절한 거리에서 저부(11)에 배치되는 유리 기판(20)의 전 주위를 둘러싼다.
결합부(13)는 프레임(12)의 전 주위를 따라 제공된다. 보다 구체적으로는, 상기 결합부(13)는, 결합부(13)의 저면과 프레임(12)의 저면 사이에 단차가 형성되도록 제공되고, 프레임(12)의 상면보다 높은 레벨로 돌출된다. 결합부(13)는 예컨대 폭이 약 30mm이고, 프레임(12)으로부터 외측으로 수평으로 돌출된다. 결합부(13)는 직사각형 단면을 갖고, 처킹(chucking)을 위한 척 네일(chuck nail)(도1에 도시안됨)과 결합될 수 있다. 척 네일은 기판 수납 트레이(10)를 소정의 위치로 이송하는 이송 부재로서 기능한다. 저부(11), 프레임(12) 및 결합부(13)는 발포 폴리에틸렌 수지 등으로부터 일체적으로 형성되어도 좋다.
결합부(13)의 상면은 프레임(12)의 상면보다 외측의 상방으로 수평으로 연장된다. 프레임(12)은 결합부(13)의 상면과 프레임(12)의 상면 사이에 제공된 포지셔닝 단차(14)(포지셔닝 부분; 도3)를 갖는다. 포지셔닝 단차(14)는 프레임(12)의 상면에 수직이다. 포지셔닝 단차(14)는 프레임(12)의 전 주위를 따라 제공되고, 기판 수납 트레이(10)와 그에 적층되는 다른 기판 수납 트레이(10) 사이의 위치 관계를 결정하는 기능을 한다.
상기 구조를 갖는 기판 수납 트레이(10)에 있어서, 유리 기판(20)(예컨대, 두께가 0.7mm 이하인 액정 패널용 유리 기판)은 저부(11)의 상면에 수납된다. 전극 등을 갖지 않는 유리 기판(20)의 표면은 저부(11)의 상면과 접촉된다. 상기와 같이, 저부(11)는 유리 기판(20)보다 약간 크기 때문에, 유리 기판(20)은 프레임(12)의 에지로부터 적절한 거리에서 저부(11)에 배치된다.
도4에 도시된 바와 같이, 유리 기판(20)을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이(10)(편의상, 도4에는 두 개만 도시함)를 수직으로 적층하여, 이 상태로 이송할 수 있다. 상부 기판 수납 트레이(분명히 하기 위해 참조 부호 10a로 나타냄)의 프레임(12)의 저면 에지는 하부 기판 수납 트레이(분명히 하기 위해 참조 부호 10b로 나타냄)의 포지셔닝 단차(14)와 결합된다. 따라서, 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10a,10b)는 서로에 대해 수평 방향으로 미끄러지지 않는다.
예컨대, 유리 기판(20)을 각각 수납하는 복수(예컨대, 약 10개)의 기판 수납 트레이(10)를 수직으로 적층하여, 이송할 수 있다. 각 표시 기판 수납 트레이(10)는 박형이기 때문에, 공간 효율성을 현저히 향상시킬 수 있다. 그 결과, 많은 수의 유리 기판(20)을 고효율로 이송 및 보관할 수 있다.
최상부 기판 수납 트레이(10)의 프레임(12)의 저면은 하측의 기판 수납 트레이(10)의 포지셔닝 단차(14)와 결합된다. 따라서, 최상부 기판 수납 트레이(10)의결합부(13)와 하측의 기판 수납 트레이(10)의 결합부(13) 사이에는 적절한 공간이 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치(30)(도5)는 상기 구조를 갖는 기판 수납 트레이(10)에 수납되어 있는 유리 기판(20)을 제거하는데 유용하다. 도5는 본 발명의 일례에 따른 기판 이송 장치(30)의 정면도이다. 도6은 그 측면도, 도7은 그 평면도이다.
기판 이송 장치(30)는 지지 베이스(31), 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이(10)를 지지하는 지지 베이스(31)에 제공된 트레이 지지 유닛(32), 트레이 지지 유닛(32)으로부터 해제된 하나 또는 복수의 기판 수납 트레이(10)가 그 위에 배치되어 상승 및 하강되도록 지지 베이스(31)에 제공된 승강가능한 테이블(33), 및 상기 승강가능한 테이블(33)에 배치된 하나 또는 복수의 기판 수납 트레이(10)의 개구(11a)를 관통하도록 지지 베이스(31)에 수직으로 제공된 복수의 지지 핀(34)을 포함한다.
트레이 지지 유닛(32)은 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이(10)를 수용한다. 트레이 지지 유닛(32)은 서로 대향하는 한 쌍의 트레이 측면 지지부(32a)를 포함한다. 트레이 측면 지지부(32a)는 기판 수납 트레이(10)의 대향 측을 지지하기 위해 제공된다.
각 트레이 측면 지지부(32a)는 기판 수납 트레이(10)의 각 측면을 따라 수평으로 제공된 장판형 지지 부재(lengthy plate-like support)(32b)(도6), 및 동일한 간격으로 상기 지지 부재(32b)에 제공된 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c)를 포함한다. 상기 지지 부재(32b)는, 상기 지지 부재(32b)를 트레이 지지 유닛(32)에 의해 수용되는 기판 수납 트레이(10)로부터 가까이 또는 멀리 이동시키도록 지지 베이스(31)의 상부면에 제공된 한 쌍의 슬라이드 가이드(32d)를 따라 슬라이드 가능하다. 지지 부재(32b)의 이와 같은 이동은 각 트레이 측면 결합 부재(32c)에 있어서 지지 베이스(31)의 상부면에 각각 제공된 유압 실린더(32e)에 의해 구동된다.
하나의 지지 부재(32b)에 제공된 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c)와 다른 지지 부재(32b)에 제공된 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c)는 서로 대향된다. 상기 대향하는 트레이 측면 결합 부재(32c)와 대향하는 각 트레이 측면 결합 부재(32c)의 표면에는, 복수의 결합 클로우(claw)(32f)가 제공된다. 복수의 결합 클로우(32f)는 수직으로 배열되고, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이(10)의 결합부(13)와 각각 결합된다.
하나의 트레이 지지부(32a)의 유압 실린더(32e)는 다른 트레이 지지부(32a)의 유압 실린더(32e)와 동기하여 구동된다. 따라서, 상기 쌍의 지지 부재(32b)는 서로 동기하여 기판 수납 트레이(10)로부터 가까이 또는 멀리 이동한다. 또한, 상기 쌍의 지지 부재(32b)에 제공되어 있는 트레이 측면 결합 부재(32c)도 서로 동기하여 상기 기판 수납 트레이(10)로부터 가까이 또는 멀리 이동한다. 트레이 측면 결합 부재(32c)가 기판 수납 트레이(10)에 접근하면, 트레이 측면 결합 부재(32c)에 제공된 결합 클로우(32f)가 기판 수납 트레이(10)의 결합부(13)와 결합된다. 이 결합에 의해, 기판 수납 트레이(10)가 수평으로 지지된다. 트레이 지지부(32a)가 마찰력에 의해 기판 수납 트레이(10)를 지지하는 한, 트레이 지지부(32a)는 임의의형상(예컨대, 상기 쌍의 트레이 지지부(32a) 사이의 기판 수납 트레이(10)를 협지하는 것과 같은 형상)을 가져도 좋다.
승강가능한 테이블(33)은 기판 수납 트레이(10)가 그 위에 배치되도록 수평으로 제공된 테이블부(33a)(도7)를 포함한다. 테이블부(33a)는 예컨대 기판 수납 트레이(10)의 형상에 대응하는 직사각형 프레임(33b), 및 격자 형태로 배열된 한 쌍의 바(bar)(33c) 및 한 쌍의 바(33d)를 포함한다. 상기 바(33c)의 쌍은 지지 부재(32b)와 거의 병렬로 연장되고, 상기 바(33d)의 쌍은 상기 바(33c)의 쌍과 거의 수직으로 교차한다. 바(33d)는 그 양단에서 지지 아암(33e)에 의해 지지된다. 지지 아암(33e)은 승강 유닛(35)에 접속되어 있다.
지지 베이스(31) 내부에는, 기판 수납 트레이(10)의 개구(11a)에 대응하여, 복수(본 실시예에서는 9개)의 지지 핀(34)이 3×3 매트릭스 형태로 배열되어 있다. 각 지지 핀(34)은 격자 테이블부(33a)를 통과하도록 수직으로 제공되어 있다. 도5에 도시된 바와 같이, 각 지지 핀(34)의 상단은 트레이 지지 유닛(32)에 의해 지지된 최하부 기판 수납 트레이(10)의 저면의 약간 하측에 있다.
승강 유닛(35)(도6)은 승강가능한 테이블(33)을 상승 및 하강시키기 위해 제공된다. 승강 유닛(35)은 승강가능한 테이블(33)의 복수의 지지 아암(33e)을 일체적으로 상승 및 하강시키는 승강부(33f)(도7)를 사용한다. 승강부(33f)는 볼 스크류 기구를 포함한다. 특히, 승강 유닛(35)은 승강가능한 테이블(33)의 복수의 지지 아암(33e)을 일체적으로 상승 및 하강시키기 위해 승강부(33f)를 사용한다. 볼 스크류 기구는 통상의 형태, 즉 볼 스크류와 상기 볼 스크류와 결합된 슬라이드 블록을 포함하는 형태이다. 볼 스크류가 앞으로 회전하면, 승강가능한 테이블(33)은 상승하고, 볼 스크류가 반대로 회전하면, 승강가능한 테이블(33)은 하강한다. 승강 유닛(35)은 구동 모터(35a) 및 감속기(35b)를 포함한다. 구동 모터(35a)의 회전은 감속기(35b)를 통해 볼 스크류 기구로 전달된다.
도8 내지 도17을 참조하여, 각각의 기판 수납 트레이(10)로부터 기판(20)을 제거하는 기판 이송 장치(30)의 동작을 설명한다.
기판 이송 장치(30)의 승강가능한 테이블(33)은 승강 유닛(35)에 의해 상승된다. 따라서, 도8에 도시된 바와 같이, 승강가능한 테이블(33)의 테이블부(33a)는 상기 쌍의 트레이 측면 지지부(32a)의 하부 사이에 배치된다. 이 때, 지지 부재(32b)는, 기판 수납 트레이(10)가 그 사이에 배치되는 경우에도 기판 수납 트레이(10)와 접촉되지 않도록 배치된다. 상기 쌍의 지지 부재(32b)의 트레이 측면 결합 부재(32c)도, 기판 수납 트레이(10)가 그 사이에 배치되는 경우에도 기판 수납 트레이(10)와 접촉되지 않도록 배치된다.
각각 유리 기판(20)을 수납하는 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이(10)가 테이블부(33a)상에 배치된다. 따라서, 상기 복수의 기판 수납 트레이(10)는 일 지지부(32b)상에 제공된 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c) 및 다른 지지부(32b)상에 제공된 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c) 사이에 배치된다.
도9에 도시된 바와 같이, 승강가능한 테이블(33)의 높이는 상기 기판 수납 트레이(10)가, 최하부 기판 수납 트레이(10)를 제외하고, 트레이 측면 결합 부재(32c)상에 제공된 결합 클로우(32f)와 결합되도록 조정된다. 즉, 최하부 기판수납 트레이(10)는 결합 클로우(32f)와 결합되지 않는다. 이와 같이 승강가능한 테이블(33)의 높이가 조정될 때, 지지 기부(31)의 상부면의 유압 실린더(32e)가 서로 동기되어 구동됨으로써, 일 지지부(32b)상의 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c) 및 다른 지지부(32b)상의 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c)가 상기 기판 수납 트레이(10)를 향해 이동된다.
따라서, 도10에 도시된 바와 같이, 상기 기판 수납 트레이(10)는 최하부 기판 수납 트레이(10)를 제외하고 결합부(13)를 통해 결합 클로우(32f)와 결합된다. 최하부 기판 수납 트레이(10)를 제외한 상기 기판 수납 트레이(10)는 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정되어 지지된다. 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)는 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정되지 않고 테이블부(33a)상에 남게된다.
다음, 승강가능한 테이블(33)이 승강 유닛(35)에 의해 아래로 이동된다. 또한, 상기 테이블부(33a)상의 최하부 기판 수납 트레이(10)도 아래로 이동된다(즉, 지지 핀(34)이 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)에 대해 위로 이동된다). 승강가능한 테이블(33)이 아래로 이동되는 동안, 지지 기부(31) 내측에 제공된 지지 핀(34)은 상기 격자 테이블부(33a)를 통과하여 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)의 하부(11)의 개구(11a)로 삽입된다.
도11에 도시된 바와 같이, 승강가능한 테이블(33)이 더욱 아래로 이동될 때, 각 지지 핀(34)의 상단부는 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)에 수납된 유리 기판(20)의 하부면에 접촉한다. 다음, 상기 유리 기판(20)은 지지 핀(34)에 의해 지지되어 있는 중에 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)에 대해 위치적으로 상대적으로 상승된다. 즉, 각 지지 핀(34)의 상단부가 최하부 기판 수납 트레이(10) 위에 있게 된다. (상기 지지 핀(34)은 기판 수납 트레이(10)에 대해 위로 이동된다.) 유리 기판(20)이, 상기 최하부 기판 수납 트레이(10) 위로 완전하게 상승된 때, 소정 높이에 수평으로 고정되며 여전히 지지 핀(34)에 의해 지지되어 있는 상태이다.
유리 기판(20)이 그 상태에 있을 때, 승강가능한 테이블(33)이 정지된다. 다음에, 유리 기판(20)은 지지 핀(34)에서 해제되어 이송 부재에 의해 소정 위치로 이송된다.
이송 부재로서는, 예컨대 일본 공개 특허 공보 제2001-93969호에 기재된 바와 같은 흡착 핸드가 사용된다. 상기 흡착 핸드는 동일 높이에 서로 평행하게 제공된 한 쌍의 흡착 패드를 포함한다. 각 흡착 패드는 평판 형상이고 약 20mm의 두께를 가진다. 상기 흡착 패드는 유리 기판(20)의 하부면을 진공 흡착할 수 있다. 상기 흡착 핸드는 다음과 같이 작동한다. 각 흡착 패드가, 지지 핀(34)에 의해 수평 상태로 상승되어 지지되어 있는, 유리 기판(20) 아래의 위치로 삽입되어, 위쪽으로 미끄럼 이동한다. 상기 유리 기판(20)은, 이와 같이 흡착 핸드 상에 배치된 상태에서, 흡착 핸드에 의해 진공 흡착된다. 그 후, 유리 기판(20)은 소정 위치로 이송된다.
유리 기판(20)이 상기한 바와 같이 제거된 때, 승강가능한 테이블(33)은 승강 유닛(35)에 의해 위로 이동된다. 따라서, 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)는, 유리 기판(20)이 제거된 상태에서, 승강가능한 테이블(33)과 함께 위로 이동한다. 도12에 도시된 바와 같이, 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)는 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)(즉, 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정 지지된 복수의 기판 수납 트레이(10) 중 최하부 기판 수납 트레이(10))와 접촉한다. 그 후, 승강가능한 테이블(33)의 상방으로의 이동이 정지된다.
도13에 도시된 바와 같이, 지지부(32b)는 유압 실린더(33e)에 의해 기판 수납 트레이(10)에서 멀리 이동하도록 구동된다. 따라서, 상기 기판 수납 트레이(10)는 트레이 측면 결합 부재(32c)로부터 해제되어, 승강가능한 테이블(33)의 테이블부(33a)상에 있는 기판 수납 트레이(10)상에 놓여 지지된다. 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)는 유리 기판(20)을 수납하지 않는다.
도14에 도시된 바와 같이, 승강가능한 테이블(33)은 하나의 기판 수납 트레이(10)에 대응하는 거리만큼 아래로 이동된다. 승강가능한 테이블(33)의 높이는 상기 기판 수납 트레이(10)가, 유리 기판(20)이 없는 최하부 기판 수납 트레이(10) 및 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)(즉, 각각 유리 기판(20)을 수납하고 있는 복수의 기판 수납 트레이(10) 중 최하부 기판 수납 트레이(10))를 제외하고, 결합 클로우(32c)와 결합되도록 조정된다. 이와 같이 승강가능한 테이블(33)의 높이가 조정될 때, 유압 실린더(32e)가 서로 동기되어 구동됨으로써, 일 지지부(32b)상의 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c) 및 다른 지지부(32b)상의 3개의 트레이 측면 결합 부재(32c)가 상기 기판 수납 트레이(10)를 향해 이동된다.
따라서, 도15에 도시된 바와 같이, 상기 기판 수납 트레이(10)는 유리 기판(20)이 없는 최하부 기판 수납 트레이(10) 및 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)(즉, 각각 유리 기판(20)을 수납하고 있는 복수의 기판 수납 트레이(10)중 최하부 기판 수납 트레이(10))를 제외하고, 결합 클로우(32f)와 결합된다. 최하부 기판 수납 트레이(10) 및 아래에서 두 번째 기판 수납 트레이(10)를 제외한, 상기 기판 수납 트레이(10)는 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정되어 지지된다. 상기 최하부 기판 수납 트레이(10) 및 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)는 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정되지 않고 테이블부(33a)상에 남게된다.
다음, 승강가능한 테이블(33)이 승강 유닛(35)에 의해 아래로 이동된다. 또한, 상기 테이블부(33a)상의 최하부 기판 수납 트레이(10) 및 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)도 아래로 이동된다. 승강가능한 테이블(33)이 아래로 이동되는 동안, 지지 기부(31) 내측에 제공된 지지 핀(34)은 상기 격자 테이블부(33a)를 통과하여 상기 최하부 기판 수납 트레이(10) 및 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)의 개구(11a)로 삽입된다.
도16에 도시된 바와 같이, 승강가능한 테이블(33)이 더욱 아래로 이동될 때, 각 지지 핀(34)의 상단부는 상기 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)에 수납된 유리 기판(20)의 하부면에 접촉한다. 다음, 상기 유리 기판(20)은 지지 핀(34)에 의해 지지되어 있는 중에 상기 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)에 대해 위치적으로 상대적으로 상승된다. 유리 기판(20)은, 상기 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10) 위로 완전하게 상승된 때, 소정 높이에 수평으로 고정되며 여전히 지지 핀(34)에 의해 지지되어 있는 상태이다.
유리 기판(20)이 그 상태에 있을 때, 승강가능한 테이블(33)이 정지된다. 다음에, 유리 기판(20)은 지지 핀(34)에서 해제되어 예컨대 흡착 핸드 등의 이송 부재에 의해 소정 위치로 이송된다.
유리 기판(20)이 상기한 바와 같이 제거된 때, 최하부 기판 수납 트레이(10) 및 아래에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)는, 유리 기판(20)이 제거된 상태에서, 승강가능한 테이블(33)의 테이블부(33a)위에 남게 된다.
상기한 작동을 되풀이함에 의해, 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정된 복수의 기판 수납 트레이(10) 중 최하부 기판 수납 트레이(10)가 테이블부(33a)상에 배치되어 있는 기판 수납 트레이(10)상에 순차 적층된다. 승강가능한 테이블(33)이 아래로 이동함에 의해, 상기 테이블부(33a)상에 배치된 상기 기판 수납 트레이(10)에 수납된 유리 기판(20)이 지지 핀(34)에 의해 수평으로 지지된 상태로 기판 수납 트레이(10)에서 제거된다. 그 후, 제거된 유리 기판(20)이 이송된다.
그 결과, 도17에 도시된 바와 같이, 유리 기판(20)이 없는 복수의 기판 수납 트레이(10)는 테이블부(33a)상에 남게 된다. 수직으로 적층된 이들 기판 수납 트레이(10)는 테이블부(33a)로부터 이송된다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(30)는 유리 기판(20)을 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)에서 고효율로 제거할 수 있다. 상기 기판 수납 트레이(10)는 유리 기판(20)을 제거하도록 상하로 이동될 수 있으므로, 상기 기판 이송 장치(30)의 평면 사이즈가 비교적 작게되고 상기 기판 이송 장치(30)의 구조가 비교적 간단하게 된다.
또한, 상기 기판 이송 장치(30)는 유리 기판(20)을 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이(10) 각각에 배치하도록 사용될 수 있다.
도18 내지 25를 참조하여, 복수의 기판 수납 트레이(10) 각각에 유리 기판(20)을 수납하기 위한 기판 이송 장치(30)에 대해 설명한다. 기본적으로, 기판 이송 장치(30)는 상기한 과정과 반대로 작동한다.
도18에 도시된 바와 같이, 유리 기판(20)이 없는 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이(10)가 테이블부(33a)상에 배치된다. 다음, 승강가능한 테이블(33)이 아래로 이동한다. 이와 다르게, 승강가능한 테이블(33)이 아래로 이동한 후에, 유리 기판(20)이 없는 복수의 기판 수납 트레이(10)가 테이블부(33a)상에 배치될 수 있다.
이 상태에서, 지지 핀(34)이 복수의 기판 수납 트레이(10)로 삽입되고, 각 지지 핀(34)의 상단부가 최상부의 기판 수납 트레이(10) 위에 있게 된다.
그 후, 다시 도18을 참조하면, 유리 기판(20)은 예컨대 흡착 핸드 등의 이송 부재에 의해 이송되어, 지지 핀(34)의 상단부 위에 수평으로 배치된다. 다음, 도19에 도시된 바와 같이, 승강가능한 테이블(33)이 위로 이동되고, 유리 기판(20)은 테이블부(33a) 상의 복수의 기판 수납 트레이(10) 중 최상부 기판 수납 트레이(10)에 수납된다. 승강가능한 테이블(33)은, 유리 기판(20)을 수납한 상기 최상부의 기판 수납 트레이(10)가 트레이 지지 유닛(32)의 결합 클로우(32f)와 결합되는 위치까지 계속하여 위로 이동된다.
이 위치에서, 승강가능한 테이블(33)의 상방으로의 이동이 정지된다. 도20에 도시된 바와 같이, 상기 최상부 기판 수납 트레이(10)는 최하부 결합 클로우(32f)와 결합된다. 따라서, 상기 최상부 기판 수납 트레이(10)는 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정된다.
그 후, 승강가능한 테이블(33)이 아래로 이동된다. 따라서, 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정된 최상부 기판 수납 트레이(10)를 제외하고, 상기 테이블부(33a)상의 복수의 기판 수납 트레이(10)도 아래로 이동된다. 지지 기부(31) 내측의 지지 핀(34)은 테이블부(33a)상에 배치된 기판 수납 트레이(10)로 삽입된다.
도21에 도시된 바와 같이, 유리 기판(20)은 이송 부재에 의해 이송되어 지지 핀(34)의 상단부 위에 수평으로 배치된다. 승강가능한 테이블(33)은, 도22에 도시된 바와 같이, 위로 이동되며, 유리 기판(20)은 위에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)(즉, 테이블부(33a)상의 복수의 기판 수납 트레이(10) 중 최상부 기판 수납 트레이(10))에 수납된다. 상기 승강가능한 테이블(33)은, 상기 위에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)가 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정된 최상부 기판 수납 트레이(10)의 하부면과 접촉할 때까지 계속하여 위로 이동된다. 이 위치에서, 승강가능한 테이블(33)의 상방으로의 이동이 정지된다.
도23에 도시된 바와 같이, 최상부 기판 수납 트레이(10)는 트레이 지지 유닛(32)의 트레이 측면 결합 부재(32c)와의 결합으로부터 해제되어, 테이블부(33a)상에 놓여 있는 기판 수납 트레이(10)상에 지지된다. 도24에 도시된 바와 같이, 승강가능한 테이블(33)은 하나의 기판 수납 트레이(10)에 대응하는 길이만큼 위로 이동된다. 승강가능한 테이블(33)의 높이는 최상부 및 위에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)가 결합 클로우(32f)와 결합되도록 조정된다.
도25에 도시된 바와 같이, 승강가능한 테이블(33)의 높이가 이와 같이 조정된 때, 최상부 및 위에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)가 트레이 지지 유닛(32)의 2개의 최하부 클로우(32f)와 결합된다.
그 후, 승강가능한 테이블(33)은 아래로 이동되고, 각각 유리 기판(20)을 수납하고 있는 최상부 및 위에서 두 번째의 기판 수납 트레이(10)를 제외하고, 테이블부(33a)상에 있는 기판 수납 트레이(10)도 아래로 이동된다. 지지 핀(34)은 테이블부(33a)상의 기판 수납 트레이(10)로 삽입된다.
상기한 작동을 되풀이함에 의해, 유리 기판(20)은 테이블부(33a)상에 배치된 복수의 기판 수납 트레이(10) 중 최상부 기판 수납 트레이(10)에 순차 배치된다. 각각 유리 기판(20)을 수납하고 있는, 상기 기판 이송 장치(30)내의 복수의 기판 수납 트레이(10)는 수직으로 적층된 상태로 테이블부(33a)상에 배치된 후, 일체로 이송된다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치(30)는 유리 기판(20)을 수직으로 적층된 기판 수납 트레이(10)에 고효율로 배치할 수 있다. 상기 기판 수납 트레이(10)는 유리 기판(20)을 수납한 상태에서 수직으로 적층되어 있으므로, 유리 기판의 수납 작업 효율이 크게 증가된다.
상기한 예에서의 기판 수납 트레이(10)는 액정 표시 패널용 유리 기판(20)을 수납하기 위한 것이다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치에 의해 취급되는 상기 기판 수납 트레이는 그러한 기판으로만 한정되지 않고, 다른 타입의 표시 패널용 유리 기판도 수납할 수 있다. 본 발명에 따른 기판 이송 장치에 의해 취급되는 기판은유리 기판만으로 한정되지 않고 합성수지 기판 등도 취급될 수 있다.
상기한 예에서, 승강가능한 테이블(33)을 승강시키기 위한 승강 유닛(35)은 볼 스크류 메카니즘을 이용하고 있다. 상기 승강부(33f)는 볼 스크류 메카니즘 대신에, 수직으로 배치된 한 쌍의 풀리 및 상기 풀리 둘레로 연장되는 벨트로 구성되는 벨트 이송 기구를 포함한다. 이 경우에, 상기 승강가능한 테이블(33)은 벨트 이송 기구에 의해 상하로 이동된다.
상기 기판 이송 장치(30)는 승강가능한 테이블(33) 또는 승강 유닛(35)을 포함할 필요가 없다. 트레이 지지 유닛(32) 아래의 기판 수납 트레이(10)의 개구(11a)에 대응하는 복수의 지지 핀(34)을 제공하면 충분하다. 이러한 구조에서, 유리 기판(20)은 다음과 같이 하여 기판 수납 트레이(10)에서 제거될 수 있다. 트레이 지지 유닛(32)에 의해 고정된 복수의 기판 수납 트레이(10) 중, 최하부 기판 수납 트레이(10) 만이 상기 트레이 지지 유닛(32)에서 해제된다. 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)는 그 자신의 중량으로 아래로 이동된다. 아래로 이동되고 있는, 상기 최하부 기판 수납 트레이(10)에 수납된 유리 기판(20)을 지지 핀(34)을 이용하여 제거한다. 이로써 상기 기판 이송 장치의 구조를 더욱 간단하게 한다.
이 경우에, 상기 기판 수납 트레이(10)의 이동 속도가 감소되어, 유리 기판(20)은 손상받을 위험 없이 확실하게 제거된다.
상기 지지 핀(34)은 복수의 기판 수납 트레이(10)로 삽입되기에 충분한 길이를 가질 필요가 없다. 상기 지지 핀(34)은 단지 하나의 기판 수납 트레이(10)로 삽입되기에 충분한 길이를 가지면 된다. 이 경우에, 매번 유리 기판(20)은 하나의 기판 수납 트레이(120)에서 제거되며, 그 기판 수납 트레이(10)는 이송된다. 이로써 상기 기판 이송 장치의 사이즈를 더욱 소형화할 수 있다.
지지 핀(34)이 복수의 기판 수납 트레이(10)로 삽입되기에 충분한 길이를 갖는 경우에, 하나의 기판 수납 트레이(10)는 승강가능한 테이블(33) 또는 트레이 지지 유닛(32)을 이용하지 않고 다른 적절한 방법에 의해 기판 이송 장치(30)에 의해 수용될 수 있다. 상기 수용된 기판 수납 트레이(10)는 상기 지지 핀(34)이 기판 수납 트레이(10)의 개구(11a)를 통과하도록 아래로 이동된다. 따라서, 상기 기판 수납 트레이(10)에 수납된 유리 기판은 지지 핀(34)에 의해 지지되어 제거된다. 이 작동을 되풀이함에 의해, 유리 기판(20)이 각각의 기판 수납 트레이(10)로부터 제거된 때 상기 기판 수납 트레이(10)가 수직으로 적층된다.
상기한 바와 같이, 본 발명에 따른 기판 이송 장치 및 기판 제거 방법에서는 기판을 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이 각각으로부터 고효율로 제거할 수 있다. 기판이 제거되어 있는, 상기 기판 수납 트레이가 수직으로 적층되기 때문에, 그 후의 상기 기판 수납 트레이 이송 작업이 고효율로 실행될 수 있다. 유사하게, 본 발명에 따른 기판 수납 방법에서는 기판을 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이 각각에 고효율로 배치할 수 있다.
본 발명에 따른 기판 이송 장치는 점유 면적이 작으며 소형이고, 경제성이 우수하다.
본 발명의 정신과 범위를 벗어나지 않고 당업자들에 의해 여러 가지 변경들이 용이하게 실시될 수 있을 것이다. 따라서, 첨부된 특허청구의 범위는 본 명세서에서 기술된 내용으로 한정되지 않고, 보다 넓게 해석되어야 한다.

Claims (20)

  1. 수평 상태로 기판을 수납하는 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위한 기판 이송 장치로서, 상기 기판 이송 장치는,
    상기 기판 수납 트레이상의 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위한 복수의 지지 핀을 포함하고,
    상기 기판 수납 트레이는, 상기 복수의 지지 핀이 삽입되는 복수의 개구를 포함하고,
    상기 복수의 지지 핀은, 기판을 상승시키기 위해, 상기 기판 수납 트레이에 관해 위로 이동되고 상기 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입되며,
    상기 복수의 지지 핀은 각각, 수직으로 적층되는 복수의 기판 수납 트레이를 통해 수직으로 삽입되기에 충분한 길이를 갖는, 기판 이송 장치.
  2. 제1항에 있어서, 승강가능한 테이블상에 기판 수납 트레이를 갖는 동안 상기 기판 수납 트레이를 상승 및 하강시키기 위한 승강가능한 테이블을 더 포함하고,
    상기 복수의 지지 핀은, 승강가능한 테이블이 하강함에 따라 이 승강가능한 테이블상에 수직으로 적층되는 복수의 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입되는, 기판 이송 장치.
  3. 제2항에 있어서, 상기 승강가능한 테이블은 볼 스크류 기구에 의해 상하로이동되는 기판 이송 장치.
  4. 제2항에 있어서, 상기 승강가능한 테이블은 벨트 이송 기구에 의해 상하로 이동되는 기판 이송 장치.
  5. 수평 상태로 기판을 수납하는 기판 수납 트레이로부터 기판을 제거하기 위한 기판 이송 장치로서, 상기 기판 이송 장치는,
    수평 상태로, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이 중 적어도 하나를 지지하기 위한 트레이 지지 유닛; 및
    상기 기판 수납 트레이상의 트레이 지지 유닛으로부터 해제되는 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위한 복수의 지지 핀을 포함하고,
    상기 기판 수납 트레이는 각각, 상기 복수의 지지 핀이 삽입되는 복수의 개구를 포함하고,
    상기 복수의 지지 핀은, 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위해, 상기 기판 수납 트레이에 관해 위로 이동되고 상기 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입되는, 기판 이송 장치.
  6. 제5항에 있어서, 상기 복수의 지지 핀은, 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위해, 상기 트레이 지지 유닛으로부터 해제된 복수의 기판 수납 트레이의 복수의 개구내로 삽입되는, 기판 이송 장치.
  7. 제5항에 있어서, 승강가능한 테이블상에 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 갖는 동안 상기 트레이 지지 유닛으로부터 해제된 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 상승 및 하강시키기 위한 승강가능한 테이블을 더 포함하고,
    수직으로 적층된 상기 복수의 지지 핀이 승강가능한 테이블에 위치될 때, 상기 복수의 지지 핀이, 상기 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키기 위해, 상기 승강가능한 테이블이 하강함에 따라 이 승강가능한 테이블상에 위치된 복수의 기판 수납 트레이의 복수의 개구를 통해 삽입되는, 기판 이송 장치.
  8. 제5항에 있어서, 상기 트레이 지지 유닛은, 수평상태로 상기 복수의 기판 수납 트레이의 각각을 지지하는, 기판 이송 장치.
  9. 제5항에 있어서, 상기 트레이 지지 유닛은, 수평상태로 상기 복수의 기판 수납 트레이 중 적어도 하나를 지지하고, 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이는 기판을 수납하는, 기판 이송 장치.
  10. 제5항에 있어서, 상기 트레이 지지 유닛은, 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이와 결합되는 결합 클로우(claw)를 포함하는, 기판 이송 장치.
  11. 제5항에 있어서, 상기 트레이 지지 유닛은, 마찰력에 의해 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 지지하는, 기판 이송 장치.
  12. 제7항에 있어서, 상기 승강가능한 테이블은 볼 스크류 기구에 의해 상하로 이동하는 기판 이송 장치.
  13. 제7항에 있어서, 상기 승강가능한 테이블은 벨트 이송 기구에 의해 상하로 이동하는 기판 이송 장치.
  14. 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법으로서, 상기 방법은,
    (a) 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이 중, 제2의 최저 기판 수납 트레이로부터, 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이 중, 최저 기판 수납 트레이를 분리하고, 상기 최저 기판 수납 트레이를 하강시키는 단계; 및
    (b) 상기 하강된 기판 수납 트레이에 형성된 복수의 개구내로 복수의 지지 핀을 삽입하여, 상기 복수의 지지 핀에 의해 하방으로 이동된 상기 하강된 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키는 단계를 포함하는, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법.
  15. 제14항에 있어서, (c) 복수의 지지 핀에 의해 상승된 기판을 이송하는 단계를 더 포함하고,
    상기 단계(a) 내지 (c)가 반복되는, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법.
  16. 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법으로서, 상기 방법은,
    (a) 승강가능한 테이블상에 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이를 위치시키는 단계;
    (b) 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이 중, 최저 기판 수납 트레이 이외의 기판을 각각 수납하는 복수의 기판 수납 트레이 중 적어도 하나를 트레이 지지 유닛에 의해 지지하는 단계;
    (c) 상기 승강가능한 테이블을 하강시키고 상기 승강가능한 테이블상에 위치된 기판 수납 트레이에 형성된 복수의 개구내로 복수의 지지 핀을 삽입하여, 상기 복수의 지지 핀에 의해 상기 승강가능한 테이블상에 위치된 기판 수납 트레이에 수납된 기판을 상승시키는 단계; 및
    (d) 상기 복수의 지지 핀에 의해 상승된 기판을 이송하는 단계를 포함하는, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법.
  17. 제16항에 있어서,
    (e) 상기 단계(d) 후, 상기 승강가능한 테이블을 상승시키고 상기 트레이 지지 유닛에 의해 지지된 적어도 하나의 기판 수납 트레이 중 최저 기판 수납 트레이와 상기 승강가능한 테이블상에 위치된 기판 수납 트레이를 접촉시키는 단계;
    (f) 상기 트레이 지지 유닛으로부터 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 해제하고 상기 승강가능한 테이블상에 상기 해제된 기판 수납 트레이를 위치시키는 단계; 및
    (g) 단계 단계(f) 후, 단계 (b) 내지 (d)를 1회 이상 행하는 단계를 포함하는, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법.
  18. 제17항에 있어서, 상기 단계(e) 내지 (g)가 반복되는, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 수납된 기판을 제거하는 방법.
  19. 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 기판을 수납하는 방법으로서, 상기 방법은,
    (a) 상기 승강가능한 테이블상에 기판을 수납하지 않은 적어도 하나의 기판 수납 트레이를 위치시키고 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이에 형성된 복수의 개구내로 복수의 지지 핀을 삽입하는 단계;
    (b) 수평 상태로 상기 복수의 지지 핀상에 기판을 위치시키는 단계;
    (c) 상기 승강가능한 테이블을 상승시키고 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이 중, 최고 기판 수납 트레이에 있어서 지지 핀에 의해 지지된 기판을 수납하는 단계; 및
    (d) 트레이 지지 유닛에 의해, 기판을 수납하는 기판 수납 트레이를 지지하는 단계를 포함하는, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 기판을 수납하는 방법.
  20. 제19항에 있어서,
    (e) 상기 단계(d) 후, 상기 승강가능한 테이블을 하강시키고 기판을 수납하지 않은 상기 적어도 하나의 기판 수납 트레이에 형성된 복수의 개구내로 복수의 지지 핀을 삽입하는 단계를 더 포함하고,
    상기 단계 (b) 내지 (e)가 반복되는, 수직으로 적층된 복수의 기판 수납 트레이의 각각에 기판을 수납하는 방법.
KR1020030085602A 2002-11-29 2003-11-28 기판 이송 장치, 상기 기판의 반출 방법 및 상기 기판의 수납 방법 KR100586354B1 (ko)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JPJP-P-2002-00348903 2002-11-29
JP2002348903A JP4270434B2 (ja) 2002-11-29 2002-11-29 基板移載装置並びに基板の取り出し方法および基板の収納方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
KR20040048338A true KR20040048338A (ko) 2004-06-09
KR100586354B1 KR100586354B1 (ko) 2006-06-08

Family

ID=32376127

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
KR1020030085602A KR100586354B1 (ko) 2002-11-29 2003-11-28 기판 이송 장치, 상기 기판의 반출 방법 및 상기 기판의 수납 방법

Country Status (5)

Country Link
US (1) US7014415B2 (ko)
JP (1) JP4270434B2 (ko)
KR (1) KR100586354B1 (ko)
CN (1) CN1274567C (ko)
TW (1) TWI228483B (ko)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220114246A (ko) * 2021-02-08 2022-08-17 주식회사 금성산업 배터리용 전극 공급장치

Families Citing this family (38)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TW594856B (en) * 2003-07-22 2004-06-21 Chunghwa Picture Tubes Ltd Downward mechanism for supporting pins
JP4003882B2 (ja) * 2003-09-26 2007-11-07 シャープ株式会社 基板移載システム
US20050100434A1 (en) * 2003-10-14 2005-05-12 Zoltan Filep Multiple-picker system for media handling and other equipment
CN1922087A (zh) * 2004-03-01 2007-02-28 平田机工株式会社 基板输出输入装置以及基板输出输入方法
WO2006035484A1 (ja) * 2004-09-27 2006-04-06 Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha 半導体製造装置および半導体製造方法
WO2006123402A1 (ja) * 2005-05-17 2006-11-23 Hirata Corporation 基板搬出入装置及び基板搬出入方法
CN101263067B (zh) * 2005-10-07 2011-02-16 夏普株式会社 基板收纳装置
TWI269772B (en) * 2006-01-24 2007-01-01 Au Optronics Corp Apparatus for loading and unloading workpiece
CN100462292C (zh) * 2006-02-06 2009-02-18 友达光电股份有限公司 移载机
US7188721B1 (en) 2006-02-10 2007-03-13 Chunghwa Picture Tubes, Ltd. Adjustment apparatus
CN1887669B (zh) * 2006-07-26 2011-06-15 友达光电股份有限公司 玻璃板的解包装系统及其方法
KR100771475B1 (ko) * 2006-10-04 2007-10-30 (주)테크윙 사이드도킹방식 테스트핸들러 및 사이드도킹방식테스트핸들러용 테스트트레이 이송장치
JP4835573B2 (ja) * 2007-10-26 2011-12-14 パナソニック株式会社 基板搬送装置および基板搬送方法
FR2933812B1 (fr) * 2008-07-11 2010-09-10 Alcatel Lucent Dispositif de chargement/dechargement de substrats
CN102186748A (zh) * 2008-09-30 2011-09-14 夏普株式会社 基板收纳托盘
JP4751460B2 (ja) * 2009-02-18 2011-08-17 東京エレクトロン株式会社 基板搬送装置及び基板処理システム
CN101656222B (zh) * 2009-07-29 2011-07-27 东莞宏威数码机械有限公司 嵌套顶柱设备
JP2011035199A (ja) * 2009-08-03 2011-02-17 Tokyo Electron Ltd 基板載置機構およびそれを用いた基板処理装置
JP2011051609A (ja) * 2009-08-31 2011-03-17 Sekisui Plastics Co Ltd 太陽電池パネル搬送用トレイと太陽電池パネル梱包体
TWI534938B (zh) * 2010-02-25 2016-05-21 尼康股份有限公司 Substrate separation device, manufacturing method of semiconductor device, load lock device, substrate bonding device and substrate separation method
KR101213052B1 (ko) * 2010-04-08 2012-12-18 주식회사 태성기연 판유리 수납장치
JP2011228337A (ja) * 2010-04-15 2011-11-10 Mitsubishi Electric Corp ウエハ剥がし方法およびウエハ剥がし装置
CN103010747B (zh) * 2011-09-21 2016-04-20 瑞世达科技(厦门)有限公司 传送整合装置及其传送方法
US8777541B2 (en) * 2012-02-07 2014-07-15 Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co., Ltd. Conveyor control apparatus of liquid crystal panel substrates and control method thereof
US9694990B2 (en) * 2012-06-14 2017-07-04 Evatec Ag Transport and handing-over arrangement for disc-shaped substrates, vacuum treatment installation and method for manufacture treated substrates
CN103057945B (zh) * 2012-08-08 2015-07-15 深圳市华星光电技术有限公司 一种多层基板存储装置
US9144901B2 (en) 2012-08-08 2015-09-29 Weibing Yang Storage device for multilayer substrate
CN102879405B (zh) * 2012-09-29 2014-09-24 肇庆中导光电设备有限公司 紧凑型的检测台以及应用该检测台的检测方法
CN103303676B (zh) * 2013-06-18 2015-11-25 深圳市华星光电技术有限公司 一种取放大尺寸液晶基板的自动化设备
CN104016153B (zh) * 2014-06-19 2017-01-18 张家港市超声电气有限公司 分片装置
CN105810628A (zh) * 2014-12-31 2016-07-27 南京瀚宇彩欣科技有限责任公司 衬底支持装置
CN105270697B (zh) * 2015-11-02 2018-10-16 平高集团有限公司 一种包装托盘的拆卸工装
JP6791665B2 (ja) * 2016-06-30 2020-11-25 日本電産サンキョー株式会社 搬送システム
US10322444B2 (en) * 2017-01-17 2019-06-18 Honda Motor Co., Ltd. Apparatus, system, and method for manipulation of nested stamped parts
US10901328B2 (en) * 2018-09-28 2021-01-26 Applied Materials, Inc. Method for fast loading substrates in a flat panel tool
CN111850517B (zh) * 2020-06-30 2022-10-21 北京北方华创微电子装备有限公司 下电极组件及工艺腔室
JP2022059213A (ja) * 2020-10-01 2022-04-13 日本電産サンキョー株式会社 搬送システム
CN112830253A (zh) * 2021-01-04 2021-05-25 广东长虹电子有限公司 一种中转装置

Family Cites Families (25)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US989958A (en) * 1909-10-30 1911-04-18 Hermann Frahm Device for damping vibrations of bodies.
US2797931A (en) * 1953-08-31 1957-07-02 Edmund E Hans Vehicle stabilizing and anti-skidding device
US3945505A (en) * 1974-07-08 1976-03-23 Motorola, Inc. Indexing apparatus
US4986018A (en) * 1987-02-27 1991-01-22 Mcdonald Jr Norman J Stabilizer for reducing the effect resulting from firing a firing weapon
JPH0545588Y2 (ko) * 1988-08-08 1993-11-22
US5275521A (en) * 1991-07-03 1994-01-04 Tokyo Electron Sagami Limited Wafer transfer device
JP3100252B2 (ja) * 1992-05-26 2000-10-16 東京エレクトロン株式会社 被処理体用ボート及びそれを用いた被処理体の移し換え方法ならびに熱処理装置
JP2913439B2 (ja) * 1993-03-18 1999-06-28 東京エレクトロン株式会社 移載装置及び移載方法
JP3947761B2 (ja) * 1996-09-26 2007-07-25 株式会社日立国際電気 基板処理装置、基板搬送機および基板処理方法
US5848670A (en) * 1996-12-04 1998-12-15 Applied Materials, Inc. Lift pin guidance apparatus
JP3977481B2 (ja) 1997-04-11 2007-09-19 淀川ヒューテック株式会社 基板用トレイカセット
US6530994B1 (en) * 1997-08-15 2003-03-11 Micro C Technologies, Inc. Platform for supporting a semiconductor substrate and method of supporting a substrate during rapid high temperature processing
DE59813363D1 (de) * 1997-10-29 2006-04-13 Rohs Voigt Patentverwertungsge Torsionsschwingungsdämpfer
US6309163B1 (en) * 1997-10-30 2001-10-30 Applied Materials, Inc. Wafer positioning device with storage capability
GB2351544B (en) * 1998-03-25 2002-08-21 Luk Lamellen & Kupplungsbau Torsional vibration damper and helical compression spring for a torsional vibration damper
DE19817910B4 (de) * 1998-04-22 2014-11-20 Rohs-Voigt Patentverwertungsgesellschaft Mbh Torsionsschwingungsdämpfer und Verfahren zu dessen Herstellung
US6782544B2 (en) * 1998-06-01 2004-08-24 Microboards Technology, Llc Memory storage disk handling system having a servo-driven elevator pin
US6231716B1 (en) * 1998-11-09 2001-05-15 Applied Materials, Inc. Processing chamber with rapid wafer exchange
JP2001093969A (ja) 1999-09-24 2001-04-06 Advanced Display Inc 基板トレイおよび基板収納方法
JP2001230304A (ja) 2000-02-17 2001-08-24 Tsubakimoto Chain Co 基板センタリング装置
US6935466B2 (en) * 2001-03-01 2005-08-30 Applied Materials, Inc. Lift pin alignment and operation methods and apparatus
US6528427B2 (en) * 2001-03-30 2003-03-04 Lam Research Corporation Methods for reducing contamination of semiconductor substrates
US6717171B2 (en) * 2001-06-05 2004-04-06 Semitool, Inc. Method and apparatus for accessing microelectronic workpiece containers
JP2003156858A (ja) * 2001-11-22 2003-05-30 Tokyo Electron Ltd 基板処理方法及び基板処理システム
US6854948B1 (en) * 2002-08-15 2005-02-15 Nanometrics Incorporated Stage with two substrate buffer station

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR20220114246A (ko) * 2021-02-08 2022-08-17 주식회사 금성산업 배터리용 전극 공급장치

Also Published As

Publication number Publication date
CN1504396A (zh) 2004-06-16
US20040104139A1 (en) 2004-06-03
JP2004186249A (ja) 2004-07-02
JP4270434B2 (ja) 2009-06-03
TWI228483B (en) 2005-03-01
CN1274567C (zh) 2006-09-13
TW200416186A (en) 2004-09-01
KR100586354B1 (ko) 2006-06-08
US7014415B2 (en) 2006-03-21

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100586354B1 (ko) 기판 이송 장치, 상기 기판의 반출 방법 및 상기 기판의 수납 방법
KR100673522B1 (ko) 기판 수납 트레이 팰릿 및 기판이송시스템
KR100615026B1 (ko) 디스플레이용 기판 수납용 트레이, 및 그 디스플레이용기판을 제거하는 장치 및 방법
JP2003243482A (ja) 枚葉基板の移載装置並びにそれに用いる収納装置及びハンド並びにこれらの装置によって取り扱われる枚葉基板
KR100934809B1 (ko) 워크 수납 장치 및 워크 수납 방법
JP2006347752A (ja) 搬送システム
JP2006347753A (ja) 搬送システム
JPH09205127A (ja) 基板搬送方法、基板搬送装置及び処理システム
JP5163860B2 (ja) 基板搬送装置
JP2005311038A (ja) ガラス状板のパレットカセット及びガラス状板の搬入出装置
JPH07263521A (ja) ウェーハ移載の装置と方法並びに半導体装置の製造方法
JP4222612B2 (ja) ディスプレイ用基板の取り出し機構およびディスプレイ用基板の取り出し方法
JP4289093B2 (ja) トレイ搬送システム
JP4257784B2 (ja) 薄板供給装置およびそれを用いた薄板供給方法
JP2007134734A (ja) 液晶基板の搬送装置
JP4269222B2 (ja) トレイ搬送システム
KR100521995B1 (ko) 카세트 탑재장치
CN218309381U (zh) 一种晶圆分选卡塞装置
KR100708216B1 (ko) 기판 적재 장치
KR100542400B1 (ko) 기판 전달 장치
TW202146294A (zh) 托板，玻璃板包裝體和運輸用包裝體
KR100912919B1 (ko) 패널 트레이의 자동 로딩 장치
KR20010060206A (ko) 반도체 세정 장치 및 반도체 세정 방법
KR20040078795A (ko) 기판 이송 카세트
JPH1179126A (ja) 長尺物の取扱い方法及び装置

Legal Events

Date Code Title Description
A201 Request for examination
E902 Notification of reason for refusal
E701 Decision to grant or registration of patent right
GRNT Written decision to grant
FPAY Annual fee payment

Payment date: 20130516

Year of fee payment: 8

FPAY Annual fee payment

Payment date: 20140502

Year of fee payment: 9

LAPS Lapse due to unpaid annual fee