JP2003243482A - 枚葉基板の移載装置並びにそれに用いる収納装置及びハンド並びにこれらの装置によって取り扱われる枚葉基板 - Google Patents
枚葉基板の移載装置並びにそれに用いる収納装置及びハンド並びにこれらの装置によって取り扱われる枚葉基板Info
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 大形のガラス基板等の枚葉基板をその自重に
よる撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する
枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚葉基板
の移載装置を提供すること。 【解決手段】 収納装置１の両側から対向方向にそれぞ
れ支持部を延設する一方、収納装置１に挿入した移載機
のハンド４を前記支持部の間で昇降させることにより枚
葉基板の出し入れを行う枚葉基板５の移載装置におい
て、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形
成した複数の並列する支持部材３ａ、３ｂで構成すると
ともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記
並列する支持部材３ａ、３ｂの間に位置する複数の幅方
向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３
ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結
する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成する。
よる撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する
枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚葉基板
の移載装置を提供すること。 【解決手段】 収納装置１の両側から対向方向にそれぞ
れ支持部を延設する一方、収納装置１に挿入した移載機
のハンド４を前記支持部の間で昇降させることにより枚
葉基板の出し入れを行う枚葉基板５の移載装置におい
て、前記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形
成した複数の並列する支持部材３ａ、３ｂで構成すると
ともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記
並列する支持部材３ａ、３ｂの間に位置する複数の幅方
向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部材３
ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を連結
する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、枚葉基板の移載装
置に関し、特に、大形のガラス基板等の枚葉基板をその
自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起
因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚
葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置に関するも
のである。
置に関し、特に、大形のガラス基板等の枚葉基板をその
自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起
因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚
葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】液晶等のガラス基板は、互いに接触しな
いように分離して収容するために、専用のガラス基板収
納用カセット等の収納装置に収納される。このガラス基
板収納用カセットは、例えば、大形の液晶ガラス基板の
製造ラインにおいて、製造装置間で液晶ガラス基板を搬
送したり、一時貯留する場合に使用される。
いように分離して収容するために、専用のガラス基板収
納用カセット等の収納装置に収納される。このガラス基
板収納用カセットは、例えば、大形の液晶ガラス基板の
製造ラインにおいて、製造装置間で液晶ガラス基板を搬
送したり、一時貯留する場合に使用される。
【０００３】ガラス基板収納用カセットは、図９に示す
ように、箱形のカセット本体１の両側壁２ａ、２ｂから
対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部３ａ’、３
ｂ’を延設するとともに、カセット本体１に挿入した移
載機のハンド４’を支持部３ａ’、３ｂ’の間で昇降さ
せることによりガラス基板５の出し入れを行うようにし
ている。カセット本体１は、二股フォーク状のハンド
４’の昇降を許容するために、カセット本体１の幅方向
中央部に広い空間を必要とし、これにより、支持部３
ａ’、３ｂ’は左右の側壁２ａ、２ｂから比較的短く突
出するように形成されている。
ように、箱形のカセット本体１の両側壁２ａ、２ｂから
対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部３ａ’、３
ｂ’を延設するとともに、カセット本体１に挿入した移
載機のハンド４’を支持部３ａ’、３ｂ’の間で昇降さ
せることによりガラス基板５の出し入れを行うようにし
ている。カセット本体１は、二股フォーク状のハンド
４’の昇降を許容するために、カセット本体１の幅方向
中央部に広い空間を必要とし、これにより、支持部３
ａ’、３ｂ’は左右の側壁２ａ、２ｂから比較的短く突
出するように形成されている。
【０００４】この場合、カセット本体１の中に収納され
たガラス基板５は、カセット本体１の左右の側壁２ａ、
２ｂからそれぞれ延設された支持部３ａ’、３ｂ’に支
持され、収納されたガラス基板５の自重による撓みを小
さくするように配慮されている。
たガラス基板５は、カセット本体１の左右の側壁２ａ、
２ｂからそれぞれ延設された支持部３ａ’、３ｂ’に支
持され、収納されたガラス基板５の自重による撓みを小
さくするように配慮されている。
【０００５】また、カセット本体１へのガラス基板５の
出し入れに使用される移載機のハンド４’は、このハン
ド４’によりガラス基板５を持ち上げた状態でガラス基
板２の撓みが大きくならないように、ハンド４’の幅方
向寸法Ｌが決められている。
出し入れに使用される移載機のハンド４’は、このハン
ド４’によりガラス基板５を持ち上げた状態でガラス基
板２の撓みが大きくならないように、ハンド４’の幅方
向寸法Ｌが決められている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、ガラ
ス基板の大形化、薄形化が進むことにより、剛性の大き
いガラス基板であってもその撓みが過大になるため、上
記従来の支持部の長さが短く制約されるようなガラス基
板収納用カセットや二股フォーク状のハンドでは、ガラ
ス基板の自重による撓みが大きくなり、この撓みにより
ガラス基板自身が大きな曲げ応力を受ける結果、ガラス
基板が変形したり、破損しやすくなるという問題があっ
た。すなわち、図１０に示すように、ガラス基板５のサ
イズが図９の場合よりさらに大きくなると、カセット本
体１に収納されたガラス基板５は、自重により大きな曲
げを受けるが、この曲げを解消するために、支持部３
ａ’、３ｂ’をガラス基板５の幅方向中央部まで延ばそ
うとすると、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小さくしなけ
ればならない。しかし、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小
さくすると、ハンド４’に載せられているガラス基板５
の撓みは、図１０（ｃ）に点線にて示す状態となり、ガ
ラス基板５が大きな曲げを受け、変形したり、破損しや
すくなる。
ス基板の大形化、薄形化が進むことにより、剛性の大き
いガラス基板であってもその撓みが過大になるため、上
記従来の支持部の長さが短く制約されるようなガラス基
板収納用カセットや二股フォーク状のハンドでは、ガラ
ス基板の自重による撓みが大きくなり、この撓みにより
ガラス基板自身が大きな曲げ応力を受ける結果、ガラス
基板が変形したり、破損しやすくなるという問題があっ
た。すなわち、図１０に示すように、ガラス基板５のサ
イズが図９の場合よりさらに大きくなると、カセット本
体１に収納されたガラス基板５は、自重により大きな曲
げを受けるが、この曲げを解消するために、支持部３
ａ’、３ｂ’をガラス基板５の幅方向中央部まで延ばそ
うとすると、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小さくしなけ
ればならない。しかし、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小
さくすると、ハンド４’に載せられているガラス基板５
の撓みは、図１０（ｃ）に点線にて示す状態となり、ガ
ラス基板５が大きな曲げを受け、変形したり、破損しや
すくなる。
【０００７】本発明は、上記従来の枚葉基板の移載装置
が有する問題点に鑑み、大形のガラス基板等の枚葉基板
をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応
力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することがで
きる枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置を提
供することを目的とする。
が有する問題点に鑑み、大形のガラス基板等の枚葉基板
をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応
力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することがで
きる枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両
側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納
装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降
させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の
移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に
間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成す
るとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記
並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハン
ド支持部と、前記対向する支持部材の間に位置し、前記
横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部と
により構成したことを特徴とする。
め、本第１発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両
側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納
装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降
させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の
移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に
間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成す
るとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記
並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハン
ド支持部と、前記対向する支持部材の間に位置し、前記
横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部と
により構成したことを特徴とする。
【０００９】この場合において、前記ハンドを、ハンド
の昇降位置で、前記並列する支持部の間隙を通過可能な
複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を
各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハ
ンド支持部とにより構成することができる。
の昇降位置で、前記並列する支持部の間隙を通過可能な
複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を
各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハ
ンド支持部とにより構成することができる。
【００１０】また、同じ目的を達成するため、本第２発
明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方
向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入し
た移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることに
より枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置にお
いて、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設すると
ともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列
する支持部間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部
と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設
けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したこ
とを特徴とする。
明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方
向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入し
た移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることに
より枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置にお
いて、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設すると
ともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列
する支持部間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部
と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設
けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したこ
とを特徴とする。
【００１１】また、同じ目的を達成するため、本第３発
明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方
向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入し
た移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることに
より枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置にお
いて、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設すると
ともに、前記ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した
１対の幅広の縦ハンド支持部により構成したことを特徴
とする。
明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方
向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入し
た移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることに
より枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置にお
いて、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設すると
ともに、前記ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した
１対の幅広の縦ハンド支持部により構成したことを特徴
とする。
【００１２】さらに、上記本第１発明の枚葉基板の移載
装置に用いられる収納装置は、収納装置の両側から対向
方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入
した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させること
により枚葉基板の出し入れを行う収納装置において、前
記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した
複数の並列する支持部材で構成するとともに、対向する
支持部材間に、ハンドの昇降位置で前記並列する支持部
材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部を連結
する長さ方向の縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設け
て形成したことを特徴とする。
装置に用いられる収納装置は、収納装置の両側から対向
方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入
した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させること
により枚葉基板の出し入れを行う収納装置において、前
記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した
複数の並列する支持部材で構成するとともに、対向する
支持部材間に、ハンドの昇降位置で前記並列する支持部
材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部を連結
する長さ方向の縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設け
て形成したことを特徴とする。
【００１３】この場合において、前記支持部を同形状に
形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に形成す
ることができる。
形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に形成す
ることができる。
【００１４】そして、１対の幅広の縦ハンド支持部の間
に補助縦ハンド支持部を並設するようにしたり、収納装
置の両側から対向方向に延設した支持部の中間位置に補
助支持部を並設することができる。
に補助縦ハンド支持部を並設するようにしたり、収納装
置の両側から対向方向に延設した支持部の中間位置に補
助支持部を並設することができる。
【００１５】また、支持部の上面に、枚葉基板を直接支
持する緩衝部材を設けることができる。
持する緩衝部材を設けることができる。
【００１６】この枚葉基板の移載装置及びそれに用いる
収納装置は、収納装置の支持部又は移載機のハンド支持
部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広い範囲に拡大
することができ、大形の枚葉基板をその自重による撓み
量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板
の変形や破損を防止することができる。
収納装置は、収納装置の支持部又は移載機のハンド支持
部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広い範囲に拡大
することができ、大形の枚葉基板をその自重による撓み
量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板
の変形や破損を防止することができる。
【００１７】そして、特に、移載機のハンドを、幅方向
に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部により構
成したことから、ハンドの厚さを薄く形成してもハンド
の剛性を高めることが可能となり、ハンドの挿入スペー
スを低減して収納装置単位容量当たりの枚葉基板の収納
枚数を増大することができる。
に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部により構
成したことから、ハンドの厚さを薄く形成してもハンド
の剛性を高めることが可能となり、ハンドの挿入スペー
スを低減して収納装置単位容量当たりの枚葉基板の収納
枚数を増大することができる。
【００１８】また、前記支持部を同形状に形成して、収
納装置の内部に上下に複数、段状に配設することによ
り、多数のガラス基板をカセットに収納することができ
る。
納装置の内部に上下に複数、段状に配設することによ
り、多数のガラス基板をカセットに収納することができ
る。
【００１９】また、補助縦ハンド支持部や補助支持部を
並設することにより、より大形の枚葉基板の取り扱いが
可能となる。
並設することにより、より大形の枚葉基板の取り扱いが
可能となる。
【００２０】さらに、支持部の上面に、枚葉基板を直接
支持する緩衝部材を設けることにより、枚葉基板の受け
渡しを円滑に行うことができる。
支持する緩衝部材を設けることにより、枚葉基板の受け
渡しを円滑に行うことができる。
【００２１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の枚葉基板の移載装
置及びそれに用いる収納装置の実施の形態を、図面に基
づいて、ガラス基板を移載対象物とする例について説明
する。
置及びそれに用いる収納装置の実施の形態を、図面に基
づいて、ガラス基板を移載対象物とする例について説明
する。
【００２２】図１〜図２に、本発明の枚葉基板の移載装
置及びそれに用いる収納装置の第１実施例を示す。この
枚葉基板の移載装置は、別の移載装置と組み合わせて使
用されるもので、収納装置としての箱形のカセット本体
１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数
の並列する支持部材３ａ、３ｂを延設するとともに、カ
セット本体１に挿入した移載機４０のハンド４を、支持
部材３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板
５の出し入れを行うように構成されている。そして、本
実施例では、かかる枚葉基板の移載装置において、前記
ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部
材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するととも
に、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列
する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に位置する複数
の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部
材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を
連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成し
ている。さらに、この枚葉基板の移載装置では、前記支
持部材３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１
の内部に上下に複数、段状に配設している。
置及びそれに用いる収納装置の第１実施例を示す。この
枚葉基板の移載装置は、別の移載装置と組み合わせて使
用されるもので、収納装置としての箱形のカセット本体
１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数
の並列する支持部材３ａ、３ｂを延設するとともに、カ
セット本体１に挿入した移載機４０のハンド４を、支持
部材３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板
５の出し入れを行うように構成されている。そして、本
実施例では、かかる枚葉基板の移載装置において、前記
ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部
材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するととも
に、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列
する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に位置する複数
の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部
材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を
連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成し
ている。さらに、この枚葉基板の移載装置では、前記支
持部材３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１
の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００２３】支持部材３ａ、３ｂは、図１（ａ）に示す
ように、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、
同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの
支持部材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるよう
に、５本ずつの支持部材３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、
２ｂにそれぞれ並列に配設されている。そして、左右の
側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂは、それぞれカセ
ット本体１の幅方向中央付近まで水平に延設されてい
る。また、図１（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３
ｂの上部には、ガラス基板５を直接支持する、例えば、
合成ゴム等の弾性体等で形成した突起状（又は突条状）
の緩衝部材６が設けられており、この実施例では左右１
対の支持部材３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央
付近の２点と端部付近の２点の４点で支持するようにし
ているが、６点以上で支持することも可能である。かく
して、このカセット本体１の幅方向中央付近まで延長さ
れた支持部材３ａ、３ｂは、ガラス基板５の自重による
撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の
曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止すること
ができる。
ように、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、
同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの
支持部材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるよう
に、５本ずつの支持部材３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、
２ｂにそれぞれ並列に配設されている。そして、左右の
側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂは、それぞれカセ
ット本体１の幅方向中央付近まで水平に延設されてい
る。また、図１（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３
ｂの上部には、ガラス基板５を直接支持する、例えば、
合成ゴム等の弾性体等で形成した突起状（又は突条状）
の緩衝部材６が設けられており、この実施例では左右１
対の支持部材３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央
付近の２点と端部付近の２点の４点で支持するようにし
ているが、６点以上で支持することも可能である。かく
して、このカセット本体１の幅方向中央付近まで延長さ
れた支持部材３ａ、３ｂは、ガラス基板５の自重による
撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の
曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止すること
ができる。
【００２４】また、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されており、また、これ
らの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハン
ド４の昇降位置で支持部材３ａ、３ｂと干渉しない位置
に形成されている。横ハンド支持部４１は、カセット本
体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近まで
それぞれ延設された板状のものからなる。縦ハンド支持
部４２は、カセット本体１の幅方向中央部で上記複数の
横ハンド支持部４１を連結する長尺の板状のものからな
る。ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と縦ハ
ンド支持部４２を備えることにより、大型のガラス基板
５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、
搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止
することができる。
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されており、また、これ
らの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハン
ド４の昇降位置で支持部材３ａ、３ｂと干渉しない位置
に形成されている。横ハンド支持部４１は、カセット本
体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近まで
それぞれ延設された板状のものからなる。縦ハンド支持
部４２は、カセット本体１の幅方向中央部で上記複数の
横ハンド支持部４１を連結する長尺の板状のものからな
る。ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と縦ハ
ンド支持部４２を備えることにより、大型のガラス基板
５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、
搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止
することができる。
【００２５】そして、本実施例の枚葉基板の移載装置で
は、図１に示すように、ガラス基板５を支持する支持部
材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定
の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、
ハンド４の挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持
部材３ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１
と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前
記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２と
により構成したことから、前記支持部材３ａ、３ｂをガ
ラス基板５の中央部付近まで延設することができ、これ
により、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が
小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に起因する
ガラス基板５の破損を防止することができる。
は、図１に示すように、ガラス基板５を支持する支持部
材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定
の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、
ハンド４の挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持
部材３ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１
と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前
記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２と
により構成したことから、前記支持部材３ａ、３ｂをガ
ラス基板５の中央部付近まで延設することができ、これ
により、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が
小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に起因する
ガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２６】さらに、移載機のハンド４を、ハンド４の
挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの
間に配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、
前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前記横
ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とによ
り形成したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラ
ス基板５の端部付近まで大きくすることができ、これに
より、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小
さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガ
ラス基板５の破損を防止することができる。
挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの
間に配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、
前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前記横
ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とによ
り形成したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラ
ス基板５の端部付近まで大きくすることができ、これに
より、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小
さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガ
ラス基板５の破損を防止することができる。
【００２７】ちなみに、本実施例の枚葉基板の移載装置
では、サイズが１２００×１０００ミリ程度、さらに必
要に応じて、２０００×１７００ミリ以上の液晶ガラス
基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
では、サイズが１２００×１０００ミリ程度、さらに必
要に応じて、２０００×１７００ミリ以上の液晶ガラス
基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
【００２８】次に、図３を参照して、本発明の枚葉基板
の移載装置及びそれに用いる収納装置の第２実施例を説
明する。この第２実施例の移載装置と組み合わされる枚
葉基板の移載装置は、第１実施例と同様に、箱形のカセ
ット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれ
ぞれ複数の並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂを延
設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機のハ
ンド４を、支持部材３ａ、３ｂの間で昇降させることに
よりガラス基板５の出し入れを行うように構成されてい
る。そして、前記ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂ
を、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設
けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇
降位置で、前記並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂ
の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、
前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横
ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部
４２とにより構成している。さらに、前記支持部材３
ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に
上下に複数、段状に配設している。
の移載装置及びそれに用いる収納装置の第２実施例を説
明する。この第２実施例の移載装置と組み合わされる枚
葉基板の移載装置は、第１実施例と同様に、箱形のカセ
ット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれ
ぞれ複数の並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂを延
設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機のハ
ンド４を、支持部材３ａ、３ｂの間で昇降させることに
よりガラス基板５の出し入れを行うように構成されてい
る。そして、前記ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂ
を、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設
けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇
降位置で、前記並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂ
の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、
前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横
ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部
４２とにより構成している。さらに、前記支持部材３
ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に
上下に複数、段状に配設している。
【００２９】支持部材３ａ、３ｂは、図３（ａ）に示す
ように、ガラス基板５を水平に支持するために、同一平
面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部
材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５
本ずつの支持部材３ａ又は支持部材３ｂが並列に配設さ
れている。そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３
ａ、３ｂは、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間
隙７を有するように形成されるが、この間隙７の位置が
カセット本体１の開口部１ａから奥行き方向に交互に左
右にずれている。すなわち、開口部１ａから１番目、３
番目及び５番目の支持部材３ａ、３ｂでは、左の側壁２
ａの支持部材３ａが右の側壁２ｂの支持部材３ｂより長
く形成されるとともに、２番目及び４番目の支持部材３
ａ、３ｂでは、右の側壁２ｂの支持部材３ｂが左の側壁
２ａの支持部材３ａより長く形成されている。なお、図
３（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３ｂの上部に
は、第１実施例と同様に、ガラス基板５を直接支持する
緩衝部材が設けられている。この交互に延長された支持
部材３ａ、３ｂは、支持部材３ａ、３ｂ間の間隙７の位
置を分散させることにより、さらにガラス基板５の自重
による撓み量を小さくすることができ、これにより、収
納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止す
ることができる。
ように、ガラス基板５を水平に支持するために、同一平
面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部
材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５
本ずつの支持部材３ａ又は支持部材３ｂが並列に配設さ
れている。そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３
ａ、３ｂは、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間
隙７を有するように形成されるが、この間隙７の位置が
カセット本体１の開口部１ａから奥行き方向に交互に左
右にずれている。すなわち、開口部１ａから１番目、３
番目及び５番目の支持部材３ａ、３ｂでは、左の側壁２
ａの支持部材３ａが右の側壁２ｂの支持部材３ｂより長
く形成されるとともに、２番目及び４番目の支持部材３
ａ、３ｂでは、右の側壁２ｂの支持部材３ｂが左の側壁
２ａの支持部材３ａより長く形成されている。なお、図
３（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３ｂの上部に
は、第１実施例と同様に、ガラス基板５を直接支持する
緩衝部材が設けられている。この交互に延長された支持
部材３ａ、３ｂは、支持部材３ａ、３ｂ間の間隙７の位
置を分散させることにより、さらにガラス基板５の自重
による撓み量を小さくすることができ、これにより、収
納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止す
ることができる。
【００３０】一方、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されている。横ハンド支
持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の
側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のもの
からなる。縦ハンド支持部４２は、支持部材３ａ、３ｂ
間の間隙７の位置で、上記複数の横ハンド支持部４１を
ジグザグ状に連結する長さ方向の板状のものからなる。
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と、位置を
交互にずらせた縦ハンド支持部４２を備えることによ
り、さらにガラス基板５の自重による撓み量を小さくす
ることができ、これにより、移載時の曲げ応力に起因す
るガラス基板５の破損を防止することができる。
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されている。横ハンド支
持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の
側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のもの
からなる。縦ハンド支持部４２は、支持部材３ａ、３ｂ
間の間隙７の位置で、上記複数の横ハンド支持部４１を
ジグザグ状に連結する長さ方向の板状のものからなる。
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と、位置を
交互にずらせた縦ハンド支持部４２を備えることによ
り、さらにガラス基板５の自重による撓み量を小さくす
ることができ、これにより、移載時の曲げ応力に起因す
るガラス基板５の破損を防止することができる。
【００３１】次に、図４〜図５に、本発明の枚葉基板の
移載装置及びそれに用いる収納装置の第３実施例を示
す。この枚葉基板の移載装置は、ガラス基板を対象と
し、別の移載装置と組み合わせて使用されるもので、収
納装置としての箱形のカセット本体１の左右両側壁２
ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部
３ａ、３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入
した移載機（図示省略）のハンド４を支持部３ａ、３ｂ
の間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを
行うように構成されている。
移載装置及びそれに用いる収納装置の第３実施例を示
す。この枚葉基板の移載装置は、ガラス基板を対象と
し、別の移載装置と組み合わせて使用されるもので、収
納装置としての箱形のカセット本体１の左右両側壁２
ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部
３ａ、３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入
した移載機（図示省略）のハンド４を支持部３ａ、３ｂ
の間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを
行うように構成されている。
【００３２】そして、本実施例では、かかる枚葉基板の
移載装置において、ガラス基板５の支持部３ａ、３ｂ
を、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定寸法の間隙７を
設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の
昇降位置で、前記並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの
間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部４１
と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に間隙をあけて
並設され、左右の横ハンド支持部４１を各々連結する幅
方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部４２
とにより構成している。また、この枚葉基板の移載装置
では、前記支持部３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセ
ット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
移載装置において、ガラス基板５の支持部３ａ、３ｂ
を、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定寸法の間隙７を
設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の
昇降位置で、前記並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの
間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部４１
と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に間隙をあけて
並設され、左右の横ハンド支持部４１を各々連結する幅
方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部４２
とにより構成している。また、この枚葉基板の移載装置
では、前記支持部３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセ
ット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００３３】支持部３ａ、３ｂは、図４（ａ）に示すよ
うに、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、同
一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支
持部３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、
５本ずつの支持部３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、２ｂに
それぞれ並列に配設されている。そして、左右の側壁２
ａ、２ｂの支持部３ａ、３ｂは、それぞれカセット本体
１の幅方向中央付近まで水平に延設されている。
うに、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、同
一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支
持部３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、
５本ずつの支持部３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、２ｂに
それぞれ並列に配設されている。そして、左右の側壁２
ａ、２ｂの支持部３ａ、３ｂは、それぞれカセット本体
１の幅方向中央付近まで水平に延設されている。
【００３４】また、図４（ｂ）に示すように、支持部３
ａ、３ｂの上面には、ガラス基板５を直接支持する緩衝
部材６が設けられており、この実施例では左右１対の支
持部３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央付近の２
点と端部付近の２点の４点で支持するようにしている
が、６点以上で支持することも可能である。
ａ、３ｂの上面には、ガラス基板５を直接支持する緩衝
部材６が設けられており、この実施例では左右１対の支
持部３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央付近の２
点と端部付近の２点の４点で支持するようにしている
が、６点以上で支持することも可能である。
【００３５】かくして、このカセット本体１の幅方向中
央付近まで延長された支持部３ａ、３ｂは、ガラス基板
５の自重による撓み量を小さくすることができ、これに
より、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形
や破損を防止することができるものとなる。
央付近まで延長された支持部３ａ、３ｂは、ガラス基板
５の自重による撓み量を小さくすることができ、これに
より、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形
や破損を防止することができるものとなる。
【００３６】また、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されており、また、これ
らの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハン
ド４の昇降位置で支持部３ａ、３ｂと干渉しない位置に
形成されている。
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されており、また、これ
らの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハン
ド４の昇降位置で支持部３ａ、３ｂと干渉しない位置に
形成されている。
【００３７】横ハンド支持部４１は、カセット本体１の
幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞ
れ延設された板状のものからなる。
幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞ
れ延設された板状のものからなる。
【００３８】縦ハンド支持部４２は、幅方向に所定寸法
の間隙を設けて並設された１対の長尺板からなり、各々
の縦ハンド支持部４２が、左右の横ハンド支持部４１を
それぞれ連結している。
の間隙を設けて並設された１対の長尺板からなり、各々
の縦ハンド支持部４２が、左右の横ハンド支持部４１を
それぞれ連結している。
【００３９】ハンド４は、このような横ハンド支持部４
１と縦ハンド支持部４２を備えることにより、大形のガ
ラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように
移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変
形や破損を防止することができる。
１と縦ハンド支持部４２を備えることにより、大形のガ
ラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように
移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変
形や破損を防止することができる。
【００４０】このように、本実施例の枚葉基板の移載装
置では、図４に示すように、ガラス基板５を支持する支
持部３ａ、３ｂを、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定
寸法の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４
を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部３ａ又は３
ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１と、前記
対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド
支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより構成
したことから、前記支持部３ａ、３ｂをガラス基板５の
中央部付近まで延設することができ、これにより、大形
のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるよ
うに収容し、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５
の変形や破損を防止することができる。
置では、図４に示すように、ガラス基板５を支持する支
持部３ａ、３ｂを、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定
寸法の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４
を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部３ａ又は３
ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１と、前記
対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド
支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより構成
したことから、前記支持部３ａ、３ｂをガラス基板５の
中央部付近まで延設することができ、これにより、大形
のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるよ
うに収容し、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５
の変形や破損を防止することができる。
【００４１】そして、移載機のハンド４を、ハンド４の
挿入位置で、並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの間に
配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記
対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド
支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより形成
したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラス基板
５の端部付近まで大きくすることができ、これにより、
大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくな
るように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基
板５の変形や破損を防止することができる。
挿入位置で、並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの間に
配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記
対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド
支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより形成
したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラス基板
５の端部付近まで大きくすることができ、これにより、
大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくな
るように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基
板５の変形や破損を防止することができる。
【００４２】ちなみに、本実施例の枚葉基板の移載装置
では、サイズが１２００×１０００ミリ程度、さらに必
要に応じて、２０００×１７００ミリ以上の液晶ガラス
基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
では、サイズが１２００×１０００ミリ程度、さらに必
要に応じて、２０００×１７００ミリ以上の液晶ガラス
基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
【００４３】また、ハンド４の縦ハンド支持部４２を左
右に分割するように形成したことにより、各縦ハンド支
持部４２の負荷を軽減して、ハンド４の剛性を高めると
ともに、例えば、図５及び図６に示すような、収納装置
として中央に縦に補助支持部８１を備えるような台座８
にも対応してガラス基板５の移載を行うことができる。
この台座８は、ガラス基板５を左右の支持部８２と中央
の補助支持部８１とで支持するもので、図６は、幅方向
に間隙を設けて並設した１対の幅広（ガラス基板５の幅
寸法Ｌ０のそれぞれ２０％以上の幅方向寸法Ｌ１を有す
る）の縦ハンド支持部４３によるガラス基板５の台座８
への移載状態を示しており、この実施例に示すように、
縦ハンド支持部４３を幅広に形成した場合には、横ハン
ド支持部４１を省略することができる。
右に分割するように形成したことにより、各縦ハンド支
持部４２の負荷を軽減して、ハンド４の剛性を高めると
ともに、例えば、図５及び図６に示すような、収納装置
として中央に縦に補助支持部８１を備えるような台座８
にも対応してガラス基板５の移載を行うことができる。
この台座８は、ガラス基板５を左右の支持部８２と中央
の補助支持部８１とで支持するもので、図６は、幅方向
に間隙を設けて並設した１対の幅広（ガラス基板５の幅
寸法Ｌ０のそれぞれ２０％以上の幅方向寸法Ｌ１を有す
る）の縦ハンド支持部４３によるガラス基板５の台座８
への移載状態を示しており、この実施例に示すように、
縦ハンド支持部４３を幅広に形成した場合には、横ハン
ド支持部４１を省略することができる。
【００４４】このほか、図７及び図８に示すように、１
対の幅広の縦ハンド支持部４２の間に、１本又はそれ以
上の補助縦ハンド支持部４２ａを並設するようにした
り、収納装置としてのカセット本体１や台座８の両側か
ら対向方向に延設した支持部２ａ、２ｂ、８２の中間位
置に、１本又はそれ以上の補助支持部２ｃ、２ｄ、８１
を並設することができる。このように、補助縦ハンド支
持部４２ａや補助支持部２ｃ、２ｄ、８１を並設するこ
とにより、より大形のガラス基板５の取り扱いが可能と
なる。
対の幅広の縦ハンド支持部４２の間に、１本又はそれ以
上の補助縦ハンド支持部４２ａを並設するようにした
り、収納装置としてのカセット本体１や台座８の両側か
ら対向方向に延設した支持部２ａ、２ｂ、８２の中間位
置に、１本又はそれ以上の補助支持部２ｃ、２ｄ、８１
を並設することができる。このように、補助縦ハンド支
持部４２ａや補助支持部２ｃ、２ｄ、８１を並設するこ
とにより、より大形のガラス基板５の取り扱いが可能と
なる。
【００４５】以上、本発明の枚葉基板の移載装置につい
て、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記
実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実
施例に記載した構成を適宜組み合わせる（収納装置とし
てのカセット本体の構成を台座に適用したり、逆に、台
座の構成をカセット本体に適用する等、その趣旨を逸脱
しない範囲において適宜その構成を変更することがで
き、また、移載機との間で枚葉基板を受け渡しを行う装
置もカセットや台座に限定されず、さらに、移載対象も
ガラス基板以外の枚葉基板に広く適用できるものであ
る。
て、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記
実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実
施例に記載した構成を適宜組み合わせる（収納装置とし
てのカセット本体の構成を台座に適用したり、逆に、台
座の構成をカセット本体に適用する等、その趣旨を逸脱
しない範囲において適宜その構成を変更することがで
き、また、移載機との間で枚葉基板を受け渡しを行う装
置もカセットや台座に限定されず、さらに、移載対象も
ガラス基板以外の枚葉基板に広く適用できるものであ
る。
【００４６】
【発明の効果】本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに
用いる収納装置によれば、収納装置の支持部又は移載機
のハンド支持部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広
い範囲に拡大することができ、大形の枚葉基板をその自
重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因
する枚葉基板の変形や破損を防止することができ、これ
により、高品質の枚葉基板加工製品を得ることができ
る。
用いる収納装置によれば、収納装置の支持部又は移載機
のハンド支持部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広
い範囲に拡大することができ、大形の枚葉基板をその自
重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因
する枚葉基板の変形や破損を防止することができ、これ
により、高品質の枚葉基板加工製品を得ることができ
る。
【図１】本発明の枚葉基板の移載装置の第１実施例を示
し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
【図２】同実施例の枚葉基板の移載装置を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】本発明の枚葉基板の移載装置の第２実施例を示
し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
【図４】本発明の枚葉基板の移載装置の第３実施例の移
載装置によるカセット本体への移載状態を示し、（ａ）
は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハ
ンドの縦ハンド支持部の側面図である。
載装置によるカセット本体への移載状態を示し、（ａ）
は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハ
ンドの縦ハンド支持部の側面図である。
【図５】同移載装置による台座への移載状態を示し、
（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
【図６】本発明の枚葉基板の移載装置の第４実施例の移
載装置による台座への移載状態を示し、（ａ）はその平
面図、（ｂ）はその正面図である。
載装置による台座への移載状態を示し、（ａ）はその平
面図、（ｂ）はその正面図である。
【図７】本発明の枚葉基板の移載装置の第５実施例の移
載装置によるカセット本体への移載状態を示す天板を省
略した平面図である。
載装置によるカセット本体への移載状態を示す天板を省
略した平面図である。
【図８】同移載装置による台座への移載状態を示す平面
図である。
図である。
【図９】従来の枚葉基板の移載装置を示し、（ａ）は天
板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンド
の幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関係を示す説明図
である。
板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンド
の幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関係を示す説明図
である。
【図１０】従来の大型枚葉基板の移載装置を示し、
（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）はハンドの幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関
係を示す説明図である。
（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）はハンドの幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関
係を示す説明図である。
１ カセット本体（収納装置）
１ａ 開口部
２ａ 左の側壁
２ｂ 右の側壁
２ｃ 補助支持部
３ａ 左の支持部
３ｂ 右の支持部
４ ハンド
４０ 移載機
４１ 横ハンド支持部
４２ 縦ハンド支持部
４２ａ 補助縦ハンド支持部
４３ 縦ハンド支持部
５ ガラス基板（枚葉基板）
６ 緩衝部材
７ 間隙
８ 台座（収納装置）
８１ 中央の補助支持部
８２ 左右の支持部
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１５年６月１０日（２００３．６．１
０）
０）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】全文
【補正方法】変更
【補正内容】
【書類名】 明細書
【発明の名称】 枚葉基板の移載装置並びにそれに用い
る収納装置及びハンド並びにこれらの装置によって取り
扱われる枚葉基板
る収納装置及びハンド並びにこれらの装置によって取り
扱われる枚葉基板
【特許請求の範囲】
【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、枚葉基板の移載装
置に関し、特に、大形のガラス基板等の枚葉基板をその
自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起
因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚
葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置に関するも
のである。
置に関し、特に、大形のガラス基板等の枚葉基板をその
自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起
因する枚葉基板の変形や破損を防止することができる枚
葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置に関するも
のである。
【０００２】
【従来の技術】液晶等のガラス基板は、互いに接触しな
いように分離して収容するために、専用のガラス基板収
納用カセット等の収納装置に収納される。このガラス基
板収納用カセットは、例えば、大形の液晶ガラス基板の
製造ラインにおいて、製造装置間で液晶ガラス基板を搬
送したり、一時貯留する場合に使用される。
いように分離して収容するために、専用のガラス基板収
納用カセット等の収納装置に収納される。このガラス基
板収納用カセットは、例えば、大形の液晶ガラス基板の
製造ラインにおいて、製造装置間で液晶ガラス基板を搬
送したり、一時貯留する場合に使用される。
【０００３】ガラス基板収納用カセットは、図９に示す
ように、箱形のカセット本体１の両側壁２ａ、２ｂから
対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部３ａ’、３
ｂ’を延設するとともに、カセット本体１に挿入した移
載機のハンド４’を支持部３ａ’、３ｂ’の間で昇降さ
せることによりガラス基板５の出し入れを行うようにし
ている。カセット本体１は、二股フォーク状のハンド
４’の昇降を許容するために、カセット本体１の幅方向
中央部に広い空間を必要とし、これにより、支持部３
ａ’、３ｂ’は左右の側壁２ａ、２ｂから比較的短く突
出するように形成されている。
ように、箱形のカセット本体１の両側壁２ａ、２ｂから
対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部３ａ’、３
ｂ’を延設するとともに、カセット本体１に挿入した移
載機のハンド４’を支持部３ａ’、３ｂ’の間で昇降さ
せることによりガラス基板５の出し入れを行うようにし
ている。カセット本体１は、二股フォーク状のハンド
４’の昇降を許容するために、カセット本体１の幅方向
中央部に広い空間を必要とし、これにより、支持部３
ａ’、３ｂ’は左右の側壁２ａ、２ｂから比較的短く突
出するように形成されている。
【０００４】この場合、カセット本体１の中に収納され
たガラス基板５は、カセット本体１の左右の側壁２ａ、
２ｂからそれぞれ延設された支持部３ａ’、３ｂ’に支
持され、収納されたガラス基板５の自重による撓みを小
さくするように配慮されている。
たガラス基板５は、カセット本体１の左右の側壁２ａ、
２ｂからそれぞれ延設された支持部３ａ’、３ｂ’に支
持され、収納されたガラス基板５の自重による撓みを小
さくするように配慮されている。
【０００５】また、カセット本体１へのガラス基板５の
出し入れに使用される移載機のハンド４’は、このハン
ド４’によりガラス基板５を持ち上げた状態でガラス基
板２の撓みが大きくならないように、ハンド４’の幅方
向寸法Ｌが決められている。
出し入れに使用される移載機のハンド４’は、このハン
ド４’によりガラス基板５を持ち上げた状態でガラス基
板２の撓みが大きくならないように、ハンド４’の幅方
向寸法Ｌが決められている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところが、近年、ガラ
ス基板の大形化、薄形化が進むことにより、剛性の大き
いガラス基板であってもその撓みが過大になるため、上
記従来の支持部の長さが短く制約されるようなガラス基
板収納用カセットや二股フォーク状のハンドでは、ガラ
ス基板の自重による撓みが大きくなり、この撓みにより
ガラス基板自身が大きな曲げ応力を受ける結果、ガラス
基板が変形したり、破損しやすくなるという問題があっ
た。すなわち、図１０に示すように、ガラス基板５のサ
イズが図９の場合よりさらに大きくなると、カセット本
体１に収納されたガラス基板５は、自重により大きな曲
げを受けるが、この曲げを解消するために、支持部３
ａ’、３ｂ’をガラス基板５の幅方向中央部まで延ばそ
うとすると、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小さくしなけ
ればならない。しかし、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小
さくすると、ハンド４’に載せられているガラス基板５
の撓みは、図１０（ｃ）に点線にて示す状態となり、ガ
ラス基板５が大きな曲げを受け、変形したり、破損しや
すくなる。
ス基板の大形化、薄形化が進むことにより、剛性の大き
いガラス基板であってもその撓みが過大になるため、上
記従来の支持部の長さが短く制約されるようなガラス基
板収納用カセットや二股フォーク状のハンドでは、ガラ
ス基板の自重による撓みが大きくなり、この撓みにより
ガラス基板自身が大きな曲げ応力を受ける結果、ガラス
基板が変形したり、破損しやすくなるという問題があっ
た。すなわち、図１０に示すように、ガラス基板５のサ
イズが図９の場合よりさらに大きくなると、カセット本
体１に収納されたガラス基板５は、自重により大きな曲
げを受けるが、この曲げを解消するために、支持部３
ａ’、３ｂ’をガラス基板５の幅方向中央部まで延ばそ
うとすると、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小さくしなけ
ればならない。しかし、ハンド４’の幅方向寸法Ｌを小
さくすると、ハンド４’に載せられているガラス基板５
の撓みは、図１０（ｃ）に点線にて示す状態となり、ガ
ラス基板５が大きな曲げを受け、変形したり、破損しや
すくなる。
【０００７】本発明は、上記従来の枚葉基板の移載装置
が有する問題点に鑑み、大形のガラス基板等の枚葉基板
をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応
力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することがで
きる枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置を提
供することを目的とする。
が有する問題点に鑑み、大形のガラス基板等の枚葉基板
をその自重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応
力に起因する枚葉基板の変形や破損を防止することがで
きる枚葉基板の移載装置及びそれに用いる収納装置を提
供することを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本第１発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両
側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納
装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降
させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の
移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に
間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成す
るとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記
並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハン
ド支持部と、前記対向する支持部材の間に位置し、前記
横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部と
により構成したことを特徴とする。
め、本第１発明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両
側から対向方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納
装置に挿入した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降
させることにより枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の
移載装置において、前記支持部を、対向する支持部間に
間隙を設けて形成した複数の並列する支持部材で構成す
るとともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記
並列する支持部材の間に位置する複数の幅方向の横ハン
ド支持部と、前記対向する支持部材の間に位置し、前記
横ハンド支持部を連結する長さ方向の縦ハンド支持部と
により構成したことを特徴とする。
【０００９】この場合において、前記ハンドを、ハンド
の昇降位置で、前記並列する支持部の間隙を通過可能な
複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を
各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハ
ンド支持部とにより構成することができる。
の昇降位置で、前記並列する支持部の間隙を通過可能な
複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハンド支持部を
各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハ
ンド支持部とにより構成することができる。
【００１０】また、同じ目的を達成するため、本第２発
明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方
向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入し
た移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることに
より枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置にお
いて、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設すると
ともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列
する支持部間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部
と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設
けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したこ
とを特徴とする。
明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方
向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入し
た移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることに
より枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置にお
いて、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設すると
ともに、前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列
する支持部間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部
と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設
けて並設した１対の縦ハンド支持部とにより構成したこ
とを特徴とする。
【００１１】また、同じ目的を達成するため、本第３発
明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方
向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入し
た移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることに
より枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置にお
いて、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設すると
ともに、前記ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した
１対の幅広の縦ハンド支持部により構成したことを特徴
とする。
明の枚葉基板の移載装置は、収納装置の両側から対向方
向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入し
た移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させることに
より枚葉基板の出し入れを行う枚葉基板の移載装置にお
いて、前記支持部の中間位置に補助支持部を並設すると
ともに、前記ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した
１対の幅広の縦ハンド支持部により構成したことを特徴
とする。
【００１２】さらに、上記本第１発明の枚葉基板の移載
装置に用いられる収納装置は、収納装置の両側から対向
方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入
した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させること
により枚葉基板の出し入れを行う収納装置において、前
記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した
複数の並列する支持部材で構成するとともに、対向する
支持部材間に、ハンドの昇降位置で前記並列する支持部
材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部を連結
する長さ方向の縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設け
て形成したことを特徴とする。
装置に用いられる収納装置は、収納装置の両側から対向
方向にそれぞれ支持部を延設する一方、収納装置に挿入
した移載機のハンドを前記支持部の間で昇降させること
により枚葉基板の出し入れを行う収納装置において、前
記支持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した
複数の並列する支持部材で構成するとともに、対向する
支持部材間に、ハンドの昇降位置で前記並列する支持部
材の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部を連結
する長さ方向の縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設け
て形成したことを特徴とする。
【００１３】この場合において、前記支持部を同形状に
形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に形成す
ることができる。
形成して、収納装置の内部に上下に複数、段状に形成す
ることができる。
【００１４】そして、１対の幅広の縦ハンド支持部の間
に補助縦ハンド支持部を並設するようにしたり、収納装
置の両側から対向方向に延設した支持部の中間位置に補
助支持部を並設することができる。
に補助縦ハンド支持部を並設するようにしたり、収納装
置の両側から対向方向に延設した支持部の中間位置に補
助支持部を並設することができる。
【００１５】また、支持部の上面に、枚葉基板を直接支
持する緩衝部材を設けることができる。
持する緩衝部材を設けることができる。
【００１６】この枚葉基板の移載装置及びそれに用いる
収納装置は、収納装置の支持部又は移載機のハンド支持
部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広い範囲に拡大
することができ、大形の枚葉基板をその自重による撓み
量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板
の変形や破損を防止することができる。
収納装置は、収納装置の支持部又は移載機のハンド支持
部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広い範囲に拡大
することができ、大形の枚葉基板をその自重による撓み
量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因する枚葉基板
の変形や破損を防止することができる。
【００１７】そして、特に、移載機のハンドを、幅方向
に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部により構
成したことから、ハンドの厚さを薄く形成してもハンド
の剛性を高めることが可能となり、ハンドの挿入スペー
スを低減して収納装置単位容量当たりの枚葉基板の収納
枚数を増大することができる。
に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部により構
成したことから、ハンドの厚さを薄く形成してもハンド
の剛性を高めることが可能となり、ハンドの挿入スペー
スを低減して収納装置単位容量当たりの枚葉基板の収納
枚数を増大することができる。
【００１８】また、前記支持部を同形状に形成して、収
納装置の内部に上下に複数、段状に配設することによ
り、多数のガラス基板をカセットに収納することができ
る。
納装置の内部に上下に複数、段状に配設することによ
り、多数のガラス基板をカセットに収納することができ
る。
【００１９】また、補助縦ハンド支持部や補助支持部を
並設することにより、より大形の枚葉基板の取り扱いが
可能となる。
並設することにより、より大形の枚葉基板の取り扱いが
可能となる。
【００２０】さらに、支持部の上面に、枚葉基板を直接
支持する緩衝部材を設けることにより、枚葉基板の受け
渡しを円滑に行うことができる。
支持する緩衝部材を設けることにより、枚葉基板の受け
渡しを円滑に行うことができる。
【００２１】そして、上記の枚葉基板の移載装置や収納
装置によって、サイズが１２００×１０００ｍｍ以上、
さらには、２０００×１７００ｍｍ以上の液晶ガラス基
板を取り扱うことが可能となる。
装置によって、サイズが１２００×１０００ｍｍ以上、
さらには、２０００×１７００ｍｍ以上の液晶ガラス基
板を取り扱うことが可能となる。
【００２２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の枚葉基板の移載装
置及びそれに用いる収納装置の実施の形態を、図面に基
づいて、ガラス基板を移載対象物とする例について説明
する。
置及びそれに用いる収納装置の実施の形態を、図面に基
づいて、ガラス基板を移載対象物とする例について説明
する。
【００２３】図１〜図２に、本発明の枚葉基板の移載装
置及びそれに用いる収納装置の第１実施例を示す。この
枚葉基板の移載装置は、別の移載装置と組み合わせて使
用されるもので、収納装置としての箱形のカセット本体
１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数
の並列する支持部材３ａ、３ｂを延設するとともに、カ
セット本体１に挿入した移載機４０のハンド４を、支持
部材３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板
５の出し入れを行うように構成されている。そして、本
実施例では、かかる枚葉基板の移載装置において、前記
ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部
材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するととも
に、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列
する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に位置する複数
の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部
材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を
連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成し
ている。さらに、この枚葉基板の移載装置では、前記支
持部材３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１
の内部に上下に複数、段状に配設している。
置及びそれに用いる収納装置の第１実施例を示す。この
枚葉基板の移載装置は、別の移載装置と組み合わせて使
用されるもので、収納装置としての箱形のカセット本体
１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数
の並列する支持部材３ａ、３ｂを延設するとともに、カ
セット本体１に挿入した移載機４０のハンド４を、支持
部材３ａ、３ｂの間で昇降させることによりガラス基板
５の出し入れを行うように構成されている。そして、本
実施例では、かかる枚葉基板の移載装置において、前記
ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂを、対向する支持部
材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設けて形成するととも
に、前記ハンド４を、ハンド４の昇降位置で、前記並列
する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの間に位置する複数
の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記対向する支持部
材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横ハンド支持部４１を
連結する長さ方向の縦ハンド支持部４２とにより構成し
ている。さらに、この枚葉基板の移載装置では、前記支
持部材３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１
の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００２４】支持部材３ａ、３ｂは、図１（ａ）に示す
ように、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、
同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの
支持部材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるよう
に、５本ずつの支持部材３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、
２ｂにそれぞれ並列に配設されている。そして、左右の
側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂは、それぞれカセ
ット本体１の幅方向中央付近まで水平に延設されてい
る。また、図１（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３
ｂの上部には、ガラス基板５を直接支持する、例えば、
合成ゴム等の弾性体等で形成した突起状（又は突条状）
の緩衝部材６が設けられており、この実施例では左右１
対の支持部材３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央
付近の２点と端部付近の２点の４点で支持するようにし
ているが、６点以上で支持することも可能である。かく
して、このカセット本体１の幅方向中央付近まで延長さ
れた支持部材３ａ、３ｂは、ガラス基板５の自重による
撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の
曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止すること
ができる。
ように、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、
同一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの
支持部材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるよう
に、５本ずつの支持部材３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、
２ｂにそれぞれ並列に配設されている。そして、左右の
側壁２ａ、２ｂの支持部材３ａ、３ｂは、それぞれカセ
ット本体１の幅方向中央付近まで水平に延設されてい
る。また、図１（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３
ｂの上部には、ガラス基板５を直接支持する、例えば、
合成ゴム等の弾性体等で形成した突起状（又は突条状）
の緩衝部材６が設けられており、この実施例では左右１
対の支持部材３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央
付近の２点と端部付近の２点の４点で支持するようにし
ているが、６点以上で支持することも可能である。かく
して、このカセット本体１の幅方向中央付近まで延長さ
れた支持部材３ａ、３ｂは、ガラス基板５の自重による
撓み量を小さくすることができ、これにより、収納時の
曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止すること
ができる。
【００２５】また、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されており、また、これ
らの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハン
ド４の昇降位置で支持部材３ａ、３ｂと干渉しない位置
に形成されている。横ハンド支持部４１は、カセット本
体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近まで
それぞれ延設された板状のものからなる。縦ハンド支持
部４２は、カセット本体１の幅方向中央部で上記複数の
横ハンド支持部４１を連結する長尺の板状のものからな
る。ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と縦ハ
ンド支持部４２を備えることにより、大型のガラス基板
５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、
搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止
することができる。
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されており、また、これ
らの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハン
ド４の昇降位置で支持部材３ａ、３ｂと干渉しない位置
に形成されている。横ハンド支持部４１は、カセット本
体１の幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近まで
それぞれ延設された板状のものからなる。縦ハンド支持
部４２は、カセット本体１の幅方向中央部で上記複数の
横ハンド支持部４１を連結する長尺の板状のものからな
る。ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と縦ハ
ンド支持部４２を備えることにより、大型のガラス基板
５をその自重による撓み量が小さくなるように移載し、
搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止
することができる。
【００２６】そして、本実施例の枚葉基板の移載装置で
は、図１に示すように、ガラス基板５を支持する支持部
材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定
の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、
ハンド４の挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持
部材３ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１
と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前
記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２と
により構成したことから、前記支持部材３ａ、３ｂをガ
ラス基板５の中央部付近まで延設することができ、これ
により、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が
小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に起因する
ガラス基板５の破損を防止することができる。
は、図１に示すように、ガラス基板５を支持する支持部
材３ａ、３ｂを、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定
の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４を、
ハンド４の挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持
部材３ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１
と、前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前
記横ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２と
により構成したことから、前記支持部材３ａ、３ｂをガ
ラス基板５の中央部付近まで延設することができ、これ
により、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が
小さくなるように収容し、収納時の曲げ応力に起因する
ガラス基板５の破損を防止することができる。
【００２７】さらに、移載機のハンド４を、ハンド４の
挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの
間に配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、
前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前記横
ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とによ
り形成したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラ
ス基板５の端部付近まで大きくすることができ、これに
より、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小
さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガ
ラス基板５の破損を防止することができる。
挿入位置で、並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂの
間に配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、
前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に配設され前記横
ハンド支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とによ
り形成したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラ
ス基板５の端部付近まで大きくすることができ、これに
より、大型のガラス基板５をその自重による撓み量が小
さくなるように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガ
ラス基板５の破損を防止することができる。
【００２８】ちなみに、本実施例の枚葉基板の移載装置
では、サイズが１２００×１０００ｍｍ程度、さらに必
要に応じて、２０００×１７００ｍｍ以上の液晶ガラス
基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
では、サイズが１２００×１０００ｍｍ程度、さらに必
要に応じて、２０００×１７００ｍｍ以上の液晶ガラス
基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
【００２９】次に、図３を参照して、本発明の枚葉基板
の移載装置及びそれに用いる収納装置の第２実施例を説
明する。この第２実施例の移載装置と組み合わされる枚
葉基板の移載装置は、第１実施例と同様に、箱形のカセ
ット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれ
ぞれ複数の並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂを延
設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機のハ
ンド４を、支持部材３ａ、３ｂの間で昇降させることに
よりガラス基板５の出し入れを行うように構成されてい
る。そして、前記ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂ
を、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設
けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇
降位置で、前記並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂ
の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、
前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横
ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部
４２とにより構成している。さらに、前記支持部材３
ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に
上下に複数、段状に配設している。
の移載装置及びそれに用いる収納装置の第２実施例を説
明する。この第２実施例の移載装置と組み合わされる枚
葉基板の移載装置は、第１実施例と同様に、箱形のカセ
ット本体１の左右両側壁２ａ、２ｂから対向方向にそれ
ぞれ複数の並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂを延
設するとともに、カセット本体１に挿入した移載機のハ
ンド４を、支持部材３ａ、３ｂの間で昇降させることに
よりガラス基板５の出し入れを行うように構成されてい
る。そして、前記ガラス基板５の支持部材３ａ、３ｂ
を、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間隙７を設
けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の昇
降位置で、前記並列する支持部材３ａ又は支持部材３ｂ
の間に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、
前記対向する支持部材３ａ、３ｂの間に位置し、前記横
ハンド支持部４１を連結する長さ方向の縦ハンド支持部
４２とにより構成している。さらに、前記支持部材３
ａ、３ｂを同形状に形成して、カセット本体１の内部に
上下に複数、段状に配設している。
【００３０】支持部材３ａ、３ｂは、図３（ａ）に示す
ように、ガラス基板５を水平に支持するために、同一平
面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部
材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５
本ずつの支持部材３ａ又は支持部材３ｂが並列に配設さ
れている。そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３
ａ、３ｂは、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間
隙７を有するように形成されるが、この間隙７の位置が
カセット本体１の開口部１ａから奥行き方向に交互に左
右にずれている。すなわち、開口部１ａから１番目、３
番目及び５番目の支持部材３ａ、３ｂでは、左の側壁２
ａの支持部材３ａが右の側壁２ｂの支持部材３ｂより長
く形成されるとともに、２番目及び４番目の支持部材３
ａ、３ｂでは、右の側壁２ｂの支持部材３ｂが左の側壁
２ａの支持部材３ａより長く形成されている。なお、図
３（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３ｂの上部に
は、第１実施例と同様に、ガラス基板５を直接支持する
緩衝部材が設けられている。この交互に延長された支持
部材３ａ、３ｂは、支持部材３ａ、３ｂ間の間隙７の位
置を分散させることにより、さらにガラス基板５の自重
による撓み量を小さくすることができ、これにより、収
納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止す
ることができる。
ように、ガラス基板５を水平に支持するために、同一平
面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部
材３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、５
本ずつの支持部材３ａ又は支持部材３ｂが並列に配設さ
れている。そして、左右の側壁２ａ、２ｂの支持部材３
ａ、３ｂは、対向する支持部材３ａ、３ｂ間に所定の間
隙７を有するように形成されるが、この間隙７の位置が
カセット本体１の開口部１ａから奥行き方向に交互に左
右にずれている。すなわち、開口部１ａから１番目、３
番目及び５番目の支持部材３ａ、３ｂでは、左の側壁２
ａの支持部材３ａが右の側壁２ｂの支持部材３ｂより長
く形成されるとともに、２番目及び４番目の支持部材３
ａ、３ｂでは、右の側壁２ｂの支持部材３ｂが左の側壁
２ａの支持部材３ａより長く形成されている。なお、図
３（ｂ）に示すように、支持部材３ａ、３ｂの上部に
は、第１実施例と同様に、ガラス基板５を直接支持する
緩衝部材が設けられている。この交互に延長された支持
部材３ａ、３ｂは、支持部材３ａ、３ｂ間の間隙７の位
置を分散させることにより、さらにガラス基板５の自重
による撓み量を小さくすることができ、これにより、収
納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の破損を防止す
ることができる。
【００３１】一方、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されている。横ハンド支
持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の
側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のもの
からなる。縦ハンド支持部４２は、支持部材３ａ、３ｂ
間の間隙７の位置で、上記複数の横ハンド支持部４１を
ジグザグ状に連結する長さ方向の板状のものからなる。
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と、位置を
交互にずらせた縦ハンド支持部４２を備えることによ
り、さらにガラス基板５の自重による撓み量を小さくす
ることができ、これにより、移載時の曲げ応力に起因す
るガラス基板５の破損を防止することができる。
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されている。横ハンド支
持部４１は、カセット本体１の幅方向中央部から左右の
側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞれ延設された板状のもの
からなる。縦ハンド支持部４２は、支持部材３ａ、３ｂ
間の間隙７の位置で、上記複数の横ハンド支持部４１を
ジグザグ状に連結する長さ方向の板状のものからなる。
ハンド４は、このような横ハンド支持部４１と、位置を
交互にずらせた縦ハンド支持部４２を備えることによ
り、さらにガラス基板５の自重による撓み量を小さくす
ることができ、これにより、移載時の曲げ応力に起因す
るガラス基板５の破損を防止することができる。
【００３２】次に、図４〜図５に、本発明の枚葉基板の
移載装置及びそれに用いる収納装置の第３実施例を示
す。この枚葉基板の移載装置は、ガラス基板を対象と
し、別の移載装置と組み合わせて使用されるもので、収
納装置としての箱形のカセット本体１の左右両側壁２
ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部
３ａ、３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入
した移載機（図示省略）のハンド４を支持部３ａ、３ｂ
の間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを
行うように構成されている。
移載装置及びそれに用いる収納装置の第３実施例を示
す。この枚葉基板の移載装置は、ガラス基板を対象と
し、別の移載装置と組み合わせて使用されるもので、収
納装置としての箱形のカセット本体１の左右両側壁２
ａ、２ｂから対向方向にそれぞれ複数の並列する支持部
３ａ、３ｂを延設するとともに、カセット本体１に挿入
した移載機（図示省略）のハンド４を支持部３ａ、３ｂ
の間で昇降させることによりガラス基板５の出し入れを
行うように構成されている。
【００３３】そして、本実施例では、かかる枚葉基板の
移載装置において、ガラス基板５の支持部３ａ、３ｂ
を、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定寸法の間隙７を
設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の
昇降位置で、前記並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの
間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部４１
と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に間隙をあけて
並設され、左右の横ハンド支持部４１を各々連結する幅
方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部４２
とにより構成している。また、この枚葉基板の移載装置
では、前記支持部３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセ
ット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
移載装置において、ガラス基板５の支持部３ａ、３ｂ
を、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定寸法の間隙７を
設けて形成するとともに、前記ハンド４を、ハンド４の
昇降位置で、前記並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの
間隙を通過可能な複数の幅方向の横ハンド支持部４１
と、前記対向する支持部３ａ、３ｂの間に間隙をあけて
並設され、左右の横ハンド支持部４１を各々連結する幅
方向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部４２
とにより構成している。また、この枚葉基板の移載装置
では、前記支持部３ａ、３ｂを同形状に形成して、カセ
ット本体１の内部に上下に複数、段状に配設している。
【００３４】支持部３ａ、３ｂは、図４（ａ）に示すよ
うに、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、同
一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支
持部３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、
５本ずつの支持部３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、２ｂに
それぞれ並列に配設されている。そして、左右の側壁２
ａ、２ｂの支持部３ａ、３ｂは、それぞれカセット本体
１の幅方向中央付近まで水平に延設されている。
うに、１枚のガラス基板５を水平に支持するために、同
一平面上に設置されており、左右の側壁２ａ、２ｂの支
持部３ａ、３ｂが奥行き方向で同じ位置となるように、
５本ずつの支持部３ａ、３ｂが左右の側壁２ａ、２ｂに
それぞれ並列に配設されている。そして、左右の側壁２
ａ、２ｂの支持部３ａ、３ｂは、それぞれカセット本体
１の幅方向中央付近まで水平に延設されている。
【００３５】また、図４（ｂ）に示すように、支持部３
ａ、３ｂの上面には、ガラス基板５を直接支持する緩衝
部材６が設けられており、この実施例では左右１対の支
持部３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央付近の２
点と端部付近の２点の４点で支持するようにしている
が、６点以上で支持することも可能である。
ａ、３ｂの上面には、ガラス基板５を直接支持する緩衝
部材６が設けられており、この実施例では左右１対の支
持部３ａ、３ｂにおいて、ガラス基板５を中央付近の２
点と端部付近の２点の４点で支持するようにしている
が、６点以上で支持することも可能である。
【００３６】かくして、このカセット本体１の幅方向中
央付近まで延長された支持部３ａ、３ｂは、ガラス基板
５の自重による撓み量を小さくすることができ、これに
より、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形
や破損を防止することができるものとなる。
央付近まで延長された支持部３ａ、３ｂは、ガラス基板
５の自重による撓み量を小さくすることができ、これに
より、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変形
や破損を防止することができるものとなる。
【００３７】また、ハンド４の横ハンド支持部４１と縦
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されており、また、これ
らの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハン
ド４の昇降位置で支持部３ａ、３ｂと干渉しない位置に
形成されている。
ハンド支持部４２は、ガラス基板５を水平に移載するた
めに、同一平面上に一体に形成されており、また、これ
らの横ハンド支持部４１と縦ハンド支持部４２は、ハン
ド４の昇降位置で支持部３ａ、３ｂと干渉しない位置に
形成されている。
【００３８】横ハンド支持部４１は、カセット本体１の
幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞ
れ延設された板状のものからなる。
幅方向中央部から左右の側壁２ａ、２ｂ付近までそれぞ
れ延設された板状のものからなる。
【００３９】縦ハンド支持部４２は、幅方向に所定寸法
の間隙を設けて並設された１対の長尺板からなり、各々
の縦ハンド支持部４２が、左右の横ハンド支持部４１を
それぞれ連結している。
の間隙を設けて並設された１対の長尺板からなり、各々
の縦ハンド支持部４２が、左右の横ハンド支持部４１を
それぞれ連結している。
【００４０】ハンド４は、このような横ハンド支持部４
１と縦ハンド支持部４２を備えることにより、大形のガ
ラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように
移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変
形や破損を防止することができる。
１と縦ハンド支持部４２を備えることにより、大形のガ
ラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるように
移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基板５の変
形や破損を防止することができる。
【００４１】このように、本実施例の枚葉基板の移載装
置では、図４に示すように、ガラス基板５を支持する支
持部３ａ、３ｂを、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定
寸法の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４
を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部３ａ又は３
ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１と、前記
対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド
支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより構成
したことから、前記支持部３ａ、３ｂをガラス基板５の
中央部付近まで延設することができ、これにより、大形
のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるよ
うに収容し、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５
の変形や破損を防止することができる。
置では、図４に示すように、ガラス基板５を支持する支
持部３ａ、３ｂを、対向する支持部３ａ、３ｂ間に所定
寸法の間隙７を設けて形成するとともに、前記ハンド４
を、ハンド４の挿入位置で、並列する支持部３ａ又は３
ｂの間に配設される複数の横ハンド支持部４１と、前記
対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド
支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより構成
したことから、前記支持部３ａ、３ｂをガラス基板５の
中央部付近まで延設することができ、これにより、大形
のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくなるよ
うに収容し、収納時の曲げ応力に起因するガラス基板５
の変形や破損を防止することができる。
【００４２】そして、移載機のハンド４を、ハンド４の
挿入位置で、並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの間に
配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記
対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド
支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより形成
したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラス基板
５の端部付近まで大きくすることができ、これにより、
大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくな
るように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基
板５の変形や破損を防止することができる。
挿入位置で、並列する支持部３ａ又は支持部３ｂの間に
配設される複数の幅方向の横ハンド支持部４１と、前記
対向する支持部３ａ、３ｂの間に配設され前記横ハンド
支持部４１を連結する縦ハンド支持部４２とにより形成
したことにより、ハンド４の幅方向寸法Ｌをガラス基板
５の端部付近まで大きくすることができ、これにより、
大形のガラス基板５をその自重による撓み量が小さくな
るように移載し、搬送時の曲げ応力に起因するガラス基
板５の変形や破損を防止することができる。
【００４３】ちなみに、本実施例の枚葉基板の移載装置
では、サイズが１２００×１０００ｍｍ程度、さらに必
要に応じて、２０００×１７００ｍｍ以上の液晶ガラス
基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
では、サイズが１２００×１０００ｍｍ程度、さらに必
要に応じて、２０００×１７００ｍｍ以上の液晶ガラス
基板５を有効に収納し且つ移載することができる。
【００４４】また、ハンド４の縦ハンド支持部４２を左
右に分割するように形成したことにより、各縦ハンド支
持部４２の負荷を軽減して、ハンド４の剛性を高めると
ともに、例えば、図５及び図６に示すような、収納装置
として中央に縦に補助支持部８１を備えるような台座８
にも対応してガラス基板５の移載を行うことができる。
この台座８は、ガラス基板５を左右の支持部８２と中央
の補助支持部８１とで支持するもので、図６は、幅方向
に間隙を設けて並設した１対の幅広（ガラス基板５の幅
寸法Ｌ０のそれぞれ２０％以上の幅方向寸法Ｌ１を有す
る）の縦ハンド支持部４３によるガラス基板５の台座８
への移載状態を示しており、この実施例に示すように、
縦ハンド支持部４３を幅広に形成した場合には、横ハン
ド支持部４１を省略することができる。
右に分割するように形成したことにより、各縦ハンド支
持部４２の負荷を軽減して、ハンド４の剛性を高めると
ともに、例えば、図５及び図６に示すような、収納装置
として中央に縦に補助支持部８１を備えるような台座８
にも対応してガラス基板５の移載を行うことができる。
この台座８は、ガラス基板５を左右の支持部８２と中央
の補助支持部８１とで支持するもので、図６は、幅方向
に間隙を設けて並設した１対の幅広（ガラス基板５の幅
寸法Ｌ０のそれぞれ２０％以上の幅方向寸法Ｌ１を有す
る）の縦ハンド支持部４３によるガラス基板５の台座８
への移載状態を示しており、この実施例に示すように、
縦ハンド支持部４３を幅広に形成した場合には、横ハン
ド支持部４１を省略することができる。
【００４５】このほか、図７及び図８に示すように、１
対の幅広の縦ハンド支持部４２の間に、１本又はそれ以
上の補助縦ハンド支持部４２ａを並設するようにした
り、収納装置としてのカセット本体１や台座８の両側か
ら対向方向に延設した支持部２ａ、２ｂ、８２の中間位
置に、１本又はそれ以上の補助支持部２ｃ、２ｄ、８１
を並設することができる。このように、補助縦ハンド支
持部４２ａや補助支持部２ｃ、２ｄ、８１を並設するこ
とにより、より大形のガラス基板５の取り扱いが可能と
なる。
対の幅広の縦ハンド支持部４２の間に、１本又はそれ以
上の補助縦ハンド支持部４２ａを並設するようにした
り、収納装置としてのカセット本体１や台座８の両側か
ら対向方向に延設した支持部２ａ、２ｂ、８２の中間位
置に、１本又はそれ以上の補助支持部２ｃ、２ｄ、８１
を並設することができる。このように、補助縦ハンド支
持部４２ａや補助支持部２ｃ、２ｄ、８１を並設するこ
とにより、より大形のガラス基板５の取り扱いが可能と
なる。
【００４６】以上、本発明の枚葉基板の移載装置につい
て、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記
実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実
施例に記載した構成を適宜組み合わせる（収納装置とし
てのカセット本体の構成を台座に適用したり、逆に、台
座の構成をカセット本体に適用する等、その趣旨を逸脱
しない範囲において適宜その構成を変更することがで
き、また、移載機との間で枚葉基板を受け渡しを行う装
置もカセットや台座に限定されず、さらに、移載対象も
ガラス基板以外の枚葉基板に広く適用できるものであ
る。
て、複数の実施例に基づいて説明したが、本発明は上記
実施例に記載した構成に限定されるものではなく、各実
施例に記載した構成を適宜組み合わせる（収納装置とし
てのカセット本体の構成を台座に適用したり、逆に、台
座の構成をカセット本体に適用する等、その趣旨を逸脱
しない範囲において適宜その構成を変更することがで
き、また、移載機との間で枚葉基板を受け渡しを行う装
置もカセットや台座に限定されず、さらに、移載対象も
ガラス基板以外の枚葉基板に広く適用できるものであ
る。
【００４７】
【発明の効果】本発明の枚葉基板の移載装置及びそれに
用いる収納装置によれば、収納装置の支持部又は移載機
のハンド支持部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広
い範囲に拡大することができ、大形の枚葉基板をその自
重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因
する枚葉基板の変形や破損を防止することができ、これ
により、高品質の枚葉基板加工製品を得ることができ
る。
用いる収納装置によれば、収納装置の支持部又は移載機
のハンド支持部による枚葉基板の支持を、枚葉基板の広
い範囲に拡大することができ、大形の枚葉基板をその自
重による撓み量が小さくなるようにし、曲げ応力に起因
する枚葉基板の変形や破損を防止することができ、これ
により、高品質の枚葉基板加工製品を得ることができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明の枚葉基板の移載装置の第１実施例を示
し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
【図２】同実施例の枚葉基板の移載装置を示す斜視図で
ある。
ある。
【図３】本発明の枚葉基板の移載装置の第２実施例を示
し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
し、（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図で
ある。
【図４】本発明の枚葉基板の移載装置の第３実施例の移
載装置によるカセット本体への移載状態を示し、（ａ）
は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハ
ンドの縦ハンド支持部の側面図である。
載装置によるカセット本体への移載状態を示し、（ａ）
は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハ
ンドの縦ハンド支持部の側面図である。
【図５】同移載装置による台座への移載状態を示し、
（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
（ａ）はその平面図、（ｂ）はその正面図である。
【図６】本発明の枚葉基板の移載装置の第４実施例の移
載装置による台座への移載状態を示し、（ａ）はその平
面図、（ｂ）はその正面図である。
載装置による台座への移載状態を示し、（ａ）はその平
面図、（ｂ）はその正面図である。
【図７】本発明の枚葉基板の移載装置の第５実施例の移
載装置によるカセット本体への移載状態を示す天板を省
略した平面図である。
載装置によるカセット本体への移載状態を示す天板を省
略した平面図である。
【図８】同移載装置による台座への移載状態を示す平面
図である。
図である。
【図９】従来の枚葉基板の移載装置を示し、（ａ）は天
板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンド
の幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関係を示す説明図
である。
板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、（ｃ）はハンド
の幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関係を示す説明図
である。
【図１０】従来の大型枚葉基板の移載装置を示し、
（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）はハンドの幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関
係を示す説明図である。
（ａ）は天板を省略した平面図、（ｂ）は正面図、
（ｃ）はハンドの幅方向寸法とガラス基板の撓みとの関
係を示す説明図である。
【符号の説明】
１ カセット本体（収納装置）
１ａ 開口部
２ａ 左の側壁
２ｂ 右の側壁
２ｃ 補助支持部
３ａ 左の支持部
３ｂ 右の支持部
４ ハンド
４０ 移載機
４１ 横ハンド支持部
４２ 縦ハンド支持部
４２ａ 補助縦ハンド支持部
４３ 縦ハンド支持部
５ ガラス基板（枚葉基板）
６ 緩衝部材
７ 間隙
８ 台座（収納装置）
８１ 中央の補助支持部
８２ 左右の支持部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 遠藤 嘉也
兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立
機電工業株式会社内
(72)発明者 島川 直樹
兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立
機電工業株式会社内
(72)発明者 福渡 一郎
兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立
機電工業株式会社内
(72)発明者 林田 憲明
兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立
機電工業株式会社内
(72)発明者 高倉 芳生
兵庫県尼崎市下坂部３丁目４番１号 日立
機電工業株式会社内
(72)発明者 松山 章男
大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ
ャープ株式会社内
(72)発明者 纐纈 英斗
大阪府大阪市阿倍野区長池町22番22号 シ
ャープ株式会社内
Ｆターム(参考） 3C007 AS24 BS15 DS01 ES17 EV23
EW00 NS12
5F031 CA05 DA01 EA06 FA02 FA07
GA05 GA06 GA32 PA18 PA20
Claims (10)
- 【請求項１】 収納装置の両側から対向方向にそれぞれ
支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハ
ンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板
の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支
持部を、対向する支持部間に間隙を設けて形成した複数
の並列する支持部材で構成するとともに、前記ハンド
を、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部材の間に
位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、前記対向す
る支持部材の間に位置し、前記横ハンド支持部を連結す
る長さ方向の縦ハンド支持部とにより構成したことを特
徴とする枚葉基板の移載装置。 - 【請求項２】 前記ハンドを、ハンドの昇降位置で、前
記並列する支持部の間隙を通過可能な複数の幅方向の横
ハンド支持部と、該横ハンド支持部を各々連結する幅方
向に間隙を設けて並設した１対の縦ハンド支持部とによ
り構成したことを特徴とする請求項１記載の枚葉基板の
移載装置。 - 【請求項３】 収納装置の両側から対向方向にそれぞれ
支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハ
ンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板
の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支
持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記
ハンドを、ハンドの昇降位置で、前記並列する支持部間
に位置する複数の幅方向の横ハンド支持部と、該横ハン
ド支持部を各々連結する幅方向に間隙を設けて並設した
１対の縦ハンド支持部とにより構成したことを特徴とす
る枚葉基板の移載装置。 - 【請求項４】 収納装置の両側から対向方向にそれぞれ
支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハ
ンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板
の出し入れを行う枚葉基板の移載装置において、前記支
持部の中間位置に補助支持部を並設するとともに、前記
ハンドを、幅方向に間隙を設けて並設した１対の幅広の
縦ハンド支持部により構成したことを特徴とする枚葉基
板の移載装置。 - 【請求項５】 １対の幅広の縦ハンド支持部の間に補助
縦ハンド支持部を並設したことを特徴とする請求項２、
３又は４記載の枚葉基板の移載装置。 - 【請求項６】 支持部の上面に、枚葉基板を直接支持す
る緩衝部材を設けたことを特徴とする請求項１、２、
３、４又は５記載の枚葉基板の移載装置。 - 【請求項７】 収納装置の両側から対向方向にそれぞれ
支持部を延設する一方、収納装置に挿入した移載機のハ
ンドを前記支持部の間で昇降させることにより枚葉基板
の出し入れを行う収納装置において、前記支持部を、対
向する支持部間に間隙を設けて形成した複数の並列する
支持部材で構成するとともに、対向する支持部材間に、
ハンドの昇降位置で前記並列する支持部材の間に位置す
る複数の幅方向の横ハンド支持部を連結する長さ方向の
縦ハンド支持部が通過可能な間隙を設けて形成したこと
を特徴とする収納装置。 - 【請求項８】 前記支持部を同形状に形成して、収納装
置の内部に上下に複数、段状に形成したことを特徴とす
る請求項７記載の収納装置。 - 【請求項９】 収納装置の両側から対向方向に延設した
支持部の中間位置に補助支持部を並設したことを特徴と
する請求項７又は８記載の収納装置。 - 【請求項１０】 支持部の上面に、枚葉基板を直接支持
する緩衝部材を設けたことを特徴とする請求項７、８又
は９記載の収納装置。
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