JP3659724B2 - 基板搬送装置および基板搬送方法 - Google Patents
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Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば液晶表示装置等に用いられるガラス基板等の搬送装置および搬送方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板搬送、特にカセットからの基板の搬出入においては、単一のハンドリングアームを用いて行われていた。例えば、特開昭６３ー５００３５号公報や、特開平４ー２６７５３９号公報に開示されたものでは、基板を安定に保持できる適当な幅および真空等による吸着機構を有した単一のハンドリングアームを用いて基板を１枚ずつカセットから搬出入している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の基板搬送は単一のハンドリングアームで行われていたため、比較的小さく厚い基板に対しては特に問題は生じなかったが、大型で薄い基板がカセットに複数枚収納されている場合、図６および図７に示すように基板４は大きくたわんだ状態にあり、基板４と基板４の間にハンドリングアーム２を挿入する際、ハンドリングアーム２を基板４に接触することなく基板間に挿入することは極めて困難で、基板４を破損するなどの問題があった。また、基板４とハンドリングアーム２の接触を防止するためにカセット５の基板収納棚６のピッチを大きくした場合、基板の収納効率が低下する問題があった。
【０００４】
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、カセットにおける基板の収納効率を低下させることなく、かつ基板を破損せずにカセットから任意の基板を搬出入できる基板搬送装置および基板搬送方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる基板搬送装置は、カセット内に上下方向に設けられた複数の収納棚に収納された基板の間に挿入して、挿入された上下２基板のうちの上側の上記基板を搬出入する第一および第二のハンドリングアームを備え、上記第一のハンドリングアームは、上記上側の基板の中央を持ち上げることができるよう水平および垂直移動が可能であり、上記第二のハンドリングアームは、上記第一のハンドリングアームとは独立して水平および垂直移動が可能であり、且つ上記上側の基板を安定に保持できるように上記第一のハンドリングアームの左右に位置し得る一対のアーム部分を有するものである。
また、上記第一のハンドリングアームの幅および厚みは、上記第二のハンドリングアームの幅および厚みより小さく形成されている。
また、上記第二のハンドリングアームは、Ｕ字型である。
また、上記第二のハンドリングアームは、上記基板を真空吸着することが可能である。
また、搬送される上記基板のサイズは、２００ｍｍ角以上、厚さは０．７ｍｍ以下のものである。
この発明に係わる基板搬送方法は、カセット内に上下方向に設けられた複数の収納棚に収納された基板の間に挿入して、挿入された上下２基板のうちの上側の上記基板を搬出入する第一および第二のハンドリングアームを備え、上記第一のハンドリングアームは、上記上側の基板の中央を持ち上げることができるよう水平および垂直移動が可能であり、上記第二のハンドリングアームは、上記第一のハンドリングアームとは独立して水平および垂直移動が可能であり、且つ上記上側の基板を安定に保持できるように上記第一のハンドリングアームの左右に位置する一対のアーム部分を有する基板搬送装置を用い、上記第一のハンドリングアームを上記基板の間に挿入してたわんだ状態にある上記上側の基板の中央を持ち上げて水平にする第一工程、上記第二のハンドリングアームを上記基板の間に挿入して水平にされた上記基板を第二のハンドリングアームを用いて安定に保持する第二工程、保持した上記基板をカセットの収納棚に搬出入する第三工程を含む。
【０００６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の基板搬送装置および基板搬送方法における実施の形態１を図面に基づいて説明する。図１は本発明の基板搬送装置の実施の形態１の斜視図、図２、図３、図４は上記基板搬送装置によるカセットから基板を搬出する工程を示す模式図、図５は上記基板搬送装置に含まれている第一および第二のハンドリングアームがカセット内に挿入された状態を示す断面図である。
【０００７】
図１〜図５において、カセット５は、複数の基板４を収納可能なように上下方向に設けられた複数の基板収納棚６を有する。上記基板搬送装置は、水平および垂直移動が可能な第一のハンドリングアーム１、第一のハンドリングアーム１とは独立して水平および垂直移動が可能な第二のハンドリングアーム２、第一のハンドリングアーム１のカセット５への挿入位置を基板のたわみ量に応じて調整するための第一のハンドリングアームの高さ調整機構３（以下、第一高さ調整機構３）、第二のハンドリングアーム２のカセット５への挿入位置を調整するための第二高さ調整機構（図示せず）、第一のハンドリングアーム１を水平および垂直移動させる第一水平・垂直移動機構（図示せず）、第二のハンドリングアーム２を水平および垂直移動させる第二水平・垂直移動機構（図示せず）、および第一高さ調整機構３の全体の高さを調整する全体高さ調整機構７（但し、図１〜図５では、当該全体高さ調整機構７と第一高さ調整機構３を連結する連結体７１の一部のみを示す。） を備えている。
【０００８】
第一のハンドリングアーム１は、そのカセット５への挿入先端１１の他端には当該第一のハンドリングアーム１と上記第一水平・垂直移動機構とを連結する動力伝達部１２を有する。しかして第一のハンドリングアーム１は、動力伝達部１２を介して、上記第一水平・垂直移動機構により水平方向および垂直方向に移動可能となっている。
一方、第二のハンドリングアーム２は、前記したように基板４を安定に保持できるように上記第一のハンドリングアームの左右に位置し得る一対のアーム部分２１、２２を有していて、実施の形態１では図示する通りアーム部分２１、２２の端部同士が一体化したＵ字型を呈し、そのカセット５への各挿入先端２１１、２２１の他端（上記一体化部）の下面には当該第二のハンドリングアーム２と上記第二水平・垂直移動機構とを連結する動力伝達部２３、２４（図４ａ参照、但し動力伝達部２４は上記一体化部の陰になっていて図示し得ず。）を有する。しかして第二のハンドリングアーム１は、動力伝達部２３、２４を介して、上記第二水平・垂直移動機構により水平方向および垂直方向に移動可能となっている。
【０００９】
第１高さ調整機構３は、第１高さ調整機構本体３１と平板部３２とを含み、平板部３２には、第一のハンドリングアーム１の動力伝達部１２の水平移動および垂直移動を可能にする切り込み３３（図２ａなど参照）、第二のハンドリングアーム２の動力伝達部２３の水平移動および垂直移動を可能にする切り込み３４、および動力伝達部２３の水平移動および垂直移動を可能にする切り込み３５が設けられている（図４ａ参照）。
【００１０】
第一のハンドリングアーム１および第二のハンドリングアーム２は、いずれも複数の収納棚に収納された基板４の間に挿入し得る形状を有する。即ち第一のハンドリングアーム１は、基板４を傷つけることなく基板間に挿入できるよう、そのハンドリングアームの幅および厚みは小さく形成されており、図５から明らかなようにその断面が円形の棒体である。第二のハンドリングアーム２は、基板４を安定に保持するために、前記したように一対のアーム部分２１とアーム部分２２とが互い適度な幅を有したＵ字型をしており、アーム部分２１とアーム部分２２とも基板４の間に挿入し得るように平板状のものである。また、第二のハンドリングアーム２は、真空吸着等の機能を有している。高さ調整機構３は、第一のハンドリングアーム１のカセット５への挿入位置を基板４たわみ量に応じて調整する機能をなす。基板４のたわみ量は、基板４の大きさ、厚みおよび材質により異なるため、基板４の種類が変わる場合に調整を必要とする。
【００１１】
次に本実施の形態の基板搬送装置によるカセット５から基板４の搬出工程について説明する。まず全体高さ調整機構７にて基板搬送装置を駆動して、大きくたわんだ基板４が収納されたカセット５に第一のハンドリングアーム１と第二のハンドリングアーム２を接近させ、搬出する基板４に対応する位置に停止して図２−ａの状態にする。次に第一高さ調整機構３にて第一のハンドリングアーム１を水平方向に駆動して、当該アーム１を基板間に挿入して図２ーｂの状態にする。次に図３−ａに示すように、第一高さ調整機構３にて第一のハンドリングアーム１を垂直方向に上昇させることによりたわんだ状態にある基板４を水平な状態にする。次に第二水平・垂直移動機構にて第二のハンドリングアーム２を駆動して、水平になった基板４の下に第二のハンドリングアーム２を挿入して図３ーｂの状態にする。ここで、基板４と第二のハンドリングアーム２の間隙は、図５に示すように図７の従来例と比較して大きくなっているため、余裕を持って基板間に第二のハンドリングアーム２を挿入することができる。次に図４−ａに示すように、基板間に挿入された第二のハンドリングアーム２を第二水平・垂直移動機構にて上昇させることにより、搬出する基板４をカセット５の基板収納棚６から離れた状態にする。この時点で、基板４の保持を確実なものにするため、第二のハンドリングアーム２により真空吸着等を行ってもよい。最後に図４ーｂに示すように、第一のハンドリングアーム１と第二のハンドリングアーム２を基板４を保持した状態で同時に水平移動させることにより、カセット５から基板４を搬出する。
また、基板４をカセット５に搬入する場合には、上述の搬出工程と逆の工程を行う。
本構成の基板搬送装置を用いて、サイズが２００ｍｍ角以上、厚みが０．７ｍｍ以下の基板をカセットから搬出入させたところ、基板を破損せずに搬送することができた。
【００１２】
この発明によれば、まず複数のたわんだ状態にある基板４が収納されたカセット５に、幅および厚みの小さい第一のハンドリングアーム１を挿入して、たわんだ状態にある基板４を水平な状態にしたのち、基板を保持するための第一のハンドリングアーム１より幅、厚みともに大きい第二のハンドリングアーム２を移動させるため、大型で薄い基板の搬送においても、基板を破損することなく基板収納棚６のピッチが小さいカセット５から基板４を搬出入することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置を示す図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置の基板搬出工程を示す図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置の基板搬出工程を示す図である。
【図４】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置の基板搬出工程を示す図である。
【図５】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置の第一および第二のハンドリングアームがカセット内に挿入された状態を示す断面図である。
【図６】 従来のこの種基板搬送装置のハンドリングアームを示す図である。
【図７】 従来の基板搬送装置のカセット内でのハンドリングアームと基板の位置関係を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 第一のハンドリングアーム、２ 第二のハンドリングアーム、３ 第一高さ調整機構、４ 基板、５ カセット、６ 基板収納棚。
【発明の属する技術分野】
この発明は、例えば液晶表示装置等に用いられるガラス基板等の搬送装置および搬送方法に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】
従来、基板搬送、特にカセットからの基板の搬出入においては、単一のハンドリングアームを用いて行われていた。例えば、特開昭６３ー５００３５号公報や、特開平４ー２６７５３９号公報に開示されたものでは、基板を安定に保持できる適当な幅および真空等による吸着機構を有した単一のハンドリングアームを用いて基板を１枚ずつカセットから搬出入している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】
従来の基板搬送は単一のハンドリングアームで行われていたため、比較的小さく厚い基板に対しては特に問題は生じなかったが、大型で薄い基板がカセットに複数枚収納されている場合、図６および図７に示すように基板４は大きくたわんだ状態にあり、基板４と基板４の間にハンドリングアーム２を挿入する際、ハンドリングアーム２を基板４に接触することなく基板間に挿入することは極めて困難で、基板４を破損するなどの問題があった。また、基板４とハンドリングアーム２の接触を防止するためにカセット５の基板収納棚６のピッチを大きくした場合、基板の収納効率が低下する問題があった。
【０００４】
本発明は、上記のような問題を解決するためになされたもので、カセットにおける基板の収納効率を低下させることなく、かつ基板を破損せずにカセットから任意の基板を搬出入できる基板搬送装置および基板搬送方法を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】
この発明に係わる基板搬送装置は、カセット内に上下方向に設けられた複数の収納棚に収納された基板の間に挿入して、挿入された上下２基板のうちの上側の上記基板を搬出入する第一および第二のハンドリングアームを備え、上記第一のハンドリングアームは、上記上側の基板の中央を持ち上げることができるよう水平および垂直移動が可能であり、上記第二のハンドリングアームは、上記第一のハンドリングアームとは独立して水平および垂直移動が可能であり、且つ上記上側の基板を安定に保持できるように上記第一のハンドリングアームの左右に位置し得る一対のアーム部分を有するものである。
また、上記第一のハンドリングアームの幅および厚みは、上記第二のハンドリングアームの幅および厚みより小さく形成されている。
また、上記第二のハンドリングアームは、Ｕ字型である。
また、上記第二のハンドリングアームは、上記基板を真空吸着することが可能である。
また、搬送される上記基板のサイズは、２００ｍｍ角以上、厚さは０．７ｍｍ以下のものである。
この発明に係わる基板搬送方法は、カセット内に上下方向に設けられた複数の収納棚に収納された基板の間に挿入して、挿入された上下２基板のうちの上側の上記基板を搬出入する第一および第二のハンドリングアームを備え、上記第一のハンドリングアームは、上記上側の基板の中央を持ち上げることができるよう水平および垂直移動が可能であり、上記第二のハンドリングアームは、上記第一のハンドリングアームとは独立して水平および垂直移動が可能であり、且つ上記上側の基板を安定に保持できるように上記第一のハンドリングアームの左右に位置する一対のアーム部分を有する基板搬送装置を用い、上記第一のハンドリングアームを上記基板の間に挿入してたわんだ状態にある上記上側の基板の中央を持ち上げて水平にする第一工程、上記第二のハンドリングアームを上記基板の間に挿入して水平にされた上記基板を第二のハンドリングアームを用いて安定に保持する第二工程、保持した上記基板をカセットの収納棚に搬出入する第三工程を含む。
【０００６】
【発明の実施の形態】
実施の形態１．
以下、この発明の基板搬送装置および基板搬送方法における実施の形態１を図面に基づいて説明する。図１は本発明の基板搬送装置の実施の形態１の斜視図、図２、図３、図４は上記基板搬送装置によるカセットから基板を搬出する工程を示す模式図、図５は上記基板搬送装置に含まれている第一および第二のハンドリングアームがカセット内に挿入された状態を示す断面図である。
【０００７】
図１〜図５において、カセット５は、複数の基板４を収納可能なように上下方向に設けられた複数の基板収納棚６を有する。上記基板搬送装置は、水平および垂直移動が可能な第一のハンドリングアーム１、第一のハンドリングアーム１とは独立して水平および垂直移動が可能な第二のハンドリングアーム２、第一のハンドリングアーム１のカセット５への挿入位置を基板のたわみ量に応じて調整するための第一のハンドリングアームの高さ調整機構３（以下、第一高さ調整機構３）、第二のハンドリングアーム２のカセット５への挿入位置を調整するための第二高さ調整機構（図示せず）、第一のハンドリングアーム１を水平および垂直移動させる第一水平・垂直移動機構（図示せず）、第二のハンドリングアーム２を水平および垂直移動させる第二水平・垂直移動機構（図示せず）、および第一高さ調整機構３の全体の高さを調整する全体高さ調整機構７（但し、図１〜図５では、当該全体高さ調整機構７と第一高さ調整機構３を連結する連結体７１の一部のみを示す。） を備えている。
【０００８】
第一のハンドリングアーム１は、そのカセット５への挿入先端１１の他端には当該第一のハンドリングアーム１と上記第一水平・垂直移動機構とを連結する動力伝達部１２を有する。しかして第一のハンドリングアーム１は、動力伝達部１２を介して、上記第一水平・垂直移動機構により水平方向および垂直方向に移動可能となっている。
一方、第二のハンドリングアーム２は、前記したように基板４を安定に保持できるように上記第一のハンドリングアームの左右に位置し得る一対のアーム部分２１、２２を有していて、実施の形態１では図示する通りアーム部分２１、２２の端部同士が一体化したＵ字型を呈し、そのカセット５への各挿入先端２１１、２２１の他端（上記一体化部）の下面には当該第二のハンドリングアーム２と上記第二水平・垂直移動機構とを連結する動力伝達部２３、２４（図４ａ参照、但し動力伝達部２４は上記一体化部の陰になっていて図示し得ず。）を有する。しかして第二のハンドリングアーム１は、動力伝達部２３、２４を介して、上記第二水平・垂直移動機構により水平方向および垂直方向に移動可能となっている。
【０００９】
第１高さ調整機構３は、第１高さ調整機構本体３１と平板部３２とを含み、平板部３２には、第一のハンドリングアーム１の動力伝達部１２の水平移動および垂直移動を可能にする切り込み３３（図２ａなど参照）、第二のハンドリングアーム２の動力伝達部２３の水平移動および垂直移動を可能にする切り込み３４、および動力伝達部２３の水平移動および垂直移動を可能にする切り込み３５が設けられている（図４ａ参照）。
【００１０】
第一のハンドリングアーム１および第二のハンドリングアーム２は、いずれも複数の収納棚に収納された基板４の間に挿入し得る形状を有する。即ち第一のハンドリングアーム１は、基板４を傷つけることなく基板間に挿入できるよう、そのハンドリングアームの幅および厚みは小さく形成されており、図５から明らかなようにその断面が円形の棒体である。第二のハンドリングアーム２は、基板４を安定に保持するために、前記したように一対のアーム部分２１とアーム部分２２とが互い適度な幅を有したＵ字型をしており、アーム部分２１とアーム部分２２とも基板４の間に挿入し得るように平板状のものである。また、第二のハンドリングアーム２は、真空吸着等の機能を有している。高さ調整機構３は、第一のハンドリングアーム１のカセット５への挿入位置を基板４たわみ量に応じて調整する機能をなす。基板４のたわみ量は、基板４の大きさ、厚みおよび材質により異なるため、基板４の種類が変わる場合に調整を必要とする。
【００１１】
次に本実施の形態の基板搬送装置によるカセット５から基板４の搬出工程について説明する。まず全体高さ調整機構７にて基板搬送装置を駆動して、大きくたわんだ基板４が収納されたカセット５に第一のハンドリングアーム１と第二のハンドリングアーム２を接近させ、搬出する基板４に対応する位置に停止して図２−ａの状態にする。次に第一高さ調整機構３にて第一のハンドリングアーム１を水平方向に駆動して、当該アーム１を基板間に挿入して図２ーｂの状態にする。次に図３−ａに示すように、第一高さ調整機構３にて第一のハンドリングアーム１を垂直方向に上昇させることによりたわんだ状態にある基板４を水平な状態にする。次に第二水平・垂直移動機構にて第二のハンドリングアーム２を駆動して、水平になった基板４の下に第二のハンドリングアーム２を挿入して図３ーｂの状態にする。ここで、基板４と第二のハンドリングアーム２の間隙は、図５に示すように図７の従来例と比較して大きくなっているため、余裕を持って基板間に第二のハンドリングアーム２を挿入することができる。次に図４−ａに示すように、基板間に挿入された第二のハンドリングアーム２を第二水平・垂直移動機構にて上昇させることにより、搬出する基板４をカセット５の基板収納棚６から離れた状態にする。この時点で、基板４の保持を確実なものにするため、第二のハンドリングアーム２により真空吸着等を行ってもよい。最後に図４ーｂに示すように、第一のハンドリングアーム１と第二のハンドリングアーム２を基板４を保持した状態で同時に水平移動させることにより、カセット５から基板４を搬出する。
また、基板４をカセット５に搬入する場合には、上述の搬出工程と逆の工程を行う。
本構成の基板搬送装置を用いて、サイズが２００ｍｍ角以上、厚みが０．７ｍｍ以下の基板をカセットから搬出入させたところ、基板を破損せずに搬送することができた。
【００１２】
この発明によれば、まず複数のたわんだ状態にある基板４が収納されたカセット５に、幅および厚みの小さい第一のハンドリングアーム１を挿入して、たわんだ状態にある基板４を水平な状態にしたのち、基板を保持するための第一のハンドリングアーム１より幅、厚みともに大きい第二のハンドリングアーム２を移動させるため、大型で薄い基板の搬送においても、基板を破損することなく基板収納棚６のピッチが小さいカセット５から基板４を搬出入することができる。
【図面の簡単な説明】
【図１】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置を示す図である。
【図２】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置の基板搬出工程を示す図である。
【図３】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置の基板搬出工程を示す図である。
【図４】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置の基板搬出工程を示す図である。
【図５】 この発明の実施の形態１による基板搬送装置の第一および第二のハンドリングアームがカセット内に挿入された状態を示す断面図である。
【図６】 従来のこの種基板搬送装置のハンドリングアームを示す図である。
【図７】 従来の基板搬送装置のカセット内でのハンドリングアームと基板の位置関係を示す断面図である。
【符号の説明】
１ 第一のハンドリングアーム、２ 第二のハンドリングアーム、３ 第一高さ調整機構、４ 基板、５ カセット、６ 基板収納棚。
Claims (6)
- カセット内に上下方向に設けられた複数の収納棚に収納された基板の間に挿入して、挿入された上下２基板のうちの上側の上記基板を搬出入する第一および第二のハンドリングアームを備え、上記第一のハンドリングアームは、上記上側の基板の中央を持ち上げることができるよう水平および垂直移動が可能であり、上記第二のハンドリングアームは、上記第一のハンドリングアームとは独立して水平および垂直移動が可能であり、且つ上記上側の基板を安定に保持できるように上記第一のハンドリングアームの左右に位置し得る一対のアーム部分を有することを特徴とする基板搬送装置。
- 上記第一のハンドリングアームの幅および厚みは、上記第二のハンドリングアームの幅および厚みより小さいことを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
- 上記第二のハンドリングアームは、Ｕ字型であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
- 上記第二のハンドリングアームは、上記基板を真空吸着することが可能であることを特徴とする請求項１記載の基板搬送装置。
- 搬送される上記基板のサイズは、２００ｍｍ角以上、厚さは０．７ｍｍ以下であることを特徴とする請求項１〜４のいずれか一項記載の基板搬送装置。
- カセット内に上下方向に設けられた複数の収納棚に収納された基板の間に挿入して、挿入された上下２基板のうちの上側の上記基板を搬出入する第一および第二のハンドリングアームを備え、上記第一のハンドリングアームは、上記上側の基板の中央を持ち上げることができるよう水平および垂直移動が可能であり、上記第二のハンドリングアームは、上記第一のハンドリングアームとは独立して水平および垂直移動が可能であり、且つ上記上側の基板を安定に保持できるように上記第一のハンドリングアームの左右に位置する一対のアーム部分を有する基板搬送装置を用い、上記第一のハンドリングアームを上記基板の間に挿入してたわんだ状態にある上記上側の基板の中央を持ち上げて水平にする第一工程、上記第二のハンドリングアームを上記基板の間に挿入して水平にされた上記基板を第二のハンドリングアームを用いて安定に保持する第二工程、保持した上記基板をカセットの収納棚に搬出入する第三工程を含むことを特徴とする基板搬送方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1859896A JP3659724B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1859896A JP3659724B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09208008A JPH09208008A (ja) | 1997-08-12 |
| JP3659724B2 true JP3659724B2 (ja) | 2005-06-15 |
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ID=11976087
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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| JP1859896A Expired - Fee Related JP3659724B2 (ja) | 1996-02-05 | 1996-02-05 | 基板搬送装置および基板搬送方法 |
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|---|---|
| JP (1) | JP3659724B2 (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4328496B2 (ja) | 2001-06-26 | 2009-09-09 | 株式会社日立プラントテクノロジー | 枚葉基板の移載装置 |
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1996
- 1996-02-05 JP JP1859896A patent/JP3659724B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JPH09208008A (ja) | 1997-08-12 |
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| Date | Code | Title | Description |
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