JP2003068824A - 吸着保持器、搬送装置、基板の搬送方法、及び、電気光学装置の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 自重による撓み量が大きい薄い基板であって
も支障なく基板収容部に対して出し入れすることができ
る吸着保持器及びこれを備えた搬送装置、或いは、基板
の搬送方法を提供する。 【解決手段】 マガジン５０内には左右の係合部５１に
外縁１１０ｂが支持された基板１１０が多数収容されて
いる。このマガジン５０に対して基板１１０を出し入れ
する場合には、吸着保持器の一対のアーム２１をマガジ
ン５０内に挿入し、マガジン５０の内部で基板１１０を
係合部５１に係合させたり、逆にアーム２１に設けられ
た吸着部材２２によって基板１１０を吸着保持したりす
る。アーム２１は基板１１０の外縁１１０ｂの近傍を下
方から支持した状態で吸着保持するように構成され、ま
た、吸着部材２２はアーム２１に対して傾斜自在に取り
付けられているので、基板１１０は中央１１０ａが下方
に垂れ下がるように湾曲した状態で保持される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、吸着保持器、搬送
装置、基板の搬送方法、及び、電気光学装置の製造方法
に係り、特に、電気光学装置の一部を構成する基板を搬
送する搬送装置及び搬送方法として好適な搬送技術に関
する。

【０００２】

【従来の技術】電気光学装置の一種である液晶表示装置
を製造する場合には、複数の液晶表示装置を構成可能な
大判の基板を貼り合わせて大判パネルを構成し、この大
判パネルを分割して液晶パネルを形成する場合がある。
このような方法を用いる製造工程においては、大判の基
板（マザーガラス）上に透明導電体からなる導体パター
ンを形成する工程、ＳｉＯ_２やＴｉＯ_２などの硬質保護
膜を形成する工程、配向膜を形成する工程、配向膜に配
向処理（ラビング処理）を施す工程、反射層（反射電
極）を形成する工程、カラーフィルタを形成する工程な
どがあり、これらの工程間においてそれぞれ基板を搬送
する必要がある。

【０００３】上記の基板を搬送するには、図９に示すよ
うな略コ字型の平面形状を有する吸着保持器１０を備え
た搬送装置を用いる場合がある。この吸着保持器１０
は、相互に所定間隔を隔てて平行に配置された一対のア
ーム１１，１１を有し、これらのアーム１１上にはそれ
ぞれ吸着部１１ａが設けられ、これらの吸着部１１ａに
よって基板１１０の下面を下方から吸着保持することが
できるようになっている。この吸着保持器１０を備えた
搬送装置は、上記各製造工程間において図９に示す多段
式のマガジン５０に対して基板１１０を出し入れした
り、各種処理装置に対して基板１１０を給材したり除材
したりする場合に用いられる。

【０００４】上記マガジン５０内には、ガラス等で構成
された基板１１０が上下方向に多数配列された状態で収
容されている。マガジン５０内の基板１１０は、その対
向する一対の外縁１１０ｂがマガジン５０の左右内面に
それぞれ設けられた係合部５１により支持された状態で
配置されている。上記マガジン５０は多数の基板１１０
を一括して搬送するための搬送用カセットとして使用さ
れることもあり、また、多数の基板１１０に対して洗浄
等の処理を施すための処理用カセットとして使用される
場合もある。なお、液晶パネルの製造工程において用い
る基板１１０としては、通常、厚さ０．３〜１．２ｍｍ
程度、幅３００〜５００、長さ５００〜８００ｍｍ程度
の矩形の平面形状を有するガラス板で構成され、図示の
ように自重によって中央１１０ａが下方に下がる態様で
湾曲している。

【０００５】上記のように構成されたマガジン５０から
基板１１０を取り出す場合には、図示点線で示すように
吸着保持器１０のアーム１１を上下の基板１１０の間に
挿入し、アーム１１をゆっくりと上昇させて吸着部１１
ａを基板１１０の下面に当接させ、図示実線で示すよう
に元基板１１０をやや持ち上げてから吸着部１１ａによ
って吸着保持させる。そして、そのまま吸着保持した基
板１１０とともに水平方向手前にアーム１１を移動さ
せ、基板１１０をマガジン５０の外側へと引き出すよう
にしている。

【０００６】一方、上記とは逆に基板１１０をマガジン
５０内に収納する場合には、アーム１１の吸着部１１ａ
にて基板１１０を吸着保持した状態で、図示実線のよう
にマガジン５０内に基板１１０及びアーム１１を挿入
し、その後、吸着部１１ａの吸着を解除した後に、ゆっ
くりと吸着保持器１０のアーム１１を下降させることに
より、図示点線で示すように基板１１０の外縁１１０ｂ
がマガジン５０内の左右の係合部５１に支持されるよう
にし、さらに吸着保持器１０を降下させてアーム１１の
吸着部１１ａを基板１１０の下面から離反させ、その
後、アーム１１をマガジン５０の外部へと引き出すよう
にしている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、近年、携帯
機器の小型化・軽量化の要請から液晶表示パネルを構成
する基板の厚さが急速に薄くなってきているため、上記
のように基板１１０をマガジン５０内に収容した場合、
以前に較べると基板１１０がより大きく湾曲するように
なってきている。この場合、基板１１０は、吸着保持器
１０によってほとんど湾曲しない平坦な状態でマガジン
５０に対して出し入れされるので、出し入れ時に上下に
隣接する湾曲した他の基板１１０に接近し、接触してし
まう恐れがあるため、基板１１０の出し入れ作業が困難
になってきているという問題点がある。

【０００８】より具体的には、基板１１０同士が接触す
ると基板１１０の表面に形成された電極パターン等が損
傷を受けたり異物が付着したりする危険性があるので、
出し入れしようとする基板１１０と、これに隣接する基
板とが接触しないように、吸着保持器１０の位置制御を
精密に行う必要があり、また、基板１１０の出し入れ作
業を慎重に行う必要があるので、作業に時間がかかり、
製造効率が低下する。一方、マガジン５０内の基板１１
０の収容密度を低下させて（すなわち、マガジン５０内
に収容される基板１１０の間隔を広げて）基板１１０同
士の抵触を防止しようとすると、マガジン５０の収容枚
数が低下し、或いは、マガジン５０のサイズが大きくな
ってその取り扱いが困難になる。

【０００９】そこで本発明は上記問題点を解決するもの
であり、その課題は、自重による撓み量が大きい薄い基
板であっても支障なく基板収容部に対して出し入れする
ことができる吸着保持器及びこれを備えた搬送装置、或
いは、基板の搬送方法を提供することにある。また、こ
のような搬送方法を用いることによって効率的に製造を
行うことのできる電気光学装置の製造方法を実現するこ
とにある。

【００１０】

【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に本発明の吸着保持器は、保持対象物を下方から支持し
た状態で保持するための一対の保持部位が相互に間隔を
隔てて配置され、前記一対の保持部位のうち少なくとも
一方の前記保持部位に保持対象物を吸着保持するための
吸着部が設けられ、前記吸着部の前記保持対象物に対す
る吸着面が少なくとも他方の前記保持部位の側に傾斜可
能に構成されていることを特徴とする。

【００１１】この発明によれば、吸着部の保持対象物に
対する吸着面が他方の保持部位の側に傾斜可能に構成さ
れていることによって、保持対象物の下面（保持部位に
よって保持される面）が一対の保持部位の間において下
方に湾曲している場合にも、その湾曲状態を保ったまま
の状態で保持することができる。したがって、例えば、
保持対象物が薄板状であるためにその両側の外縁を下方
から支持すると自重で自然に湾曲状態になる場合に、当
該薄板状の保持対象物をその自重による湾曲状態に近い
状態で保持することが可能になるので、薄板状の保持対
象物をその両側の外縁で支持するように構成されたマガ
ジンその他の設置場所に対して保持対象物を導入した
り、逆に当該設置場所から保持対象物を取り出したりす
る際に、保持対象物の湾曲状態の変化を少なくすること
ができるから、吸着保持器によって保持されている保持
対象物を他の保持対象物や他の部材などに対して干渉し
にくくすることができ、その結果、保持対象物の移載作
業や搬送作業を容易且つ迅速に行うことが可能になる。

【００１２】本発明において、前記吸着部は前記一対の
保持部位のいずれにも設けられていることが好ましい。

【００１３】この発明によれば、一対の保持部位のいず
れにも吸着部が設けられていることにより、より確実に
保持対象物を吸着保持することができる。

【００１４】本発明において、前記吸着部を有しない前
記保持部位には、支持突起が設けられていることが好ま
しい。支持突起を設けることによって、保持対象物の姿
勢を拘束しないで確実に支持することができる。

【００１５】次に、本発明の別の吸着保持器は、保持対
象物を保持するための一対の保持部位が相互に間隔を隔
てて配置され、前記一対の保持部位には保持対象物を吸
着保持するための吸着部が設けられ、前記吸着部の前記
保持対象物に対する吸着面が、前記一対の保持部位の間
に最下点を有する湾曲面に沿う方向に、少なくとも所定
角度範囲内で傾斜可能に構成されていることを特徴とす
る。

【００１６】この発明によれば、吸着部の保持対象物に
対する吸着面が、一対の保持部位の間に最下点を有する
湾曲面に沿うように変化する方向に傾斜可能に構成され
ていることによって、保持対象物の保持部位によって保
持される面が一対の保持部位の間において下方に湾曲し
ている場合にも、その湾曲状態を保ったままの状態で保
持することができる。したがって、例えば、保持対象物
が薄板状であるためにその両側の外縁を下方から支持す
ると自重で自然に湾曲状態になる場合に、当該薄板状の
保持対象物をその自重による湾曲状態に近い状態で保持
することが可能になるので、薄板状の保持対象物をその
両側の外縁で支持するように構成されたマガジンその他
の設置場所に対して保持対象物を導入したり、逆に当該
設置場所から保持対象物を取り出したりする際に、保持
対象物の湾曲状態の変化を少なくすることができるか
ら、吸着保持器によって保持されている保持対象物を他
の保持対象物や他の部材などに対して干渉しにくくする
ことができ、その結果、保持対象物の移載作業や搬送作
業を容易且つ迅速に行うことが可能になる。

【００１７】なお、この発明においては、一対の保持部
位に設けられた吸着部を、保持対象物の下面を下方から
支持した状態で保持するように構成してもよく、或いは
その逆に、保持対象物の上面を上方から吸着保持するよ
うに構成してもよい。

【００１８】本発明において、前記吸着部は、前記吸着
面が少なくとも所定角度範囲内で全方位に向けて傾斜自
在に構成されていることが好ましい。

【００１９】この発明によれば、上記の効果に加えて、
例えば薄板状の保持対象物に反りなどの歪みがあること
などによって保持対象物の吸着保持されるべき表面が不
規則に傾斜している場合でも、当該表面の傾斜状態に追
従して吸着部の吸着面がその向きを自律的に変えるの
で、確実且つ安定的に保持対象物を吸着保持することが
できる。

【００２０】本発明において、複数の前記保持部位がそ
れぞれ並列してなる一対の保持列が相互に間隔を隔てて
配置されていることが好ましい。

【００２１】この発明によれば、複数の保持部位がそれ
ぞれ並列してなる一対の保持列によって保持対象物が保
持されるので、保持対象物をより安定的に保持すること
が可能になる。

【００２２】本発明において、前記一対の保持部位は、
相互に間隔を隔てて配置された一対のアーム上に配置さ
れていることが好ましい。

【００２３】この発明によれば、一対の保持部位が一対
のアーム上に配置されていることにより、アーム間に何
ら部材を配置しなくても保持部位を設けることができる
ので、例え保持対象物が撓みやすいものであったとして
も、吸着保持器の保持部位以外の部分と保持対象物との
間の干渉を避けることが可能になる。

【００２４】本発明において、前記保持部位は、前記ア
ームの幅方向中央から外側にシフトした位置に配置され
ていることが好ましい。

【００２５】この発明によれば、保持部位がアームの幅
方向中央から外側にシフトした位置に配置されているこ
とにより、保持対象物の外縁が支持されるように構成さ
れた設置場所に対して保持対象物を出し入れする際に、
アームを設置場所に干渉させることなく、しかも、吸着
保持する部位を設置場所による支持部位の近傍に設定す
ることができるので、保持対象物の保持姿勢を設置場所
の設置姿勢に近い状態とすることが可能になるため、当
該設置場所に対する出し入れ作業を容易に行うことが可
能になる。

【００２６】次に、本発明の搬送装置は、上記のいずれ
かに記載の吸着保持器と、該吸着保持器を移動させる移
動手段とを有するものである。

【００２７】この発明によれば、吸着保持器により保持
対象物を保持した状態で、移動手段によって保持対象物
を移動させることが可能になる。

【００２８】本発明において、前記吸着保持器及び前記
移動手段を制御する制御手段を有し、前記制御手段は、
前記吸着保持器を前進させるステップ、前記吸着保持器
を上昇させるステップ、前記吸着保持器の前記吸着部に
より保持対象物を下方から吸着保持させるステップ、及
び、前記吸着保持器を後退させるステップを順次実行す
る引き取り動作モードと、前記吸着保持器を前進させる
ステップ、前記吸着保持器の前記吸着部による保持対象
物の吸着保持状態を解除させるステップ、前記吸着保持
器を下降させるステップ、及び、前記吸着保持器を後退
させるステップを順次実行する引き渡し動作モードと、
を実行可能に構成されていることが好ましい。

【００２９】この発明によれば、相互に対向する一対の
外縁が支持された状態で保持対象物が設置されるように
構成された設置場所に対して、保持対象物を自動的に設
置したり引き取ったりすることが可能になる。

【００３０】次に、本発明の基板の搬送方法は、基板を
保持して搬送する基板の搬送方法であって、相互に間隔
を隔てて配置された一対の保持部位により、前記基板の
対向する一対の外縁の近傍を支持し、前記基板を前記一
対の外縁間が下方に湾曲した状態で搬送することを特徴
とする。

【００３１】この発明によれば、一対の保持部位により
基板の対向する一対の外縁の近傍を支持することによっ
て、基板を容易に一対の外縁間が下方に湾曲した状態に
保持することができるとともに、一対の外縁間が下方に
湾曲した状態で基板を搬送することによって、基板の一
対の外縁を支持した状態で設置するように構成された設
置場所に対して基板を設置させたり当該設置場所に既に
設置されている基板を取り出したりする際に、基板の搬
送姿勢と設置姿勢との差を低減させることができるの
で、保持された当該基板と、他の基板や部材などとの間
の抵触を防止し、容易且つ迅速に搬入作業及び搬出作業
を行うことが可能になる。

【００３２】本発明において、前記湾曲した状態は、前
記基板の対向する一対の外縁を支持した場合に前記基板
が自重で湾曲する自然湾曲状態と実質的に等しい状態で
あることが好ましい。

【００３３】この発明によれば、一対の保持部位により
保持された基板の湾曲した状態が、基板の対向する一対
の外縁を支持した場合に基板が自重で湾曲する自然湾曲
状態と実質的に等しいことによって、基板の一対の外縁
を支持した状態で設置するように構成された設置場所に
対して基板を設置させたり、或いは、当該設置場所に既
に設置されている基板を取り出したりする際に、基板の
搬送姿勢と設置姿勢との差を実質的になくすことができ
るので、当該基板と他の基板や部材などとの抵触を防止
し、容易且つ迅速に搬入作業及び搬出作業を行うことが
可能になる。

【００３４】本発明において、前記保持部位により前記
基板を下方から支持することが好ましい。

【００３５】この発明によれば、保持部位により基板を
下方から支持することにより、基板の上面に接触するこ
となく搬送することができ、また、基板を反転させなく
ても容易に基板の上面に対して各種の処理を行うことが
可能になる。

【００３６】本発明において、前記一対の保持部位は、
外側から前記基板の全幅の１／４の距離だけ内側に移動
した位置にある４半部位よりも外側で前記基板を保持す
ることが好ましい。

【００３７】この発明によれば、一対の保持部位が基板
の４半部位よりも外側で基板を保持することにより、自
重により一対の保持部位の間に最下点を有するように湾
曲した状態で基板を容易に保持することが可能になる。

【００３８】本発明において、複数の前記保持部位がそ
れぞれ並列してなる一対の保持列を相互に間隔を隔てて
配置し、前記一対の保持列にそれぞれ含まれる複数の保
持部位により前記基板を保持することが好ましい。

【００３９】この発明によれば、複数の保持部位がそれ
ぞれ並列してなる一対の保持列によって基板が保持され
るので、基板をより安定的に保持することが可能にな
る。

【００４０】本発明において、基板収容部内において前
記基板の対向する一対の外縁を支持し、前記基板を前記
一対の外縁間で下方に湾曲させた状態で収容された状態
とし、前記保持部位を前記基板収容部内に導入し、前記
基板の前記一対の外縁の近傍を前記保持部位にて保持
し、前記基板を湾曲させたままで引き取り、前記基板収
容部から搬出することが好ましい。

【００４１】この発明によれば、基板収容部内で自重に
よって湾曲した状態の基板をそのまま一対の保持部位に
て保持し、そのまま湾曲させたままで引き取り、基板収
容部内から基板を搬出することにより、基板収容部内で
基板を引き取り搬出する際に、基板の湾曲状態の変化を
少なくすることができるので、基板が他の基板や他の部
材と抵触する危険性を低減することができ、容易且つ迅
速に基板を搬出することが可能になる。

【００４２】本発明において、前記保持部位にて保持さ
れた前記基板を基板収容部内に導入し、前記基板収容部
内において前記基板を湾曲させた状態のまま引き渡し、
前記基板の前記一対の外縁が支持された状態で収容する
ことが好ましい。

【００４３】この発明によれば、基板収容部内で基板を
湾曲させた状態のまま引き渡し、基板の一対の外縁が支
持された状態で収容することにより、基板収容部内に導
入された基板の湾曲状態の変化を少なくすることができ
るので、基板が他の基板や他の部材と抵触する危険性を
低減することができ、容易且つ迅速に基板を基板収容部
内に収容することが可能になる。

【００４４】次に、本発明の電気光学装置の製造方法
は、電気光学装置の一部を構成する基板を搬送する工程
を有する電気光学装置の製造方法であって、相互に間隔
を隔てて配置された一対の保持部位により、前記基板の
対向する一対の外縁の近傍を支持し、前記基板を前記一
対の外縁間が下方に湾曲した状態で搬送することを特徴
とする。

【００４５】この発明によれば、一対の保持部位により
基板の対向する一対の外縁の近傍を支持することによっ
て、基板形状を強制的に矯正することなく簡易な手段で
容易に基板を一対の外縁間が下方に湾曲した状態にする
ことができるとともに、一対の外縁間が下方に湾曲した
状態で基板を搬送することによって、基板の一対の外縁
を支持した状態で設置するように構成された設置場所に
対して基板を設置させたり、或いは、当該設置場所に既
に設置されている基板を取り出したりする際に、基板の
搬送姿勢と設置姿勢との差を低減することができるの
で、当該基板と他の基板や部材などとの抵触を防止し、
容易且つ迅速に搬入作業及び搬出作業を行うことが可能
になる。したがって、基板表面に損傷を与えたり、異物
を付着させたりする恐れが少なくなるので、製造効率を
低下させることなく高品位の電気光学装置を製造するこ
とができる。

【００４６】本発明において、前記湾曲した状態は、前
記基板の対向する一対の外縁を支持した場合に前記基板
が自重で湾曲する自然湾曲状態と実質的に等しい状態で
あることが好ましい。

【００４７】この発明によれば、一対の保持部位により
保持された基板の湾曲した状態が、基板の対向する一対
の外縁を支持した場合に基板が自重で湾曲する自然湾曲
状態と実質的に等しいことによって、基板の一対の外縁
を支持した状態で設置するように構成された設置場所に
対して基板を設置させたり、或いは、当該設置場所に既
に設置されている基板を取り出したりする際に、基板の
搬送姿勢と設置姿勢との差を実質的になくすことができ
るので、当該基板と他の基板や部材などとの抵触を防止
し、容易且つ迅速に搬入作業及び搬出作業を行うことが
可能になる。

【００４８】本発明において、前記保持部位により前記
基板を下方から支持することが好ましい。

【００４９】この発明によれば、保持部位により基板を
下方から支持することにより、基板の上面に接触するこ
となく搬送することができ、また、基板を反転させなく
ても容易に基板の上面に対して各種の処理を行うことが
可能になる。

【００５０】本発明において、前記一対の保持部位は、
外側から前記基板の全幅の１／４の距離だけ内側に移動
した位置にある４半部位よりも外側で前記基板を保持す
ることが好ましい。

【００５１】この発明によれば、一対の保持部位が基板
の４半部位よりも外側で基板を保持することにより、自
重により一対の保持部位の間に最下点を有するように湾
曲した状態で基板を容易に保持することが可能になる。

【００５２】本発明において、複数の前記保持部位がそ
れぞれ並列してなる一対の保持列を相互に間隔を隔てて
配置し、前記一対の保持列にそれぞれ含まれる複数の保
持部位により前記基板を保持することが好ましい。

【００５３】この発明によれば、複数の保持部位がそれ
ぞれ並列してなる一対の保持列によって基板が保持され
るので、基板をより安定的に保持することが可能にな
る。

【００５４】本発明において、基板収容部内において前
記基板の対向する一対の外縁を支持し、前記基板を前記
一対の外縁間で下方に湾曲させた状態で収容された状態
とし、前記保持部位を前記基板収容部内に導入し、前記
基板の前記一対の外縁の近傍を前記保持部位にて保持
し、前記基板を湾曲させたままで引き取り、前記基板収
容部から搬出することが好ましい。

【００５５】この発明によれば、基板収容部内で自重に
よって湾曲した状態の基板をそのまま一対の保持部位に
て保持し、そのまま湾曲させたままで引き取り、基板収
容部内から基板を搬出することにより、基板収容部内で
基板を引き取り搬出する際に、基板の湾曲状態の変化を
少なくすることができるので、基板が他の基板や他の部
材と抵触する危険性を低減することができ、容易且つ迅
速に基板を搬出することが可能になる。

【００５６】本発明において、前記保持部位にて保持さ
れた前記基板を基板収容部内に導入し、前記基板収容部
内において前記基板を湾曲させた状態のまま引き渡し、
前記基板の前記一対の外縁が支持された状態で収容する
ことが好ましい。

【００５７】この発明によれば、基板収容部内で基板を
湾曲させた状態のまま引き渡し、基板の一対の外縁が支
持された状態で収容することにより、基板収容部内に導
入された基板の湾曲状態の変化を少なくすることができ
るので、基板が他の基板や他の部材と抵触する危険性を
低減することができ、容易且つ迅速に基板を基板収容部
内に収容することが可能になる。

【００５８】

【発明の実施の形態】次に、図面を参照して本発明に係
る吸着保持器、搬送装置、基板の搬送方法、及び電気光
学装置の製造方法の実施形態について詳細に説明する。

【００５９】［第１実施形態］まず、図１乃至図５を参
照して本発明における第１実施形態について説明する。
図１は本発明に係る第１実施形態の吸着保持器２０とマ
ガジン５０に収納された基板１１０との関係を模式的に
示す概略断面図、図２は吸着保持器２０とマガジン５０
に収容された基板１１０との関係を示す概略斜視図、図
３は吸着保持器２０の全体構造を示す概略斜視図、図４
（ａ）は吸着保持器２０の細部構造を示す拡大平面図、
図４（ｂ）は吸着保持器２０の細部構造を示す拡大断面
図である。図５は第１実施形態の搬送装置２００の主要
部分を模式的に示す概略斜視図である。

【００６０】（吸着保持器の構造）最初に、吸着保持器
２０の構造について説明する。図３に示すように、吸着
保持器２０は全体として略コ字状の平面形状を有し、ロ
ボット機構などに取り付けられる基部２０Ａに対して一
対のアーム２１，２１が所定の間隔を隔てて相互に平行
に設けられている。アーム２１には吸着部材２２が設置
された保持部位が２つずつ配置されている。これらの保
持部位は、アーム２１の幅方向中央よりも外側（すなわ
ち、他方のアーム２１とは反対側）にシフトされた位置
に配置されている。また、一方のアーム２１には、上記
２つの保持部位の近傍に（すなわち、アーム２１の先端
側と基端側に）それぞれ光学センサ等からなる検出器２
９が配置されている。

【００６１】図４（ａ）及び（ｂ）は上記保持部位の近
傍を拡大して示すものである。上記アーム２１には、ア
ーム２１の外側に向けて開放された形状の（すなわちア
ーム２１の外側面から切り込まれてなる切り欠き状に形
成された）開口部２１ａが設けられ、この開口部２１ａ
の内部に吸着部が設けられている。この吸着部には、上
面が吸着面２２ａとして構成された上記の吸着部材２２
と、アーム２２に取り付けられた第１回転軸２３と、第
１回転軸２３に取り付けられた軸支部材２４と、軸支部
材２４に取り付けられた一対の第２回転軸２５，２５と
が含まれる。ここで、第２回転軸２５は上記吸着部材２
２に接続されている。

【００６２】軸支部材２４は第１回転軸２３を介してア
ーム２２に対して第１回転軸２３の軸線周りに回転自在
に構成され、また、吸着部材２２は第２回転軸２５を介
して軸支部材２４に対して第２回転軸２５の軸線周りに
回転自在に構成されている。この結果、吸着部材２２の
吸着面２２ａは、アーム２１に対してその周囲の全方位
に向けて傾斜自在に取り付けられている。ただし、吸着
部材２２の外周面と上記軸支部材２４の内面との間、及
び、軸支部材２４の外面とアーム２１の開口部２１ａの
内面との間にはそれぞれ僅かな隙間しか存在しないの
で、実際には吸着部材２２の吸着面２２ａの傾斜可能な
角度範囲は所定の角度以内に限定されている。この所定
の角度は保持対象物に応じて適宜に設定されることが好
ましいが、例えば後述する液晶パネルを構成するための
基板を吸着保持する場合には５〜１０度、好ましくは７
〜８度程度とすることが望ましい。

【００６３】吸着部材２２は、保持対象物に損傷を与え
ないように保持対象物よりも柔らかい素材や弾性素材
（ウレタン樹脂や合成ゴムなど）で構成されていること
が好ましい。本実施形態では、吸着部材２２はＰＥＥＫ
（ポリエーテルエーテルケトンpolyetheretherketone）
で構成されている。このＰＥＥＫはきわめて安定な樹脂
素材であり、特に電気光学装置の製造工程に影響を与え
難い素材として知られている。

【００６４】吸着部材２２は、その吸着面２２ａ内に凹
部２２ｂを有し、凹部２２ｂ内には吸気路２２ｃが開口
している。吸着部材２２には接続管２６が取り付けら
れ、この接続管２６は上記吸気路２２ｃに連通してい
る。接続管２６は可撓性チューブ２７に接続され、この
可撓性チューブ２７は接続管２８を介してアーム２１内
に構成された吸気路２１ｂに接続されている。吸気路２
１ｂは図示しない排気手段に接続され、この排気手段に
より吸着部材２２の凹部２２ｂ内から上記吸気路２２
ｃ、接続管２６、可撓性チューブ２７及び接続管２８を
通って空気が排出されるように構成されている。なお、
吸着部材２２の吸着面２２ａは、周囲部分（アーム２１
の上面）よりも僅かに（１〜５ｍｍ程度、より好ましく
は１．５ｍｍ程度）高くなるように形成されている。

【００６５】（搬送装置の構成）次に、上記吸着保持器
２０を備えた搬送装置２００の構成例を図５に模式的に
示す。この搬送装置２００は、制御手段２１０と、移動
機構２２０と、排気手段２３０とを備えている。制御手
段２１０はＭＰＵ（マイクロプロセッサユニット）等で
構成され、駆動回路２１１に移動機構２２０に対する制
御指令を送出するとともに、入出力回路２１２を介して
各種センサ信号を受信したり、その他の制御対象に対し
て制御指令を送出したりするように構成されている。

【００６６】移動機構２２０は、基部２２１と、この基
部２２１に対して上下動可能及び回転可能に構成された
垂直軸部２２２と、垂直軸部２２２の上端に接続されて
水平に伸びる水平軸部２２３と、水平軸部２２３に取り
付けられ吸着保持器２０を水平軸部の長手方向に移動さ
せるスライダ２２４とを有している。上記垂直軸部２２
２、水平軸部２２３及びスライダ２２４はいずれも駆動
回路２１１による駆動信号によって動作するように構成
されている。

【００６７】移動機構２２０の各部にはそれぞれ位置検
出用の各種センサが取り付けられ、これらのセンサから
の信号は入出力回路２１２を介して上記制御手段２１０
に送られる。また、上記検出器２９の出力信号もまた同
様に制御手段２１０に送られる。

【００６８】吸着保持器２０には排気手段２３０が制御
弁２３１を介して接続されている。制御手段２１０は、
入出力回路２１２を介して制御弁２３１を開閉駆動し、
吸着部材２２による吸着保持状態を制御するように構成
されている。

【００６９】上記搬送装置２００は、制御手段２１０に
よる移動機構２２０の制御駆動により吸着保持器２０を
適宜に移動させる。そして、図２に示すマガジン５０か
ら基板１１０を取り出し、搬送して、図５に示す基板載
置台６０上に、或いは、その他の製造装置に供給した
り、その逆に、他の場所から搬送して図２に示すマガジ
ン５０に基板１１０を格納したりする。なお、図５に示
す基板載置台６０は、垂直に立設された複数の支柱６１
を有し、これらの支柱の上端部で基板１１０を支持する
ように構成されている。この基板載置台６０は、載置さ
れた基板１１０の上面に対して種々の処理を施す支持台
として使用することができ、或いは、基板１１０を受け
渡す中継台として使用することもできる。なお、図示点
線に示すように、基板載置台６０としては、基板１１０
をほぼ平坦に支持するように構成されていてもよい。

【００７０】（吸着保持器及び搬送装置の動作、並び
に、基板の搬送方法）次に、上述の吸着保持器２０及び
これを備えた搬送装置２００によって基板１１０を搬送
する方法について説明する。まず、図１及び図２に示す
マガジン５０内に収容されている基板１１０を取り出す
際の手順について以下に説明する。

【００７１】マガジン５０内においては、係合部５１に
よって基板１１０の対向する一対の外縁１１０ｂが下方
から支持され、これによって基板１１０は全体として中
央１１０ａが下方に下がるように湾曲した状態となって
いる。そして、このように湾曲した基板１１０はマガジ
ン５０内において上下方向に所定間隔で多数配置されて
いる。

【００７２】最初に、図２に示すように吸着保持器２０
をマガジン５０内に導入する。このとき、図１に点線で
示すように、吸着保持器２０のアーム２１をマガジン５
０内に収容された上下の基板１１０に抵触しないように
両基板の間に挿入し、アーム２１が完全にマガジン５０
内に配置されるようにする。次に、検出器２９によって
アーム２１の先端部と基端部の双方の上に基板１１０が
共に存在していることを確認した後に、吸着保持器２０
を上昇させ、アーム２１に設けられた吸着部材２２が上
方に配置された基板１１０の下面に当接し、基板１１０
をやや上方に持ち上げるようにする。ここで、吸着部材
２２によって持ち上げられた基板１１０は、マガジン５
０の係合部５１に近い部位にて吸着部材２２により下方
され支持されているので、係合部５１によって外縁１１
０ｂが支持されていたときとほぼ同様の湾曲した状態と
なっている。その後、制御弁２３１を開いて吸着部材２
２により基板１１０の下面を吸着保持する。このとき、
基板１１０は上記のように湾曲した状態となっているの
で、吸着部材２２は基板１１０の湾曲した下面にその吸
着面２２ａを合わせるように内側に自律的に傾斜し、基
板１１０の湾曲状態をほとんど変えることなく吸着保持
する。このようにして吸着保持部２０に吸着保持された
基板１１０は、図１に実線で示すように、マガジン５０
の係合部５１に支持されていた収容時の湾曲状態にほぼ
等しい湾曲状態となっている。したがって、マガジン５
０に対して基板１１０を出し入れする際に、出し入れす
る基板１１０と上下に隣接する他の基板とが接触する可
能性を従来よりも低減することができる。また、マガジ
ン５０内の基板の設置間隔を従来よりも低減することが
できる。

【００７３】特に、本実施形態の場合、吸着保持器２０
の一対のアーム２１は、マガジン５０の左右内壁に設け
られた一対の係合部５１の内側に隣接した位置に配置さ
れていて、その結果、マガジン５０内において基板１１
０が一対の係合部５１によって支持される外縁１１０ｂ
のすぐ内側の部位が吸着部材２２によって吸着保持され
るようになっている。このとき、一対のアーム２１の外
側部がマガジン５０の係合部５１の内端に抵触しないよ
うに、一対のアーム２１の外側部の間隔は左右の係合部
の内端の間隔よりも小さくしなければならないが、本実
施形態では上記のようにアーム２１の幅方向中央よりも
外側にシフトして吸着部材２２が取り付けられているの
で、アーム２１と係合部５１との抵触を避けながら、吸
着部材２２によって吸着保持される基板部位を基板の外
縁１１０ｂに近い位置に設定することが可能になってい
る。例えば、アーム２１の外側部と、マガジン５０の係
合部５１の内端との間隔は、抵触事故を避けるために３
〜８ｍｍ程度確保することが望ましいが、この程度の間
隔を設けても、基板１１０をマガジン５０の係合部５１
が支持する部位と、吸着部材２２が吸着保持する中心部
位との距離は５〜１０ｍｍ程度とすることができる。こ
のようにマガジン５０の係合部５１によって支持される
基板１１０の外縁１１０ｂと、吸着部材２２によって吸
着保持される基板部位との距離が小さいことによって、
係合部５１に支持された基板１１０のマガジン５０内で
の収容姿勢の湾曲度合と、吸着保持器２０に吸着保持さ
れた基板１１０の搬送姿勢の湾曲度合とを実質的に同程
度にすることができる。したがって、マガジン５０内に
おいて吸着保持器２０によって吸着保持される基板１１
０と、上下に隣接する他の基板１１０との抵触の危険性
をさらに低減することができ、また、マガジン５０内の
基板１１０の収容間隔もさらに狭めることが可能にな
る。

【００７４】ところで、従来の図８及び図９に示す吸着
保持器１０においては、基本的に吸着保持された基板１
１０が平坦になるように構成されている。より具体的に
言えば、吸着保持器１０のアーム１１に設けられた吸着
部１１ａは、基板１１０の全幅を４等分したときの中央
１１０ａ寄りの部分と外側の部分との境界部位（換言す
れば、基板１１０の外縁１１０ｂから全幅の１／４の距
離だけ中央１１０ａ側に移動した位置にある部分、以
下、単に「４半部位」という。）を吸着保持するように
構成されていることにより、吸着保持する部位の内側に
ある基板部分の重量と外側にある基板部分の重量とがほ
ぼバランスし、しかも、吸着部１１ａの吸着面は水平姿
勢で固定されているので、吸着保持したときに基板を水
平姿勢に矯正するように作用するため、基板１１０は吸
着保持器１０によって吸着保持されている状態ではほぼ
平坦な姿勢となる。

【００７５】一方、本実施形態の吸着保持器２０では、
基板１１０の４半部位よりも外側の部位を吸着部材２２
によって吸着保持するように構成されているので、基板
１１０は自重によって中央１１０ａが下方に垂れ下がる
ように湾曲する。また、吸着保持器２０の吸着部材２２
は傾斜自在に構成されているので、基板１１０が自重に
よって自ら湾曲することを妨げず、特に、吸着部材２２
が吸着した基板部位の近傍においても基板１１０の自然
湾曲状態がそのまま維持される。

【００７６】上記のようにしてマガジン５０内で基板１
１０を吸着保持した吸着保持器２０は、図５に示す移動
機構２２０によってマガジン５０から導出され、図３に
示す状態で吸着保持した基板１１０をマガジン５０の外
部へ搬出する。

【００７７】次に、上記説明とは逆に、図３に示すよう
に吸着保持器２０により基板１１０が湾曲状態で吸着保
持された状態で搬送され、図１及び図２に示すマガジン
５０に基板１１０を格納する場合について説明する。こ
の場合には、基板１１０を吸着保持した吸着保持器２０
を図２に示すようにマガジン５０に導入する。具体的に
は、図１に実線で示すように、吸着保持されている基板
１１０の外縁１１０ｂが係合部５１よりもやや上方に位
置する高さに配置されるように、吸着保持器２０をマガ
ジン５０内に挿入する。その後、図５に示す制御弁２３
１を切り換えて吸着部材２２の吸着作用を解除してか
ら、ゆっくりと吸着保持器２０を降下させることによ
り、図１に点線で示すように基板１１０の外縁１１０ｂ
がマガジン５０の係合部５１に係合して支持されるよう
にし、さらに、吸着保持器２０を下降させて基板１１０
の下面から吸着部材２２の吸着面２２ａを離反させ、そ
の後、吸着保持器２０をマガジン５０の外側へ退出させ
る。

【００７８】以上説明した本実施形態では、基板１１０
をその自然湾曲状態に近い状態で湾曲させたまま搬送す
るように構成されているので、搬送時の基板１１０の姿
勢が安定し、基板１１０の搬送時の振動や変形を低減す
ることができるという２次的な効果も得られる。

【００７９】［第２実施形態］次に、図６及び図７を参
照して、本発明における第２実施形態の吸着保持器につ
いて説明する。この実施形態の吸着保持器３０は、第１
実施形態と同様の搬送装置に用いることができ、基本的
には同様に動作するので、以下、共通部分についての説
明は省略する。

【００８０】図６に示すように、吸着保持器３０は、第
１実施形態とほぼ同様に略コ字状の平面形状を有し、相
互に平行に伸びる一対のアーム３１，３１を備えてい
る。アーム３１にはそれぞれ吸着部材３２が取り付けら
れ、また、アーム３１の長さ方向にほぼ均等に分散した
位置に複数（図示例では３つ）の支持ピン３８が取り付
けられている。また、一方のアーム３１にはアーム３１
の長さ方向に離隔した位置（図示例ではアーム３１の先
端側と基端側の２箇所）に検出器３９が取り付けられて
いる。

【００８１】吸着部材３２には、図７に示すように、そ
の上部に設けられた吸着面３２ａ内に凹部３２ｂが設け
られ、この凹部３２ｂ内には吸気路３２ｃが開口してい
る。この吸着部材３２は第１実施形態と同様の素材で構
成される。また、吸着部材３２は、凸球面状の凸状外周
面を有する内側部材３３Ａと、凹球面状の凹状内周面を
有する外側部材３３Ｂとが相互に摺動自在に構成されて
なる球面自在継手３３を介してアーム３１に取り付けら
れ、この球面自在継手３３によってアーム３１の上面に
対して全方位に向けて傾斜自在に構成されている。ただ
し、吸着部材３２はアーム３１の凹部３１ａ内に収容さ
れ、凹部３１ａの内周面と吸着部材３２の外周縁との間
隔は僅かであるので、吸着部材３２の傾斜可能な角度範
囲はほぼ第１実施形態と同様に制限されている。

【００８２】吸着部材３２はガスケット３５を介して接
続部材３４と接続され、接続部材３４は接続管３６を介
して可撓性チューブ３７に接続されているので、吸着部
材３２内の吸気路３２ｃは接続部材３４及び接続管３６
を経て可撓性チューブ３７の内部と連通している。この
可撓性チューブ３７は第１実施形態と同様に図５に示す
排気手段２３０に接続される。

【００８３】一方、支持ピン３８は、アーム３１に設け
られた穴部に嵌合され、図示しない止めネジ等の固定手
段によって固定されている。支持ピン３８は吸着部材３
２と同じ素材（好ましくはＰＥＥＫ）で構成されること
が好ましい。支持ピン３８は、周囲部分に対する上記吸
着部材３２の突出高さとほぼ等しい高さとなるように、
アーム３１の上面よりも僅かに突出している。なお、実
用上、支持ピン３８の高さは調節可能に構成されている
ことが好ましい。

【００８４】この実施形態では、基板１１０の湾曲方向
の吸着部位３２の位置などは第１実施形態とほぼ同様に
構成されているが、一対のアーム３１のそれぞれに配置
された複数の保持部位において、保持部位の一つにのみ
吸着部材３２が設けられ、その他の保持部位には支持ピ
ン３８が設けられている点で第１実施形態とは異なる。
この支持ピン３８は、基板１１０を吸着保持する機能は
備えていないけれども、基板１１０を下方から支持する
ことにより保持する機能を有しているので、一対のアー
ム３１にそれぞれ最低一つずつ設けられていれば基板１
１０の安定性に寄与し得る。

【００８５】この実施形態においては、第１実施形態と
は異なり、吸着部材３２が一対のアーム３１にそれぞれ
一つずつ設けられているだけであるので、吸着保持部３
０の構造の簡略化や軽量化を図ることができるととも
に、基板１１０は、その湾曲中心（中央１１０ａ）の両
側においてそれぞれ一箇所だけで吸着保持されているの
で、吸着部材から複雑な応力を受けることが少なくなる
ため、搬送時における歪を低減できる。すなわち、吸着
部材３２が設けられている部位以外の保持部位には単に
下方から基板を支持するだけの支持ピン３８が設けられ
ているだけであるので、基板１１０の形状に複雑な矯正
力を与えることが少なくなり、自然な湾曲状態により近
い状態で搬送することが可能になる。

【００８６】上記実施形態の吸着保持器２０，３０にお
いては、２箇所以上の保持部位に吸着部を設けている
が、最低１箇所に吸着部が設けられていれば、基板その
他の保持対象物を吸着保持することができる。また、上
記実施形態ではいずれも保持対象物を下方から支持する
ことにより保持するようにしているが、逆に、保持対象
物を上方から吸着保持することも可能である。この場
合、上記の基板１１０を上方から吸着保持するには、基
板の湾曲方向に間隔を隔てて配置された一対の吸着保持
部が設けられていることが、基板を確実且つ実用的に保
持し、搬送する上で好ましい。

【００８７】［電気光学装置の製造方法］次に、図１０
を参照して本発明に係る電気光学装置（液晶パネル）の
製造方法について説明する。

【００８８】液晶パネルの製造方法としては、複数の液
晶パネルを構成し得る大判の基板を貼り合わせて大判パ
ネルを構成し、この大判パネルを分割して個々の液晶パ
ネルを製造する方法が知られている。この方法は、特に
小形の液晶パネルを製造する場合に、製造効率を高め、
製造コストを低減する上で有利である。このように大判
の基板を用いる製造方法では、基板の厚さに比して平面
サイズが大きくなるので、その分だけ基板の自重による
撓み量が大きくなり、その取り扱いが困難になるから、
このような製造方法に本発明を適用することが特に効果
的である。もちろん、本発明の電気光学装置の製造方法
はこのような大判の基板を用いる製造方法に限定される
ものではない。

【００８９】この製造方法においては、図１０（ａ）に
示す大判の基板１１０，１２０の内面に、それぞれＩＴ
Ｏ（インジウムスズ酸化物）等の透明導電体で構成され
た電極パターンをスパッタリング法やフォトリソグラフ
ィ技術を用いて形成し、この電極パターンの上に、配向
膜を塗布形成する。配向膜には所定の配向処理（ラビン
グ処理など）が施される。また、製造される液晶パネル
の構造に応じて、カラーフィルタや反射層などが適宜に
形成される。例えば、カラー表示液晶パネルを製造する
場合には、基板の表面上にカラーフィルタが形成され、
その後、上記電極パターンが形成される。また、反射型
液晶パネル（反射半透過型液晶パネルを含む。）を製造
する場合には、反射層を形成し、その上に透明絶縁膜を
形成してから、上記電極パターンを形成する。この場
合、透明導電体で構成された電極パターンを形成する代
わりに、反射層と電極とを兼ねる反射電極を形成する場
合もある。

【００９０】上記の製造工程は、いずれも大判の基板１
１０，１２０に対して各種処理を行うものであり、スパ
ッタリングや蒸着などの成膜技術、印刷やスピンコーテ
ィングなどの塗布技術、露光処理などが施される。ま
た、ソフトエッチングや洗浄処理を行ったり、単に一時
的に保管したりする場合もある。このような工程中にお
いては、大判の基板１１０，１２０を適宜に移し変える
などの移載作業（例えば、上記マガジン５０に多数の基
板を収容して一括して洗浄処理を施したり、マガジン５
０毎別の場所に搬送したりする場合に、マガジン５０に
対して基板を出し入れする作業）、或る程度の距離基板
を移動させる移動作業、製造装置などに基板を供給する
給材作業、製造装置から基板を排除する除材作業などが
必要になる。

【００９１】上記の各種作業においては、上記第１実施
形態及び第２実施形態にて説明した吸着保持器２０，３
０を用いて基板１１０，１２０を保持し、搬送装置２０
０を用いて、基板の搬送を行ったり、マガジン５０や基
板載置台６０などに対して基板を出し入れしたりする。

【００９２】その後、基板１１０と基板１２０とが図示
しないシール材を介して貼り合わせられ、図１０（ａ）
に示す大判パネル１００が形成される。そして、大判パ
ネル１００のパネル基板１１０，１２０の外面上には、
図示Ｘ方向に伸びるスクライブ溝１００ｘが刻設され、
このスクライブ溝１００ｘに沿ってパネル基板１１０，
１２０が破断され、図１３（ｂ）に示す短冊状の中間パ
ネル１３０が形成される。この中間パネル１３０に対し
ては、露出したシール材の開口部から液晶が注入され、
その後、シール材の開口部は閉鎖され、液晶が中間パネ
ル１３０内に封入される。さらに、中間パネル１３０に
対しては図示Ｙ方向に伸びるスクライブ溝１００ｙが刻
設され、このスクライブ溝１００ｙに沿って中間基板１
３１，１３２が破断されることによって、図１３（ｃ）
に示す液晶パネル１４０が形成される。

【００９３】図１４及び図１５には、上記のようにして
構成された液晶パネル１４０の平面透視図及び概略断面
図を示す。液晶パネル１４０は、基板１４１と１４２と
がシール材１４３によって貼り合わせられ、その間に液
晶１４４が封入されている。ここで、シール材１４３に
は液晶注入用の開口部１４３ａが設けられ、この開口部
１４３ａは封止材１４５によって封鎖されている。基板
１４１の内面上には、上記基板１１０の電極パターンに
設けられていた電極１１１、配線１１２及び入力端子１
１３が配置されている。電極１１１の表面上には配向膜
１４７が形成されている。また、基板１４２の内面上に
も、基板１２０の電極パターンに設けられていた電極１
２１、配線１２２及び入力端子１２３が配置され、電極
１２１の表面上には配向膜１４９が形成されている。こ
こで、電極１１１，１２１はシール材１４３によって囲
まれる液晶封入領域内に構成されており、この液晶封入
領域内から配線１１２，１２２が基板張出部１４１Ｔ，
１４２Ｔの表面上まで引き出され、その先端が入力端子
部１１３，１２３となっている。

【００９４】尚、本発明の吸着器及びこれを備えた搬送
装置は、上述の図示例にのみ限定されるものではなく、
本発明の要旨を逸脱しない範囲内において種々変更を加
え得ることは勿論である。例えば、上記製造方法では複
数の液晶パネルを製造するための大判の基板に対する搬
送作業等の説明をしたが、本発明はこのような場合に限
定されるものではなく、単一の液晶パネルを構成する基
板を搬送する場合に適用させてもよい。また、本発明
は、液晶パネル以外の電気光学装置、例えば、エレクト
ロルミネッセンスパネルの製造工程に適用することも可
能である。

【００９５】

【発明の効果】以上、説明したように本発明によれば、
相互に間隔を隔てて配置された一対の保持部位によって
保持対象物を保持し、少なくとも一方の保持部位に傾斜
可能な吸着部を設けることによって、保持対象物を湾曲
させた状態のまま保持することができるようになること
から、保持対象物の収納姿勢と搬送姿勢との差異を低減
し、保持対象物の取り扱いを容易化できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明に係る第１実施形態の吸着保持器とマガ
ジンに収納された基板との関係を模式的に示す概略断面
図である。

【図２】第１実施形態の吸着保持器とマガジンに収納さ
れた基板との関係を模式的に示す概略斜視図である。

【図３】第１実施形態の吸着保持器の構造を示す概略斜
視図である。

【図４】第１実施形態の吸着保持器の細部構造を示す拡
大平面図（ａ）及び拡大断面図（ｂ）である。

【図５】第１実施形態の搬送装置の概略構成例を示す概
略斜視図である。

【図６】第２実施形態の吸着保持器の構造を示す概略斜
視図である。

【図７】第２実施形態の吸着保持器の細部構造を示す拡
大平面図（ａ）及び拡大断面図（ｂ）である。

【図８】従来の吸着保持器とマガジンに収納された基板
との関係を模式的に示す概略断面図である。

【図９】従来の吸着保持器とマガジンに収納された基板
との関係を模式的に示す概略斜視図である。

【図１０】液晶パネルの製造工程を模式的に示す概略斜
視図（ａ）〜（ｃ）である。

【図１１】液晶パネルの構造を模式的に示す概略平面透
視図である。

【図１２】液晶パネルの構造を模式的に示す概略断面図
である。

【符号の説明】

１０，２０，３０ 吸着保持器 １１，２１，３１ アーム ２２，３２ 吸着部材 ２２ａ，３２ａ 吸着面 ５０ マガジン ５１ 係合部 ６０ 基板載置台 ６１ 支柱 １１０，１２０ 基板 １１０ａ 中央 １１０ｂ 外縁 ２００ 搬送装置 ２１０ 制御手段 ２１１ 駆動回路 ２１２ 入出力回路 ２２０ 移動機構

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Ｆターム(参考） 3C007 AS01 AS24 BS15 DS01 ES03 ES17 FS01 FT01 FT15 NS09 NS12 5F031 CA02 CA05 DA01 EA07 FA02 GA06 GA08 HA72 JA27 MA23 PA13 PA20 PA26 PA30

Claims (24)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 保持対象物を下方から支持した状態で保
   持するための一対の保持部位が相互に間隔を隔てて配置
   され、 前記一対の保持部位のうち少なくとも一方の前記保持部
   位に保持対象物を吸着保持するための吸着部が設けら
   れ、 前記吸着部の前記保持対象物に対する吸着面が少なくと
   も所定角度範囲内で他方の前記保持部位の側に傾斜可能
   に構成されていることを特徴とする吸着保持器。
2. 【請求項２】 前記吸着部は前記一対の保持部位のいず
   れにも設けられていることを特徴とする請求項１に記載
   の吸着保持器。
3. 【請求項３】 前記吸着部を有しない前記保持部位に
   は、支持突起が設けられていることを特徴とする請求項
   １に記載の吸着保持器。
4. 【請求項４】 保持対象物を保持するための一対の保持
   部位が相互に間隔を隔てて配置され、 前記一対の保持部位には保持対象物を吸着保持するため
   の吸着部が設けられ、前記吸着部の前記保持対象物に対
   する吸着面が、前記一対の保持部位の間に最下点を有す
   る湾曲面に沿う方向に、少なくとも所定角度範囲内で傾
   斜可能に構成されていることを特徴とする吸着保持器。
5. 【請求項５】 前記吸着部は、前記吸着面が少なくとも
   所定角度範囲内で全方位に向けて傾斜自在に構成されて
   いることを特徴とする請求項１乃至請求項４のいずれか
   １項に記載の吸着保持器。
6. 【請求項６】 複数の前記保持部位がそれぞれ並列して
   なる一対の保持列が相互に間隔を隔てて配置されている
   ことを特徴とする請求項１乃至請求項５のいずれか１項
   に記載の吸着保持器。
7. 【請求項７】 前記一対の保持部位は、相互に間隔を隔
   てて配置された一対のアーム上に配置されていることを
   特徴とする請求項１乃至請求項６のいずれか１項に記載
   の吸着保持器。
8. 【請求項８】 前記保持部位は、前記アームの幅方向中
   央から外側にシフトした位置に配置されていることを特
   徴とする請求項７に記載の吸着保持器。
9. 【請求項９】 請求項１乃至請求項６のいずれか１項に
   記載の吸着保持器と、該吸着保持器を移動させる移動手
   段とを有する搬送装置。
10. 【請求項１０】 前記吸着保持器及び前記移動手段を制
    御する制御手段を有し、 前記制御手段は、 前記吸着保持器を前進させるステップ、前記吸着保持器
    を上昇させるステップ、前記吸着保持器の前記吸着部に
    より保持対象物を下方から吸着保持させるステップ、及
    び、前記吸着保持器を後退させるステップを順次実行す
    る引き取り動作モードと、 前記吸着保持器を前進させるステップ、前記吸着保持器
    の前記吸着部による保持対象物の吸着保持状態を解除さ
    せるステップ、前記吸着保持器を下降させるステップ、
    及び、前記吸着保持器を後退させるステップを順次実行
    する引き渡し動作モードと、を実行可能に構成されてい
    ることを特徴とする請求項９に記載の搬送装置。
11. 【請求項１１】 基板を保持して搬送する基板の搬送方
    法であって、 相互に間隔を隔てて配置された一対の保持部位により、
    前記基板の対向する一対の外縁の近傍を支持し、 前記基板を前記一対の外縁間が下方に湾曲した状態で搬
    送することを特徴とする基板の搬送方法。
12. 【請求項１２】 前記湾曲した状態は、前記基板の対向
    する一対の外縁を支持した場合に前記基板が自重で湾曲
    する自然湾曲状態と実質的に等しい状態であることを特
    徴とする請求項１１に記載の基板の搬送方法。
13. 【請求項１３】 前記保持部位により前記基板を下方か
    ら支持することを特徴とする請求項１１又は請求項１２
    に記載の基板の搬送方法。
14. 【請求項１４】 前記一対の保持部位は、外側から前記
    基板の全幅の１／４の距離だけ内側に移動した位置にあ
    る４半部位よりも外側で前記基板を保持することを特徴
    とする請求項１１乃至請求項１３のいずれか１項に記載
    の基板の搬送方法。
15. 【請求項１５】 複数の前記保持部位がそれぞれ並列し
    てなる一対の保持列を相互に間隔を隔てて配置し、 前記一対の保持列にそれぞれ含まれる複数の保持部位に
    より前記基板を保持することを特徴とする請求項１１乃
    至請求項１４のいずれか１項に記載の基板の搬送方法。
16. 【請求項１６】 基板収容部内において前記基板の対向
    する一対の外縁を支持し、前記基板を前記一対の外縁間
    で下方に湾曲させた状態で収容された状態とし、 前記保持部位を前記基板収容部内に導入し、前記基板の
    前記一対の外縁の近傍を前記保持部位にて保持し、前記
    基板を湾曲させたままで引き取り、前記基板収容部から
    搬出することを特徴とする請求項１１乃至請求項１５の
    いずれか１項に記載の基板の搬送方法。
17. 【請求項１７】 前記保持部位にて保持された前記基板
    を基板収容部内に導入し、 前記基板収容部内において前記基板を湾曲させた状態の
    まま引き渡し、前記基板の前記一対の外縁が支持された
    状態で収容することを特徴とする請求項１１乃至請求項
    １６のいずれか１項に記載の基板の搬送方法。
18. 【請求項１８】 電気光学装置の一部を構成する基板を
    搬送する工程を有する電気光学装置の製造方法であっ
    て、 相互に間隔を隔てて配置された一対の保持部位により、
    前記基板の対向する一対の外縁の近傍を支持し、 前記基板を前記一対の外縁間が下方に湾曲した状態で搬
    送することを特徴とする電気光学装置の製造方法。
19. 【請求項１９】 前記湾曲した状態は、前記基板の対向
    する一対の外縁を支持した場合に前記基板が自重で湾曲
    する自然湾曲状態と実質的に等しい状態であることを特
    徴とする請求項１８に記載の電気光学装置の製造方法。
20. 【請求項２０】 前記保持部位により前記基板を下方か
    ら支持することを特徴とする請求項１８又は請求項１９
    に記載の電気光学装置の製造方法。
21. 【請求項２１】 前記一対の保持部位は、外側から前記
    基板の全幅の１／４の距離だけ内側に移動した位置にあ
    る４半部位よりも外側で前記基板を保持することを特徴
    とする請求項１８乃至請求項２０のいずれか１項に記載
    の電気光学装置の製造方法。
22. 【請求項２２】 複数の前記保持部位がそれぞれ並列し
    てなる一対の保持列を相互に間隔を隔てて配置し、 前記一対の保持列にそれぞれ含まれる複数の保持部位に
    より前記基板を保持することを特徴とする請求項１８乃
    至請求項２１のいずれか１項に記載の電気光学装置の製
    造方法。
23. 【請求項２３】 基板収容部内において前記基板の対向
    する一対の外縁を支持し、前記基板を前記一対の外縁間
    で下方に湾曲させた状態で収容された状態とし、 前記保持部位を前記基板収容部内に導入し、前記基板の
    前記一対の外縁の近傍を前記保持部位にて保持し、前記
    基板を湾曲させたままで引き取り、前記基板収容部から
    搬出することを特徴とする請求項１８乃至請求項２２の
    いずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。
24. 【請求項２４】 前記保持部位にて保持された前記基板
    を基板収容部内に導入し、 前記基板収容部内において前記基板を湾曲させた状態の
    まま引き渡し、前記基板の前記一対の外縁が支持された
    状態で収容することを特徴とする請求項１８乃至請求項
    ２３のいずれか１項に記載の電気光学装置の製造方法。