JPH10209243A - 基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法ならびに基板姿勢変換装置 - Google Patents
基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法ならびに基板姿勢変換装置Info
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- JPH10209243A JPH10209243A JP1033797A JP1033797A JPH10209243A JP H10209243 A JPH10209243 A JP H10209243A JP 1033797 A JP1033797 A JP 1033797A JP 1033797 A JP1033797 A JP 1033797A JP H10209243 A JPH10209243 A JP H10209243A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 基板の姿勢を変更することが可能で、かつ製
造コストが少なくて済み、パーティクルの発生を抑える
ことができる基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 一方のカセットの基板Ｗを基板載置部４
１０ａに搬送する場合には、ハンド２６０は基板Ｗを水
平姿勢（ＸＹ面内方向）で取り出した後、ハンド回動部
の回動Ａ３により基板Ｗを把持した状態で９０゜の正回
動を行い基板Ｗを第１の鉛直姿勢（Ｚ方向）にする。次
に開閉チャック２６４ｂを開き、基板載置部４１０ａの
溝に基板Ｗを位置させてハンド２６０がさらに降下した
後、わずかにＹ軸の負方向に移動し、基板Ｗの間から支
持板２６５ａ〜２６５ｅを抜取る。逆に、他方のカセッ
トの基板Ｗを基板載置部４１０ｂに搬送する場合には、
基板Ｗを把持したハンドが９０゜の逆回動を行って基板
Ｗを第２の鉛直姿勢にし、開閉チャック２６４ａを開
き、基板載置部４１０ａの溝に基板Ｗを位置させて降下
した後、支持板２６５ａ〜２６５ｅを抜取る。
造コストが少なくて済み、パーティクルの発生を抑える
ことができる基板搬送装置を提供する。 【解決手段】 一方のカセットの基板Ｗを基板載置部４
１０ａに搬送する場合には、ハンド２６０は基板Ｗを水
平姿勢（ＸＹ面内方向）で取り出した後、ハンド回動部
の回動Ａ３により基板Ｗを把持した状態で９０゜の正回
動を行い基板Ｗを第１の鉛直姿勢（Ｚ方向）にする。次
に開閉チャック２６４ｂを開き、基板載置部４１０ａの
溝に基板Ｗを位置させてハンド２６０がさらに降下した
後、わずかにＹ軸の負方向に移動し、基板Ｗの間から支
持板２６５ａ〜２６５ｅを抜取る。逆に、他方のカセッ
トの基板Ｗを基板載置部４１０ｂに搬送する場合には、
基板Ｗを把持したハンドが９０゜の逆回動を行って基板
Ｗを第２の鉛直姿勢にし、開閉チャック２６４ａを開
き、基板載置部４１０ａの溝に基板Ｗを位置させて降下
した後、支持板２６５ａ〜２６５ｅを抜取る。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は第１ポジションに
配置された半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、
液晶表示用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板（以
下「基板」という。）を搬送して、その基板を第２ポジ
ションに配置する基板搬送装置およびそれを用いた基板
搬送方法ならびに基板姿勢変換装置に関する。
配置された半導体ウエハ、フォトマスク用ガラス基板、
液晶表示用ガラス基板、光ディスク用基板等の基板（以
下「基板」という。）を搬送して、その基板を第２ポジ
ションに配置する基板搬送装置およびそれを用いた基板
搬送方法ならびに基板姿勢変換装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来、各種基板処理を行う場合に、カセ
ットに水平姿勢で収納された基板をカセットから搬出
し、水平姿勢のまま基板処理を行ったり、カセット鉛直
姿勢で収納された基板をカセットから搬出し、鉛直姿勢
のまま基板処理を行ったりする方法がある。
ットに水平姿勢で収納された基板をカセットから搬出
し、水平姿勢のまま基板処理を行ったり、カセット鉛直
姿勢で収納された基板をカセットから搬出し、鉛直姿勢
のまま基板処理を行ったりする方法がある。
【０００３】また、諸般の事情から収納された基板が鉛
直姿勢であるようにカセットを基板処理装置に投入した
場合や、水平に基板を収納したカセットを基板処理装置
に投入した場合に、カセットごと９０゜の横転をさせて
基板の姿勢を変換して処理する必要がある。
直姿勢であるようにカセットを基板処理装置に投入した
場合や、水平に基板を収納したカセットを基板処理装置
に投入した場合に、カセットごと９０゜の横転をさせて
基板の姿勢を変換して処理する必要がある。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】ところで、前者の技術
の場合、実際には水平姿勢で行った方が有利な処理と鉛
直姿勢で行った方が有利な処理とを含む複数の処理を行
う場合でも、いずれかの姿勢のままで処理を行わなけれ
ばならなかった。
の場合、実際には水平姿勢で行った方が有利な処理と鉛
直姿勢で行った方が有利な処理とを含む複数の処理を行
う場合でも、いずれかの姿勢のままで処理を行わなけれ
ばならなかった。
【０００５】また、後者の技術の場合、基板を搬送する
ロボット以外にカセット内に基板が収納された状態でカ
セットを横転させる装置が余分に必要となり、装置の製
造コストが高くなっていた。
ロボット以外にカセット内に基板が収納された状態でカ
セットを横転させる装置が余分に必要となり、装置の製
造コストが高くなっていた。
【０００６】また、カセットの姿勢変換の際にカセット
の基板支持部分と基板との間に摩擦が生じてパーティク
ル等が発生するといった問題が生じていた。
の基板支持部分と基板との間に摩擦が生じてパーティク
ル等が発生するといった問題が生じていた。
【０００７】この発明は、従来技術における上述の問題
の克服を意図しており、基板の姿勢を変更することが可
能で、かつ製造コストが少なくて済み、パーティクルの
発生を抑えることができる基板搬送装置およびそれを用
いた基板搬送方法ならびに基板姿勢変換装置を提供する
ことを目的とする。
の克服を意図しており、基板の姿勢を変更することが可
能で、かつ製造コストが少なくて済み、パーティクルの
発生を抑えることができる基板搬送装置およびそれを用
いた基板搬送方法ならびに基板姿勢変換装置を提供する
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、この発明の請求項１の装置は、第１ポジションに配
置された基板を搬送して第２ポジションに配置する基板
搬送装置であって、支持板と、前記支持板に設けられ、
基板を支持する複数のピンと、基板を収容可能な収容溝
を有するチャックとを備える基板保持手段と、前記基板
保持手段を、ほぼ前記支持板の基部と先端部とを結ぶ軸
線を中心に回動させることにより、前記基板保持手段に
よって保持された基板を、少なくとも、水平姿勢、第１
の鉛直姿勢、および前記第１の鉛直姿勢に対して上下反
転の関係にある第２の鉛直姿勢、のうちのいずれかの姿
勢とすることを許容する第１駆動手段と、前記第１ポジ
ションおよび前記第２ポジションの間で前記基板保持手
段を移動させる第２駆動手段と、を備える。
め、この発明の請求項１の装置は、第１ポジションに配
置された基板を搬送して第２ポジションに配置する基板
搬送装置であって、支持板と、前記支持板に設けられ、
基板を支持する複数のピンと、基板を収容可能な収容溝
を有するチャックとを備える基板保持手段と、前記基板
保持手段を、ほぼ前記支持板の基部と先端部とを結ぶ軸
線を中心に回動させることにより、前記基板保持手段に
よって保持された基板を、少なくとも、水平姿勢、第１
の鉛直姿勢、および前記第１の鉛直姿勢に対して上下反
転の関係にある第２の鉛直姿勢、のうちのいずれかの姿
勢とすることを許容する第１駆動手段と、前記第１ポジ
ションおよび前記第２ポジションの間で前記基板保持手
段を移動させる第２駆動手段と、を備える。
【０００９】また、この発明の請求項２の装置は、請求
項１の基板搬送装置であって、前記チャックが、前記先
端部に固定された固定チャックと、前記基部に近い側に
おいて、前記軸線に関してほぼ対称に配置され、独立し
て開閉可能な複数の開閉チャックと、を備える。
項１の基板搬送装置であって、前記チャックが、前記先
端部に固定された固定チャックと、前記基部に近い側に
おいて、前記軸線に関してほぼ対称に配置され、独立し
て開閉可能な複数の開閉チャックと、を備える。
【００１０】また、この発明の請求項３の装置は、請求
項１または請求項２の基板搬送装置であって、複数の前
記基板保持手段を多段に積層したことを特徴とする。
項１または請求項２の基板搬送装置であって、複数の前
記基板保持手段を多段に積層したことを特徴とする。
【００１１】また、この発明の請求項４の装置は、請求
項１ないし請求項３のうちのいずれかの基板搬送装置に
おいて、前記収容溝の奥側が狭まっているとともに、そ
の底部が少なくとも基板の厚さより大きな幅のフラット
部分を備える。
項１ないし請求項３のうちのいずれかの基板搬送装置に
おいて、前記収容溝の奥側が狭まっているとともに、そ
の底部が少なくとも基板の厚さより大きな幅のフラット
部分を備える。
【００１２】また、この発明の請求項５の方法は、請求
項１ないし請求項４のうちのいずれかの基板搬送装置を
用いて、前記第１ポジションに配置された基板を搬送し
て前記第２ポジションに配置する基板搬送方法であっ
て、前記第１ポジションにおいて水平姿勢で配置された
基板を前記基板保持手段によって保持しつつ、基板を水
平姿勢で前記第１ポジションから搬出する工程と、基板
を保持した前記基板保持手段を前記第２駆動手段によっ
て前記第２ポジションへと移動させるとともに、前記第
１ポジションから搬出された後、前記第２ポジションに
前記基板を搬入する前までの期間に前記第１駆動手段に
よって前記基板保持手段を回動させることにより、第１
と第２の鉛直姿勢のうちあらかじめ決定された鉛直姿勢
へと基板の姿勢を変換する工程と、基板の姿勢の変換後
に基板を前記第２ポジションへ搬入して前記基板保持手
段による基板の保持を解放する工程と、を備える。
項１ないし請求項４のうちのいずれかの基板搬送装置を
用いて、前記第１ポジションに配置された基板を搬送し
て前記第２ポジションに配置する基板搬送方法であっ
て、前記第１ポジションにおいて水平姿勢で配置された
基板を前記基板保持手段によって保持しつつ、基板を水
平姿勢で前記第１ポジションから搬出する工程と、基板
を保持した前記基板保持手段を前記第２駆動手段によっ
て前記第２ポジションへと移動させるとともに、前記第
１ポジションから搬出された後、前記第２ポジションに
前記基板を搬入する前までの期間に前記第１駆動手段に
よって前記基板保持手段を回動させることにより、第１
と第２の鉛直姿勢のうちあらかじめ決定された鉛直姿勢
へと基板の姿勢を変換する工程と、基板の姿勢の変換後
に基板を前記第２ポジションへ搬入して前記基板保持手
段による基板の保持を解放する工程と、を備える。
【００１３】また、この発明の請求項６の方法は、請求
項５の基板搬送方法であって、前記第２ポジションは基
板を載置する第１および第２の基板載置部を有してお
り、前記第１ポジションに配置されている所定枚数の基
板を前記基板保持手段によって搬出し、前記基板保持手
段の一方向への回動によって前記第１の鉛直姿勢に変換
して前記第１の基板載置部に配置し、前記第１ポジショ
ンに配置されている残りの基板を前記基板保持手段によ
って搬出し、前記基板保持手段の他方向への回動によっ
て前記第２の鉛直姿勢に変換して前記第２の基板載置部
に配置することを特徴とする。
項５の基板搬送方法であって、前記第２ポジションは基
板を載置する第１および第２の基板載置部を有してお
り、前記第１ポジションに配置されている所定枚数の基
板を前記基板保持手段によって搬出し、前記基板保持手
段の一方向への回動によって前記第１の鉛直姿勢に変換
して前記第１の基板載置部に配置し、前記第１ポジショ
ンに配置されている残りの基板を前記基板保持手段によ
って搬出し、前記基板保持手段の他方向への回動によっ
て前記第２の鉛直姿勢に変換して前記第２の基板載置部
に配置することを特徴とする。
【００１４】また、この発明の請求項７の方法は、請求
項１ないし請求項４のうちのいずれかの基板搬送装置を
用いて、前記第１ポジションに配置された基板を搬送し
て前記第２ポジションに配置する基板搬送方法であっ
て、前記第１ポジションにおいて鉛直姿勢で配置された
基板を前記基板保持手段によって前記基板を保持しつ
つ、前記基板を鉛直姿勢で前記第１ポジションから搬出
する工程と、基板を保持した前記基板保持手段を前記第
２駆動手段によって前記第２ポジションへと移動させる
とともに、前記第１ポジションから搬出された後、前記
第２ポジションに前記基板を搬入する前までの期間に前
記第１駆動手段によって前記基板保持手段を回動させる
ことにより、水平姿勢へと基板の姿勢を変換する工程
と、基板の姿勢の変換後に基板を前記第２ポジションへ
搬入して前記基板保持手段による基板の保持を解放する
工程と、を備える。
項１ないし請求項４のうちのいずれかの基板搬送装置を
用いて、前記第１ポジションに配置された基板を搬送し
て前記第２ポジションに配置する基板搬送方法であっ
て、前記第１ポジションにおいて鉛直姿勢で配置された
基板を前記基板保持手段によって前記基板を保持しつ
つ、前記基板を鉛直姿勢で前記第１ポジションから搬出
する工程と、基板を保持した前記基板保持手段を前記第
２駆動手段によって前記第２ポジションへと移動させる
とともに、前記第１ポジションから搬出された後、前記
第２ポジションに前記基板を搬入する前までの期間に前
記第１駆動手段によって前記基板保持手段を回動させる
ことにより、水平姿勢へと基板の姿勢を変換する工程
と、基板の姿勢の変換後に基板を前記第２ポジションへ
搬入して前記基板保持手段による基板の保持を解放する
工程と、を備える。
【００１５】また、この発明の請求項８の方法は、請求
項７の基板搬送方法であって、前記第１ポジションが、
第１の鉛直姿勢で基板を載置する第１の基板載置部と、
第２の鉛直姿勢で基板を載置する第２の基板載置部を有
しており、前記第１の基板載置部から前記第１の鉛直姿
勢で前記基板保持手段によって搬出された基板を、前記
基板保持手段の一方向への回動によって前記水平姿勢に
変換して前記第１ポジションに搬送し、前記第２の基板
載置部から前記第２の鉛直姿勢で前記基板保持手段によ
って搬出された基板を、前記基板保持手段の他方向への
回動によって水平姿勢に変換して前記第２ポジションに
搬送することを特徴とする。
項７の基板搬送方法であって、前記第１ポジションが、
第１の鉛直姿勢で基板を載置する第１の基板載置部と、
第２の鉛直姿勢で基板を載置する第２の基板載置部を有
しており、前記第１の基板載置部から前記第１の鉛直姿
勢で前記基板保持手段によって搬出された基板を、前記
基板保持手段の一方向への回動によって前記水平姿勢に
変換して前記第１ポジションに搬送し、前記第２の基板
載置部から前記第２の鉛直姿勢で前記基板保持手段によ
って搬出された基板を、前記基板保持手段の他方向への
回動によって水平姿勢に変換して前記第２ポジションに
搬送することを特徴とする。
【００１６】また、この発明の請求項９の装置は、基板
を水平姿勢から鉛直姿勢へと姿勢変換する基板姿勢変換
装置であって、支持板と、前記支持板に設けられ、基板
を支持する複数のピンと、基板を収容可能な収容溝を有
するチャックとを備える基板保持手段と、前記基板保持
手段を、ほぼ前記支持板の基部と先端部とを結ぶ軸線を
中心に回動させることにより、前記基板保持手段によっ
て保持された基板を、少なくとも、水平姿勢、第１の鉛
直姿勢、および前記第１の鉛直姿勢に対して上下反転の
関係にある第２の鉛直姿勢、のうちのいずれかの姿勢と
することを許容する回動駆動手段と、を備える。
を水平姿勢から鉛直姿勢へと姿勢変換する基板姿勢変換
装置であって、支持板と、前記支持板に設けられ、基板
を支持する複数のピンと、基板を収容可能な収容溝を有
するチャックとを備える基板保持手段と、前記基板保持
手段を、ほぼ前記支持板の基部と先端部とを結ぶ軸線を
中心に回動させることにより、前記基板保持手段によっ
て保持された基板を、少なくとも、水平姿勢、第１の鉛
直姿勢、および前記第１の鉛直姿勢に対して上下反転の
関係にある第２の鉛直姿勢、のうちのいずれかの姿勢と
することを許容する回動駆動手段と、を備える。
【００１７】また、この発明の請求項１０の装置は、請
求項９の基板姿勢変換装置であって、前記チャックが、
前記先端部に固定された固定チャックと、前記基部に近
い側において、前記軸線に関してほぼ対称に配置され、
独立して開閉可能な複数の開閉チャックと、を備える。
求項９の基板姿勢変換装置であって、前記チャックが、
前記先端部に固定された固定チャックと、前記基部に近
い側において、前記軸線に関してほぼ対称に配置され、
独立して開閉可能な複数の開閉チャックと、を備える。
【００１８】
【００１９】
【１．実施の形態における機構的構成および動作】図１
および図２はこの実施の形態の基板搬送装置を含む基板
配列変換装置における側面図および平面図である。これ
らの図および以下の図において、水平面をＸ−Ｙ面と
し、鉛直方向をＺ方向とする３次元座標系Ｘ−Ｙ−Ｚが
定義されている。以下、図１および図２を用いてこの実
施の形態の基板配列変換装置１の概略構成について説明
していく。
および図２はこの実施の形態の基板搬送装置を含む基板
配列変換装置における側面図および平面図である。これ
らの図および以下の図において、水平面をＸ−Ｙ面と
し、鉛直方向をＺ方向とする３次元座標系Ｘ−Ｙ−Ｚが
定義されている。以下、図１および図２を用いてこの実
施の形態の基板配列変換装置１の概略構成について説明
していく。
【００２０】基板配列変換装置１は、カセット載置台１
０、搬送部としての基板搬送装置２０、収納部３０、基
板載置台４０とを備えている。
０、搬送部としての基板搬送装置２０、収納部３０、基
板載置台４０とを備えている。
【００２１】基板搬送装置２０は第１ポジションとして
の後述するカセット載置台１０に載置されたカセットＣ
Ｓ1，ＣＳ2から基板Ｗを取り出し、基板載置台４０に基
板Ｗを搬送する。
の後述するカセット載置台１０に載置されたカセットＣ
Ｓ1，ＣＳ2から基板Ｗを取り出し、基板載置台４０に基
板Ｗを搬送する。
【００２２】カセット載置台１０にはその上面に作業者
の手により１２インチの基板Ｗを最大２５枚収納するこ
とができるカセットＣＳ1，ＣＳ2がセットされる。な
お、ここでカセットＣＳ1，ＣＳ2は内部に収納された基
板Ｗが水平になるようにセットされる。
の手により１２インチの基板Ｗを最大２５枚収納するこ
とができるカセットＣＳ1，ＣＳ2がセットされる。な
お、ここでカセットＣＳ1，ＣＳ2は内部に収納された基
板Ｗが水平になるようにセットされる。
【００２３】収納部３０の内部底面には図示しない駆動
機構が設けられており、基板搬送装置２０を支持しつつ
開口３０ａの長手方向すなわちＹ軸の正負方向に並進移
動する。
機構が設けられており、基板搬送装置２０を支持しつつ
開口３０ａの長手方向すなわちＹ軸の正負方向に並進移
動する。
【００２４】第２ポジションとしての基板載置台４０の
上面には基板載置部４１０ａ，４１０ｂが設けられてお
り、その上部に刻まれた基板枚数（２５枚）と同数の溝
に基板Ｗを嵌入させて支持する。
上面には基板載置部４１０ａ，４１０ｂが設けられてお
り、その上部に刻まれた基板枚数（２５枚）と同数の溝
に基板Ｗを嵌入させて支持する。
【００２５】つぎに、要部についてさらに詳細に説明し
ていく。
ていく。
【００２６】基板搬送装置２０は基台２１０、水平回動
部２２０、第１鉛直回動部２３０、第２鉛直回動部２４
０、ハンド回動部２４５、第３鉛直回動部２５０、ハン
ド２６０を備えている。なお、この基板搬送装置２０の
各部のうち、ハンド２６０およびハンド回動部２４５を
併せたものが基板姿勢変換装置に相当する。
部２２０、第１鉛直回動部２３０、第２鉛直回動部２４
０、ハンド回動部２４５、第３鉛直回動部２５０、ハン
ド２６０を備えている。なお、この基板搬送装置２０の
各部のうち、ハンド２６０およびハンド回動部２４５を
併せたものが基板姿勢変換装置に相当する。
【００２７】基台２１０は図２に示した開口３０ａに沿
って図示しない制御部の制御に基づいて前述の収納部３
０内の駆動機構によりＹ軸の正負方向に並進移動され
る。
って図示しない制御部の制御に基づいて前述の収納部３
０内の駆動機構によりＹ軸の正負方向に並進移動され
る。
【００２８】基台２１０の上面に設けられた水平回動部
２２０は制御部の制御に基づいて基台２１０内の図示し
ない回動機構により鉛直方向（Ｚ軸方向）を中心として
任意の角度で回動される。
２２０は制御部の制御に基づいて基台２１０内の図示し
ない回動機構により鉛直方向（Ｚ軸方向）を中心として
任意の角度で回動される。
【００２９】第１鉛直回動部２３０は水平回動部２２０
の上方に連結され、矢符Ａ１のように回動する。同様に
第１鉛直回動部２３０の上方には第２鉛直回動部２４０
が連結され、矢符Ａ２のように回動する。
の上方に連結され、矢符Ａ１のように回動する。同様に
第１鉛直回動部２３０の上方には第２鉛直回動部２４０
が連結され、矢符Ａ２のように回動する。
【００３０】さらに、第２鉛直回動部２４０の一端には
ハンド回動部２４５が連結され、第２鉛直回動部２４０
内部の図示しない回動駆動機構により中心軸ＣＡを中心
に矢符Ａ３のように任意の角度で回動可能となってい
る。
ハンド回動部２４５が連結され、第２鉛直回動部２４０
内部の図示しない回動駆動機構により中心軸ＣＡを中心
に矢符Ａ３のように任意の角度で回動可能となってい
る。
【００３１】また、ハンド回動部２４５の一端には第３
鉛直回動部２５０が連結され、矢符Ａ４のように回動す
る。なお、このハンド回動部２４５の回動によるハンド
２６０の回動の詳細は後述する。
鉛直回動部２５０が連結され、矢符Ａ４のように回動す
る。なお、このハンド回動部２４５の回動によるハンド
２６０の回動の詳細は後述する。
【００３２】このような機構によりハンド２６０はカセ
ット載置台１０、収納部３０、基板載置台４０上方の任
意位置にハンド２６０を移動できると共に、基板搬送装
置２０から見たハンド２６０の水平面内の中心を軸とし
て回動することができる。
ット載置台１０、収納部３０、基板載置台４０上方の任
意位置にハンド２６０を移動できると共に、基板搬送装
置２０から見たハンド２６０の水平面内の中心を軸とし
て回動することができる。
【００３３】図３はハンド２６０の斜視図である。以
下、この図に基づいてハンド２６０の構成を説明してい
く。
下、この図に基づいてハンド２６０の構成を説明してい
く。
【００３４】基部である固定板２６１にはエアシリンダ
２６２ａ，２６２ｂの一端が固定されており、さらにそ
の他端は回動腕２６３ａ，２６３ｂに連結されている。
そして、回動腕２６３ａ，２６３ｂの先端には開閉チャ
ック２６４ａ，２６４ｂが設けられている。開閉チャッ
ク２６４ａ，２６４ｂは固定板２６１の中心から後述の
固定チャック２６６ａ〜２６６ｅの中心に到る仮想的な
軸線ＡＬに関して線対称に設けられている。なお、この
軸線ＡＬが前述の第２鉛直回動部２４０の中心軸ＣＡと
平行であり、近接するようにハンド２６０は第３鉛直回
動部２５０に取り付けられている。
２６２ａ，２６２ｂの一端が固定されており、さらにそ
の他端は回動腕２６３ａ，２６３ｂに連結されている。
そして、回動腕２６３ａ，２６３ｂの先端には開閉チャ
ック２６４ａ，２６４ｂが設けられている。開閉チャッ
ク２６４ａ，２６４ｂは固定板２６１の中心から後述の
固定チャック２６６ａ〜２６６ｅの中心に到る仮想的な
軸線ＡＬに関して線対称に設けられている。なお、この
軸線ＡＬが前述の第２鉛直回動部２４０の中心軸ＣＡと
平行であり、近接するようにハンド２６０は第３鉛直回
動部２５０に取り付けられている。
【００３５】そして、開閉チャック２６４ａ，２６４ｂ
にはそれぞれ５本の収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5が設けられてい
る。そして、収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5のうちの隣接するもの
同士の間隔は支持板２６５ａ〜２６５ｅの間隔と同じに
なるように等間隔に形成されている。
にはそれぞれ５本の収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5が設けられてい
る。そして、収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5のうちの隣接するもの
同士の間隔は支持板２６５ａ〜２６５ｅの間隔と同じに
なるように等間隔に形成されている。
【００３６】また、このハンド２６０ではエアシリンダ
２６２ａ，２６２ｂそれぞれの駆動により、回動腕２６
３ａ，２６３ｂがそれぞれ独立に回動し、それにより開
閉チャック２６４ａ，２６４ｂがそれぞれ独立に開閉す
る。
２６２ａ，２６２ｂそれぞれの駆動により、回動腕２６
３ａ，２６３ｂがそれぞれ独立に回動し、それにより開
閉チャック２６４ａ，２６４ｂがそれぞれ独立に開閉す
る。
【００３７】また、固定板２６１には５枚の支持板２６
５ａ〜２６５ｅがカセットＣＳ1，ＣＳ2内に収納された
基板Ｗの間隔と同じ間隔に設けられているが、図４に示
すように収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5のそれぞれは支持板２６５
ａ〜２６５ｅのそれぞれの支持ピン２６７ａ〜２６７ｅ
（支持ピン２６７ｂ〜２６７ｅは図示せず）の上端より
わずかに高い位置になるように設けられている。
５ａ〜２６５ｅがカセットＣＳ1，ＣＳ2内に収納された
基板Ｗの間隔と同じ間隔に設けられているが、図４に示
すように収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5のそれぞれは支持板２６５
ａ〜２６５ｅのそれぞれの支持ピン２６７ａ〜２６７ｅ
（支持ピン２６７ｂ〜２６７ｅは図示せず）の上端より
わずかに高い位置になるように設けられている。
【００３８】また、これらの収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5はその
断面が奥に向けて２段の角度で次第に狭くなったＹ字形
の溝になっており、収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5のフラット部分
である底部ＢＡはその幅ＷＡが基板Ｗの厚さよりわずか
に広く構成されている。すなわち、この実施の形態では
基板Ｗの厚さを７７５±２５μｍとして、これに対する
収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5の底部ＢＡの幅ＷＡを８００μｍと
している。
断面が奥に向けて２段の角度で次第に狭くなったＹ字形
の溝になっており、収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5のフラット部分
である底部ＢＡはその幅ＷＡが基板Ｗの厚さよりわずか
に広く構成されている。すなわち、この実施の形態では
基板Ｗの厚さを７７５±２５μｍとして、これに対する
収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5の底部ＢＡの幅ＷＡを８００μｍと
している。
【００３９】また、支持板２６５ａ〜２６５ｅの固定板
２６１に接続されない先端部には固定チャック２６６ａ
〜２６６ｅが設けられている。これら固定チャック２６
６ａ〜２６６ｅにはそれぞれに収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5が設
けられており、固定チャック２６６ａ〜２６６ｅの収容
溝ＧＡ1〜ＧＡ5と同様に、それぞれの底部ＢＢは基板Ｗ
の厚さよりわずかにその幅ＷＢが広いフラット部分とな
っており、その幅ＷＢも収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5の底部ＢＡ
の幅ＷＡと同様となっている。
２６１に接続されない先端部には固定チャック２６６ａ
〜２６６ｅが設けられている。これら固定チャック２６
６ａ〜２６６ｅにはそれぞれに収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5が設
けられており、固定チャック２６６ａ〜２６６ｅの収容
溝ＧＡ1〜ＧＡ5と同様に、それぞれの底部ＢＢは基板Ｗ
の厚さよりわずかにその幅ＷＢが広いフラット部分とな
っており、その幅ＷＢも収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5の底部ＢＡ
の幅ＷＡと同様となっている。
【００４０】また、収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5の上部スロープ
ＵＳと下部スロープＬＳとはその水平面となす角度およ
び水平方向の長さが異なっている。すなわち、下部スロ
ープＬＳは上部スロープＵＳと比べてその水平面となす
角度が小さく、その長さは長くなっている。また、底部
ＢＢはそれぞれの支持板２６５ａ〜２６５ｅからの高さ
が支持ピン２６７ａ〜２６７ｅの高さより高くなってい
る。
ＵＳと下部スロープＬＳとはその水平面となす角度およ
び水平方向の長さが異なっている。すなわち、下部スロ
ープＬＳは上部スロープＵＳと比べてその水平面となす
角度が小さく、その長さは長くなっている。また、底部
ＢＢはそれぞれの支持板２６５ａ〜２６５ｅからの高さ
が支持ピン２６７ａ〜２６７ｅの高さより高くなってい
る。
【００４１】なお、以上において、開閉チャック２６４
ａ，２６４ｂの収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5、支持板２６５ａ〜
２６５ｅ、固定チャック２６６ａ〜２６６ｅおよびそれ
らの嵌入溝ＧＢ1〜ＧＢ5ならびに支持ピン２６７ａ〜２
６７ｅの互いに対応するものがそれぞれ単独の基板保持
手段に相当し、この実施の形態の装置ではそれら基板保
持手段を多段に積層した状態で備えているものである。
ａ，２６４ｂの収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5、支持板２６５ａ〜
２６５ｅ、固定チャック２６６ａ〜２６６ｅおよびそれ
らの嵌入溝ＧＢ1〜ＧＢ5ならびに支持ピン２６７ａ〜２
６７ｅの互いに対応するものがそれぞれ単独の基板保持
手段に相当し、この実施の形態の装置ではそれら基板保
持手段を多段に積層した状態で備えているものである。
【００４２】つぎに、このように構成されたハンド２６
０により基板Ｗを把持する際の動作について説明する。
０により基板Ｗを把持する際の動作について説明する。
【００４３】基板搬送装置２０の各回動部の動きによっ
てハンド２６０の支持板２６５ａ〜２６５ｅのそれぞれ
がカセットＣＳ1またはＣＳ2内の互いに隣接する基板Ｗ
の間に挿入され、支持板２６５ａ〜２６５ｅがカセット
ＣＳ1またはＣＳ2内の所定位置に位置したところでハン
ド２６０を上昇させて各基板Ｗを支持板２６５ａ〜２６
５ｅに載置する。
てハンド２６０の支持板２６５ａ〜２６５ｅのそれぞれ
がカセットＣＳ1またはＣＳ2内の互いに隣接する基板Ｗ
の間に挿入され、支持板２６５ａ〜２６５ｅがカセット
ＣＳ1またはＣＳ2内の所定位置に位置したところでハン
ド２６０を上昇させて各基板Ｗを支持板２６５ａ〜２６
５ｅに載置する。
【００４４】図４は開閉チャック２６４ｂが開いている
状態での支持板２６５ｃによる基板Ｗの支持の様子を示
す図である。なお、図４および後述の図５、図６では支
持板２６５ｃのみを図示したが、その他の支持板等も同
様の構成である。
状態での支持板２６５ｃによる基板Ｗの支持の様子を示
す図である。なお、図４および後述の図５、図６では支
持板２６５ｃのみを図示したが、その他の支持板等も同
様の構成である。
【００４５】載置された状態では基板Ｗは図４のような
位置に載置される。この段階では開閉チャック２６４
ａ，２６４ｂは開いた状態である。
位置に載置される。この段階では開閉チャック２６４
ａ，２６４ｂは開いた状態である。
【００４６】このように開閉チャック２６４ｂが開いた
状態では基板Ｗは支持ピン２６７ｃと固定チャックＬＳ
とによって支持されている。なお、このときの基板Ｗの
高さは収容溝ＧＡ3の底部ＢＡより低く、収容溝ＧＡ3の
水平面とのなす角度が大きいスロープ部ＡＳの中程の高
さになっている。
状態では基板Ｗは支持ピン２６７ｃと固定チャックＬＳ
とによって支持されている。なお、このときの基板Ｗの
高さは収容溝ＧＡ3の底部ＢＡより低く、収容溝ＧＡ3の
水平面とのなす角度が大きいスロープ部ＡＳの中程の高
さになっている。
【００４７】図５は開閉チャック２６４ｂが閉じた状態
での基板の様子を示す図である。
での基板の様子を示す図である。
【００４８】開閉チャック２６４ｂが閉じられると図５
のように基板Ｗは第１スロープ、第２スロープを乗り越
えて、基板Ｗの側面が収容溝ＧＡ3の底部ＢＡに当接す
るようになる。そしてその際には基板Ｗを支持する支持
ピン２６７ｃから離れている。
のように基板Ｗは第１スロープ、第２スロープを乗り越
えて、基板Ｗの側面が収容溝ＧＡ3の底部ＢＡに当接す
るようになる。そしてその際には基板Ｗを支持する支持
ピン２６７ｃから離れている。
【００４９】図６は固定チャック２６６ｃにおける基板
の様子を示す図であり、図６（ａ）および図６（ｂ）は
それぞれ開閉チャック２６４ａ，２６４ｂが開いた状態
および閉じた状態を表わしている。
の様子を示す図であり、図６（ａ）および図６（ｂ）は
それぞれ開閉チャック２６４ａ，２６４ｂが開いた状態
および閉じた状態を表わしている。
【００５０】図６（ａ）のように、開閉チャック２６４
ａ，２６４ｂが開いた状態では基板Ｗは支持ピン２６７
ａ〜２６７ｅおよび下部スロープＬＳにより支持されて
いる。すなわち、収容溝ＧＢ3の底部ＢＢの高さは支持
ピン２６７ａ〜２６７ｅより高くなっている。また、ハ
ンド２６０がカセットＣＳ1，ＣＳ2内において基板を支
持する際に基板Ｗが下部スロープＬＳに載置されるよう
に上部スロープＵＳの張出し長さＵＬは短く設定されて
いる。
ａ，２６４ｂが開いた状態では基板Ｗは支持ピン２６７
ａ〜２６７ｅおよび下部スロープＬＳにより支持されて
いる。すなわち、収容溝ＧＢ3の底部ＢＢの高さは支持
ピン２６７ａ〜２６７ｅより高くなっている。また、ハ
ンド２６０がカセットＣＳ1，ＣＳ2内において基板を支
持する際に基板Ｗが下部スロープＬＳに載置されるよう
に上部スロープＵＳの張出し長さＵＬは短く設定されて
いる。
【００５１】そして、開閉チャック２６４ａ，２６４ｂ
が閉じると図６（ｂ）のように基板Ｗは開閉チャック２
６４ａ，２６４ｂによって固定チャック２６６ａ〜２６
６ｅ方向へ押されて下部スロープＬＳ上を上方に滑り、
固定チャック２６６ｃの収容溝ＧＡ3の底部ＢＢに当接
される。またそれにより基板Ｗは支持ピン２６７ｃから
離れる。このようにしてハンド２６０は最大５枚の基板
Ｗを１度に把持することができる。
が閉じると図６（ｂ）のように基板Ｗは開閉チャック２
６４ａ，２６４ｂによって固定チャック２６６ａ〜２６
６ｅ方向へ押されて下部スロープＬＳ上を上方に滑り、
固定チャック２６６ｃの収容溝ＧＡ3の底部ＢＢに当接
される。またそれにより基板Ｗは支持ピン２６７ｃから
離れる。このようにしてハンド２６０は最大５枚の基板
Ｗを１度に把持することができる。
【００５２】つぎに、このようにして把持した基板Ｗを
基板載置部４１０ａ，４１０ｂに渡す際のハンド２６０
の動作について説明する。
基板載置部４１０ａ，４１０ｂに渡す際のハンド２６０
の動作について説明する。
【００５３】図７は第１の鉛直姿勢での基板の受渡しの
状況を示す図である。この場合の受渡しでは、まず、基
板Ｗをその鏡面を上にして水平姿勢で把持したハンド２
６０がハンド回動部２４５の回動により基板搬送装置２
０から見て時計回りに９０゜の回動（以下「正回動」と
いう。）を行い、基板Ｗを第１鉛直姿勢にする。このと
き、基板Ｗの鏡面はＹ軸の正側を向いている。なお、こ
の時には開閉チャック２６４ａ，２６４ｂは閉じた状態
（実線で示した開閉チャック２６４ａと一点鎖線で示し
た開閉チャック２６４ｂ）にある。
状況を示す図である。この場合の受渡しでは、まず、基
板Ｗをその鏡面を上にして水平姿勢で把持したハンド２
６０がハンド回動部２４５の回動により基板搬送装置２
０から見て時計回りに９０゜の回動（以下「正回動」と
いう。）を行い、基板Ｗを第１鉛直姿勢にする。このと
き、基板Ｗの鏡面はＹ軸の正側を向いている。なお、こ
の時には開閉チャック２６４ａ，２６４ｂは閉じた状態
（実線で示した開閉チャック２６４ａと一点鎖線で示し
た開閉チャック２６４ｂ）にある。
【００５４】つぎに、上側の開閉チャック２６４ｂを開
く（実線で示した開閉チャック２６４ｂ）。
く（実線で示した開閉チャック２６４ｂ）。
【００５５】つぎに、基板搬送装置２０がハンド２６０
を移動させて基板載置部４１０ａの図示しない溝の上方
に、把持された基板Ｗを位置させた後に降下させる。そ
の際、基板Ｗが完全に基板載置部４１０ａの溝に当接し
た（図７はこのときの状態を示している。）後もハンド
２６０をわずかに下方に移動させることによって、固定
チャック２６６ａ〜２６６ｅおよび開閉チャック２６４
ａから基板Ｗがわずかに離間する。
を移動させて基板載置部４１０ａの図示しない溝の上方
に、把持された基板Ｗを位置させた後に降下させる。そ
の際、基板Ｗが完全に基板載置部４１０ａの溝に当接し
た（図７はこのときの状態を示している。）後もハンド
２６０をわずかに下方に移動させることによって、固定
チャック２６６ａ〜２６６ｅおよび開閉チャック２６４
ａから基板Ｗがわずかに離間する。
【００５６】つぎに、下側の開閉チャック２６４ａを開
く（一点鎖線で示した開閉チャック２６４ａ）。
く（一点鎖線で示した開閉チャック２６４ａ）。
【００５７】つぎに、ハンド２６０をわずかにＹ軸の負
方向に移動させた後、基板Ｗの間から支持板２６５ａ〜
２６５ｅを抜き取るようにハンド２６０を後退させる。
これにより、第１の鉛直姿勢での基板Ｗの基板載置部４
１０ａへの搬送が終了する。
方向に移動させた後、基板Ｗの間から支持板２６５ａ〜
２６５ｅを抜き取るようにハンド２６０を後退させる。
これにより、第１の鉛直姿勢での基板Ｗの基板載置部４
１０ａへの搬送が終了する。
【００５８】図８は第２の鉛直姿勢での基板Ｗの受渡し
の状況を示す図である。この場合の基板Ｗの受渡しで
は、まず、基板Ｗをその鏡面を上にして水平姿勢で把持
したハンド２６０がハンド回動部２４５の回動により基
板搬送装置２０から見て反時計回りに９０゜の回動（以
下「逆回動」という。）を行って基板Ｗを第２の鉛直姿
勢にする。このとき、基板Ｗの鏡面はＹ軸の負方向を向
いている。
の状況を示す図である。この場合の基板Ｗの受渡しで
は、まず、基板Ｗをその鏡面を上にして水平姿勢で把持
したハンド２６０がハンド回動部２４５の回動により基
板搬送装置２０から見て反時計回りに９０゜の回動（以
下「逆回動」という。）を行って基板Ｗを第２の鉛直姿
勢にする。このとき、基板Ｗの鏡面はＹ軸の負方向を向
いている。
【００５９】そして、上記の第１の鉛直姿勢での受渡し
とほぼ同様にして基板Ｗを基板載置部４１０ｂに載置す
るが、先に開閉チャック２６４ａを開き、基板Ｗを基板
載置部４１０ｂに載置する点が異なる。
とほぼ同様にして基板Ｗを基板載置部４１０ｂに載置す
るが、先に開閉チャック２６４ａを開き、基板Ｗを基板
載置部４１０ｂに載置する点が異なる。
【００６０】このように、開閉チャック２６４ａ，２６
４ｂのうち、上側のもののみを先に開いて上記のように
基板Ｗを受け渡すことができるので、開閉チャック２６
４ａ，２６４ｂを両方同時に開く場合と比べて、容易で
確実な基板の受渡しを行うことができる。
４ｂのうち、上側のもののみを先に開いて上記のように
基板Ｗを受け渡すことができるので、開閉チャック２６
４ａ，２６４ｂを両方同時に開く場合と比べて、容易で
確実な基板の受渡しを行うことができる。
【００６１】また、この実施の形態の基板搬送装置２０
のハンド２６０では固定チャック２６６ａ〜２６６ｅの
収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5の底部ＢＡおよび開閉チャック２６
４ａ，２６４ｂの収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5の底部ＢＢが基板
Ｗの厚さより幅の広いフラット部になっているため、上
記のように基板Ｗを受け渡す際に、基板Ｗが収容溝ＧＡ
1〜ＧＡ5や収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5に挟まってハンド２６０
から離間せず、その後退とともに基板Ｗが後退するとい
った不都合が生じない。
のハンド２６０では固定チャック２６６ａ〜２６６ｅの
収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5の底部ＢＡおよび開閉チャック２６
４ａ，２６４ｂの収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5の底部ＢＢが基板
Ｗの厚さより幅の広いフラット部になっているため、上
記のように基板Ｗを受け渡す際に、基板Ｗが収容溝ＧＡ
1〜ＧＡ5や収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5に挟まってハンド２６０
から離間せず、その後退とともに基板Ｗが後退するとい
った不都合が生じない。
【００６２】
【２．実施の形態における処理手順】図９および図１０
は基板配列変換処理の手順を示す図である。以下、これ
らの図に基づいて基板配列変換処理について説明してい
く。
は基板配列変換処理の手順を示す図である。以下、これ
らの図に基づいて基板配列変換処理について説明してい
く。
【００６３】処理に当たり、予め基板搬送装置２０は基
板搬送位置ＰＳ1に位置しているとともに、そのハンド
２６０はその支持板２６５ａ〜２６５ｅが水平になって
いる。
板搬送位置ＰＳ1に位置しているとともに、そのハンド
２６０はその支持板２６５ａ〜２６５ｅが水平になって
いる。
【００６４】まず、カセットＣＳ1内の基板Ｗ（第１基
板列に相当）の間にハンド２６０の支持板２６５ａ〜２
６５ｅを挿入し、最大５枚の基板Ｗを水平姿勢で把持し
て取り出す（ステップＳ１）。
板列に相当）の間にハンド２６０の支持板２６５ａ〜２
６５ｅを挿入し、最大５枚の基板Ｗを水平姿勢で把持し
て取り出す（ステップＳ１）。
【００６５】つぎに、基板搬送装置２０が１８０゜の水
平回動を行い、振り返る（ステップＳ２）。
平回動を行い、振り返る（ステップＳ２）。
【００６６】つぎにハンド２６０が９０゜の正回動を行
い、基板Ｗを第１鉛直姿勢にする（ステップＳ３）。
い、基板Ｗを第１鉛直姿勢にする（ステップＳ３）。
【００６７】つぎに、把持していた基板Ｗを基板載置部
４１０ａに載置する（ステップＳ４）。
４１０ａに載置する（ステップＳ４）。
【００６８】つぎに、ハンド２６０が９０゜の逆回動を
行った（ステップＳ５）後、基板搬送装置２０が再度１
８０゜の水平回動をおこない、振り返る（ステップＳ
６）。
行った（ステップＳ５）後、基板搬送装置２０が再度１
８０゜の水平回動をおこない、振り返る（ステップＳ
６）。
【００６９】そして、以上の処理をカセットＣＳ1内の
全基板Ｗについて行ったかどうかを判定して（ステップ
Ｓ７）、完了していなければステップＳ１に戻り、完了
していれば基板配列変換処理を終了することで、上記の
ステップＳ１〜ステップＳ６の処理をカセットＣＳ1内
の全基板Ｗ（この実施の形態では最大２５枚となってい
る。）について行う。
全基板Ｗについて行ったかどうかを判定して（ステップ
Ｓ７）、完了していなければステップＳ１に戻り、完了
していれば基板配列変換処理を終了することで、上記の
ステップＳ１〜ステップＳ６の処理をカセットＣＳ1内
の全基板Ｗ（この実施の形態では最大２５枚となってい
る。）について行う。
【００７０】つぎに基板搬送装置２０はＹ軸の正方向に
水平移動して、基板搬送位置ＰＳ2に位置する（図１０
のステップＳ８）。
水平移動して、基板搬送位置ＰＳ2に位置する（図１０
のステップＳ８）。
【００７１】つぎに、カセットＣＳ2内の基板Ｗ（第２
基板列に相当）の間にハンド２６０の支持板２６５ａ〜
２６５ｅを挿入し、最大５枚の基板Ｗを水平姿勢で把持
して取り出す（ステップＳ９）。
基板列に相当）の間にハンド２６０の支持板２６５ａ〜
２６５ｅを挿入し、最大５枚の基板Ｗを水平姿勢で把持
して取り出す（ステップＳ９）。
【００７２】つぎに、基板搬送装置２０が１８０゜の水
平回動を行い振り返る（ステップＳ１０）。
平回動を行い振り返る（ステップＳ１０）。
【００７３】つぎにハンド２６０が９０゜の逆回動を行
い、基板Ｗを第２鉛直姿勢にする（ステップＳ１１）。
い、基板Ｗを第２鉛直姿勢にする（ステップＳ１１）。
【００７４】つぎに、把持していた基板Ｗを基板載置部
４１０ｂに載置する（ステップＳ１２）。
４１０ｂに載置する（ステップＳ１２）。
【００７５】つぎに、ハンド２６０が９０゜の正回動を
行った（ステップＳ１３）後、基板搬送装置２０が再度
１８０゜の水平回動を行い、振り返る（ステップＳ１
４）。
行った（ステップＳ１３）後、基板搬送装置２０が再度
１８０゜の水平回動を行い、振り返る（ステップＳ１
４）。
【００７６】そして、以上の処理をカセットＣＳ2内の
全基板Ｗについて行ったかどうかを判定して（ステップ
Ｓ１５）、完了していなければステップＳ９に戻り、完
了していれば基板配列変換処理を終了することで、上記
のステップＳ９〜ステップＳ１４の処理をカセットＣＳ
2内の全基板Ｗ（この実施の形態では最大２５枚となっ
ている。）について行う。
全基板Ｗについて行ったかどうかを判定して（ステップ
Ｓ１５）、完了していなければステップＳ９に戻り、完
了していれば基板配列変換処理を終了することで、上記
のステップＳ９〜ステップＳ１４の処理をカセットＣＳ
2内の全基板Ｗ（この実施の形態では最大２５枚となっ
ている。）について行う。
【００７７】以上説明したように、この実施の形態の基
板搬送装置２０ではハンド回動部２４５の回動によりハ
ンド２６０が基板Ｗを把持した状態で正逆回動すること
により、基板Ｗを第１の鉛直姿勢および第２の鉛直姿勢
のそれぞれと水平姿勢とで姿勢変更させることができる
ため、基板Ｗをカセットごと横転させる必要がないの
で、その際のカセットと基板Ｗとの摩擦によるパーティ
クルの発生がなく、また、カセットを横転させるための
装置が不要であるので装置の製造コストを抑えることが
できる。
板搬送装置２０ではハンド回動部２４５の回動によりハ
ンド２６０が基板Ｗを把持した状態で正逆回動すること
により、基板Ｗを第１の鉛直姿勢および第２の鉛直姿勢
のそれぞれと水平姿勢とで姿勢変更させることができる
ため、基板Ｗをカセットごと横転させる必要がないの
で、その際のカセットと基板Ｗとの摩擦によるパーティ
クルの発生がなく、また、カセットを横転させるための
装置が不要であるので装置の製造コストを抑えることが
できる。
【００７８】また、この実施の形態の基板搬送装置２０
では、ハンド２６０が複数の基板Ｗを把持できるように
構成されているため、一度に複数枚の基板搬送および水
平姿勢と第１の鉛直姿勢および第２の鉛直姿勢との間で
基板Ｗの姿勢変換を行うことができる。
では、ハンド２６０が複数の基板Ｗを把持できるように
構成されているため、一度に複数枚の基板搬送および水
平姿勢と第１の鉛直姿勢および第２の鉛直姿勢との間で
基板Ｗの姿勢変換を行うことができる。
【００７９】さらに、この実施の形態の基板搬送装置２
０ではカセットＣＳ1内の基板Ｗを第１の鉛直姿勢にし
て基板載置部４１０ａに載置し、カセットＣＳ2内の基
板Ｗを第２の鉛直姿勢にして基板載置部４１０ｂに載置
する構成であるため、互いに鏡面の向きの異なる２つの
基板列を形成することができる。
０ではカセットＣＳ1内の基板Ｗを第１の鉛直姿勢にし
て基板載置部４１０ａに載置し、カセットＣＳ2内の基
板Ｗを第２の鉛直姿勢にして基板載置部４１０ｂに載置
する構成であるため、互いに鏡面の向きの異なる２つの
基板列を形成することができる。
【００８０】
【３．変形例】上記実施の形態ではカセットＣＳ1，Ｃ
Ｓ2から取り出した基板Ｗを基板載置部４１０ａ，４１
０ｂに搬送するのみの構成としたが、逆の手順により基
板載置部４１０ａ，４１０ｂから取り出した基板Ｗをカ
セットＣＳ1，ＣＳ2に戻すことを行う構成としてもよ
い。
Ｓ2から取り出した基板Ｗを基板載置部４１０ａ，４１
０ｂに搬送するのみの構成としたが、逆の手順により基
板載置部４１０ａ，４１０ｂから取り出した基板Ｗをカ
セットＣＳ1，ＣＳ2に戻すことを行う構成としてもよ
い。
【００８１】また、上記実施の形態では、カセットＣＳ
1，ＣＳ2に水平に収納された基板Ｗを第１および第２の
鉛直姿勢に変換して基板載置部４１０ａ，４１０ｂに載
置する構成としたが、この発明はこれに限られず逆に鉛
直姿勢でカセット内に収納された基板を水平姿勢に変換
して基板載置部に載置する等の構成でもよい。
1，ＣＳ2に水平に収納された基板Ｗを第１および第２の
鉛直姿勢に変換して基板載置部４１０ａ，４１０ｂに載
置する構成としたが、この発明はこれに限られず逆に鉛
直姿勢でカセット内に収納された基板を水平姿勢に変換
して基板載置部に載置する等の構成でもよい。
【００８２】また、上記実施の形態では開閉チャック２
６４ａ，２６４ｂを独立に開閉可能な構成としたが、こ
の発明はこれに限られず、両開閉チャック２６４ａ，２
６４ｂを同時に開閉する構成として、把持した基板Ｗが
基板載置部４１０ａ，４１０ｂに当接した後に両開閉チ
ャック２６４ａ，２６４ｂが開くようにしてもよい。
６４ａ，２６４ｂを独立に開閉可能な構成としたが、こ
の発明はこれに限られず、両開閉チャック２６４ａ，２
６４ｂを同時に開閉する構成として、把持した基板Ｗが
基板載置部４１０ａ，４１０ｂに当接した後に両開閉チ
ャック２６４ａ，２６４ｂが開くようにしてもよい。
【００８３】また、上記実施の形態では支持板、固定チ
ャック、開閉チャック２６４ａ，２６４ｂの収容溝のそ
れぞれを５つずつ設けて一度に把持できる基板Ｗを最大
５枚としたが、この発明はこれに限られず、その他の枚
数、例えば１枚のみとしたり、１０枚等としてもよい。
ャック、開閉チャック２６４ａ，２６４ｂの収容溝のそ
れぞれを５つずつ設けて一度に把持できる基板Ｗを最大
５枚としたが、この発明はこれに限られず、その他の枚
数、例えば１枚のみとしたり、１０枚等としてもよい。
【００８４】また、上記実施の形態では回動腕２６３
ａ，２６３ｂを回動駆動する機構としてエアシリンダ２
６２ａ，２６２ｂを用いたが、この発明はこれに限られ
ずモータとボールネジを用いた機構等でもよい。
ａ，２６３ｂを回動駆動する機構としてエアシリンダ２
６２ａ，２６２ｂを用いたが、この発明はこれに限られ
ずモータとボールネジを用いた機構等でもよい。
【００８５】また、上記実施の形態では開閉チャック２
６４ａ，２６４ｂの収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5や、固定チャッ
ク２６６ａ〜２６６ｅの収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5を図４〜図
６に示す形状としたが、この発明はこれに限られず、Ｖ
字形等の形状でもよい。
６４ａ，２６４ｂの収容溝ＧＡ1〜ＧＡ5や、固定チャッ
ク２６６ａ〜２６６ｅの収容溝ＧＢ1〜ＧＢ5を図４〜図
６に示す形状としたが、この発明はこれに限られず、Ｖ
字形等の形状でもよい。
【００８６】さらに、上記実施の形態では支持ピン２６
７ａ〜２６７ｅを支持板２６５ａ〜２６５ｅのそれぞれ
に２つずつ設ける構成としたが、この発明はこれに限ら
れず、３つ設ける等の構成でもよい。
７ａ〜２６７ｅを支持板２６５ａ〜２６５ｅのそれぞれ
に２つずつ設ける構成としたが、この発明はこれに限ら
れず、３つ設ける等の構成でもよい。
【００８７】
【発明の効果】以上説明したように、請求項１〜請求項
４、請求項９および請求項１０の発明では第１駆動手段
により基板保持手段を、ほぼ支持板の基部と先端部とを
結ぶ軸線のまわりに回動させることにより、それによっ
て保持された基板を、少なくとも、水平姿勢、第１の鉛
直姿勢、および第１の鉛直姿勢に対して上下反転の関係
にある第２の鉛直姿勢、のうちの任意の姿勢とすること
を許容することができるため、基板の姿勢を変換する際
に基板をカセットごと横転させたりする必要がないの
で、その際のカセットと基板との摩擦によるパーティク
ルの発生がなく、また、カセットを横転させるための装
置が不要であるので装置の製造コストを抑えることがで
きる。
４、請求項９および請求項１０の発明では第１駆動手段
により基板保持手段を、ほぼ支持板の基部と先端部とを
結ぶ軸線のまわりに回動させることにより、それによっ
て保持された基板を、少なくとも、水平姿勢、第１の鉛
直姿勢、および第１の鉛直姿勢に対して上下反転の関係
にある第２の鉛直姿勢、のうちの任意の姿勢とすること
を許容することができるため、基板の姿勢を変換する際
に基板をカセットごと横転させたりする必要がないの
で、その際のカセットと基板との摩擦によるパーティク
ルの発生がなく、また、カセットを横転させるための装
置が不要であるので装置の製造コストを抑えることがで
きる。
【００８８】また、請求項５および請求項６の発明で
は、基板を水平姿勢で第１ポジションから搬出した後、
第１駆動手段によって基板保持手段を回動させることに
より、第１と第２の鉛直姿勢のうちあらかじめ決定され
た鉛直姿勢へと基板の姿勢を変換して第２ポジションへ
搬入する構成であるため、また、請求項７および請求項
８の発明では基板を鉛直姿勢で第１ポジションから搬出
した後、第１駆動手段によって基板保持手段を回動させ
ることにより、水平姿勢へと基板の姿勢を変換し、第２
ポジションへ搬入する構成であるため、上記の請求項１
〜請求項４、請求項９および請求項１０の発明と同様の
効果を有する。
は、基板を水平姿勢で第１ポジションから搬出した後、
第１駆動手段によって基板保持手段を回動させることに
より、第１と第２の鉛直姿勢のうちあらかじめ決定され
た鉛直姿勢へと基板の姿勢を変換して第２ポジションへ
搬入する構成であるため、また、請求項７および請求項
８の発明では基板を鉛直姿勢で第１ポジションから搬出
した後、第１駆動手段によって基板保持手段を回動させ
ることにより、水平姿勢へと基板の姿勢を変換し、第２
ポジションへ搬入する構成であるため、上記の請求項１
〜請求項４、請求項９および請求項１０の発明と同様の
効果を有する。
【００８９】また、請求項２および請求項１０の発明で
は基板保持手段が独立して開閉可能な複数の開閉チャッ
クを備えるため、基板が第１の鉛直姿勢および第２の鉛
直姿勢にある状態で、それら複数の開閉チャックのう
ち、相対的に高く位置する開閉チャックのみを開いた状
態で基板を第２ポジションに配置させた後に、残りの開
閉チャックを開くことにより基板を搬送することができ
るので、複数の開閉チャックを両方同時に開く場合と比
べて、確実な基板の搬送を行うことができる。
は基板保持手段が独立して開閉可能な複数の開閉チャッ
クを備えるため、基板が第１の鉛直姿勢および第２の鉛
直姿勢にある状態で、それら複数の開閉チャックのう
ち、相対的に高く位置する開閉チャックのみを開いた状
態で基板を第２ポジションに配置させた後に、残りの開
閉チャックを開くことにより基板を搬送することができ
るので、複数の開閉チャックを両方同時に開く場合と比
べて、確実な基板の搬送を行うことができる。
【００９０】また、請求項３の発明では複数の基板保持
手段を多段に積層した状態で備えるため、一度に複数枚
の基板搬送および上記のような基板の姿勢変換を行うこ
とができる。
手段を多段に積層した状態で備えるため、一度に複数枚
の基板搬送および上記のような基板の姿勢変換を行うこ
とができる。
【００９１】また、請求項４の発明では、基板保持手段
の収容溝の奥側が狭まっているとともに、その底部が少
なくとも基板の厚さより大きな幅のフラット部分を備え
るため、基板の搬送時の基板保持手段が退去する際に基
板が収容溝から抜けないで基板保持手段とともに移動し
てしまい、搬送に失敗するといったことがなく、確実な
基板の搬送を行うことができる。
の収容溝の奥側が狭まっているとともに、その底部が少
なくとも基板の厚さより大きな幅のフラット部分を備え
るため、基板の搬送時の基板保持手段が退去する際に基
板が収容溝から抜けないで基板保持手段とともに移動し
てしまい、搬送に失敗するといったことがなく、確実な
基板の搬送を行うことができる。
【００９２】また、請求項６の発明では、水平姿勢で第
１ポジションに配置された基板を搬送して、第２ポジシ
ョンにおいて第１の鉛直姿勢とこの鉛直姿勢と上下反転
の関係にある第２の鉛直姿勢で第１の基板載置部および
第２の基板載置部に基板を配置しているので、第２ポジ
ション配置後の処理工程において、基板の向きを反転さ
せて処理する必要がある場合でも、基板の向きを反転さ
せる回転機構を設ける必要がないという効果がある。
１ポジションに配置された基板を搬送して、第２ポジシ
ョンにおいて第１の鉛直姿勢とこの鉛直姿勢と上下反転
の関係にある第２の鉛直姿勢で第１の基板載置部および
第２の基板載置部に基板を配置しているので、第２ポジ
ション配置後の処理工程において、基板の向きを反転さ
せて処理する必要がある場合でも、基板の向きを反転さ
せる回転機構を設ける必要がないという効果がある。
【００９３】また、請求項８の発明では、第１ポジショ
ンにおいて第１の鉛直姿勢とこの鉛直姿勢と上下反転の
関係にある第２の鉛直姿勢で第１の基板載置部および第
２の基板載置部に配置された基板を搬送して、水平姿勢
で第２ポジションに基板を配置しているので、第１ポジ
ション配置前の処理工程により第１ポジションで異なる
鉛直姿勢に配置されている基板を搬送して、第２ポジシ
ョンで基板を水平姿勢に整列配置することができる。
ンにおいて第１の鉛直姿勢とこの鉛直姿勢と上下反転の
関係にある第２の鉛直姿勢で第１の基板載置部および第
２の基板載置部に配置された基板を搬送して、水平姿勢
で第２ポジションに基板を配置しているので、第１ポジ
ション配置前の処理工程により第１ポジションで異なる
鉛直姿勢に配置されている基板を搬送して、第２ポジシ
ョンで基板を水平姿勢に整列配置することができる。
【図１】実施の形態の基板配列変換装置における側面図
である。
である。
【図２】実施の形態の基板配列変換装置における平面図
である。
である。
【図３】ハンドの斜視図である。
【図４】開閉チャックが開いている状態での基板の様子
を示す図である。
を示す図である。
【図５】開閉チャックが閉じた状態での基板の様子を示
す図である。
す図である。
【図６】開閉チャックが開閉した状態での固定チャック
における基板の様子を示す図である。
における基板の様子を示す図である。
【図７】第１の鉛直姿勢での基板の受渡しの状況を示す
図である。
図である。
【図８】第２の鉛直姿勢での基板の受渡しの状況を示す
図である。
図である。
【図９】基板配列変換処理の手順を示す図である。
【図１０】基板配列変換処理の手順を示す図である。
１ 基板配列変換装置 ２０ 基板搬送装置 １０ カセット載置台 ４０ 基板載置台 ２４５ ハンド回動部 ２６０ ハンド ２６２ａ，２６２ｂ エアシリンダ ２６４ａ，２６４ｂ 開閉チャック ２６５ａ〜２６５ｅ 支持板 ２６６ａ〜２６６ｅ 固定チャック ２６７ａ〜２６７ｅ 支持ピン ４１０ａ，４１０ｂ 基板載置部 ＢＡ，ＢＢ 底部 ＧＡ1〜ＧＡ5，ＧＢ1〜ＧＢ5 収容溝 Ｗ 基板
Claims (10)
- 【請求項１】 第１ポジションに配置された基板を搬送
して第２ポジションに配置する基板搬送装置であって、 支持板と、前記支持板に設けられ、基板を支持する複数
のピンと、基板を収容可能な収容溝を有するチャックと
を備える基板保持手段と、 前記基板保持手段を、ほぼ前記支持板の基部と先端部と
を結ぶ軸線を中心に回動させることにより、前記基保持
手段によって保持された基板を、少なくとも、水平姿
勢、第１の鉛直姿勢、および前記第１の鉛直姿勢に対し
て上下反転の関係にある第２の鉛直姿勢、のうちのいず
れかの姿勢とすることを許容する第１駆動手段と、 前記第１ポジションおよび前記第２ポジションの間で前
記基板保持手段を移動させる第２駆動手段と、を備える
ことを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項２】 請求項１の基板搬送装置であって、 前記チャックが、 前記先端部に固定された固定チャックと、 前記基部に近い側において、前記軸線に関してほぼ対称
に配置され、独立して開閉可能な複数の開閉チャック
と、を備えることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項３】 請求項１または請求項２の基板搬送装置
であって、 複数の前記基板保持手段を多段に積層したことを特徴と
する基板搬送装置。 - 【請求項４】 請求項１ないし請求項３のうちのいずれ
かの基板搬送装置において、 前記収容溝の奥側が狭まっているとともに、その底部が
少なくとも基板の厚さより大きな幅のフラット部分を備
えることを特徴とする基板搬送装置。 - 【請求項５】 請求項１ないし請求項４のうちのいずれ
かの基板搬送装置を用いて、前記第１ポジションに配置
された基板を搬送して前記第２ポジションに配置する基
板搬送方法であって、 前記第１ポジションにおいて水平姿勢で配置された基板
を前記基板保持手段によって保持しつつ、基板を水平姿
勢で前記第１ポジションから搬出する工程と、 基板を保持した前記基板保持手段を前記第２駆動手段に
よって前記第２ポジションへと移動させるとともに、前
記第１ポジションから搬出された後、前記第２ポジショ
ンに前記基板を搬入する前までの期間に前記第１駆動手
段によって前記基板保持手段を回動させることにより、
第１と第２の鉛直姿勢のうちあらかじめ決定された鉛直
姿勢へと基板の姿勢を変換する工程と、 基板の姿勢の変換後に基板を前記第２ポジションへ搬入
して前記基板保持手段による基板の保持を解放する工程
と、を備えることを特徴とする基板搬送方法。 - 【請求項６】 請求項５の基板搬送方法であって、 前記第２ポジションは基板を載置する第１および第２の
基板載置部を有しており、 前記第１ポジションに配置されている所定枚数の基板を
前記基板保持手段によって搬出し、前記基板保持手段の
一方向への回動によって前記第１の鉛直姿勢に変換して
前記第１の基板載置部に配置し、 前記第１ポジションに配置されている残りの基板を前記
基板保持手段によって搬出し、前記基板保持手段の他方
向への回動によって前記第２の鉛直姿勢に変換して前記
第２の基板載置部に配置することを特徴とする基板搬送
方法。 - 【請求項７】 請求項１ないし請求項４のうちのいずれ
かの基板搬送装置を用いて、前記第１ポジションに配置
された基板を搬送して前記第２ポジションに配置する基
板搬送方法であって、 前記第１ポジションにおいて鉛直姿勢で配置された基板
を前記基板保持手段によって前記基板を保持しつつ、前
記基板を鉛直姿勢で前記第１ポジションから搬出する工
程と、 基板を保持した前記基板保持手段を前記第２駆動手段に
よって前記第２ポジションへと移動させるとともに、前
記第１ポジションから搬出された後、前記第２ポジショ
ンに前記基板を搬入する前までの期間に前記第１駆動手
段によって前記基板保持手段を回動させることにより、
水平姿勢へと基板の姿勢を変換する工程と、 基板の姿勢の変換後に基板を前記第２ポジションへ搬入
して前記基板保持手段による基板の保持を解放する工程
と、を備えることを特徴とする基板搬送方法。 - 【請求項８】 請求項７の基板搬送方法であって、 前記第１ポジションが、第１の鉛直姿勢で基板を載置す
る第１の基板載置部と、第２の鉛直姿勢で基板を載置す
る第２の基板載置部を有しており、 前記第１の基板載置部から前記第１の鉛直姿勢で前記基
板保持手段によって搬出された基板を、前記基板保持手
段の一方向への回動によって前記水平姿勢に変換して前
記第１ポジションに搬送し、 前記第２の基板載置部から前記第２の鉛直姿勢で前記基
板保持手段によって搬出された基板を、前記基板保持手
段の他方向への回動によって水平姿勢に変換して前記第
２ポジションに搬送することを特徴とする基板搬送方
法。 - 【請求項９】 基板を水平姿勢から鉛直姿勢へと姿勢変
換する基板姿勢変換装置であって、 支持板と、前記支持板に設けられ、基板を支持する複数
のピンと、基板を収容可能な収容溝を有するチャックと
を備える基板保持手段と、 前記基板保持手段を、ほぼ前記支持板の基部と先端部と
を結ぶ軸線を中心に回動させることにより、前記基板保
持手段によって保持された基板を、少なくとも、水平姿
勢、第１の鉛直姿勢、および前記第１の鉛直姿勢に対し
て上下反転の関係にある第２の鉛直姿勢、のうちのいず
れかの姿勢とすることを許容する回動駆動手段と、を備
えることを特徴とする基板姿勢変換装置。 - 【請求項１０】 請求項９の基板姿勢変換装置であっ
て、 前記チャックが、 前記先端部に固定された固定チャックと、 前記基部に近い側において、前記軸線に関してほぼ対称
に配置され、独立して開閉可能な複数の開閉チャック
と、を備えることを特徴とする基板姿勢変換装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1033797A JP3745064B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法ならびに基板姿勢変換装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1033797A JP3745064B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法ならびに基板姿勢変換装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10209243A true JPH10209243A (ja) | 1998-08-07 |
| JP3745064B2 JP3745064B2 (ja) | 2006-02-15 |
Family
ID=11747391
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1033797A Expired - Fee Related JP3745064B2 (ja) | 1997-01-23 | 1997-01-23 | 基板搬送装置およびそれを用いた基板搬送方法ならびに基板姿勢変換装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3745064B2 (ja) |
Cited By (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006313865A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | Tatsumo Kk | 基板保持装置 |
| KR100677343B1 (ko) | 2005-06-18 | 2007-02-02 | 주식회사 뉴파워 프라즈마 | 수직형 다중 기판 처리 시스템 및 그 처리 방법 |
| KR100898048B1 (ko) | 2007-10-10 | 2009-05-19 | 세메스 주식회사 | 반도체 제조 설비에서의 웨이퍼 반전 유닛 |
| JP2010129674A (ja) * | 2008-11-26 | 2010-06-10 | Shin Etsu Polymer Co Ltd | 基板収納容器、クランプハンド、及び基板の取り出し方法 |
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| WO2017145986A1 (ja) * | 2016-02-26 | 2017-08-31 | 川崎重工業株式会社 | 基板把持ハンド及び基板搬送装置 |
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| KR20190100396A (ko) * | 2017-01-31 | 2019-08-28 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 기판 파지 핸드 및 기판 반송 장치 |
-
1997
- 1997-01-23 JP JP1033797A patent/JP3745064B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| KR20180118690A (ko) * | 2016-02-26 | 2018-10-31 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 기판 파지 핸드 및 기판 반송 장치 |
| KR20170113317A (ko) * | 2016-03-31 | 2017-10-12 | 시바우라 메카트로닉스 가부시끼가이샤 | 기판 반송 장치, 기판 처리 장치 및 기판 처리 방법 |
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|---|---|
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