KR100898048B1 - 반도체 제조 설비에서의 웨이퍼 반전 유닛 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 반도체 세정 공정에서 웨이퍼 이면 세정을 위하여 웨이퍼를 반전시키기 위해 사용되는 반도체 제조 공정의 피처리체 반전 유닛에 관한 것으로, 반전 장치는 피처리체가 홀딩되는 홀딩부; 및 상기 홀딩부를 반전시키는 반전부를 포함하되; 상기 홀딩부는 피처리체가 놓여지는 지지부재; 상기 지지부재에 놓여진 피처리체의 전단 가장자리를 척킹하는 제1그립부재; 상기 제1그립부재와 대향되는 피처리체의 후단 가장자리를 척킹하는 제2그립부재; 피처리체의 척킹/언척킹을 위해 제1그립부재와 상기 제2그립부재를 이동시키는 구동부재를 포함한다.

Description

반도체 제조 설비에서의 웨이퍼 반전 유닛{WAFER REVERSE UNIT FOR SEMICONDUTOR DEVICE FABRICATION EQUIPMENT}
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 반전 유닛의 개략적인 구성도이다.
도 2는 도 1에 도시된 홀딩부를 보여주는 사시도이다.
도 3은 홀딩부의 평면도이다.
도 4는 홀딩부의 측면도이다.
도 5는 제1그립부재와 동력전달부재 간의 연결 구조를 보여주는 홀딩부의 사시도이다.
도 6은 홀딩부의 제1그립부재를 보여주는 도면이다.
도 7은 지지부재가 베이스에 설치되는 것을 보여주는 도면이다.
도 8은 제1그립부재와 제2그립부재의 조립을 설명하기 위한 도면이다.
도 9 구동부재가 설치된 베이스를 보여주는 도면이다.
도 10은 구동부재의 분해 사시도들이다.
도 11a 및 도 11b에는 제1그립부재와 제2그립부재의 척킹/언척킹 상태가 도시되어 있다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명*
100 : 홀딩부
110 : 지지부재
120 : 제1그립부재
130 : 제2그립부재
140 : 구동부재
200 : 반전부
300 : 승강부
400 : 프레임
본 발명은 반도체 제조 공정의 피처리체 반전 유닛에 관한 것으로, 좀 더 구체적으로는 웨이퍼 이면 처리를 위하여 웨이퍼를 반전시키기 위해 사용되는 반도체 제조 공정의 피처리체 반전 유닛에 관한 것이다.
반도체 디바이스 제조에 있어서는, 기판(반도체 웨이퍼, LCD 기판등)의 전면이 세정된 상태에 있는 것을 전제로 하여 미세가공이 이루어진다. 따라서, 각 가공처리에 앞서서, 또는 각 가공처리 사이에 기판 표면에 존재하는 이물질을 제거하는 세정 공정이 필수적으로 수반된다.
예를 들면, 포토리소그라피 공정에서는, 레지스트 도포에 앞서서 기판의 전면을 스핀 스크러버(scrubber)에서 브러시 세정을 수행한다.
잘 알려진 세정 방법은 로봇(이송로봇)이 웨이퍼를 클램핑 한 후, 웨이퍼를 세정장치 내로 인입하고, 세정이 완료되면 웨이퍼를 세정 장치로부터 인출하는 것이다. 그리고, 최근에는 기판의 전면(소자 형성면 또는 윗면이라고도 칭함)뿐만 아니라 이면(backside)도 세정하는 것이 통례로 되어 있으며, 웨이퍼의 전면의 반대면인 이면을 세정하기 위해서는 별도의 웨이퍼 반전 수단으로 웨이퍼를 뒤집은 후, 상기 방법으로 웨이퍼를 세정해야 한다.
이와 같이, 종래 세정 설비에서는 스핀 스크러버 유닛에서 기판의 전면과 이면을 선택적 또는 번 갈아서 세정할 수 있도록 웨이퍼 반전 유닛을 구비하고 있다.
종래 웨이퍼 반전 유닛은 로딩 플레이트에 로딩된 웨이퍼의 측면에 위치하는 척킹아암으로 웨이퍼의 양측면을 척킹한 후에 반전시키는 방식으로, 이 경우 웨이퍼의 양측면을 척킹하는 척킹아암으로 인해 웨이퍼의 회전 반경이 커져 높이가 낮은 공간을 요구하는 세정장비에 제한이 있다. 특히, 척킹 아암의 동작은 모터 구동에 의해 이루어지기 때문에 설치 및 유지보수 그리고 동작 제어에 많은 어려움이 따른다.
본 발명의 목적은 회전반경이 작은 반도체 제조 설비에서의 피처리체 반전 유닛을 제공하는데 있다.
본 발명의 목적은 단순한 구동 메카니즘으로 이루어지는 반도체 제조 설비에서의 피처리체 반전 유닛을 제공하는데 있다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 특징에 의하면, 본 발명의 피처리체 의 반전 장치는 피처리체가 홀딩되는 홀딩부; 및 상기 홀딩부를 반전시키는 반전부를 포함하되; 상기 홀딩부는 피처리체가 놓여지는 지지부재; 상기 지지부재에 놓여진 피처리체의 전단 가장자리를 척킹하는 제1그립부재; 상기 제1그립부재와 대향되는 피처리체의 후단 가장자리를 척킹하는 제2그립부재; 피처리체의 척킹/언척킹을 위해 제1그립부재와 상기 제2그립부재를 이동시키는 구동부재를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 구동부재는 상면과 저면을 갖는 베이스; 피처리체의 회전축 방향으로 이동되도록 상기 베이스의 상면에 설치되고 상기 제2그립부재와 연결되는 제1로드; 피처리체의 회전축 방향으로 이동되도록 상기 베이스의 후면에 설치되고 상기 제1그립부재와 연결되는 제2로드; 상기 베이스의 상면에 설치되고 상기 제1로드를 이동시키는 실린더; 및 상기 베이스에 설치되고, 상기 실린더의 구동력을 상기 제2로드측에 반대로 제공하기 위한 동력전달부재를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 동력전달부재는 상기 베이스의 상면과 저면을 관통하여 설치되는 제1,2풀리; 및 상기 제1,2풀리에 감겨지고 상기 베이스의 상면측에 위치되는 부분에는 상기 제1로드가 연결되고, 상기 베이스의 저면측에 위치되는 부분에는 상기 제2로드가 연결되어 상기 제1로드와 상기 제2로드를 서로 상반되는 방향으로 이동시키는 벨트를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 제1그립부재는 적어도 2개의 그립퍼와; 상기 그럽퍼가 설치되며 그리고 상기 제2로드와 연결되는 브라켓을 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 브라켓은 상기 홀딩부에 놓여지는 피처리체 아래에 위치된다.
이와 같은 본 발명에서 상기 제2그립부재는 적어도 1개의 그립퍼와; 상기 그럽퍼가 설치되며 그리고 상기 제1로드와 연결되는 브라켓을 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 지지부재는 원형에 가까운 링 형상의 지지링과; 상기 지지링에 설치되고 피처리체를 지지하는 지지핀들을 포함한다.
상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명의 다른 특징에 의하면, 피처리체의 반전 장치는 피처리체가 홀딩되는 홀딩부; 및 상기 홀딩부를 반전시키기 위한 반전부를 포함하되; 상기 홀딩부는 상면과 저면을 갖는 베이스; 상기 베이스에 일단이 고정되고, 피처리체를 지지하는 지지핀들을 갖는 지지링; 피처리체가 반전되는 회전축을 기준으로 피처리체의 전단과 피처리체의 후단에서 피처리체를 그립하는 제1,2그립부재; 상기 베이스에 설치되고 상기 제2그립부재를 이동시키는 실린더; 및 상기 베이스에 설치되고, 상기 제2그립부재와는 상반되는 방향으로 상기 제1그립부재를 이동시키는 동력전달부재를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 동력전달부재는 상기 베이스의 상면과 저면을 관통하여 설치되는 제1,2풀리; 및 상기 제1,2풀리에 감겨지고 상기 베이스의 상면측에 위치되는 부분에는 상기 제2그립부재가 연결되고, 상기 베이스의 저면측에 위치되는 부분에는 상기 제1그립부재가 연결되어 상기 제1그립부재와 상기 제2그리부재를 서로 상반되는 방향으로 이동시키는 벨트를 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 상기 홀딩부는 상기 베이스의 상면에 슬라이드 이동 가능하게 설치되고, 상기 동력전달부재와 상기 제2그립부재를 연결하는 제1로드; 상기 베이스의 저면에 슬라이드 이동 가능하게 설치되고, 상기 동력전달부재와 상 기 제1그립부재를 연결하는 제2로드를 더 포함한다.
이와 같은 본 발명에서 피처리체의 회전축과 직교하는 상기 지지링의 회전반경폭은 피처리체의 지름과 같거나 또는 그보다 작다.
이와 같은 본 발명에서 상기 제1그립부재는 제1,2그립퍼; 상기 제2로드와 연결되며, 피처리체의 아래 공간에 위치되는 편자형상의 몸체부분과, 상기 몸체부분의 양단으로부터 각각 연장되어 형성되고 상기 제1,2그립퍼가 설치되는 받침부분을 포함하는 브라켓을 포함한다.
예컨대, 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 상술하는 실시예로 인해 한정되어 지는 것으로 해석되어져서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 보다 완전하게 설명하기 위해서 제공되어지는 것이다. 따라서, 도면에서의 요소의 형상 등은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해서 과장되어진 것이다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 도 11b를 참조하면서 보다 상세히 설명한다. 상기 도면들에 있어서 동일한 기능을 수행하는 구성요소에 대해서는 동일한 참조번호가 병기되어 있다.
도 1은 본 발명의 실시예에 따른 웨이퍼 반전 유닛의 개략적인 구성도이다.
도 1을 참조하면, 본 발명의 웨이퍼 반전 유닛(10)은 피처리체인 웨이퍼(w)가 로딩되는 홀딩부(100), 홀딩부(100)를 반전시키기 위한 반전부(200), 프레임(400)상에 설치되고 홀딩부(100)를 승강시키기 위한 승강부(300)를 포함한다. 여기서, 반전부(200)는 홀딩부(100)를 180도 반전시키기 위한 것으로 모터와 같은 구 동 장치가 사용되며, 승강부(300)는 웨이퍼(w)가 처리유닛(500)의 척에 로딩/언로딩되도록 반전부(200)를 프레임(400)상에서 수직방향으로 승강시키기 위한 것으로, 실린더 또는 리니어 모터, 모터를 이용한 리드스크류와 같은 직선 구동 장치가 사용될 수 있으며, 이들에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
(홀딩부)
도 2는 도 1에 도시된 홀딩부를 보여주는 사시도이다. 도 3 및 도 4는 홀딩부의 평면도 및 측면도이다. 도 5는 제1그립부재와 동력전달부재 간의 연결 구조를 보여주는 홀딩부의 사시도이다.
도 2 내지 도 5를 참고하면, 홀딩부(100)는 지지부재(110), 제1그립부재(120), 제2그립부재(130) 그리고 구동부재(140)를 포함한다.
지지부재(110)는 반전시키기 위한 웨이퍼(w) 또는 반전된 웨이퍼가 놓여지는 부분으로, 웨이퍼(w)가 유동되지 않게 웨이퍼의 가장자리가 얹혀지는 다수의 지지핀(114)들을 구비한 지지링(112)으로 이루어진다. 도 7에 도시된 바와 같이, 지지링(112)은 베이스(102)에 고정 설치된다. 지지링(112)의 회전반경폭(L)은 웨이퍼의 지름(D)과 같거나 그보다 작은 것이 바람직하다. 도 3의 평면도에 표시된 바와 같이, 웨이퍼(w)의 반전축(S)과 직교하는 지지링(112)의 회전반경폭(L)은 웨이퍼의 지름(D)과 같기 때문에 홀딩부(100)가 회전할 때 요구되는 반경폭은 웨이퍼의 지름과 동일하다. 지지링(112)에는 감지센서(116)가 설치되며, 이 감지센서(116)들은 지지링(112)에 놓여진 웨이퍼(w)의 가장자리를 감지하여 웨이퍼(w)가 정위치에 놓여졌는지를 체크한다.
제1그립부재(120)와 제2그립부재는 홀딩부가 반전시 지지링의 지지핀들에 놓여진 웨이퍼를 전단과 후단에서 홀딩(그립)하기 위한 부분이다. 제1그립부재는 웨이퍼가 반전되는 회전축을 기준으로 웨이퍼의 전단에 위치되며, 제2그립부재는 웨이퍼의 후단에 위치된다(도 8참조). 이처럼, 본 발명에서는 웨이퍼를 척킹하는 제1,2그립부재(120,130)가 웨이퍼의 전단과 후단에 각각 설치되어 있기 때문에 홀딩부가 회전할 때 요구되는 반경폭에 영향을 주지 않는다. 따라서, 높이가 낮은 공간을 요구하는 세정장비에 적합하다.
제1그립부재(120)는 2개의 그립퍼(122)와, 브라켓(126)을 포함한다. 브라켓(126)은 메인부분(126a)과 받침부분(126b) 그리고 연결부분(126c)을 포함한다(도 6참조).
메인부분(126a)은 편자형상으로 이루어지며, 피처리체인 웨이퍼(w)의 아래에 위치된다. 즉, 메인부분(126a)은 지지링(112) 안쪽에 지지링(122)과 동일 높이에 위치된다. 메인부분(126a)은 구동부재(140)의 제2로드와 연결된다. 받침부분(126b)은 메인부분(126a)의 양단으로부터 각각 연장되어 형성된다. 받침부분(126b)의 끝단에는 그립퍼(122)가 설치된다. 받침부분(126b)은 지지링(112) 안쪽에 위치되어 있는 메인부분(126a)과 지지링(112) 바깥쪽에 위치되는 그립퍼(122)를 이어주는 부분으로, 지지링(112)의 저면에는 받침부분(126b)이 지나갈 수 있도록 홈(113)이 형성되어 있다(도 5에 도시되어 있음). 받침부분(126b)의 두께는 메인부분(126a)의 두께보다 얇은 것이 바람직하다. 그립퍼(122)는 지지부재(110)에 놓여진 웨이퍼(w)의 가장자리를 그립할 수 있는 높이를 갖는다. 연결부분(126c)은 받침부분(126b)에 쳐짐이 발생되지 않도록 받침부분(126b)을 상호 연결하는 보강대 역할을 한다.
제2그립부재(130)는 웨이퍼의 후단을 두지점에서 그립할 수 있도록 "⊃"자 형상의 그립퍼(122)를 포함한다. 이 그립퍼는 제1로드에 바로 연결된다.
구동부재(140)는 제1로드(142), 제2로드(144), 실린더(148) 및 동력전달부재(150)를 포함한다.
도 2 및 도 3 그리고 도 9에서 보여주는 바와 같이, 제1로드(142)는 베이스(102)의 상면에 설치된다. 구체적으로, 제1로드(142)는 웨이퍼의 회전축(S) 방향으로 전후 이동되도록 베이스(102)의 상면에 설치된 제1가이드 블록(143)상에 설치된다. 제1로드(142)에는 제2그립부재(130)의 그립퍼(132)가 설치된다. 도 10에 도시된 바와 같이, 제1로드(142)는 실린더(148)와 연결되어 직선 이동력을 제공받는 제1부분(142a)과 동력전달부재(150)의 밸트(154)와 연결되어 직선 이동력을 제공하는 제2부분(144b)을 포함한다. 제1로드(142)는 실린더(148)와 연결되어 실린더(148)의 동작에 의해 전후 방향으로 이동된다. 한편, 제1로드(142)는 동력전달부재(150)의 밸트(154)에 연결되어 있어서 실린더(148)의 직선 이동력이 동력전달부재(150)로 제공된다.
도 5에서 보여주는 바와 같이, 제2로드(144)는 베이스(102)의 저면에 설치된다. 구체적으로, 제2로드(144)는 제1로드(142)와 동일하게 웨이퍼의 회전축(s) 방향으로 전후 이동되도록 베이스(102)의 저면에 설치된 제2가이드 블록(145)상에 설치된다. 제2로드(144)는 동력전달부재(150)의 밸트(154)에 연결되어 직선 이동력을 제공받는 제1부분(144a)과, 제1그립부재(120)의 브라켓(126)과 연결되어 직선 이동 력을 제공하는 제2부분(144b)을 포함한다. 제2로드(144)의 제2부분(144b)은 지지링(112) 내측에 위치하는 브라켓(126)에 연결되도록 계단식으로 절곡되어 형성된다.
동력전달부재(150)는 베이스(102)에 형성된 관통부분(104)에 설치된다. 동력전달부재(150)는 실린더(148)의 직선 구동력을 제2로드(144)측에 반대로 제공하기 위한 것이다. 동력전달부재(150)는 한 쌍의 풀리(152a,152b)와, 한 쌍의 풀리(152a,152b)에 감겨지는 벨트(154)를 포함한다. 벨트(154)는 베이스(102)의 상면측에 위치되는 부분에 제1로드(142)가 연결되고, 베이스(102)의 저면측에 위치되는 부분에 제2로드(144)가 연결된다. 따라서 제1로드(142)와 제2로드(144)는 벨트에 의해 서로 상반되는 방향으로 이동된다.
도 11a 및 도 11b에는 제1그립부재와 제2그립부재의 척킹/언척킹 상태가 도시되어 있다. 도 11a 및 도 11b에는 제1,2그립부재의 동작상태를 설명하기 위해 도면 편의상 지지부재와 베이스 등이 생략되었다.
실린더가 a 방향으로 이동되면, 제1로드(142)와 제2그립부재(130)는 a 방향으로 이동되고, 제2로드(144)와 제1그립부재(120)는 a 방향의 반대인 b 방향으로 이동된다. 즉, 실린더가 a 방향으로 이동되면 제1그립부재(120)와 제2그립부재(130)는 웨이퍼의 가장자리로부터 이격되는 언척킹 위치로 이동된다(도 11a 참조). 반대로, 실린더가 b 방향으로 이동되면, 제1로드(142)와 제2그립부재(130)는 b 방향으로 이동되고, 제2로드(144)와 제1그립부재(120)는 b 방향의 반대인 a 방향으로 이동된다. 즉, 실린더가 b 방향으로 이동되면 제1그립부재(120)와 제2그립부 재(130)는 웨이퍼의 가장자리를 그립하는 척킹 위치로 이동된다(도 11b 참조).
이처럼, 본 발명의 홀딩부에서는 모터를 사용하여 웨이퍼를 척킹/언척킹하는 것이 아니라 하나의 실린더를 이용하여 제1그립부재와 제2그립부재를 서로 반대되는 방향으로 직선 이동시켜 웨이퍼를 척킹/언척킹 할 수 있는 동력전달부재를 갖는다는데 그 특징이 있는 것으로,
본 발명의 웨이퍼 반전 유닛(100)은 하나의 구동원(실린더)을 이용한 간단한 구조로 웨이퍼를 용이하게 척킹/언척킹시킬 수 있는 구조적인 특징을 갖는 것이다. 또한, 본 발명의 웨이퍼 반전 유닛은 모터를 사용하지 않음으로써, 그에 따른 복잡한 제어가 필요 없고 간단한 I/O만으로 제어가 가능하기 때문에, 제품의 생산 단가를 줄일 수 있으며, 작동시 오류 발생율이 적은 이점이 있다. 또한, 본 발명의 웨이퍼 반전 유닛은 제1그립부재와 제2그립부재가 웨이퍼의 회전축 선상에 배치되어 웨이퍼의 전단과 후단을 척킹하기 때문에 홀딩부의 회전 반경이 작아 높이가 낮은 공간을 요구하는 세정 장치에 적합하다.
상기한 실시예에 따른 웨이퍼 반전 유닛(100)은 웨이퍼의 이면 세정이 필요한 반도체 세정 유닛내에 매우 유용하게 적용 가능한 것이다. 또한, 본 발명의 반전 유닛은 웨이퍼 연마 공정과 같은 웨이퍼 반전이 필요한 다른 처리 시스템에도 적용가능하며, 피처리물인 웨이퍼도, 반도체 웨이퍼에 한정하지 않고, LCD 기판, 글라스기판, CD 기판, 포토마스크, 프린트기판, 세라믹 기판 등에 적용할 수가 있다.
이상에서, 본 발명에 따른 웨이퍼 반전 유닛의 구성 및 작용을 상기한 설명 및 도면에 따라 도시하였지만 이는 예를 들어 설명한 것에 불과하며 본 발명의 기술적 사상을 벗어나지 않는 범위 내에서 다양한 변화 및 변경이 가능함은 물론이다.
이와 같은 본 발명을 적용하면, 본 발명의 웨이퍼 반전 유닛은 종래에 비하여, 단순구조의 구현이 가능해 짐으로 조립 및 유지 보수 등이 매우 유리하다.
특히, 회전 모터를 사용하지 않음으로써, 그에 따른 복잡한 제어가 필요 없고, 간단한 I/O만으로 제어가 가능하기 때문에, 반전 동작의 신뢰성 확보는 물론 제품의 생산 단가를 줄일 수 있으며, 작동시 오류 발생율이 적다는 이점이 있다.
또한, 웨이퍼 반전에 필요한 공간을 작게 차지하기 때문에 설비의 높이를 줄일 수 있다.

Claims (12)

  1. 삭제
  2. 피처리체의 반전 장치에 있어서:
    피처리체가 홀딩되는 홀딩부; 및
    상기 홀딩부를 반전시키는 반전부를 포함하되;
    상기 홀딩부는
    피처리체가 놓여지는 지지부재;
    상기 지지부재에 놓여진 피처리체의 전단 가장자리를 척킹하는 제1그립부재;
    상기 제1그립부재와 대향되는 피처리체의 후단 가장자리를 척킹하는 제2그립부재;
    피처리체의 척킹/언척킹을 위해 제1그립부재와 상기 제2그립부재를 이동시키는 구동부재를 포함하되;
    상기 구동부재는
    상면과 저면을 갖는 베이스;
    피처리체의 회전축 방향으로 이동되도록 상기 베이스의 상면에 설치되고 상기 제2그립부재와 연결되는 제1로드;
    피처리체의 회전축 방향으로 이동되도록 상기 베이스의 후면에 설치되고 상기 제1그립부재와 연결되는 제2로드;
    상기 베이스의 상면에 설치되고 상기 제1로드를 이동시키는 실린더; 및
    상기 베이스에 설치되고, 상기 실린더의 구동력을 상기 제2로드측에 반대로 제공하기 위한 동력전달부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 동력전달부재는
    상기 베이스의 상면과 저면을 관통하여 설치되는 제1,2풀리; 및
    상기 제1,2풀리에 감겨지고 상기 베이스의 상면측에 위치되는 부분에는 상기 제1로드가 연결되고, 상기 베이스의 저면측에 위치되는 부분에는 상기 제2로드가 연결되어 상기 제1로드와 상기 제2로드를 서로 상반되는 방향으로 이동시키는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  4. 제 2 항에 있어서,
    상기 제1그립부재는
    적어도 2개의 그립퍼와;
    상기 그럽퍼가 설치되며 그리고 상기 제2로드와 연결되는 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 브라켓은 상기 홀딩부에 놓여지는 피처리체 아래에 위치되는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  6. 제 2 항에 있어서,
    상기 제2그립부재는
    적어도 1개의 그립퍼와;
    상기 그럽퍼가 설치되며 그리고 상기 제1로드와 연결되는 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  7. 제 2 항에 있어서,
    상기 지지부재는
    원형에 가까운 링 형상의 지지링과;
    상기 지지링에 설치되고 피처리체를 지지하는 지지핀들을 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  8. 피처리체의 반전 장치에 있어서:
    피처리체가 홀딩되는 홀딩부; 및
    상기 홀딩부를 반전시키기 위한 반전부를 포함하되;
    상기 홀딩부는
    상면과 저면을 갖는 베이스;
    상기 베이스에 일단이 고정되고, 피처리체를 지지하는 지지핀들을 갖는 지지링;
    피처리체가 반전되는 회전축을 기준으로 피처리체의 전단과 피처리체의 후단에서 피처리체를 그립하는 제1,2그립부재;
    상기 베이스에 설치되고 상기 제2그립부재를 이동시키는 실린더;
    상기 베이스에 설치되고, 상기 제2그립부재와는 상반되는 방향으로 상기 제1그립부재를 이동시키는 동력전달부재;
    상기 베이스의 상면에 슬라이드 이동 가능하게 설치되고, 상기 동력전달부재와 상기 제2그립부재를 연결하는 제1로드; 및
    상기 베이스의 저면에 슬라이드 이동 가능하게 설치되고, 상기 동력전달부재와 상기 제1그립부재를 연결하는 제2로드를 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  9. 피처리체의 반전 장치에 있어서:
    피처리체가 홀딩되는 홀딩부; 및
    상기 홀딩부를 반전시키기 위한 반전부를 포함하되;
    상기 홀딩부는
    상면과 저면을 갖는 베이스;
    상기 베이스에 일단이 고정되고, 피처리체를 지지하는 지지핀들을 갖는 지지링;
    피처리체가 반전되는 회전축을 기준으로 피처리체의 전단과 피처리체의 후단에서 피처리체를 그립하는 제1,2그립부재;
    상기 베이스에 설치되고 상기 제2그립부재를 이동시키는 실린더; 및
    상기 베이스에 설치되고, 상기 제2그립부재와는 상반되는 방향으로 상기 제1그립부재를 이동시키는 동력전달부재를 포함하고;
    상기 동력전달부재는
    상기 베이스의 상면과 저면을 관통하여 설치되는 제1,2풀리; 및
    상기 제1,2풀리에 감겨지고 상기 베이스의 상면측에 위치되는 부분에는 상기 제2그립부재가 연결되고, 상기 베이스의 저면측에 위치되는 부분에는 상기 제1그립부재가 연결되어 상기 제1그립부재와 상기 제2그리부재를 서로 상반되는 방향으로 이동시키는 벨트를 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 홀딩부는
    상기 베이스의 상면에 슬라이드 이동 가능하게 설치되고, 상기 동력전달부재와 상기 제2그립부재를 연결하는 제1로드;
    상기 베이스의 저면에 슬라이드 이동 가능하게 설치되고, 상기 동력전달부재와 상기 제1그립부재를 연결하는 제2로드를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  11. 제 8 항 또는 제9항에 있어서,
    피처리체의 회전축과 직교하는 상기 지지링의 회전반경폭은 피처리체의 지름과 같거나 또는 그보다 작은 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
  12. 제 10항에 있어서,
    상기 제1그립부재는
    제1,2그립퍼;
    상기 제2로드와 연결되며, 피처리체의 아래 공간에 위치되는 편자형상의 몸체부분과, 상기 몸체부분의 양단으로부터 각각 연장되어 형성되고 상기 제1,2그립퍼가 설치되는 받침부분을 포함하는 브라켓을 포함하는 것을 특징으로 하는 피처리체의 반전 장치.
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