TWI417982B - Substrate processing device - Google Patents

Description

基板處理裝置 技術領域

本發明係有關於一種可以預定傾斜角度搬送基板並同時進行洗淨處理的基板處理裝置。

背景技術

例如，在液晶顯示裝置或半導體裝置等之製造步驟中，係在作為其對象物之玻璃基板或半導體晶圓等基板上塗布光阻劑，並在將該光阻劑進行顯像處理後對前述基板進行蝕刻處理，藉此在該基板表面精密地形成電路圖案。如在基板上形成電路圖案，就要藉由藥劑進行處理，以去除附著於該基板表面之光阻劑膜或光阻劑殘渣等有機物。

進行過藥劑處理後之基板係藉由洗淨液進行洗淨處理。在進行基板之洗淨處理時，只靠噴射純水或經稀釋之藥劑等洗淨液無法確實地洗去附著在基板之污垢。此時，可將洗淨液供應至前述基板，且同時以驅動旋轉之洗淨刷擦洗前述基板的板面。

然而，最近使用於液晶顯示裝置之玻璃製基板較薄，且傾向於大型化。而且，由於基板的大型化，使得供應至基板上之處理液量增加，且加在前述搬送軸之載重也隨著基板上之處理液量而變大。

因此，搬送軸的彎曲會由於該等情形而增大，故在水平搬送基板時，搬送滾子間之基板的彎曲會增大，使各處理部之處理無法在基板的板面全體均勻地進行。

因此，目前藉由以預定傾斜角度使前述基板傾斜搬送，以減少搬送軸或基板產生之彎曲，並在其搬送過程中藉由洗淨刷對前述基板的板面進行洗淨的處理已逐漸實用化。

在以預定傾斜角度搬送基板時，係藉由設於搬送軸且可旋轉之搬送滾子支撐基板之傾斜方向下側之面，且藉由設於驅動軸之驅動滾子支撐該基板下端。然後，藉由旋轉驅動驅動滾子，可利用產生於該驅動滾子與基板下端之間的摩擦力賦予基板驅動力，而可沿搬送滾子搬送該基板。

在以洗淨刷洗淨以預定傾斜角度搬送之基板時，一對洗淨刷係軸線沿上下方向平行且以預定間隔配置。而且，藉由旋轉驅動一對洗淨刷，再使前述基板通過一對洗淨刷之間，即可以洗淨刷擦洗該基板其中一板面及另一板面。

一對洗淨刷之間隔可加以調整。藉此，可設定洗淨刷對基板板面的接觸強度，即洗淨刷之基板洗淨程度。

以往，係將刷軸之上端及下端分別可旋轉地支撐於滑件，以調整一對洗淨刷之間隔。滑件係設置成可沿形成於引導體之引導溝滑動，且前述滑件上螺接有螺絲。因此，藉由使前述螺絲旋轉，使前述滑件沿前述導溝滑動，即可調整一對洗淨刷之間隔，也就是對基板板面的壓接狀態。

發明揭示

根據前述習知構造，為調整一對洗淨刷之間隔，必須分別使螺接於設於各洗淨刷之刷軸上端及下端之滑件的螺絲旋轉來定位滑件。即，必須個別定位調整洗淨刷之軸方向上端及下端。

所以，由於前述洗淨刷之定位調整需費極大工夫，且需個別調整各洗淨刷之刷軸上部及下部，故不易精度良好地進行定位調整，以使上部與下部之間隔，即，對基板板面的壓接狀態一致。

本發明可提供一種基板處理裝置，係可在洗淨刷之軸方向上部及下部其中一者同時進行上部及下部兩者之洗淨刷之間隔調整，也就是對基板板面的壓接狀態。

本發明係一種基板處理裝置，係可以預定傾斜角度搬送基板並同時進行洗淨處理者，包含有：處理槽；搬送機構，係可以預定傾斜角度搬送供應至該處理槽內之基板者；及刷單元，係可對搬送通過前述處理槽內之基板的板面進行洗淨處理者，且前述刷單元包含有：安裝軸，係使軸線沿上下方向地設於前述處理槽內，且可旋轉者；第1臂，係連接固定於該安裝軸上部與下部之其中一端部者； 第2臂，係連接固定於該安裝軸之另一端部者；洗淨刷，係設置成軸線與前述安裝軸平行，且軸方向其中一端部係支撐於前述第1臂並可旋轉，而軸方向另一端部係支撐於前述第2臂並可旋轉者；及驅動機構，係連接於前述第2臂，且藉由使該第2臂搖動，可透過前述安裝軸使前述第1臂連動，以調整前述洗淨刷對前述基板板面之壓接力者。

根據本發明，只要使第2臂搖動，第1臂就會透過安裝軸連動於該搖動，洗淨刷就會連動於該第1臂之搖動，而可同時調整其軸方向其中一端部和另一端部之對基板板面的壓接狀態。

實施發明之最佳形態

以下參照圖式說明本發明之一實施形態。

第1圖係顯示處理裝置之內部構造的正面圖，第2圖和第3圖係不同部分之側截面圖。處理裝置具有在第1圖至第3圖以鏈線所示之處理槽1。如第2圖和第3圖所示，該處理槽1之截面形狀係呈幾乎矩形，且係配置成以相對於垂直線之預定角度，如75度的角度傾斜。

前述處理槽1在處理槽1之長邊方向以預定間隔設有複數如後述支撐上部和下部之搬送軸4。各搬送軸4在軸方向以預定間隔設有複數搬送滾子5。又，各搬送軸4和處理槽1一樣，係設成使軸線以75度的角度傾斜。

前述處理槽1內設有作為處理部之後述一對刷洗部7和乾燥處理部8。在第1圖以鏈線所示之基板W係於處理槽1內往箭頭X所示之方向搬送，然後在前述刷洗部7供應洗淨液並同時刷洗於處理槽1內搬送之基板W，接著在前述乾燥處理部8對附著殘留於基板W之洗淨液進行乾燥處理。前述乾燥處理部8係由一對具有狹縫狀噴射孔之氣刀9(只圖示1個)構成，且該氣刀9係可對搬送之基板W其中一板面和另一板面噴射氣體者。

搬送至前述處理槽1內之基板W之傾斜方向下側的板面係由設於前述搬送軸4之搬送滾子5支撐，而下端則由驅動滾子11支撐。如第2圖所示，該驅動滾子11係安裝固定於驅動軸12前端部，而驅動軸12之底端部係藉由圖未示之軸承可旋轉地支撐於安裝於處理槽1前面之筒狀支撐體13。

前述支撐體13係藉由中空狀之密封構件14密封。藉此，可防止洗淨液經由驅動軸12漏出至外部。又，支撐體13係安裝於設於處理槽1前面下部之前面支撐板15。

前述驅動軸12之底端部係由前述支撐體13突出至外部，且其突出端係嵌接於第1傳動齒輪16，且該第1傳動齒輪16卡合有第2傳動齒輪17。該第2傳動齒輪17一體地設有從動帶輪18，且其係可旋轉地安裝於設於前述前面支撐板15之托架19。

前述前面支撐板15設有內建減速機之驅動機構21，可進行上下方向之定位調整。由該驅動機構21旋轉驅動之主動帶輪23和前述從動帶輪18張設有正時皮帶24。

因此，前述驅動機構21一作動，驅動滾子11就會和前述驅動軸12同時旋轉驅動，故下端抵接該驅動滾子11之基板W即可藉由與驅動滾子11的摩擦力被設於前述搬送軸4之搬送滾子5引導搬送。

前述搬送軸4之下端部係可旋轉地支撐於設於前述處理槽1之下壁部1a上面之下部軸承體26，而上端部則係可旋轉地支撐於設於前述處理槽1之上壁部1b內面之上部軸承體27。

如第3圖所示，前述刷洗部7係由一對洗淨刷31構成，且該洗淨刷31配置成可挾持由前述驅動滾子11搬送之前述基板W其中一板面和另一板面的狀態者。各洗淨刷31設有刷軸32、及在該刷軸32外周面安裝刷毛形成之刷部33。

前述刷軸32上下端部分別連接於支軸35，且可藉由接頭34分解。設於刷軸32上下端部之各支軸35係液密地貫通於處理槽1之上壁部1b和下壁部1a。

如第1圖所示，在一對刷洗部7之洗淨刷31側方，管部36上端和下端分別液密地連接於前述處理槽1之上壁部1b和下壁部1a。前述管部36插通有軸線與前述洗淨刷軸線平行且可旋轉之安裝軸37。由前述管部36突出之安裝軸37之上端部和下端部係分別可旋轉地支撐於設於支撐構件38之圖未示的軸承。

前述安裝軸37上端部係安裝固定於作為第1臂之上部臂41其中一端部，而下端部係安裝固定於作為第2臂之下部臂42其中一端部。在前述上部臂41另一端部和前述下部臂42中間部藉由圖未示之軸承支撐有分別連接於前述洗淨刷31兩端的支軸35。又，上下一對軸承其中一者使用有自動對位軸承。藉此，可確實地使上下一對支軸35的位置一致。

又，支撐於上部臂41另一端部之支軸35和支撐於下部臂42中間部之支軸35的軸芯係設定成離安裝軸37軸芯的距離相等的距離。

支撐於下部臂42之支軸35連接有將減速機構一體化之驅動源44。藉此，一對洗淨刷31即可透過支軸35藉由前述驅動源44旋轉驅動。

如第4圖和第5圖所示，前述下部臂42另一端部形成有由長孔構成之卡合孔45。一對下部臂42之卡合孔45分別卡合有作為作動體且可移動之凸輪從動件46。如第5圖所示，各凸輪從動件46係可旋轉地安裝於方塊狀可動構件47，而各可動構件47螺接有螺軸48。螺軸48其中一端部和另一端部係可旋轉地支撐於固定於前述處理槽1之支撐片49。

其中一可動構件47和螺軸48係設於下部臂42下面側，而另一可動構件47和螺軸48則設於下部臂42上面側。而且，一對螺軸48其中一端部係導出於前述處理槽1前面側之下部，而其另一端部則分別安裝有把手51。前述凸輪從動件46、可動構件47、螺軸48及把手51可構成驅動機構50。

因此，只要藉由前述把手51使前述螺軸48旋轉，可動構件47就會隨著該旋轉驅動至與下部臂42之長邊方向垂直的方向，各一對下部臂42即可藉由該可動構件47以前述安裝軸37為支點使該安裝軸37旋轉，且另一端可搖動至第4圖以箭頭所示之方向。

下部臂42一搖動，安裝軸37就會藉由該搖動旋轉。安裝軸37一旋轉，就會連動安裝於該安裝軸37上端之上部臂41搖動。下部臂42和上部臂41一搖動，就會連動在分別支撐有刷軸32上部和下部之上部臂41另一端部和下部臂42中間部的洗淨刷31。

也就是說，只要將連接於相對之一對洗淨刷31下部之一對下部臂42另一端部搖動至以第4圖之箭頭A所示之接近方向，一對洗淨刷31就會驅動至接近方向。相反地，只要將一對下部臂42另一端部搖動至以第4圖之箭頭B所示之背離方向，一對洗淨刷31就會驅動至背離方向。因此，可依下部臂42之搖動方向調整一對洗淨刷31的間隔。

此外，一對洗淨刷31係藉由驅動機構50分別驅動至接近背離方向，且其中一洗淨刷31、前述驅動機構50、安裝軸37、上部臂41及下部臂42可構成第1刷單元，而另一洗淨刷31、前述驅動機構50、安裝軸37、上部臂41及下部臂42可構成第2刷單元。根據此種結構之處理裝置，對以預定傾斜角度搬送之基板W其中一板面和另一板面進行洗淨處理之刷洗部7即可依基板W之污染程度或厚度等各種條件調整一對洗淨刷31的間隔。

在調整一對洗淨刷31的間隔時，係藉由設於處理槽1的前面側之各驅動機構50的把手51使螺軸48旋轉。只要使螺軸48旋轉，凸輪從動件46就會藉由該旋轉和可動構件47一起沿螺軸48驅動。

當凸輪從動件46驅動時，該凸輪從動件46係以安裝軸37為支點使下部臂42旋轉，並沿下部臂42之卡合孔45移動。當下部臂42旋轉時，安裝軸37也會跟著旋轉，而當前述安裝軸37旋轉時，就會連動設於該安裝軸37上部之上部臂41搖動。

如此，當下部臂42連動上部臂41搖動時，下部臂42中間部支撐有刷軸32下部，而上部臂41中間部支撐有刷軸32上部，且上部臂41另一端部支撐有前述刷軸32上部的洗淨刷31會連動於前述搖動而位移。即，藉由把手51之旋轉操作，可使洗淨刷31之下部和上部同時位移。

因此，藉由驅動機構50分別使相對之一對洗淨刷31位移至接近方向或背離方向，即可調整該等一對洗淨刷31的間隔。即，在調整一對洗淨刷31的間隔時，因可同時調整該洗淨刷31下部和上部的間隔，故與個別進行之習知技術相比，可輕易地進行該調整作業。

而且，因洗淨刷31下部和上部搖動的半徑係以安裝軸37的軸芯為支點預先設定成相同尺寸，故可使洗淨刷31下部和上部以相同之搖動半徑搖動。藉此，可無損該等刷軸32之軸線平行度且高精度地調整一對洗淨刷31的間隔。

而且，因一對洗淨刷31的間隔調整只要分別旋轉操作驅動機構50之把手51即可進行，故可輕易地進行該調整作業。

在前述一實施形態中，雖係藉由驅動機構使第2臂之下部臂搖動，再透過安裝軸使第1臂之上部臂連動於該搖動，但亦可藉由驅動機構使第1臂搖動，再透過安裝軸使第2臂連動於該搖動。此時，第1臂係使用和前述一實施形態所示之下部臂相同者，而第2臂係使用和上部臂相同者。

另外，雖係驅動支撐該基板下端之驅動滾子以搬送基板，但亦可和驅動滾子一起旋轉驅動支撐基板傾斜方向下面之搬送滾子來搬送基板。

此外，作為使下部臂搖動之驅動機構雖係藉由在下部臂形成卡合孔，並使凸輪從動件卡合於該卡合孔中，再使該凸輪從動件連動於由螺軸驅動之可動構件，而可使前述下部臂搖動，但驅動機構的結構並不限於此，例如，亦可藉由將連桿其中一端連接於可動構件，再將該連桿另一端連接於前述下部臂，使前述下部臂依可動構件的動作透過連桿搖動。

又，在前述一實施形態中，雖係將安裝軸連接於下部臂其中一端部，而將洗淨刷透過支軸連接於中間部，但亦可將安裝軸連接於前述下部臂之中間部，而將洗淨刷連接於另一端部。此時，可將卡合凸輪從動件之卡合孔形成於下部臂其中一端部。

而且，亦可將下部臂和上部臂形成為幾乎相同的長度，且將安裝軸連接於其一端部，而將洗淨刷安裝於另一端部，並將連桿連接於該另一端部，然後透過該連桿使下部臂以安裝軸為支點搖動。

1．．．處理槽

1a．．．下部壁

1b．．．上部壁

4．．．搬送軸

5．．．搬送滾子

7．．．刷洗部

8．．．乾燥處理部

9．．．氣刀

11．．．驅動滾子

12．．．驅動軸

13．．．支撐體

14．．．密封構件

15．．．前面支撐板

16．．．第1傳動齒輪

17．．．第2傳動齒輪

18．．．從動帶輪

19．．．托架

21．．．驅動機構

23．．．主動帶輪

24．．．正時皮帶

26．．．下部軸承體

27．．．上部軸承體

31．．．洗淨刷

32．．．刷軸

33．．．刷部

34．．．接頭

35．．．支軸

36．．．管部

37．．．安裝軸

38．．．支撐構件

41．．．上部臂

42．．．下部臂

44．．．驅動源

45．．．卡合孔

46．．．凸輪從動件

47．．．可動構件

48．．．螺軸

49．．．支撐片

50．．．驅動機構

51．．．把手

A．．．接近方向

B．．．背離方向

W．．．基板

X．．．搬送方向

第1圖係顯示處理裝置之內部構造的正面圖。

第2圖係前述處理裝置之設置搬送軸部分的側截面圖。

第3圖係前述處理裝置之設置洗淨刷部分的側截面圖。

第4圖係顯示調整一對洗淨刷間隔之2個成對之2組下部臂的平面圖。

第5圖係顯示可驅動一對下部臂之驅動機構的說明圖。

1．．．處理槽

4．．．搬送軸

5．．．搬送滾子

7．．．刷洗部

8．．．乾燥處理部

9．．．氣刀

11．．．驅動滾子

26．．．下部軸承體

27．．．上部軸承體

31．．．洗淨刷

32．．．刷軸

33．．．刷部

34．．．接頭

35．．．支軸

36．．．管部

37．．．安裝軸

38．．．支撐構件

41．．．上部臂

42．．．下部臂

44．．．驅動源

W．．．基板

X．．．搬送方向

Claims (3)

1. 一種基板處理裝置，係可以預定傾斜角度搬送基板並同時進行洗淨處理者，其特徵在於包含有：處理槽；搬送機構，係可以預定傾斜角度搬送已供應至該處理槽內之基板者；及刷單元，係可對搬送通過前述處理槽內之基板的板面進行洗淨處理者，且前述刷單元由以下構成：安裝軸，係使軸線沿上下方向地設於前述處理槽內，且可旋轉者；第1臂，係連接固定於該安裝軸上部與下部之其中一端部者；第2臂，係一端連接固定於該安裝軸之另一端部者；洗淨刷，係設置成軸線與前述安裝軸平行，且軸方向其中一端部係支撐於前述第1臂並可旋轉，而軸方向另一端部係支撐於前述第2臂並可旋轉者；及驅動機構，係藉由使該第2臂搖動，可透過前述安裝軸使前述第1臂連動，以調整前述洗淨刷對前述基板板面之壓接力者，前述驅動機構係以下構成，即，具有可藉由把手旋轉之螺軸、可藉由該螺軸之旋轉而驅動之可動構件、及設於該可動構件而與形成於前述第2臂之另一端之卡合孔卡合的作動體，且使前述螺軸旋轉來驅動可動構件， 並透過前述作動體來使前述第2臂搖動，藉此透過前述安裝軸使前述第1臂與前述第2臂之搖動連動。
2. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，包含有：第1刷單元，係具有可洗淨前述基板其中一板面之第1洗淨刷者；及第2刷單元，係具有可洗淨前述基板另一板面之第2洗淨刷者。
3. 如申請專利範圍第1項之基板處理裝置，其中從前述安裝軸之旋轉中心到一端部安裝於前述第1臂之洗淨刷之軸芯的距離，與從前述安裝軸之旋轉中心到安裝於前述第2臂之洗淨刷之軸芯的距離係設定為相同。