KR100829923B1 - 스핀헤드 및 이를 이용하는 기판처리방법 - Google Patents

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Abstract

스핀헤드는 회전가능한 플레이트와, 플레이트 상에 로딩된 기판의 측부를 지지하는 제1 척킹핀들 및 제2 척킹핀들, 그리고 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 선택적으로 구동하는 구동유닛을 포함한다. 구동유닛은 제1 척킹핀에 연결되며 제1 높이에 위치하는 제1 자성체와, 제2 척킹핀에 연결되며 제2 높이에 위치하는 제2 자성체, 그리고 제1 자성체와 제2 자성체를 구동하는 구동자성체를 포함한다. 구동자성체는 승강부재에 의하여 승강되어 제1 자성체 또는 제2 자성체에 선택적으로 자력을 인가하며, 자력에 의하여 제1 척킹핀 또는 제2 척킹핀이 플레이트의 반경 외측방향으로 이동한다.
척킹핀, 자성체, 승강부재

Description

스핀헤드 및 이를 이용하는 기판처리방법{Spin head and method using the same for treating substrate}
도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
도 2는 본 발명에 따른 구동유닛을 나타내는 평면도이다.
도 3은 본 발명에 따른 제1 종동부를 나타내는 도면이다.
도 4는 본 발명에 따른 구동자성체 및 승강부재를 나타내는 도면이다.
도 5a 내지 도 8b는 본 발명에 따른 구동유닛을 이용하여 제1 내지 제3 척킹핀을 구동하는 상태를 나타내는 도면이다.
도 9는 본 발명에 따른 기판을 처리하는 방법을 나타내는 흐름도이다.
도 10은 본 발명에 따른 안전유닛의 작동상태를 나타내는 도면이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
1 : 기판처리장치 10 : 지지플레이트
12 : 회전축 20, 30, 40 : 척킹핀
100 : 용기 00, 300, 400 : 종동부
220, 320, 420 : 종동체 240, 340, 440 : 종동로드
260 : 제1 부쉬 280 : 제1 고정체
282 : 제1 탄성체 500 : 구동자성체
600 : 승강부재 700 : 안전유닛
720 : 회전바 740 : 안전추
760 : 힌지 780 : 이동힌지
본 발명은 스핀헤드 및 이를 이용하는 기판처리방법에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 공정시 척킹핀에 의하여 지지되는 기판의 접촉부분에 잔류하는 약액을 제거할 수 있는 스핀헤드 및 이를 이용하는 기판처리방법에 관한 것이다.
반도체 제조공정은 다양한 공정들을 통하여 반도체 기판(semiconductor substrate), 유리기판(glass substrate) 또는 액정패널(liquid crystal panel) 등과 같은 기판(substrate) 상에 원하는 패턴을 형성한다. 현재, 에칭공정, 세정공정에서는 웨이퍼를 회전(스피닝; spinning)시켜서 웨이퍼 상의 잔유물 또는 박막 등을 제거하는 공정이 수행된다. 이때, 스피닝 동작(spinning operation)은 웨이퍼와 같은 기판을 수천 RPM까지 회전시키면서 순수(deionized water) 또는 식각액 또는 세정액을 공급하면서 진행된다. 물론, 이와 같은 기판을 스피닝하면서 수행되는 공정은 세정공정 뿐만 아니라 포토레지스 공정 등 다른 종류의 반도체 제조 공정에서도 다양하게 사용되고 있다.
일반적으로, 스핀헤드는 웨이퍼의 뒷면을 진공으로 흡착시켜서 고정하는 방법과 지지부재를 사용하여 웨이퍼의 측면으로부터 웨이퍼의 가장자리(edge)를 기계 적으로 고정하는 방법이 주로 사용된다.
지지부재를 사용하여 웨이퍼의 측면으로부터 웨이퍼의 측부를 기계적으로 고정하는 방법은 지지부재가 한번 웨이퍼를 지지하면 공정이 끝날 때까지 계속적으로 동일한 위치에서 동일한 부분과 접촉하면서 지지하게 된다. 이때, 약액이 지지부재와 웨이퍼 사이의 접촉면 및 그 부근에 일부가 잔류하여 그 공정 후에도 남아있게 된다. 이렇게 잔류한 약액은 경화되거나 찌꺼기 형태로 남아 있게 되고, 다음 공정시 웨이퍼를 오염시키거나 또는 주변 장치를 오염시키는 오염원이 된다.
본 발명의 목적은 공정시 척킹핀에 의하여 지지되는 웨이퍼의 접촉면에 잔류하는 약액을 제거할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 다른 목적은 웨이퍼의 전면을 균일하게 처리할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 또 다른 목적은 척킹핀에 의하여 지지되는 웨이퍼의 접촉면에서 발생하는 공정불량을 최소화할 수 있는 기판처리장치 및 기판처리방법을 제공하는 데 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 스핀헤드는 회전가능한 지지 플레이트와, 상기 지지 플레이트의 상부면에 설치되며, 상기 지지 플레이트 상에 로딩된 상기 기판이 회전으로 인하여 상기 지지 플레이트로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 측부를 지지하는 제1 척킹핀들 및 제2 척킹핀들과, 상기 제1 및 제2 척킹핀들이 상기 기판의 측부와 비접촉하도록 자력에 의하여 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 선택적으로 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동시키는 구동유닛을 포함한다.
상기 구동유닛은 상기 제1 척킹핀에 연결되며 상기 자력에 의하여 상기 제1 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제1 자성체를 구비하는 제1 종동부들과, 상기 제2 척킹핀에 연결되며 상기 자력에 의하여 상기 제2 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제2 자성체를 구비하는 제2 종동부들과, 상기 제1 및 제2 종동부들의 내측에 배치되는 구동자성체와, 제1 높이에 위치하는 상기 제1 자성체와 상기 제1 높이와 다른 제2 높이에 위치하는 상기 제2 자성체에 선택적으로 자력을 인가하기 위하여 상기 구동자성체를 승강시키는 승강부재를 포함할 수 있다.
상기 구동자성체와 대향되는 상기 제1 및 제2 자성체의 일측과, 상기 제1 및 제2 자성체와 대향되는 상기 구동자성체의 일측은 동일한 극성을 띨 수 있다.
상기 스핀헤드는 상기 지지 플레이트의 상부면에 설치되며 상기 기판의 측부를 지지하는 제3 척킹핀들을 더 포함하며, 상기 구동유닛은 상기 제3 척킹핀에 연결되며 상기 자력에 의하여 상기 제3 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제3 자성체를 구비하는 제3 종동부들을 더 포함하되, 상기 제3 자성체는 상기 제1 및 제2 높이와 다른 제3 높이에 위치할 수 있다.
상기 제1 종동부는 상기 제1 및 제2 높이와 다른 제3 높이에 위치하는 제1 보조자성체를 더 포함하고, 상기 제2 종동부는 상기 제3 높이에 위치하는 제2 보조 자성체를 더 포함하며, 상기 구동자성체는 상기 제1 및 제2 보조자성체에 자력을 인가하여 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 동시에 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 구동유닛은 상기 제1 척킹핀에 연결되며 상기 제1 척킹핀에 대하여 상기 지지 플레이트의 반경 내측방향을 향하는 탄성력을 제공하는 제1 탄성체와, 상기 제2 척킹핀에 연결되며 상기 제2 척킹핀에 대하여 상기 지지 플레이트의 반경 내측방향을 향하는 탄성력을 제공하는 제2 탄성체를 더 포함하며, 상기 구동자성체는 상기 제1 및 제2 척킹핀을 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동시킬 수 있다.
상기 제1 종동부는 상기 제1 자성체를 수납하는 제1 하우징과, 상기 제1 척킹핀으로부터 상기 지지 플레이트의 반경방향으로 연장되며 상기 제1 척킹핀과 상기 제1 하우징을 연결하는 제1 종동로드와, 상기 지지 플레이트의 하부면에 고정되며 상기 제1 종동로드의 이동방향을 안내하는 제1 가이드홀이 형성된 제1 부쉬와, 일단이 상기 제1 부쉬에 연결되며 상기 제1 종동로드에 대하여 상기 지지 플레이트의 외측 반경방향을 향하는 탄성력을 제공하는 제1 탄성체와, 상기 제1 탄성체의 타단에 연결되며 상기 제1 종동로드 상에 고정되는 제1 고정체를 포함할 수 있다.
상기 스핀헤드는 상기 기판의 측부와 접촉된 상기 제1 또는 제2 척킹핀이 상기 지지 플레이트의 회전에 따른 원심력으로 인하여 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동하는 것을 방지하는 안전유닛을 더 포함할 수 있다.
상기 안전유닛은 상기 제1 척킹핀에 연결된 제1 종동로드 상에 일단이 연결 되며, 회전가능한 제1 회전바와, 상기 제1 회전바의 타단에 연결되는 제1 안전추와, 상기 제1 회전바의 중앙을 고정하여 상기 제1 회전바의 중앙이 상기 지지 플레이트의 반경방향으로 이동하는 것을 방지하는 제1 힌지와, 상기 제2 척킹핀에 연결된 제2 종동로드 상에 일단이 연결되며 회전가능한 제2 회전바와, 상기 제2 회전바의 타단에 연결되는 제2 안전추와, 상기 제2 회전바의 중앙을 고정하여 상기 제2 회전바의 중앙이 상기 지지 플레이트의 반경방향으로 이동하는 것을 방지하는 제2 힌지를 포함하되, 상기 지지 플레이트의 회전에 따른 원심력으로 인하여 상기 제1 및 제2 회전바는 상기 제1 및 제2 힌지를 중심으로 각각 회전하며, 상기 제1 및 제2 회전바의 일단은 상기 지지 플레이트의 반경 내측방향으로 이동하고, 상기 제1 및 제2 회전바의 타단은 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동할 수 있다.
본 발명의 다른 실시예에 의하면, 스핀헤드는 회전가능한 플레이트와, 상기 지지 플레이트의 상부면에 설치되며 상기 지지 플레이트 상에 로딩된 상기 기판이 회전으로 인하여 상기 지지 플레이트로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 측부를 지지하는 제1 척킹핀들 및 제2 척킹핀들, 그리고 제3 척킹핀들과, 상기 제1 내지 제3 척킹핀들이 상기 기판의 측부와 접촉/비접촉하도록 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동시키는 구동유닛을 포함하되, 상기 구동유닛은 자력에 의하여 상기 제1 내지 제3 척킹핀 중 어느 하나를 상기 기판의 측부와 비접촉시킨다.
본 발명에 의하면, 기판을 처리하는 방법은 지지 플레이트의 상부에 로딩된 기판의 측부를 지지하는 제1 및 제2 척킹핀들과 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 상기 지지 플레이트의 반경방향으로 이동시키는 구동유닛을 구비하는 스핀헤드를 제공하고, 상기 스핀헤드 상에 로딩된 상기 기판으로 처리액을 공급하여 공정을 진행하되, 상기 구동유닛의 구동자성체를 승강하여 상기 제1 척킹핀들에 각각 연결된 제1 자성체들에 자력을 인가하고 상기 제1 척킹핀들은 상기 자력에 의하여 상기 기판의 측부로부터 이격되는 제1 단계와, 상기 구동자성체를 승강하여 상기 제2 척킹핀들에 각각 연결된 제2 자성체에 자력을 인가하고, 상기 제2 척킹핀들은 상기 자력에 의하여 상기 기판의 측부로부터 이격되는 제2 단계를 포함하고, 상기 제1 자성체는 제1 높이에 위치하고, 상기 제2 자성체는 상기 제1 높이와 다른 제2 높이에 위치하며, 상기 구동자성체의 승강을 통하여 상기 제1 단계와 상기 제2 단계를 교대로 반복한다.
상기 방법은 상기 제1 척킹핀들에 각각 연결된 제1 보조자성체들과 상기 제2 척킹핀들에 각각 연결된 제2 보조자성체들에 자력을 인가하여 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 동시에 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동시킨 상태에서 상기 지지 플레이트의 상부에 상기 기판을 로딩/언로딩하는 단계를 더 포함할 수 있다.
상기 구동자성체와 대향되는 상기 제1 및 제2 보조자성체의 일측과, 상기 제1 및 제2 보조자성체와 대향되는 상기 구동자성체의 일측은 동일한 극성을 띨 수 있다.
상기 스핀헤드는 상기 기판의 측부를 지지하는 제3 척킹핀들을 더 포함하며, 상기 방법은 상기 구동자성체를 승강하여 상기 제3 척킹핀들에 각각 연결된 제3 자성체들에 자력을 인가하고, 상기 제3 척킹핀들은 상기 자력에 의하여 상기 기판의 측부로부터 이격되는 제3 단계를 더 포함하되, 상기 제3 자성체는 상기 제1 및 제2 높이와 다른 제3 높이에 위치하며, 상기 구동자성체의 승강을 통하여 상기 제1 내지 제3 단계를 순차적으로 반복할 수 있다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도 1 내지 도 10을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시예에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당해 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.
이하에서는 기판의 일례로 웨이퍼(W)를 들어 설명하나, 본 발명은 이에 한정되지 않는다.
도 1은 본 발명에 따른 기판처리장치(1)를 개략적으로 나타내는 사시도이다.
기판처리장치(1)는 플레이트(10)와, 플레이트(10)를 감싸는 용기(100)와, 플레이트(10)의 상부면에 설치된 제1 척킹핀(20)들 및 제2 척킹핀(30)들, 그리고 제3 척킹핀(40)들을 포함한다.
플레이트(10)는 웨이퍼(W)에 대응되는 원판 형상을 가지며, 공정시 웨이퍼(W)의 하부에 웨이퍼(W)와 나란하게 배치된다. 플레이트(10)의 상부에는 복수의 관통홀(11)들이 형성되며, 척킹핀들(20, 30, 40)은 각각의 관통홀(11)에 설치된다.
플레이트(10)의 하부에는 플레이트(10)를 회전시키는 회전축(12)이 연결되며, 회전축(12)은 구동모터(도시안됨) 및 구동풀리(도시안됨)와 회전축(12)을 연결하는 벨트(16)에 의하여 회전된다. 이는 공정시 웨이퍼(W)를 회전시키기 위한 것으로, 벨트(16)에 의하여 회전축(12)이 회전하면, 회전축(12)에 연결되어 있는 플레이트(10)가 함께 회전하며, 플레이트(10) 상에 로딩된 웨이퍼(W)도 함께 회전한다.
용기(100)는 플레이트(10)를 감싸도록 설치되어, 플레이트(10)의 회전시 웨이퍼(W)의 상부면에 잔류하는 약액 등이 외부로 비산하는 것을 방지한다. 용기(100)의 상부에는 개구가 형성되며, 개구를 통하여 웨이퍼(W)는 플레이트(10) 상에 로딩되거나 플레이트(10)로부터 언로딩된다.
상술한 바와 같이, 척킹핀(20, 30, 40)들은 플레이트(10)에 형성된 관통홀(11)에 각각 설치되며, 플레이트(10) 상에 로딩된 웨이퍼(W)를 함께 지지한다. 본 실시예에서는 여섯 개의 관통홀(11)들이 제공되며, 두 개의 관통홀(11)들에 각각 대응되는 두 개의 제1 척킹핀(20)들 및 두 개의 관통홀(11)들에 각각 대응되는 두 개의 제2 척킹핀(30)들, 그리고 두 개의 관통홀(11)들에 각각 대응되는 두 개의 제3 척킹핀(40)들이 제공된다. 또한, 척킹핀(20, 30, 40)들은 각각의 관통홀(11) 내에서 플레이트(10)의 반경방향으로 이동가능하다.
한편, 웨이퍼(W)는 공정진행시 척킹핀들(20, 30, 40)에 의하여 안전하게 지지되어야 한다. 따라서, 본 실시예에서는 척킹핀들(20, 30, 40)이 등각을 이루도록 배치하였으며, 이와 달리 배치될 수도 있다.
도 3에 도시한 바와 같이, 플레이트(10)의 상부면에는 지지핀(40)이 설치된다. 지지핀(40)은 플레이트(10)의 상부에 로딩된 웨이퍼(W)의 저면을 지지한다.
도 2는 본 발명에 따른 구동유닛을 나타내는 평면도이며, 도 3은 본 발명에 따른 제1 종동부(200)를 나타내는 도면이다. 도 4는 본 발명에 따른 구동자성체(500) 및 승강부재(600)를 나타내는 도면이다.
구동유닛은 제1 척킹핀(20)에 연결된 제1 종동부(200), 제2 척킹핀(30)에 연결된 제2 종동부(300), 제3 척킹핀(40)에 연결된 제3 종동부(400), 그리고 제1 내지 제3 종동부(200, 300, 400)를 구동하는 구동자성체(500)를 포함한다. 구동유닛은 제1 내지 제3 종동부(200, 300, 400)를 통하여 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40)을 지지 플레이트(10)의 반경방향으로 직선왕복운동시킨다.
제1 종동부(200)는 구동자성체(500)에 대향되도록 배치된 제1 종동체(220)와, 제1 척킹핀(20)과 제1 종동체(220)를 연결하는 제1 종동로드(240)를 구비한다. 마찬가지로, 제2 종동부(300)는 제2 종동체(320)와 제2 종동로드(340)를 구비하며, 제3 종동부(400)는 제3 종동체(420)와 제3 종동로드(440)를 구비한다.
도 2에 도시한 바와 같이, 제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420)의 내측에는 원판 형상의 구동자성체(500)가 배치되며, 구동자성체(500)는 승강부재(600)에 의하여 승강된다. 구동자성체(500)는 승강에 의하여 제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420) 중 어느 하나에 자력을 인가하며, 자력이 인가된 제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420) 중 어느 하나는 자력에 의하여 지지 플레이트(10)의 반경 방향으로 이동 한다. 이때, 자력이 인가된 종동체에 연결된 척킹핀도 함께 이동한다. 이에 대한 상세한 설명은 후술하기로 한다.
승강부재(600)는 도 4에 도시한 바와 같이, 구동자성체(500)의 하부에 연결된 지지축(620)과, 지지축(620)을 승강하는 구동기(640)를 구비한다. 구동기(640)에 의하여 구동자성체(500)는 지지축(620)과 함께 승강한다.
도 3에 도시한 바와 같이, 제1 종동체(220)는 제1 하우징(222)과 제1 자성체(224) 및 제1 보조자성체(226)를 구비한다. 제1 하우징(222)은 제1 자성체(224) 및 제1 보조자성체(226)를 수납하는 공간을 제공하며, 제1 자성체(224)는 최상단에 배치되고, 제1 보조자성체(226)는 최하단에 배치된다.
구동자성체(500)와 대향되는 제1 자성체(224) 및 제1 보조자성체(226)의 일측은 제1 자성체(224) 및 제1 보조자성체(226)와 대향되는 구동자성체(500)의 외측과 동일한 극성을 가진다. 따라서, 상술한 바와 같이 구동자성체(500)가 승강에 의하여 제1 자성체(224) 또는 제1 보조자성체(226)에 자력을 인가하면, 구동자성체(500)와 제1 자성체(224) 또는 구동자성체(500)와 제1 보조자성체(226) 사이에는 척력이 작용하며, 척력은 제1 종동체(220) 및 제1 척킹핀(20)을 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동시킨다.
제1 종동로드(240)의 일단은 제1 종동체(220)에 연결되며, 제1 종동로드(240)의 타단은 제1 척킹핀(20)의 하단에 연결된다. 따라서, 구동자성체(500)에 의하여 자력이 인가되면, 제1 종동체(220)가 지지 플레이트(10)의 반경방향으로 이동하며, 제1 종동로드(240)에 의하여 제1 종동체(220)에 연결된 제1 척킹핀(20)도 함께 이동한다.
제1 종동부(200)는 지지 플레이트(10)의 배면으로부터 연직하방(鉛直下方)으로 연장된 제1 부쉬(260)를 포함한다. 제1 부쉬(260)에는 지지 플레이트(10)의 반경방향으로 관통된 제1 가이드홀(262)이 형성되며, 제1 가이드홀(262)은 제1 종동로드(240)에 의하여 관통된다. 제1 가이드홀(262)은 제1 종동로드(240)가 지지 플레이트(10)의 반경방향으로 이동하도록 제1 종동로드(240)의 이동방향을 안내한다.
제1 종동로드(240) 상에는 제1 고정체(280)가 설치된다. 제1 고정체(280)는 제1 부쉬(260)와 제1 척킹핀(20)의 사이에 배치되며, 제1 종동로드(240)의 외주면으로부터 외측으로 돌출된 형상을 가진다.
제1 부쉬(260)와 제1 고정체(280) 사이에는 제1 탄성체(282)가 제공된다. 제1 탄성체(282)의 일단은 제1 부쉬(260)에 고정되며, 제1 탄성체(282)의 타단은 제1 고정체(280)에 고정된다. 제1 탄성체(282)는 인장스프링(extension spring)이며, 지지 플레이트(10)의 반경 내측방향으로 탄성력을 제공한다. 따라서, 제1 고정체(280)가 지지 플레이트(10)의 반경 내측방향으로 탄성력을 받으며, 외력이 가해지지 않았을 때 제1 척킹핀(20)은 웨이퍼(W)의 측부와 접촉한 상태를 유지한다.
한편, 제2 및 제3 종동부(300, 400)도 제1 종동부(200)와 동일한 구성을 가진다. 따라서, 제2 및 제3 종동부(300, 400)의 구성에 대한 상세한 설명은 제1 종동부(200)와 구별되는 구성에 국한하며, 제1 종동부(200)와 동일한 구성에 대한 상세한 설명은 생략하기로 한다.
도 5a 내지 도 8b는 본 발명에 따른 구동유닛을 이용하여 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40)을 구동하는 상태를 나타내는 도면이며, 도 9는 본 발명에 따른 기판을 처리하는 방법을 나타내는 흐름도이다. 이하, 도 5a 및 도 9를 참고하여 기판을 처리하는 방법을 살펴보기로 한다.
도 5a 및 도 5b는 본 발명에 따른 구동자성체(500)를 이용하여 제1 내지 제3 보조자성체(226, 326, 426)에 자력을 인가하는 도면이다. 먼저, 도 5a를 참고하여 제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420)의 구성에 대하여 상세히 설명하면 다음과 같다.
상술한 바와 같이, 구동유닛은 제1 종동체(220), 제2 종동체(320), 그리고 제3 종동체(420)를 가진다. 또한, 제1 종동체(220)는 최상단에 위치하는 제1 자성체(224)와 최하단에 위치하는 제1 보조자성체(226)를 구비하며, 제1 자성체(224) 및 제1 보조자성체(226)는 제1 하우징(222)에 수납된다.
제1 자성체(224) 및 제1 보조자성체(226)에 관하여 상세하게 설명하면, 도 5a에 도시한 바와 같이, 제1 자성체(224)는 제1 높이(h1)에 배치되며, 제1 보조자성체(226)는 제4 높이(h4)에 배치된다.
제2 종동체(320)도 제2 자성체(324) 및 제2 보조자성체(326)를 구비하며, 제2 자성체(324) 및 제2 보조자성체(326)는 제2 하우징(322)에 수납된다. 제2 자성체(324)는 제1 자성체(224)보다 낮은 제2 높이(h2)에 배치되며, 제2 보조자성체(326)는 제1 보조자성체(226)와 같은 제4 높이(h4)에 배치된다.
제3 종동체(420)도 제3 자성체(424) 및 제3 보조자성체(426)를 구비하며, 제3 자성체(424) 및 제3 보조자성체(426)는 제3 하우징(422)에 수납된다. 제3 자성체(424)는 제1 및 제2 자성체(224, 324)보다 낮은 제3 높이(h3)에 배치되며, 제3 보조자성체(426)는 제1 및 제2 보조자성체(226, 326)와 같은 제4 높이(h4)에 배치된다.
상술한 제1 내지 제4 높이(h1, h2, h3, h4)는 구동자성체(500)와 다른 높이에 위치하는 자성체에 자력이 인가되지 않도록 적당한 크기를 가져야 한다. 예를 들어, 구동자성체(500)가 제2 높이(h2)에 위치할 때 구동자성체(500)의 자력은 제2 높이(h2)에 위치하는 제2 자성체(324)에만 인가되어야 하며, 제1 높이(h1)에 위치하는 제1 자성체(224) 또는 제3 높이(h3)에 위치하는 제3 자성체(424)에는 자력이 인가되어서는 안된다.
한편, 웨이퍼(W)를 지지 플레이트(100) 상에 로딩하기 위해서는 지지 플레이트(100) 상에 웨이퍼(W)의 직경에 비하여 충분한 공간이 확보되어야 한다. 그러나, 상술한 바와 같이 외력이 가해지지 않았을 때 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40)은 지지 플레이트(10)의 반경 내측방향으로 탄성력을 받으므로, 지지 플레이트(100) 상에 충분한 공간을 확보하기 어렵다. 따라서, 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 외력을 가하여야 하며, 외력이 탄성력보다 크면 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40)을 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동시킬 수 있으며, 지지 플레이트(100) 상에 충분한 공간을 확보할 수 있다.
먼저, 승강부재(600)를 이용하여 구동자성체(500)를 제4 높이(h4)에 배치하여 제1 내지 제3 보조자성체(226, 326, 426)에 자력을 인가한다(S10). 구동자성체(500)를 제4 높이(h4)에 배치하면, 제4 높이(h4)에 배치된 제1 내지 제3 보조자성체(226, 326, 426)와 구동자성체(500) 사이에는 척력이 작용한다. 이때, 척력은 척력은 탄성력을 상쇄하면서 제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420)를 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동시킨다.
한편, 척력이 탄성력을 상쇄하기 위해서는 척력이 탄성력보다 커야 하며, 척력의 크기는 구동자성체(500) 및 제1 내지 제3 보조자성체(226, 326, 426)의 자력의 크기와, 구동자성체(500)와 제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420)의 거리 등에 의해서 실험적으로 선택될 수 있다.
제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420)가 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동하면, 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40)도 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동하며, 지지 플레이트(10) 상에는 웨이퍼(W)를 로딩할 수 있는 충분한 공간이 확보된다.
다음, 지지 플레이트(10) 상에 웨이퍼(W)를 로딩한다(S20). 지지 플레이트(10)의 상부에 제공된 지지핀(14)은 로딩된 웨이퍼(W)의 저면을 지지한다.
다음, 승강부재(600)를 이용하여 구동자성체(500)를 제1 높이(h1)에 배치하여 제1 자성체(224)에 자력을 인가한다(S30). 도 6a에 도시한 바와 같이, 구동자성체(500)를 제1 높이(h1)에 배치하면, 제1 높이(h1)에 배치된 제1 자성체(224)와 구동자성체(500) 사이에는 척력이 작용한다. 이때, 척력은 탄성력을 상쇄하면서 제1 종동체(220)를 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동시킨다.
한편, 구동자성체(500)는 제2 및 제3 높이(h2,h3)에 배치된 제2 및 제3 자성체(324, 424)에 대해서는 자력을 인가할 수 없다. 따라서, 제2 및 제3 척킹핀(30, 40)은 제2 및 제3 종동체(320, 420)와 함께 탄성력에 의하여 지지 플레이트(10)의 반경 내측방향으로 이동하며, 제2 및 제3 척킹핀(30, 40)은 웨이퍼(W)의 측부와 접촉하여 웨이퍼(W)를 지지한다.
다음, 승강부재(600)를 이용하여 구동자성체(500)를 제2 높이(h2)에 배치하여 제2 자성체(324)에 자력을 인가한다(S40). 도 7a에 도시한 바와 같이, 구동자성체(500)를 제2 높이(h2)에 배치하면, 제2 높이(h2)에 배치된 제2 자성체(324)와 구동자성체(500) 사이에는 척력이 작용한다. 이때, 척력은 탄성력을 상쇄하면서 제2 종동체(320)를 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동시킨다.
한편, 구동자성체(500)는 제1 및 제3 높이(h1,h3)에 배치된 제1 및 제3 자성체(224, 424)에 대해서는 자력을 인가할 수 없다. 따라서, 제1 및 제3 척킹핀(20, 40)은 제1 및 제3 종동체(220, 420)와 함께 탄성력에 의하여 지지 플레이트(10)의 반경 내측방향으로 이동하며, 제1 및 제3 척킹핀(20, 40)은 웨이퍼(W)의 측부와 접촉하여 웨이퍼(W)를 지지한다.
다음, 승강부재(600)를 이용하여 구동자성체(500)를 제3 높이(h3)에 배치하여 제3 자성체(424)에 자력을 인가한다(S50). 도 8a에 도시한 바와 같이, 구동자성체(500)를 제3 높이(h3)에 배치하면, 제3 높이(h3)에 배치된 제3 자성체(424)와 구동자성체(500) 사이에는 척력이 작용한다. 이때, 척력은 탄성력을 상쇄하면서 제3 종동체(420)를 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동시킨다.
한편, 구동자성체(500)는 제1 및 제2 높이(h1,h2)에 배치된 제1 및 제2 자성 체(224, 324)에 대해서는 자력을 인가할 수 없다. 따라서, 제1 및 제2 척킹핀(20, 30)은 제1 및 제2 종동체(220, 320)와 함께 탄성력에 의하여 지지 플레이트(10)의 반경 내측방향으로 이동하며, 제1 및 제2 척킹핀(20, 30)은 웨이퍼(W)의 측부와 접촉하여 웨이퍼(W)를 지지한다.
상술한 바에 의하면, 웨이퍼(W)의 측부를 지지하기 위하여 제공된 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40) 중 어느 하나는 웨이퍼(W)의 측부로부터 분리되고 나머지는 웨이퍼(W)의 측부와 접촉된다. 또한, 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40)은 순차적으로 웨이퍼(W)의 측부로부터 분리되며, 공정완료시까지 반복된다. 이때, 웨이퍼(W)를 회전시키면서 웨이퍼(W)의 상부에 처리액을 공급하면, 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40)과 접촉하는 부분에 약액이 잔류하는 것을 방지할 수 있다.
다음, 상술한 공정이 완료되면, 승강부재(600)를 이용하여 구동자성체(500)를 제4 높이(h4)에 배치하여 제1 내지 제3 보조자성체(226, 326, 426)에 자력을 인가한다(S60). 구동자성체(500)를 제4 높이(h4)에 배치하면, 제4 높이(h4)에 배치된 제1 내지 제3 보조자성체(226, 326, 426)와 구동자성체(500) 사이에는 척력이 작용하며, 척력은 탄성력을 상쇄하면서 제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420)를 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 이동시킨다.
제1 내지 제3 종동체(220, 320, 420)가 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향 으로 이동하면, 제1 내지 제3 척킹핀(20, 30, 40)도 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향으로 함께 이동한다. 따라서, 지지 플레이트(10) 상의 웨이퍼(W)를 쉽게 언로딩할 수 있다.
한편, 상술한 바에 의하면, 제1 내지 제3 보조자성체(226, 326, 426)를 제1 내지 제3 자성체(224, 324, 424) 보다 낮은 제4 높이(h4)에 배치하는 것으로 설명하였으나, 제1 내지 제3 보조자성체(226, 326, 426)를 제1 내지 제3 자성체(224, 324, 424)보다 높은 위치에 배치할 수 있다. 또한, 제1 내지 제3 자성체(224, 324, 424)의 높이는 서로 바뀔 수 있다.
도 10은 본 발명에 따른 안전유닛(700)의 작동상태를 나타내는 도면이다.
안전유닛(700)은 회전바(720), 안전추(740), 힌지(760), 그리고 이동힌지(780)를 포함한다. 안전유닛(700)은 지지 플레이트(10)의 회전에 의하여 웨이퍼(W)의 측부와 접촉된 제1 척킹핀(20)이 웨이퍼(W)의 측부로부터 분리되는 것을 방지한다.
공정시 지지 플레이트(10)는 회전축(12)에 의하여 회전하며, 지지 플레이트(10)의 회전에 의하여 지지 플레이트(10) 상의 웨이퍼(W)를 지지하는 제1 척킹핀(20) 및 제1 척킹핀(20)과 연결된 제1 종동로드(240)는 원심력(centrifugal force)을 받는다. 도 10에 제1 종동로드(240) 상에 가해지는 힘을 나타내었다.
제1 종동로드(240)에는 제1 탄성체(282)에 의한 탄성력(Fe)과 지지 플레이트(10)의 회전으로 인한 원심력(Fc)이 작용한다. 탄성력(Fe)과 원심력(Fc)은 서로 반대방향이며, 탄성력(Fe)이 원심력(Fc)보다 크면 원심력(Fc)이 탄성력(Fe)에 의하여 상쇄되므로, 제1 척킹핀(20)이 웨이퍼(W)로부터 분리되지 않는다. 그러나, 원심력(Fc)이 탄성력(Fe)보다 크면 원심력(Fc)이 탄성력(Fe)에 의하여 상쇄되지 않으므로, 제1 척킹핀(20)이 웨이퍼(W)로부터 분리된다. 특히, 원심력(Fc)은 회전속도(revolution per minute:RPM)에 비례하므로 지지 플레이트(10)가 고속으로 회전하면 원심력(Fc)은 더욱 커지며, 이로 인하여 제1 척킹핀(20)이 웨이퍼(W)로부터 분리될 수 있다.
제1 가이드홀(262) 내에 위치하는 제1 종동로드(240) 부분에는 제1 종동로드(240)로부터 연직하방(鉛直下方)으로 돌출된 제1 돌출부(242)가 제공되며, 회전바(720)의 일단은 제1 돌출부(242)에 연결되며, 이동힌지(780)에 의하여 회전가능하도록 연결된다.
회전바(720)의 타단에는 안전추(740)가 제공되며, 안전추(740)는 원심력에 의하여 제1 척킹핀(20)이 웨이퍼(W)의 측부로부터 분리되는 것을 방지할 수 있는 질량을 가진다.
회전바(720)의 중앙부분은 제1 부쉬(260)의 제1 가이드홀(262) 아랫부분에 연결되며, 힌지(760)에 의하여 회전가능하도록 연결된다. 한편, 힌지(760)는 제1 부쉬(260)에 형성된 제1 가이드홈(264)을 따라 상하로 이동가능하며, 제1 종동로드(240)는 지지 플레이트(10)의 반경방향으로 자유롭게 이동할 수 있다.
도 10을 참고하여 안전유닛(700)의 작동을 설명하면 다음과 같다.
도 10에 도시한 바와 같이, 지지 플레이트(10)가 회전하면 안전추(740)에 원심력(F1)이 작용한다. 원심력(F1)은 지지 플레이트(10)의 반경 외측방향이다. 원심력(F1)은 힌지(760)를 중심으로 토크(T)를 발생시키며, 토크(T)에 의하여 회전바(720)는 반시계방향(counterclockwise)으로 회전한다.
한편, 토크(T)는 제1 돌출부(242)에 연결된 회전바(720)의 일단에 원심력(F1)과 반대로 작용하는 저항력(F2)을 발생시킨다. 저항력(F2)은 지지 플레이트(10)의 반경 내측방향을 향하며, 원심력(F1) 및 원심력(Fc)과 반대방향이다.
따라서, 제1 종동로드(240)에는 원심력(Fc)과 탄성력(Fe)외에 저항력(F2)이 작용하며, 원심력(Fc)이 탄성력(Fe)보다 크다 할지라도 탄성력(Fe) 및 저항력(F2)에 의하여 원심력(Fc)을 상쇄할 수 있다. 그러므로, 제1 척킹핀(20)이 웨이퍼(W)로부터 분리되는 것을 방지할 수 있다.
본 발명에 의하면 공정시 웨이퍼의 접촉면에 잔류하는 약액을 제거할 수 있으며, 또한 웨이퍼의 전면을 균일하게 처리할 수 있다. 또한, 웨이퍼의 접촉면에서 발생하는 공정불량을 최소화할 수 있다.
본 발명에 의하면 지지 플레이트의 회전으로 인하여 기판과 접촉하는 척킹핀이 기판으로부터 분리되는 것을 방지할 수 있다.

Claims (18)

  1. 삭제
  2. 회전가능한 지지 플레이트;
    상기 지지 플레이트의 상부면에 설치되며, 상기 지지 플레이트 상에 로딩된 상기 기판이 회전으로 인하여 상기 지지 플레이트로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 측부를 지지하는 제1 척킹핀들 및 제2 척킹핀들; 및
    공정진행시 상기 제1 및 제2 척킹핀들이 상기 기판의 측부와 선택적으로 비접촉하도록 자력에 의하여 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 선택적으로 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동시킬 수 있는 구동유닛을 포함하되,
    상기 구동유닛은,
    상기 제1 척킹핀에 연결되며, 상기 자력에 의하여 상기 제1 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제1 자성체를 구비하는 제1 종동부들;
    상기 제2 척킹핀에 연결되며, 상기 자력에 의하여 상기 제2 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제2 자성체를 구비하는 제2 종동부들;
    상기 제1 및 제2 종동부들의 내측에 배치되는 구동자성체; 및
    제1 높이에 위치하는 상기 제1 자성체와 상기 제1 높이와 다른 제2 높이에 위치하는 상기 제2 자성체에 선택적으로 자력을 인가하기 위하여 상기 구동자성체를 승강시키는 승강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 구동자성체와 대향되는 상기 제1 및 제2 자성체의 일측과, 상기 제1 및 제2 자성체와 대향되는 상기 구동자성체의 일측은 동일한 극성을 띠는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 스핀헤드는 상기 지지 플레이트의 상부면에 설치되며, 상기 기판의 측부를 지지하는 제3 척킹핀들을 더 포함하며,
    상기 구동유닛은 상기 제3 척킹핀에 연결되며, 상기 자력에 의하여 상기 제3 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제3 자성체를 구비하는 제3 종동부들을 더 포함하되,
    상기 제3 자성체는 상기 제1 및 제2 높이와 다른 제3 높이에 위치하는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  5. 제2항에 있어서,
    상기 제1 종동부는 상기 제1 및 제2 높이와 다른 제3 높이에 위치하는 제1 보조자성체를 더 포함하고,
    상기 제2 종동부는 상기 제3 높이에 위치하는 제2 보조자성체를 더 포함하며,
    상기 구동자성체는 상기 제1 및 제2 보조자성체에 자력을 인가하여 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 동시에 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  6. 제2항에 있어서,
    상기 구동유닛은,
    상기 제1 척킹핀에 연결되며, 상기 제1 척킹핀에 대하여 상기 지지 플레이트의 반경 내측방향을 향하는 탄성력을 제공하는 제1 탄성체; 및
    상기 제2 척킹핀에 연결되며, 상기 제2 척킹핀에 대하여 상기 지지 플레이트의 반경 내측방향을 향하는 탄성력을 제공하는 제2 탄성체를 더 포함하며,
    상기 구동자성체는 상기 제1 및 제2 척킹핀을 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동시키는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  7. 제2항에 있어서,
    상기 제1 종동부는,
    상기 제1 자성체를 수납하는 제1 하우징;
    상기 제1 척킹핀으로부터 상기 지지 플레이트의 반경방향으로 연장되며, 상 기 제1 척킹핀과 상기 제1 하우징을 연결하는 제1 종동로드;
    상기 지지 플레이트의 하부면에 고정되며, 상기 제1 종동로드의 이동방향을 안내하는 제1 가이드홀이 형성된 제1 부쉬;
    일단이 상기 제1 부쉬에 연결되며, 상기 제1 종동로드에 대하여 상기 지지 플레이트의 외측 반경방향을 향하는 탄성력을 제공하는 제1 탄성체; 및
    상기 제1 탄성체의 타단에 연결되며, 상기 제1 종동로드 상에 고정되는 제1 고정체를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  8. 회전가능한 지지 플레이트;
    상기 지지 플레이트의 상부면에 설치되며, 상기 지지 플레이트 상에 로딩된 상기 기판이 회전으로 인하여 상기 지지 플레이트로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 측부를 지지하는 제1 척킹핀들 및 제2 척킹핀들;
    공정진행시 상기 제1 및 제2 척킹핀들이 상기 기판의 측부와 선택적으로 비접촉하도록 자력에 의하여 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 선택적으로 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동시킬 수 있는 구동유닛; 및
    상기 기판의 측부와 접촉된 상기 제1 척킹핀들 또는 제2 척킹핀들이 상기 지지 플레이트의 회전에 따른 원심력으로 인하여 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동하는 것을 방지하기 위하여 상기 지지 플레이트가 회전시 상기 제1 척킹핀들 또는 상기 제2 척킹핀들에 대해 상기 지지 플레이트의 내측방향으로 힘이 인가되도록 하는 안전유닛을 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  9. 제8항에 있어서,
    상기 안전유닛은,
    상기 제1 척킹핀에 연결된 제1 종동로드 상에 일단이 연결되며, 회전가능한 제1 회전바;
    상기 제1 회전바의 타단에 연결되는 제1 안전추;
    상기 제1 회전바의 중앙을 고정하여 상기 제1 회전바의 중앙이 상기 지지 플 레이트의 반경방향으로 이동하는 것을 방지하는 제1 힌지;
    상기 제2 척킹핀에 연결된 제2 종동로드 상에 일단이 연결되며, 회전가능한 제2 회전바;
    상기 제2 회전바의 타단에 연결되는 제2 안전추; 및
    상기 제2 회전바의 중앙을 고정하여 상기 제2 회전바의 중앙이 상기 지지 플레이트의 반경방향으로 이동하는 것을 방지하는 제2 힌지를 포함하되,
    상기 지지 플레이트의 회전에 따른 원심력으로 인하여 상기 제1 및 제2 회전바는 상기 제1 및 제2 힌지를 중심으로 각각 회전하며,
    상기 제1 및 제2 회전바의 일단은 상기 지지 플레이트의 반경 내측방향으로 이동하고, 상기 제1 및 제2 회전바의 타단은 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동하는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  10. 삭제
  11. 회전가능한 플레이트;
    상기 지지 플레이트의 상부면에 설치되며, 상기 지지 플레이트 상에 로딩된 상기 기판이 회전으로 인하여 상기 지지 플레이트로부터 이탈되는 것을 방지하기 위하여 상기 기판의 측부를 지지하는 제1 척킹핀들 및 제2 척킹핀들, 그리고 제3 척킹핀들;
    상기 제1 내지 제3 척킹핀들이 상기 기판의 측부와 접촉/비접촉하도록 상기 제1 내지 제3 척킹핀들을 각각 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동시키는 구동유닛을 포함하되,
    상기 구동유닛은,
    상기 제1 척킹핀에 연결되며, 상기 자력에 의하여 상기 제1 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제1 자성체를 구비하는 제1 종동부들;
    상기 제2 척킹핀에 연결되며, 상기 자력에 의하여 상기 제2 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제2 자성체를 구비하는 제2 종동부들;
    상기 제3 척킹핀에 연결되며, 상기 자력에 의하여 상기 제3 척킹핀과 함께 상기 지지 플레이트의 반경 방향으로 이동하는 제3 자성체를 구비하는 제3 종동부들;
    상기 제1 내지 제3 종동부들의 내측에 배치되는 구동자성체; 및
    제1 높이에 위치하는 상기 제1 자성체와, 상기 제1 높이와 다른 제2 높이에 위치하는 상기 제2 자성체와, 상기 제1 및 제2 높이와 다른 제3 높이에 위치하는 상기 제3 자성체에 선택적으로 자력을 인가하기 위하여 상기 구동자성체를 승강시키는 승강부재를 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  12. 제11항에 있어서,
    상기 구동자성체와 대향되는 상기 제1 내지 제3 자성체의 일측과, 상기 제1 내지 제3 자성체와 대향되는 상기 구동자성체의 일측은 동일한 극성을 띠는 것을 특징으로 하는 스핀헤드.
  13. 지지 플레이트의 상부에 로딩된 기판의 측부를 지지하는 제1 및 제2 척킹핀들과 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 상기 지지 플레이트의 반경방향으로 이동시키는 구동유닛을 구비하는 스핀헤드를 제공하고, 상기 스핀헤드 상에 로딩된 상기 기판으로 처리액을 공급하여 공정을 진행하되,
    상기 구동유닛의 구동자성체를 승강하여 상기 제1 척킹핀들에 각각 연결된 제1 자성체들에 자력을 인가하고, 상기 제1 척킹핀들은 상기 자력에 의하여 상기 기판의 측부로부터 이격되는 제1 단계; 및
    상기 구동자성체를 승강하여 상기 제2 척킹핀들에 각각 연결된 제2 자성체에 자력을 인가하고, 상기 제2 척킹핀들은 상기 자력에 의하여 상기 기판의 측부로부터 이격되는 제2 단계를 포함하고,
    상기 제1 자성체는 제1 높이에 위치하고, 상기 제2 자성체는 상기 제1 높이와 다른 제2 높이에 위치하며, 상기 구동자성체의 승강에 의하여 상기 제1 단계와 상기 제2 단계는 교대로 반복하는 것을 특징으로 하는 스핀헤드 상의 기판을 처리하는 방법.
  14. 제13항에 있어서,
    상기 구동자성체와 대향되는 상기 제1 및 제2 자성체의 일측과, 상기 제1 및 제2 자성체와 대향되는 상기 구동자성체의 일측은 동일한 극성을 띠는 것을 특징으로 하는 스핀헤드 상의 기판을 처리하는 방법.
  15. 제13항에 있어서,
    상기 방법은,
    상기 제1 척킹핀들에 각각 연결된 제1 보조자성체들과 상기 제2 척킹핀들에 각각 연결된 제2 보조자성체들에 자력을 인가하여 상기 제1 및 제2 척킹핀들을 동시에 상기 지지 플레이트의 반경 외측방향으로 이동시킨 상태에서 상기 지지 플레이트의 상부에 상기 기판을 로딩/언로딩하는 단계를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 스핀헤드 상의 기판을 처리하는 방법.
  16. 제15항에 있어서,
    상기 구동자성체와 대향되는 상기 제1 및 제2 보조자성체의 일측과, 상기 제1 및 제2 보조자성체와 대향되는 상기 구동자성체의 일측은 동일한 극성을 띠는 것을 특징으로 하는 스핀헤드 상의 기판을 처리하는 방법.
  17. 제13항에 있어서,
    상기 스핀헤드는 상기 기판의 측부를 지지하는 제3 척킹핀들을 더 포함하며,
    상기 방법은 상기 구동자성체를 승강하여 상기 제3 척킹핀들에 각각 연결된 제3 자성체들에 자력을 인가하고, 상기 제3 척킹핀들은 상기 자력에 의하여 상기 기판의 측부로부터 이격되는 제3 단계를 더 포함하되,
    상기 제3 자성체는 상기 제1 및 제2 높이와 다른 제3 높이에 위치하며, 상기 구동자성체의 승강에 의하여 상기 제1 내지 제3 단계는 순차적으로 반복되는 것을 특징으로 하는 스핀헤드 상의 기판을 처리하는 방법.
  18. 공정진행시 제1 척킹핀들, 제2 척킹핀들, 그리고 제3 척킹핀들을 이용하여 지지 플레이트의 상부에 로딩된 기판의 측부를 지지하되,
    제1 내지 제3 척킹핀들 중 선택된 어느 하나는 상기 기판의 측부와 비접촉하며, 나머지는 상기 기판의 측부와 접촉하되,
    상기 기판의 측부와 비접촉하는 어느 하나는 교대로 선택되는 것을 특징으로 하는 기판을 처리하는 방법.
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