JP4093878B2 - 多段式処理装置 - Google Patents
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Description
【産業上の利用分野】
本発明は複数の基板に対して同時に現像などの処理が行える多段式処理装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
最近では基板表面に厚膜を形成する試みがなされている。例えば、ICパターン面上にパンプと称される高さ20μm程度の突起状電極を、集積回路形成技術を応用して形成するには、20μm程度の厚さのレジスト膜を形成する必要がある。
また、従来ではICチップを基板に搭載するのにワイヤボンディングを行っているが、ワイヤボンディングでは金線を1本づつ繋げなければならず面倒で時間がかかる。そこでワイヤボンディングの代わりにチップ自体に金属柱を複数本設け、この金属柱を介してICチップを基板に搭載するようにしている。この金属柱の高さが100μm程度であり、集積回路形成技術を応用して金属柱を形成するには、100μm程度の厚さのレジスト膜を形成する必要がある。
【0003】
このような厚膜のレジストを現像処理するには通常1枚の基板で3〜30分もの時間がかかる。そこで、現像時間を短縮するため1カセット分(基板25枚)を現像槽に一括浸漬するバッチ式が試みられているが、現像液を大量に必要とするとともに基板の移し替えが面倒である。
【0004】
先行技術として、多数の基板(ウェーハ)を同時に洗浄するものが提案されている。(特許文献1、特許文献2、特許文献3)
特許文献1に提案される内容は、モータによって回転するロータに複数の基板を収納したカセットをセットし、ロータを回転しつつカセット内の基板を洗浄するようにしている。
また、特許文献2に提案される内容は、基板搭載手段と洗浄液噴出手段にて洗浄装置を構成し、基板搭載手段には円盤上に所定間隔で複数の筒体を配置し、各筒体内にはスピンナーを設け、また洗浄液噴出手段には前記各筒体内に進退可能なノズルを設けた構成となっている。
また、特許文献3に提案される内容は、カップ内にチャックを設けた処理ユニットを上下方向に多段状に配置し、また上下方向の駆動軸から各チャックにタイミングベルトなどで駆動力を分岐し、各チャックを回転せしめるようにし、更にこのチャックを昇降動させて基板の受け渡しを行っている。
【0005】
(特許文献1)
特開平6−163498号公報
(特許文献2)
特開平6−216104号公報
(特許文献3)
特開2000−49215号公報 段落(0034) 図4、図7
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
特許文献1および特許文献2に開示される装置を応用すれば、多数の基板を同時にしかも大量の現像液を用いることなく処理できる。
しかしながら、いずれの装置も横方向に装置が大型化し、スペース的に有利な装置とは言えない。
また、特許文献3に開示される装置にあっては、チャックに対して基板を受け渡しする際に、チャックを昇降動せしめるようにしている。このためチャックには回転動と昇降動を行うための機構が必要になり、全体の構成が複雑になる。
【0007】
【課題を解決するための手段】
上記課題を解決すべく本発明は、基板の周囲を囲むカップと、基板を保持して回転せしめるチャックとからなる処理ユニットを複数組上下方向に離間して配置した多段式処理装置において、前記カップとチャックを分離し、全てのカップを一体的に昇降可能となるように昇降部材に支持し、また全てのチャックを固定部材に支持されるとともに上下方向に配置された駆動軸から回転駆動力を分岐して伝達する構成とした。
このように、カップとチャックを分離して回転する部材と昇降動する部材とを別々に支持することで、チャックに複雑な動きをさせる必要がなくなり、装置全体としてバランスのとれたものが得られる。
【0008】
本発明に係る処理装置を現像装置として用いる場合には、前記昇降部材に現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルの一方を処理ユニットごとに設け、前記固定部材に現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルの他方を処理ユニットごとに設ける。
【0009】
また、現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルについては、昇降部材や固定部材とは別に配置してもよい。例えば、複数の多段式処理装置を配置する場合には、その中心に水平面で回転するアームを設け、このアームに現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルを取り付け、アームの回転によって現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルを処理ユニットの上方まで進退可能とすることも可能である。
【0010】
前記昇降部材には各カップにつながる廃液パイプも一体的に昇降するように支持してもよい。この場合、廃液パイプは1本に合流して気液分離器に摺動自在に接続する構成が考えられる。
【0011】
また、駆動軸を1本にすると、支持用ベアリングとの間で偏摩擦が生じ易くなるので、組み付けが面倒になる。そこで、駆動軸を各処理ユニットごとに複数に分割し、各分割された駆動軸間をユニバーサルジョイントで連結する構成が考えられる。
【0012】
このように、1つのモータによって複数に分割された駆動軸を動かすことで、処理ユニット間での処理ムラがなくなり、均一な処理が可能になる。即ち、逆に1つのモータで1つの駆動軸を回転させるようにすると、装置は1つ1つに微妙な癖があるため同じ条件で処理しても装置間で僅かに差がでてくる。これに対し、モータを1つにし、その動きを伝達すれば、微妙な癖は解消され同じ処理がなされた被処理物が得られる。
尚、各チャックと分割された駆動軸間には例えばタイミングベルトを張設して駆動力の伝達を行う。
【0013】
【実施例】
以下に本発明の実施例を添付図面に基づいて説明する。図1は本発明に係る処理装置の全体図、図2は廃液パイプの全体図、図3はカップが上昇位置にある際のチャックと固定部材との関係を示す図、図4はカップが下降した状態を示す図3と同様の図であり、実施例は本発明に係る処理装置を現像装置として適用した例を示す。
【0014】
処理装置は処理ユニット1を多段状に上下方向に積層して構成される。処理ユニット1は基板の周囲を囲むカップ2と基板を保持して回転せしめるチャック3とからなり、カップ2はチャック3に対して昇降可能とされている。
【0015】
各カップ2(合計5個)は昇降部材7に支持されている。昇降部材7はシリンダユニット6によって昇降動する支柱5に等間隔で水平方向のアーム8を設け、このアーム8にカップ2を固着している。また、アーム8には現像液供給ノズル9が取り付けられ、この現像液供給ノズル9の先端は前記チャック3の中心と一致している。
また、現像液供給ノズル9はアーム8ではなく、ブラケットに固定してもよい。
【0016】
カップ2の底面にはドレイン穴10が開口し、このドレイン穴10に廃液パイプ11が接続されている。廃液パイプ11は斜め下方に伸びて垂直管12となり、各カップ2の垂直管12が連結して1本の管になりこの管の下端部が気液分離器13に摺動自在に嵌合している。
気液分離器13の差込口13aには、低摩擦のテフロンリングが設けられ、差し込まれた垂直管12が昇降動しても、摩擦が少なく且つ密閉性のよい構造になっている。
【0017】
前記廃液パイプ11及び垂直管12は縦方向に伸びる廃液パイプステー25に取り付けられ、この廃液パイプステー25は前記昇降部材7の支柱5に連結されている。したがって、シリンダユニット6を駆動して昇降部材7を昇降動させると、アーム8に支持されたカップ2及び廃液パイプステー25に支持された廃液パイプ11と垂直管12が一緒に昇降動する。
【0018】
チャック3は固定部材14に支持されている。固定部材14は上下方向の空洞状支柱15とこれから各処理ユニット1に向かって水平方向に伸びる空洞状アーム16からなり、空洞状支柱15内には図示しないモータにて回転せしめられる駆動軸18が上下方向に配置されている。
【0019】
駆動軸18は各処理ユニット1ごとに分割され、分割された駆動軸18はユニバーサルジョイント19にて連結され、且つベアリング20で回転自在に支持されている。
【0020】
また、分割された駆動軸18には駆動プーリ21が固着され、チャック3の軸には被動プーリ22が固着され、これら駆動プーリ21と被動プーリ22間に張設されたタイミングベルト23が前記水平アーム16内に収納されている。
【0021】
更に空洞状支柱15とアーム16とのコーナ部に設けたブラケットにはリンス液供給ノズル24を取り付けている。このリンス液供給ノズル24は基板Wに対する角度を調整可能とされている。
【0022】
以上において、シリンダユニット6を縮めて全てのカップ2を一体的に15mm程度下降せしめる。この操作によりチャック3の上端面がカップ2の上端よりも若干上になる。この状態でチャック3に基板Wを載置し吸引固着する。
この後、シリンダユニット6を伸ばし全てのカップ2を一体的に上昇させ、基板Wをカップ2内に収める。この状態で、現像液供給ノズル9から基板Wの表面中央に現像液を滴下するとともにモータ(図示せず)を駆動し、駆動軸18およびタイミングベルト23を介してチャック3(基板W)を回転させ、現像液を基板Wの表面に行き渡らせ、この後回転を停止して現像を行う。
【0023】
所定時間経過後、現像処理が終了したら、再び基板を回転させ、遠心力で現像液を基板Wから飛散せしめ、ドレイン穴10、廃液パイプ11を介して気液分離器13に導き、気体と液体に分ける。回収した現像液は現像液原液、水または新液と混合して調整した後、再度現像液として使用する。
また現像液を回収した後にリンス液供給ノズル24から基板Wに向けてリンス液を噴出する。このリンス液と現像液が混合した廃液はドレイン穴10、廃液パイプ11を介して気液分離器13に導かれ、そのまま排出される。
【0024】
図5は複数の多段式処理装置を配置した別実施例を示す図であり、この実施例にあっては、複数(図では2つ)の多段式処理装置の中央に搬送ロボット30とその上方にノズル機構部31を配置している。
【0025】
ノズル機構部31は軸を下向きにしたモータ32によって回転するクランク33から水平方向にアーム34を延ばし、このアーム34に現像液供給ノズル9を設けている。尚、現像液供給ノズル9の代わりにリンス液供給ノズル24を取り付けてもよい。
【0026】
そして、この実施例にあってはモータ32を駆動することでアーム34が水平回転し、1つの多段式処理装置の処理ユニット毎に現像液を供給し、これが終了したら、再びアーム34を水平回転させ、もう1つの多段式処理装置の処理ユニットに現像液を供給する。この処理が終了したらロボット30によって1枚づつ基板を処理ユニットから取り出す。
【0027】
【発明の効果】
以上に説明したように本発明によれば、カップとチャックから構成される処理ユニットを上下方向に積層した処理装置において、前記カップとチャックを分離し、カップについては全てのカップが一体的に昇降動するようにし、またチャックについては昇降動せずに回転のみを行うようにし、昇降動と回転動を行う部材を別々に分けたので、機構が簡略化しメンテナンスも容易に行える。
【0028】
更に、1つのモータで全ての駆動軸を回転させることで、処理ユニット間でムラのない均一な処理動作を実現することができる。
【0029】
また、現像液の回収を行い再利用するようにしたので、現像液の有効利用が図れ、更に駆動軸を分割することで、メンテナンス性が向上する。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明に係る処理装置の全体図
【図2】廃液パイプの全体図
【図3】カップが上昇位置にある際のチャックと固定部材との関係を示す図
【図4】カップが下降した状態を示す図3と同様の図
【図5】複数の多段式処理装置を配置した別実施例を示す図
【符号の説明】
1…処理ユニット、2…カップ、3…チャック、5…昇降部材、6…シリンダユニット、7…支柱、8…アーム、9…現像液供給ノズル、10…ドレイン穴、11…廃液パイプ、12…垂直管、13…気液分離器、13a…気液分離器の差込口、14…固定部材、15…空洞状支柱、16…空洞状アーム、17…モータ、18…駆動軸、19…ユニバーサルジョイント、20…ベアリング、21…駆動プーリ、22…被動プーリ、23…タイミングベルト、24…リンス液供給ノズル、25…廃液パイプステー、30…搬送ロボット、31…ノズル機構部、32…モータ、33…クランク、34…アーム、W…基板。
Claims (7)
- 基板の周囲を囲むカップと基板を保持して回転せしめるチャックとからなる処理ユニットを複数組上下方向に離間して配置した多段式処理装置において、前記カップとチャックは分離され、全てのカップは一体的に昇降可能となるように昇降部材に支持され、また全てのチャックは固定部材に支持されるとともに上下方向に配置された駆動軸から回転駆動力が分岐して伝達されることを特徴とする多段式処理装置。
- 請求項1に記載の多段式処理装置において、前記昇降部材には現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルの一方が処理ユニットごとに設けられ、また前記固定部材には現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルの他方が処理ユニットごとに設けられていることを特徴とする多段式処理装置。
- 請求項1に記載の多段式処理装置において、この多段式処理装置は複数配置され、その中心に水平面で回転するアームが設けられ、このアームに現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルが取り付けられ、アームの回転によって現像液噴出ノズルまたはリンス液噴出ノズルが処理ユニットの上方まで進退可能とされていることを特徴とする多段式処理装置。
- 請求項1乃至請求項3に記載の多段式処理装置において、前記昇降部材には各カップにつながる廃液パイプも一体的に昇降するように支持されていることを特徴とする多段式処理装置。
- 請求項4に記載の多段式処理装置において、前記廃液パイプは1本に合流して気液分離器に接続されることを特徴とする多段式処理装置。
- 請求項1乃至請求項3に記載の多段式処理装置において、前記駆動軸は各処理ユニットごとに複数に分割され、各分割された駆動軸間はユニバーサルジョイントで連結されていることを特徴とする多段式処理装置。
- 請求項6に記載の多段式処理装置において、前記分割された駆動軸からタイミングベルトを介してチャックに駆動力が伝達されることを特徴とする多段式処理装置。
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