KR20120079288A - 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치 - Google Patents

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KR20120079288A
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Abstract

본 발명은 부품 교체 없이 서로 다른 사이즈의 웨이퍼를 처리할 수 있는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치에 관한 것으로, 본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치는 원통형 상부몸체 상면에 배치되는 원형 플레이트와, 상기 원형 플레이트 일부에 반경방향을 따라 형성된 적어도 2 이상의 관통홀과, 상기 관통홀 내에 수용되며 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 적어도 2 이상의 척킹 핀을 반경방향으로 이격되게 구비하는 척킹 핀 바디와, 상기 척킹 핀 바디를 상기 관통홀 내에서 일정거리만 이동시키는 일정거리 구동수단을 포함하는 것을 특징으로 한다.

Description

서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치{CHUCK APPARATUS CAPABLE OF CHUCKING SUBSTRATES WITH DIFFERENT SIZES}
본 발명은 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 부품 교체 없이 서로 다른 사이즈의 웨이퍼를 처리할 수 있는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치에 관한 것이다.
반도체 제조 공정은 다양한 공정들을 통하여 반도체 기판(semiconductor substrate), 유리 기판(glass substrate) 또는 액정 패널(liquid crystal panel) 등과 같은 기판(substrate) 상에 원하는 패턴을 형성한다.
현재, 에칭 공정, 세정 공정에서는 웨이퍼를 회전(스피닝; spinning)시켜서 웨이퍼 상의 잔유물 또는 박막 등을 제거하는 공정이 수행된다. 이때, 스핀 공정(spin process)은 웨이퍼와 같은 기판을 수천 RPM까지 회전시키면서 순수(deionized water) 또는 식각액 또는 세정액을 공급하면서 진행된다. 물론, 이와 같이 웨이퍼 등의 기판을 스피닝하면서 수행되는 공정은 세정공정 뿐만 아니라 포토레지스트 공정 등 다른 종류의 반도체 제조 공정에서도 다양하게 사용되고 있다.
일반적으로, 스핀 공정에서 회전 중 웨이퍼가 이탈하는 것을 방지하기 위해서는 웨이퍼의 뒷면을 진공으로 흡착시켜서 고정하는 방법과 실린더나 모터를 사용하여 웨이퍼의 측면으로부터 웨이퍼의 가장자리(edge)를 기계적으로 고정하는 방법이 주로 사용된다.
웨이퍼를 기계적으로 고정하는 경우에는, 원형 형상을 갖는 플레이트 및 상기 플레이트의 상부에 구비되는 척킹핀을 포함한다. 척킹핀은 웨이퍼의 측면을 지지하므로 웨이퍼의 직경에 따라 플레이트 상에 위치가 결정된다.
따라서, 플레이트 상에 구비되는 척킹핀은 소정의 직경을 갖는 웨이퍼만을 지지할 수 있기 때문에, 다른 직경을 갖는 웨이퍼에 대해서 작업을 진행하려면 별도의 웨이퍼 척킹 장치가 필요하거나, 소정의 직경을 갖는 웨이퍼를 지지하기 위해서 설치된 척킹핀을 제거하고 다른 소정의 직경을 갖는 웨이퍼만을 지지할 수 있도록 척킹핀을 배치시키는 작업이 요구되어 작업효율이 떨어지는 문제점이 있다.
상기 척킹핀은 회전시 웨이퍼의 원심력에 의하여 웨이퍼가 회전 중심으로부터 이탈하는 방향으로 힘을 받기 때문에 웨이퍼의 측면을 안정적으로 지지하지 못하는 문제점이 있다.
또한, 상기 웨이퍼의 측면과의 마찰에 의해서 마모되기 때문에 교체가 필요한데, 종래의 척킹핀은 전술한 문제점을 해소하기 위하여 척킹핀이 웨이퍼의 측면을 가압할 수 있도록 형성되어 교체가 용이하지 못한 문제점이 있다.
본 발명은 전술한 문제점을 해소하기 위하여 안출된 것으로, 본 발명의 목적은 서로 다른 직경의 기판을 별도의 스핀헤드나 별도의 메인테넌스없이 안정적으로 척킹할 수 있으며, 척킹핀의 교체가 용이한 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치는, 원통형 상부몸체 상면에 배치되는 원형 플레이트와, 상기 원형 플레이트 일부에 반경방향을 따라 형성된 관통홀과, 상기 관통홀 내에 수용되며 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 적어도 2 이상의 척킹 핀을 반경방향으로 이격되게 구비하는 척킹 핀 바디와, 상기 척킹 핀 바디를 상기 관통홀 내에서 일정거리만 이동시키는 일정거리 구동수단을 포함할 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치에 따르면, 서로 다른 직경의 기판을 별도의 스핀헤드나 별도의 메인테넌스없이 안정적으로 척킹할 수 있으며, 척킹핀의 교체가 용이하다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치의 평면도이다.
도 2는 본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치의 내부 구조를 설명하기 위하여 분리한 상부 원형 플레이트의 평면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치의 내부 구조를 설명하기 위하여 분리한 상부 원형 플레이트의 저면도이다.
도 4a는 도 1의 측면도이다.
도 4b는 도 4a의 관통홀 및 척킹 바디의 관계를 설명하는 관계도이다.
도 5a 내지 도 5c는 각각 척킹 핀 바디의 이동위치, 작업위치, 대기위치를 설명하기 위하여 도 4의 A 부를 확대한 A부 확대도이다.
이하, 본 발명의 바람직한 실시예를 첨부된 도면들을 참조하여 상세히 설명한다.
우선 각 도면의 구성요소들에 참조부호를 부가함에 있어서, 동일한 구성요소들에 대해서는 비록 다른 도면상에 표시되더라도 가능한 한 동일한 부호를 가지도록 하고 있음에 유의해야 한다.
또한, 본 발명을 설명함에 있어, 관련된 공지 구성 또는 기능에 대한 구체적인 설명이 본 발명의 요지를 흐릴 수 있다고 판단되는 경우에는 그 상세한 설명은 생략한다.
먼저, 도 1 내지 도 4b를 참조하면, 본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치(100)는 웨이퍼를 고정한 상태에서 상기 웨이퍼를 회전시키는 장치이다. 상기 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치(100)에 의해 회전되는 상기 웨이퍼에 대해 에칭공정 또는 세정공정이 진행된다.
상기 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치(100)는 내부에 접근가능한 중공부(101a)를 갖는 원통형 상부 몸체(101)와, 상기 원통형 상부 몸체(101)의 하부에 결합되어 상기 중공부(101a)를 커버링하거나 외부와 연통시키는 하부 몸체(103)을 포함한다.
상기 원통형 상부 몸체(101)는 그 상부에 배치되는 원판 형상의 플레이트(10), 상기 원판 형상의 플레이트(10)의 상부에 구비되는 제 1 척킹 핀(30)과 제 1 웨이퍼 가이드핀(40), 및 제 2 척킹 핀(50)과 제 2 웨이퍼 가이드 핀(60)을 포함한다.
상기 제 1 척킹 핀(30) 및 상기 제 1 웨이퍼 가이드핀(40)은 제 1 웨이퍼(W1)를 상기 원판 형상의 플레이트(10)에 지지하고, 상기 제 2 척킹 핀(50) 및 상기 제 2 웨이퍼 가이드 핀(60)은 상기 제 1 웨이퍼보다 큰 직경을 갖는 제 2 웨이퍼(W2)를 상기 원판 형상의 플레이트(10)에 지지한다.
상기 원통형 상부 몸체(101)의 중심에는 회전축(20)이 구비되고, 상기 회전축(20)은 별도의 구동장치(미도시)와 결합한다.
본 발명에 있어서, 상기 원판형상의 플레이트(10)의 상부 면에는 반경방향을 따라 긴 관통홀(70)이 복수개가 방사상으로, 바람직하게는 6개의 관통홀(70)이 방사상으로 즉, 60도씩 이격되어 6방향으로 나누어 배치된다.
상기 관통홀(70)에는 척킹 핀 바디(80)가 수용되는데, 상기 척킹 핀 바디(80)는 이하 자세히 설명하는 제 1 척킹핀(30) 및 제 2 척킹핀(50)을 반경방향으로 소정거리만큼 이격되게 구비한다.
즉, 예를들어, 상기 제 1 척킹 핀(30)이 제 1 웨이퍼의 반경위치에 배치된다면, 상기 제 2 척킹 핀(40)이 제 2 웨이퍼의 반경위치에 배치될 수 있다.
본 발명에 있어서, 상기 제 1 척킹핀(30) 및 제 2 척킹 핀(50)이 각각 상기 척킹 핀 바디(80)에 동시에 이격 배치된 채, 상기 원판 형상의 플레이트(10)에 대해 6방향으로 나뉘어 배치되기 때문에 웨이퍼의 에지 중 한 곳이 고정되지못하더라도 5방향에서 웨이퍼를 안정적으로 고정할 수 있다.
상기 관통홀(70)에는 상기 척킹 핀 바디(80)가 수용되어 있다. 이를 위하여, 상기 관통홀(70)과 상기 척킹 핀 바디(80)는 상기 원통형 상부 몸체(101)의 중공부(101a) 내에 형성된다.
상기 관통홀(70)과 상기 척킹 핀 바디(80)는 한 아암(71, 81)이 다른 아암(82, 83)보다 짧은 T자형으로 이루어지며, 상기 관통홀(70)의 일 아암(71)과 다른 아암(71) 사이의 거리(D) 및 몸통(73)의 폭(C)이 일정거리 만큼 상기 척킹 핀 바디(80)의 일 아암(81)과 다른 아암(81) 사이의 거리(D) 및 몸통(83)의 폭(C)이 보다 더 크게 형성되어 있다.
상기 척킹 핀 바디(80)의 양 아암(81, 82)에는 제 1 그루브(81a)와 제 2 그루브(82a)가 형성되어 상기 제 1 척킹핀(30) 및 상기 제 2 척킹핀(50)이 상기 플레이트(10)의 표면에 돌출되게 결합될 수 있다.
이와 같이, 상기 제 1 척킹핀(30) 및 상기 제 2 척킹핀(50)이 하나의 척킹 핀 바디(80)에 형성된 상기 제 1 그루브(81a)와 제 2 그루브(82a)에 끼임결합식으로 결합되기 때문에 상기 제 1 척킹 핀(30) 및 상기 제 2 척킹 핀(50)이 마모시 교체가 용이하며, 하나의 척킹 핀 바디(80)의 구동만으로 상기 제 1 척킹 핀(30) 및 상기 제 2 척킹 핀(50)의 구동을 제어할 수 있다.
상기 제 1 척킹핀(30)은 머리 모양의 헤드부(31)와 목모양의 목부(32), 웨이퍼를 지지하는 어깨모양의 숄더부(33), 상기 숄더부(33) 아래의 몸통부(34) 및 상기 몸통부(34) 아래에 배치되며 상기 제 1 그루브(39a)에 결합되는 각부(35)를 갖도록 내약품성이 좋은 합성수지로 성형될 수 있다.
또한, 상기 제 2 척킹핀(50)은 머리 모양의 헤드부(51)와 목모양의 목부(52), 웨이퍼를 지지하는 어깨모양의 숄더부(53), 상기 숄더부(53) 아래의 몸통부(54) 및 상기 몸통부(54) 아래에 배치되며 상기 제 2 그루브(39a)에 결합되는 각부(55)를 갖도록 내약품성이 좋은 합성수지로 성형될 수 있다.
이 때, 상기 제 2 척킹핀(50)의 높이는 상기 제 2 척킹핀(50)의 목부(52)가 상기 제 1 척킹핑(50)의 헤드부(31) 상부에 배치되도록 결정되는 것이 제 2 웨이퍼 가공시 제 1 척팅핀(30)을 제거하지 않아도 방해를 받지 않을 수 있어서 바람직하다.
이와 같이 구성된 상기 척킹 핀 바디(80)는 일정거리 이동수단(90)에 의하여 일정거리, 예를들어 웨이퍼의 대기위치와 작업위치 사이에서만 이동하도록 구성된다.
상기 일정거리 이동수단(90)은 상기 척킹 핀 바디(80)의 몸통(83) 끝단에 긴 아암(82)의 방향으로 일단(91a)이 연결된 로드(91)와, 상기 로드(91)의 타단(91b)에 결합되어 상기 로드(91)의 원위치로, 즉 대기위치인 반경방향 후방으로 복귀하기 위한 후방이동부재(90-1)와, 상기 후방이동부재(90-1)에 인접하게 배치되어 상기 로드(91)를 반경방향 전방으로 일정거리만큼 이동시키는 전방이동부재(90-2)를 포함한다.
상기 후방이동부재(90-1)는 후술하는 롤러(93)의 회전에 의해서 상기 로드(91)의 전방이동시 압축되었다가, 복원력을 이용하여 원위치로 복귀하기 위하여 상기 로드(91)의 타단에 결합되는 스프링 캡(92a)과 상기 스프링 캡(92a)에 의해서 상기 로드(91)의 타단에 장착되는 스프링(92b)으로 이루어진다.
상기 전방이동부재(90-2)는 상기 로드(91)의 전방측에 상기 로드(91)가 수용되는 로드 블록(91c)에 대해 고정 브라켓(91d)으로 연결되어 있다.
상기 전방이동부재(90-2)는 상기 로드 블록(91c) 내에 배치되며, 상기 로드(91)에 달린 롤러(93)와, 상기 롤러(93)를 외부 실린더(미도시)의 상방 직선운동에 의하여 상기 롤러(93)에 대해 접촉 및 분리되도록 승하강하는 업다운 플레이트(94)를 포함한다.
상기 업다운 플레이트(94)는 상기 롤러(93) 상부에 배치되는 미들플레이트(95)와 연동하도록 구성된다.
상기 미들플레이트(95)는 하부에 상기 미들플레이트(95)가 다운상태일 때, 상기 롤러(93)가 반경방향 후방으로 이동하지 못하도록 고정하는 록(lock) 플레이트(96)를 구비한다.
상기 록 플레이트(96)는 후방으로 진행을 방지하기 위한 3단 턱(96a)을 구비하여 상기 미들플레이트(95)가 다운상태일 때, 상기 롤러(93)를 그 내부에 구속한다.
만약, 상기 미들플레이트(95)가 다운상태일 때. 상기 롤러(93)가 고정되지 못하고 반경방향 외방으로 이동할 경우에 상기 제 1 척킹핀(30) 및 제 2 척킹핀(50)의 위치가 회전 원심력에 의해서 반경방향 후방으로 이동하여 대기위치로 가기 때문에 웨이퍼가 고정될 수 없다.
상기 업다운 플레이트(94)는 일면에 상기 실린더가 가압하는 가압부(94a)를, 타면에는 반경방향 외방을 향해 긴변을 갖는 삼각형상부(94b)를 구비한다.
상기 삼각형상부(94b)는 외부 실린더(미도시)의 직선운동에 의해서 상기 업다운 플레이트(94)의 상방 운동시 상기 롤러(93)를 회전시켜서 상기 로드(91)가 반경방향 내방으로 일정거리 이동하도록 한다.
이제 도 5a 내지 도 5c를 참조하여, 본 발명의 일 실시예에 따른 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치의 구동방법에 대해서 자세히 살펴본다.
도 5a 내지 도 5c는 각각 척킹 핀 바디의 이동위치, 작업위치, 대기위치를 설명하기 위하여 도 4의 A 부를 확대한 A부 확대도이다.
도 5a를 참조하여, 상기 척킹 핀 바디(80)가 대기상태에서 작업상태로 이동하는 방법에 대해 설명한다.
상기 업다운 플레이트(94)가 외부 실린더의 상방 직선운동에 의하여 상방으로 이동하면, 상기 업다운 플레이트(94)와 연동하는 상기 록 플레이트(96)가 상방으로 이동하여 상기 록 플레이트(96)의 턱(96a)이 상기 롤러(93) 상부로 벗어나고, 상기 업다운 플레이트(94)의 상면에 반경방향 외방으로 긴변을 갖는 삼각형상부(94a)가 상기 롤러(93)와 접촉하여 상기 롤러(93)를 반시계방향으로 회전시킨다.
상기 롤러(93)의 반시계방향 회전의 반작용으로 상기 로드(91)가 반경방향 내방으로 이동하여 상기 스프링(92b)을 상기 스프링 캡(92a)에 대하여 가압한다.
도 5b를 참조하면, 상기 척킹 핀 바디(80)가 작업상태에 고정되는 방법에 대해 설명한다.
상기 업다운 플레이트(94)가 외부 실린더의 하방 직선운동에 의하여 하방으로 이동하면, 상기 스프링(92b)의 복원력에 의하여 상기 로드(91)가 반경방향 외방으로 이동하려 하지만, 상기 업다운 플레이트(94)와 연동하는 상기 록 플레이트(96)도 하방으로 이동하여 상기 록 플레이트(96)의 턱(96a)이 상기 롤러(93)를 구속하기 때문에, 상기 로드(71)가 작업상태를 유지할 수 있다.
이와 같이 상기 록 플레이트(96)의 턱(96a)에 의하여 상기 롤러(93)가 구속되기 때문에 상기 척킹 핀 바디(80) 상의 제 1 척킹 핀(30) 또는 상기 제 2 척킹 핀(50)은 웨이퍼를 단단히 고정할 수 있다.
만약, 상기 록 플레이트(96)의 턱(96a)에 의하여 상기 롤러(93)의 회전을 구속하지 못할 경우에 상기 척킹 핀 바디(80) 상의 제 1 척킹 핀(30) 또는 상기 제 2 척킹 핀(50)이 상기 웨이퍼의 회전원심력에 의하여 반경방향 외방으로 힘을 받기 때문에 웨이퍼를 안정적으로 고정할 수 없을 것이다.
도 5c를 참조하면, 상기 척킹 핀 바디(80)가 작업상태를 종료하고 대기상태로 복귀하는 방법에 대해 설명한다.
상기 업다운 플레이트(94)가 상기 외부 실린더(90)의 상방 직선운동에 의하여 상방으로 이동하면, 상기 업다운 플레이트(94)와 연동하는 상기 록 플레이트(96)가 롤러(93) 상방으로 이동하여 상기 록 플레이트(96)의 턱(96a)이 상기 롤러(93) 상부로 벗어나고, 상기 로드(93)의 반경방향 내방에 배치된 상기 가압되어 있던 스프링(92b)이 원위치로 복귀하면서 상기 로드(91)를 반경방향 외방으로 일정거리만큼 즉 대기 위치로 이동시킨다.
91 : 로드
92b : 스프링
93 : 롤러
94 : 업다운 플레이트
94b : 삼각형상부
95 : 미들 플레이트
96 : 록 플레이트
96a : 턱

Claims (12)

  1. 원통형 상부몸체 상면에 배치되는 원형 플레이트와,
    상기 원형 플레이트 일부에 반경방향을 따라 형성된 적어도 2 이상의 관통홀과,
    상기 관통홀 내에 수용되며 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 적어도 2 이상의 척킹 핀을 반경방향으로 이격되게 구비하는 척킹 핀 바디와,
    상기 척킹 핀 바디를 상기 관통홀 내에서 일정거리만 이동시키는 일정거리 구동수단을 포함하는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 원형 플레이트의 상부 면에는 상기 적어도 2 이상의 관통홀, 상기 척킹 핀 바디, 및 적어도 2 이상의 척킹 핀이 방사상으로 배치되는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 적어도 2 이상의 척킹 핀은 반경방향으로 내부에 배치되는 제 1 척킹 핀과, 반경방향으로 외부에 배치되는 제 2 척킹 핀을 포함하며, 상기 제 1 척킹 핀과 상기 제 2 척킹핀은 각각 상기 원형 플레이트의 상부 면에 6방향으로 나누어 노출되게 배치되는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 척킹 핀과 제 2 척킹 핀은 머리 모양의 헤드부와 목모양의 목부, 웨이퍼를 지지하는 어깨모양의 숄더부, 상기 숄더부 아래의 몸통부 및 상기 몸통부 아래에 배치되며 상기 척킹 핀 바디의 그루브에 결합되는 각부를 갖도록 내약품성이 좋은 합성수지로 성형되는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 제 2 척킹 핀의 높이는 상기 제 2 척킹 핀의 목부가 상기 제 1 척킹핑의 헤드부 상부에 배치되도록 결정되는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  6. 제 1 항에 있어서,
    상기 관통홀과 상기 척킹 핀 바디는 한쪽 아암이 다른쪽 아암보다 짧은 T자형으로 이루어지며, 상기 관통홀의 아암 사이의 거리 및 몸통의 폭이 일정거리만큼 상기 척킹 핀 바디의 아암 사이의 거리 및 몸통의 폭 보다 큰 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  7. 제 1 항에 있어서,
    상기 일정거리 이동수단은 상기 척킹 핀 바디의 몸통 끝단에 긴 아암방향으로 일단이 연결된 로드와,
    상기 로드의 타단에 결합되어 상기 로드의 원위치로의 복귀를 위한 반경방향 외방으로 이동하는 후방이동부재와,
    상기 후방이동부재에 인접하게 배치되어 상기 로드를 반경방향 내방으로 일정거리만큼 이동시키는 전방이동부재를 포함하는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  8. 제 7 항에 있어서,
    상기 후방이동부재는 상기 로드의 타단에 결합되는 스프링 캡과, 상기 스프링 캡에 의해서 상기 로드의 타단에 장착되는 스프링으로 이루어지는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  9. 제 7 항에 있어서,
    상기 전방이동부재는 상기 로드의 전방측에 상기 로드가 관통 수용된 로드 블록과,
    상기 로드 블록 내에 배치되며, 상기 로드에 달린 롤러와,
    상기 롤러를 외부 실린더의 상방 직선운동에 의하여 상방으로 이동하여 상기 롤러를 회전시키는 업다운 플레이트를 상기 롤러 하방에 포함하는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  10. 제 9 항에 있어서,
    상기 업다운 플레이트는 일면에는 상기 실린더가 가압하는 가압부를, 타면에는 반경방향 외방을 향해 긴변을 갖는 삼각형상부를 구비하는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  11. 제 10 항에 있어서,
    상기 업다운 플레이트에 대향하여 상기 롤러 상방에 상기 업다운 플레이트와 연동하도록 배치되는 미들플레이트와, 상기 미들플레이트의 하부에 상기 롤러를 구속하는 록 플레이트가 구비된 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.
  12. 제 11 항에 있어서,
    상기 록 플레이트는 상기 롤러를 구속하기 위한 반경방향 외방으로 돌출된 3단 턱을 구비하는 서로 다른 사이즈의 기판을 고정할 수 있는 척 장치.

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