JP2006205264A

JP2006205264A - 基板搬送装置

Info

Publication number: JP2006205264A
Application number: JP2005016385A
Authority: JP
Inventors: Nobuyoshi Kobiki; 信義小曳
Original assignee: JEL Corp
Current assignee: JEL Corp
Priority date: 2005-01-25
Filing date: 2005-01-25
Publication date: 2006-08-10

Abstract

【課題】シングルアームの動作と連係して２本のチャックがそれぞれ独立して動作して基板等の搬送を行えるようにする。
【解決手段】チャックに所定の直進動作を付与して基板を基板受け渡し位置まで搬送可能な基板搬送装置において、ベルト７によって回転駆動されるハンド駆動プレート１０と、ハンド駆動プレートの上下位置に配設されハンド駆動プレートの回転動作に追従して旋回可能であって先端にチャック２１Ａ，２２Ａが連結された第１リストブロック１３，第２リストブロック１５と、それぞれのリストブロックのアーム３に対する旋回方向を規制する第１ストッパピン３５，第２ストッパピン３６と、を有する。ハンド駆動プレートと第１リストブロック，第２リストブロックとは磁力結合されており、ハンド駆動プレートが旋回するとストッパピンで規制されない方向についてはリストブロックも磁力結合によってハンド駆動プレートと同時に旋回する。
【選択図】図３

Description

本発明は基板搬送装置に係り、シングルアームに簡単な機構を組み込み、シングルアームの動作と連係して２本の先端ハンドがそれぞれ独立して動作して基板等の搬送を行えるようにした基板搬送装置に関する。

近年、半導体や液晶基板等の製造工程において、基板搬送の効率化、スループットの向上のために、２本の搬送アームが同時に他行程の動作を進行する、ツインアーム（ダブルアーム）方式等の基板搬送装置（搬送ロボット）が主流となっている。しかし、ツインアーム方式の基板搬送装置では、当然、それぞれのアームの旋回、伸長動作を実現するための機構を、各アーム内に装備し、それらが相互に動作するような制御を行わなければならない。これに対して、シングルアームの先端に２本のハンド（フォーク、エンドエフェクタ、フィンガともいわれる。）を設け、シングルアームの動作と連係してそれぞれのハンドの動作を独立して操作可能な機構を組み込み、ツインアーム方式の搬送ロボットと同様の基板搬送動作を実現した先行技術もある（特許文献１，特許文献２参照）。

特許文献１に開示された基板搬送装置ではシングルアームとしての先端アームＡ１，Ａ２は、根元部で支柱６で上下位置に連結された２段構造となっており、それぞれの先端アームＡ１，Ａ２の先端に、上下に接近して配置されたエンドエフェクタＥ１，Ｅ２が支持されている。各エンドエフェクタＥ１，Ｅ２は先端アームＡ１、Ａ２内に内蔵された伝達手段１６，１７によりそれぞれ独立してベースアーム２０に対して所定の旋回、伸長動作が実現できるようになっている。

特許文献２に開示された基板搬送装置では第２アーム４の先端に、上下に接近して配置された第１フォーク５、第２フォーク６とが独立して回転可能な軸１２，１３に支持されている。第１フォーク５、第２フォーク６は軸１２，１３に取り付けられたプーリ１４，１５、ベルト２０，２１を介して第１フォーク５、第２フォーク６とが同心の軸１２，１３回りに所定の角度をなして旋回し、搬送対象の基板等の移し替え作業が実現できるようになっている。

特開２００２−１５８２７２号公報特開２００２−１８４８３４号公報

ところで、特許文献１、特許文献２に開示されたシングルアームの基板搬送装置では、いずれも２本の（先端アームＡ１，Ａ２）、（第１フォーク５、第２フォーク６）が所定の関係を保持して旋回動作を行えるように、アーム（フォーク）の支持軸は中実軸と、その中実軸と同心の中空軸とを有し、それぞれの軸にベルト等の駆動伝達部が連係し、それぞれのアーム（フォーク）の独立動作を実現する必要があり、従来のツインアーム方式の駆動機構に比べて、部品形状は軽量でシンプルになってはいるが、把持機構、駆動伝達機構等を成立させる部品の構成等はほとんど同じであり、機構全体としての簡素化が図れていないのが実情であった。このため全体のコストダウン等もほとんど図られていなかった。

そこで、本発明の目的は上述した従来の技術が有する問題点を解消し、シングルアーム方式の搬送装置の旋回アームの先端に磁石を用いた吸着機構を備え、少ない部材数で構成されたローコストの基板搬送装置を提供することにある。

上記目的を達成するために、本発明は搬送アームの先端の関節部を介して設けられた先端ハンド上に基板を載置保持させて、前記搬送アームを回転駆動軸回りに旋回させるとともに、前記先端ハンドに所定の直進動作を付与して前記基板を基板受け渡し位置まで搬送可能な基板搬送装置において、前記先端ハンドは、前記搬送アーム先端に設けられ回転力を伝達可能な軸保持部材に支持され所定方向に回転可能なハンド駆動部材と、該ハンド駆動部材の上下位置に配設され、前記先端ハンドが先端に連結され、前記ハンド駆動部材の回転動作に追従して旋回可能なハンド根元部材とを有し、前記ハンド駆動部材と前記ハンド根元部材とを磁力吸着して、前記ハンド駆動部材からの回転力が前記ハンド根元部材に直接伝達されるようにしたことを特徴とする。

前記磁力吸着は、前記ハンド駆動部材と前記ハンド根元部材のいずれかに設けられた永久磁石と該永久磁石に吸着される強磁性体との間で生じさせることが好ましい。

前記ハンド根元部材は、前記ハンド駆動部材を挟んだ上下位置に配設され、該ハンド駆動部材の回転力により一方のハンド根元部材が前記搬送アームと所定角度をなして前記ハンド駆動部材の回転に追従して旋回し、他方のハンド根元部材は回転規制部材によって前記搬送アームと所定角度を保持して前記搬送アームの旋回に追従させることが好ましい。

このとき、前記他方のハンド根元部材の位置は、前記搬送アームあるいは前記回転規制部材と、磁力吸引力とで保持されるようにすることが好ましい。

以上に述べたように、本発明によれば、搬送アーム自体をシングルアーム構造とし、少ない簡易な部材によって構成された２本のハンドによる独立動作により、基板搬送を実現でき、装置のコストダウンの効果が得られる。また、基板のパスラインを低くすることができるので、装置として省スペース化、上下方向への移動範囲の拡大を図ることができるという効果も期待できる。

以下、本発明の基板搬送装置の実施するための最良の形態として、以下の実施例について添付図面を参照して説明する。

以下、本発明の基板搬送装置１の一実施例について、添付図面を参照して説明する。図１には、本発明のシングルアーム方式の基板搬送装置１において、第１アーム２、第２アーム３とが一直線状に伸長した状態にあり、第２アーム３の先端の関節部（第３関節部）には、独立して旋回して基板（図示せず）を把持する２本のチャック（ハンド：後述）と、これらをそれぞれ支持する根元部材（リストブロック：後述）が、上下位置に重なった状態で折り返され、第１アーム２の軸線上に位置した退避状態が示されている。

第１アーム２は、仮想線で示された装置本体Ｍの中心軸Ｒ₁と同軸の第１関節部４としての回転駆動軸回りに、図示しない駆動モータにより所定の旋回動作が可能な、中空の扁平アームからなる。そして第１アーム２の幅が細くなった先端部の上面には、第２アーム３が第２関節部５を介して連結されている。さらに、第１アーム２から伝達されたアーム回転駆動力は、この第２関節部５の軸心位置に立設された図示しない支軸に設けられたプーリと駆動ベルト７（図３）とを介して、第２アーム３の先端の第３関節部６の回転支軸としてのプーリ８に伝達され、この伝達機構により、後述する２本のハンド２０（２１，２２）の旋回動作が実現する。以上の説明では、基板を保持する役目を果たすという意味で、シングルアームの先端部材を「チャック」と呼んだが、基板を先端に保持して所定の旋回動作を行う部材の意味でチャックおよびその根元部材のリストブロックを含む部材全体を「ハンド」と呼び、第３関節部６に旋回可能にハンド根元部材に支持された、上側のハンドを第１ハンド２１、下側のハンドを第２ハンド２２と記す。これらのハンド２０は、上述の先行技術のフォーク、先端アームと同義の基板保持部材である。

以下、第２アーム３の第３関節部６で旋回可能に支持された第１ハンド２１、第２ハンド２２の構成について、図２の部分分解斜視図、図３の部分断面図を参照して説明する。第２アーム３内の第３関節部６には、本実施例では、図３に示したように、駆動ベルト７を介して回転駆動力が伝達されるプーリ８が、玉軸受９を介してアーム内面に形成されたフランジ３ｂに回転可能に保持されている。このプーリ８は、その上面の一部が、図２，図３に示したように、第２アーム３の上面においてリング状の回転面８ａとして露出するように、第２アーム３の第３関節部６内に収容されている。この回転面８ａには、後述するハンド駆動プレート１０を保持する軸保持部材としての保持リング１１が底面フランジ１１ａを介してネジ止めされている。さらにこの保持リング１１には、図２に示したように、玉軸受リング１２を介して第２ハンド２２の根元部材としての第２リストブロック１５が外嵌されている。そしてその上にハンド駆動部材としてのハンド駆動プレート１０が固着フランジ１０ａを介して嵌着されている。このハンド駆動プレート１０は保持リング１１と一体となるように密着して嵌め込まれている。これにより、プーリ８の回転駆動力は第２アーム３の上面の回転面８ａ、保持リング１１を介してハンド駆動プレート１０に伝達され、プーリ８の回転に応じた旋回動作が付与される。ハンド駆動プレート１０の上側には、さらに保持リング１１に嵌着された玉軸受リング１４を介して、第１ハンドの根元部材としての第１リストブロック１３が外嵌されている。保持リング１１の高さは図３に示したように、第１リストブロック１３までの各部材を重ねた高さと等しく設定されている。また、この保持リング１１内には、図３に示したように、上方から第３関節部６をわずかに隙間をあけて覆う蓋プレート１７を有する関節部連結リング１６が遊嵌され、その底部は第２アーム３内の底部にネジ止めされている。そして第１リストブロック１３の先端の上面と第２リストブロック１５の先端の下面とには、それぞれ先端に基板が載置される細長平板状のチャック２１Ａ，２２Ａが固着される凹所１３ａ，１５ａが形成されている。チャック２１Ａ，２２Ａ内には先端まで公知の真空吸着パイプ（図示せず）が配管され、ハンド先端に載置された基板（図示せず）が吸着保持されるようになっている。

ここで、第１ハンド２１と第２ハンド２２とが第２アーム３に対して所定の旋回動作あるいは同期動作を実現するための構成について、図２、図３を参照して説明する。
まず、第１ハンド２１、第２ハンド２２の位置保持のために、たとえば本実施例では、第２アーム３の上面と第２ハンド２２とが一直線上に保持されるように、第２アーム３の上面のプーリ８の回転面８ａの周辺位置に平面形状が円形の強磁性体２３が固着されている。一方、第２リストブロック１５の下面の、強磁性体２３に対向する位置には、強磁性体２３とほぼ同形の永久磁石２４が埋設されている。永久磁石２４の磁力が第２アーム３上の強磁性体２３を吸引保持することによって第２リストブロック１５は第２アーム３に対してほぼ同一軸線上の位置を保持できる。一方、関節部連結リング１６の蓋プレート１７の縁部近傍位置には、上述の強磁性体２３と同形の強磁性体２５が嵌着されている。そして第１リストブロック１３の上面にも、これらの強磁性体２５と対向する位置に強磁性体２５とほぼ同形の永久磁石２６が埋設されている。これにより、第１リストブロック１３もこの永久磁石２６と強磁性体２５との間の吸引力によって第２アーム３に対してほぼ同一軸線上、すなわち第２リストブロック１５の上側でハンド駆動プレート１０を挟んで同方向を向いて重なる位置を保持することができる。

ハンド駆動プレート１０は、その旋回方向に応じて上述の第１リストブロック１３あるいは第２リストブロック１５を一体的に駆動する機能を有する。この機能の実現のために、ハンド駆動プレート１０の先端側には、一方の側面に上向きに、反対側の側面に下向きに屈曲して形成された規制フランジ２７，２８が設けられている。本実施例では、これら規制フランジ２７，２８の内側面には薄板状の永久磁石３０，３１が貼着されており、上向きの規制フランジ２７の永久磁石３０には第１リストブロック１３の側面に取着された強磁性体板３２が磁力吸着し、下向きの規制フランジ２８の永久磁石３１には第２リストブロック１５の側面に取着された強磁性体板３３が磁力吸着するようになっている。

ハンド駆動プレート１０には、上述したように、第２アーム３の上面に露出したプーリ８の回転面８ａの回転力が保持リング１１を介して伝達され、第２アーム３との相対的な回転方向（図２中、矢印Ａ方向またはＢ方向）の旋回動作が実現するようになっている。このハンド駆動プレート１０は、図１に示したように第１アーム２と第２アーム３が、重なった屈曲状態（なす角＝０°）の退避位置から、両アーム２，３が旋回途中で一旦、重なるようにその旋回角が制御され旋回するが、ハンド駆動プレート１０の方向は常に軸線Ｃ方向を向くように、その旋回角が制御されている。また、本実施例では、ハンド駆動プレート１０の一方向の相対的な旋回に応じて第１リストブロック１３または第２リストブロック１５のいずれかが相対的な旋回動作をとれるように、第２ストッパピン３５が第２アーム３上面に、第１ストッパピン３６が関節部連結リング１６の蓋プレート１７の下面に突設されている。

［ハンド駆動プレートの相対的な旋回動作と、リストブロックの旋回動作との関係］
ハンド駆動プレート１０の相対的な旋回動作と、第１リストブロック１３と第２リストブロック１５の旋回動作との関係について図２を参照して説明する。図１に示した退避状態では、第１リストブロック１３は磁力吸引により関節部連結リング１６の蓋プレート１７の強磁性体２５の位置に、第２リストブロック１５は磁力吸着により第２アーム３の上面の強磁性体２３の位置に対向して、その位置が保持されている。この状態で、ハンド駆動プレート１０が矢印Ａ方向（図２）に相対的に旋回すると、規制フランジ２７を介して第１リストブロック１３を回転させようとする力が第１リストブロック１３と関節部連結リング１６の蓋プレート１７との磁力吸引を上回って両者による位置保持が解除される。これにより、第１リストブロック１３は、ハンド駆動プレート１０の規制フランジ２７の永久磁石３０が第１リストブロック１３の側面の強磁性体３２に磁力吸着した状態で、矢印Ａ方向に相対的に旋回することができる。このとき、ハンド駆動プレート１０の下側に位置する第２リストブロック１５は第２アーム３上の第２ストッパピン３５に旋回が抑止され、第２リストブロック１５は、第１リストブロック１３が第２アーム３に対して矢印Ａ方向に相対的に旋回する際、ハンド駆動プレート１０からの駆動力の伝達は遮断され、第２リストブロック１５の下面の永久磁石２４が第２アーム３の上面の強磁性体１３に磁力吸着した状態で、第２アーム３と所定の角度を保持して一体的に旋回する。本実施例の図２のストッパピン３５の位置では第２リストブロック１５の方向と第２アーム３との軸線方向が一致するようになっている。

［第１ハンドによる基板搬送動作］
以下、第２ハンド２２が退避状態を保持して、第１アーム２、第２アーム３の旋回、伸長動作に同期して旋回し、第１ハンド２１が所定の基板受け渡し位置に直動することができる動作について、図４を参照して説明する。図４（ａ）は第１アーム２および第２アーム３が一直線状をなし、第１ハンド２１及び第２ハンド２２が第２アーム３上に上下に重なって軸線上の矢印Ｃ方向を向いた状態にある。この退避状態から平面視して第１アーム２が反時計回り（左回り）に第１関節部４の回りに旋回し、この旋回に同期して第２アーム３が第１アーム２となす「逆くの字」（平面視して伸張方向に対し右側に第２関節部が位置する状態）の角を狭めて矢印Ｃ方向と直角な位置で重なり（同図（ｃ））、第１アーム２と第２アーム３とが入れ替わった「逆くの字」の角を広げながら、さらに矢印Ｃ方向に向けて伸張し（同図（ｄ））、最終的に第１アーム２と第２アーム３とが一直線状に伸長し、第３関節部６を支軸として第１リストブロック２１は常に矢印Ｃ方向を向き、その先端のチャックはワークピース受渡し位置に到達する（同図（ｅ））。このとき第２リストブロック１５は、ハンド駆動プレート１０が第２アーム３と相対的に回転すると同時に、ストッパピン３５に当接し、さらに回転力がハンド駆動プレート１０に作用すると、第２リストブロック１５の側面の強磁性体３３と駆動プレート１０の下向きフランジ２８の永久磁石３１との磁力吸引が解け、第２リストブロック１５は第２アーム３と一体化した旋回動作をとり、ワークピース受渡し位置より遠ざかる方向に回転しながら移動（退避）する。この時、ストッパピン３５に当接した第２リストブロック１５がその位置を保持できるように第２アーム３上面の強磁性体２３と第２リストブロック１５下面の永久磁石２４とが磁力吸引された状態に保持されている。

［第２ハンドによる基板搬送動作］
一方、２段に重なっている下側に位置する第２ハンド２２が伸長して基板を所定位置に搬送する動作について図５各図を参照して説明する。図５（ａ）は図４（ａ）と同じく、第１アーム２および第２アーム３が一直線状をなし、第１ハンド２１及び第２ハンド２２が第２アーム３上に上下に重なって軸線上の矢印Ｃ方向を向いた状態を示している。この退避状態から平面視して第１アーム２が時計回り（右回り）に第１関節部４の回りに旋回し、この旋回に同期して第２アーム３が第１アーム２となす「くの字」（平面視して伸張方向に対して左側に第２関節部が位置する状態）の角を狭めて矢印Ｃ方向と直角な位置で重なる（同図（ｃ））。引き続き、第１アーム２と第２アーム３とが入れ替わった「くの字」の角を広げながら、矢印Ｃ方向に向けて伸張し（同図（ｄ））、最終的に第１アーム２と第２アーム３とが一直線状に伸長し、第３関節部６を支軸として第２ハンド２２は矢印Ｃ方向を向き、その先端のチャック２２Ａはワークピース受渡し位置に到達する（同図（ｅ））。このとき第１リストブロック１３は、ハンド駆動プレート１０が第２アーム３と相対的に回転すると同時に、ストッパピン３６に当接し、さらに回転力がハンド駆動プレート１０に作用すると、第１リストブロック１３の側面の強磁性体３２とハンド駆動プレート１０の規制フランジ２７の永久磁石３０との磁力吸引が解け、第１リストブロック１３は第２アーム３と一体となって旋回動作をとり、ワークピース受渡し位置より遠ざかる方向に回転しながら移動（退避）する。このときストッパピン３６に当接した第１リストブロック１３がその位置を保持できるように蓋プレート１７の強磁性体２５と第１リストブロック１３の永久磁石２６とが磁力吸引された状態に保持されている。

［第１ハンドと第２ハンド間の保持角度の変形例］
上述の図４，図５の各図で示した２本のハンド２１，２２の退避タイミングは、一方のハンド（たとえば第１ハンド２１）が完全に伸長した状態で他方のハンド（第２ハンド２２）が一直線状となる退避状態に位置するように、ストッパピン３５，３６の設置位置が調整されていた。そこで、第１ハンド２１，第２ハンド２２の旋回角を規制するストッパピン３５，３６の取付位置（第２ストッパピン３５：第２アーム３の上面、第１ストッパピン３６：関節部連結リング１６の蓋プレート１７の下面）及び強磁性体２３，２５の取付位置とを、上述の実施例の位置から傾けた位置に配置することにより、第１ハンド２１と第２ハンド２２の初期の退避状態を、図６（ａ）に示したように、軸線Ｃから両側に所定の等角度に振った状態に位置させることができる。そして、ハンド駆動プレート１０を矢印Ａ方向に相対的に旋回させることで、第１ハンド２１が軸線Ｃ方向に向いたときに上向きの規制フランジ２７が第１リストブロック１３の強磁性体３２に磁力吸着し、ハンド駆動プレート１０の相対的な旋回動作に伴い、第１アーム２、第２アーム３の旋回角度に連係しながら、常に軸線Ｃ方向を向いて（図６（ｂ））直線移動することができる一方、第２リストブロック１５は第２アーム３上に形成されたストッパピン３５に当接し、その旋回動作が第２アーム３の旋回動作に追従するように動作する。すなわち、本変形例では、第２アーム３の軸線から設定された角度を保持して相対的に旋回するように規定されており、たとえば同図（ｄ）の状態で、第１ハンド２１と第２ハンド２２とが一直線状となる。すなわち、第１ハンド２１が基板受け渡し位置に到達する前に第２ハンド２２は退避位置に到達し、次行程作業を行うことが可能となる。その後、第１ハンド２１が基板受け渡し位置に到達した際に、第２ハンド２２はすでに所定の設定角度だけ、退避位置から旋回した状態にある。

以上の動作と同様に、第２ハンド２２を軸線Ｃ方向に直進させるとともに、第１ハンド２１を第２ハンド２２と所定の角度を保持して一体的に旋回させることができる。このように所定の角度をなして旋回させることで、小型の半導体製造装置内に搬送経路の省スペース化を図ることができる。

また、上述の場合、それぞれのリストブロック１３，１５に、その軸線方向に沿って１本のチャック２１Ａ，２２Ａを取り付けるように設計されているが、フォーク状、枝状をなし、複数の基板を保持できる形状としたチャックを先端に取り付けたり、リストブロックを中心位置としてその両側にハンドを延在させることも可能である。

本実施例では、第２アーム３側に強磁性体２３，２５を、リストブロック側に永久磁石２４，２６を取り付け、ハンド駆動プレート１０の先端を折り曲げて形成されたフランジ２７，２８に永久磁石３０，３１を取り付け、その位置に対向する第１リストブロック１３と第２リストブロック１５の側面に強磁性体３２，３３を取り付け、両者の磁力吸着状態を保持させたが、永久磁石、強磁性体の取付位置は同様の作用を得ることができれば、磁石側、磁性体側等の取付部位も駆動側、従動側を適宜選択して設計することができる。また、永久磁石は細いシート状の金属磁石、セラミックス磁石がハンドの動作時の位置精度を確保するため好適である。加工性のよい可撓性磁石を用いる場合には、位置精度確保のため、位置ガイド、ストッパ等を併用することが好ましい。一方、ステンレス鋼を主材質とするハンドリストブロックの側面には各種の鋼、ニッケル、コバルト合金の強磁性体を適宜、用いることができる。

本発明の基板搬送装置のアームの退避状態を示した斜視図。基板搬送装置の第２アーム先端の部材構成を示した部分分解斜視図。基板搬送装置の第２アーム先端の部材構成を示した部分断面図。搬送アームと第１ハンド２１及び第２ハンド２２の動作状態を示した動作説明図（第１ハンド２１直進）。搬送アームと第１ハンド２１及び第２ハンド２２の動作状態を示した動作説明図（第２ハンド２２直進）。搬送アームの退避状態において第１ハンド２１と第２ハンド２２との間に所定の角度をつけた変形例を示した動作説明図。

符号の説明

１基板搬送装置
２第１アーム
３第２アーム
６第３関節部
１０ハンド駆動プレート
１１保持リング
１３第１リストブロック
１５第２リストブロック
１６関節部連結リング
１７蓋プレート
２０ハンド
２１第１ハンド
２２第２ハンド
２７，２８フランジ
２３，２５，３２，３３強磁性体
２４，２６，３０，３１永久磁石
３５第２ストッパピン
３６第１ストッパピン

Claims

搬送アームの先端の関節部を介して設けられた先端ハンド上に基板を載置保持させて、前記搬送アームを回転駆動軸回りに旋回させるとともに、前記先端ハンドに所定の直進動作を付与して前記基板を基板受け渡し位置まで搬送可能な基板搬送装置において、
前記先端ハンドは、前記搬送アーム先端に設けられ回転力を伝達可能な軸保持部材に支持され所定方向に回転可能なハンド駆動部材と、該ハンド駆動部材の上下位置に配設され、前記先端ハンドが先端に連結され、前記ハンド駆動部材の回転動作に追従して旋回可能なハンド根元部材とを有し、前記ハンド駆動部材と前記ハンド根元部材とを磁力吸着して、前記ハンド駆動部材からの回転力が前記ハンド根元部材に直接伝達されるようにしたことを特徴とする基板搬送装置。
前記磁力吸着は、前記ハンド駆動部材と前記ハンド根元部材のいずれかに設けられた永久磁石と該永久磁石に吸着される強磁性体との間で生じることを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
前記ハンド根元部材は、前記ハンド駆動部材を挟んだ上下位置に配設され、該ハンド駆動部材の回転力により一方のハンド根元部材が前記搬送アームと所定角度をなして前記ハンド駆動部材の回転に追従して旋回し、他方のハンド根元部材は回転規制部材によって前記搬送アームと所定角度を保持して前記搬送アームの旋回に追従することを特徴とする請求項１に記載の基板搬送装置。
前記他方のハンド根元部材の位置は、前記搬送アームあるいは前記回転規制部材と、磁力吸引力とで保持されることを特徴とする請求項３に記載の基板搬送装置。