JP2003019687A - ロボットハンドの駆動装置 - Google Patents
ロボットハンドの駆動装置Info
- Publication number
- JP2003019687A JP2003019687A JP2001202754A JP2001202754A JP2003019687A JP 2003019687 A JP2003019687 A JP 2003019687A JP 2001202754 A JP2001202754 A JP 2001202754A JP 2001202754 A JP2001202754 A JP 2001202754A JP 2003019687 A JP2003019687 A JP 2003019687A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- robot hand
- rotation mechanism
- horizontal
- robot
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Manipulator (AREA)
- Warehouses Or Storage Devices (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】ハンドを反転させる際に、フットプリントの縮
小化を図るとともに基板パスラインの上昇を防止し、さ
らにダブルアーム式ロボットに対しても容易に適用可能
にすること。 【解決手段】ロボットハンド６の駆動装置７は、薄型基
板（ガラス基板）８を保持して移動可能なロボットハン
ドの駆動装置であり、ハンド長手方向と直交する水平軸
９回りにロボットハンド６を回転させる垂直回転機構部
１００と、垂直軸５１回りにロボットハンド６を回転さ
せる水平回転機構部２００とを備える。
小化を図るとともに基板パスラインの上昇を防止し、さ
らにダブルアーム式ロボットに対しても容易に適用可能
にすること。 【解決手段】ロボットハンド６の駆動装置７は、薄型基
板（ガラス基板）８を保持して移動可能なロボットハン
ドの駆動装置であり、ハンド長手方向と直交する水平軸
９回りにロボットハンド６を回転させる垂直回転機構部
１００と、垂直軸５１回りにロボットハンド６を回転さ
せる水平回転機構部２００とを備える。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、ロボットハンドの
駆動装置、詳しくは、半導体ウエハ、液晶ディスプレ
イ、プラズマディスプレイ用ガラス基板等薄型基板を保
持して移動可能なロボットハンドの駆動装置に関する。
駆動装置、詳しくは、半導体ウエハ、液晶ディスプレ
イ、プラズマディスプレイ用ガラス基板等薄型基板を保
持して移動可能なロボットハンドの駆動装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】従来から、スカラロボットなど、薄型基
板を保持して移動可能なハンドを有するロボットにおい
て、図１８に示すような、ハンド６をハンド長手方向と
一致する水平軸３１回りに回転させる垂直回転機構部３
２を備えたタイプのロボットが知られている。
板を保持して移動可能なハンドを有するロボットにおい
て、図１８に示すような、ハンド６をハンド長手方向と
一致する水平軸３１回りに回転させる垂直回転機構部３
２を備えたタイプのロボットが知られている。
【０００３】そして、従来の垂直回転機構部３２を備え
たロボットは、図１８に示すようにアーム４、５を前方
へ伸ばした状態でハンド６を上下反転させたり、あるい
は、図１９に示すようにハンド６を第１アーム５から十
分に離れた高い位置に設定することによって、ハンド６
を上下反転させる際に薄型基板８がアーム４、５と干渉
しないような対策が講じられている。
たロボットは、図１８に示すようにアーム４、５を前方
へ伸ばした状態でハンド６を上下反転させたり、あるい
は、図１９に示すようにハンド６を第１アーム５から十
分に離れた高い位置に設定することによって、ハンド６
を上下反転させる際に薄型基板８がアーム４、５と干渉
しないような対策が講じられている。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前者の
場合、フットプリント（ロボットの公称旋回範囲）が拡
大するという問題があり、また、後者の場合、基板パス
ラインが上昇するという問題があった。また、両者共、
ダブルアーム式のロボットへの適用が困難であった。
場合、フットプリント（ロボットの公称旋回範囲）が拡
大するという問題があり、また、後者の場合、基板パス
ラインが上昇するという問題があった。また、両者共、
ダブルアーム式のロボットへの適用が困難であった。
【０００５】本発明は上記のような従来のロボットの問
題点を解決し、フットプリントの縮小化を図るとともに
基板パスラインの上昇を防止し、さらにダブルアーム式
ロボットに対しても容易に適用可能にすることを目的と
する。
題点を解決し、フットプリントの縮小化を図るとともに
基板パスラインの上昇を防止し、さらにダブルアーム式
ロボットに対しても容易に適用可能にすることを目的と
する。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明によるロボットハ
ンドの駆動装置は、薄型基板を保持して移動可能なロボ
ットハンドの駆動装置であって、ハンド長手方向と直交
する水平軸回りに前記ロボットハンドを回転させる垂直
回転機構部と、垂直軸回りに前記ロボットハンドを回転
させる水平回転機構部とを備えることを特徴とする。
ンドの駆動装置は、薄型基板を保持して移動可能なロボ
ットハンドの駆動装置であって、ハンド長手方向と直交
する水平軸回りに前記ロボットハンドを回転させる垂直
回転機構部と、垂直軸回りに前記ロボットハンドを回転
させる水平回転機構部とを備えることを特徴とする。
【０００７】ここで、前記薄型基板を保持しているロボ
ットハンドを前記垂直回転機構部によって回転させる
間、前記薄型基板の中心位置をハンド長手方向において
定位置に維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手
方向における位置を制御する。
ットハンドを前記垂直回転機構部によって回転させる
間、前記薄型基板の中心位置をハンド長手方向において
定位置に維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手
方向における位置を制御する。
【０００８】前記水平回転機構部は前記垂直回転機構部
を水平方向へ回転させることによって前記ロボットハン
ドを水平方向へ回転させる。
を水平方向へ回転させることによって前記ロボットハン
ドを水平方向へ回転させる。
【０００９】前記薄型基板を保持している水平状態にあ
るロボットハンドを前記垂直回転機構部により垂直方向
へ９０°回転させて鉛直状態に変化させ、次に、この鉛
直状態にあるロボットハンドを前記水平回転機構部によ
り水平方向へ１８０°回転させて前後反転状態に変化さ
せ、次に、この前後反転状態にあるロボットハンドを垂
直方向へ９０°回転させて上下反転状態に変化させるこ
とにより、前記薄型基板を保持している水平状態にある
ロボットハンドを上下反転させた状態に変化させる。
るロボットハンドを前記垂直回転機構部により垂直方向
へ９０°回転させて鉛直状態に変化させ、次に、この鉛
直状態にあるロボットハンドを前記水平回転機構部によ
り水平方向へ１８０°回転させて前後反転状態に変化さ
せ、次に、この前後反転状態にあるロボットハンドを垂
直方向へ９０°回転させて上下反転状態に変化させるこ
とにより、前記薄型基板を保持している水平状態にある
ロボットハンドを上下反転させた状態に変化させる。
【００１０】前記水平軸にギヤバックラッシュ抑制機構
が配設される。
が配設される。
【００１１】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１２】図１は、一実施形態に係るロボットハンド
の駆動装置が組み込まれたスカラロボットの側面図、図
２は、同スカラロボットの要部の概略斜視図を示す。
の駆動装置が組み込まれたスカラロボットの側面図、図
２は、同スカラロボットの要部の概略斜視図を示す。
【００１３】図１及び図２において、スカラロボット１
は、機台２と胴体３と第２アーム４と第１アーム５とハ
ンド６とを備える。第１アーム５及び第２アーム４の内
部には、公知のプーリ、タイミングベルトなどが配備さ
れており、ハンド６は、公知のスカラロボットのハンド
と同様、基本的に、胴体部３の昇降動作及び旋回動作を
基に昇降及び旋回し、また、第２アーム４及び第１アー
ム５の屈伸動作によって水平面上の直線軌道上を移動可
能に構成されている。また、ハンド６は、本実施形態の
場合、真空吸着式ハンドであり、通常の状態つまり上下
反転していない状態ではその上面６ａ側でガラス基板８
を吸着保持する。
は、機台２と胴体３と第２アーム４と第１アーム５とハ
ンド６とを備える。第１アーム５及び第２アーム４の内
部には、公知のプーリ、タイミングベルトなどが配備さ
れており、ハンド６は、公知のスカラロボットのハンド
と同様、基本的に、胴体部３の昇降動作及び旋回動作を
基に昇降及び旋回し、また、第２アーム４及び第１アー
ム５の屈伸動作によって水平面上の直線軌道上を移動可
能に構成されている。また、ハンド６は、本実施形態の
場合、真空吸着式ハンドであり、通常の状態つまり上下
反転していない状態ではその上面６ａ側でガラス基板８
を吸着保持する。
【００１４】駆動装置７はハンド６の元部６ｂに配設さ
れ、垂直回転機構部１００と水平回転機構部２００とに
より構成される。
れ、垂直回転機構部１００と水平回転機構部２００とに
より構成される。
【００１５】垂直回転機構部１００は、ハンド長手方向
と直交する水平軸９回りにハンド６を回転させる機構を
有し、ハンド６は、最大１８０°＋α（αはハンド６の
撓みを考慮した補正角度である。）回転可能である。
と直交する水平軸９回りにハンド６を回転させる機構を
有し、ハンド６は、最大１８０°＋α（αはハンド６の
撓みを考慮した補正角度である。）回転可能である。
【００１６】水平回転機構部２００は、垂直軸５１回り
にハンド６を回転させる機構を有し、ハンド６は、最大
１８０°＋α（αはハンド６の撓みを考慮した補正角度
である。）回転可能である。
にハンド６を回転させる機構を有し、ハンド６は、最大
１８０°＋α（αはハンド６の撓みを考慮した補正角度
である。）回転可能である。
【００１７】図３は、垂直回転機構部１００及び水平回
転機構部２００を正面から見た断面図、図４は、垂直回
転機構部１００のハウジング内部の構成を示す平面図、
図５は、垂直回転機構部２００を側面から見た断面図、
図６は、ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図をそれぞ
れ示す。
転機構部２００を正面から見た断面図、図４は、垂直回
転機構部１００のハウジング内部の構成を示す平面図、
図５は、垂直回転機構部２００を側面から見た断面図、
図６は、ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図をそれぞ
れ示す。
【００１８】図３において、水平回転機構部２００は、
第１アーム５内部のプーリ（図示せず）に固着されるブ
ラケット５２を備え、このブラケット５２にモータ５３
が保持されている。モータ５３の出力軸には小径ギヤ５
４が固着され、この小径ギヤ５４に大径ギヤ５５が噛み
合っている。大径ギヤ５５は軸受５６を介してブラケッ
ト５２の円筒部５７の外周に回動自在に保持されてい
る。大径ギヤ５５の上部はフランジ部６０に固着されて
おり、フランジ部６０は垂直回転機構部１００のハウジ
ング１０の下端部に固着されている。
第１アーム５内部のプーリ（図示せず）に固着されるブ
ラケット５２を備え、このブラケット５２にモータ５３
が保持されている。モータ５３の出力軸には小径ギヤ５
４が固着され、この小径ギヤ５４に大径ギヤ５５が噛み
合っている。大径ギヤ５５は軸受５６を介してブラケッ
ト５２の円筒部５７の外周に回動自在に保持されてい
る。大径ギヤ５５の上部はフランジ部６０に固着されて
おり、フランジ部６０は垂直回転機構部１００のハウジ
ング１０の下端部に固着されている。
【００１９】水平回転機構部２００は、モータ５３の停
止時には、小径ギヤ５４と大径ギヤ５５との噛み合いに
より、垂直軸５１を回転軸とする垂直回転機構部１００
のハウジング１０の回転位置を一定に保つ。モータ５３
が回転すると、小径ギヤ５４を介して大径ギヤ５５が回
転し、垂直軸５１回りにハウジング１０を回転させる。
なお、本実施形態の水平回転機構部２００は、小径ギヤ
５４と大径ギヤ５５の組み合わせであるが、他に、プー
リーとベルトとの組み合わせ、又はウオーム軸とウオー
ムホイールとの組み合わせ、又はダイレクトドライブモ
ータによっても実現可能である。
止時には、小径ギヤ５４と大径ギヤ５５との噛み合いに
より、垂直軸５１を回転軸とする垂直回転機構部１００
のハウジング１０の回転位置を一定に保つ。モータ５３
が回転すると、小径ギヤ５４を介して大径ギヤ５５が回
転し、垂直軸５１回りにハウジング１０を回転させる。
なお、本実施形態の水平回転機構部２００は、小径ギヤ
５４と大径ギヤ５５の組み合わせであるが、他に、プー
リーとベルトとの組み合わせ、又はウオーム軸とウオー
ムホイールとの組み合わせ、又はダイレクトドライブモ
ータによっても実現可能である。
【００２０】図３〜図６において、垂直回転機構部１０
０は、ハンド６の元部６ｂに固着され、ハンド６の直線
軌道（長手方向）と直交する水平軸（反転軸）９を備え
る。水平軸９は、ハウジング１０に配設された軸受部１
１、１２によって回転自在に保持されており、水平軸９
の一端にウオームホイール１３が固着されている。ウオ
ームホイール１３は、ハンド６の直線軌道と平行に配置
されたウオーム軸１４と噛合しており、ウオーム軸１４
はプーリ１５に固着されている。ハウジング１０の内部
にはモータ１６が配設されている。モータ１６の出力軸
にはプーリ１７が固着されており、このプーリ１７と上
記プーリ１５との間にタイミングベルト１８が掛け渡さ
れている。
０は、ハンド６の元部６ｂに固着され、ハンド６の直線
軌道（長手方向）と直交する水平軸（反転軸）９を備え
る。水平軸９は、ハウジング１０に配設された軸受部１
１、１２によって回転自在に保持されており、水平軸９
の一端にウオームホイール１３が固着されている。ウオ
ームホイール１３は、ハンド６の直線軌道と平行に配置
されたウオーム軸１４と噛合しており、ウオーム軸１４
はプーリ１５に固着されている。ハウジング１０の内部
にはモータ１６が配設されている。モータ１６の出力軸
にはプーリ１７が固着されており、このプーリ１７と上
記プーリ１５との間にタイミングベルト１８が掛け渡さ
れている。
【００２１】垂直回転機構部１００において、ハンド６
が図２に実線で示す通常状態に維持されているときにモ
ータ１６を所定の期間回転させると、動力伝達機構（プ
ーリ１７、タイミングベルト１８、プーリ１５、ウオー
ム軸１４及びウオームホイール１３）を介して水平軸９
が回転し、ハンド６は図２に二点鎖線で示す鉛直状態へ
と変わることができる。その後、ハンド６が鉛直状態に
おいて１８０°垂直軸５１回りに回転した後、モータ１
６を所定の期間上記回転方向と同一方向へ回転させる
と、動力伝達機構１７、１８、１５、１４、１３を介し
て水平軸９が回転し、ハンド６は通常状態に復帰するこ
とができる。ところで、ハンド６は、図６（Ａ）に示す
ような鉛直状態付近において、ギヤ装置１４、１３のバ
ックラッシュによりハンド６にがたつきが発生するおそ
れがある。このため、ギヤバックラッシュ抑制機構を設
けることが好ましい。図３に示すコイルばね４１は、第
１のギヤバックラッシュ抑制機構を構成する。コイルば
ね４１は、水平軸９に外嵌されており、水平軸９が鉛直
方向へ回転するときこの回転方向と反対方向の力を水平
軸９に対して加えるよう構成され、バックラッシュを防
止する。図６（Ｂ）、（Ｃ）は、第２のギヤバックラッ
シュ抑制機構の構成を概念的に示す。このギヤバックラ
ッシュ抑制機構は、互いに対向配置された一対の板ばね
１９、２０の間に、水平軸９と一体となって回転するロ
ータ部２１を配して構成される。ロータ部２１は両端に
板ばね１９、２０と当接可能なローラ２２、２３を備え
る。ロータ部２１は、ハンド６が通常状態にあるときは
図６（Ｂ）に示すように二つのローラ２２、２３が一対
の板ばね１９、２０から離れた状態にあり、ハンド６の
回転時、ハンド６が通常状態から９０°回転する前にお
いて一対の板ばね１９、２０と当接を開始して板ばね１
９、２０を弾性変形させ、ハンド６が９０°回転したと
き図６（Ｃ）に示すように一対の板ばね１９、２０から
十分大きな弾性復帰力（押圧力）を受けるよう動作す
る。これにより、バックラッシュを防止できハンド６に
がたつきが発生しなくなる。上述した第１、第２のギヤ
バックラッシュ抑制機構は、いずれか一方のみ装備する
ようにしてもよいし、両方装備するようにしてもよい。
が図２に実線で示す通常状態に維持されているときにモ
ータ１６を所定の期間回転させると、動力伝達機構（プ
ーリ１７、タイミングベルト１８、プーリ１５、ウオー
ム軸１４及びウオームホイール１３）を介して水平軸９
が回転し、ハンド６は図２に二点鎖線で示す鉛直状態へ
と変わることができる。その後、ハンド６が鉛直状態に
おいて１８０°垂直軸５１回りに回転した後、モータ１
６を所定の期間上記回転方向と同一方向へ回転させる
と、動力伝達機構１７、１８、１５、１４、１３を介し
て水平軸９が回転し、ハンド６は通常状態に復帰するこ
とができる。ところで、ハンド６は、図６（Ａ）に示す
ような鉛直状態付近において、ギヤ装置１４、１３のバ
ックラッシュによりハンド６にがたつきが発生するおそ
れがある。このため、ギヤバックラッシュ抑制機構を設
けることが好ましい。図３に示すコイルばね４１は、第
１のギヤバックラッシュ抑制機構を構成する。コイルば
ね４１は、水平軸９に外嵌されており、水平軸９が鉛直
方向へ回転するときこの回転方向と反対方向の力を水平
軸９に対して加えるよう構成され、バックラッシュを防
止する。図６（Ｂ）、（Ｃ）は、第２のギヤバックラッ
シュ抑制機構の構成を概念的に示す。このギヤバックラ
ッシュ抑制機構は、互いに対向配置された一対の板ばね
１９、２０の間に、水平軸９と一体となって回転するロ
ータ部２１を配して構成される。ロータ部２１は両端に
板ばね１９、２０と当接可能なローラ２２、２３を備え
る。ロータ部２１は、ハンド６が通常状態にあるときは
図６（Ｂ）に示すように二つのローラ２２、２３が一対
の板ばね１９、２０から離れた状態にあり、ハンド６の
回転時、ハンド６が通常状態から９０°回転する前にお
いて一対の板ばね１９、２０と当接を開始して板ばね１
９、２０を弾性変形させ、ハンド６が９０°回転したと
き図６（Ｃ）に示すように一対の板ばね１９、２０から
十分大きな弾性復帰力（押圧力）を受けるよう動作す
る。これにより、バックラッシュを防止できハンド６に
がたつきが発生しなくなる。上述した第１、第２のギヤ
バックラッシュ抑制機構は、いずれか一方のみ装備する
ようにしてもよいし、両方装備するようにしてもよい。
【００２２】ハンド６の水平軸９回りの回転時、水平軸
９が直線軌道上の定位置を維持しながらハンド６を回転
させること、換言すると、第１アーム５及び第２アーム
４を一切動かさないでハンド６のみを回転させることを
積極的に除外するものではないが、ハンド６の回転時に
ガラス基板８が受ける風圧を考慮すると、水平軸９の直
線軌道上の位置を変えながらハンド６を回転させるこ
と、換言すると、第１アーム５及び第２アーム４を動か
しながらハンド６を回転させることの方が好ましい。こ
の場合、図７に示すように、ガラス基板８の中心位置を
直線軌道方向において定位置に維持するよう、第１アー
ム５及び第２アーム４の動作を制御する、換言すると、
ハンド６の直線軌道方向における位置を制御するように
する。なお、このような制御は、図示しない制御回路に
よる演算処理に基づいて行われる。
９が直線軌道上の定位置を維持しながらハンド６を回転
させること、換言すると、第１アーム５及び第２アーム
４を一切動かさないでハンド６のみを回転させることを
積極的に除外するものではないが、ハンド６の回転時に
ガラス基板８が受ける風圧を考慮すると、水平軸９の直
線軌道上の位置を変えながらハンド６を回転させるこ
と、換言すると、第１アーム５及び第２アーム４を動か
しながらハンド６を回転させることの方が好ましい。こ
の場合、図７に示すように、ガラス基板８の中心位置を
直線軌道方向において定位置に維持するよう、第１アー
ム５及び第２アーム４の動作を制御する、換言すると、
ハンド６の直線軌道方向における位置を制御するように
する。なお、このような制御は、図示しない制御回路に
よる演算処理に基づいて行われる。
【００２３】次に、上記のように構成されたスカラロボ
ット１の一連の動作例を図８〜図１５に基づいて説明す
る。
ット１の一連の動作例を図８〜図１５に基づいて説明す
る。
【００２４】まず、図８（Ａ）、（Ｂ）に示すように、
カセット２４内からガラス基板８を取り出すため、スカ
ラロボット１をカセット２４に正対させる。次に、図９
（Ａ）、（Ｂ）に示すように、取り出したいガラス基板
８の真下までハンド６を前進させ、ハンド６を上昇させ
てハンド６の上面６ａにガラス基板８を載せるとともに
吸着する。次に、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すように、
ハンド６を図８（Ａ）、（Ｂ）と同じ位置まで後退させ
る。次に、垂直回転機構部１００によりハンド６を９０
°水平軸９回りに回転させる。この回転の間、上述した
ように、ガラス基板８の中心位置を直線軌道方向におい
て定位置に維持するよう、第１アーム５及び第２アーム
４の動作が制御される、換言すると、ハンド６の直線軌
道方向における位置が制御される。図１１（Ａ）、
（Ｂ）は、この回転時、ガラス基板８が鉛直状態となっ
たときのスカラロボット１の形態を示す。次に、水平回
転機構部２００によりハンド６を１８０°垂直軸５１回
りに回転させ、スカラロボット１を図１２（Ａ）、
（Ｂ）に示す状態、つまり、ハンド６の前後が反転した
状態にする。次に、垂直回転機構部１００によりハンド
６を図１０（Ａ）、（Ｂ）と略同じ水平状態に戻すよう
に９０°水平軸９回りに回転させる。この回転の間、上
述したようなハンド６を水平軸９回りに回転させたとき
と同様、ガラス基板８の中心位置を直線軌道方向におい
て定位置に維持するよう、第１アーム５及び第２アーム
４の動作を制御する。図１３（Ａ）、（Ｂ）は、ハンド
６が水平状態に戻ったときのスカラロボット１の形態を
示し、ハンド６は、図１０の状態から上下が反転した状
態となり、通常状態のときに上面６ａとなる保持面が下
側に位置し、この保持面で下方からガラス基板８を吸着
保持する。次に、胴体３を１８０°旋回させ、スカラロ
ボット１を図１４（Ａ）、（Ｂ）に示すような形態にし
た後、図１５に示すように、ハンド６を前進させ載置台
２５の上にガラス基板８を載せる。
カセット２４内からガラス基板８を取り出すため、スカ
ラロボット１をカセット２４に正対させる。次に、図９
（Ａ）、（Ｂ）に示すように、取り出したいガラス基板
８の真下までハンド６を前進させ、ハンド６を上昇させ
てハンド６の上面６ａにガラス基板８を載せるとともに
吸着する。次に、図１０（Ａ）、（Ｂ）に示すように、
ハンド６を図８（Ａ）、（Ｂ）と同じ位置まで後退させ
る。次に、垂直回転機構部１００によりハンド６を９０
°水平軸９回りに回転させる。この回転の間、上述した
ように、ガラス基板８の中心位置を直線軌道方向におい
て定位置に維持するよう、第１アーム５及び第２アーム
４の動作が制御される、換言すると、ハンド６の直線軌
道方向における位置が制御される。図１１（Ａ）、
（Ｂ）は、この回転時、ガラス基板８が鉛直状態となっ
たときのスカラロボット１の形態を示す。次に、水平回
転機構部２００によりハンド６を１８０°垂直軸５１回
りに回転させ、スカラロボット１を図１２（Ａ）、
（Ｂ）に示す状態、つまり、ハンド６の前後が反転した
状態にする。次に、垂直回転機構部１００によりハンド
６を図１０（Ａ）、（Ｂ）と略同じ水平状態に戻すよう
に９０°水平軸９回りに回転させる。この回転の間、上
述したようなハンド６を水平軸９回りに回転させたとき
と同様、ガラス基板８の中心位置を直線軌道方向におい
て定位置に維持するよう、第１アーム５及び第２アーム
４の動作を制御する。図１３（Ａ）、（Ｂ）は、ハンド
６が水平状態に戻ったときのスカラロボット１の形態を
示し、ハンド６は、図１０の状態から上下が反転した状
態となり、通常状態のときに上面６ａとなる保持面が下
側に位置し、この保持面で下方からガラス基板８を吸着
保持する。次に、胴体３を１８０°旋回させ、スカラロ
ボット１を図１４（Ａ）、（Ｂ）に示すような形態にし
た後、図１５に示すように、ハンド６を前進させ載置台
２５の上にガラス基板８を載せる。
【００２５】以上説明したように、本実施形態に係るロ
ボットハンド６の駆動装置７は、薄型基板（ガラス基
板）８を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置
であって、ハンド長手方向と直交する水平軸９回りにロ
ボットハンド６を回転させる垂直回転機構部１００と、
垂直軸５１回りにロボットハンド６を回転させる水平回
転機構部２００とを備える。本実施形態によると、ロボ
ット１のアーム４、５を屈状態にしたままの状態で、水
平状態にあるハンド６を垂直回転機構部１００により垂
直方向へ９０°回転させて鉛直状態に変化させ、次に、
この鉛直状態にあるハンド６を水平回転機構部２００に
より水平方向へ１８０°回転させて前後反転状態に変化
させ、次に、この前後反転状態にあるハンド６を垂直方
向へ９０°回転させて上下反転状態に変化させることに
より、薄型基板８を保持している水平状態にあるハンド
６を上下反転させた状態に変化させることができ、この
間薄型基板８とアーム４、５との干渉が発生しないた
め、フットプリントが縮小される。また、ハンド６をア
ーム４、５から近い高さ位置に設定しておいても、薄型
基板８とアーム４、５との干渉を招くことなくハンド６
を反転させることができるため、基板パスラインの上昇
を防止することができる。
ボットハンド６の駆動装置７は、薄型基板（ガラス基
板）８を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置
であって、ハンド長手方向と直交する水平軸９回りにロ
ボットハンド６を回転させる垂直回転機構部１００と、
垂直軸５１回りにロボットハンド６を回転させる水平回
転機構部２００とを備える。本実施形態によると、ロボ
ット１のアーム４、５を屈状態にしたままの状態で、水
平状態にあるハンド６を垂直回転機構部１００により垂
直方向へ９０°回転させて鉛直状態に変化させ、次に、
この鉛直状態にあるハンド６を水平回転機構部２００に
より水平方向へ１８０°回転させて前後反転状態に変化
させ、次に、この前後反転状態にあるハンド６を垂直方
向へ９０°回転させて上下反転状態に変化させることに
より、薄型基板８を保持している水平状態にあるハンド
６を上下反転させた状態に変化させることができ、この
間薄型基板８とアーム４、５との干渉が発生しないた
め、フットプリントが縮小される。また、ハンド６をア
ーム４、５から近い高さ位置に設定しておいても、薄型
基板８とアーム４、５との干渉を招くことなくハンド６
を反転させることができるため、基板パスラインの上昇
を防止することができる。
【００２６】また、本実施形態は、薄型基板８を保持し
ているロボットハンド６を垂直回転機構部１００によっ
て回転させる間、薄型基板８の中心位置を直線軌道方向
（ハンド長手方向）において定位置に維持するようロボ
ットハンド６の直線軌道方向（ハンド長手方向）におけ
る位置を制御する。このため、ハンド６の回転時に薄型
基板８が受ける風圧を減少させることができ、ハンド６
の回転速度の増大を図ることができる。
ているロボットハンド６を垂直回転機構部１００によっ
て回転させる間、薄型基板８の中心位置を直線軌道方向
（ハンド長手方向）において定位置に維持するようロボ
ットハンド６の直線軌道方向（ハンド長手方向）におけ
る位置を制御する。このため、ハンド６の回転時に薄型
基板８が受ける風圧を減少させることができ、ハンド６
の回転速度の増大を図ることができる。
【００２７】また、ギヤバックラッシュ抑制機構（一対
の板ばね１９、２０、ロータ部２１、ローラ２２、２
３、コイルばね４１）を設けることにより、ハンド６が
鉛直状態付近を通過するときのギヤ装置１４、１３のバ
ックラッシュによるハンド６のがたつきを防止すること
ができる。
の板ばね１９、２０、ロータ部２１、ローラ２２、２
３、コイルばね４１）を設けることにより、ハンド６が
鉛直状態付近を通過するときのギヤ装置１４、１３のバ
ックラッシュによるハンド６のがたつきを防止すること
ができる。
【００２８】なお、上記実施形態はガラス基板８を搬送
するロボットについて説明したが、ガラス基板８の代わ
りに半導体ウエハなど、その他の薄型基板を搬送するロ
ボットにも容易に適用できることは言うまでもない。ま
た、多関節ロボットにも適用可能である。
するロボットについて説明したが、ガラス基板８の代わ
りに半導体ウエハなど、その他の薄型基板を搬送するロ
ボットにも容易に適用できることは言うまでもない。ま
た、多関節ロボットにも適用可能である。
【００２９】図１６（Ａ）、（Ｂ）は、本発明の他の実
施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルアーム
仕様のスカラロボット２６の上側のハンド２７に垂直回
転機構部１００及び水平回転機構部２００を設けたもの
である。垂直回転機構部１００及び水平回転機構部２０
０は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルアーム
仕様のスカラロボット２６の上側のハンド２７に垂直回
転機構部１００及び水平回転機構部２００を設けたもの
である。垂直回転機構部１００及び水平回転機構部２０
０は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
【００３０】また、図１７（Ａ）、（Ｂ）は、さらに他
の実施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルア
ーム仕様の直動型ロボット２８の上側のハンド２９に垂
直回転機構部１００及び水平回転機構部２００を設けた
ものである。垂直回転機構部１００及び水平回転機構部
２００は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
の実施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルア
ーム仕様の直動型ロボット２８の上側のハンド２９に垂
直回転機構部１００及び水平回転機構部２００を設けた
ものである。垂直回転機構部１００及び水平回転機構部
２００は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
【００３１】図１６及び図１７から明らかなように、本
発明は、ダブルアーム式ロボット２６、２８に対しても
容易に適用可能である。
発明は、ダブルアーム式ロボット２６、２８に対しても
容易に適用可能である。
【００３２】
【発明の効果】本発明によると、ハンドを最終的に反転
させる際、フットプリントの縮小化を図ることができる
とともに基板パスラインの上昇を防止することができ
る。また、ダブルアーム式ロボットに対しても容易に適
用可能になる。
させる際、フットプリントの縮小化を図ることができる
とともに基板パスラインの上昇を防止することができ
る。また、ダブルアーム式ロボットに対しても容易に適
用可能になる。
【図１】本発明の一実施形態に係るロボットハンドの駆
動装置が組み込まれたシングルアーム式スカラロボット
の側面図である。
動装置が組み込まれたシングルアーム式スカラロボット
の側面図である。
【図２】同スカラロボットの要部の概略斜視図である。
【図３】駆動装置（垂直回転機構部及び水平回転機構
部）を正面から見た断面図である。
部）を正面から見た断面図である。
【図４】垂直回転機構部のハウジング内部の構成を示す
平面図である。
平面図である。
【図５】垂直回転機構部の側面から見た断面図である。
【図６】ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図である。
【図７】ハンドの水平軸回りの回転時のガラス基板の状
態変位図である。
態変位図である。
【図８】スカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及
び側面図である。
び側面図である。
【図９】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜
視図及び側面図である。
視図及び側面図である。
【図１０】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す
斜視図及び側面図である。
斜視図及び側面図である。
【図１１】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す
斜視図及び側面図である。
斜視図及び側面図である。
【図１２】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す
斜視図及び側面図である。
斜視図及び側面図である。
【図１３】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す
斜視図及び側面図である。
斜視図及び側面図である。
【図１４】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図１５】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す
斜視図である。
斜視図である。
【図１６】本発明の他の実施形態に係るダブルアーム仕
様のスカラロボットの斜視図及び正面図である。
様のスカラロボットの斜視図及び正面図である。
【図１７】本発明のさらに他の実施形態に係るダブルア
ーム仕様の直動型ロボットの斜視図及び正面図である。
ーム仕様の直動型ロボットの斜視図及び正面図である。
【図１８】従来のスカラロボットの垂直回転機構部の問
題点を示す斜視図である。
題点を示す斜視図である。
【図１９】同じく従来のスカラロボットの垂直回転機構
部の問題点を示す側面図である。
部の問題点を示す側面図である。
４、５ アーム
６ ハンド（ロボットハンド）
７ 駆動装置
８ ガラス基板（薄型基板）
９ 水平軸
１９、２０ 一対の板ばね（ギヤバックラッシュ抑制
機構） ２１ ロータ部（ギヤバックラッシュ抑制機構） ２２、２３ ローラ（ギヤバックラッシュ抑制機構） ４１ コイルばね ５１ 垂直軸 １００ 垂直回転機構部 ２００ 水平回転機構部
機構） ２１ ロータ部（ギヤバックラッシュ抑制機構） ２２、２３ ローラ（ギヤバックラッシュ抑制機構） ４１ コイルばね ５１ 垂直軸 １００ 垂直回転機構部 ２００ 水平回転機構部
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 加藤 克彦
愛知県一宮市多加木二丁目７番30号 株式
会社アイテック内
(72)発明者 中野 清憲
愛知県一宮市多加木二丁目７番30号 株式
会社アイテック内
Ｆターム(参考） 3C007 AS03 AS24 BS15 BS26 BT04
CT04 CV07 CW07 HS27 HT02
HT21 HT23 HT31 NS09 NS12
NS13
3F022 AA08 CC02 EE05 KK01 KK10
KK18 KK20
5F031 CA02 CA05 FA01 FA02 FA11
FA18 FA20 GA02 GA03 GA04
Claims (5)
- 【請求項１】 薄型基板を保持して移動可能なロボット
ハンドの駆動装置であって、 ハンド長手方向と直交する水平軸回りに前記ロボットハ
ンドを回転させる垂直回転機構部と、垂直軸回りに前記
ロボットハンドを回転させる水平回転機構部とを備える
ことを特徴とするロボットハンドの駆動装置。 - 【請求項２】 前記薄型基板を保持しているロボットハ
ンドを前記垂直回転機構部によって回転させる間、前記
薄型基板の中心位置をハンド長手方向において定位置に
維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手方向にお
ける位置を制御することを特徴とする請求項１記載のロ
ボットハンドの駆動装置。 - 【請求項３】 前記水平回転機構部は前記垂直回転機構
部を水平方向へ回転させることによって前記ロボットハ
ンドを水平方向へ回転させることを特徴とする請求項１
又は２記載のロボットハンドの駆動装置。 - 【請求項４】 前記薄型基板を保持している水平状態に
あるロボットハンドを前記垂直回転機構部により垂直方
向へ９０°回転させて鉛直状態に変化させ、次に、この
鉛直状態にあるロボットハンドを前記水平回転機構部に
より水平方向へ１８０°回転させて前後反転状態に変化
させ、次に、この前後反転状態にあるロボットハンドを
垂直方向へ９０°回転させて上下反転状態に変化させる
ことにより、前記薄型基板を保持している水平状態にあ
るロボットハンドを上下反転させた状態に変化させるこ
とを特徴とする請求項１、２又は３記載のロボットハン
ドの駆動装置。 - 【請求項５】 前記水平軸にギヤバックラッシュ抑制機
構が配設されることを特徴とする請求項１、２、３又は
４記載のロボットハンドの駆動装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001202754A JP4545996B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | ロボットハンドの駆動装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001202754A JP4545996B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | ロボットハンドの駆動装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003019687A true JP2003019687A (ja) | 2003-01-21 |
| JP4545996B2 JP4545996B2 (ja) | 2010-09-15 |
Family
ID=19039502
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001202754A Expired - Fee Related JP4545996B2 (ja) | 2001-07-03 | 2001-07-03 | ロボットハンドの駆動装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP4545996B2 (ja) |
Cited By (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2011102010A1 (ja) * | 2010-02-17 | 2011-08-25 | 住友化学株式会社 | 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム |
| WO2011122005A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 住友化学株式会社 | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における反転機構 |
| WO2011122006A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 住友化学株式会社 | 基板搬送機構、偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム |
| JP2011209722A (ja) * | 2011-03-17 | 2011-10-20 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における反転機構 |
| JP2011233867A (ja) * | 2011-03-17 | 2011-11-17 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構 |
| CN102395918A (zh) * | 2010-04-23 | 2012-03-28 | 住友化学株式会社 | 偏振膜的贴合装置以及具有该贴合装置的液晶显示装置的制造系统 |
| CN103802090A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-21 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种双臂搬运机械手 |
| CN103817706A (zh) * | 2012-11-16 | 2014-05-28 | 株式会社安川电机 | 机器人臂、机器人及机器人操作方法 |
| KR20170053705A (ko) * | 2014-10-10 | 2017-05-16 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 웨이퍼 반송 방법 및 장치 |
| KR101823718B1 (ko) | 2011-01-19 | 2018-01-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반전 장치, 기판 반전 방법 및 박리 시스템 |
| WO2019207687A1 (ja) * | 2018-04-25 | 2019-10-31 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| CN112857937A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-05-28 | 吉林省吉科软信息技术有限公司 | 一种基于食品安全的自动化农残检测系统 |
| WO2022049787A1 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6126396B2 (ja) * | 2013-02-07 | 2017-05-10 | 三星ダイヤモンド工業株式会社 | 基板加工装置 |
| JP6618957B2 (ja) * | 2017-06-14 | 2019-12-11 | アイダエンジニアリング株式会社 | プレス機械のワーク搬送装置 |
Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62198086U (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-16 | ||
| JPH04348895A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-12-03 | Orii:Kk | ワーク搬送用多関節型ロボット |
| JPH05192890A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-08-03 | Igm Robotersyst Ag | 産業ロボットの継手駆動用ギヤ機構 |
| JPH1053499A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-24 | Yamagata Shinetsu Sekiei:Kk | ウエーハ熱処理装置及びそのウエーハ装填方法 |
| JPH1177566A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-23 | Mecs:Kk | 薄型基板の搬送ロボット |
| WO2000007780A1 (en) * | 1998-08-04 | 2000-02-17 | Genmark Automation, Inc. | Robot having multiple degrees of freedom |
| JP2000506789A (ja) * | 1996-03-22 | 2000-06-06 | ジェンマーク オートメーション インコーポレイテッド | 多自由度ロボット |
-
2001
- 2001-07-03 JP JP2001202754A patent/JP4545996B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62198086U (ja) * | 1986-06-06 | 1987-12-16 | ||
| JPH04348895A (ja) * | 1991-02-25 | 1992-12-03 | Orii:Kk | ワーク搬送用多関節型ロボット |
| JPH05192890A (ja) * | 1991-08-05 | 1993-08-03 | Igm Robotersyst Ag | 産業ロボットの継手駆動用ギヤ機構 |
| JP2000506789A (ja) * | 1996-03-22 | 2000-06-06 | ジェンマーク オートメーション インコーポレイテッド | 多自由度ロボット |
| JPH1053499A (ja) * | 1996-08-07 | 1998-02-24 | Yamagata Shinetsu Sekiei:Kk | ウエーハ熱処理装置及びそのウエーハ装填方法 |
| JPH1177566A (ja) * | 1997-09-08 | 1999-03-23 | Mecs:Kk | 薄型基板の搬送ロボット |
| WO2000007780A1 (en) * | 1998-08-04 | 2000-02-17 | Genmark Automation, Inc. | Robot having multiple degrees of freedom |
Cited By (28)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR101093298B1 (ko) | 2010-02-17 | 2011-12-14 | 수미토모 케미칼 컴퍼니 리미티드 | 편광필름의 접합장치 및 이것을 구비하는 액정표시장치의 제조시스템 |
| JP2011191729A (ja) * | 2010-02-17 | 2011-09-29 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム |
| WO2011102010A1 (ja) * | 2010-02-17 | 2011-08-25 | 住友化学株式会社 | 偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム |
| CN102822727A (zh) * | 2010-03-30 | 2012-12-12 | 住友化学株式会社 | 基板输送机构以及偏振膜的贴合装置中的翻转机构 |
| CN102834771A (zh) * | 2010-03-30 | 2012-12-19 | 住友化学株式会社 | 基板输送机构、偏振膜的贴合装置以及具有该偏振膜的贴合装置的液晶显示装置的制造系统 |
| KR101419619B1 (ko) | 2010-03-30 | 2014-07-15 | 수미토모 케미칼 컴퍼니 리미티드 | 기판 반송 기구 및 편광 필름의 접합 장치에서의 반전 기구 |
| JP2011243955A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-12-01 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における搬送手段を備えた基板支持装置 |
| JP2011242753A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-12-01 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 基板搬送機構、偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム |
| JP2011243954A (ja) * | 2010-03-30 | 2011-12-01 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における基板支持装置 |
| WO2011122006A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 住友化学株式会社 | 基板搬送機構、偏光フィルムの貼合装置およびこれを備える液晶表示装置の製造システム |
| WO2011122005A1 (ja) * | 2010-03-30 | 2011-10-06 | 住友化学株式会社 | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における反転機構 |
| CN102472902A (zh) * | 2010-03-30 | 2012-05-23 | 住友化学株式会社 | 偏振膜的贴合装置以及具有该贴合装置的液晶显示装置的制造系统 |
| CN103941438A (zh) * | 2010-03-30 | 2014-07-23 | 住友化学株式会社 | 基板输送机构以及偏振膜的贴合装置中的基板支撑装置 |
| CN102395918A (zh) * | 2010-04-23 | 2012-03-28 | 住友化学株式会社 | 偏振膜的贴合装置以及具有该贴合装置的液晶显示装置的制造系统 |
| CN102395918B (zh) * | 2010-04-23 | 2014-07-02 | 住友化学株式会社 | 偏振膜的贴合装置以及具有该贴合装置的液晶显示装置的制造系统 |
| KR101823718B1 (ko) | 2011-01-19 | 2018-01-30 | 도쿄엘렉트론가부시키가이샤 | 기판 반전 장치, 기판 반전 방법 및 박리 시스템 |
| JP2011209722A (ja) * | 2011-03-17 | 2011-10-20 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における反転機構 |
| JP2011233867A (ja) * | 2011-03-17 | 2011-11-17 | Sumitomo Chemical Co Ltd | 基板搬送機構および偏光フィルムの貼合装置における基板支持部を備えた反転機構 |
| CN103802090A (zh) * | 2012-11-08 | 2014-05-21 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种双臂搬运机械手 |
| CN103817706A (zh) * | 2012-11-16 | 2014-05-28 | 株式会社安川电机 | 机器人臂、机器人及机器人操作方法 |
| KR20170053705A (ko) * | 2014-10-10 | 2017-05-16 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 웨이퍼 반송 방법 및 장치 |
| KR101940184B1 (ko) | 2014-10-10 | 2019-01-18 | 카와사키 주코교 카부시키 카이샤 | 웨이퍼 반송 방법 및 장치 |
| WO2019207687A1 (ja) * | 2018-04-25 | 2019-10-31 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| WO2022049787A1 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
| JPWO2022049787A1 (ja) * | 2020-09-03 | 2022-03-10 | ||
| JP7427796B2 (ja) | 2020-09-03 | 2024-02-05 | 川崎重工業株式会社 | 基板保持ハンドおよび基板搬送ロボット |
| CN112857937A (zh) * | 2021-01-25 | 2021-05-28 | 吉林省吉科软信息技术有限公司 | 一种基于食品安全的自动化农残检测系统 |
| CN112857937B (zh) * | 2021-01-25 | 2022-07-01 | 吉林省吉科软信息技术有限公司 | 一种基于食品安全的自动化农残检测系统 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP4545996B2 (ja) | 2010-09-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3806802B2 (ja) | ロボットハンドの駆動装置 | |
| JP2003019687A (ja) | ロボットハンドの駆動装置 | |
| KR101434811B1 (ko) | 회전체의 회전범위 규제기구 및 산업용 로봇 | |
| JP4328472B2 (ja) | 基板反転装置、及びそれを用いたパネル製造装置 | |
| JP2006205264A (ja) | 基板搬送装置 | |
| KR20030035978A (ko) | 워크 반송로봇 | |
| US20090003983A1 (en) | Articulated Robot | |
| JP2006120861A (ja) | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット | |
| KR100288085B1 (ko) | 기판 반송용 스칼라형 로보트 | |
| JP2002164402A (ja) | 基板搬送用ロボット | |
| JPH1022364A (ja) | 搬送装置における吸着ハンド | |
| KR101789451B1 (ko) | 부착 장치 | |
| JPH10202511A (ja) | 両面研磨装置 | |
| JP2002093881A (ja) | 基板搬送用ロボット | |
| JP3890896B2 (ja) | 基板搬送用ロボット | |
| JPH10180658A (ja) | 直線移動型ロボット | |
| JP2001315951A (ja) | 移送部材の回転装置 | |
| JP3542815B2 (ja) | ウェハーノッチ部の鏡面研磨装置およびその鏡面研磨方法 | |
| KR200160893Y1 (ko) | 물체 이송용 로봇 | |
| JP2000024981A (ja) | 産業用ロボット | |
| KR20070050806A (ko) | 기판 이송 장치 | |
| JP2009170567A (ja) | 搬送装置 | |
| JPS6322071Y2 (ja) | ||
| JP2005012081A (ja) | ウエハの把持装置および搬送装置 | |
| KR20050120422A (ko) | 기판 반송장치 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040908 |
|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080619 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20100309 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20100316 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100420 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20100601 |
|
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20100701 |
|
| FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20130709 Year of fee payment: 3 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |