JP3806802B2 - ロボットハンドの駆動装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ロボットハンドの駆動装置、詳しくは、半導体ウエハ、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ用ガラス基板等薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来から、スカラロボットなど、薄型基板を保持して移動可能なハンドを有するロボットにおいて、図17に示すような、ハンド6をハンド長手方向と一致する水平軸31回りに回転させる反転機構32を備えたタイプのロボットが知られている。
【0003】
そして、従来の反転機構32を備えたロボットは、図17に示すようにアーム4、5を前方へ伸ばした状態でハンド6を反転させたり、あるいは、図18に示すようにハンド6を第1アーム5から十分に離れた高い位置に設定することによって、ハンド6を反転させる際に薄型基板8がアーム4、5と干渉しないような対策が講じられている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、前者の場合、フットプリント(ロボットの公称旋回範囲)が拡大するという問題があり、また、後者の場合、基板パスラインが上昇するという問題があった。また、両者共、ダブルアーム式のロボットへの適用が困難であった。
【0005】
本発明は上記のような従来のロボットの問題点を解決し、フットプリントの縮小化を図るとともに基板パスラインの上昇を防止し、さらにダブルアーム式ロボットに対しても容易に適用可能にすることを目的とする。
【0006】
【課題を解決するための手段】
本発明によるロボットハンドの駆動装置は、薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置であって、ハンド長手方向と直交する水平軸回りに前記ロボットハンドを回転させる反転機構を備え、前記薄型基板を保持しているロボットハンドを前記反転機構によって回転させる間、前記薄型基板の中心位置をハンド長手方向において定位置に維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手方向における位置を制御することを特徴とする。
【0008】
ここで、前記水平軸にギャバックラッシュ抑制機構が配設される。
【0009】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の実施形態を図面に基づいて説明する。
【0010】
図1は、一実施形態に係るロボットハンドの駆動装置が組み込まれたシングルアーム式スカラロボットの側面図、図2は、同スカラロボットの平面図、図3は同スカラロボットの正面図を示す。
【0011】
図1〜図3において、スカラロボット1は、機台2と胴体部3と第2アーム4と第1アーム5とハンド6とハンド6の反転機構7とを備える。
【0012】
ハンド6は、従来公知のスカラロボットのハンドと同様、胴体部3の昇降動作及び旋回動作を基に昇降及び旋回し、また、第2アーム4及び第1アーム5の屈伸動作によって水平面上の直線軌道上を移動する。ハンド6は、本実施形態の場合、真空吸着式ハンドであり、図1に実線で示したハンド6の上面6a側でガラス基板8を吸着保持することができる。
【0013】
ハンド6の反転機構7の構成を図4〜図7に示す。図4は、反転機構7の正面から見た断面図、図5は、反転機構7のハウジング内部の構成を示す平面図、図6は、反転機構7の側面から見た断面図、図7は、ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図をそれぞれ示す。
【0014】
図4〜図7において、ハンド6の元部6bには、ハンド6の直線軌道(長手方向)と直交する水平軸(反転軸)9が固着されている。水平軸9は、ハウジング10に配設された軸受部11、12によって回転自在に保持されており、水平軸9の一端にウオームホイール13が固着されている。ウオームホイール13は、ハンド6の直線軌道と平行に配置されたウオーム軸14と噛合しており、ウオーム軸14はプーリ15に固着されている。ハウジング10の内部にはモータ16が配設されている。モータ16の出力軸にはプーリ17が固着されており、このプーリ17と上記プーリ15との間にタイミングベルト18が掛け渡されている。
【0015】
ハンド6が図1に実線で示す定常状態に維持されているときにモータ16が所定の期間正転すると、動力伝達機構(プーリ17、タイミングベルト18、プーリ15、ウオーム軸14及びウオームホイール13)を介して水平軸9が正転し、ハンド6は図1に二点鎖線で示す反転状態へと変わる。また、ハンド6が反転状態にあるときにモータ16を所定の期間逆転させると、動力伝達機構17、18、15、14、13を介して水平軸9が逆転し、ハンド6は定常状態に復帰する。ところで、ハンド6は、回転時(反転時及び復帰時)に図7(A)に示すような鉛直状態付近を通過することになるが、この鉛直状態付近の通過時に、ギヤ装置14、13のバックラッシュによりハンド6にがたつきが発生するおそれがある。このため、ギヤバックラッシュ抑制機構を設けることが好ましい。図4に示すコイルばね41は、第1のギヤバックラッシュ抑制機構を構成する。コイルばね41は、水平軸9に外嵌されており、水平軸9が反転方向へ回転するときこの回転方向と反対方向の力を水平軸9に対して加えるよう構成され、バックラッシュを防止する。図7(B)、(C)は、第2のギヤバックラッシュ抑制機構の構成を概念的に示す。このギヤバックラッシュ抑制機構は、互いに対向配置された一対の板ばね19、20の間に、水平軸9と一体となって回転するロータ部21を配して構成される。ロータ部21は両端に板ばね19、20と当接可能なローラ22、23を備える。ロータ部21は、ハンド6が定常状態にあるときは図7(B)に示すように二つのローラ22、23が一対の板ばね19、20から離れた状態にあり、ハンド6の回転時、ハンド6が定常状態から90°回転する前において一対の板ばね19、20と当接を開始して板ばね19、20を弾性変形させ、ハンド6が90°回転したとき図7(C)に示すように一対の板ばね19、20から十分大きな弾性復帰力(押圧力)を受けるよう動作する。これにより、バックラッシュを防止できハンド6にがたつきが発生しなくなる。上述した第1、第2のギヤバックラッシュ抑制機構は、いずれか一方のみ装備するようにしてもよいし、両方装備するようにしてもよい。
【0016】
ハンド6の回転時、水平軸9が直線軌道上の定位置を維持しながらハンド6を回転させること、換言すると、第1アーム5及び第2アーム4を一切動かさないでハンド6のみを回転させることを積極的に除外するものではないが、ハンド6の回転時にガラス基板8が受ける風圧を考慮すると、水平軸9の直線軌道上の位置を変えながらハンド6を回転させること、換言すると、第1アーム5及び第2アーム4を動かしながらハンド6を回転させることの方が好ましい。この場合、図8に示すように、ガラス基板8の中心位置を直線軌道方向において定位置に維持するよう、第1アーム5及び第2アーム4の動作を制御する、換言すると、ハンド6の直線軌道方向における位置を制御するようにする。なお、このような制御は、図示しない制御回路による演算処理に基づいて行われる。
【0017】
次に、上記のように構成されたスカラロボット1の一連の動作例を図9〜図14に基づいて説明する。
【0018】
まず、図9(A)、(B)に示すように、カセット24内からガラス基板8を取り出すため、スカラロボット1をカセット24に正対させる。次に、図10(A)、(B)に示すように、取り出したいガラス基板8の真下までハンド6を前進させ、ハンド6を上昇させてハンド6の上面6aにガラス基板8を載せるとともに吸着する。次に、図11(A)、(B)に示すように、ハンド6を図9(A)、(B)と同じ位置まで後退させる。次に、反転機構7によりハンド6を反転させる。この反転の間、上述したように、ガラス基板8の中心位置を直線軌道方向において定位置に維持するよう、第1アーム5及び第2アーム4の動作が制御される、換言すると、ハンド6の直線軌道方向における位置が制御される。図12(A)、(B)は、この反転時、ガラス基板8が鉛直状態となったときのスカラロボット1の形態を示し、図13(A)、(B)は、ハンド6が反転終了したときのスカラロボット1の形態を示している。なお、この反転終了時のハンド6は、ガラス基板8への吸着力のみによってガラス基板8を保持している。その後、図14に示すように、ハンド6を前進させ載置台25の上にガラス基板8を載せる。
【0019】
以上説明したように、本実施形態に係るロボットハンド6の駆動装置は、薄型基板(ガラス基板8)を保持して移動可能なロボットハンド6の駆動装置であって、直線軌道(ハンド長手方向)と直交する水平軸9回りにロボットハンド6を回転させる反転機構7を備える。本実施形態によると、ロボット1のアーム4、5を屈状態にしたままでハンド6を反転させても薄型基板8とアーム4、5との干渉が発生しないため、フットプリントが縮小される。また、ハンド6をアーム4、5から近い高さ位置に設定しておいても、薄型基板8とアーム4、5との干渉を招くことなくハンド6を反転させることができるため、基板パスラインの上昇を防止することができる。
【0020】
また、本実施形態は、薄型基板8を保持しているロボットハンド6を反転機構7によって回転させる間、薄型基板8の中心位置を直線軌道方向(ハンド長手方向)において定位置に維持するようロボットハンド6の直線軌道方向(ハンド長手方向)における位置を制御する。このため、ハンド6の回転時に薄型基板8が受ける風圧を減少させることができ、ハンド6の回転速度の増大を図ることができる。
【0021】
また、ギヤバックラッシュ抑制機構(一対の板ばね19、20、ロータ部21、ローラ22、23、コイルばね41)を設けることにより、ハンド6が鉛直状態付近を通過するときのギヤ装置14、13のバックラッシュによるハンド6のがたつきを防止することができる。
【0022】
なお、上記実施形態はガラス基板8を搬送するロボットについて説明したが、ガラス基板8の代わりに半導体ウエハなど、その他の薄型基板を搬送するロボットにも容易に適用できることは言うまでもない。また、多関節ロボットにも適用可能である。
【0023】
図15(A)、(B)は、本発明の他の実施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルアーム仕様のスカラロボット26の上側のハンド27に反転機構7を設けたものである。反転機構7は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
【0024】
また、図16(A)、(B)は、さらに他の実施形態を示し、本実施形態は、従来公知のダブルアーム仕様の直動型ロボット28の上側のハンド29に反転機構7を設けたものである。反転機構7は上述した実施形態と同様に構成され動作する。
【0025】
図15及び図16から明らかなように、本発明は、ダブルアーム式ロボット26、28に対しても容易に適用可能である。
【0026】
【発明の効果】
本発明によると、ハンドを反転させる際、フットプリントの縮小化を図ることができるとともに基板パスラインの上昇を防止することができる。また、ダブルアーム式ロボットに対しても容易に適用可能になる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施形態に係るロボットハンドの駆動装置が組み込まれたシングルアーム式スカラロボットの側面図である。
【図2】同スカラロボットの平面図である。
【図3】同スカラロボットの正面図である。
【図4】反転機構の正面から見た断面図である。
【図5】反転機構のハウジング内部の構成を示す平面図である。
【図6】反転機構の側面から見た断面図である。
【図7】ギヤバックラッシュ抑制機構の説明図である。
【図8】ハンド反転時のガラス基板の状態変位図である。
【図9】スカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図10】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図11】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図12】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図13】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図及び側面図である。
【図14】同じくスカラロボットの一連の動作例を示す斜視図である。
【図15】本発明の他の実施形態に係るダブルアーム仕様のスカラロボットの斜視図及び正面図である。
【図16】本発明のさらに他の実施形態に係るダブルアーム仕様の直動型ロボットの斜視図及び正面図である。
【図17】従来のスカラロボットの反転機構の問題点を示す斜視図である。
【図18】同じく従来のスカラロボットの反転機構の問題点を示す側面図である。
【符号の説明】
4、5 アーム
6 ハンド(ロボットハンド)
7 反転機構
8 ガラス基板(薄型基板)
9 水平軸
19、20 一対の板ばね(ギヤバックラッシュ抑制機構)
21 ロータ部(ギヤバックラッシュ抑制機構)
22、23 ローラ(ギヤバックラッシュ抑制機構)
41 コイルばね
Claims (2)
- 薄型基板を保持して移動可能なロボットハンドの駆動装置であって、
ハンド長手方向と直交する水平軸回りに前記ロボットハンドを回転させる反転機構を備え、
前記薄型基板を保持しているロボットハンドを前記反転機構によって回転させる間、前記薄型基板の中心位置をハンド長手方向において定位置に維持するよう前記ロボットハンドのハンド長手方向における位置を制御する
ことを特徴とするロボットハンドの駆動装置。 - 前記水平軸にギヤバックラッシュ抑制機構が配設されることを特徴とする請求項1記載のロボットハンドの駆動装置。
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