JP2000237988A - ロボット装置のアーム駆動機構 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 伝達系の剛性を向上させ、高速動作を可能に
し、大きさや重量を軽減する。 【解決手段】 第１関節Ｊ１に配置され、第１アーム１
を回動させる減速機３１と、第２関節Ｊ２に配置され、
前記第２アーム２を回動させる減速機３２と、ベース側
に設けられたモータから減速機３１，３２の入力軸へ動
力を伝達するためのタイミングプーリ、タイミングベル
トなどの動力伝達機構と、第２アーム２へ第３関節Ｊ３
により回動可能に支持されたフィンガ７のベース８に対
する姿勢を、第１アーム１および第２アーム２の動きと
無関係に保持するリンク機構とを備える。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、ロボット装置の
アーム駆動機構に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図５は、従来のロボットの各関節角につ
いて示した説明図である。基板等の搬送物を搭載したフ
ィンガ１０７が、一定の姿勢を保ったまま直線軌道上を
移動するためには、第１アーム１０１の回転角度θ₁ と
第２アーム１０２の回転角度θ₂ 、そしてフィンガ１０
７の回転角度θ₃ が、常に１：２：１の関係を保ってい
なければならない。

【０００３】図６は、従来のロボット装置におけるアー
ム駆動機構の構造を示す機構図であり、図において、１
４１および１４２は第１関節Ｊ１と第２関節Ｊ２におい
て第１アーム１０１と第２アーム１０２を回転させるた
めのモータ、１３１はモータ１４１の出力軸を入力とす
る減速機、１３２はモータ１４２の出力軸を入力とする
減速機であり、減速機１３１，１３２の出力はタイミン
グプーリおよびタイミングベルトを介して駆動軸１９
１，１９２に回転力を伝達するように構成されている。

【０００４】モータ１４１とモータ１４２はそれぞれ同
じ回転数で逆方向の回転力を発生する。モータ１４２の
回転は、減速機１３２、伝達軸１９１を経てタイミング
プーリ１５３に伝えられる。タイミングプーリ１５３か
らは、タイミングベルト１６１を用いてタイミングプー
リ１５３と同じ直径のタイミングプーリ１５４に回転を
伝え、タイミングプーリ１５４は第１関節Ｊ１において
第１アーム１０１と一体となっており、これにより第１
関節Ｊ１で第１アーム１０１が減速機出力と同じ回転数
で回転する。

【０００５】モータ１４１の回転は、減速機１３１、駆
動軸１９２を経てタイミングプーリ１５１に伝えられ
る。タイミングプーリ１５１からは、タイミングベルト
１６２を用いてタイミングプーリ１５１と同じ直径を有
するタイミングプーリ１５２に回転を伝え、第１関節Ｊ
１において第１アーム１０１とは無関係に、タイミング
プーリ１５２と一体となったタイミングプーリ１５５に
回転を伝える。タイミングプーリ１５５はタイミングベ
ルト１６３を用いて、タイミングプーリ１５５の半分の
直径のタイミングプーリ１５６に回転を伝え、タイミン
グプーリ１５６は第２関節Ｊ２において第２アーム１０
２と一体になっており、これにより第２関節Ｊ２におい
て第２アーム１０２はモータ１４１の倍の速度で回転す
る。モータ１４１とモータ１４２の回転数が同じである
ため、第１アーム１０１と第２アーム１０２は１：−２
の回転数で回転することになる。

【０００６】フィンガ１０７は、べース１０８に固定さ
れた軸１１０と、すべて同じ直径のタイミングプーリ１
５７，１５８，１５９とタイミングベルトにより連結さ
れている。また、各タイミングプーリ１５７，１５８，
１５９は各関節において自由に回転できるように回転支
持されている。これによりフィンガ１０７は、各アーム
の回転とは無関係に、べース１０８に対して一定の姿勢
を保つことになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来のロボット装置で
は、減速機の出力側において剛性的に弱いタイミングベ
ルトによる動力の伝達を行なっているため、前記タイミ
ングベルトの剛性が原因となる低周波数の振動が発生
し、動作の高速化に対する障害となる課題があった。

【０００８】また、前記低周波数の振動が、搬送方向に
対する横振れであるため、例えば半導体ウエハの搬送に
おいては、カセット内におけるウエハとカセットとの干
渉の原因にもなる課題があった。

【０００９】さらに、動力伝達軸が減速機の出力軸側で
あるため、非常に大きな動力を伝達しなければならず、
軸径が大きくなり、例えば真空環境下で用いられるロボ
ットの場合、大気環境と真空環境をシールする磁性流体
シールユニットが非常に大きくなり、ロボット全体とし
ての大きさや重量が増大し、ロボットのメンテナンス性
からも不利となる課題があった。

【００１０】この発明は上記のような課題を解決するた
めになされたものであり、伝達系の剛性を向上させ、高
速動作を可能にし、大きさや重量を軽減できるロボット
装置のアーム駆動機構を得ることを目的とする。

【００１１】

【課題を解決するための手段】この発明に係るロボット
装置のアーム駆動機構は、ベースに対し回動可能に支持
された第１アームの回転中心である第１関節に配置さ
れ、前記第１アームをその出力により回動させる第１減
速機と、前記第１アームへ回動可能に支持された第２ア
ームの回転中心である第２関節に配置され、前記第２ア
ームをその出力により回動させる第２減速機と、前記第
１減速機および前記第２減速機の入力軸へ動力を伝達す
る、前記ベース側に設けられたモータと、該モータから
前記第１減速機および前記第２減速機の入力軸へ動力を
伝達するための動力伝達機構と、前記第２アームへ第３
関節により回動可能に支持されたフィンガと、該フィン
ガの前記ベースに対する姿勢を、リンク機構により前記
第１アームおよび前記第２アームの動きと無関係に保持
する姿勢保持機構とを備えるようにしたものである。

【００１２】この発明に係るロボット装置のアーム駆動
機構は、第１関節における第１アームの回転角と第２関
節における第２アームの回転角の比を１：−２にする減
速比を第１減速機および第２減速機が有しているように
したものである。

【００１３】この発明に係るロボット装置のアーム駆動
機構は、モータからの動力を第１減速機の入力軸に伝達
すると同時に、前記第１減速機の中空部を貫通した伝達
軸と、該伝達軸に固定されたタイミングプーリと、該タ
イミングプーリに係合したタイミングベルトとを介して
第２減速機の入力軸に伝達する動力伝達機構を備えるよ
うにしたものである。

【００１４】この発明に係るロボット装置のアーム駆動
機構は、一端がベース側に固定され、他端が第１関節お
よび第２関節を介して第３関節と係合した平行リンク機
構によりフィンガの前記ベースに対する姿勢を保持する
姿勢保持機構を備えるようにしたものである。

【００１５】この発明に係るロボット装置のアーム駆動
機構は、ベース側のモータが設けられた空間をアームが
動作する真空領域に対してシールする磁性流体シールユ
ニットを備えるようにしたものである。

【００１６】この発明に係るロボット装置のアーム駆動
機構は、ベースに対し第１アームを回転可能に支持した
第１関節と、前記第１アームに対し第２アームを回転可
能に支持した第２関節と、前記第２アームに対しフィン
ガを回転可能に支持した第３関節と、前記ベース側に設
けられたモータの駆動力を前記第１関節における第１ア
ームの回転として平行リンクにより伝達する第１アーム
回動用リンク機構と、前記モータの駆動力を前記第１関
節を介して、前記第２関節における前記第２アームの回
転として平行リンクにより伝達する、回転数変換機構を
有した第２アーム回動用リンク機構と、前記ベース側に
一端が固定され、他端が前記第１関節および前記第２関
節を介して前記第３関節と係合した平行リンクにより、
前記フィンガの前記ベースに対する姿勢を前記第１アー
ムおよび前記第２アームの動きと無関係に保持する姿勢
保持機構とを備えるようにしたものである。

【００１７】この発明に係るロボット装置のアーム駆動
機構は、平行リンクにより第１関節を介して伝達される
モータの回転数を−２倍に変換する回転数変換機構を備
えるようにしたものである。

【００１８】

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の一形態を
説明する。 実施の形態１．図１はこの実施の形態１のロボット装置
のアーム駆動機構の全体構成を示す構造図である。図２
はこの実施の形態１のロボット装置のアーム駆動機構の
部分構造図である。これらの図において、１は第１アー
ム、２は第２アーム、４はモータ、７はフィンガ、８は
ベース、９はモータ４の出力軸と直結された伝達軸、Ｊ
１は第１関節、Ｊ２は第２関節、Ｊ３は第３関節、３１
は第１関節Ｊ１位置に配置された減速機（第１減速
機）、３２は第２関節Ｊ２位置に配置された減速機（第
２減速機）、５１は伝達軸９に固定されたタイミングプ
ーリ（動力伝達機構）である。

【００１９】図２において、１０ａは減速機３１への入
力軸、１０ｂは伝達軸（動力伝達機構）、１０ｄはベー
ス８に固定された軸（姿勢保持機構）、１０ｅは減速機
３２の出力軸と一体となった軸である。１１ａ，１１
ｂ，１１ｄ，１１ｅはリンク固定板（姿勢保持機構）、
１１ｃはリンク固定板１１ｂとリンク固定板１１ｅとを
一体的に連結した軸（姿勢保持機構）、５２は伝達軸１
０ｂに固定されたタイミングプーリ（動力伝達機構）、
６１はタイミングプーリ５２と減速機３２の入力軸とを
連結したタイミングベルト（動力伝達機構）である。

【００２０】次に動作について説明する。図示していな
いコントローラからの指令に従いモータ４が回転する
と、その回転は伝達軸９を経てタイミングプーリ５１に
伝達する。さらにタイミングプーリ５１からタイミング
ベルトを通して、第１関節Ｊ１に配置された減速機３１
への入力軸１０ａと伝達軸１０ｂに伝えられる。伝達軸
１０ｂからは、タイミングプーリ５２とタイミングベル
ト６１を経て第２関節Ｊ２に配置された減速機３２の入
力軸に回転を伝達する。この結果、第１関節Ｊ１に配置
された減速機３１と第２関節Ｊ２に配置された減速機３
２には同じ回転数が入力される。

【００２１】フィンガ７が直線的な軌道を取るために
は、第１関節Ｊ１の変位θ₁ と第２関節Ｊ２の変位θ₂
とは、常に１：−２になっていなければならない。この
実施の形態１における搬送ロボットでは、第１関節Ｊ１
に配置された減速機３１と第２関節Ｊ２に配置された減
速機３２の減速比は、同じ回転数が入力された場合に互
いの出力軸回転数の比が常に１：−２になるように設定
されている。第１アーム１は減速機３１の出力と一体と
なり、第２アーム２は、減速機３２の出力軸と一体とな
った軸１０ｅにより回転する。これにより、第１アーム
１と第２アーム２の回転角の比が１：−２となる。

【００２２】この実施の形態１のロボットでは、減速機
３１と減速機３２には、前述の通り同じ回転が入力され
るため、モータ４が回転することにより、設定された減
速比にしたがって、第１関節Ｊ１と第２関節Ｊ２はその
回転変位を常に１：−２で動作することになり、フィン
ガ７は直線軌道上を移動することができる。

【００２３】次に、フィンガ７の姿勢を一定に保つ方法
について説明する。第１関節Ｊ１において、動作中回転
しないべース８に軸１０ｄを固定する。この軸１０ｄは
減速機３１の中空部分を通り、リンク固定板１１ａと一
体になっている。リンク固定板１１ａは第１アーム１内
において、第２関節Ｊ２のリンク固定板１１ｂとの間で
平行リンクを形成しており、リンク固定板１１ａとリン
ク固定板１１ｂは、常に一定の位置関係を保っている。

【００２４】リンク固定板１１ｂは、第２関節Ｊ２にお
いて第１アーム１と第２アーム２に対し無関係に回転で
きるように支持された軸１１ｃに一体的に固定されてお
り、軸１１ｃは第２アーム２内に配置されたリンク固定
板１１ｅと固定されている。リンク固定板１１ｅは第２
アーム２内において、第３関節Ｊ３のリンク固定板１１
ｄとの間で平行リンクを形成しており、リンク固定板１
１ｅとリンク固定板１１ｄは、常に一定の位置関係を保
っている。リンク固定板１１ｄは、第３関節Ｊ３におい
てフィンガ７と一体になっている。

【００２５】これによりリンク固定板１１ａとフィンガ
７は常に一定の関係を保ったまま動作するように構成さ
れており、リンク固定板１１ａは動作中回転しないよう
べース８に固定されているため、フィンガ７はべース８
に対して、常に一定の姿勢を保つことができる。これら
の構造により、フィンガ７に搭載されたウエハ等の搬送
物は、一定の姿勢を保ったまま直線的な軌道上を移動す
ることができる。

【００２６】以上のように、この実施の形態１によれ
ば、伝達系の中で剛性的に弱いタイミングベルトを減速
機の入力側に配置しているため、従来の配置に比較し
て、タイミングベルトに作用する慣性モーメントは１／
減速比の二乗となり、タイミングベルト単体の共振周波
数は上昇する。このため、従来、高速高精度化に対する
大きな問題であった伝達系の剛性が向上するロボット装
置のアーム駆動機構が得られる効果がある。

【００２７】実施の形態２．図３は、この実施の形態２
のロボット装置のアーム駆動機構の全体構成を示す構造
図である。図３において図１と同一または相当の部分に
ついては同一の符号を付し説明を省略する。図３におい
て、１３は大気環境と真空環境をシールする磁性流体シ
ールユニットである。

【００２８】この実施の形態２では、磁性流体シールユ
ニット１３を通る回転駆動力の伝達軸９は、モータ４か
らの出力を減速機３１，３２の入力軸に伝達するための
ものであり、その許容伝達トルクはせいぜいモータ４の
最大出力トルクを上回ればよい。

【００２９】このため従来の搬送ロボットのように減速
機の出力軸からの駆動力を伝達する場合と比較すると、
搬送に必要なトルクが同じと仮定した場合、伝達トルク
は１／減速比となり、軸のねじれの共振周波数に影響す
る軸にかかる慣性モーメントは１／減速比の二乗にな
る。例えば、減速比を５０とした場合、伝達トルクは１
／５０、慣性モーメントは１／２５００に軽減されるこ
とになる。

【００３０】磁性流体シールユニット１３は、ロボット
全体を支えるフランジや多軸化された磁性流体シールに
より構成されており、ロボット全体に占める重量の割合
は非常に大きい。またその大きさは、伝達軸９の径によ
るところが大きい。

【００３１】この実施の形態２では、前述のように従来
方式に比べ軸伝達トルクが小さくなり、軸径が細くなる
ため、シールユニットひいてはロボット全体の軽量化を
図れるロボット装置のアーム駆動機構が得られる効果が
ある。

【００３２】実施の形態３．図４は、この実施の形態３
のロボット装置のアーム駆動機構の全体構成を示す構造
図である。なお、図４において図１および図２と同一ま
たは相当の部分については同一の符号を付し説明を省略
する。図において、３はモータ４の出力軸を入力とする
減速機、６０ａはリンク固定板６１ｄとリンク固定板６
１ｅとを一体的に連結している連結軸、６０ｂは平歯車
（回転数変換機構，第２アーム回動用リンク機構）６２
を第２アーム２へ固定している固定軸（第２アーム回動
用リンク機構）、６０ｃはリンク固定板６１ｇをベース
８へ固定している固定軸（姿勢保持機構）、６０ｄはリ
ンク固定板６１ｈとリンク固定板６１ｉとを一体的に連
結している連結軸、６１ａおよび６１ｂはリンク固定板
（第１アーム回動用リンク機構）、６１ｃ，６１ｄ，６
１ｅ，６１ｆはリンク固定板（第２アーム回動用リンク
機構）、６１ｇ，６１ｈ，６１ｉ，６１ｊはリンク固定
板（姿勢保持機構）である。リンク固定板６１ｆはその
周囲にギア歯部が形成されており、前記ギア歯部により
平歯車６２と係合している。また、リンク固定板６１ｆ
と平歯車６２のピッチ円径は２：１に設定されている。

【００３３】次に、図示していないコントローラからの
指令によりモータ４が回転した際の各関節の動きについ
て説明する。先ず、第１関節Ｊ１における第１アーム１
は、減速機３の出力軸と直結された伝達軸９と一体にな
ったリンク固定板６１ａと、リンク固定板６１ａと平行
リンクを形成するリンク固定板６１ｂにより回転力が伝
達され、伝達軸９と同じ回転数で回転する。

【００３４】次に、第２関節Ｊ２における第２アーム２
の回転について説明する。先ず、減速機３の伝達軸９と
一体となったリンク固定板６１ｃと、該リンク固定板６
１ｃと平行リンクを形成するリンク固定板６１ｄと、第
１関節Ｊ１において第１アーム１とは無関係に回転支持
された連結軸６０ａとを介して、前記リンク固定板６１
ｄと一体になったリンク固定板６１ｅへ回転を伝達す
る。リンク固定板６１ｅと、第２関節Ｊ２近傍に配置さ
れたリンク固定板６１ｆで平行リンクを形成することに
より、軸６０ａの回転はリンク固定板６１ｆに伝達され
る。

【００３５】リンク固定板６１ｆの外周には平歯車６２
と噛合うようにギア歯部が形成されており、リンク固定
板６１ｆと平歯車６２のピッチ円径は２：１に設定され
ているため、リンク固定板６１ｆと平歯車６２の噛み合
いにより、平歯車６２はリンク固定板６１ｆの回転変位
に対して−２倍の回転変位で回転する。

【００３６】平歯車６２と一体となった固定軸６０ｂは
第２アーム２に固定されているため、第２関節Ｊ２にお
いて第２アーム２は減速機３の出力軸と直結された伝達
軸９の回転に対して−２倍の回転変位で回転することに
なり、同時に第１関節Ｊ１における第１アーム１の−２
倍の回転変位で回転することになる。

【００３７】最後に第３関節Ｊ３におけるフィンガ７の
回転について説明する。フィンガ７を第３関節Ｊ３にお
いて一定の姿勢に保つ構造は、第１関節Ｊ１において減
速機３の出力軸と直結された伝達軸９の回転とは無関係
なべース８に固定された固定軸６０ｃと一体的に構成さ
れたリンク固定板６１ｇ、該リンク固定板６１ｇと平行
リンクを形成するリンク固定板６１ｈ、該リンク固定板
６１ｈと一体的に連結軸６０ｄにより固定されたリンク
固定板６１ｉ、該リンク固定板６１ｉと平行リンクを形
成するリンク固定板６１ｊによって構成されている。

【００３８】フィンガ７は、第３関節Ｊ３においてリン
ク固定板６１ｊと一体となって回転する。リンク固定板
６１ｇとリンク固定板６１ｈ、リンク固定板６１ｉとリ
ンク固定板６１ｊはそれぞれが平行リンクを形成し、ま
たリンク固定板６１ｈとリンク固定板６１ｉは一体とな
って回転するため、リンク固定板６１ｇとリンク固定板
６１ｊに固定されたフィンガ７は同じ回転運動をするこ
とになり、リンク固定板６１ｇがべース８に固定されて
いることから、フィンガ７はべース８に対して常に同じ
一定の姿勢を保つことができる。

【００３９】以上説明したように、この実施の形態３に
よれば、第１アーム１と第２アーム２はその回転変位が
常に１：−２に保たれ、またフィンガ７の姿勢が一定に
保たれるため、モータ４の回転は減速機３を介して各軸
に伝達され、ウエハ等の搬送物を直線的な軌道で搬送す
ることができるロボット装置のアーム駆動機構が得られ
る効果がある。

【００４０】また、伝達機構に従来の樹脂性のタイミン
グベルトではなく、金属製のリンク機構を用いるため、
伝達系の剛性を強化できるロボット装置のアーム駆動機
構が得られる効果がある。

【００４１】

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、ベー
スに対し回動可能に支持された第１アームの回転中心で
ある第１関節に配置され、前記第１アームをその出力に
より回動させる第１減速機と、前記第１アームへ回動可
能に支持された第２アームの回転中心である第２関節に
配置され、前記第２アームをその出力により回動させる
第２減速機と、前記ベース側に設けられたモータから前
記第１減速機および前記第２減速機の入力軸へ動力を伝
達するための動力伝達機構と、前記第２アームへ第３関
節により回動可能に支持されたフィンガと、該フィンガ
の前記ベースに対する姿勢を、リンク機構により前記第
１アームおよび前記第２アームの動きと無関係に保持す
る姿勢保持機構とを備えるように構成したので、前記動
力伝達機構における共振周波数が高くなり、高速、高精
度化に対する伝達系の剛性が向上し、動作時の低周波数
の振動がなくなり、高速動作を行うことができ、アクセ
ス時間の短縮が可能になる効果がある。

【００４２】この発明によれば、第１関節における第１
アームの回転角と第２関節における第２アームの回転角
の比を１：−２にする減速比を第１減速機および第２減
速機が備えるように構成したので、低周波数の振動がな
い高速動作でフィンガの適切な動きを実現できる効果が
ある。

【００４３】この発明によれば、モータからの動力を第
１減速機の入力軸に伝達すると同時に、前記第１減速機
の中空部を貫通した伝達軸と、該伝達軸に固定されたタ
イミングプーリと、該タイミングプーリに係合したタイ
ミングベルトとを介して前記モータからの動力を第２減
速機の入力軸に伝達する動力伝達機構を備えるように構
成したので、前記モータからの動力を第２減速機の入力
軸に伝達する伝達機構を含む動力伝達機構における共振
周波数が高くなり、高速、高精度化に対する伝達系の剛
性が向上し、動作時の低周波数の振動がなくなり、高速
動作を行うことができ、アクセス時間の短縮が可能にな
る効果がある。

【００４４】この発明によれば、一端がベース側に固定
され、他端が第１関節および第２関節を介して第３関節
と係合した平行リンク機構によりフィンガの前記ベース
に対する姿勢を保持する姿勢保持機構を備えるように構
成したので、伝達系全体の剛性がより向上し、動作時の
低周波数の振動がない高速動作を行うことができ、アク
セス時間の短縮が可能となる効果がある。

【００４５】この発明によれば、ベース側のモータが設
けられた空間をアームが動作する真空領域に対してシー
ルする磁性流体シールユニットを備えるように構成した
ので、磁性流体シールユニットを通る回転力伝達軸は、
減速機の出力側ではなく前記のモータの出力側となるた
め、前記回転力伝達軸にかかる伝達トルクが小さくな
り、前記回転力伝達軸の軸径を細くすることができるた
め、磁性流体シールユニット全体の小型化が実現でき、
ロボット全体重量に占める磁性流体シールユニットの重
量の割合が非常に大きいことから、ロボット全体の軽量
化を図れる効果がある。

【００４６】この発明によれば、モータの駆動力を第１
関節における第１アームの回転として平行リンクにより
伝達する第１アーム回動用リンク機構と、前記モータの
駆動力を前記第１関節を介して、第２関節における第２
アームの回転として平行リンクにより伝達する、回転数
変換機構を有した第２アーム回動用リンク機構と、ベー
ス側に一端が固定され、他端が前記第１関節および前記
第２関節を介して第３関節と係合した平行リンクによ
り、フィンガの前記ベースに対する姿勢を前記第１アー
ムおよび前記第２アームの動きと無関係に保持する姿勢
保持機構とを備えるように構成したので、伝達系の剛性
が大幅に向上し、動作時の低周波数の振動がなくなり、
高速動作を実現でき、アクセス時間の短縮が可能となる
効果がある。

【００４７】この発明によれば、平行リンクにより第１
関節を介して第２関節における第２アームの回転として
伝達されるモータの回転数を−２倍に変換する回転数変
換機構を備えるように構成したので、低周波数の振動が
ない高速動作でフィンガの適切な動きを実現できる効果
がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】 この発明の実施の形態１によるロボット装置
のアーム駆動機構の全体構成を示す構造図である。

【図２】 この発明の実施の形態１によるロボット装置
のアーム駆動機構の部分構造図である。

【図３】 この発明の実施の形態２によるロボット装置
のアーム駆動機構の全体構成を示す構造図である。

【図４】 この発明の実施の形態３によるロボット装置
のアーム駆動機構の全体構成を示す構造図である。

【図５】 従来のロボットの各関節角について示した説
明図である。

【図６】 従来のロボット装置におけるアーム駆動機構
の構造を示す機構図である。

【符号の説明】

１ 第１アーム、２ 第２アーム、４ モータ、７ フ
ィンガ、８ ベース、１０ｂ 伝達軸（動力伝達機
構）、１０ｄ，１１ｃ 軸（姿勢保持機構）、１１ａ，
１１ｂ，１１ｅ，１１ｄ，６１ｇ，６１ｈ，６１ｉ，６
１ｊ リンク固定板（姿勢保持機構）、１３ 磁性流体
シールユニット、３１ 減速機（第１減速機）、３２
減速機（第２減速機）、５１，５２ タイミングプーリ
（動力伝達機構）、６０ｂ 固定軸（第２アーム回動用
リンク機構）、６０ｃ 固定軸（姿勢保持機構）、６１
タイミングベルト（動力伝達機構）、６１ａ，６１ｂ
リンク固定板（第１アーム回動用リンク機構）、６１
ｃ，６１ｄ，６１ｅ、６１ｆリンク固定板（第２アーム
回動用リンク機構）、６２ 平歯車（回転数変換機構，
第２アーム回動用リンク機構）、Ｊ１ 第１関節、Ｊ２
第２関節、Ｊ３ 第３関節。

Claims (7)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ベースに対し回動可能に支持された第１
   アームの回転中心である第１関節に配置され、前記第１
   アームをその出力により回動させる第１減速機と、 前記第１アームへ回動可能に支持された第２アームの回
   転中心である第２関節に配置され、前記第２アームをそ
   の出力により回動させる第２減速機と、 前記第１減速機および前記第２減速機の入力軸へ動力を
   伝達する、前記ベース側に設けられたモータと、 該モータから前記第１減速機および前記第２減速機の入
   力軸へ動力を伝達するための動力伝達機構と、 前記第２アームへ第３関節により回動可能に支持された
   フィンガと、 該フィンガの前記ベースに対する姿勢を、リンク機構に
   より前記第１アームおよび前記第２アームの動きと無関
   係に保持する姿勢保持機構とを備えたロボット装置のア
   ーム駆動機構。
2. 【請求項２】 第１減速機および第２減速機は、第１関
   節における第１アームの回転角と第２関節における第２
   アームの回転角の比を１：−２にする減速比を有してい
   ることを特徴とする請求項１記載のロボット装置のアー
   ム駆動機構。
3. 【請求項３】 動力伝達機構は、 モータからの動力を第１減速機の入力軸に伝達すると同
   時に、前記第１減速機の中空部を貫通した伝達軸と、該
   伝達軸に固定されたタイミングプーリと、該タイミング
   プーリに係合したタイミングベルトとを介して第２減速
   機の入力軸に伝達することを特徴とする請求項１または
   請求項２記載のロボット装置のアーム駆動機構。
4. 【請求項４】 姿勢保持機構は、 一端がベース側に固定され、他端が第１関節および第２
   関節を介して第３関節と係合した平行リンク機構により
   フィンガの前記ベースに対する姿勢を保持することを特
   徴とする請求項３記載のロボット装置のアーム駆動機
   構。
5. 【請求項５】 ベース側のモータが設けられた空間をア
   ームが動作する真空領域に対してシールする磁性流体シ
   ールユニットを備えていることを特徴とする請求項４記
   載のロボット装置のアーム駆動機構。
6. 【請求項６】 ベースに対し第１アームを回転可能に支
   持した第１関節と、 前記第１アームに対し第２アームを回転可能に支持した
   第２関節と、 前記第２アームに対しフィンガを回転可能に支持した第
   ３関節と、 前記ベース側に設けられたモータと、 該モータの駆動力を前記第１関節における第１アームの
   回転として平行リンクにより伝達する第１アーム回動用
   リンク機構と、 前記モータの駆動力を前記第１関節を介して、前記第２
   関節における前記第２アームの回転として平行リンクに
   より伝達する、回転数変換機構を有した第２アーム回動
   用リンク機構と、 前記ベース側に一端が固定され、他端が前記第１関節お
   よび前記第２関節を介して前記第３関節と係合した平行
   リンクにより、前記フィンガの前記ベースに対する姿勢
   を前記第１アームおよび前記第２アームの動きと無関係
   に保持する姿勢保持機構とを備えたロボット装置のアー
   ム駆動機構。
7. 【請求項７】 回転数変換機構は、 平行リンクにより第１関節を介して伝達されるモータの
   回転数を−２倍に変換することを特徴とする請求項６記
   載のロボット装置のアーム駆動機構。