JP2001347483A

JP2001347483A - 搬送装置

Info

Publication number: JP2001347483A
Application number: JP2000167926A
Authority: JP
Inventors: Yoshioki Matsumura; 好起松村
Original assignee: MEIKIKO KK; Meikikou Corp
Current assignee: MEIKIKO KK; Meikikou Corp
Priority date: 2000-06-05
Filing date: 2000-06-05
Publication date: 2001-12-18

Abstract

(57)【要約】【課題】液晶基板等の薄板形状のワークの搬送に用い
られる水平多関節型の搬送装置において、近年ワークが
大型化し、また高速化することにより各アームを駆動さ
せる駆動力伝達用のベルトに付加される伸び方向の外力
が大きくなり、その結果ベルトの伸びが大きくなってハ
ンドの角度姿勢が安定せず、ひいてはワークの直進性が
損なわれる問題があった。本発明では、この問題を解決
する。【解決手段】各アーム２１，２２間、２２，２３間
を、ベース部と入力部と出力部を有する減速比Ｒの減速
ユニットのベース部と出力部を介して回転支持し、各減
速ユニットの入力部間をベルトで連結して駆動モータの
回転を伝達させる構成とする。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、例えば液晶基板
等の薄板形状のワーク（以下、単にワークという）を、
処理装置と収納棚との間等を搬送する際に好適な搬送装
置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、この種の搬送装置を２基用いた搬
送ユニットとして、例えば、図６に示す構成のものが提
供されている。各搬送装置１，２は、それぞれ相互に水
平方向に回転する第１〜第３アーム３〜５、６〜８を有
する水平多関節型のいわゆるスカラ型ロボットであり、
通常搬送効率を高めるために図示するように２台が併設
して用いられる。また、ワークＷは、先端側の第３アー
ム５，８に図示省略した吸着装置により吸着保持される
ようになっている。この２台の搬送装置１，２を、例え
ば基板処理装置と基板収納棚との間に配置して一方の搬
送装置１により未処理のワークＷ１を収納棚から処理装
置に搬送する一方、これとほぼ同時に他方の搬送装置２
により処理済みのワークＷ２を処理装置から収納棚に搬
送し、これにより処理装置と収納棚との間におけるワー
クＷ〜Ｗの搬送を効率よく行う構成となっている。

【０００３】図示左側の搬送装置１と図示右側の搬送装
置２は、ワークＷを保持する第３アーム５，８の形状が
相互に異なっている点を除いて同様の構成を有してい
る。図示左側の搬送装置１の第３アーム５は単なる平板
形状を有する一方、図示右側の搬送装置２の第３アーム
８は側面視略コ字形状を有している。図示左側の搬送装
置１の第３アーム５および該第３アーム５の上面側に吸
着保持したワークＷ１を、図示右側の搬送装置２の側面
視略コ字形をなす第３アーム８の上プレート８ａと下プ
レート８ｂとの間を通過させることにより、両搬送装置
１，２を同時に反対方向に作動させて２枚のワークＷ
１，Ｗ２をほぼ同じ直線経路上を搬送することができ
る。なお、ワークＷ２は図示右側の搬送装置２の上プレ
ート８ａの上面側に吸着保持される。

【０００４】このように用いられる搬送装置１，２は、
従来例えば図７に示すように構成されていた。なお、図
７は、図６において左側の搬送装置１を示しているが、
上記したように内部構造については同様であるので、図
６において右側の搬送装置２の説明は省略する。先ず、
第１アーム３は、基台１０に取り付けた減速機１２付き
の駆動モータ１１により基台１０に対して水平方向に回
転する。基台１０には第１駆動プーリー１３が取り付け
られている。この第１駆動プーリー１３は、減速機１２
の出力軸１２ａと同軸に配置されており、基台１０に回
転不能に固定されている。この第１駆動プーリー１３の
軸部１３ａに対して第１アーム３が図示省略した軸受け
により回転可能に支持されている。

【０００５】第１アーム３の先端側には、第１支柱１４
が上方へ突き出して設けられており、この第１支柱１４
は第２アーム４の内部へ入り込んでいる。この第１支柱
１４は、第２アーム４に一体に設けた第１従動プーリー
１５およびその軸部１５ａの内周側に同軸に位置してい
る。上記軸部１５ａは図示省略した軸受けにより第１ア
ーム３に対して相対的に回転可能に支持されている。第
１駆動プーリー１３と第１従動プーリー１５との間に第
１ベルト１７が掛け渡されている。第１支柱１４の先端
には、第２駆動プーリー１６が固定さている。一方、第
２アーム４の先端側には、第３アーム５に一体に設けた
第２従動プーリー１８が入り込んでいる。第２従動プー
リー１８の軸部１８ａは図示省略した軸受けにより第２
アーム４に対して相対的に回転可能に支持さている。こ
の第２従動プーリー１８と第２駆動プーリー１６との間
に第２ベルト１９が掛け渡されている。第１駆動プーリ
ー１３と第１従動プーリー１５の歯数比は２：１、第２
駆動プーリー１６と第２従動プーリー１８の歯数比は
１：２に設定されている。以上の構成により、従来の搬
送装置１は、図８において実線で示すように第１および
第２アーム３，４と第３アーム５が同一直線上に真っ直
ぐに延びた状態から、駆動モータ１１が起動して第１ア
ーム３が基台１０に対して右回りに角度αだけ回転する
と、第２アーム４は第１アーム３に対して左回りに角度
２αだけ回転し、第３アーム５は第２アーム４に対して
右回りに角度αだけ回転し、結果的に第３アーム５は基
台１０に対して回転していない状態となり、これにより
第３アーム５を直線経路に沿って平行移動させて、ワー
クＷを最短距離で搬送することができる。

【０００６】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記従
来の搬送装置１には次のような問題があった。すなわ
ち、近年搬送するワークＷの大型化に伴い第１〜第３ア
ーム３〜５が長大化し、またこれを高速で動作させるこ
とにより各アーム３〜５には大きな慣性力が作用し、こ
れが各プーリー間を連結する第１および第２ベルト１
７，１９に対して伸び（弛み）方向の外力となって作用
するため、第１および第２ベルト１７，１９の伸びが従
前よりも著しくなり、その結果第３アーム５の角度姿勢
（水平方向の向き）が安定せず、ひいてはその直進性が
低下する問題が発生している。本発明は、この問題に鑑
みなされたもので、各プーリー間を連結するベルトの伸
びを低減することによりワークの直進性を長期間にわた
って維持することができる搬送装置を提供することを目
的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】このため、本発明は、前
記請求項に記載した構成の搬送装置とした。請求項１記
載の搬送装置によれば、駆動モータの駆動力が、各減速
ユニットの入力部を経て伝達されるので、該各入力部間
に掛け渡したベルトに付加される引っ張り力は、出力部
間を掛け渡した場合に比して１／Ｒとなり、これにより
ベルトの伸びを少なくして、ワークの直進性を長期間に
わたって維持することができる。

【０００８】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施形態を図１〜
図５に基づいて説明する。図１は、本実施形態の搬送装
置２０を示している。この搬送装置２０は、ワークＷの
搬送面（紙面に直交する方向）に沿って相互に回転可能
に連結した第１〜第３アーム２１〜２３を有し、先端側
の第３アーム２３に保持したワークＷを直線移動させる
水平多関節型の構造を有している。この搬送装置２０
は、駆動モータ２５を駆動源として動作する。駆動モー
タ２５は基台２４に取り付けられている。駆動モータ２
５の出力軸２５ａには駆動プーリー２６が取り付けられ
ている。この駆動プーリー２６には、いわゆるタイミン
グプーリーと称される歯付きプーリーが用いられてい
る。

【０００９】また、基台２４には、第１減速ユニット５
０を介して上記第１アーム２１がワーク搬送方向に回転
可能に支持されている。第１減速ユニット５０は、図２
に示すようにベース部５１と入力部５２と出力部５３を
備えており、ベース部５１に対して（ベース部５１から
見て）入力部５２がＮ回転すると出力部５３が逆方向に
Ｎ／Ｒ回転する減速比Ｒの減速ユニットであって、本実
施形態では通称ハーモニックドライブと称されるものが
用いられている。ベース部５１は円盤形状を有し、入力
部５２は１本の軸形状を有し、出力部５３はベース部５
１よりも若干小径の円盤形状を有している。ベース５１
と出力部５３は同軸に重ね合わせられた状態で相互に回
転可能に組み合わされている。

【００１０】この減速ユニットそのものについてはすで
に公知のものであり（例えば、株式会社ハーモニックド
ライブシステムズ社製のハーモニックドライブＳＨＦシ
リーズ中空タイプ）、本実施形態において特に変更を要
しないので、その構造および原理については説明を省略
する。但し、本実施形態における減速ユニット５０は、
ベース部５１と出力部５３を貫通する状態で、入力部５
２が両側から突き出している。以下、必要に応じて、ベ
ース部５１側から突き出した部分をベース側入力部５２
ａといい、出力部５３側から突き出した部分を出力側入
力部５２ｂという。但し、入力部５２は１本の軸であ
り、ベース側入力部５２ａと出力側入力部５２ｂは一体
で回転する。

【００１１】ここで、本実施形態に用いる第１減速ユニ
ット５０（後述する第２および第３減速ユニット６０，
７０も同様）のベース部５１と入力部５２と出力部５３
との相対的な回転方向および回転角度の関係を図３に基
づいて説明する。上記のように第１減速ユニット５０が
減速比Ｒを有することから、ベース部５１に対して入力
部５２を例えば左回りにＮ度回転させると、出力部５３
はベース部５１に対して右回りにＮ／Ｒ度回転し、従っ
て入力部５２は出力部５３に対して左回りに（Ｎ＋Ｎ／
Ｒ）度回転し、またベース部５１は出力部５３に対して
相対的に左回りにＮ／Ｒ度回転する。このことから、ベ
ース部５１の回転を固定した時における入力部５２と出
力部５３の回転角度の比率はＲ：１で回転方向は逆にな
り、出力部５３の回転を固定した時における入力部５２
とベース部５１の回転角度の比率は（Ｎ＋Ｎ／Ｒ）：Ｎ
／Ｒ＝（Ｒ＋１）：１で回転方向は同じになる。

【００１２】本実施形態の場合、第１減速ユニット５０
のベース部５１が基台２４に固定され、出力部５３が第
１アーム２１の基端部下面に固定されている。ベース側
入力部５２ａは基台２４の下面側に突き出されており、
この突き出し部分に従動プーリー２７が取り付けられて
いる。この従動プーリー２７にも歯付きプーリーが用い
られている。前記駆動プーリー２６とこの従動プーリー
２７との間に、いわゆるタイミングベルトと称される歯
付きベルト２８が掛け渡されている。駆動プーリー２６
と従動プーリー２７との歯数比は任意に設定することが
できる。一方、出力側入力部５２ｂは第１アーム２１の
内部に突き出されており、この突き出し部分に第１プー
リー３１が取り付けられている。この第１プーリー３１
にも歯付きプーリーが用いられている。入力部５２の両
端に取り付けられた第１プーリー３１と従動プーリー２
７は一体で回転する。

【００１３】次に、第１アーム２１の先端側には第２減
速ユニット６０を介して第２アーム２２の回動基端側が
ワーク搬送方向に回動可能に支持されている。第２減速
ユニット６０には、第１減速ユニット５０と同様の構成
のものが用いられている。第２減速ユニット６０の出力
部６３が第１アーム２１の回動先端側の上面に固定さ
れ、ベース部６１が第２アーム２２の回動基端側の下面
に固定されている。第２減速ユニット６０の出力側入力
部６２ｂは第１アーム２１内に突き出されており、この
突き出し部分には第２プーリー３２が取り付けられてい
る。この第２プーリー３２にも、第１プーリー３１と同
様歯付きプーリーが用いられている。この第２プーリー
３２と上記第１プーリー３１との間にも歯付きベルト３
５が掛け渡されている。駆動側の第１プーリー３１と従
動側の第２プーリー３２の歯数比は２：１に設定されて
いる。

【００１４】一方、第２減速ユニット６０のベース側入
力部６２ａは第２アーム２２内に突き出されており、こ
の突き出し部分には第３プーリー３３が取り付けられて
いる。この第３プーリー３３にも歯付きプーリーが用い
られている。第２減速ユニット６０の出力側入力部６２
ｂとベース側入力部６２ａは１本の入力部６２の両端部
を構成しているので、第２プーリー３２と第３プーリー
３３は一体で回転する。第２アーム２２の回動先端側に
は第３減速ユニット７０を介して第３アーム２３がワー
ク搬送方向に回動可能に支持されている。第３減速ユニ
ット７０にも前記第１および第２減速ユニット５０，６
０と同様のものが用いられており、そのベース部７１は
第２アーム２２の回動先端側の上面に固定され、出力部
７３は第３アーム２３の回動基端側の下面に固定されて
いる。但し、この第３減速ユニット７０の入力部７２
は、ベース部７１側にのみ突き出されており、第１およ
び第２減速ユニット５０，６０とは異なって出力部７３
側には突き出されていない。従って、第３減速ユニット
７０は出力側入力部を有していない。

【００１５】第３減速ユニット７０のベース側入力部７
２ａは第２アーム２２内に突き出されており、この突き
出し部分に第４プーリー３４が取り付けられている。こ
の第４プーリー３４にも歯付きプーリーが用いられてい
る。この第４プーリー３４と上記第３プーリー３３との
間に第２ベルト３６が掛け渡されている。この第２ベル
ト３６にも歯付きベルトが用いられている。第３プーリ
ー３３と第４プーリー３４との歯数比は、１：２に設定
されている。第３プーリー３３と第４プーリー３４の軸
間距離と、第１プーリー３１と第２プーリー３２の軸間
距離は一致している。すなわち、第１減速ユニット５０
の入力部５２と第２減速ユニット６０の入力部６２との
軸間距離と、第２減速ユニット６０の入力部６２と第３
減速ユニット７０の入力部７２との軸間距離は一致して
いる。第３アーム２３は、本実施形態では帯板形状を有
しており、その上面側に薄板形状のワークＷを保持する
ための保持手段を備えている。図ではこの保持手段は省
略されている。この第３アーム２３が当該搬送装置２０
のいわゆるハンドに相当する。

【００１６】以上のように構成した搬送装置２０によれ
ば、駆動モータ２５が起動すると、駆動プーリー２６、
歯付きベルト２８および従動プーリー２６を経て第１減
速ユニット５０の入力部５２が回転する。なお、以下の
説明において、各減速ユニット５０，６０，７０のベー
ス部５１，６１，７１、入力部５２，６２，７２、出力
部５３，６３，７３の回転方向、各プーリー２６，２
７，３１，３２，３３，３４の回転方向、各アーム２
１，２２，２３の回転方向については、図１において矢
印Ｄ方向から平面的に見た場合について言う。各部の動
作が図４に模式的に示されている。

【００１７】先ず、図４において実線で示すように第１
〜第３アーム２１，２２，２３が同一軸線Ｊ上に伸びた
初期位置に位置する状態において、駆動モータ２５が正
転側に起動して、第１減速ユニット５０の入力部５２す
なわち第１プーリー３１が左回りにＮ度回転したとする
と、以下図４中二点鎖線で示すように第１減速ユニット
５０の出力部５３すなわち第１アーム２１が右回りにＮ
／Ｒ度だけ回転する。従って、第１プーリー３１は第１
アーム２１に対して相対的に左回りに（Ｎ＋Ｎ／Ｒ）度
回転したことになり、その結果第１プーリー３１と第２
プーリー３２の歯数比が２：１であるから、第２プーリ
ー３２は第１アーム２１に対して左回りに２（Ｎ＋Ｎ／
Ｒ）度回転する。第２プーリー３２すなわち第２減速ユ
ニット６０の入力部６２が第１アーム２１すなわち第２
減速ユニット６０の出力部６３に対して左回りに２（Ｎ
＋Ｎ／Ｒ）度回転するので、第２減速ユニット６０のベ
ース部６１すなわち第２アーム２２は出力部６３すなわ
ち第１アーム２１に対して左回りに２（Ｎ＋Ｎ／Ｒ）／
（Ｒ＋１）度＝２Ｎ／Ｒ度回転する。

【００１８】次に、第２減速ユニット６０の入力部６２
すなわち第３プーリー３３が第１アーム２１に対して左
回りに２（Ｎ＋Ｎ／Ｒ）度回転し、第２アーム２２が左
回りに２Ｎ／Ｒ度回転するので、第３プーリー３３は第
２アーム２２に対して左回りに２（Ｎ＋Ｎ／Ｒ）−２Ｎ
／Ｒ＝２Ｎ度回転し、従って第３プーリー３３と第４プ
ーリー３４との歯数比が１：２であることから第４プー
リー３４が第２アーム２２に対して左回りにＮ度回転す
る。第４プーリー３４すなわち第３減速ユニット７０の
入力部７２が第２アーム２２すなわち第３減速ユニット
７０のベース部７１に対して左回りにＮ度回転するの
で、出力部７３すなわち第３アーム２３は第２アーム２
２に対して右回りにＮ／Ｒ度回転する。

【００１９】以上のように当該搬送装置２０の初期位置
（軸線Ｊ、基台２４）に対して第１アーム２１が右回り
にＮ／Ｒ度回転すると、第２アーム２２が第１アーム２
１に対して左回りに２Ｎ／Ｒ度回転し、また第３アーム
２３が第２アーム２２に対して右回りにＮ／Ｒ度回転す
るので、前記説明した従来の搬送装置１と同様第３アー
ム２３は基台２４に対して回転せず、従って該第３アー
ム２３は軸線Ｊに沿って距離Ｌだけ直線移動し、これに
よりワークＷを距離Ｌだけ搬送することができる。

【００２０】駆動モータ２５の回転数を適切に制御する
ことにより、第１アーム２１の回転角度を任意に設定す
ることができ、これによりワークＷの搬送距離を任意に
設定することができる。また、駆動モータ２５を逆転さ
せれば、各プーリー３１，３２，３３および各アーム２
１，２２，２３等を上記とは逆方向に動作させることが
でき、これによりワークＷを上記とは逆方向に搬送する
ことができる。

【００２１】以上のように構成した本実施形態の搬送装
置２０によれば、各プーリー３１，３２，３３，３４は
それぞれ減速ユニット５０，６０，７０の入力部５２，
６２，７２に取り付けられて、第１プーリー３１と第２
プーリー３２間に掛け渡した第１ベルト３５、第３プー
リー３３と第４プーリー３４間に掛け渡した第２ベルト
３６がそれぞれ減速ユニット５０，６０，７０の入力部
５２，６２，７２間に掛け渡されているので、両ベルト
３５，３６に付加される伸び方向の外力を従来に比して
小さくすることができ、これにより従来構成の搬送装置
１に比して第３アーム２３の角度姿勢を安定させてその
直進性を向上させることができる。

【００２２】以下、従来の搬送装置１と本実施形態の搬
送装置２０とにおける各ベルトに付加される外力を比較
する。従来の搬送装置１は第１アーム３が回転すること
により基台１０に固定した第１駆動プーリー１３が第１
アーム３に対して相対的に回転し、この回転が第１ベル
ト１７を介して第１従動プーリー１５に伝達されて第２
アーム４が第１アーム３に対して（第１支柱１４回り
に）回転する構成となっている。このため、第２アーム
４を第１支柱１４回りに回転させるために必要なトルク
ｔ₂は、第１従動プーリー１５のピッチ円半径をｒ₁₅と
し、第１ベルト１７が伝える力（第１ベルト１７に付加
される外力）をｆ₁とすると、ｔ₂＝ｆ₁×ｒ₁₅となり、
従ってｆ₁＝ｔ₂／ｒ₁₅となる。

【００２３】これに対して、本実施形態の搬送装置２０
においては、第１ベルト３５により第２プーリー３２に
伝えられたトルクが第２減速ユニット６０（入力部６２
に対するベース部６１の減速比（Ｒ＋１））により（Ｒ
＋１）倍に増幅され、これが第２アーム２２を回転させ
るためのトルクＴ₂として作用する。このため、本実施
形態において第１ベルト３５が伝える力Ｆ₁は、第２プ
ーリー３２のピッチ円半径をＲ₃₂とすると、Ｆ₁＝Ｔ₂／
（Ｒ₃₂×（Ｒ＋１））となる。このことから、第２アー
ム２２を回転させるために必要なトルクＴ₂、第２プー
リー３２のピッチ円半径Ｒ₃₂が従来と同じであるとする
と（Ｔ₂＝ｔ₂、Ｒ₃₂＝ｒ₁₅）、第１ベルト３５が伝える
力Ｆ１は従来構成における第１ベルト１７が伝える力ｆ
₁の１／（Ｒ＋１）倍で足りる（Ｒ＞０）。

【００２４】次に、第３アーム２３（５）を第２アーム
２２（４）に対して回転させる構成について見ると、従
来は第１アーム３に対して第２アーム４を回転させるた
めの構成と同様に、第１アーム３に対して第２アーム４
を回転させることにより第１アーム３に固定した第２駆
動プーリー１６の第２アーム４に対する相対回転を第２
ベルト１９を介して第２従動プーリー１８に伝達して第
３アーム５を第２アーム４に対して回転させる構成であ
るので、第３アーム５を第２アーム４に対して回転させ
るために必要なトルクをｔ₃とし、第２従動プーリー１
８のピッチ円半径をｒ₁₈とすると、第２ベルト１９が伝
える力ｆ₂は、ｆ₂＝ｔ₃／ｒ₁₈となる。これに対して、
本実施形態において第２アーム２２の場合と同様に第２
ベルト３６が第４プーリー３４に伝達するトルクは、第
３減速ユニット７０（入力部７２に対する出力部７３の
減速比Ｒ）によりＲ倍に増幅されて第３アーム２３に伝
達されるので、第３アーム２３を第２アーム２２に対し
て回転させるために必要なトルクをＴ₃とし、第４プー
リー３４のピッチ円半径をＲ₃₄とすると、第２ベルト３
６が伝える力Ｆ₂は、Ｆ₂＝Ｔ₃／（Ｒ₃₄×Ｒ）となる。
第３アーム２３（５）を回転させるために必要なトルク
Ｔ₃（ｔ₃）、第４プーリー３４（１８）のピッチ円半径
Ｒ₃₄（ｒ₁₈）が同じであるとすると、第２ベルト３６に
より伝えられる力は従来の第２ベルト１９に比して１／
Ｒになる。

【００２５】このように、例示した実施形態によれば、
各プーリーおよびベルトのサイズ、各アームを回転させ
るために必要なトルクが従来と同じであるならば、第１
および第２ベルト３５，３６により伝えられる力Ｆ₁，
Ｆ₂が従来の力ｆ₁，ｆ₂の（１／減速比）になるので、
第１および第２ベルト３５，３６の伸びも従来の（１／
減速比）になる。第１および第２ベルト３５，３６の伸
びが従来の（１／減速比）になるので、第２プーリー３
２および第４プーリー３４の角度誤差が従来の（１／減
速比）になる。しかも、第２および第４プーリー３２，
３４は、それぞれ第２、第３減速ユニット６０，７０の
入力部６２，７２に取り付けられているため、上記角度
誤差も（１／減速比）に縮小されて第２または第３アー
ム２２，２３に伝達される。

【００２６】このことから、本実施形態の搬送装置２０
によれば、第１および第２ベルト３５，３６の伸びが従
来の（１／減速比）となり、かつ第１または第２ベルト
の伸びに起因する角度誤差が（１／減速比）となって第
２または第３アーム２２，２３に伝達されることとな
り、結果的に第１および第２ベルト２１，２２の伸びが
第３アーム２３の直進性に与える影響を従来に比して
（１／減速比）²に縮小することができ、これにより第
３アーム２３ひいてはワークＷの直進性を大幅に向上さ
せることができる。

【００２７】また、本実施形態の搬送装置２０によれ
ば、従来の搬送装置１に比して第３アーム２３ひいては
ワークＷの直進性に与える第１および第２ベルト３５，
３６の伸びの影響を格段に少なくすることができるの
で、従来以上の直進性を確保しつつ第１および第２ベル
ト３５，３６の幅、あるいは第１〜第４プーリー３１〜
３４のピッチ円Ｒ半径をより小さいサイズに変更するこ
とができる。

【００２８】以上説明した実施形態には様々な変更を加
えることができる。例えば、図５に示すように第１〜第
３減速ユニット５０，６０，７０を逆向きに取り付けて
もよい。すなわち、第１減速ユニット５０は出力部５３
を基台２４に固定し、ベース部５１を第１アーム２１に
固定し、第２減速ユニット６０はベース部６１を第１ア
ーム２１に固定し、出力部６３を第２アーム２２に固定
し、第３減速ユニット７０は出力部７３を第２アーム２
２に固定し、ベース部７１を第３アーム２３に固定する
構成としてもよい。図５に示して実施形態は、上記のよ
うに第１〜第３減速ユニット５０，６０，７０の向きが
逆であることを除いて前記実施形態と同様である。従っ
て、図５では図１と同じ符号を用いている。なお、第３
減速ユニット７０が前記実施形態とは逆向きに取り付け
られているため、この実施形態では第３減速ユニット７
０の出力側入力部７２ｂが第２アーム２２内に突き出さ
れている。従って、この実施形態では第３減速ユニット
７０はベース側出力部を有していない（ベース部７１か
ら突き出す部分を有していない）。

【００２９】この搬送装置８０によれば、第１減速ユニ
ット５０の入力部５２が左回りにＮ度回転すると、ベー
ス部５１すなわち第１アーム２１が出力部５３すなわち
基台２４に対して同じく左回りにＮ／Ｒ度回転し、第２
アーム２２が第１アーム２１に対して右回りに２Ｎ／Ｒ
度回転する。従って、図１に示す構成に比して、第１お
よび第２アーム２１，２２は軸線Ｊに対して左右対称に
動作し、結果的に第３アーム２３は全く同様に移動す
る。

【００３０】また、駆動モータ２５の回転をベルト２８
を介して第１減速ユニット５０の入力部５２に伝達する
構成を例示したがギヤ列を介して伝達してもよく、また
カップリングを用いて駆動モータ２５の出力軸２５ａを
入力部５２に直結してもよい。さらに、第１〜第３減速
ユニット５０，６０，７０は全て同じ減速比Ｒを有する
ものを用いる構成を例示したが、必ずしも同じ減速比で
ある必要はなく、各プーリー３１，３２，３３，３４に
より得られる減速比に合わせて適切な減速比のものを用
いることができる。また、第１〜第３アーム２１〜２３
を有する搬送装置２０を例示したが、より多くのアーム
により先端側のアームを直進させる構成としてもよい。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施形態を示す図であり、搬送装置の
内部構造を示す側面図である。

【図２】減速ユニットの側面図である。

【図３】減速ユニットのベース部と入力部と出力部の回
転方向および回転角度の相互の関係を示す図である。

【図４】搬送装置の平面図であり、各アームと各プーリ
ーの回転方向および回転角度の相互の関係を模式的に示
す図である。

【図５】別形態の搬送装置の内部構造を示す側面図であ
る。本図は、図１と比較して各減速ユニットの向きが逆
になっている点を除いて同様の構成を有している。

【図６】従来の搬送装置を２基併設した搬送ユニットの
側面図である。

【図７】従来の搬送装置の内部構造を示す側面図であ
る。

【図８】従来の搬送装置の平面図であり、各アームの動
作を示す図である。

【符号の説明】

Ｗ，Ｗ１，Ｗ２…ワーク１，２…搬送装置（従来）２０…搬送装置（本願発明）２１…第１アーム、２２…第２アーム、２３…第３アー
ム２４…基台２５…駆動モータ３１…第１プーリー、３２…第２プーリー、３３…第３
プーリー、３４…第４プーリー３５…第１ベルト、３６…第２ベルト５０…第１減速ユニット５１…ベース部、５２…入力部、５３…出力部６０…第２減速ユニット６１…ベース部、６２…入力部、６３…出力部７０…第３減速ユニット７１…ベース部、７２…入力部、７３…出力部Ｒ…第１〜第３減速ユニットの減速比Ｎ…第１プーリーの回転角度

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】ワークの搬送面に沿って相互に回転可能
に連結した複数のアームを有し、先端側のアームに保持
したワークを直線移動させる水平多関節型の搬送装置で
あって、ベース部に対して入力部がＮ回転すると出力部が逆方向
にＮ／Ｒ回転する減速比Ｒの減速ユニットの前記ベース
部と前記出力部を用いて、基端側の第１アームと基台と
の間、および該第１アームを含む前記複数のアーム間を
回転可能に支持し、かつ前記入力部間に掛け渡したベル
トを介して前記基台に取り付けた駆動モータの駆動力を
前記複数のアームに伝達する構成とした搬送装置。