JP3932305B2 - 直線運動機構 - Google Patents

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Description

【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、円筒座標系ロボット等に用いる事のできる直線運動機構において、回転運動を複数のアームを用いて直線運動に変換する機構に関する。
【0002】
【従来の技術】
従来の円筒座標系ロボット等に用いている回転運動を複数のアームを用いて直線運動に変換する機構の概略図を図2、3に示す。図3のように第1アーム32と第1伝達軸41は直結されている。第1プーリー51は第1伝達軸41と同軸上でベース31に固定されていて、第1プーリー51と第2プーリー52は歯付ベルト35によって連結されている。第2アーム33と第2伝達軸42は直結されている。第3プーリー53は第2プーリー52と同軸上で第1アーム32に固定されていて第3プーリー53と第4プーリー54は歯付ベルト36によって連結されている。第4プーリー54とハンド34は第3伝達軸43を介して直結されている。
ここで第1プーリー51と第2プーリー52の歯数の比は2:1であり、第3プーリー53と第4プーリー54の歯数の比は1:2である。また、アーム上の各伝達軸の軸間距離L1=L2である。
図2のように第1アーム32がθ1反時計回りに回転すると、第1プーリー51が固定されているために歯付ベルト35によって第2プーリー52がθ2=2*θ1時計回りに回転する。すると第2プーリー52は第2アーム33に直結されているので第2アーム33もθ2=2*θ1時計回りに回転する。すると第3プーリー53が第1アーム33に固定されているために歯付ベルト36によって第4プーリー54がθ3=θ1反時計回りに回転する。第4プーリー54と直結されているハンド34もθ3=θ1反時計回りに回転する。このように運動するときハンド34はその姿勢を保持したままで、第1アーム32の回転中心P方向に移動する直線運動機構となる。この機構ではアームを駆動させる力を歯付ベルトとプーリー等で直接伝達している。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】
従来の円筒座標系ロボット等に用いる直線運動機構においては、アームやハンドを駆動させる力を歯付ベルトとプーリー等で直接伝達しているために、歯付ベルトの伸び等によってハンドの直線運動方向に対してハンドが横方向に振れたり(特に始動時、停止時に顕著に起こる)、ハンドが横方向からの力に対して移動しやすいという問題点があった。上記の円筒座標系ロボットは、主にシリコンウェーハやガラス基板を石英ボート等に移載する為に利用されるので、直線運動方向に対してハンドが横方向に振れたりするとシリコンウエーハやガラス基板を石英ボート等に接触させて傷つけることになる。特にアームが長くなるとベルトも長くなり、アームを駆動させる力も指数関数的に増加するのでベルトの伸びはさらに大きくなる。結果として、横方向の振れ幅も指数関数的に増加することになり使用可能な搬送距離には限界がある。
【0004】
本発明は円筒座標系ロボット等に用いる直線運動機構において、ハンドの直線運動方向に対してハンドが横方向に振れたり、横方向からの力に対して移動しやすいという問題点を従来の方法よりも小さくする方法を提供することを目的としている。
【0005】
【課題を解決するための手段】
上記目的を達成するために、本発明の直線運動機構では固定部と、固定部に対して回転可能な入力軸と、入力軸の回転が減速されて出力され入力軸と同軸の出力軸と、を備えた減速機を複数用い、前位の減速機の出力軸と後位の減速機の固定部との間に各減速機間の軸中心距離を固定するアームを架設し、更に前位の減速機の入力軸と後位の減速機の入力軸とを同時に回転させる伝動機構で連結している。(図1参照)このような機構により、減速機の入力軸の1つを回転させると、伝機構で各減速機の入力軸が連結されている為に各減速機の出力軸が同時に回転することで前記アームが回転する。さらに最後位の減速機の出力軸は、最前位の減速機の軸中心と最後位の減速機の軸中心とを結んだ直線上を移動する。
【0006】
上記の機構を用いて直線運動とするために、各減速機の減速比と回転方向、各減速機の入力軸を連結し同時に回転させる伝動機構の速度比、各減速機の軸中心の距離等の関係は適宜決定される
【0007】
上記の機構はアームを3個以上、減速機を4個以上用いる場合でも直線運動をするようになる。その場合も各減速機の減速比と回転方向、各減速機の入力軸を連結し同時に回転させる伝動機構の速度比、各減速機の軸中心の距離等の関係は適宜決定される。(図6参照)
【0008】
上記の機構はアームを2個以上、減速機を2個以上用いる場合でも、従来の技術を併用し直線運動機構とすることができる。その場合も各減速機の減速比と回転方向、各減速機の入力軸を連結し同時に回転させる伝動機構の速度比、各減速機の軸中心の距離等の関係は適宜決定される。(図7参照)
【0009】
【発明の実施の形態】
発明の実施の形態を実施例にもとづき図面を参照して説明する。
基本的構成は、図1に示すように複数の第1、第2、及び第3減速機(11、12、13)と、第1、第2アーム(2、3)と、第1、第2伝動機構(21、22)とを備えてなる。図1の詳細な構造は図4に示す。
【0010】
図4に示される実施例について説明する。第1固定部11aに対して回転可能な第1入力軸11bと、入力軸の回転が減速されて出力され入力軸と同軸上で回転可能な第1出力軸11cとを備えた第1減速機11を用いる。尚、第2、第3減速機は第1減速機と同じ構成である。減速機にはハーモニックドライブを使用している。
【0011】
第1減速機11の出力軸11Cと第2減速機12の固定部12aとの間に第1アーム2を架設し、同様に第2減速機12の出力軸12Cと第3減速機13の固定部13aとの間に第2アーム3を架設する。第1アーム2は図5のように箱型で内部に第1伝動機構21を備えている。そして第1減速機11の出力軸11Cを前位の下側に有し、第2減速機12の固定部12aを後位の上側に有している。尚、第2アーム3は第1アーム2と同じ構成である。
【0012】
第1入力軸11bに第1プーリー21aを、第2入力軸12bに第2、第3プーリー(21b、22a)を、第3入力軸13bに第4プーリー22bを固着する。そして、第1、第2プーリー(21a、21b)を歯付ベルト21cで連結して第1伝動機構21を構成し、第3、第4ブーリー(22a、22b)を歯付ベルト22cで連結して第2伝動機構22を構成する。
【0013】
第1伝動機構21と第2伝動機構22は第2入力軸12bで連結されているので、第1、第2、第3入力軸(11b、12b、13b)は同時に同方向に回転が可能である。
【0014】
第1固定部11aはベース1にねじで固定され、第1出力軸11cは第1アーム2にねじで固定されベース1に対して(クロスローラーベアリング23の作用により)回転可能である。同様にして第2、第3出力軸(12c、13c)は第2アーム3及びハンド4にねじで固定され第1、第2アーム(2、3)に対して回転可能である。ゆえに、ハンド4と第1、第2アーム(2、3)とベース1は互いに回転可能である。
【0015】
第1減速機11(入力軸と出力軸が同回転方向)の減速比を1/101、第2減速機12(入力軸と出力軸が逆方向に回転)の減速比を1/50、第3減速機13(入力軸と出力軸が同回転方向)の減速比を1/101とする。
【0016】
第1、第2プーリー(21a、21b)の歯数を同じとして、第3プーリー22aの歯数を101歯、第4プーリー22bの歯数を102歯とする。
【0017】
第1減速機11の軸中心と第2減速機12の軸中心との距離は、第2減速機12の軸中心と第3減速機13の軸中心との距離に等しい。
【0018】
第1入力軸11bをベース1に対して反時計回りに101回転させると、第1アーム2はベース1に対して反時計回りに1回転する。このとき第1アーム2に対して第1、第2プーリー(21a、21b)は101−1=100回転することになる。第2プーリー21bが回転することにより、第2アーム3は時計回りに第1アーム2に対して2回転する。このとき第2アーム3に対して第2、第3プーリー(21b、22a)は反時計回りに100+2=102回転することになる。第2アーム3に対して第3プーリー22aが102回転するとき、第4プーリー22bは101回転するので、ハンド4は第2アーム3に対して反時計回りに1回転することになる。そうすると、第1アーム2がベース1に対して反時計回りに1回転するとき、第2アーム3は第1アーム2に対して時計回りに2回転し、ハンド4は第2アーム3に対して反時計回りに1回転することになる。つまり、第1アーム2が反時計回りにθ1回転すると、第2アーム3は第1アーム2に対して時計回りにθ2=2*θ1回転し、ハンド4は第2アーム3に対して反時計回りにθ3=θ1回転する。このように運動するとき、ハンド4はその姿勢を保持したままで、第1アーム2の回転中心方向に移動する直線運動をするようになる。(図2参照)
【0019】
この場合は、第1、第2アーム(2、3)やハンド4を第2、第3減速機(12、13)を用いて駆動させるので、歯付ベルト(21c、22c)に作用する張力は、アームやハンドを歯付ベルトで直接駆動する従来の技術と比較して小さくすることができる。つまり、歯付ベルト(21c、22c)の伸びを小さくすることができる。さらに、歯付ベルト(21c、22c)の伸びにより生じる第2アーム3やハンド4の回転角度は、第2、第3減速機(12、13)の減速比(1/50、1/101)に比例するので、従来の技術より歯付ベルトの伸びの影響を小さくすることができる。
【0020】
図7の実施例ではアームを2個、減速機を2個用いて、本発明と従来の技術を併用した場合の直線運動機構を示している。
【0021】
ベース1と、第1、第2減速機(11、12)と、第1アーム2と、第1伝動機構21は前述の実施例と同様である。ただし、第2入力軸12bは中空となっている。また、第2減速機12の出力軸12Cには第2アーム71を固定する。第3プーリー75は、第2プーリー21bと同軸上で固定軸73と固着していて、固定軸73は第1アーム2と固定されている。また、第4プーリー76は伝達軸74と固着していて、伝達軸74はハンド72と固着している。第3プーリー75と第4プーリー76は歯付ベルト77によって連結されている。
【0022】
第1減速機11(入力軸と出力軸が同回転方向)の減速比を1/101、第2減速機12(入力軸と出力軸が逆方向に回転)の減速比を1/50とする。
【0023】
第1、第2ブーリー(21a、21b)の歯数を同じとして、第3プーリー75と第4プーリー76の歯数の比は1:2とする。
【0024】
第1減速機11の軸中心と第2減速機12の軸中心との距離は、固定軸73の軸中心と伝達軸74の軸中心との距離に等しい。
【0025】
第1入力軸11bをベース1に対して反時計回りに101回転させると、第1アーム2はベース1に対して反時計回りに1回転する。このとき第1アーム2に対して第1、第2プーリー(21a、21b)は101−1=100回転することになる。第2プーリー21bが回転することにより、第2アーム71は、第1アーム2に対して時計回りに2回転する。すると、第3プーリー75が第1アーム71に固定されているために、歯付ベルト77によって第4プーリー76が反時計回りに1回転する。すると、第4プーリー77と直結されているハンド72も反時計回りに1回転する。つまり、第1アーム2が反時計回りにθ1回転すると、第2アーム71は第1アーム2に対して時計回りにθ2=2*θ1回転し、ハンド72は第2アーム71に対して反時計回りにθ3=θ1回転する。このように運動するとき、ハンド72はその姿勢を保持したままで、第1アーム2の回転中心方向に移動する直線運動をするようになる。(図2参照)
【0026】
この場合は、第1、第2アーム(2、71)を第1、第2減速機(11、12)を用いて駆動している。また、歯付ベルト77と第3、第4プーリー(75、76)はハンド72の姿勢の制御のみに用いている為、歯付ベルト77に加わる力は第1、第2アーム(2、71)を駆動させる力に比べて非常に小さく、歯付ベルト77の伸び等も非常に小さい。従って、従来の技術より歯付ベルトの伸び等の影響を小さくすることができる。
【0027】
図6の実施例ではアームを3個用いた場合の直線運動機構を示している。この図においてL4=2*L3、L3=L5である。また、θ4=θ7、2*θ4=θ5=θ6である。つまり、第1アーム61が反時計回りにθ4回転すると、第2アーム62は第1アーム61に対して時計回りにθ5=2*θ4回転する。また、第3アーム63は第2アーム62に対して反時計回りにθ6=2*θ4回転し、ハンド64は第3アーム63に対して時計回りにθ7=θ4回転する。このように運動するとき、ハンド64はその姿勢を保持したままで、第1アーム61の回転中心Q方向に移動する直線運動をするようになる。
【0028】
【発明の効果】
本発明は、以上に説明したように構成されているので、以下に記載されるような効果を奏する。
【0029】
図1、4、5、6、7の実施例では、アームやハンドを減速機を用いて駆動させるので、歯付ベルトの伸び等の影響が小さくなり、ハンドの直線運動方向に対してハンドが横方向に振れたり、横方向からの力に対して移動しやすいという問題点を、従来の技術よりも小さくすることができる。特に歯付ベルトの伸びの影響が小さくなるので、アームを長くして搬送距離を長くするときに有効である。
【0030】
また、今迄は軽量物の搬送に主に利用されていたが、減速機に十分な強度を持たせることにより、重量物の搬送やハンドに作用力が働く作業等にも使用することができるようになる。
【0031】
尚、上記実施例において、アームを3個以上用いることにより、アームが2個の機構よりも長い搬送距離で利用することができる。(図6参照)
【図面の簡単な説明】
【図1】発明した直線運動機構の基本的構成の縦断面図である。
【図2】図3の直線運動機構を上から見た図であり、図3の機構が直線運動になることを示す平面図である。尚、図1、図7を上から見た図も同様の図になる。
【図3】従来の円筒座標系ロボットの直線運動機構部分の縦断面図である。
【図4】発明した直線運動機構の詳細な構成を表わした縦断面図である。
【図5】発明した直線運動機構の立面図である。
【図6】発明した直線運動機構においてアームを3個用いた構成を上から見た平面図であり、直線運動になることを示す図である。
【図7】発明した直線運動機構においてアームを2個、減速機を2個用いた構成でも、従来の技術を併用することによってハンドは直線運動をするようになる。その基本的構成の縦断面図である。
【符号の説明】
1 ベース
2 第1アーム
3 第2アーム
4 ハンド
11 第1減速機
11a 第1固定部
11b 第1入力軸
11c 第1出力軸
12 第2減速機
12a 第2固定部
12b 第2入力軸
12c 第2出力軸
13 第3減速機
13a 第3固定部
13b 第3入力軸
13c 第3出力軸
21 第1伝動機構
21a 第1プーリー
21b 第2プーリー
21c 歯付ベルト
22 第2伝動機構
22a 第3プーリー
22b 第4プーリー
22c 歯付ベルト
23 クロスローラーベアリング
24、25 クロスローラーベアリング押さえ
26 ベアリング
31 ベース
32 第1アーム
33 第2アーム
34 ハンド
35、36 歯付ベルト
41 第1伝達軸
42 第2伝達軸
43 第3伝達軸
51 第1プーリー
52 第2プーリー
53 第3プーリー
54 第4プーリー
61 第1アーム
62 第2アーム
63 第3アーム
64 ハンド
71 第2アーム
72 ハンド
73 固定軸
74 伝達軸
75 第3プーリー
76 第4プーリー
77 歯付ベルト
θ1 第1アーム32の回転角度
θ2 第2アーム33の回転角度
θ3 ハンド34の回転角度
θ4 第1アーム61の回転角度
θ5 第2アーム62の回転角度
θ6 第3アーム63の回転角度
θ7 ハンド64の回転角度
L1 第1アーム32上の伝達軸(41、42)の軸中心の距離
L2 第2アーム33上の伝達軸(42、43)の軸中心の距離
L3 第1アーム61上の回転軸中心の距離
L4 第2アーム62上の回転軸中心の距離
L5 第3アーム63上の回転軸中心の距離
P 第1アーム32の回転中心
Q 第1アーム61の回転中心

Claims (1)

  1. 固定部と、前記固定部に対して回転可能な入力軸と、前記入力軸の回転が減速されて出力され前記入力軸と同軸の出力軸と、を備えた減速機を複数用い、前位の減速機の出力軸と後位の減速機の固定部との間に各減速機間の軸中心距離を固定するアームを架設し、更に前位の減速機の入力軸と後位の減速機の入力軸とを同時に回転させる伝機構で連結したことで、減速機の入力軸の1つを回転させると、前記伝機構で各減速機の入力軸が連結されている為に各減速機の出力軸が同時に回転することで前記アームが回転し、最後位の減速機の出力軸は、最前位の減速機の軸中心と最後位の減速機の軸中心とを結んだ直線上を移動することを特徴とする直線運動機構。
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