JP2003136442A - ワーク搬送ロボット - Google Patents
ワーク搬送ロボットInfo
- Publication number
- JP2003136442A JP2003136442A JP2001331431A JP2001331431A JP2003136442A JP 2003136442 A JP2003136442 A JP 2003136442A JP 2001331431 A JP2001331431 A JP 2001331431A JP 2001331431 A JP2001331431 A JP 2001331431A JP 2003136442 A JP2003136442 A JP 2003136442A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- hand
- movable block
- cam plate
- base
- cam follower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/002—Arms comprising beam bending compensation means
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J18/00—Arms
- B25J18/02—Arms extensible
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/06—Programme-controlled manipulators characterised by multi-articulated arms
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Robotics (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Manipulator (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】Ｚ軸方向のストロークの減少及びコスト低減を
図り、さらに、真空中での使用を可能にすること。 【解決手段】撓み補正機構４は、上面４１ａの高さ位置
が円周方向に沿って変化するカムプレート４１と、プー
リ２ｆと一体になって回動し、かつ、プーリ２ｆ側の水
平軸４４回りに回動可能な可動ブロック４３と、可動ブ
ロック４３に固定され、プーリ２ｆの回動に伴いカムプ
レート上面４１ａ上を円周方向へ転動するカムフォロア
４２とを備え、ワークを保持したハンド１が前進及び後
退する間、カムフォロア４２がカムプレート上面４１ａ
上を円周方向へ転動することにより可動ブロック４３が
水平軸４４回りに回動し、ハンド１を水平状態に維持す
る。更にアーム自体の撓み等により発生したアーム先端
での上下変位量は、ロボット本体の上下軸（Ｚ軸）によ
り常に一定の高さを保つよう補正する。
図り、さらに、真空中での使用を可能にすること。 【解決手段】撓み補正機構４は、上面４１ａの高さ位置
が円周方向に沿って変化するカムプレート４１と、プー
リ２ｆと一体になって回動し、かつ、プーリ２ｆ側の水
平軸４４回りに回動可能な可動ブロック４３と、可動ブ
ロック４３に固定され、プーリ２ｆの回動に伴いカムプ
レート上面４１ａ上を円周方向へ転動するカムフォロア
４２とを備え、ワークを保持したハンド１が前進及び後
退する間、カムフォロア４２がカムプレート上面４１ａ
上を円周方向へ転動することにより可動ブロック４３が
水平軸４４回りに回動し、ハンド１を水平状態に維持す
る。更にアーム自体の撓み等により発生したアーム先端
での上下変位量は、ロボット本体の上下軸（Ｚ軸）によ
り常に一定の高さを保つよう補正する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置及び
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の大型ガラス基
板及び半導体用大型ウエハなどワークを搬送するワーク
搬送ロボットに関する。
プラズマディスプレイパネル（ＰＤＰ）の大型ガラス基
板及び半導体用大型ウエハなどワークを搬送するワーク
搬送ロボットに関する。
【０００２】
【従来の技術】大型ガラス基板など重量の大きなワーク
を搬送するワーク搬送ロボットにおいては、ハンドにワ
ークを積載してハンドを伸長する時モーメント負荷によ
りハンド上で撓みが発生する。
を搬送するワーク搬送ロボットにおいては、ハンドにワ
ークを積載してハンドを伸長する時モーメント負荷によ
りハンド上で撓みが発生する。
【０００３】このため、従来のワーク搬送ロボットにお
いては、例えば、ハンドの元部（付け根）にアジャスタ
ボルトを設け、予めアジャスタボルトを操作してハンド
の仰角を調整しハンドが伸長して最大前進位置（実用使
用領域での終端位置）に達したときハンドが水平状態に
なるように設定している。
いては、例えば、ハンドの元部（付け根）にアジャスタ
ボルトを設け、予めアジャスタボルトを操作してハンド
の仰角を調整しハンドが伸長して最大前進位置（実用使
用領域での終端位置）に達したときハンドが水平状態に
なるように設定している。
【０００４】また、大気中で使用されるワーク搬送ロボ
ットにおいては、ハンドの付け根にモータによる撓み補
正軸を設けてハンドの撓みに対応していた。
ットにおいては、ハンドの付け根にモータによる撓み補
正軸を設けてハンドの撓みに対応していた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記ア
ジャスタボルト使用タイプのワーク搬送ロボットによる
と、ハンドが始端位置から終端位置まで移動する間、モ
ーメント負荷の変動によりハンド先端が弧を描くような
動作をするようになり、このため、ハンドに積載された
ワークがこのワークの搬送先であるカセット及び装置ス
テージなどの各スロット及びゲート間口などと干渉しや
すくなる。そこで、このような干渉を避けるために、予
め各スロット間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設
定しており、これに伴い、ロボットのＺ軸方向（上下方
向）のストロークを大きくとる必要があった。
ジャスタボルト使用タイプのワーク搬送ロボットによる
と、ハンドが始端位置から終端位置まで移動する間、モ
ーメント負荷の変動によりハンド先端が弧を描くような
動作をするようになり、このため、ハンドに積載された
ワークがこのワークの搬送先であるカセット及び装置ス
テージなどの各スロット及びゲート間口などと干渉しや
すくなる。そこで、このような干渉を避けるために、予
め各スロット間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設
定しており、これに伴い、ロボットのＺ軸方向（上下方
向）のストロークを大きくとる必要があった。
【０００６】また、上記モータ使用タイプのワーク搬送
ロボットによると、コスト高になると共に真空中ではモ
ータ及びその配線類からのアウトガス及びモータ配線処
理等に対する効果的な対応策をとることが困難なため現
状使用できないという問題があった。
ロボットによると、コスト高になると共に真空中ではモ
ータ及びその配線類からのアウトガス及びモータ配線処
理等に対する効果的な対応策をとることが困難なため現
状使用できないという問題があった。
【０００７】本発明は、上記のような従来のワーク搬送
ロボットが抱えている問題を解決し、Ｚ軸方向のストロ
ークを減少させることができると共にコストの低減を図
ることができ、しかも、真空中での使用が可能なワーク
搬送ロボットを提供することを目的とする。
ロボットが抱えている問題を解決し、Ｚ軸方向のストロ
ークを減少させることができると共にコストの低減を図
ることができ、しかも、真空中での使用が可能なワーク
搬送ロボットを提供することを目的とする。
【０００８】なお、ワーク搬送ロボットには、いわゆる
スカラ型のロボット（例えば、第２アームと第１アーム
とハンドとを備えると共にプーリ及びタイミングベルト
又は、スチールベルト等を内蔵し、第２アームと第１ア
ームとの水平面上の回転位相及び第１アームとハンドと
の水平面上の回転位相が変化してハンドが水平直線軌道
上を前進、後退するロボット）、及び、直動型のロボッ
ト（例えば、固定ベース上をスライドベースが水平直線
移動すると共にスライドベース上をハンドが水平直線移
動するロボット）が知られているが、本発明は、いずれ
のロボットに対しても適用できるようにしたものであ
る。
スカラ型のロボット（例えば、第２アームと第１アーム
とハンドとを備えると共にプーリ及びタイミングベルト
又は、スチールベルト等を内蔵し、第２アームと第１ア
ームとの水平面上の回転位相及び第１アームとハンドと
の水平面上の回転位相が変化してハンドが水平直線軌道
上を前進、後退するロボット）、及び、直動型のロボッ
ト（例えば、固定ベース上をスライドベースが水平直線
移動すると共にスライドベース上をハンドが水平直線移
動するロボット）が知られているが、本発明は、いずれ
のロボットに対しても適用できるようにしたものであ
る。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明のワーク搬送ロボ
ットは、ワークを保持したハンドの前進及び後退に連動
して前記ハンドを水平状態に維持する機械的構造のみに
よる撓み補正機構を前記ハンドの元部側に設けたことを
特徴とする。
ットは、ワークを保持したハンドの前進及び後退に連動
して前記ハンドを水平状態に維持する機械的構造のみに
よる撓み補正機構を前記ハンドの元部側に設けたことを
特徴とする。
【００１０】本発明のワーク搬送ロボットは、スカラ型
のワーク搬送ロボットにおいて、撓み補正機構を設け、
該撓み補正機構は、第１アームの先端部のケース上面側
に固定されるカムプレートであって、上面の高さ位置が
円周方向に沿って変化するカムプレートと、ハンドの元
部に固定される可動ブロックであって、前記第１アーム
の先端部のプーリと一体になって回動し、かつ、該プー
リ側の水平軸回りに回動可能な可動ブロックと、前記可
動ブロックに固定されるカムフォロアであって、前記プ
ーリの回動に伴い前記カムプレートの上面上を円周方向
へ転動するカムフォロアとを備え、ワークを保持したハ
ンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが前記カ
ムプレートの上面上を円周方向へ転動することにより前
記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記ハンド
を水平状態に維持することを特徴とする。また、アーム
の垂れから起因する上下方向の高さの変位補正は、その
アーム垂れの個体差を予め教示することによりロボット
の上下軸（Ｚ軸）を使用し、上下変位の補正を行う。
のワーク搬送ロボットにおいて、撓み補正機構を設け、
該撓み補正機構は、第１アームの先端部のケース上面側
に固定されるカムプレートであって、上面の高さ位置が
円周方向に沿って変化するカムプレートと、ハンドの元
部に固定される可動ブロックであって、前記第１アーム
の先端部のプーリと一体になって回動し、かつ、該プー
リ側の水平軸回りに回動可能な可動ブロックと、前記可
動ブロックに固定されるカムフォロアであって、前記プ
ーリの回動に伴い前記カムプレートの上面上を円周方向
へ転動するカムフォロアとを備え、ワークを保持したハ
ンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが前記カ
ムプレートの上面上を円周方向へ転動することにより前
記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記ハンド
を水平状態に維持することを特徴とする。また、アーム
の垂れから起因する上下方向の高さの変位補正は、その
アーム垂れの個体差を予め教示することによりロボット
の上下軸（Ｚ軸）を使用し、上下変位の補正を行う。
【００１１】本発明のワーク搬送ロボットは、直動型の
ワーク搬送ロボットにおいて、撓み補正機構を設け、該
撓み補正機構は、スライドベースの上面に固定されるカ
ムプレートであって、上面の高さ位置が前後方向に沿っ
て変化するカムプレートと、前記スライドベースの上面
上を前後方向へ直動可能なハンドベースと、ハンドの元
部に固定される可動ブロックであって、前記ハンドベー
スの水平軸回りに回動可能な可動ブロックと、前記可動
ブロックに固定されるカムフォロアであって、前記ハン
ドベースの直動に伴い前記カムプレートの上面上を前後
方向へ転動するカムフォロアとを備え、ワークを保持し
たハンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが前
記カムプレートの上面上を前後方向へ転動することによ
り前記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記ハ
ンドを水平状態に維持することを特徴とする。また、ア
ームの垂れから起因する上下方向の高さの変位補正は、
そのアーム垂れの個体差を予め教示することによりロボ
ットの上下軸（Ｚ軸）を使用し、上下変位の補正を行
う。
ワーク搬送ロボットにおいて、撓み補正機構を設け、該
撓み補正機構は、スライドベースの上面に固定されるカ
ムプレートであって、上面の高さ位置が前後方向に沿っ
て変化するカムプレートと、前記スライドベースの上面
上を前後方向へ直動可能なハンドベースと、ハンドの元
部に固定される可動ブロックであって、前記ハンドベー
スの水平軸回りに回動可能な可動ブロックと、前記可動
ブロックに固定されるカムフォロアであって、前記ハン
ドベースの直動に伴い前記カムプレートの上面上を前後
方向へ転動するカムフォロアとを備え、ワークを保持し
たハンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが前
記カムプレートの上面上を前後方向へ転動することによ
り前記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記ハ
ンドを水平状態に維持することを特徴とする。また、ア
ームの垂れから起因する上下方向の高さの変位補正は、
そのアーム垂れの個体差を予め教示することによりロボ
ットの上下軸（Ｚ軸）を使用し、上下変位の補正を行
う。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施形態を図面に
基づいて説明する。
基づいて説明する。
【００１３】図１は、本発明の適用例であるスカラ型の
ワーク搬送ロボットの要部の平面図、図２は、同ロボッ
トの要部を概念的に示した側面図である。
ワーク搬送ロボットの要部の平面図、図２は、同ロボッ
トの要部を概念的に示した側面図である。
【００１４】図１及び図２において、１は大型ガラス基
板など重量の大きなワークを積載するハンド、２はハン
ド１の元部１ａに先端部２ａが連結された第１アーム、
３は第１アーム２の元部２ｂに先端部３ａが連結された
第２アームをそれぞれ表しており、第２アーム３の元部
３ｂは、Ｚ軸方向（上下方向）へ移動可能かつθ軸方向
（水平面における円周方向）へ回転可能な図示しない機
台に連結されている。第２アーム３、第１アーム２及び
ハンド１は、公知のように、図示しない駆動機構（プー
リ、タイミングベルト又は、スチールベルトなど）によ
って、図１に示した点Ｏを固定位置として図１及び図２
に実線で示した状態Ｓs から図１及び図２に一点鎖線で
示した状態Ｓm を経て図１及び図２に二点鎖線で示した
状態Ｓeへと変位し、ハンドは始端位置から終端位置ま
での直線軌道上を前進する。また、第２アーム３、第１
アーム２及びハンド１は、公知のように、上記とは逆の
状態へも変位し、ハンド１は前進時と同じ直線軌道上を
終端位置から始端位置まで後退する。
板など重量の大きなワークを積載するハンド、２はハン
ド１の元部１ａに先端部２ａが連結された第１アーム、
３は第１アーム２の元部２ｂに先端部３ａが連結された
第２アームをそれぞれ表しており、第２アーム３の元部
３ｂは、Ｚ軸方向（上下方向）へ移動可能かつθ軸方向
（水平面における円周方向）へ回転可能な図示しない機
台に連結されている。第２アーム３、第１アーム２及び
ハンド１は、公知のように、図示しない駆動機構（プー
リ、タイミングベルト又は、スチールベルトなど）によ
って、図１に示した点Ｏを固定位置として図１及び図２
に実線で示した状態Ｓs から図１及び図２に一点鎖線で
示した状態Ｓm を経て図１及び図２に二点鎖線で示した
状態Ｓeへと変位し、ハンドは始端位置から終端位置ま
での直線軌道上を前進する。また、第２アーム３、第１
アーム２及びハンド１は、公知のように、上記とは逆の
状態へも変位し、ハンド１は前進時と同じ直線軌道上を
終端位置から始端位置まで後退する。
【００１５】ハンド１と第１アーム２との連結部位に
は、ワークを積載したハンド１が前進及び後退するとき
モーメント負荷によって第２アーム３、第１アーム２及
びハンド１に生じる撓みを補正するための機械的構造の
みによる撓み補正機構４が設けられている。
は、ワークを積載したハンド１が前進及び後退するとき
モーメント負荷によって第２アーム３、第１アーム２及
びハンド１に生じる撓みを補正するための機械的構造の
みによる撓み補正機構４が設けられている。
【００１６】撓み補正機構４は、第１アーム２の先端部
２ａのケース２ｃの上面２ｄ側に固定されるカムプレー
ト４１を備える。このカムプレート４１の上面４１ａ
は、その高さ位置が円周方向に沿って変化するよう形成
されている。すなわち、カムプレート４１の上面４１ａ
は、ハンド１が始端位置にあるときに後述するカムフォ
ロア４２と接触する位置から、ハンド１が終端位置にあ
るときにカムフォロア４２と接触する位置まで、高さ位
置が連続的に徐々に上昇するように形成されている。ハ
ンド１の元部１ａには可動ブロック４３が固定されてい
る。この可動ブロック４３は、第１アーム２の先端部２
ａのプーリ（図示せず）と一体になって回動すると共に
上記プーリ側の水平軸４４回りに回動可能である。可動
ブロック４３にはカムフォロア４２が固定されている。
このカムフォロア４２は、上記プーリの回動に伴いカム
プレート４１の上面４１ａ上を円周方向へ転動する。
２ａのケース２ｃの上面２ｄ側に固定されるカムプレー
ト４１を備える。このカムプレート４１の上面４１ａ
は、その高さ位置が円周方向に沿って変化するよう形成
されている。すなわち、カムプレート４１の上面４１ａ
は、ハンド１が始端位置にあるときに後述するカムフォ
ロア４２と接触する位置から、ハンド１が終端位置にあ
るときにカムフォロア４２と接触する位置まで、高さ位
置が連続的に徐々に上昇するように形成されている。ハ
ンド１の元部１ａには可動ブロック４３が固定されてい
る。この可動ブロック４３は、第１アーム２の先端部２
ａのプーリ（図示せず）と一体になって回動すると共に
上記プーリ側の水平軸４４回りに回動可能である。可動
ブロック４３にはカムフォロア４２が固定されている。
このカムフォロア４２は、上記プーリの回動に伴いカム
プレート４１の上面４１ａ上を円周方向へ転動する。
【００１７】このように構成された撓み補正機構４は、
ワークを保持したハンド１が始端位置から終端位置まで
前進する間、モーメント負荷によって第２アーム３、第
１アーム２及びハンド１に俯角方向の撓みが生じ、この
俯角方向の撓みは、ハンド１が始端位置から終端位置に
向かうに従って徐々に増大してゆく。この間、カムフォ
ロア４２はカムプレート４１の上面４１ａ上を円周方向
へ転動し、カムフォロア４２の高さ位置は、上述したよ
うにカムプレート４１の上面４１ａがその高さ位置が徐
々に上昇するよう形成されているため、徐々に上昇して
ゆく。このようなカムフォロア４２の高さ位置の上昇に
伴い、可動ブロック４３は水平軸４４回りに回動し、ハ
ンド１に対しその先端部１ｂを上昇させる方向、換言す
ると、ハンド１の仰角を増大させる方向に作用する。そ
して、このようなハンド１の仰角の増大は、第２アーム
３、第１アーム２及びハンド１の俯角方向の撓みと相殺
され、ハンド１は、前進する間、水平状態に維持され
る。更に、アーム自体の撓み等により発生したアーム部
先端での上下変位量は、ロボット本体の上下軸（Ｚ軸）
により常に一定の高さを保つように補正される。
ワークを保持したハンド１が始端位置から終端位置まで
前進する間、モーメント負荷によって第２アーム３、第
１アーム２及びハンド１に俯角方向の撓みが生じ、この
俯角方向の撓みは、ハンド１が始端位置から終端位置に
向かうに従って徐々に増大してゆく。この間、カムフォ
ロア４２はカムプレート４１の上面４１ａ上を円周方向
へ転動し、カムフォロア４２の高さ位置は、上述したよ
うにカムプレート４１の上面４１ａがその高さ位置が徐
々に上昇するよう形成されているため、徐々に上昇して
ゆく。このようなカムフォロア４２の高さ位置の上昇に
伴い、可動ブロック４３は水平軸４４回りに回動し、ハ
ンド１に対しその先端部１ｂを上昇させる方向、換言す
ると、ハンド１の仰角を増大させる方向に作用する。そ
して、このようなハンド１の仰角の増大は、第２アーム
３、第１アーム２及びハンド１の俯角方向の撓みと相殺
され、ハンド１は、前進する間、水平状態に維持され
る。更に、アーム自体の撓み等により発生したアーム部
先端での上下変位量は、ロボット本体の上下軸（Ｚ軸）
により常に一定の高さを保つように補正される。
【００１８】また、ワークを保持したハンド１が上記と
は反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述
したハンド１の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド１
は前進時と同様に水平状態に維持される。
は反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述
したハンド１の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド１
は前進時と同様に水平状態に維持される。
【００１９】図３〜図５は、図２に概念的に示した撓み
補正機構４を具体的に示しており、図３は撓み補正機構
の側面図、図４は撓み補正機構の正面図、図５は撓み補
正機構の平面図である。
補正機構４を具体的に示しており、図３は撓み補正機構
の側面図、図４は撓み補正機構の正面図、図５は撓み補
正機構の平面図である。
【００２０】図３〜図５において、１はハンド、１ａは
ハンド１の元部、２は第１アーム、２ａは第１アーム２
の先端部、２ｃは先端部２ａのケース、２ｄはケース２
ｃの上面をそれぞれ表している。
ハンド１の元部、２は第１アーム、２ａは第１アーム２
の先端部、２ｃは先端部２ａのケース、２ｄはケース２
ｃの上面をそれぞれ表している。
【００２１】図３及び図４に示すように、ケース２ｃの
内部には、固定軸２ｅが設けられており、この固定軸２
ｅに可動プーリ２ｆが回動自在に配設されている。可動
プーリ２ｆには、タイミングベルト又はスチールベルト
等２ｇが掛け渡されており、このタイミングベルト又は
スチールベルト等２ｇは、第１アーム２の図示しない元
部側の固定プーリにも掛け渡されている。
内部には、固定軸２ｅが設けられており、この固定軸２
ｅに可動プーリ２ｆが回動自在に配設されている。可動
プーリ２ｆには、タイミングベルト又はスチールベルト
等２ｇが掛け渡されており、このタイミングベルト又は
スチールベルト等２ｇは、第１アーム２の図示しない元
部側の固定プーリにも掛け渡されている。
【００２２】図３及び図４に示すように、第１アーム２
の先端部２ａのケース２ｃの上面２ｄには、カバー体４
５が固着されている。カバー体４５の内部のケース上面
２ｄには、カムプレート保持部材４６が固着されてお
り、このカムプレート保持部材４６に、図４に示すよう
に、カムプレート用アジャスタスクリュー４７によって
カムプレート４１が固定されている。カムプレート用ア
ジャスタスクリュー４７は、カムプレート４１の姿勢を
微調整するものである。カムプレート４１は円環状に形
成されており、このカムプレート４１の上面４１ａは、
その高さ位置が円周方向に沿って変化するよう形成され
ている。すなわち、カムプレート４１の上面４１ａは、
ハンド１が始端位置にあるときにカムフォロア４２と接
触する位置から、ハンド１が終端位置にあるときにカム
フォロア４２と接触する位置まで、高さ位置が連続的に
徐々に上昇するように形成されている。
の先端部２ａのケース２ｃの上面２ｄには、カバー体４
５が固着されている。カバー体４５の内部のケース上面
２ｄには、カムプレート保持部材４６が固着されてお
り、このカムプレート保持部材４６に、図４に示すよう
に、カムプレート用アジャスタスクリュー４７によって
カムプレート４１が固定されている。カムプレート用ア
ジャスタスクリュー４７は、カムプレート４１の姿勢を
微調整するものである。カムプレート４１は円環状に形
成されており、このカムプレート４１の上面４１ａは、
その高さ位置が円周方向に沿って変化するよう形成され
ている。すなわち、カムプレート４１の上面４１ａは、
ハンド１が始端位置にあるときにカムフォロア４２と接
触する位置から、ハンド１が終端位置にあるときにカム
フォロア４２と接触する位置まで、高さ位置が連続的に
徐々に上昇するように形成されている。
【００２３】カバー体４５の内部には、図３に示すよう
に、第１アーム２の可動プーリ２ｆに固着された水平軸
保持部材４８が収容されている。水平軸保持部材４８
は、図５に示すように、水平軸４４を回動自在に保持す
る軸受部４９を備えている。水平軸４４の両端部には、
図３〜図５に示すように、可動ブロック４３が固着され
ている。可動ブロック４３は、水平軸４４回りに回動可
能である。可動ブロック４３には、図４に示すように、
カムフォロア用アジャスタボルト５０によって微調整ブ
ロック５２が固定されている。微調整ブロック５２に
は、円環状のカムプレート４１の上面４１ａ上を円周方
向へ転動可能にカムフォロア４２が固定されている。カ
ムフォロア用アジャスタボルト５０は、可動ブロック４
３に対する微調整ブロック５２の姿勢を調整し、カムフ
ォロア４２の高さ位置を微調整するものである。
に、第１アーム２の可動プーリ２ｆに固着された水平軸
保持部材４８が収容されている。水平軸保持部材４８
は、図５に示すように、水平軸４４を回動自在に保持す
る軸受部４９を備えている。水平軸４４の両端部には、
図３〜図５に示すように、可動ブロック４３が固着され
ている。可動ブロック４３は、水平軸４４回りに回動可
能である。可動ブロック４３には、図４に示すように、
カムフォロア用アジャスタボルト５０によって微調整ブ
ロック５２が固定されている。微調整ブロック５２に
は、円環状のカムプレート４１の上面４１ａ上を円周方
向へ転動可能にカムフォロア４２が固定されている。カ
ムフォロア用アジャスタボルト５０は、可動ブロック４
３に対する微調整ブロック５２の姿勢を調整し、カムフ
ォロア４２の高さ位置を微調整するものである。
【００２４】可動ブロック４３には、ハンド１の元部１
ａが固定されている。
ａが固定されている。
【００２５】上記のように構成された撓み補正機構４に
おいて、ワークを保持したハンド１が始端位置から終端
位置まで前進する間、カムフォロア４２はカムプレート
４１の上面４１ａ上を円周方向へ転動し、カムフォロア
４２の高さ位置は、上述したようにカムプレート４１の
上面４１ａがその高さ位置が徐々に上昇するよう形成さ
れているため、徐々に上昇してゆく。このようなカムフ
ォロア４２の高さ位置の上昇に伴い、可動ブロック４３
は水平軸４４回りに回動し、ハンド１に対しその先端部
１ｂを上昇させる方向、換言すると、ハンド１の仰角を
増大させる方向に作用する。そして、このようなハンド
１の仰角の増大は、第２アーム３、第１アーム２及びハ
ンド１の俯角方向の撓みと相殺され、ハンド１は、前進
する間、水平状態に維持される。
おいて、ワークを保持したハンド１が始端位置から終端
位置まで前進する間、カムフォロア４２はカムプレート
４１の上面４１ａ上を円周方向へ転動し、カムフォロア
４２の高さ位置は、上述したようにカムプレート４１の
上面４１ａがその高さ位置が徐々に上昇するよう形成さ
れているため、徐々に上昇してゆく。このようなカムフ
ォロア４２の高さ位置の上昇に伴い、可動ブロック４３
は水平軸４４回りに回動し、ハンド１に対しその先端部
１ｂを上昇させる方向、換言すると、ハンド１の仰角を
増大させる方向に作用する。そして、このようなハンド
１の仰角の増大は、第２アーム３、第１アーム２及びハ
ンド１の俯角方向の撓みと相殺され、ハンド１は、前進
する間、水平状態に維持される。
【００２６】また、ワークを保持したハンド１が上記と
は反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述
したハンド１の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド１
は前進時と同様に水平状態に維持される。なお、ハンド
１が前進してゆくにしたがってハンド１の高さ位置は撓
みによって徐々に下降してゆくが、この高さ位置は、Ｚ
軸方向（上下方向）の高さ位置が調整可能な機台を制御
することによって補正することができ、ハンド１を常に
同じ高さ位置に保ちながら水平状態に維持させることが
できる。
は反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述
したハンド１の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド１
は前進時と同様に水平状態に維持される。なお、ハンド
１が前進してゆくにしたがってハンド１の高さ位置は撓
みによって徐々に下降してゆくが、この高さ位置は、Ｚ
軸方向（上下方向）の高さ位置が調整可能な機台を制御
することによって補正することができ、ハンド１を常に
同じ高さ位置に保ちながら水平状態に維持させることが
できる。
【００２７】以上説明したように、本実施形態に係るス
カラ型のワーク搬送ロボットによると、重量の大きなワ
ークを保持したハンド１が前進及び後退する間、ハンド
１は水平状態を維持できるため、ワークがその搬送先で
あるカセット及び装置ステージなどの各スロット及びゲ
ート間口などと干渉するおそれが少なくなり、各スロッ
ト間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設定する必要
性が無くなる。したがって、ロボットのＺ軸方向（上下
方向）のストロークを小さく設定することが可能にな
る。
カラ型のワーク搬送ロボットによると、重量の大きなワ
ークを保持したハンド１が前進及び後退する間、ハンド
１は水平状態を維持できるため、ワークがその搬送先で
あるカセット及び装置ステージなどの各スロット及びゲ
ート間口などと干渉するおそれが少なくなり、各スロッ
ト間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設定する必要
性が無くなる。したがって、ロボットのＺ軸方向（上下
方向）のストロークを小さく設定することが可能にな
る。
【００２８】また、撓み補正機構４は、機械的構造のみ
によるため、モータ使用タイプの撓み補正機構と比べコ
スト安になると共に、モータレスにより真空中でのアウ
トガス等の発生も抑制でき、真空中でも十分使用できる
ようになる。
によるため、モータ使用タイプの撓み補正機構と比べコ
スト安になると共に、モータレスにより真空中でのアウ
トガス等の発生も抑制でき、真空中でも十分使用できる
ようになる。
【００２９】図６は、本発明の他の適用例である直動型
のワーク搬送ロボットの要部の平面図、図７は、同ロボ
ットの要部を概念的に示した側面図、図８は、同ロボッ
トの要部を概念的に示した背面図である。
のワーク搬送ロボットの要部の平面図、図７は、同ロボ
ットの要部を概念的に示した側面図、図８は、同ロボッ
トの要部を概念的に示した背面図である。
【００３０】図６〜図８において、１は大型ガラス基板
など重量の大きなワークを積載するハンド、１１は、ロ
ボット本体部から突出し、Ｚ軸方向（上下方向）へ移動
可能かつθ方向（水平面における円周方向）へ回転可能
な機台を表している。機台１１には長四角板状の固定ベ
ース１２が水平状態で連結固定されている。固定ベース
１２の上面には、長手方向に沿った左右一対のレール１
３、１３に係合したリニアガイド１４、１４を介して固
定ベース１２と略同じ平面形状のスライドベース１５が
配置されている。スライドベース１５の上面には、長手
方向に沿った左右一対のレール１６、１６に係合したリ
ニアガイド１７、１７を介してハンド１が配設されてい
る（厳密には、ハンド１とリニアガイド１７、１７との
間には、後述する撓み補正機構６が介在する）。スライ
ドベース１５及びハンド１は、公知のように、図示しな
い駆動機構（ベルト、あるいは、ラックとピニオンな
ど）によって、図６及び図７に実線で示した状態Ｓs か
ら図６及び図７に一点鎖線で示した状態Ｓm を経て図６
及び図７に二点鎖線で示した状態Ｓe へと変位し、ハン
ド１は始端位置から終端位置までの直線軌道上を前進す
る。また、スライドベース１５及びハンド１は、公知の
ように、上記とは逆の状態へも変位し、ハンド１は前進
時と同じ直線軌道上を終端位置から始端位置まで後退す
る。
など重量の大きなワークを積載するハンド、１１は、ロ
ボット本体部から突出し、Ｚ軸方向（上下方向）へ移動
可能かつθ方向（水平面における円周方向）へ回転可能
な機台を表している。機台１１には長四角板状の固定ベ
ース１２が水平状態で連結固定されている。固定ベース
１２の上面には、長手方向に沿った左右一対のレール１
３、１３に係合したリニアガイド１４、１４を介して固
定ベース１２と略同じ平面形状のスライドベース１５が
配置されている。スライドベース１５の上面には、長手
方向に沿った左右一対のレール１６、１６に係合したリ
ニアガイド１７、１７を介してハンド１が配設されてい
る（厳密には、ハンド１とリニアガイド１７、１７との
間には、後述する撓み補正機構６が介在する）。スライ
ドベース１５及びハンド１は、公知のように、図示しな
い駆動機構（ベルト、あるいは、ラックとピニオンな
ど）によって、図６及び図７に実線で示した状態Ｓs か
ら図６及び図７に一点鎖線で示した状態Ｓm を経て図６
及び図７に二点鎖線で示した状態Ｓe へと変位し、ハン
ド１は始端位置から終端位置までの直線軌道上を前進す
る。また、スライドベース１５及びハンド１は、公知の
ように、上記とは逆の状態へも変位し、ハンド１は前進
時と同じ直線軌道上を終端位置から始端位置まで後退す
る。
【００３１】ハンド１とスライドベース１５との連結部
位には、ワークを積載したハンド１が前進及び後退する
ときモーメント負荷によって固定ベース１２、スライド
ベース１５及びハンド１に生じる俯角方向の撓みを補正
するための機械的構造のみによる撓み補正機構６が設け
られている。
位には、ワークを積載したハンド１が前進及び後退する
ときモーメント負荷によって固定ベース１２、スライド
ベース１５及びハンド１に生じる俯角方向の撓みを補正
するための機械的構造のみによる撓み補正機構６が設け
られている。
【００３２】撓み補正機構６は、スライドベース１５上
の左右一対のレール１６、１６に係合したリニアガイド
１７、１７に固定された左右一対のハンドベース６１を
備える。左右一対のハンドベース６１は水平軸６２を介
して連結されている。水平軸６２には可動ブロック６３
が回動自在に配設されており、可動ブロック６３は水平
軸６２回りに回動可能とされている。スライドベース１
５の上面には、長手方向に沿って長尺なカムプレート６
４が固定されている。カムプレート６４は、その上面６
４ａの高さ位置が、前方へ向かうにしたがって連続的に
徐々に上昇するように形成されている。可動ブロック６
３には、カムプレート６４の上面６３ａ上を転動可能な
カムフォロア６５が固定されている。可動ブロック６３
にはハンド１の元部１ａが固定されている。
の左右一対のレール１６、１６に係合したリニアガイド
１７、１７に固定された左右一対のハンドベース６１を
備える。左右一対のハンドベース６１は水平軸６２を介
して連結されている。水平軸６２には可動ブロック６３
が回動自在に配設されており、可動ブロック６３は水平
軸６２回りに回動可能とされている。スライドベース１
５の上面には、長手方向に沿って長尺なカムプレート６
４が固定されている。カムプレート６４は、その上面６
４ａの高さ位置が、前方へ向かうにしたがって連続的に
徐々に上昇するように形成されている。可動ブロック６
３には、カムプレート６４の上面６３ａ上を転動可能な
カムフォロア６５が固定されている。可動ブロック６３
にはハンド１の元部１ａが固定されている。
【００３３】上記のように構成された撓み補正機構６に
おいて、ワークを保持したハンド１が始端位置から終端
位置まで前進する間、カムフォロア６５はカムプレート
６４の上面６４ａ上を前方へ向かって転動し、カムフォ
ロア６５の高さ位置は、上述したようにカムプレート６
４の上面６４ａがその高さ位置が徐々に上昇するよう形
成されているため、徐々に上昇してゆく。このようなカ
ムフォロア６５の高さ位置の上昇に伴い、可動ブロック
６３は水平軸６２回りに回動し、ハンド１に対しその先
端部１ｂを上昇させる方向、換言すると、ハンド１の仰
角を増大させる方向に作用する。そして、このようなハ
ンド１の仰角の増大は、固定ベース１２、スライドベー
ス１５及びハンド１の俯角方向の撓みと相殺され、ハン
ド１は、前進する間、水平状態に維持される。更に、ス
ライドベース１５自体の撓み等により発生したスライド
ベース先端での上下変位量は、ロボット本体の上下軸
（Ｚ軸）により常に一定の高さを保つように補正され
る。
おいて、ワークを保持したハンド１が始端位置から終端
位置まで前進する間、カムフォロア６５はカムプレート
６４の上面６４ａ上を前方へ向かって転動し、カムフォ
ロア６５の高さ位置は、上述したようにカムプレート６
４の上面６４ａがその高さ位置が徐々に上昇するよう形
成されているため、徐々に上昇してゆく。このようなカ
ムフォロア６５の高さ位置の上昇に伴い、可動ブロック
６３は水平軸６２回りに回動し、ハンド１に対しその先
端部１ｂを上昇させる方向、換言すると、ハンド１の仰
角を増大させる方向に作用する。そして、このようなハ
ンド１の仰角の増大は、固定ベース１２、スライドベー
ス１５及びハンド１の俯角方向の撓みと相殺され、ハン
ド１は、前進する間、水平状態に維持される。更に、ス
ライドベース１５自体の撓み等により発生したスライド
ベース先端での上下変位量は、ロボット本体の上下軸
（Ｚ軸）により常に一定の高さを保つように補正され
る。
【００３４】また、ワークを保持したハンド１が上記と
は反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述
したハンド１の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド１
は前進時と同様に水平状態に維持される。なお、ハンド
１が前進してゆくにしたがってハンド１の高さ位置は撓
みによって徐々に下降してゆくが、この高さ位置は、Ｚ
軸方向（上下方向）の高さ位置が調整可能な機台１１を
制御することによって補正することができ、ハンド１を
常に同じ高さ位置に保ちながら水平状態に維持させるこ
とができる。
は反対に終端位置から始端位置まで後退する間は、上述
したハンド１の前進時とは逆の動作が行われ、ハンド１
は前進時と同様に水平状態に維持される。なお、ハンド
１が前進してゆくにしたがってハンド１の高さ位置は撓
みによって徐々に下降してゆくが、この高さ位置は、Ｚ
軸方向（上下方向）の高さ位置が調整可能な機台１１を
制御することによって補正することができ、ハンド１を
常に同じ高さ位置に保ちながら水平状態に維持させるこ
とができる。
【００３５】以上説明したように、本実施形態に係る直
動型のワーク搬送ロボットによると、重量の大きなワー
クを保持したハンド１が前進及び後退する間、ハンド１
は水平状態を維持できるため、ワークがその搬送先であ
るカセット及び装置ステージなどの各スロット及びゲー
ト間口などと干渉するおそれが少なくなり、各スロット
間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設定する必要性
が無くなる。したがって、ロボットのＺ軸方向（上下方
向）のストロークを小さく設定することが可能になる。
動型のワーク搬送ロボットによると、重量の大きなワー
クを保持したハンド１が前進及び後退する間、ハンド１
は水平状態を維持できるため、ワークがその搬送先であ
るカセット及び装置ステージなどの各スロット及びゲー
ト間口などと干渉するおそれが少なくなり、各スロット
間ピッチ及びゲート間口高さなどを広く設定する必要性
が無くなる。したがって、ロボットのＺ軸方向（上下方
向）のストロークを小さく設定することが可能になる。
【００３６】また、撓み補正機構６は、機械的構造のみ
によるため、モータ使用タイプの撓み補正機構と比べコ
スト安になると共に、モータレスにより真空中でのアウ
トガス等の発生を抑制でき、真空中でも十分使用できる
ようになる。
によるため、モータ使用タイプの撓み補正機構と比べコ
スト安になると共に、モータレスにより真空中でのアウ
トガス等の発生を抑制でき、真空中でも十分使用できる
ようになる。
【００３７】
【発明の効果】本発明によると、Ｚ軸方向のストローク
を減少させることができると共にコストの低減を図るこ
とができ、しかも、真空中での使用が可能になる。
を減少させることができると共にコストの低減を図るこ
とができ、しかも、真空中での使用が可能になる。
【図１】本発明の適用例であるスカラ型のワーク搬送ロ
ボットの要部の平面図である。
ボットの要部の平面図である。
【図２】同ロボットの要部を概念的に示した側面図であ
る。
る。
【図３】撓み補正機構の側面図である。
【図４】撓み補正機構の正面図である。
【図５】撓み補正機構の平面図である。
【図６】本発明の他の適用例である直動型のワーク搬送
ロボットの要部の平面図である。
ロボットの要部の平面図である。
【図７】同ロボットの要部を概念的に示した側面図であ
る。
る。
【図８】同ロボットの要部を概念的に示した背面図であ
る。
る。
１ ハンド
１ａ 元部
２ 第１アーム
２ａ 先端部
２ｃ ケース
２ｄ 上面
２ｆ プーリ
１５ スライドベース
４、６ 撓み補正機構
４１、６４ カムプレート
４１ａ、６４ａ 上面
４２、６５ カムフォロア
４３、６３ 可動ブロック
４４、６２ 水平軸
６１ ハンドベース
─────────────────────────────────────────────────────
フロントページの続き
(72)発明者 加藤 克彦
愛知県一宮市多加木二丁目７番30号 株式
会社アイテック内
(72)発明者 中野 清憲
愛知県一宮市多加木二丁目７番30号 株式
会社アイテック内
Ｆターム(参考） 3C007 BS01 BS15 BT11 CY00 ES17
HT02 HT03 NS12
5F031 CA02 CA05 DA01 FA01 FA02
FA11 GA43 NA05 PA18 PA30
Claims (3)
- 【請求項１】 ワークを保持したハンドの前進及び後退
に連動して前記ハンドを水平状態に維持する機械的構造
のみによる撓み補正機構を前記ハンドの元部側に設けた
ことを特徴とするワーク搬送ロボット。 - 【請求項２】 スカラ型のワーク搬送ロボットにおい
て、 撓み補正機構を設け、 該撓み補正機構は、 第１アームの先端部のケース上面側に固定されるカムプ
レートであって、上面の高さ位置が円周方向に沿って変
化するカムプレートと、 ハンドの元部に固定される可動ブロックであって、前記
第１アームの先端部のプーリと一体になって回動し、か
つ、該プーリ側の水平軸回りに回動可能な可動ブロック
と、 前記可動ブロックに固定されるカムフォロアであって、
前記プーリの回動に伴い前記カムプレートの上面上を円
周方向へ転動するカムフォロアとを備え、ワークを保持
したハンドが前進及び後退する間、前記カムフォロアが
前記カムプレートの上面上を円周方向へ転動することに
より前記可動ブロックが前記水平軸回りに回動し、前記
ハンドを水平状態に維持することを特徴とするワーク搬
送ロボット。 - 【請求項３】 直動型のワーク搬送ロボットにおいて、 撓み補正機構を設け、 該撓み補正機構は、 スライドベースの上面に固定されるカムプレートであっ
て、上面の高さ位置が前後方向に沿って変化するカムプ
レートと、 前記スライドベースの上面上を前後方向へ直動可能なハ
ンドベースと、 ハンドの元部に固定される可動ブロックであって、前記
ハンドベースの水平軸回りに回動可能な可動ブロック
と、 前記可動ブロックに固定されるカムフォロアであって、
前記ハンドベースの直動に伴い前記カムプレートの上面
上を前後方向へ転動するカムフォロアとを備え、ワーク
を保持したハンドが前進及び後退する間、前記カムフォ
ロアが前記カムプレートの上面上を前後方向へ転動する
ことにより前記可動ブロックが前記水平軸回りに回動
し、前記ハンドを水平状態に維持することを特徴とする
ワーク搬送ロボット。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001331431A JP3908005B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | ワーク搬送ロボット |
| TW091122247A TW564207B (en) | 2001-10-29 | 2002-09-27 | Work carrying robot |
| CNB021457794A CN1261283C (zh) | 2001-10-29 | 2002-10-17 | 工件运送机器人 |
| KR1020020065789A KR20030035978A (ko) | 2001-10-29 | 2002-10-28 | 워크 반송로봇 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2001331431A JP3908005B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | ワーク搬送ロボット |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2003136442A true JP2003136442A (ja) | 2003-05-14 |
| JP3908005B2 JP3908005B2 (ja) | 2007-04-25 |
Family
ID=19147012
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2001331431A Expired - Fee Related JP3908005B2 (ja) | 2001-10-29 | 2001-10-29 | ワーク搬送ロボット |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3908005B2 (ja) |
| KR (1) | KR20030035978A (ja) |
| CN (1) | CN1261283C (ja) |
| TW (1) | TW564207B (ja) |
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007208235A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置および基板支持体 |
| WO2009072199A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Hirata Corporation | 基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法 |
| CN102528793A (zh) * | 2010-12-15 | 2012-07-04 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种用于板状工件搬运的末端执行器可侧翻机构 |
| TWI481487B (zh) * | 2008-09-26 | 2015-04-21 | Nidec Sankyo Corp | Industrial robots |
| CN106706455A (zh) * | 2017-03-01 | 2017-05-24 | 扬州金威环保科技有限公司 | 一种移动式清扫机的扫刷磨损度监测系统 |
| WO2019244657A1 (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| CN110948518A (zh) * | 2018-09-26 | 2020-04-03 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种洁净机器人用收发料装置 |
| CN110948517A (zh) * | 2018-09-26 | 2020-04-03 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种非等距式机器人供料装置 |
| JP2021129076A (ja) * | 2020-02-17 | 2021-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置、処理システム及び搬送方法 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4524132B2 (ja) * | 2004-03-30 | 2010-08-11 | 東京エレクトロン株式会社 | 真空処理装置 |
| EP1645513A3 (en) * | 2004-09-21 | 2006-04-19 | Philip Morris Products S.A. | Modular packing assembly |
| JP2006110662A (ja) * | 2004-10-14 | 2006-04-27 | Toshiba Mach Co Ltd | 産業用ロボット |
| KR101609775B1 (ko) | 2014-03-24 | 2016-04-06 | 주식회사 로보스타 | 피치 가변형 로봇 |
| CN110948511B (zh) * | 2018-09-26 | 2022-07-26 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种交替步进式机器人供料装置 |
| CN110948512B (zh) * | 2018-09-26 | 2022-07-26 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种倾摆补偿式直驱真空机器人 |
-
2001
- 2001-10-29 JP JP2001331431A patent/JP3908005B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2002
- 2002-09-27 TW TW091122247A patent/TW564207B/zh active
- 2002-10-17 CN CNB021457794A patent/CN1261283C/zh not_active Expired - Fee Related
- 2002-10-28 KR KR1020020065789A patent/KR20030035978A/ko not_active Application Discontinuation
Cited By (18)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007208235A (ja) * | 2006-01-06 | 2007-08-16 | Tokyo Electron Ltd | 基板搬送装置および基板支持体 |
| TWI397495B (zh) * | 2006-01-06 | 2013-06-01 | Tokyo Electron Ltd | A substrate transfer device and a substrate support |
| WO2009072199A1 (ja) * | 2007-12-05 | 2009-06-11 | Hirata Corporation | 基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法 |
| JP5006409B2 (ja) * | 2007-12-05 | 2012-08-22 | 平田機工株式会社 | 基板搬送装置及び基板搬送装置の制御方法 |
| KR101218112B1 (ko) * | 2007-12-05 | 2013-01-21 | 히라따기꼬오 가부시키가이샤 | 기판 반송 장치 및 기판 반송 장치의 제어 방법 |
| US8444368B2 (en) | 2007-12-05 | 2013-05-21 | Hirata Corporation | Substrate transport apparatus and control method for substrate transport apparatus |
| TWI481487B (zh) * | 2008-09-26 | 2015-04-21 | Nidec Sankyo Corp | Industrial robots |
| CN102528793A (zh) * | 2010-12-15 | 2012-07-04 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种用于板状工件搬运的末端执行器可侧翻机构 |
| CN106706455A (zh) * | 2017-03-01 | 2017-05-24 | 扬州金威环保科技有限公司 | 一种移动式清扫机的扫刷磨损度监测系统 |
| WO2019244657A1 (ja) * | 2018-06-19 | 2019-12-26 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| JPWO2019244657A1 (ja) * | 2018-06-19 | 2021-06-24 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| US11198216B2 (en) | 2018-06-19 | 2021-12-14 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Horizontal articulated robot |
| JP7370975B2 (ja) | 2018-06-19 | 2023-10-30 | 川崎重工業株式会社 | 水平多関節ロボット |
| CN110948518A (zh) * | 2018-09-26 | 2020-04-03 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种洁净机器人用收发料装置 |
| CN110948517A (zh) * | 2018-09-26 | 2020-04-03 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种非等距式机器人供料装置 |
| CN110948518B (zh) * | 2018-09-26 | 2022-08-02 | 沈阳新松机器人自动化股份有限公司 | 一种洁净机器人用收发料装置 |
| JP2021129076A (ja) * | 2020-02-17 | 2021-09-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置、処理システム及び搬送方法 |
| JP7412208B2 (ja) | 2020-02-17 | 2024-01-12 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送装置、処理システム及び搬送方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| KR20030035978A (ko) | 2003-05-09 |
| CN1261283C (zh) | 2006-06-28 |
| TW564207B (en) | 2003-12-01 |
| JP3908005B2 (ja) | 2007-04-25 |
| CN1418056A (zh) | 2003-05-14 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2003136442A (ja) | ワーク搬送ロボット | |
| TWI398335B (zh) | Workpiece conveying system | |
| KR101863473B1 (ko) | 엔드 이펙터 및 기판 반송 로봇 | |
| KR102092216B1 (ko) | 산업용 로봇 | |
| KR101531721B1 (ko) | 산업용 로보트 | |
| JP4495509B2 (ja) | トランスファロボット | |
| KR20080002818A (ko) | 다관절형 로보트 | |
| US20020136629A1 (en) | Method for aligning conveying position of object processing system, and object processing system | |
| US20140140800A1 (en) | Robot arm, robot and robot operating method | |
| JP2013049113A (ja) | ロボットのアーム構造およびロボット | |
| JP2006120861A (ja) | 傾き補正装置及びそれを備えた搬送ロボット | |
| JP2003019687A (ja) | ロボットハンドの駆動装置 | |
| TW200819373A (en) | Transfer equipment | |
| US10144127B2 (en) | Transfer apparatus | |
| JP2006005362A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP2004146714A (ja) | 被処理体の搬送機構 | |
| US11027918B2 (en) | Transfer device and stacker crane | |
| JP2009038268A (ja) | 基板搬送装置 | |
| JP4364001B2 (ja) | 搬送ロボット | |
| JP6116088B2 (ja) | エンドエフェクタ装置及び該エンドエフェクタ装置を用いた板状部材の位置決め方法 | |
| TWI750741B (zh) | 產業用機器人 | |
| KR20220010428A (ko) | 산업용 로봇 | |
| JP2011171347A (ja) | 基板把持機構およびそれを備えた基板搬送装置 | |
| CN111194253B (zh) | 工业用机器人 | |
| JP2009000785A (ja) | 産業用ロボット |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20031128 |
|
| A625 | Written request for application examination (by other person) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A625 Effective date: 20031209 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A821 Effective date: 20031211 |
|
| RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20040908 |
|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20050621 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050809 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050929 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20060425 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20060613 |
|
| TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
| A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20061219 |
|
| A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20070117 |
|
| R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |