JP2007208235A - 基板搬送装置および基板支持体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 ピック202は、その基端部において鉛直方向に引付ける引付け螺子210と、ピック202を鉛直方向に押付ける押付け螺子211とを用いて、ピックベース201に固定されており、その基端部側から先端部側へ向けて、水平軸に対して所定角度をなして斜め上方向に延び、先端部の高さ位置が、その基端部(ピックベース201による支持端)よりも上に位置している。
【選択図】 図7
Description
共通のピックベースに連結された複数のピックを備えて基板を支持する基板支持体と、
前記基板支持体をスライド可能に支持しつつ、自ら水平方向に進退可能な搬送アームと、
前記搬送アームを駆動する駆動部と、
を具備し、
前記ピックの先端部が、その基端部を超える高さに位置するように、前記ピックを傾斜させたことを特徴とする、基板搬送装置を提供する。
共通のピックベースに連結された複数のピックを備えて基板を支持する基板支持体と、
前記基板支持体をスライド可能に支持しつつ、自ら水平方向に進退可能な搬送アームと、
前記搬送アームを駆動する駆動部と、
を具備し、
前記ピックの先端部が、その基端部を超える高さに位置するように、前記ピックをその基端部近傍において折曲させたことを特徴とする、基板搬送装置を提供する。
また、前記基板支持体の前記ピックベースは、前記搬送アームを移動可能なスライド部材に取付けられているとともに、その取付け角度を任意に調節可能な取付け角度調節機構を備えていることが好ましい。
共通のピックベースに連結された複数のピックを備えてなり、前記ピックの先端部が、その基端部を超える高さに位置するように、前記ピックが傾斜していることを特徴とする、基板支持体を提供する。
上記第3の観点においては、複数の前記ピックをそれぞれ独立した角度で傾斜させることが好ましい。
上記第4の観点においては、複数の前記ピックをそれぞれ独立した角度で折曲させることが好ましい。
この真空処理システム1においては、その中央部に搬送室20とロードロック室30とが連設されている。搬送室20の周囲には、3つのプロセスチャンバ10a,10b,10cが配設されている。
図4は、搬送装置50を備えた搬送室20とその支持構造を示す垂直断面図である。この搬送装置50は、搬送動作を行う搬送ユニット501と、搬送ユニット501を駆動させる駆動ユニット502とを有している。また、図5は搬送装置50の搬送ユニット501を示す斜視図である。
また、スライドアーム512の側壁には、スライドアーム512に対してスライドピック513がスライドするためのガイドレール515およびベース部511に対してスライドアーム512がスライドするためのガイドレール516が設けられている。そして、スライドピック513にはガイドレール515に沿ってスライドするスライダー517が設けられており、ベース511にはガイドレール516に沿ってスライドするスライダー518が設けられている。
また、スライドアーム522の側壁には、スライドアーム522に対してスライドピック523がスライドするためのガイドレール525およびベース部521に対してスライドアーム522がスライドするためのガイドレール526が設けられている。そして、スライドピック523にはガイドレール525に沿ってスライドするスライダー527が設けられており、ベース521にはガイドレール526に沿ってスライドするスライダー528が設けられている。
すなわち、駆動ユニット502はシール部材102,103によって搬送室20の底板20aの開口部20bに遊嵌された状態となっている。一方、駆動ユニット502は、搬送室20外(下方)に露出したその下部において、連結フレーム104を介して支持フレーム101に連結され、固定されている。
そのため、本実施形態では、搬送装置50の荷重を、搬送室20の底板20aではなく、連結フレーム104を介して支持フレーム101によって支えることで、搬送室20内部が減圧排気され真空になった状態で、外部との圧力差により搬送装置50が上方、つまり搬送室20内、へ引き込まれることを防止している。駆動ユニット502のフランジ502aと搬送室20の底板20aとは、シール部材102,103により気密性が確保されつつ、遊びを持って接合されているので、図4中破線で示すように、底板20aが搬送室20内に引き込まれ撓みが生じても、搬送装置50の上下方向の位置は変化しない。
以上のような搬送装置50の支持構造を採用することにより、搬送室20内の圧力が変動しても搬送装置50における搬送ユニット501の高さが変動せず、一定に保つことができるので、基板Sの受渡し精度を確保できる。
まず、ピック202は、ピックベース201に2種類の螺子を用いて連結されている。すなわち、ピック202は、該ピック202を鉛直方向に引付ける複数の引付け螺子210と、ピック202を鉛直方向に押付ける複数の押付け螺子211とを用い、ピックベース201に固定されている。そして、引付け螺子210による引付けと、押付け螺子211による押付けのバランスを図ることにより、ピックベース201に固定されたピック202の傾斜角度θ1を任意に調節できるようになっている。
なお、ピック202の傾斜角度θ1は、ピック毎に設定できるので、例えば基板Sに、その自重によって搬送方向(図5のX軸方向)に対して直交する左右方向(図5のY軸方向)に撓みが生じた場合への対応も容易である。例えばスライドピック513の4本のピック202のうち、両端のピック202,202の傾斜角度を大きめに設定し、中間の2本のピック202,202の傾斜角度を小さく設定することにより、左右方向への基板Sの撓みや傾きについても矯正できる。
ピック203は、その基端部近傍の折曲部203aにおいて折曲している。従って、ピック203は、その折曲部203aから先端部側へ向けて、水平軸に対して所定角度θ1をなして斜め上方向に延びている。従って、ピック203の自重による撓み量を差しひいても、ピック203の先端部の高さ位置Pが、その基端部(ピックベース201による支持端)よりも上に位置する。なお、図9では、実際よりも折曲角度を強調して描いている。
ピック204の基端部は、固定部材220によってピックベース201に所定角度で固定されている。また、ピックベース201には、ピック204の支持軸204aを、その基端部からやや離れた位置で回動可能に支持する支持部230が設けられている。そして、ピック204の支持軸204aが支持部230に係合することにより、支持軸204aを支点としてピック204全体が僅かに回動するようになっている。
支持部230は、支持軸204aを固定するための左右一対の角度調節ブロック231と、これらの角度調節ブロック231の外側に設けられて支持軸204を保持する左右一対の軸受け部材232とを有している。
このように、押し螺子221による締め具合を調節することで、ピック204を所定角度に傾斜させることができる。そして、一対の押し螺子221を用いてピック204の先端部が基端部よりもやや上になるように傾斜させた状態で、3つの固定螺子222を締めることにより、ピック204の傾斜角度を固定することができる。このように、押し螺子221と固定螺子222とにより、ピック204を所定角度に固定した状態で保持できる。
すなわち、ピック204の支持軸204aを軸受け部材232の陥入凹部237に挿入して仮位置決めした安定な状態で、固定部材220の押し螺子221および固定螺子222を調節することによりピック204の傾斜角度を決定できるため、位置ずれが生じ難く、傾斜角度の設定作業が非常に容易になり、設定時間を短縮できる。
さらに、切り欠き部236を有する角度調節ブロック231の螺子235の締め具合を調整することによって、ピック204の長手方向の傾斜角度を微調整できるので、高精度に角度設定を行なうことが可能である。
また、ピック204の左右両側に突出する支持軸204aと角度調節ブロック231によって、ピック204毎に幅方向の傾斜を補正できるため、各ピック204を幅方向に水平な状態に保ち、安定的に基板Sを支持できる。
まず、搬送機構43の2枚のピック45、46を進退駆動させて、未処理基板を収容した一方のカセット40から2枚の基板Sをロードロック室30の上下2段の基板収容部31に搬入する。
10a,10b,10c;プロセスチャンバ
20;搬送室
30;ロードロック室
50;搬送装置
60;制御部
201;ピックベース
202,203,204;ピック
210;引付け螺子
211;押付け螺子
501;搬送ユニット
502;駆動ユニット
510;上段搬送機構部
513;スライドピック
520;下段搬送機構部
523;スライドピック
530;ボックス状支持部
Claims (19)
- 基板を搬送する基板搬送装置であって、
共通のピックベースに連結された複数のピックを備えて基板を支持する基板支持体と、
前記基板支持体をスライド可能に支持しつつ、自ら水平方向に進退可能な搬送アームと、
前記搬送アームを駆動する駆動部と、
を具備し、
前記ピックの先端部が、その基端部を超える高さに位置するように、前記ピックを傾斜させたことを特徴とする、基板搬送装置。 - 複数の前記ピックをそれぞれ独立した角度で傾斜させたことを特徴とする、請求項1に記載の基板搬送装置。
- 前記ピックに基板を載置し、かつ前記搬送アームを最も進出させた状態で、基板が略水平になるような角度に前記ピックを傾斜させたことを特徴とする、請求項1または請求項2に記載に基板搬送装置。
- 基板を搬送する基板搬送装置であって、
共通のピックベースに連結された複数のピックを備えて基板を支持する基板支持体と、
前記基板支持体をスライド可能に支持しつつ、自ら水平方向に進退可能な搬送アームと、
前記搬送アームを駆動する駆動部と、
を具備し、
前記ピックの先端部が、その基端部を超える高さに位置するように、前記ピックをその基端部近傍において折曲させたことを特徴とする、基板搬送装置。 - 複数の前記ピックをそれぞれ独立した角度で折曲させたことを特徴とする、請求項4に記載の基板搬送装置。
- 前記ピックに基板を載置し、かつ前記搬送アームを最も進出させた状態で、基板が略水平になるような角度に前記ピックを折曲させたことを特徴とする、請求項4または請求項5に記載の基板搬送装置。
- 前記ピックは、水平方向に対する前記ピックのなす角度を調節可能な固定手段を用いて前記ピックベースに連結されていることを特徴とする、請求項1から請求項6のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
- 前記固定手段は、前記ピックの基端部と係合して、前記ピックに対し反対向きの力を加えて固定角度を調節するものであることを特徴とする、請求項7に記載の基板搬送装置。
- 前記固定手段は、前記ピックの基端部と係合し、前記ピックを、鉛直方向に引付ける螺子と鉛直方向に押付ける螺子からなることを特徴とする、請求項7に記載の基板搬送装置。
- 前記基板支持体の前記ピックベースは、前記搬送アームを移動可能なスライド部材に取付けられているとともに、その取付け角度を任意に調節可能な取付け角度調節機構を備えていることを特徴とする、請求項1から請求項9のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
- 前記ピックには、その幅方向に突出形成された支持軸が設けられており、該支持軸を支点として前記ピックを回動させることにより、その取付け角度が調節されることを特徴とする、請求項7に記載の基板搬送装置。
- 前記支持軸を遊嵌可能で、かつその内径を調節可能な貫通孔を有する角度調節用部材をさらに備え、前記貫通孔に前記支持軸を挿入した状態で該貫通孔の内径を縮小させることにより、前記ピックの取付け角度が微調整されることを特徴とする、請求項11に記載の基板搬送装置。
- 前記搬送アームは、真空チャンバ内に収容され、
前記駆動部は、少なくともその下部が前記真空チャンバの外部に露出して配備されており、かつ、該下部において前記真空チャンバを載置する支持フレームに固定されていることを特徴とする、請求項1から請求項12のいずれか1項に記載の基板搬送装置。 - 前記真空チャンバの底板には開口部が形成されており、
前記駆動部はその上部が該開口部内に挿入されるとともに該開口部との間はシール部材により遊びをもたせた状態で封止されていることを特徴とする、請求項13に記載の基板搬送装置。 - 前記基板は、大型ガラス基板であることを特徴とする、請求項1から請求項14のいずれか1項に記載の基板搬送装置。
- 基板搬送装置において基板を支持する基板支持体であって、
共通のピックベースに連結された複数のピックを備えてなり、前記ピックの先端部が、その基端部を超える高さに位置するように、前記ピックが傾斜していることを特徴とする、基板支持体。 - 複数の前記ピックをそれぞれ独立した角度で傾斜させたことを特徴とする、請求項16に記載の基板支持体。
- 基板搬送装置において基板を支持する基板支持体であって、
共通のピックベースに連結された複数のピックを備えてなり、前記ピックの先端部が、その基端部を超える高さに位置するように、前記ピックの基端部近傍が折曲していることを特徴とする、基板支持体。 - 複数の前記ピックをそれぞれ独立した角度で折曲させたことを特徴とする、請求項18に記載の基板支持体。
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