KR100872537B1 - 감압 용기, 감압 처리 장치 및 감압 용기의 제조 방법 - Google Patents

Abstract

본 발명의 과제는 복수의 판재를 접합함으로써 구성되어, 접합부의 기밀성이 충분히 확보된 감압 용기를 제공하는 것이다. 감압 용기에 있어서, 바닥판(73)의 벽부(73a)와, 측판(74c) 또는 측판(74d)에 의해 형성되는 접합부(Jac, Jad), 측판(74c)과 측판(74d)에 의해 형성되는 접합부(Jcd)는, 각각 양측 내벽면이 대략 면일하게 되도록 형성되어 있다. 그리고 시일 부재(80)를 가압구(90)에 의해 각 접합부에 가압 고정함으로써, 감압 용기의 기밀성이 확보된다.

Description

감압 용기, 감압 처리 장치 및 감압 용기의 제조 방법{PROESSURE REDUCTION VESSEL, PRESSURE REDUCTION PROCESSING APPARATUS AND METHOD OF MANUFACTURING A PROESSURE REDUCTION VESSEL}

도 1은 본 발명의 시일 기구를 적용 가능한 진공 처리 시스템을 개략적으로 도시하는 사시도,

도 2는 도 1의 진공 처리 시스템의 수평 단면도,

도 3은 제어부의 개략 구성을 도시하는 블록도,

도 4는 반송실의 외관 구성을 도시하는 사시도,

도 5는 하우징의 분해 사시도.

도 6은 하우징 내부의 접합 구조를 도시하는 주요부 사시도,

도 7은 하우징 내부의 접합 구조를 도시하는 주요부 사시도로서, (a)는 도 6에 있어서의 A부의 확대도, (b)는 도 6에 있어서의 B부의 확대도,

도 8은 시일 부재의 전체 상을 도시하는 사시도,

도 9는 접합부의 구조의 설명에 제공되는 주요부 단면도,

도 10은 접합부에 있어서의 시일 구조의 설명에 제공되는 주요부 단면도로서, 시일 부재를 고정한 상태를 도시하는 도면,

도 11은 다른 실시형태에 따른 하우징의 분해 사시도,

도 12는 도 11의 하우징의 접합 구조를 도시하는 주요부 사시도,

도 13은 시일 부재의 고정 방법의 설명에 제공되는 주요부 사시도,

도 14는 또 다른 실시형태에 따른 하우징의 외관 사시도,

도 15는 다른 실시형태에 따른 하우징의 코너부에 있어서의 접합 구조를 도시하는 주요부 단면도.

도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명

1 : 진공 처리 시스템 10a, 10b, 10c : 프로세스 챔버

20 : 반송실 30 : 로드록실

50 : 반송 장치 60 : 제어부

80 : 시일 부재 80a, 80b : 루프부

80c, 80d, 80e, 80f : 직선부 90 : 가압구

91 : 코너부 가압구

본 발명은 감압 용기(진공 용기도 포함하며, 이하 동일한 의미임)의 밀봉 기술에 관한 것으로, 예를 들면 액정 표시 장치(LCD)나 플라즈마 디스플레이 등으로 대표되는 플랫 패널 디스플레이(FPD)용 유리 기판 등에 대하여 감압 하에서 드라이 에칭이나 성막, 반송, 위치 맞춤 등의 처리를 실시할 때에 사용되는 감압 용기의 밀봉 기술에 관한 것이다.

종래, 진공 용기는 대기압에 대한 내구성과 기밀성을 확보하는 관점으로부터, 원료 블록으로부터 기계 가공에 의해 용기를 깎아내는 방법이나, 판재를 용접이나 납땜에 의해 접합하는 방법에 의해 제조되어 왔다. 그러나 기계에 의한 절삭 가공을 실행할 경우에는, 재료로부터 용적 상당분을 깎아내므로, 가공에 시간이 걸리고 재료의 낭비도 많다는 문제가 있었다. 또한, 용접이나 납땜에 의한 방법에서는, 입열에 의한 왜곡을 제거하거나, 마무리 가공을 실행할 필요가 있으므로, 제작 비용이 증가한다는 문제가 있었다.

그런데 최근에는, 피처리 기판의 대형화에 따라 처리 챔버 자체의 사이즈도 대형화하고 있다. 예를 들면, FPD의 제조 과정에서는 긴 변의 길이가 2m를 넘는 직사각형의 대형 유리 기판을 처리 챔버 내에 수용하고, 진공 상태에서 에칭이나 애싱, 성막 등의 처리가 행해진다. 그리고 이러한 대형 유리 기판에 대하여 진공 상태에서 처리를 실행하는 진공 용기에 있어서는, 알루미늄 등으로 이루어지는 금속제 용기의 내부를 진공으로 한 상태에서 대기압에 견딜 수 있을 만큼의 충분한 강성을 확보해야만 한다.

종래의 기계 가공이나 용접 등에 의한 일체형 구조의 진공 용기에서는, 강성을 높이기 위해서는 용기의 벽을 충분히 두텁게 해야만 하므로, 중량의 증대를 수반하는 동시에, 대형 기계에 의한 가공이 필요해지므로 제조 비용이 증대해 버린다는 문제가 생기고 있었다. 또한, 진공 용기가 소정 사이즈를 초과하여 대형화되 면, 그 운반에 법령상의 제약이 부과되어, 이송에 따르는 경비가 증대한다는 문제도 있었다.

기계 가공이나 용접 이외의 가공 방법에 의해 진공 용기를 제작하는 기술로서, 예를 들면 구조 볼트에 의해 상자형으로 견고하게 접합된 복수의 판재와, 내측으로부터 각 판재의 접합선을 따라 연속적으로 마련된 시일 부재와, 상기 시일 부재를 상기 접합선을 향해 가압하여 기밀하게 밀봉하기 위해 체결 볼트에 의해 장착된 가압 부재를 이용하는 진공 용기가 제안되어 있다(예컨대, 특허 문헌 1).

또한, 서로 단부면을 접합해서 주위 방향으로 폐쇄된 중공 프레임 부재를 구성하는 4개 이상의 측면 부재와, 이 중공 프레임 부재의 정상면 및 바닥면에 배치되어 접합되는 천정면 부재 및 바닥면 부재를, 각각의 부재의 인접하는 접합면 상호간에 시일 부재를 마련해서 일체화하여 용기를 구성하는 기술도 제안되어 있다(예컨대, 특허 문헌 2).

[특허 문헌 1] 일본 특허 공개 제 1997-209150 호 공보(도 4 등)

[특허 문헌 2] 일본 특허 공개 제 2004-286165 호 공보(도 1 등)

상기 특허 문헌 1 및 특허 문헌 2의 진공 용기는, 판재와 시일 부재에 의해 구성되므로, 설치 장소에서의 조립이 가능하며 운반시의 제약도 적다. 또한, 종래의 기계 가공이나 용접 등에 의해 진공 용기를 제작하는 경우에 비해 저비용을 실현할 수 있다는 장점도 있다.

그러나 특허 문헌 1과 같이 판재를 조합하여 접합하는 구조의 진공 용기에서는, 용기 내부의 코너부에 있어서의 밀봉성을 확보하는 것이 어렵다는 문제가 있었다. 예를 들면, 특허 문헌 1에서는 코너부에 있어서의 3장의 판재의 접합 부분에, 판재의 접합선을 따라 3 방향으로 서로 직각으로 절곡된 갈래 형상의 시일 부재를 사용하고 있다. 그러나 이러한 갈래 형상의 시일 부재는 그 제조에 입체 금형을 필요로 하므로, 비용 증가를 피할 수 없다.

또, 특허 문헌 1의 시일 기구에서는, 엘라스토머를 판재의 접합선에 대하여 일정한 힘으로 가압하는 것이 필요하다. 그러나 3장의 판재에 의해 형성되는 코너부에 있어서, 상기 갈래 형상의 시일 부재를 충분히 가압하는 것은 곤란하고, 최악의 경우에는 진공을 유지할 수 없을 우려가 있다.

한편, 특허 문헌 2에 기재된 시일 부재에 있어서는, 각 부재의 인접하는 접합면 사이에 시일 부재를 배치하는 구성이므로, 시일 부재를 교환하기 위해서는 용기를 분해해야만 하여, 소모품인 시일 부재의 보수가 곤란하다는 과제가 있었다.

따라서 본 발명은, 복수의 판재를 접합함으로써 구성되고, 접합부의 기밀성이 충분히 확보된 감압 용기를 제공하는 것을 목적으로 한다.

상기 과제를 해결하기 위해, 본 발명의 제 1 관점은, 복수의 부재를 접합함으로써 구성되는 감압 용기로서, 상기 부재끼리의 접합부는 상기 감압 용기의 코너로부터 벗어난 위치에 형성되어 있고, 상기 접합부가 상기 감압 용기의 내측으로부터 시일 부재에 의해 밀봉되어 있는 감압 용기를 제공한다.

본 발명의 제 2 관점은, 복수의 부재를 접합함으로써 구성되는 감압 용기로 서, 상기 측판끼리를 접합하는 모든 접합부에 있어서, 해당 접합부를 사이에 두고 그 양측의 내벽면이 대략 면일(面一)하게 형성되어 있고, 상기 접합부가 상기 감압 용기의 내측으로부터 시일 부재에 의해 밀봉되어 있는 감압 용기를 제공한다.

본 발명의 제 3 관점은, 단부가 절곡 형성된 판재와 평판을 포함하는 복수의 부재를 접합함으로써 구성되는 감압 용기로서, 상기 단부가 절곡 형성된 판재와 이것에 접합되는 상기 평판에 의해 형성되는 코너를 갖는 동시에, 서로 인접하는 3개의 부재에 의해 형성되는 접합부는, 상기 코너로부터 벗어난 위치에 형성되고, 상기 부재끼리를 접합하는 접합부가 상기 감압 용기의 내측으로부터 시일 부재에 의해 밀봉되어 있는 감압 용기를 제공한다.

상기 제 1 관점으로부터 제 3 관점에 있어서, 상기 부재로서, 적어도 바닥판과, 해당 바닥판에 접합되는 복수의 측판을 구비하고 있어도 좋고, 이 경우, 복수의 상기 측판의 전부 또는 일부는 그 단부가 절곡 형성되어 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 제 4 관점은, 복수의 부재를 접합함으로써 구성되는 감압 용기로서, 바닥판과, 상기 바닥판에 접합되는 복수의 측판과, 인접하는 상기 측판끼리, 및 상기 측판과 상기 바닥판과의 각 접합부를 내측으로부터 밀봉하는 시일 부재를 구비하고, 상기 바닥판에는 상기 감압 용기의 측벽 하부를 구성하는 벽체가 일체적으로 마련되어 있고, 상기 접합부를 사이에 두고 상기 측판의 내벽면과 상기 바닥판의 벽체의 내벽면이 대략 면일하게 접합되어 있는 감압 용기를 제공한다.

상기 제 4 관점에 있어서, 상기 측판에 접합되는 상판을 더 구비하고, 해당 상판에는 상기 감압 용기의 측벽 상부를 구성하는 벽체가 일체적으로 마련되어 있 어도 좋다.

또한, 복수의 상기 측판의 전부 또는 일부는 그 단부가 절곡된 형상을 갖고 있으며, 상기 감압 용기의 코너와 코너를 연결하는 구석부로부터 벗어난 위치에 인접하는 상기 측판끼리의 접합부가 형성되어 있어도 좋다.

또한, 상기 측판끼리 및 상기 바닥판과 상기 측판을 접합하는 모든 접합부가 상기 감압 용기의 측부에 형성되어 있는 것이 바람직하다.

또, 상기 제 1 내지 제 4 관점에 있어서, 상기 접합부에 상기 시일 부재를 장착하는 홈이 형성되어 있는 것이 바람직하다.

또, 본 발명의 제 5 관점은 상기 제 1 내지 제 4 관점 중 어느 하나의 감압 용기를 구비한 감압 처리 장치를 제공한다.

또, 본 발명의 제 6 관점은, 복수의 부재를 이용하여, 상기 부재끼리의 접합부가 감압 용기의 코너로부터 벗어난 위치에 형성되고, 또한 상기 접합부를 사이에 두고 그 양측의 내벽면이 대략 면일하게 형성되도록 각 부재를 접합해서 하우징을 조립하는 공정과, 상기 하우징의 내측에 있어서, 상기 접합부를 밀봉하는 공정을 포함하는, 감압 용기의 제조 방법을 제공한다.

상기 제 7 관점에 있어서, 상기 부재로서, 적어도 바닥판과, 해당 바닥판에 접합되는 복수의 측판을 이용하는 동시에, 상기 바닥판에는 상기 감압 용기의 측벽 하부를 구성하는 벽체가 일체적으로 마련되어 있고, 복수의 상기 측판의 전부 또는 일부는 그 단부가 절곡된 형상을 갖고 있는 것이 바람직하다.

본 발명의 제 8 관점은 단부가 절곡 형성된 부재와 평판을 포함하는 복수의 부재를 이용하고, 상기 단부가 절곡 형성된 부재와 상기 평판에 의해 코너를 형성하는 동시에, 서로 인접하는 3개의 부재에 의해 형성되는 접합부가 상기 코너로부터 벗어난 위치에 형성되도록 각 부재를 접합해서 하우징을 조립하는 공정과, 상기 하우징의 내측에 있어서, 상기 접합부를 밀봉하는 공정을 포함하는 감압 용기의 제조 방법을 제공한다.

이하, 첨부 도면을 참조하면서, 본 발명의 바람직한 실시형태에 대해 설명한다. 여기에서는, 본 발명의 시일 기구를 적용 가능한 진공 처리 시스템을 예로 들어 설명을 행한다. 도 1은 본 발명의 일 실시형태에 따른 진공 챔버를 구비한 진공 처리 시스템(1)을 개략적으로 도시하는 사시도이며, 도 2는 그 내부를 개략적으로 도시하는 수평 단면도이다. 이 진공 처리 시스템(1)은, 예를 들면 FPD용 유리 기판(이하, 단순히「기판」이라 기재함)(S)에 대하여 플라즈마 처리를 행하기 위한 멀티 챔버 타입의 진공 처리 시스템으로서 구성되어 있다. 여기에서, FPD로서는 액정 디스플레이(LCD), 발광 다이오드(LED) 디스플레이, 전계 발광(Electro Luminescence; EL) 디스플레이, 형광 표시관(Vacuum Fluorescent Display; VFD), 플라즈마 디스플레이 패널(PDP) 등이 예시된다.

진공 처리 시스템(1)에 있어서는, 중앙부에 반송실(20)과 로드록실(30)이 연속 설치되어 있다. 또한 반송실(20) 주위에는, 기판(S)에 대하여 에칭 등의 플라즈마 처리를 실행하는 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)가 배치되어 있다. 이 들 반송실(20), 로드록실(30), 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)는 모두 진공 챔버로 구성되어 있다. 반송실(20)과 로드록실(30) 사이, 반송실(20)과 각 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 사이, 및 로드록실(30)과 외측의 대기 분위기를 연통하는 개구부에는, 이들 사이를 기밀하게 밀봉하고, 또한 개폐 가능하게 구성된 게이트 밸브(22)가 각각 개재 삽입되어 있다.

로드록실(30)의 외측에는, 2개의 카세트 인덱서(41)가 마련되어 있고, 그 위에 각각 기판(S)을 수용하는 카세트(40)가 적재되어 있다. 이들 카세트(40) 중 한쪽에는, 예를 들면 미처리 기판을 수용하고, 다른 쪽에는 처리 완료 기판을 수용할 수 있다. 이들 카세트(40)는 승강 기구(42)에 의해 승강 가능하게 되어 있다.

이들 2개의 카세트(40) 사이에는, 지지대(44) 위에 반송 기구(43)가 마련되어 있고, 이 반송 기구(43)는 상하 2단으로 마련된 픽(45, 46), 및 이들을 일체적으로 진출 퇴피 및 회전 가능하게 지지하는 베이스(47)를 구비하고 있다.

상기 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)는, 그 내부 공간이 소정의 감압 분위기 예를 들면 진공 상태로 유지되는 것이 가능하며, 그 내부에서 플라즈마 처리, 예를 들면 에칭 처리나 애싱 처리가 행해진다. 본 실시형태에서는, 3개의 프로세스 챔버를 갖고 있으므로, 예를 들면 그 중 2개의 프로세스 챔버를 에칭 처리실로서 구성하고, 나머지 1개의 프로세스 챔버를 애싱 처리실로서 구성하거나, 3개의 프로세스 챔버 모두를 동일한 처리를 행하는 에칭 처리실이나 애싱 처리실로서 구성할 수 있다. 또, 프로세스 챔버의 수는 3개에 한정되지 않고, 4개 이상이라도 좋다.

반송실(20)은, 진공 처리실인 프로세스 챔버(10a 내지 10c)와 마찬가지로 소 정의 감압 분위기로 유지하는 것이 가능하며, 그 중에는 도 2에 도시하는 바와 같이, 상하 2단의 슬라이드 픽(513, 523)(상단만 도시)을 구비한 반송 장치(50)가 배치되어 있다. 그리고 이 반송 장치(50)에 의해, 로드록실(30) 및 3개의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 사이에서 기판(S)이 반송된다.

로드록실(30)은, 각 프로세스 챔버(10) 및 반송실(20)과 마찬가지로 소정의 감압 분위기로 유지되는 것이 가능하다. 또한, 로드록실(30)은 대기 분위기에 있는 카세트(40)와 감압 분위기의 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 사이에서 기판(S)의 수수(授受)를 행하기 위한 것이며, 대기 분위기와 감압 분위기를 반복하는 관계상, 가능한 한 그 내부 용적이 작게 구성되어 있다. 로드록실(30)에는 기판 수용부(31)가 상하 2단으로 마련되어 있고(도 2에서는 상단만 도시), 각 기판 수용부(31)에는 기판(S)을 지지하는 복수의 버퍼(32)가 마련되고, 이들 버퍼(32) 사이에는 슬라이드 픽(513, 523)의 릴리프 홈(32a)이 형성되어 있다. 또한, 로드록실(30) 내에는 직사각형의 기판(S)의 서로 대향하는 구석부 부근에 접촉해서 위치 맞춤을 실행하는 포지셔너(positioner)(33)가 마련되어 있다.

진공 처리 시스템(1)의 각 구성부는, 제어부(60)에 접속되어 제어되는 구성으로 되어 있다(도 1에서는 도시를 생략). 제어부(60)의 개요를 도 3에 도시한다. 제어부(60)는 CPU를 구비한 프로세스 콘트롤러(61)를 구비하고, 이 프로세스 콘트롤러(61)에는 공정 관리자가 진공 처리 시스템(1)을 관리하기 위해 명령의 입력 조작 등을 실행하는 키보드나, 진공 처리 시스템(1)의 가동 상황을 가시화해서 표시하는 디스플레이 등으로 이루어지는 유저 인터페이스(62)가 접속되어 있다.

또, 제어부(60)는 진공 처리 시스템(1)에서 실행되는 각종 처리를 프로세스 콘트롤러(61)의 제어로 실현하기 위한 제어 프로그램(소프트웨어)이나 처리 조건 데이터 등이 기록된 레시피(recipe)가 저장된 기억부(63)를 갖고 있으며, 이 기억부(63)는 프로세스 콘트롤러(61)에 접속되어 있다.

그리고 필요에 따라서, 유저 인터페이스(62)로부터의 지시 등에 의해 임의의 레시피를 기억부(63)로부터 호출해서 프로세스 콘트롤러(61)에 실행시킴으로써, 프로세스 콘트롤러(61)의 제어하에서, 진공 처리 시스템(1)에서의 원하는 처리가 행해진다.

상기 제어 프로그램이나 처리 조건 데이터 등의 레시피는, 컴퓨터 판독 가능한 기억 매체, 예를 들면 CD-ROM, 하드 디스크, 가요성 디스크, 플래시 메모리 등에 저장된 상태의 것을 이용하거나, 혹은 다른 장치로부터, 예를 들면 전용 회선을 거쳐서 수시로 전송시켜서 온라인으로 이용하는 것도 가능하다.

다음에, 이상과 같이 구성된 진공 처리 시스템(1)의 동작에 대해 설명한다.

우선, 반송 기구(43)의 2장의 픽(45, 46)을 진퇴 구동시켜서, 미처리 기판을 수용한 한쪽의 카세트(40)로부터 2장의 기판(S)을 로드록실(30)의 상하 2단의 기판 수용부(31)로 1장씩 반입한다.

픽(45, 46)이 퇴피한 후, 로드록실(30)의 대기측 게이트 밸브(22)를 폐쇄한다. 그 후, 로드록실(30) 내를 배기하여, 내부를 소정의 진공도까지 감압한다. 진공화 종료 후, 포지셔너(33)에 의해 기판(S)을 가압함으로써 기판(S)의 위치 맞춤을 실행한다.

이상과 같이 위치 맞춤된 후, 반송실(20)과 로드록실(30) 사이의 게이트 밸브(22)를 개방하여, 반송실(20) 내의 반송 장치(50)에 의해 로드록실(30)의 기판 수용부(31)에 수용된 기판(S)을 수취한다. 그리고 반송 장치(50)의 슬라이드 픽(513 또는 523)에 의해, 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 중 어느 하나로 기판(S)을 반입한다. 그리고 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)에서 에칭 등의 소정 처리가 실시된 기판(S)은 반송 장치(50)에 의해 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)로부터 반출된다. 그리고 기판(S)은, 상기와는 반대의 경로로 로드록실(30)을 지나, 반송 기구(43)에 의해 카세트(40)에 수용된다. 이때, 기판(S)을 원래의 카세트(40)로 복귀시켜도 좋고, 다른 쪽의 카세트(40)에 수용하도록 해도 좋다.

다음에, 본 발명의 시일 부재 및 이것을 이용한 시일 기구에 대해 설명을 행한다. 반송실(20), 로드록실(30) 및 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c)를 구성하는 진공 용기는, 각각 내부를 진공 상태로 유지할 수 있도록 시일 부재를 이용하여 밀봉되어 있다. 여기에서는, 반송실(20)에 있어서의 시일 기구를 예로 들어서 설명을 행한다.

도 4는 반송실(20)의 외관 구성을 도시하는 사시도이며, 도 5는 그 분해 사시도이다. 또, 반송 장치(50) 등의 내부의 기구는 도시를 생략하고 있다. 반송실(20)은 주요한 구성으로서, 하우징(70)과 천정판(71)을 구비한 진공 용기이다. 하우징(70)은 6장의 판재를 접합함으로써 구성되어 있다. 즉, 하우징(70)은 상판(72), 이 상판(72)에 대향하고, 또한 평행하게 배치되는 바닥판(73), 이들 상판(72)과 바닥판(73)에 접합되는 4장의 측판(74a, 74b, 74c, 74d)을 갖고 있다. 하우징(70)을 구성하는 각 판재는, 예를 들면 나사나 볼트 등의 고정 수단(도시하지 않음)에 의해 접합되어, 일체가 되어서 그 내부로 기판(S)을 반송하는 반송 공간을 형성하고 있다.

상판(72)은, 도시한 바와 같이 중앙에 개구(75)를 갖고 있다. 그리고 천정판(71)을 예를 들면 크레인 등을 이용하여 상승시킨 상태에서, 이 개구(75)를 거쳐서 반송실(20)의 내부에 배치된 반송 장치(50)의 보수 등을 행할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상판(72)의 개구(75) 주위에는, 도시하지 않은 가는 홈 내에 O링 등의 시일 부재(76)가 배치되어 있다. 그리고 천정판(71)을 나사나 볼트 등의 고정 수단(101)으로 하우징(70)에 임시 고정한 상태에서, 반송실(20)의 내부를 감압함으로써, 진공 용기로서의 충분한 기밀성을 확보할 수 있도록 되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 바닥판(73)에도 반송 기구(50)(도 2 참조)를 설치하기 위한 개구가 형성되어 있다.

상판(72)에는, 하우징(70)의 측벽의 일부분(상부)을 구성하는 벽부(72a)가 마련되어 있고, 하면이 개구된 얕은 상자형을 이루고 있다. 이러한 형상의 상판(72)은 예를 들면 절삭 가공에 의해 형성할 수 있다.

또, 바닥판(73)에는 하우징(70)의 측벽의 일부분(하부)을 구성하는 벽부(73a)가 마련되어 있고, 상면이 개구된 얕은 상자형을 이루고 있다. 이러한 형상의 바닥판(73)은 예를 들면 절삭 가공에 의해 형성할 수 있다.

4장의 측판(74a, 74b, 74c, 74d)에는, 각각에 기판(S)을 반입출하기 위한 반송용 개구가 마련되어 있다. 하우징(70)의 짧은 변측의 측판(74a)에 형성된 반송 용 개구(77a, 77b)는 로드록실(30)(도 1 및 도 2 참조)의 버퍼(32)와의 사이에서 기판(S)을 반입출 가능한 위치에 형성되어 있다. 또한, 하우징(70)의 다른 3변에 위치하는 측판(74b 내지 74d)에 각각 형성된 반송용 개구(78)는 진공 처리실인 프로세스 챔버(10a 내지 10c) 사이에서 기판(S)을 반입출할 때에 이용된다. 각 반송용 개구(77a, 77b, 78)에는, 각각 게이트 밸브(22)가 장착되고(도 1 참조), 각 게이트 밸브(22)를 거쳐서 인접 배치되는 각 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 및 로드록실(30)과의 사이에서 기판(S)의 수수가 행해진다.

또, 4장의 측판(74a, 74b, 74c, 74d) 중, 측판(74a)과 측판(74c)의 양단부(E)는 각각 직각으로 절곡해서 하우징(70)의 측벽의 일부분을 구성할 수 있도록 형성되어 있다.

이상과 같은 상판(72) 및 바닥판(73)의 형상에 의해, 하우징(70)을 조립한 상태에서 모든 접합부는 하우징(70)의 8개의 코너부(400)(도 6 참조)로부터 벗어난 위치에 형성된다. 이로써, 밀봉성을 확보하는 것이 곤란한 하우징(70)의 코너부(400)를 밀봉할 필요성이 없어진다. 또한, 본 실시형태에서는 4장의 측판(74a 내지 74d) 중, 측판(74a)과 측판(74c)의 양단부(E)가 절곡된 형상이므로, 하우징(70)을 조립한 상태에서, 인접하는 측판끼리의 접합부는, 하우징(70)의 내측에 있어서 서로 인접하는 코너부(400)와 코너부(400)를 연결하는 구석부(500)(도 6 참조)로부터 벗어난 위치에 형성된다. 이로써, 코너부(400) 다음으로 밀봉성을 확보하는 것이 곤란한 하우징(70)의 구석부(500)를 밀봉할 필요가 없어진다.

이와 같이, 본 실시형태에 따른 하우징(70)에서는, 구성 부재인 각 판재의 형상을 고안함으로써, 밀봉이 어려운 하우징(70)의 코너부(400)나 구석부(500)의 밀봉을 가능한 한 적게 하여, 감압 용기로서의 반송실(20)의 기밀성을 향상시키고 있다. 또한, 상기 구성에 의해, 모든 접합부는 하우징(70)의 측벽 부분(측면)에 형성되므로, 하우징(70)의 조립이 용이하며, 시일 부재(80)(도 8 참조)의 교환 등의 보수도 용이하게 실행할 수 있다.

반송실(20)의 천정판(71)과, 하우징(70)을 구성하는 6장의 판재는, 예를 들면 알루미늄, 스테인리스, 철강 재료 등의 금속 재료에 의해 구성할 수 있다.

반송실(20)의 조립은, 이하의 순서에 의해 행할 수 있다. 우선, 상판(72), 바닥판(73), 측판(74a 내지 74d)을 나사나 볼트 등의 고정 수단에 의해 접합해서 하우징(70)을 형성한다. 이때, 각 판재를 접합하는 순서는 상관없다. 다음에, 본 발명의 일 실시형태에 따른 시일 기구에 의해 각 판재의 접합부를 하우징(70)의 내측으로부터 밀봉하여, 진공 상태에 견딜 수 있는 기밀성을 확보한다. 이 시일 기구에 대해서는 이후에 상세하게 서술한다.

다음에, 하우징(70)에 반송 기구(50) 등의 내부 기재나 게이트 밸브(22)를 설치한 후, 천정판(71)을 하우징(70)의 상부에 배치하고, O링 등의 시일 부재(76)를 천정판(71)의 하면에 접촉시킨다. 그리고 천정판(71)을 하우징(70)에 나사나 볼트 등의 고정 수단(101)으로 임시 고정한다. 이 상태에서 도시하지 않은 배기 장치에 의해 반송실(20)의 내부를 감압 배기함으로써, 시일 부재(76)가 천정판(71)의 하면에 압접되어, 기밀성을 확보한 상태에서 내부를 진공 상태로 유지할 수 있다.

또, 천정판(71) 및 하우징(70)을 구성하는 각 판재[상판(72), 바닥판(73), 측판(74a 내지 74d)]를 접합할 때는, 나사나 볼트에 상관없이 임의의 고정 수단을 채용하는 것이 가능하다.

도 6은 반송실(20)의 내부의 접합부의 시일 기구를 도시하는 주요부 사시도이다. 또한, 도 7의 (a)는 도 6에 있어서의 A부의 확대도이며, 도 7의 (b)는 도 6에 있어서의 B부의 확대도이다. 또한, 도 8은 본 실시형태에 이용하는 시일 부재(80)의 전체 구성을 도시하는 사시도이다. 본 실시형태에 있어서의 시일 기구에서는, 하우징(70)의 내측 접합부에 대응한 형상의 시일 부재(80)와, 이 시일 부재(80)를 고정하기 위한 보조구[후술하는 가압구(90), 구석부 가압구(91)]를 사용한다.

본 실시형태에서는, 상기와 같이 바닥판(73)에, 하우징(70) 측벽의 일부분을 구성하는 벽부(73a)가 마련되어, 상면이 개구된 얕은 상자형을 이루고 있다. 이로써, 도 6에 도시한 바와 같이 바닥판(73)의 벽부(73a)와 측판(74c)의 접합부(Jac)를 사이에 두고 그 양측의 내벽면[바닥판(73)의 벽부(73a)와 측판(74c)의 내벽면]이 대략 면일(동일 평면)하게 되도록 형성되어 있다. 마찬가지로, 바닥판(73)의 벽부(73a)와 측판(74d)의 접합부(Jad)를 사이에 두고 그 양측의 내벽면[바닥판(73)의 벽부(73a)와 측판(74d)의 내벽면]도 대략 면일하게 형성되어 있다. 도 6에서는 도시를 생략한 측판(74a, 74b)과 바닥판(73)의 벽부(73a)의 접합부에 대해서도 마찬가지이다. 또한, 상기와 같이 4장의 측판(74a, 74b, 74c, 74d) 중, 측판(74a)과 측판(74c)의 양단부(E)는 각각 직각으로 절곡 형성되어 있다. 따라서, 예를 들면 도 6에서는 측판(74c)과 측판(74d)을 접합한 상태에서, 양자의 접합부(Jcd)를 사이에 두고 그 양측의 내벽면이 대략 면일하게 되도록 형성되어 있다.

전술한 종래 기술과 같이, 하우징의 코너부에 판재에 의한 접합부를 마련한 구성에서는, 3 방향으로 분기된 형상의 시일 부재를 사용할 필요가 있어, 그 교점 부분에서 예를 들면 직각으로 절곡시키지 않으면 코너부(400)의 접합부를 밀봉할 수 없었다. 그러나 3 방향으로 분기된 형상으로, 또한 절곡시킨 상태의 시일 부재를 충분한 압력으로 코너부(400)의 접합선에 가압하는 것은 곤란하며, 하우징(70)의 코너부(400)에 있어서의 밀봉 성능이 저하되어 리크가 발생하여, 진공 용기로서의 신뢰성을 손상시킬 우려가 있었다.

본 실시형태에서는, 하우징(70)의 내측의 각 접합부에 있어서, 그 양측의 내벽면이 대략 면일하게 되도록 형성되고, 하우징(70)의 코너부에는 접합부가 형성되지 않는 구조로 되어 있다. 그로 인해, 하우징(70)을 구성하는 각 판재의 접합부의 밀봉을 평면적으로 행하는 것이 가능해져, 우수한 밀봉성을 얻을 수 있다. 또한, 본 실시형태에서는 시일 부재(80)로서 도 8에 예시한 바와 같은 형상의 시일 부재(80)를 이용한다. 보다 구체적으로는, 시일 부재(80)는 루프 형상으로 형성된 상하의 루프부(80a, 80b)가, 4개의 직선부(80c, 80d, 80e, 80f)에 의해 접속된 형태를 이루고 있다. 상하 루프부(80a, 80b)에 대하여, 4개의 직선부(80c, 80d, 80e, 80f)는 각각 T자형을 이루어 직각으로 접속되어 있다. 그리고 시일 부재(80)에 있어서의 상측 루프부(80a)는 상판(72)과 각 측판(74a 내지 74d)의 접합부를 밀봉하고, 하측 루프부(80b)는 바닥판(73)과 각 측판(74a 내지 74d)의 접합부를 밀봉 한다. 또한, 시일 부재(80)에 있어서의 4개의 직선부(80c, 80d, 80e, 80f)는 각각 각 측판(74a 내지 74d) 사이의 접합부를 밀봉할 수 있도록 구성되어 있다. 이러한 시일 부재(80)를 이용함으로써, 상판(72) 및 바닥판(73)과, 측판(74a 내지 74d)의 접합부를 확실하게 밀봉할 수 있다.

시일 부재(80)는, 예를 들면 지름 2 내지 10㎜ 정도의 끈 형상의 엘라스토머에 의해 구성되어 있다. 시일 부재(80)의 재질로서는, 통상의 O링과 같이, 예를 들면 바이톤(상품명; 듀퐁사제)으로 대표되는 불소계 고무나, 부틸계 고무, 실리콘 등의 엘라스토머를 사용할 수 있다.

시일 부재(80)는 각 판재의 접합부에 형성되는 접합선을 따라 배치되고, 보조구에 의해 고정된다. 예를 들면 바닥판(73)과 측판(74c, 74d)에 의해 형성되는 접합부(Jac, Jad)나, 측판(74c)과 측판(74d)에 의해 형성되는 접합부(Jcd)에서는, 가압구(90)에 의해 시일 부재(80)를 접합선에 가압함으로써 고정하여, 기밀성을 확보할 수 있다. 또한, 측판(74c)의 구석부(500)에 있어서는, 구석부 가압구(91)에 의해, 시일 부재(80)를 접합부(Jac)의 접합선에 가압함으로써 고정하여, 기밀성을 확보할 수 있다. 또, 도 6에서는 도시를 생략하고 있지만, 측판(74c, 74d)과의 접합부(Jcd)에 대해서도 가압구(90)가 배치된다. 또한, 도 6에 있어서의 도면부호(202)는 가압구(90, 91)를 나사나 볼트 등의 고정 수단(102)에 의해 고정할 때의 나사 구멍이며, 가압구(90)의 도면부호(90a), 구석부 가압구(91)의 도면부호(91a)는 그때에 고정 수단(102)이 삽입되는 구멍부이다.

도 9 및 도 10은 접합부의 시일 구조의 일례를 도시하는 단면도이다. 여기 에서는, 바닥판(73)의 벽부(73a)와 측판(74d)의 접합부(Jad)에 대해 예시한다.

가압구(90)는 하우징(70)을 구성하는 각 판재와 동일한 재질에 의해 긴 판 형상으로 형성되어 있다. 그리고 가압구(90)에 의해, 시일 부재(80)를 하우징(70)에 있어서의 접합부(Jad)의 내측 접합선을 향해 가압하면서, 나사나 볼트 등의 고정 수단(102)에 의해 고정한다. 이때, 접합부(Jad)를 사이에 두고 그 양측 벽면[측판(74d)과 바닥판(73)의 벽부(73a)의 벽면]은 대략 면일하게 형성되어 있으므로, 가압구(90)에 의해 시일 부재(80)를 균등하면서도 또한 확실하게 가압하기 쉬운 구조로 되어 있다. 본 실시형태에서는, 접합부(Jad)에 한정되지 않으며, 하우징(70)을 구성하는 모든 접합부에 있어서, 해당 접합부를 사이에 두고 그 양측의 벽면이 대략 면일하게 형성되어 있으므로, 시일 부재(80)에 의한 밀봉 성능을 충분히 확보하는 것이 가능하다.

또, 접합부(Jad)에는 시일 홈(79)이 형성되어 있으며, 도 10에 도시한 바와 같이 이 시일 홈(79) 내에 시일 부재(80)[도 9에서는 하측 루프부(80b)]를 끼워 넣어서 밀봉할 수 있도록 구성되어 있다. 시일 홈(79)은 시일 부재(80)를 위치 결정하는 기능을 갖고, 시일 부재(80)를 접합부(Jad)에 확실하게 압접시키도록 작용한다. 따라서 시일 부재(80)에 의한 밀봉성을 충분히 확보할 수 있다. 또, 시일 홈(79)은 각 접합부를 형성하는 판재의 모서리를 절제해서 단차부를 형성함으로써 마련할 수 있다. 이 경우, 도 9 및 도 10에서는 접합부를 구성하는 2장의 판재 중 한쪽 측판(74d)에 단차부를 형성하고 있지만, 바닥판(73)의 벽부(73a)의 모서리에 단차부를 형성해도 좋고, 혹은 2장의 판재의 각각의 모서리에 단차부를 형성해도 좋다.

다음에, 도 11 내지 도 13을 참조하면서, 다른 실시형태에 따른 감압 용기에 대해 설명한다. 상기와 같이, 도 4 내지 도 6에 기재한 실시형태에서는, 하우징(70)을 구성하는 상판(72)과 바닥판(73)으로서, 벽부(72a, 73a)를 갖는 판재를 이용함으로써, 서로 인접하는 3장의 판재에 의한 접합부가 하우징(70)의 코너부(400)로부터 벗어난 측벽 부분에 형성되도록 했다. 그러나 예를 들면 도 11에 도시한 바와 같이, 평판형의 상판(301) 및 평판형의 바닥판(302)과, 측판(303a 내지 303d)을 접합함으로써, 하우징(300)을 형성할 수도 있다. 또, 도 11에 있어서 천정판은 도시를 생략하고 있다.

반송실(20)을 구성하는 하우징(300)은, 평판형의 상판(301), 이 상판(301)에 대향하고, 또한 평행하게 배치되는 평판형의 바닥판(302), 이들 상판(301)과 바닥판(302)에 접합되는 4장의 측판(303a, 303b, 303c, 303d)을 갖고 있다. 하우징(300)을 구성하는 각 판재는, 예를 들면 나사나 볼트 등의 고정 수단(도시하지 않음)에 의해 접합되어, 일체가 되어 그 내부로 기판(S)을 반송하는 반송 공간을 형성하고 있다.

상판(301)은 개구(304)를 갖고 있다. 그리고 도시하지 않은 천정판을 예를 들면 크레인 등을 이용하여 상승시킨 상태에서, 이 개구(304)를 거쳐서 반송실(20)의 내부에 배치된 반송 장치(50)의 보수 등을 행할 수 있도록 되어 있다. 또한, 상판(301)의 개구(304) 주위에는, 도시하지 않은 가는 홈 내에 O링 등의 시일 부재(305)가 배치되어 있다. 그리고 도시하지 않은 천정판을 나사나 볼트 등의 고정 수단으로 하우징(300)에 임시 고정한 상태에서, 반송실(20)의 내부를 감압함으로써, 진공 용기로서의 충분한 기밀성을 확보할 수 있도록 되어 있다. 또한, 도시는 생략하지만, 바닥판(302)에도 반송 기구(50)(도 2 참조)를 설치하기 위한 개구가 형성되어 있다.

4장의 측판(303a, 303b, 303c, 303d)에는, 각각으로 기판(S)을 반입출하기 위한 반송용 개구가 마련되어 있다. 하우징(300)의 짧은 변 측의 측판(303a)에 형성된 반송용 개구(306a, 306b)는 로드록실(30)(도 1 및 도 2 참조)의 버퍼(32)와의 사이에서 기판(S)을 반입출 가능한 위치에 형성되어 있다. 또한, 하우징(300)의 다른 3변에 위치하는 측판(303b 내지 303d)에 각각 형성된 반송용 개구(307)는 진공 처리실인 프로세스 챔버(10a 내지 10c)와의 사이에서 기판(S)을 반입출할 때에 이용된다. 각 반송용 개구(306a, 306b, 307)에는, 각각 게이트 밸브(22)가 장착되고(도 1 참조), 각 게이트 밸브(22)를 거쳐서 인접 배치되는 각 프로세스 챔버(10a, 10b, 10c) 및 로드록실(30) 사이에서 기판(S)의 수수가 행해진다.

또한, 4장의 측판(303a, 303b, 303c, 303d) 중, 측판(303a)과 측판(303c)의 양단부(E)는 각각 직각으로 절곡해서 하우징(300)의 측벽의 일부분을 구성할 수 있도록 형성되어 있다.

본 실시형태에서는, 4장의 측판(303a 내지 303d) 중, 측판(303a, 303c)의 양측 단부(E)가 절곡된 형상이므로, 평판형으로 형성된 상판(301) 및 바닥판(302)과, 단부(E)가 절곡 형성된 측판(303a, 303c)을 접합함으로써 하우징(300)에 있어서의 8개의 코너부(400)를 형성할 수 있다. 그리고 하우징(300)을 조립한 상태에서, 인 접하는 측판끼리의 접합부는 하우징(300)의 내측에 있어서 서로 인접하는 코너부(300)와 코너부(400)를 연결하는 구석부(500)로부터 벗어난 위치에 형성된다. 예를 들면, 도 12에 도시한 바와 같이 평판형의 바닥판(302)과 단부가 절곡 형성된 측판(303c)의 2장의 판재에 의해 하우징(300)의 코너부(400)가 형성되므로, 3장의 판재의 접합에 의해 코너부(400)가 형성된 종래 구조의 감압 용기에 비해 해당 코너부(400)에 있어서의 밀봉성을 현격하게 향상시킬 수 있다.

또, 측판(303c)과 측판(303d)의 접합부(308a)의 양측 내벽면은 대략 면일하게 형성되므로, 여기에서는 도시하지 않은 가압구(90)(도 6 참조)에 의해 확실하게 밀봉할 수 있다. 또, 바닥판(302)과, 측판(303c, 303d)의 접합부(308b)는 하우징(300)의 구석부(500)에 형성되므로, 이 부분에서는 2개의 내벽면이 예를 들면 직각이 된다. 그래서 접합부(308b)에서는, 예를 들면 도 13에 도시한 바와 같이, 단면 L자형을 한 구석부 가압구(93)를 이용하여 시일 부재(80)를 고정한다. 구석부 가압구(93)에는, 그 외주면에 시일 부재(80)에 접촉하는 접촉부(93b)가 형성되어 있고, 이 접촉부(93b)에 의해 시일 부재(80)를 가압 고정할 수 있다. 또, 도 13에 있어서, 도면부호(93a)는 나사나 볼트 등의 고정구(102)에 의해 구석부 가압구(93)를 고정하기 위한 구멍부이다.

이상의 구성에 의해, 본 실시형태에서는 서로 인접하는 3개의 판재, 예를 들면 바닥판(302)과 측판(303c)과 측판(303d)에 의해 형성되는 접합부(309)[즉, 접합부(308a)와 접합부(308b)의 교차 부위]는 상기 코너부(400)로부터 벗어난 위치에 형성된다. 이 접합부(309)에 있어서의 T자형의 접합선은 T자형의 접속 부위를 갖 는 시일 부재(80)를 배치함으로써 확실하게 밀봉할 수 있다. 따라서 기밀성이 우수한 감압 용기를 형성할 수 있다.

또, 도 11 및 도 12에 도시하는 실시형태의 하우징(300)에 있어서는, 상판(301) 및 바닥판(302)이 평판형인 점을 제외하고, 기본적으로 도 4로부터 도 6에 도시하는 실시형태에 따른 하우징(70)과 동일한 구성을 채용하는 것이 가능해서, 시일 부재(80)도 도 8와 동일한 구성의 것을 사용할 수 있다.

이와 같이, 본 실시형태에 따른 하우징(300)에 있어서도, 구성 부재인 각 판재의 형상을 고안함으로써, 밀봉이 어려운 하우징(300)의 코너부(400)나 구석부(500)의 밀봉을 가능한 한 적게 하여, 감압 용기로서의 반송실(20)의 기밀성을 향상시키고 있다.

본 발명에서는, 상기한 각 실시형태에 나타낸 시일 구조를 채용함으로써, 복수의 판재를 접합하는 조립 구조에 있어서도, 기밀성이 우수한 진공 용기를 제작하는 것이 용이해진다. 따라서 설치 장소에 있어서 접합하는 조립식 감압 용기로서, 종래의 일체형 진공 용기에 비해서 소재 비용, 가공 비용 등의 제작 비용을 삭감할 수 있을 뿐만 아니라, 운송 비용도 저감할 수 있다.

또, 본 발명은 상기 실시형태에 한정되는 것은 아니며, 다양한 변형이 가능하다. 예를 들면, 피처리체로서는 FPD용의 유리 기판에 한정되지 않으며, 반도체 웨이퍼라도 좋다.

또한, 상기 실시형태에서는 감압 용기를 형성하는 하우징(70)으로서 평면에서 보아 직사각형의 6면체를 예로 들었지만, 판재를 접합해서 예를 들면 8면체나 10면체 등의 형상으로 한 감압 용기에 대해서도 동일하게 본 발명의 시일 기구를 적용할 수 있다. 도 14는 바닥판(311) 및 5장의 측판(312a 내지 312e)을 접합해서 반송 챔버로서 이용 가능한 평면에서 보아 5각형(7면체)의 감압 용기(310)를 구성한 예이다. 또, 도 14에서는 상판 혹은 천정판은 도시를 생략하고 있다.

또, 감압 용기는 도 4에 예시한 바와 같은 하우징(70)과 천정판(71)을 갖는 것에 한정되지 않는다. 예를 들면 하부 용기와 이것에 대향 배치되는 상부 용기에 의해 하나의 챔버가 구성되어, 상부 용기를 승강, 슬라이드·회전시킴으로써 챔버를 개폐시키는 구조의 감압 용기에 있어서, 상기 상부 용기 및 하부 용기를 판재의 접합에 의해 제작하는 경우에도, 본 발명의 시일 기구를 적용할 수 있다.

또, 도 4 내지 도 6에 도시한 실시형태에서는, 하우징(70)을 구성하는 판재 중, 상판(72)과 바닥판(73)에 각각 벽부(72a, 73a)를 마련하는 동시에, 측판(74a, 74c)의 단부에 절곡부(E)를 마련하여, 하우징(70)의 8개의 코너부(400)에 접합부가 형성되는 것을 회피했다. 그러나 예를 들면 도 15에 도시하는 바와 같이, 측판(74c, 74d)의 단부를 경사지게 절단해서 경사면을 형성하는 동시에, 각 측판(74c, 74d)의 단부에 산과 같은 형상의 볼록부(D)를 마련하는 구성을 채용할 수도 있다. 이 경우, 2장의 판재(74c, 74d)의 경사면을 서로 접합함으로써, 2개의 볼록부(D)가 접합부(Jcd)를 형성하도록 조합되고, 하우징 내측의 구석부가 평탄화된다. 즉, 하우징의 내측 구석부에 있어서는, 접합부(Jcd)를 사이에 두고 그 양측의 내벽면을 면일하게 형성하는 것이 가능해진다. 본 실시형태에 있어서도, 여기에서는 도시하지 않은 가압구(90)를 사용해서 시일 부재(80)를 확실하게 가압 고정 하는 것이 가능하다.

또, 상기 실시형태에서는, 반송 챔버(20)를 예로 들어 설명했지만, 감압 용기이면 특별히 제한 없이 본 발명의 기술 사상을 적용하는 것이 가능하다. 예를 들면 진공 예비실인 로드록실(30)이나, 진공 처리실인 프로세스 챔버(10a 내지 10c)에도 동일한 시일 기구를 채용할 수 있다.

또, 상기 실시형태에서는 기판(S)을 수평 방향으로 유지한 상태에서 반송이나 처리를 행하는 챔버를 예로 들어 설명을 행했지만, 본 발명의 기술 사상은 기판(S)을 세로로 기립시킨 상태에서 반송이나 처리를 행하도록 구성된, 소위 종형 구조의 챔버에도 적용하는 것이 가능하다.

본 발명은, 예를 들면 FPD용 유리 기판 등의 기판에 대하여, 그 반송이나 에칭 등의 각종 처리를 실행할 때에 사용되는 감압 용기를 제조할 때에 적합하게 이용 가능하다.

본 발명의 적합한 태양에서는, 적어도 바닥판과, 해당 바닥판에 접합되는 복수의 측판을 포함하는 복수의 부재를 접합함으로써 구성되는 감압 용기에 있어서, 상기 부재끼리의 접합부를, 상기 감압 용기의 코너로부터 벗어난 위치에 형성했다. 이로써, 시일 부재에 의한 밀봉성을 확보하는 것이 곤란한 감압 용기의 코너부에서의 밀봉을 회피할 수 있다.

또, 본 발명의 다른 적합한 태양에서는, 적어도 바닥판과, 해당 바닥판에 접 합되는 복수의 측판을 포함하는 복수의 부재를 접합함으로써 구성되는 감압 용기에 있어서, 상기 측판끼리 및 상기 바닥판과 상기 측판을 접합하는 모든 접합부를 사이에 두고 그 양측의 내벽면을 대략 면일하게 형성했다. 이로써, 감압 용기의 코너부에 접합부가 형성되는 것을 회피하여, 시일 부재에 의한 밀봉성을 향상시킬 수 있다.

본 발명의 또 다른 적합한 태양에서는, 단부가 절곡 형성된 판재와 이것에 접합되는 평판의 2장의 판재에 의해 감압 용기의 코너를 형성했으므로, 3장의 판재의 접합에 의해 코너가 형성된 종래 구조의 감압 용기에 비해 해당 코너에 있어서의 밀봉성을 현격하게 향상시킬 수 있다.

또한, 서로 인접하는 3개의 부재에 의해 형성되는 접합부는, 상기 코너로부터 벗어난 위치에 형성되므로, T자형의 시일 부재를 배치함으로써 확실하게 밀봉할 수 있다.

따라서 본 발명에 의하면, 복수의 판재를 접합하는 조립 구조의 감압 용기의 기밀성을 현격하게 향상시키는 것이 가능해진다.

또한, 본 발명에 의해, 기밀성이 우수한 조립 구조의 감압 용기를 제조할 수 있으므로, 기계 가공이나 용접 등에 의한 접합 방법에서는 한계가 있었던 감압 용기의 대형화에의 대응도 가능해진다.

Claims (14)

1. 복수의 부재를 체결 기구를 이용하여 접합함으로써 구성되는 감압 용기에 있어서,

   상기 부재끼리의 접합부는 상기 감압 용기의 코너로부터 벗어난 위치에 형성되어 있고, 상기 접합부가 상기 감압 용기의 내측으로부터 시일 부재에 의해 밀봉되어 있는

   감압 용기.
2. 복수의 부재를 체결 기구를 이용하여 접합함으로써 구성되는 감압 용기에 있어서,

   상기 부재끼리를 체결 기구를 이용하여 접합하는 모든 접합부에 있어서, 상기 접합부를 사이에 두고 그 양측의 내벽면이 대략 면일하게 형성되어 있고, 상기 접합부가 상기 감압 용기의 내측으로부터 시일 부재에 의해 밀봉되어 있는

   감압 용기.
3. 단부가 절곡 형성된 판재와 평판을 포함하는 복수의 부재를 체결 기구를 이용하여 접합함으로써 구성되는 감압 용기에 있어서,

   상기 단부가 절곡 형성된 판재와 이것에 체결 기구를 이용하여 접합되는 상기 평판에 의해 형성되는 코너를 갖는 동시에,

   서로 인접하는 3개의 부재에 의해 형성되는 접합부는 상기 코너로부터 벗어난 위치에 형성되고,

   상기 부재끼리를 체결 기구를 이용하여 접합하는 접합부가 상기 감압 용기의 내측으로부터 시일 부재에 의해 밀봉되어 있는

   감압 용기.
4. 제 1 항 내지 제 3 항중 어느 한 항에 있어서,

   상기 부재로서, 적어도 바닥판과, 상기 바닥판에 접합되는 복수의 측판을 구비한

   감압 용기.
5. 제 4 항에 있어서,

   복수의 상기 측판의 전부 또는 일부는 그 단부가 절곡 형성되어 있는

   감압 용기.
6. 복수의 부재를 체결 기구를 이용하여 접합함으로써 구성되는 감압 용기에 있어서,

   바닥판과,

   상기 바닥판에 체결 기구를 이용하여 접합되는 복수의 측판과,

   인접하는 상기 측판끼리, 및 상기 측판과 상기 바닥판의 각 접합부를 내측으로부터 밀봉하는 시일 부재를 구비하며,

   상기 바닥판에는 상기 감압 용기의 측벽의 하부를 구성하는 벽체가 일체적으로 마련되어 있고,

   상기 접합부를 사이에 두고 상기 측판의 내벽면과 상기 바닥판의 벽체의 내벽면이 대략 면일하게 체결 기구를 이용하여 접합되어 있는

   감압 용기.
7. 제 6 항에 있어서,

   상기 측판에 접합되는 상판을 더 구비하고, 상기 상판에는 상기 감압 용기의 측벽의 상부를 구성하는 벽체가 일체적으로 마련되어 있는

   감압 용기.
8. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,

   복수의 상기 측판의 전부 또는 일부는 그 단부가 절곡된 형상을 갖고 있으며, 상기 감압 용기의 코너와 코너를 연결하는 구석부로부터 벗어난 위치에 인접하는 상기 측판끼리의 접합부가 형성되어 있는

   감압 용기.
9. 제 6 항 또는 제 7 항에 있어서,

   상기 측판끼리 및 상기 바닥판과 상기 측판을 접합하는 모든 접합부가 상기 감압 용기의 측부에 형성되어 있는

   감압 용기.
10. 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항중 어느 한 항에 있어서,

    상기 접합부에, 상기 시일 부재를 장착하는 홈이 형성되어 있는

    감압 용기.
11. 제 1 항 내지 제 3 항 및 제 6 항중 어느 한 항에 기재된 감압 용기를 구비한

    감압 처리 장치.
12. 감압 용기의 제조 방법에 있어서,

    복수의 부재를 이용하여, 상기 부재끼리의 접합부가 감압 용기의 코너로부터 벗어난 위치에 형성되고, 또한 상기 접합부를 사이에 두고 그 양측의 내벽면이 대략 면일하게 형성되도록 각 부재를 체결 기구를 이용하여 접합하여 하우징을 조립하는 공정과,

    상기 하우징의 내측에 있어서, 상기 접합부를 밀봉하는 공정을 포함하는

    감압 용기의 제조 방법.
13. 제 12 항에 있어서,

    상기 부재로서, 적어도 바닥판과, 상기 바닥판에 접합되는 복수의 측판을 이용하는 동시에,

    상기 바닥판에는 상기 감압 용기의 측벽 하부를 구성하는 벽체가 일체적으로 마련되어 있고,

    복수의 상기 측판의 전부 또는 일부는 그 단부가 절곡된 형상을 갖고 있는

    감압 용기의 제조 방법.
14. 감압 용기의 제조 방법에 있어서,

    단부가 절곡 형성된 부재와 평판을 포함하는 복수의 부재를 이용하여, 상기 단부가 절곡 형성된 부재와 상기 평판에 의해 코너를 형성하는 동시에, 서로 인접하는 3개의 부재에 의해 형성되는 접합부가 상기 코너로부터 벗어난 위치에 형성되도록 각 부재를 체결 기구를 이용하여 접합하여 하우징을 조립하는 공정과,

    상기 하우징의 내측에서 상기 접합부를 밀봉하는 공정을 포함하는

    감압 용기의 제조 방법.

Images