JPH09209150A - 真空チャンバ及びその製造方法 - Google Patents
真空チャンバ及びその製造方法Info
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- JPH09209150A JPH09209150A JP8044287A JP4428796A JPH09209150A JP H09209150 A JPH09209150 A JP H09209150A JP 8044287 A JP8044287 A JP 8044287A JP 4428796 A JP4428796 A JP 4428796A JP H09209150 A JPH09209150 A JP H09209150A
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- chamber
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 溶接を用いることなくシール性が高く維持さ
れた真空チャンバを提供する。 【解決手段】 内部に密閉された空間を有する真空チャ
ンバにおいて、構造ボルト６０により箱状に強固に接合
された複数の板材３０Ａ〜３０Ｆと、内側より前記各板
材の接合線Ｌに沿って連続的に設けられたシール部材６
２Ａ、６２Ｂと、前記シール部材を前記接合線に向けて
押さえ付けて気密にシールするために締付ボルト６６に
より取り付けられた押さえ部材６４，６４Ａ，６４Ｂと
により構成する。これにより、溶接を用いることなく真
空チャンバを形成する。
れた真空チャンバを提供する。 【解決手段】 内部に密閉された空間を有する真空チャ
ンバにおいて、構造ボルト６０により箱状に強固に接合
された複数の板材３０Ａ〜３０Ｆと、内側より前記各板
材の接合線Ｌに沿って連続的に設けられたシール部材６
２Ａ、６２Ｂと、前記シール部材を前記接合線に向けて
押さえ付けて気密にシールするために締付ボルト６６に
より取り付けられた押さえ部材６４，６４Ａ，６４Ｂと
により構成する。これにより、溶接を用いることなく真
空チャンバを形成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば液晶表示基
板や半導体ウエハ等を処理するプロセスチャンバ等に連
結される真空チャンバ及びその製造方法に関する。
板や半導体ウエハ等を処理するプロセスチャンバ等に連
結される真空チャンバ及びその製造方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】一般に、半導体ウエハや液晶表示基板等
の被処理体に成膜を施したり、これをエッチングしたり
するプロセスチャンバの前段には、被処理体の搬入・搬
出時にこの処理装置内が真空破れすることを防ぐ目的で
直接的に或いは間接的に、単数或いは複数の真空チャン
バをゲートバルブを介して連通遮断自在に連結し、この
真空チャンバを介して被処理体の搬入・搬出を行なうよ
うになっている。例えば図１に示すように、複数のチャ
ンバをゲートバルブを介して連結し、より高度な真空を
必要とする装置において、外部よりカセットチャンバに
収容した、被処理体をプロセスチャンバへ移送する時に
は、真空破壊を起こしたカセットチャンバを真空引きし
た後に、予め真空状態に維持されているアームチャンバ
内の搬送アームを用いて、ロードロックチャンバに搬入
し、より高度な真空状態に維持し、第２のアームチャン
バ内の搬送アームを用いて被処理体プロセスチャンバ内
に移送する。
の被処理体に成膜を施したり、これをエッチングしたり
するプロセスチャンバの前段には、被処理体の搬入・搬
出時にこの処理装置内が真空破れすることを防ぐ目的で
直接的に或いは間接的に、単数或いは複数の真空チャン
バをゲートバルブを介して連通遮断自在に連結し、この
真空チャンバを介して被処理体の搬入・搬出を行なうよ
うになっている。例えば図１に示すように、複数のチャ
ンバをゲートバルブを介して連結し、より高度な真空を
必要とする装置において、外部よりカセットチャンバに
収容した、被処理体をプロセスチャンバへ移送する時に
は、真空破壊を起こしたカセットチャンバを真空引きし
た後に、予め真空状態に維持されているアームチャンバ
内の搬送アームを用いて、ロードロックチャンバに搬入
し、より高度な真空状態に維持し、第２のアームチャン
バ内の搬送アームを用いて被処理体プロセスチャンバ内
に移送する。
【０００３】ところで、上記したアームチャンバやロー
ドロックチャンバ及びカセットチャンバなどの真空チャ
ンバは大気圧に対する耐久性と気密シール性は十分に高
いものとしなければならない。特に、液晶表示基板を処
理する時に用いられる真空チャンバは、矩形状液晶表示
基板のサイズが例えば５５０ｍｍ×６５０ｍｍと大きく
なるにつれて非常にサイズが大きくなり、この基板を例
えば２０枚も収容し得るカセットチャンバは、３辺が１
ｍ×１．５ｍ×０．７ｍ程度の巨大な箱状の真空チャン
バとなり、しかも重量も数トンにもなる。このような巨
大な真空チャンバの耐久性及びシール性を確保するため
には、チャンバを構成する板材を接合する時には、外側
は間欠的に深い部分溶接を行なって強度を持たせ、内側
は板材の接合線に沿って全体に薄いなめ溶接を行なって
シール性を確保するようになっている。
ドロックチャンバ及びカセットチャンバなどの真空チャ
ンバは大気圧に対する耐久性と気密シール性は十分に高
いものとしなければならない。特に、液晶表示基板を処
理する時に用いられる真空チャンバは、矩形状液晶表示
基板のサイズが例えば５５０ｍｍ×６５０ｍｍと大きく
なるにつれて非常にサイズが大きくなり、この基板を例
えば２０枚も収容し得るカセットチャンバは、３辺が１
ｍ×１．５ｍ×０．７ｍ程度の巨大な箱状の真空チャン
バとなり、しかも重量も数トンにもなる。このような巨
大な真空チャンバの耐久性及びシール性を確保するため
には、チャンバを構成する板材を接合する時には、外側
は間欠的に深い部分溶接を行なって強度を持たせ、内側
は板材の接合線に沿って全体に薄いなめ溶接を行なって
シール性を確保するようになっている。
【０００４】これを図９を参照して説明すると、図９は
例えばロードロックチャンバのような真空チャンバの斜
視図を示しており、この真空チャンバ２は、例えばステ
ンレススチール板やアルミニウム板よりなる６枚の板材
４により箱状に組み立てられており、一対の対向する板
材４には、例えば液晶表示基板を挿通させるために長方
形状の挿通孔６がそれぞれ形成されている。このような
真空チャンバを組み立てるには、前述のように板材４間
の外側の接合線に沿って間欠的に深い部分溶接８を行な
って真空等に耐え得るように強度を持たせ、更に、内側
の接合線に沿って全体に亘って浅いなめ溶接（図示せ
ず）を行なってシール性を確保するようになっている。
例えばロードロックチャンバのような真空チャンバの斜
視図を示しており、この真空チャンバ２は、例えばステ
ンレススチール板やアルミニウム板よりなる６枚の板材
４により箱状に組み立てられており、一対の対向する板
材４には、例えば液晶表示基板を挿通させるために長方
形状の挿通孔６がそれぞれ形成されている。このような
真空チャンバを組み立てるには、前述のように板材４間
の外側の接合線に沿って間欠的に深い部分溶接８を行な
って真空等に耐え得るように強度を持たせ、更に、内側
の接合線に沿って全体に亘って浅いなめ溶接（図示せ
ず）を行なってシール性を確保するようになっている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述のよう
に溶接により各板材間を接続する構造を採用しているた
めに、溶接熱により各板材がある程度熱変形することは
避けられず、従って、天井板４Ａ等を最終的に接続する
場合には、シール性を確保するために最終溶接に先立っ
てその接続端面に切削機械加工を施して精度の良い水平
レベル出しを行なわなければならない。特に、前述のよ
うに各板材のサイズがメートル単位に大きくなっている
のでその分、熱変形も大きくなり、水平レベル出し加工
は避けることができない。このため、余分な組立て工程
数が多くなりコスト高となる。この場合、一般的には溶
接作業場所と研削作業場所は異なるので、数トンにも及
ぶ重量物をその都度、両作業場所間に亘って搬送しなけ
ればならず、その搬送作業もコスト高の原因となってい
た。
に溶接により各板材間を接続する構造を採用しているた
めに、溶接熱により各板材がある程度熱変形することは
避けられず、従って、天井板４Ａ等を最終的に接続する
場合には、シール性を確保するために最終溶接に先立っ
てその接続端面に切削機械加工を施して精度の良い水平
レベル出しを行なわなければならない。特に、前述のよ
うに各板材のサイズがメートル単位に大きくなっている
のでその分、熱変形も大きくなり、水平レベル出し加工
は避けることができない。このため、余分な組立て工程
数が多くなりコスト高となる。この場合、一般的には溶
接作業場所と研削作業場所は異なるので、数トンにも及
ぶ重量物をその都度、両作業場所間に亘って搬送しなけ
ればならず、その搬送作業もコスト高の原因となってい
た。
【０００６】また、チャンバ完成後に、部分的に板材に
傷が発見されたり、或いは部分的板材の変形等に起因し
てリーク等が発見された場合、すでに全体が溶接されて
いるために発生箇所の板材のみを部分的に交換すること
はできず、最悪の場合にはチャンバ全体が廃棄処分とな
る場合すらあった。これを補修する場合、溶接部分を分
解することも考えられるが、この場合には溶接及びその
分解といった工程により板材に許容量以上の変形が発生
することが多く、採用することはできない。また、上述
のようにチャンバ完成後においては板材の部分的交換が
できないことから、特定の板材のみを交換して別用途の
チャンバを製造することもできない。
傷が発見されたり、或いは部分的板材の変形等に起因し
てリーク等が発見された場合、すでに全体が溶接されて
いるために発生箇所の板材のみを部分的に交換すること
はできず、最悪の場合にはチャンバ全体が廃棄処分とな
る場合すらあった。これを補修する場合、溶接部分を分
解することも考えられるが、この場合には溶接及びその
分解といった工程により板材に許容量以上の変形が発生
することが多く、採用することはできない。また、上述
のようにチャンバ完成後においては板材の部分的交換が
できないことから、特定の板材のみを交換して別用途の
チャンバを製造することもできない。
【０００７】更には、チャンバの底板等には、荷重が他
の部分の板材よりも加わり、且つ内部構成部品もこの底
板に取り付ける場合が多いことから、この底板には変形
の生じ難い強度の高い材料、例えばステンレススチール
等を用い、他の部分の板材にはそれ程の強度が要求され
ないことから軽量のアルミニウムを用いたい場合でも、
異種材料をシール性良く溶接することはかなり困難なの
で、上述のような要求に応えることができない。本発明
は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決す
べく創案されたものである。本発明の目的は、溶接を用
いることなくシール性が高く維持され真空チャンバ及び
その製造方法を提供することにある。
の部分の板材よりも加わり、且つ内部構成部品もこの底
板に取り付ける場合が多いことから、この底板には変形
の生じ難い強度の高い材料、例えばステンレススチール
等を用い、他の部分の板材にはそれ程の強度が要求され
ないことから軽量のアルミニウムを用いたい場合でも、
異種材料をシール性良く溶接することはかなり困難なの
で、上述のような要求に応えることができない。本発明
は、以上のような問題点に着目し、これを有効に解決す
べく創案されたものである。本発明の目的は、溶接を用
いることなくシール性が高く維持され真空チャンバ及び
その製造方法を提供することにある。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明は上記問題点を解
決するために、内部に密閉された空間を有する真空チャ
ンバにおいて、構造ボルトにより箱状に強固に接合され
た複数の板材と、内側より前記各板材の接合線に沿って
連続的に設けられたシール部材と、前記シール部材を前
記接合線に向けて押さえ付けて気密にシールするために
締付ボルトにより取り付けられた押さえ部材とにより構
成する。このようにシール部材を押さえ部材により押し
付けてシール性を確保し、また、チャンバ自体の強度は
構造ボルトにより持たせるようにしたので、溶接を用い
ることなくチャンバを組み立てることが可能となる。
決するために、内部に密閉された空間を有する真空チャ
ンバにおいて、構造ボルトにより箱状に強固に接合され
た複数の板材と、内側より前記各板材の接合線に沿って
連続的に設けられたシール部材と、前記シール部材を前
記接合線に向けて押さえ付けて気密にシールするために
締付ボルトにより取り付けられた押さえ部材とにより構
成する。このようにシール部材を押さえ部材により押し
付けてシール性を確保し、また、チャンバ自体の強度は
構造ボルトにより持たせるようにしたので、溶接を用い
ることなくチャンバを組み立てることが可能となる。
【０００９】シール部材としては、直線状の接合線をシ
ールするための直線シール部材と隅部をシールする隅部
シール部材があり、各シール部材は漏れがないように加
硫等により接合される。また、各シール部材を押さえる
ためには、直線押さえ部材と隅部押さえ部材があり、シ
ール部材を効果的に押さえるようになっている。また、
上記押さえ部材には、接触テーパ面が形成されており、
この面にシール部材を接触させて押さえることにより、
更にシール性を向上させている。このようなチャンバを
組み立てるには、まず、構造ボルトにより各板材を容器
状に組み付け、次に、その内側より板材の接合線に沿っ
てシール部材を配設しつつこれを押さえ部材により押し
付けて、締付ボルトにより固定すればよい。
ールするための直線シール部材と隅部をシールする隅部
シール部材があり、各シール部材は漏れがないように加
硫等により接合される。また、各シール部材を押さえる
ためには、直線押さえ部材と隅部押さえ部材があり、シ
ール部材を効果的に押さえるようになっている。また、
上記押さえ部材には、接触テーパ面が形成されており、
この面にシール部材を接触させて押さえることにより、
更にシール性を向上させている。このようなチャンバを
組み立てるには、まず、構造ボルトにより各板材を容器
状に組み付け、次に、その内側より板材の接合線に沿っ
てシール部材を配設しつつこれを押さえ部材により押し
付けて、締付ボルトにより固定すればよい。
【００１０】
【発明の実施の形態】以下に、本発明に係る真空チャン
バ及びその製造方法について説明する。図１は本発明に
係る真空チャンバを組み込んだクラスタツール装置を示
す概略平面図、図２は本発明の真空チャンバを示す断面
図、図３は真空チャンバの板材を接合する状態を示す部
分斜視図、図４は真空チャンバのシールを行なう状態を
説明する組立図、図５は板材の接合部を示す拡大断面
図、図６は隅部押さえ部材を示す斜視図、図７は天井板
を示す斜視図である。本実施例においては、真空チャン
バをクラスタツール装置のロードロックチャンバに適用
した場合を例にとって説明する。まず、図１に基づいて
このクラスタツール装置について説明する。
バ及びその製造方法について説明する。図１は本発明に
係る真空チャンバを組み込んだクラスタツール装置を示
す概略平面図、図２は本発明の真空チャンバを示す断面
図、図３は真空チャンバの板材を接合する状態を示す部
分斜視図、図４は真空チャンバのシールを行なう状態を
説明する組立図、図５は板材の接合部を示す拡大断面
図、図６は隅部押さえ部材を示す斜視図、図７は天井板
を示す斜視図である。本実施例においては、真空チャン
バをクラスタツール装置のロードロックチャンバに適用
した場合を例にとって説明する。まず、図１に基づいて
このクラスタツール装置について説明する。
【００１１】図示するようにこのクラスタツール装置１
０は、アームチャンバ１２に、それぞれゲートバルブＧ
１、Ｇ２及びＧ７を介して接続された３つのプロセスチ
ャンバ１４、１６及び１９を有しており、このプロセス
チャンバ１４、１６及び１９内では、被処理体として例
えば縦横が５５０ｍｍ×６５０ｍｍサイズの大きな液晶
表示基板ＬＣに対して成膜を施したり、エッチングを施
すなどの所望の処理を行なうようになっている。図示さ
れないが、当然のこととしてこのプロセスチャンバに
は、処理ガス供給系やガス排気系が接続されており、内
部が真空引き可能になされている。上記アームチャンバ
１２内には、水平方向へ屈伸及び旋回自在になされた搬
送アーム１５が設けられると共に、このアーム先端に
は、基板ＬＣを保持するフォーク１７が取り付けられて
おり、基板ＬＣをチャンバ１４、１６及び１９に対して
搬入・搬出し得るようになっている。
０は、アームチャンバ１２に、それぞれゲートバルブＧ
１、Ｇ２及びＧ７を介して接続された３つのプロセスチ
ャンバ１４、１６及び１９を有しており、このプロセス
チャンバ１４、１６及び１９内では、被処理体として例
えば縦横が５５０ｍｍ×６５０ｍｍサイズの大きな液晶
表示基板ＬＣに対して成膜を施したり、エッチングを施
すなどの所望の処理を行なうようになっている。図示さ
れないが、当然のこととしてこのプロセスチャンバに
は、処理ガス供給系やガス排気系が接続されており、内
部が真空引き可能になされている。上記アームチャンバ
１２内には、水平方向へ屈伸及び旋回自在になされた搬
送アーム１５が設けられると共に、このアーム先端に
は、基板ＬＣを保持するフォーク１７が取り付けられて
おり、基板ＬＣをチャンバ１４、１６及び１９に対して
搬入・搬出し得るようになっている。
【００１２】このアームチャンバ１２には、Ｎ2 ガスな
どの不活性ガスを供給する図示しないガス供給系及びガ
ス排気系が接続され、内部を真空引き可能としている。
このアームチャンバ１２には、ゲートバルブＧ３を介し
て本発明に係る真空チャンバとしてのロードロックチャ
ンバ１８が連結され、また、このチャンバ１８の反対側
にはゲートバルブＧ４を介して搬入搬出チャンバ２０が
連結される。この搬入搬出チャンバ２０内にも先のアー
ムチャンバ１２と同様にフォーク２２を備えた搬送アー
ム２４が屈伸及び旋回可能に設けられており、基板ＬＣ
の搬送を行なうようになっている。そして、このチャン
バ２０にも図示しないＮ2 ガスなどの不活性ガスのガス
供給系やガス排気系が接続されている。
どの不活性ガスを供給する図示しないガス供給系及びガ
ス排気系が接続され、内部を真空引き可能としている。
このアームチャンバ１２には、ゲートバルブＧ３を介し
て本発明に係る真空チャンバとしてのロードロックチャ
ンバ１８が連結され、また、このチャンバ１８の反対側
にはゲートバルブＧ４を介して搬入搬出チャンバ２０が
連結される。この搬入搬出チャンバ２０内にも先のアー
ムチャンバ１２と同様にフォーク２２を備えた搬送アー
ム２４が屈伸及び旋回可能に設けられており、基板ＬＣ
の搬送を行なうようになっている。そして、このチャン
バ２０にも図示しないＮ2 ガスなどの不活性ガスのガス
供給系やガス排気系が接続されている。
【００１３】このチャンバ２０の両側には、それぞれゲ
ートバルブＧ５、Ｇ６を介してカセットチャンバ２６、
２８が連結され、各チャンバ２６、２８内には、多数
枚、例えば２０〜２５枚の基板ＬＣを収容し得るカセッ
トＣ、Ｃが上下移動可能になされたカセット台（図示せ
ず）上に載置される。各カセットチャンバ２６、２８に
は外部との間でカセットＣを搬入・搬出するゲートドア
ＧＤ１、ＧＤ２が開閉可能に設けられる。そして、これ
らのチャンバ２６、２８にも図示しないガス供給系やガ
ス排気系が接続され、内部を真空引き可能としている。
ートバルブＧ５、Ｇ６を介してカセットチャンバ２６、
２８が連結され、各チャンバ２６、２８内には、多数
枚、例えば２０〜２５枚の基板ＬＣを収容し得るカセッ
トＣ、Ｃが上下移動可能になされたカセット台（図示せ
ず）上に載置される。各カセットチャンバ２６、２８に
は外部との間でカセットＣを搬入・搬出するゲートドア
ＧＤ１、ＧＤ２が開閉可能に設けられる。そして、これ
らのチャンバ２６、２８にも図示しないガス供給系やガ
ス排気系が接続され、内部を真空引き可能としている。
【００１４】このようなクラスタツール装置１０におい
て、未処理の液晶基板ＬＣはカセットＣに多数枚収容さ
れた状態で、外部よりいずれか一方のカセットチャン
バ、例えば２６内にゲートドアＧＤ１を介して収容され
る。この基板ＬＣは、予め真空引きされた搬入搬出チャ
ンバ２０内の搬送アーム２４によりカセットチャンバ２
６から取り出され、これを予め真空引きされたロードロ
ックチャンバ１８内にゲートバルブＧ４を介して搬入
し、これを多段になされた基板収容棚５０内に収容す
る。この収容棚５０内には、前述のように例えば最大２
０枚の基板を収容することができる。この基板収容棚５
０内の基板ＬＣは、予め真空引きされているアームチャ
ンバ１２内の搬送アーム１５によりゲートバルブＧ３を
介して取り出され、これをいずれかのプロセスチャンバ
１４、１６或いは１９内にゲートバルブＧ１、Ｇ２或い
はＧ７を介して搬入し、所定のプロセスを実行する。そ
して、処理後の液晶基板ＬＣは、上述したと反対の経路
を経て、処理済みの基板を収容する他方のカセットチャ
ンバ２８内に収容されることになる。
て、未処理の液晶基板ＬＣはカセットＣに多数枚収容さ
れた状態で、外部よりいずれか一方のカセットチャン
バ、例えば２６内にゲートドアＧＤ１を介して収容され
る。この基板ＬＣは、予め真空引きされた搬入搬出チャ
ンバ２０内の搬送アーム２４によりカセットチャンバ２
６から取り出され、これを予め真空引きされたロードロ
ックチャンバ１８内にゲートバルブＧ４を介して搬入
し、これを多段になされた基板収容棚５０内に収容す
る。この収容棚５０内には、前述のように例えば最大２
０枚の基板を収容することができる。この基板収容棚５
０内の基板ＬＣは、予め真空引きされているアームチャ
ンバ１２内の搬送アーム１５によりゲートバルブＧ３を
介して取り出され、これをいずれかのプロセスチャンバ
１４、１６或いは１９内にゲートバルブＧ１、Ｇ２或い
はＧ７を介して搬入し、所定のプロセスを実行する。そ
して、処理後の液晶基板ＬＣは、上述したと反対の経路
を経て、処理済みの基板を収容する他方のカセットチャ
ンバ２８内に収容されることになる。
【００１５】次に、本発明のロードロックチャンバ１８
について具体的に説明する。このロードロックチャンバ
１８は、図９にて示したと同様に、主に６枚の板材３０
Ａ〜３０Ｆを箱状に組み立てて構成されており、図２に
示すように天井部の板材３０Ａ（図７参照）には長方形
状のメンテナンス用開口３２が形成されている。そし
て、この天井部の板材３０Ａの上面には、上記メンテナ
ンス用開口３２を囲むようにして断面凹部状のシール溝
３４が形成されており、このシール溝３４内に例えばＯ
リング等よりなるシール部材３６を収容している。そし
て、このシール部材３６にその下面が接して上記メンテ
ナンス用開口３２を覆うように天井蓋３８が設けられ
る。この天井蓋３８の一側には、これを開閉可能とする
ヒンジ４０が設けられ、他側には、これをチャンバ本体
側へ強固に着脱可能に固定する固定具４２が設けられて
おり、開口３２を気密に閉塞し得るようになっている。
について具体的に説明する。このロードロックチャンバ
１８は、図９にて示したと同様に、主に６枚の板材３０
Ａ〜３０Ｆを箱状に組み立てて構成されており、図２に
示すように天井部の板材３０Ａ（図７参照）には長方形
状のメンテナンス用開口３２が形成されている。そし
て、この天井部の板材３０Ａの上面には、上記メンテナ
ンス用開口３２を囲むようにして断面凹部状のシール溝
３４が形成されており、このシール溝３４内に例えばＯ
リング等よりなるシール部材３６を収容している。そし
て、このシール部材３６にその下面が接して上記メンテ
ナンス用開口３２を覆うように天井蓋３８が設けられ
る。この天井蓋３８の一側には、これを開閉可能とする
ヒンジ４０が設けられ、他側には、これをチャンバ本体
側へ強固に着脱可能に固定する固定具４２が設けられて
おり、開口３２を気密に閉塞し得るようになっている。
【００１６】側部に位置する一対の板材３０Ｃ、３０Ｄ
には、前述のゲートバルブＧ３、Ｇ４が取り付けられる
細長い挿通孔４４、４６が設けられ、基板を挿通し得る
ようになっている。図２においては、一方の挿通孔４４
のみが記載されている。そして、底部板材３０Ｂには、
これを軸シール５４を介して気密に貫通させた昇降機構
４８が設けられ、この上端には、載置台５２を取り付け
て、この上に複数枚、例えば２０枚の基板ＬＣを水平に
収容し得る基板収容棚５０が載置される。尚、この基板
収容棚５０は、上記メンテナンス用開口３２を介して搬
入し得るようになっている。また、このチャンバ１８に
は、Ｎ2 ガス等の不活性ガスを導入するガス供給系５６
及び図示しない真空ポンプに接続されたガス排気系５８
が接続されており、内部を真空引き可能としている。
には、前述のゲートバルブＧ３、Ｇ４が取り付けられる
細長い挿通孔４４、４６が設けられ、基板を挿通し得る
ようになっている。図２においては、一方の挿通孔４４
のみが記載されている。そして、底部板材３０Ｂには、
これを軸シール５４を介して気密に貫通させた昇降機構
４８が設けられ、この上端には、載置台５２を取り付け
て、この上に複数枚、例えば２０枚の基板ＬＣを水平に
収容し得る基板収容棚５０が載置される。尚、この基板
収容棚５０は、上記メンテナンス用開口３２を介して搬
入し得るようになっている。また、このチャンバ１８に
は、Ｎ2 ガス等の不活性ガスを導入するガス供給系５６
及び図示しない真空ポンプに接続されたガス排気系５８
が接続されており、内部を真空引き可能としている。
【００１７】このチャンバ１８を構成する各矩形状の板
材３０Ａ〜３０Ｆは、例えばステンレススチール板やア
ルミニウム板等よりなり、各板材の接合部は、例えば図
３にも示すように所定の間隔を隔ててその外側より埋め
込まれた構造ボルト６０により強固に接合されて、構造
物の荷重や大気圧に耐え得るようになっている。このチ
ャンバ１８の大きさは、１ｍ×１．５ｍ×０．７ｍ程度
の方形状となってかなり大きく、厚さも材質、変形許容
量及び適用部位等にもよるが２０ｍｍ〜６０ｍｍ程度も
あるので重量も大きく、例えば１トン以上にもなり、こ
の重量に耐え得るように各板材は上記構造ボルト６０に
より強固に接合される。尚、図３は側部の板材同士の接
合状態を示している。
材３０Ａ〜３０Ｆは、例えばステンレススチール板やア
ルミニウム板等よりなり、各板材の接合部は、例えば図
３にも示すように所定の間隔を隔ててその外側より埋め
込まれた構造ボルト６０により強固に接合されて、構造
物の荷重や大気圧に耐え得るようになっている。このチ
ャンバ１８の大きさは、１ｍ×１．５ｍ×０．７ｍ程度
の方形状となってかなり大きく、厚さも材質、変形許容
量及び適用部位等にもよるが２０ｍｍ〜６０ｍｍ程度も
あるので重量も大きく、例えば１トン以上にもなり、こ
の重量に耐え得るように各板材は上記構造ボルト６０に
より強固に接合される。尚、図３は側部の板材同士の接
合状態を示している。
【００１８】ところで、上記構造ボルト６０は上述のよ
うに構造物の強度を確保するものであり、これだけでは
チャンバ内のシール性を保持することができない。そこ
で、図４にも示すようにチャンバ内側より、各板材３０
Ａ〜３０Ｆの接合線Ｌに沿って例えばＯリングよりなる
シール部材６２を連続的に配設し、この上より同じく連
続的に配置した押さえ部材６４によりシール部材６２を
接合線Ｌ側に押え付けて気密性を保持するようになって
いる。この場合、押さえ付けのために、多数の締付ボル
ト６６を用い、これを押さえ部材６４に設けたボルト孔
６８に挿通して板材側に設けたネジ穴７０に螺合させる
ことにより、板材側に強固に取り付ける。この押さえ部
材６４は、これに接する全ての面、すなわち２面或いは
３面（隅部の場合）の板材のそれぞれに対して締付ボル
ト６６により押し付け固定する。
うに構造物の強度を確保するものであり、これだけでは
チャンバ内のシール性を保持することができない。そこ
で、図４にも示すようにチャンバ内側より、各板材３０
Ａ〜３０Ｆの接合線Ｌに沿って例えばＯリングよりなる
シール部材６２を連続的に配設し、この上より同じく連
続的に配置した押さえ部材６４によりシール部材６２を
接合線Ｌ側に押え付けて気密性を保持するようになって
いる。この場合、押さえ付けのために、多数の締付ボル
ト６６を用い、これを押さえ部材６４に設けたボルト孔
６８に挿通して板材側に設けたネジ穴７０に螺合させる
ことにより、板材側に強固に取り付ける。この押さえ部
材６４は、これに接する全ての面、すなわち２面或いは
３面（隅部の場合）の板材のそれぞれに対して締付ボル
ト６６により押し付け固定する。
【００１９】このシール部材６２は、上述のように各板
材３０Ａ〜３０Ｆの接合線に沿って配設されるので、全
体としては図８に示すように直方体の各辺に沿った直方
体状の形状となり、そして、このシール部材６２は、２
枚の板材が合わさる直線状の接合線をシールするための
直線シール部材６２Ａと、３枚の板材が合わさる部位、
すなわち隅部の接合線をシールするために３方に延びる
隅部シール部材６２Ｂとよりなり、各シール部材６２
Ａ、６２Ｂは、取り付け時に加硫接合法や樹脂製接着剤
等により一体的に連続的に接合され、この状態で配設さ
れ、シール破れがないようにする。
材３０Ａ〜３０Ｆの接合線に沿って配設されるので、全
体としては図８に示すように直方体の各辺に沿った直方
体状の形状となり、そして、このシール部材６２は、２
枚の板材が合わさる直線状の接合線をシールするための
直線シール部材６２Ａと、３枚の板材が合わさる部位、
すなわち隅部の接合線をシールするために３方に延びる
隅部シール部材６２Ｂとよりなり、各シール部材６２
Ａ、６２Ｂは、取り付け時に加硫接合法や樹脂製接着剤
等により一体的に連続的に接合され、この状態で配設さ
れ、シール破れがないようにする。
【００２０】このシール部材６２Ａ、６２Ｂに対応し
て、上記押さえ部材６４は、図４にも示すように上記直
線シール部材６２Ａを押さえるために２面の取付面７
２、７２を有する断面略Ｌ字状の直線押さえ部材６４Ａ
と、上記隅部シール部材６２Ｂを押さえるために隅部に
おける３枚の板材の接合方向に沿った３面の取付面７
４、７４、７４を有する隅部押さえ部材６４Ｂとにより
構成されている。図６にはこの隅部押さえ部材６４Ｂが
示されている。各押さえ部材６４Ａ、６４Ｂには、この
辺に沿ってシール部材６２と直接的に面で接触してこれ
を押しつけるための接触テーパ面７６が形成されてお
り、効果的にシール部材６２を押しつけるようになって
いる。図４にはこの時の押さえ付け状態が示されてい
る。この場合、各押さえ部材６４Ａ、６４Ｂは高いシー
ル性を確保するためには部材間にはほとんど隙間がない
ように配置するのが好ましい。
て、上記押さえ部材６４は、図４にも示すように上記直
線シール部材６２Ａを押さえるために２面の取付面７
２、７２を有する断面略Ｌ字状の直線押さえ部材６４Ａ
と、上記隅部シール部材６２Ｂを押さえるために隅部に
おける３枚の板材の接合方向に沿った３面の取付面７
４、７４、７４を有する隅部押さえ部材６４Ｂとにより
構成されている。図６にはこの隅部押さえ部材６４Ｂが
示されている。各押さえ部材６４Ａ、６４Ｂには、この
辺に沿ってシール部材６２と直接的に面で接触してこれ
を押しつけるための接触テーパ面７６が形成されてお
り、効果的にシール部材６２を押しつけるようになって
いる。図４にはこの時の押さえ付け状態が示されてい
る。この場合、各押さえ部材６４Ａ、６４Ｂは高いシー
ル性を確保するためには部材間にはほとんど隙間がない
ように配置するのが好ましい。
【００２１】ここでこのロードロックチャンバ１８の具
体的な組み立て工程を説明すると、まず、工場等におい
てチャンバ１８を構成する各板材３０Ａ〜３０Ｆを加工
し、この板材の状態でチャンバ１８の使用場所に搬送
し、使用場所にて組み立てを行なう。まず、各板材３０
Ａ〜３０Ｆをその外側より構造ボルト６０を用いて容器
状に組み付けて強固に固定する。尚、メンテナンス用開
口３０を有する天井部の板材３０Ａは、後で組み付ける
ようにしてもよい。次に、チャンバの内側より各板材３
０Ａ〜３０Ｆの接合線Ｌに沿ってシール部材６２を配置
し、配置しながらこの上から押さえ部材６４を当てがい
ながらこれを締付ボルト６６により締付け固定する。こ
の場合、チャンバ内の隅部を固定する時には、直線シー
ル部材６２Ａと隅部シール部材６２Ｂとを加硫接続法や
接着剤を用いて接続し、一体的に連続させておく。これ
によりシール破れが生じないようにする。
体的な組み立て工程を説明すると、まず、工場等におい
てチャンバ１８を構成する各板材３０Ａ〜３０Ｆを加工
し、この板材の状態でチャンバ１８の使用場所に搬送
し、使用場所にて組み立てを行なう。まず、各板材３０
Ａ〜３０Ｆをその外側より構造ボルト６０を用いて容器
状に組み付けて強固に固定する。尚、メンテナンス用開
口３０を有する天井部の板材３０Ａは、後で組み付ける
ようにしてもよい。次に、チャンバの内側より各板材３
０Ａ〜３０Ｆの接合線Ｌに沿ってシール部材６２を配置
し、配置しながらこの上から押さえ部材６４を当てがい
ながらこれを締付ボルト６６により締付け固定する。こ
の場合、チャンバ内の隅部を固定する時には、直線シー
ル部材６２Ａと隅部シール部材６２Ｂとを加硫接続法や
接着剤を用いて接続し、一体的に連続させておく。これ
によりシール破れが生じないようにする。
【００２２】また、隅部押さえ部材６４Ｂと直線押さえ
部材６４Ａ間は、好ましくはほとんど隙間がないように
隣接して配置し、シール部材６２の押さえ漏れがないよ
うにする。このようにして、チャンバ内の全ての接合線
に沿ってシール部材６２と押さえ部材６４の取り付けが
終了したならば、天井部に天井蓋３８を取り付け、これ
により真空チャンバを完成することができる。このよう
に、ロードロックチャンバ１８のような真空チャンバを
組み立てる場合に、板材３０Ａ〜３０Ｆを組み立てて構
造物の強度を保持するためにはその外側より埋め込んだ
構造ボルト６０を用い、シール性を確保するためにはそ
の内側より板材３０Ａ〜３０Ｆの接合線Ｌに沿って連続
的にシール部材６２を配設し、これを押さえ部材６４に
より押さえ付けて気密性を確保するようにしたので、従
来用いられていた溶接操作を行なうことなくチャンバを
ボルト締めだけで組み立てることができる。また、溶接
処理を不要にできることから、熱変形に伴う後加工も行
なう必要がなくなり、組み立て工程数が少なくて済む。
部材６４Ａ間は、好ましくはほとんど隙間がないように
隣接して配置し、シール部材６２の押さえ漏れがないよ
うにする。このようにして、チャンバ内の全ての接合線
に沿ってシール部材６２と押さえ部材６４の取り付けが
終了したならば、天井部に天井蓋３８を取り付け、これ
により真空チャンバを完成することができる。このよう
に、ロードロックチャンバ１８のような真空チャンバを
組み立てる場合に、板材３０Ａ〜３０Ｆを組み立てて構
造物の強度を保持するためにはその外側より埋め込んだ
構造ボルト６０を用い、シール性を確保するためにはそ
の内側より板材３０Ａ〜３０Ｆの接合線Ｌに沿って連続
的にシール部材６２を配設し、これを押さえ部材６４に
より押さえ付けて気密性を確保するようにしたので、従
来用いられていた溶接操作を行なうことなくチャンバを
ボルト締めだけで組み立てることができる。また、溶接
処理を不要にできることから、熱変形に伴う後加工も行
なう必要がなくなり、組み立て工程数が少なくて済む。
【００２３】この場合、気密処理が比較的困難なチャン
バ隅部は３方向に延びる一体成形された隅部シール部材
６２Ｂを３面の取付面を有する隅部押さえ部材６４Ｂに
より押え付けるようにしたので、高い気密性を保持する
ことができる。シール部材６２としてのＯリングの径
は、例えば２ｍｍ〜５ｍｍ程度のものを用いることがで
き、また、その材料はフッソ系ゴムよりなるバイトン
（商品名）の他、ブチル系ゴム、シリコン系ゴム等を用
いることができ、更に、その断面形状は円形に限られ
ず、矩形状或いは管状のものでもよい。また、押さえ部
材６４の材料としてはプラスチック樹脂、アルミニウ
ム、ステンレススチール等の強度が高く、比較的腐食し
難い材料を用いることができ、また、その厚さもチャン
バの大きさにもよるが本実施例のような大きさの場合に
は３〜７ｍｍ程度に設定する。
バ隅部は３方向に延びる一体成形された隅部シール部材
６２Ｂを３面の取付面を有する隅部押さえ部材６４Ｂに
より押え付けるようにしたので、高い気密性を保持する
ことができる。シール部材６２としてのＯリングの径
は、例えば２ｍｍ〜５ｍｍ程度のものを用いることがで
き、また、その材料はフッソ系ゴムよりなるバイトン
（商品名）の他、ブチル系ゴム、シリコン系ゴム等を用
いることができ、更に、その断面形状は円形に限られ
ず、矩形状或いは管状のものでもよい。また、押さえ部
材６４の材料としてはプラスチック樹脂、アルミニウ
ム、ステンレススチール等の強度が高く、比較的腐食し
難い材料を用いることができ、また、その厚さもチャン
バの大きさにもよるが本実施例のような大きさの場合に
は３〜７ｍｍ程度に設定する。
【００２４】また、押さえ部材６４には、接触テーパ面
７６を設けてこの面にシール部材を接触させて押し付け
るようにしているので、シールを更に効果的に行なうこ
とが可能となる。この接触テーパ面７６は平面的に形成
してもよいし、やや曲率を持たせた曲面形状に成形して
もよい。また、チャンバ組み立て後において、不良箇所
や傷等が発見されたとしても、ボルトを外して当該板材
のみを取り換えることができ、補修を容易に行なうこと
が可能となる。また、このように特定の板材のみを交換
することができることから、チャンバ組み立て後におい
ても用途変更のために他の用途用の板材と交換すること
ができる。
７６を設けてこの面にシール部材を接触させて押し付け
るようにしているので、シールを更に効果的に行なうこ
とが可能となる。この接触テーパ面７６は平面的に形成
してもよいし、やや曲率を持たせた曲面形状に成形して
もよい。また、チャンバ組み立て後において、不良箇所
や傷等が発見されたとしても、ボルトを外して当該板材
のみを取り換えることができ、補修を容易に行なうこと
が可能となる。また、このように特定の板材のみを交換
することができることから、チャンバ組み立て後におい
ても用途変更のために他の用途用の板材と交換すること
ができる。
【００２５】更には、前述のように溶接操作を不要にで
きることから、溶接が困難であった異種の材質同士、例
えばアルミニウム板材とステンレススチール材、または
これらとハニカム材とを接合することができる。従っ
て、強度の特に必要な底部基板はステンレススチール材
を用い、他の部分は軽量なアルミニウム材やハニカム材
を用いて全体を軽量化することもできる。また、板材を
作る工場等から板材の状態でチャンバ使用場所まで搬送
し、そこで組み立てることができるので、搬送が容易で
あり、コスト削減にも寄与することが可能である。
きることから、溶接が困難であった異種の材質同士、例
えばアルミニウム板材とステンレススチール材、または
これらとハニカム材とを接合することができる。従っ
て、強度の特に必要な底部基板はステンレススチール材
を用い、他の部分は軽量なアルミニウム材やハニカム材
を用いて全体を軽量化することもできる。また、板材を
作る工場等から板材の状態でチャンバ使用場所まで搬送
し、そこで組み立てることができるので、搬送が容易で
あり、コスト削減にも寄与することが可能である。
【００２６】尚、上記実施例においては、真空チャンバ
をロードロックチャンバに適用した場合を例にとって説
明したが、これに限定されず、加熱や腐食性ガスに晒さ
れない真空チャンバならばどのようなものでもよく、例
えばカセットチャンバやアームチャンバ等にも適用する
ことができる。また、液晶表示装置の基板用の真空チャ
ンバに限られず、例えば半導体ウエハを扱う真空チャン
バ等にも適用することができる。
をロードロックチャンバに適用した場合を例にとって説
明したが、これに限定されず、加熱や腐食性ガスに晒さ
れない真空チャンバならばどのようなものでもよく、例
えばカセットチャンバやアームチャンバ等にも適用する
ことができる。また、液晶表示装置の基板用の真空チャ
ンバに限られず、例えば半導体ウエハを扱う真空チャン
バ等にも適用することができる。
【００２７】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の真空チャ
ンバ及びその製造方法によれば、次のように優れた作用
効果を発揮することができる。構造ボルトで強度を持た
せ、シール部材を押さえ部材で押し付けてシール性を持
たせるようにしたので、従来用いていた溶接工程を行な
うことなく、ボルトの締め付けだけで真空チャンバを組
み立てることができる。従って、溶接に伴う熱変形がな
いので水平出しの後加工も不要となり工程数も削減する
ことができる。また、板材同士が溶接されてないことか
ら分解が容易となり、不良な板材のみが交換可能となっ
てチャンバ全体を廃棄することもない。更に、溶接が不
要なことから異種材質の板材同士も接合することがで
き、設計の幅を広げることができる。
ンバ及びその製造方法によれば、次のように優れた作用
効果を発揮することができる。構造ボルトで強度を持た
せ、シール部材を押さえ部材で押し付けてシール性を持
たせるようにしたので、従来用いていた溶接工程を行な
うことなく、ボルトの締め付けだけで真空チャンバを組
み立てることができる。従って、溶接に伴う熱変形がな
いので水平出しの後加工も不要となり工程数も削減する
ことができる。また、板材同士が溶接されてないことか
ら分解が容易となり、不良な板材のみが交換可能となっ
てチャンバ全体を廃棄することもない。更に、溶接が不
要なことから異種材質の板材同士も接合することがで
き、設計の幅を広げることができる。
【図１】本発明に係る真空チャンバを組み込んだクラス
タツール装置を示す概略平面図である。
タツール装置を示す概略平面図である。
【図２】本発明の真空チャンバを示す断面図である。
【図３】真空チャンバの板材を接合する状態を示す部分
斜視図である。
斜視図である。
【図４】真空チャンバのシールを行なう状態を説明する
組立図である。
組立図である。
【図５】板材の接合部を示す拡大断面図である。
【図６】隅部押さえ部材を示す斜視図である。
【図７】天井板を示す斜視図である。
【図８】シール部材全体を示す図である。
【図９】従来の真空チャンバを示す斜視図である。
１４，１６，１９ プロセスチャンバ １８ ロードロックチャンバ（真空チャンバ） ２０ 搬入搬出チャンバ ２６，２８ カセットチャンバ ３０Ａ〜３０Ｆ 板材 ６０ 構造ボルト ６２ シール部材 ６２Ａ 直線シール部材 ６２Ｂ 隅部シール部材 ６４ 押さえ部材 ６４Ａ 直線押さえ部材 ６４Ｂ 隅部押さえ部材 ６６ 締付ボルト ＬＣ 液晶表示基板（被処理体） Ｌ 接合線
Claims (5)
- 【請求項１】 内部に密閉された空間を有する真空チャ
ンバにおいて、構造ボルトにより箱状に強固に接合され
た複数の板材と、内側より前記各板材の接合線に沿って
連続的に設けられたシール部材と、前記シール部材を前
記接合線に向けて押さえ付けて気密にシールするために
締付ボルトにより取り付けられた押さえ部材とにより構
成されることを特徴とする真空チャンバ。 - 【請求項２】 前記シール部材は、直線状の接合線をシ
ールするための直線シール部材と、前記容器内の隅部の
接合線をシールするために３方向に延びる隅部シール部
材とよりなることを特徴とする請求項１記載の真空チャ
ンバ。 - 【請求項３】 前記押さえ部材は、前記直線シール部材
を押さえるために２面の取付面を有する断面略Ｌ字状の
直線押さえ部材と、前記隅部シール部材を押さえるため
に３枚の前記板材の接合方向に沿った３面の取付面を有
する隅部押さえ部材とよりなることを特徴とする請求項
２記載の真空チャンバ。 - 【請求項４】 前記押さえ部材には、前記シール部材と
接触するための接触テーパ面が形成されていることを特
徴とする請求項１乃至３記載の真空チャンバ。 - 【請求項５】 複数の板材により内部に密閉された空間
を形成する真空チャンバの製造方法において、前記複数
の板材を構造ボルトにより容器状に組み付ける工程と、
内側より前記板材同士の接合線に沿ってシール部材を設
ける工程と、前記シール部材を締付ボルトにより締め付
けられる押さえ部材により押さえ付けて気密にシールす
る工程とよりなることを特徴とする真空チャンバの製造
方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8044287A JPH09209150A (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | 真空チャンバ及びその製造方法 |
| US08/791,285 US5853176A (en) | 1996-02-06 | 1997-01-30 | Vacuum chamber and method of manufacturing the vacuum chamber |
| TW086101345A TW368672B (en) | 1996-02-06 | 1997-02-04 | Vacuum chamber and a method of making the same |
| KR1019970003548A KR100308347B1 (ko) | 1996-02-06 | 1997-02-05 | 진공챔버 및 그 제조방법 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8044287A JPH09209150A (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | 真空チャンバ及びその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09209150A true JPH09209150A (ja) | 1997-08-12 |
Family
ID=12687297
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8044287A Pending JPH09209150A (ja) | 1996-02-06 | 1996-02-06 | 真空チャンバ及びその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5853176A (ja) |
| JP (1) | JPH09209150A (ja) |
| KR (1) | KR100308347B1 (ja) |
| TW (1) | TW368672B (ja) |
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| WO2021251527A1 (ko) * | 2020-06-11 | 2021-12-16 | 엘지전자 주식회사 | 밀폐 챔버 |
Families Citing this family (16)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP4258803B2 (ja) * | 2003-03-26 | 2009-04-30 | シーワイジー技術研究所株式会社 | 真空チャンバ組立体 |
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