JPH04228970A - 真空圧力容器およびその製造方法 - Google Patents
真空圧力容器およびその製造方法Info
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- JPH04228970A JPH04228970A JP3088056A JP8805691A JPH04228970A JP H04228970 A JPH04228970 A JP H04228970A JP 3088056 A JP3088056 A JP 3088056A JP 8805691 A JP8805691 A JP 8805691A JP H04228970 A JPH04228970 A JP H04228970A
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/006—Processes utilising sub-atmospheric pressure; Apparatus therefor
-
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- B01—PHYSICAL OR CHEMICAL PROCESSES OR APPARATUS IN GENERAL
- B01J—CHEMICAL OR PHYSICAL PROCESSES, e.g. CATALYSIS OR COLLOID CHEMISTRY; THEIR RELEVANT APPARATUS
- B01J3/00—Processes of utilising sub-atmospheric or super-atmospheric pressure to effect chemical or physical change of matter; Apparatus therefor
- B01J3/04—Pressure vessels, e.g. autoclaves
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/56—Apparatus specially adapted for continuous coating; Arrangements for maintaining the vacuum, e.g. vacuum locks
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J12/00—Pressure vessels in general
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、一般的に内部と大気側
との間で圧力差を受けるような漏洩防止容器に関し、特
に半導体回路の製造に使用する真空チャンバに関する。
との間で圧力差を受けるような漏洩防止容器に関し、特
に半導体回路の製造に使用する真空チャンバに関する。
【０００２】
【従来の技術】ここで、「接合部」「３面溶接接合部」
、および「多面溶接接合部」という用語は互換性のある
ものとして使用する。発明者の知る範囲では、半導体回
路の製造に使用する真空チャンバのような圧力容器また
は真空容器を製造することのできる方法には、現在２種
類のもが利用可能であり、第１はむくの金属から容器を
削り出す方法であり、第２は適当な形状にした金属板を
一体に溶接する方法である。２種類の方法の１つである
金属板による製作は一般的に時間と経費がかからず、現
在のところ、この種の容器を作るのに好適な方法である
。
、および「多面溶接接合部」という用語は互換性のある
ものとして使用する。発明者の知る範囲では、半導体回
路の製造に使用する真空チャンバのような圧力容器また
は真空容器を製造することのできる方法には、現在２種
類のもが利用可能であり、第１はむくの金属から容器を
削り出す方法であり、第２は適当な形状にした金属板を
一体に溶接する方法である。２種類の方法の１つである
金属板による製作は一般的に時間と経費がかからず、現
在のところ、この種の容器を作るのに好適な方法である
。
【０００３】しかし、金属板による製造方法を使用する
と、多面溶接接合部を形成する必要があり、これは漏洩
し易く、特に溶接後に試験した場合漏洩し易く、またこ
れは修理することが殆ど不可能である。この問題は図１
に示し、この図は金属板から製造した長方形の半導体用
真空容器の例、すなわちチャンバ１０を示す。この長方
の形容器１０は、４枚の側板１１、１２、１３および１
４、並びに天井板と底板１６と１７によって構成される
。もし、容器１０が独立した６枚の金属板から組み立て
られるなら、８個の独立した３面溶接接合部１８が形成
され、これらの接合部の各々は隣接した２面のみを溶接
したものよりも漏洩しやすい。
と、多面溶接接合部を形成する必要があり、これは漏洩
し易く、特に溶接後に試験した場合漏洩し易く、またこ
れは修理することが殆ど不可能である。この問題は図１
に示し、この図は金属板から製造した長方形の半導体用
真空容器の例、すなわちチャンバ１０を示す。この長方
の形容器１０は、４枚の側板１１、１２、１３および１
４、並びに天井板と底板１６と１７によって構成される
。もし、容器１０が独立した６枚の金属板から組み立て
られるなら、８個の独立した３面溶接接合部１８が形成
され、これらの接合部の各々は隣接した２面のみを溶接
したものよりも漏洩しやすい。
【０００４】図２に概略的に示す容器１０Ａでは、３面
溶接接合部の数を減らすために、壁の幾つかを単板で形
成することができる。例えば、４つの壁面１１、１２、
１３および１４を図３に示す単板１５から曲げて作るこ
とができる（板１５は縮尺に従っていない）。この構造
体１０Ａは、上面と底面に沿っておよび終端部１９−１
９に沿って単純な２端部面溶接のみが必要であり、した
がって３面溶接接合部１８−１８は２箇所しか必要でな
く、２箇所の各々は端部１９−１９が互いに接合される
と共に上面と底面に接合されるものである。したがって
、容器１０Ａは容器１０と比較して多面溶接接合部の数
を減らすが、接合部は無くならない。さらに、３箇所で
曲っていると製造が困難である。通常のベンディング・
マシンを使用した場合、３回曲げた結果生じる閉じた構
造体を取り外す方法がなく、したがって、特別な機械お
よび方法が必要となる。
溶接接合部の数を減らすために、壁の幾つかを単板で形
成することができる。例えば、４つの壁面１１、１２、
１３および１４を図３に示す単板１５から曲げて作るこ
とができる（板１５は縮尺に従っていない）。この構造
体１０Ａは、上面と底面に沿っておよび終端部１９−１
９に沿って単純な２端部面溶接のみが必要であり、した
がって３面溶接接合部１８−１８は２箇所しか必要でな
く、２箇所の各々は端部１９−１９が互いに接合される
と共に上面と底面に接合されるものである。したがって
、容器１０Ａは容器１０と比較して多面溶接接合部の数
を減らすが、接合部は無くならない。さらに、３箇所で
曲っていると製造が困難である。通常のベンディング・
マシンを使用した場合、３回曲げた結果生じる閉じた構
造体を取り外す方法がなく、したがって、特別な機械お
よび方法が必要となる。
【０００５】多面溶接接合部の数を減らす場合、上述の
構造体１０Ａは接合部での漏洩を止めるという問題は解
決できない。いずれの溶接も漏洩する可能性はあるが、
連続した溶接を研磨して再溶接することができる反面、
接合部を研磨して再溶接することは殆ど不可能である。 したがって、通常は１０および１０Ａのような漏洩のあ
る容器は修理するよりもむしろ廃棄する必要があり、こ
の種の容器、特に半導体集積回路の製造のような用途に
使用される容器は高価であり、したがって、漏洩を受け
ることが少なく容易に修理することができる製造方法を
有することが非常に望ましい。
構造体１０Ａは接合部での漏洩を止めるという問題は解
決できない。いずれの溶接も漏洩する可能性はあるが、
連続した溶接を研磨して再溶接することができる反面、
接合部を研磨して再溶接することは殆ど不可能である。 したがって、通常は１０および１０Ａのような漏洩のあ
る容器は修理するよりもむしろ廃棄する必要があり、こ
の種の容器、特に半導体集積回路の製造のような用途に
使用される容器は高価であり、したがって、漏洩を受け
ることが少なく容易に修理することができる製造方法を
有することが非常に望ましい。
【０００６】
【課題を解決する手段】上述の議論に鑑みて、本発明の
目的の１つは、容器を製造する方法とその結果得られる
多面溶接接合部を用いない容器構造を提供することであ
る。１つの特徴によれば、本発明は、上述および他の目
的を満足する容器で実現され、これは一対の接合板であ
って、各々の接合板は端部が解放されたアーチ状の構造
、すなわち３壁面によるＵ字形構造に形成され、接合端
部に沿って互いに協働して接合して断面が多角形の密閉
チャンバを形成し、上記の接合板は多重接合端部を有す
ることなく互いに接合される上記の接合板、および上記
の接合板を上記の接合部に沿って互いに接合するための
手段によって構成される。本発明は、圧力タンクおよび
真空タンクの両方に利用できる。
目的の１つは、容器を製造する方法とその結果得られる
多面溶接接合部を用いない容器構造を提供することであ
る。１つの特徴によれば、本発明は、上述および他の目
的を満足する容器で実現され、これは一対の接合板であ
って、各々の接合板は端部が解放されたアーチ状の構造
、すなわち３壁面によるＵ字形構造に形成され、接合端
部に沿って互いに協働して接合して断面が多角形の密閉
チャンバを形成し、上記の接合板は多重接合端部を有す
ることなく互いに接合される上記の接合板、および上記
の接合板を上記の接合部に沿って互いに接合するための
手段によって構成される。本発明は、圧力タンクおよび
真空タンクの両方に利用できる。
【０００７】他の特徴によれば、本発明は圧力タンクお
よび真空タンクの形成に関し、多面接合端部を持たない
容器すなわちタンクを提供することを特徴とし、これは
、一対の板の各々を一般的に端部が解放されたアーチ状
の構造に形成して上記の対の他方と接合させるステップ
であって、その結果、壁面が多重接合端部を有すること
なく互いに接合される上記のステップ、および上記の板
を接合部に沿って相互に接合するステップによって構成
される。
よび真空タンクの形成に関し、多面接合端部を持たない
容器すなわちタンクを提供することを特徴とし、これは
、一対の板の各々を一般的に端部が解放されたアーチ状
の構造に形成して上記の対の他方と接合させるステップ
であって、その結果、壁面が多重接合端部を有すること
なく互いに接合される上記のステップ、および上記の板
を接合部に沿って相互に接合するステップによって構成
される。
【０００８】他の詳細な特徴によれば、これらの壁面は
溶接によって接合することが好ましい。他のさらに詳細
な特徴によれば、これらの板はＵ字形であり、各々は３
壁面を有し２枚のＵ字形の板によって形成される６壁面
は長方形構造である。さらに他の実施例によれば、Ｕ字
形の板のうちの１枚の対向する２壁面は長方形ではなく
、また残りの壁面は長方形である。
溶接によって接合することが好ましい。他のさらに詳細
な特徴によれば、これらの板はＵ字形であり、各々は３
壁面を有し２枚のＵ字形の板によって形成される６壁面
は長方形構造である。さらに他の実施例によれば、Ｕ字
形の板のうちの１枚の対向する２壁面は長方形ではなく
、また残りの壁面は長方形である。
【０００９】
【実施例】本発明の上述および他の特徴を図面と関連し
て詳細に説明する。ここで図４ないし図５を参照して、
本発明により形成し、本発明を実施した容器２０が開示
される。容器２０は、一対の接合版２１と２５によって
構成される。各々の板は曲げられ、さもなくばアーチ状
で端部が解放された構造に成形され、図示されるように
一般的にＵ字形構造に形成される。例えば、典型的な板
２１は３壁面２２、２３および２４によって構成され（
壁面２２と２４はＵ字の足を形成し、一方壁面２３は底
を形成する）、一方板２５は３壁面２６、２７および２
８によって構成される（壁面２６と２８はＵ字の足を形
成し、一方壁面２７は底を形成する）。図４に示す分解
組立て図から最も明らかなように、協働的に形成された
Ｕ字形接合部材２１と２５が形成され、その結果、壁面
（部材２１と壁面２２、２３および２４のような）は対
応する「開放」空間すなわち他方のＵ字形部材の壁面（
Ｕ字形部材２５の間隙２２′、２３′および２４′）と
の間の対応する開口空間を取り囲む。その結果、図示し
た２個の接合部材２１と２５はＵ字形部材であり、これ
らは相互に対して９０°回転して互いの開放した側部を
取り囲むように構成される。
て詳細に説明する。ここで図４ないし図５を参照して、
本発明により形成し、本発明を実施した容器２０が開示
される。容器２０は、一対の接合版２１と２５によって
構成される。各々の板は曲げられ、さもなくばアーチ状
で端部が解放された構造に成形され、図示されるように
一般的にＵ字形構造に形成される。例えば、典型的な板
２１は３壁面２２、２３および２４によって構成され（
壁面２２と２４はＵ字の足を形成し、一方壁面２３は底
を形成する）、一方板２５は３壁面２６、２７および２
８によって構成される（壁面２６と２８はＵ字の足を形
成し、一方壁面２７は底を形成する）。図４に示す分解
組立て図から最も明らかなように、協働的に形成された
Ｕ字形接合部材２１と２５が形成され、その結果、壁面
（部材２１と壁面２２、２３および２４のような）は対
応する「開放」空間すなわち他方のＵ字形部材の壁面（
Ｕ字形部材２５の間隙２２′、２３′および２４′）と
の間の対応する開口空間を取り囲む。その結果、図示し
た２個の接合部材２１と２５はＵ字形部材であり、これ
らは相互に対して９０°回転して互いの開放した側部を
取り囲むように構成される。
【００１０】図５に最もよく示されるように、接合板２
１と２５が互いに接合された場合、これらは６箇所の接
合端部に沿って接合し、これらの接合部はそれぞれ２枚
の板の端部のみによって形成される。すなわち、板２１
の端部５１は板２５の端部６１と接合し、端部５２と６
２は第２接合部を形成し、さらに対応する端部５３／６
３、５４／６４、５５／６５、５６／６６、５７／６７
および５８／６８は全て２面接合部を形成する。したが
って、接合する２枚の板が溶接によって恒久的に接合さ
れた場合、溶接の継ぎ目５１／６１ないし５８／６８は
全て２面接合部である。（便宜上、溶接部は接合する端
部と同じ番号で示されることに留意すること）。すなわ
ち、３面接合部または多面接合部は存在しない。また、
比較的少ない溶接部しか必要ではない。さらに、この溶
接は連続した１回の、例えば、端部５１／６１から開ま
りこの容器を包み込んで５８／６８で終了する溶接とし
て実行することができる。
１と２５が互いに接合された場合、これらは６箇所の接
合端部に沿って接合し、これらの接合部はそれぞれ２枚
の板の端部のみによって形成される。すなわち、板２１
の端部５１は板２５の端部６１と接合し、端部５２と６
２は第２接合部を形成し、さらに対応する端部５３／６
３、５４／６４、５５／６５、５６／６６、５７／６７
および５８／６８は全て２面接合部を形成する。したが
って、接合する２枚の板が溶接によって恒久的に接合さ
れた場合、溶接の継ぎ目５１／６１ないし５８／６８は
全て２面接合部である。（便宜上、溶接部は接合する端
部と同じ番号で示されることに留意すること）。すなわ
ち、３面接合部または多面接合部は存在しない。また、
比較的少ない溶接部しか必要ではない。さらに、この溶
接は連続した１回の、例えば、端部５１／６１から開ま
りこの容器を包み込んで５８／６８で終了する溶接とし
て実行することができる。
【００１１】図４および５は、また種々の開口部すなわ
ち穴を示し、これらは容器の壁面に形成してこの容器を
半導体の製造または他の用途に適用することができる。 例えば、開口部３１、３２、および３３にはそれぞれス
リット・バルブ・ゲート・バルブおよび覗き窓がそれぞ
れ取り付けられ、３４は機械的供給口である。他の開口
部は処理ガス用の導入口、高温計、圧力計の取付け等に
供される。図示の開口部は、例として示しただけであり
これには限定されない。非常に明らかなように、本容器
はより少ない開口部またはより多い開口部および関連す
る取付け装置を有する用途に使用することができる。
ち穴を示し、これらは容器の壁面に形成してこの容器を
半導体の製造または他の用途に適用することができる。 例えば、開口部３１、３２、および３３にはそれぞれス
リット・バルブ・ゲート・バルブおよび覗き窓がそれぞ
れ取り付けられ、３４は機械的供給口である。他の開口
部は処理ガス用の導入口、高温計、圧力計の取付け等に
供される。図示の開口部は、例として示しただけであり
これには限定されない。非常に明らかなように、本容器
はより少ない開口部またはより多い開口部および関連す
る取付け装置を有する用途に使用することができる。
【００１２】上に示唆したように、本容器は曲げること
によって、またはそうでなければＵ字形の板２１と２５
をアーチ状の構造に成形することによって、これらの板
を互いに合体させ、次にこれらの板を接合する非多面接
合部に沿って溶接しまたはそうでなければ接合する。い
ずれの開口部も、これらの板が形成されまたは接合され
る前に切り抜きまたはプレスすることもでき、またはこ
れらの板を接合した後に切り抜くこともできる。もちろ
ん、必要ないずれのバルブ、ハードウエア、覗き窓、ま
たは他の構造的特徴または支持部材も当業者が必要に応
じて付加することができる。
によって、またはそうでなければＵ字形の板２１と２５
をアーチ状の構造に成形することによって、これらの板
を互いに合体させ、次にこれらの板を接合する非多面接
合部に沿って溶接しまたはそうでなければ接合する。い
ずれの開口部も、これらの板が形成されまたは接合され
る前に切り抜きまたはプレスすることもでき、またはこ
れらの板を接合した後に切り抜くこともできる。もちろ
ん、必要ないずれのバルブ、ハードウエア、覗き窓、ま
たは他の構造的特徴または支持部材も当業者が必要に応
じて付加することができる。
【００１３】図６は本容器の第２実施例７０を示し、こ
れは容器２０の特徴と利点を全て備えている。容器７０
は、Ｕ字形板２５Ａの対向する２つの側部２６Ａと２８
Ａが非長方形の多角形によって構成され、一方、他方の
Ｕ字形板２１Ａの接合する側部２２Ａと２４Ａは曲げれ
られ、そうでなければ多角形２６Ａと２８Ａの周辺形状
に形成され、多角形２６Ａと２８Ａの周囲を包む込むか
または周囲の中に包み込まれる。
れは容器２０の特徴と利点を全て備えている。容器７０
は、Ｕ字形板２５Ａの対向する２つの側部２６Ａと２８
Ａが非長方形の多角形によって構成され、一方、他方の
Ｕ字形板２１Ａの接合する側部２２Ａと２４Ａは曲げれ
られ、そうでなければ多角形２６Ａと２８Ａの周辺形状
に形成され、多角形２６Ａと２８Ａの周囲を包む込むか
または周囲の中に包み込まれる。
【００１４】図７は、さらに他の容器構造８０を示し、
これは本発明を使用して形成することができる。この場
合、各チャンバ８０は、歪んだ６角形の天井面と底面を
有し、ロボット９０がこの部屋に入る角度を付けた経路
を内蔵する。
これは本発明を使用して形成することができる。この場
合、各チャンバ８０は、歪んだ６角形の天井面と底面を
有し、ロボット９０がこの部屋に入る角度を付けた経路
を内蔵する。
【００１５】
【発明の効果】ここで、本容器の２つの実施例を説明し
たが、これらは比較的容易に形成され、２面溶接の数は
比較的少なく、多面（３箇所以上）接合溶接部を持たず
に形成することができる。漏洩が発生した場合、これは
検出され、多面接合部より容易に２面溶接部に沿って修
理される。したがって、本発明によって製造された容器
の場合、一般的な漏洩に対する修復は、高価な圧力／真
空容器を廃棄し交換するよりもむしろこの漏洩を発見し
修理することになることが予想される。
たが、これらは比較的容易に形成され、２面溶接の数は
比較的少なく、多面（３箇所以上）接合溶接部を持たず
に形成することができる。漏洩が発生した場合、これは
検出され、多面接合部より容易に２面溶接部に沿って修
理される。したがって、本発明によって製造された容器
の場合、一般的な漏洩に対する修復は、高価な圧力／真
空容器を廃棄し交換するよりもむしろこの漏洩を発見し
修理することになることが予想される。
【００１６】半導体製造方法および他の真空処理方法は
、自動化したロボットによる多チャンバシステムの方向
に移行している。この種のシステムの据え付面積は最小
にすることが好ましい、すなわち、多重処理チャンバお
よび単一または多重ロードロック・チャンバによって占
有される空間が可能な限り小さいシステムを構成するこ
とが好ましい。本容器の設計はこの種の設計を実現する
助けになるが、その理由は、非接合端部（すなわち、図
３の曲げ端部４０）を丸みを帯びた端部として形成する
ことができるからである。図７は、容器２０をその壁面
に取り付けた７角形のロードロック・チャンバ、すなわ
ち転送チャンバ４１を示す。容器の隣接する端部が丸み
を帯びていることによって、これらの容器を互いに近接
して取り付けることが可能になり、もし方形の端部また
は鋭角の端部を使用した場合に可能であるよりも構造全
体をより小型にすることができる。さらに、チャンバの
方向を選択することによって、構造的な強度を最大にす
ることができる。また、連続した継ぎ目５１／６１ない
し５８／６８は、自動化連続溶接、すなわち、１本の連
続溶接によって接合するのに特に適している。
、自動化したロボットによる多チャンバシステムの方向
に移行している。この種のシステムの据え付面積は最小
にすることが好ましい、すなわち、多重処理チャンバお
よび単一または多重ロードロック・チャンバによって占
有される空間が可能な限り小さいシステムを構成するこ
とが好ましい。本容器の設計はこの種の設計を実現する
助けになるが、その理由は、非接合端部（すなわち、図
３の曲げ端部４０）を丸みを帯びた端部として形成する
ことができるからである。図７は、容器２０をその壁面
に取り付けた７角形のロードロック・チャンバ、すなわ
ち転送チャンバ４１を示す。容器の隣接する端部が丸み
を帯びていることによって、これらの容器を互いに近接
して取り付けることが可能になり、もし方形の端部また
は鋭角の端部を使用した場合に可能であるよりも構造全
体をより小型にすることができる。さらに、チャンバの
方向を選択することによって、構造的な強度を最大にす
ることができる。また、連続した継ぎ目５１／６１ない
し５８／６８は、自動化連続溶接、すなわち、１本の連
続溶接によって接合するのに特に適している。
【００１７】ここでは溶接した金属板の説明したが、当
業者は今日利用できる他の材料および接合方法を適用す
ることができ、例えば、プラスチック材料、ファイバグ
ラス、および複合材料、並びにろう付け溶接およびエポ
キシ接着のような関連する複合材接合方法を使用して本
発明による種々の圧力タンクおよび真空タンクを形成す
ることができる。
業者は今日利用できる他の材料および接合方法を適用す
ることができ、例えば、プラスチック材料、ファイバグ
ラス、および複合材料、並びにろう付け溶接およびエポ
キシ接着のような関連する複合材接合方法を使用して本
発明による種々の圧力タンクおよび真空タンクを形成す
ることができる。
【００１８】したがって、本発明の好適な実施例および
代替実施例を説明したが、当業者は容易に別の実施例お
よびそれらの変形を導きだすことができ、これらは好適
な実施例と添付の特許請求の範囲に包含されるものであ
る。
代替実施例を説明したが、当業者は容易に別の実施例お
よびそれらの変形を導きだすことができ、これらは好適
な実施例と添付の特許請求の範囲に包含されるものであ
る。
【図１】従来技術による容器を示し、多数の多重端（多
面溶接）接合部を有する。
面溶接）接合部を有する。
【図２】従来技術による別の容器を示し、多数の多重端
（多面溶接）接合部を有する。
（多面溶接）接合部を有する。
【図３】図２の容器の４枚の壁面を形成するのに使用す
る短冊板を示す。
る短冊板を示す。
【図４】それぞれ本発明を実施する簡略化した分解斜視
図であり、これには多重端すなわち多面接合溶接部を含
まない。
図であり、これには多重端すなわち多面接合溶接部を含
まない。
【図５】図４の組立て斜視図。
【図６】本発明により製作した容器の代替実施例を示す
。
。
【図７】専有面積が小さく多数のチャンバを有するＩＣ
製造システムに使用した本容器を示す。
製造システムに使用した本容器を示す。
２０、７０、８０ 容器
２１、２５ 接合板
２２、２３、２４、２６、２７、２８ 壁面２２′、
２３′、２４′ 間隙 ３１、３２、３３、３４ 開口部 ４０ 非接合端部 ４１ ロードロック ５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７、５８
接合端部 ６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６８
接合端部
２３′、２４′ 間隙 ３１、３２、３３、３４ 開口部 ４０ 非接合端部 ４１ ロードロック ５１、５２、５３、５４、５５、５６、５７、５８
接合端部 ６１、６２、６３、６４、６５、６６、６７、６８
接合端部
Claims (12)
- 【請求項１】 一対の接合板であって、各々の結合板
は端部が解放されたアーチ状の構造に形成され、接合端
部に沿って互いに協働して接合して断面が多角形の密閉
チャンバを形成し、上記の接合板は多重接合端部を有す
ることなく互いに接合される上記の接合板；および上記
の接合板を上記の接合部に沿って互いに接合するための
手段；によって構成されることを特徴とする容器。 - 【請求項２】 各接合板は一般的にＵ字状の形状であ
ることを特徴とする請求項１記載の容器。 - 【請求項３】 各接合板は一般的にＵ字形の３面構成
であることを特徴とする請求項１記載の上記の容器。 - 【請求項４】 上記のＵ字形の接合板の一面の対向す
る壁面の内の２枚は、非長方形の多角形であり、２枚の
接合板の残りの壁面は長方形であることを特徴とする請
求項３記載の容器。 - 【請求項５】 上記の接合板は金属であり、接合手段
は１箇所以上の溶接であることを特徴とする請求項１乃
至４のいずれかに記載の容器。 - 【請求項６】 上記の接合手段は連続溶接であること
を特徴とする請求項５記載の上記の容器。 - 【請求項７】 一対の板の各々を一般的に端部が解放
されたアーチ状の構造に形成して上記の対の他方と接合
させるステップであって、その結果、壁面が多重接合端
部を有することなく互いに接合される上記のステップ；
および上記の板を接合部に沿って相互に接合するステッ
プ；によって構成されることを特徴とする容器の形成方
法。 - 【請求項８】 各板が一般的にＵ字形の構造に形成さ
れることを特徴とする請求項７記載の方法。 - 【請求項９】 各板が一般的にＵ字形の３面構造に形
成されることを特徴とする請求項７記載の方法。 - 【請求項１０】 上記の板の接合は、１回の連続した
溶接のステップによって構成されることを特徴とする請
求項７乃至９のいずれかに記載の方法。 - 【請求項１１】 上記の板は金属で形成され、溶接に
よって接合されることを特徴とする請求項７乃至９のい
ずれかに記載の方法。 - 【請求項１２】 上記の板の接合は、１回の連続した
溶接のステップによって構成されることを特徴とする請
求項１１記載の方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US511431 | 1983-07-06 | ||
| US51143190A | 1990-04-20 | 1990-04-20 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH04228970A true JPH04228970A (ja) | 1992-08-18 |
Family
ID=24034885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP3088056A Pending JPH04228970A (ja) | 1990-04-20 | 1991-04-19 | 真空圧力容器およびその製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| EP (1) | EP0452778B1 (ja) |
| JP (1) | JPH04228970A (ja) |
| KR (1) | KR100195305B1 (ja) |
| DE (1) | DE69108084T2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2010043352A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-02-25 | Canon Anelva Corp | 真空容器、真空容器を備える真空処理装置及び真空容器の製造方法 |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE9407482U1 (de) * | 1994-05-05 | 1994-10-06 | Balzers und Leybold Deutschland Holding AG, 63450 Hanau | Funktionseinrichtung für eine Vakuumanlage für die Behandlung von scheibenförmigen Werkstücken |
| EP0705642A1 (de) * | 1994-10-05 | 1996-04-10 | GRETAG Aktiengesellschaft | Vakuumkammersystem |
| DE10207613C1 (de) * | 2002-02-22 | 2003-04-10 | Ems Chemie Ag | Druckbehälter mit rohrförmigem Anschluss |
| DE102011001723B4 (de) * | 2011-04-01 | 2016-06-09 | Konecranes Global Corporation | Druckfestes Gehäuse, Verfahren zur Herstellung desselben sowie Anordnung desselben mit einem weiteren Gehäuse |
| CN103050895A (zh) * | 2012-12-28 | 2013-04-17 | 山东科技大学 | 一种防爆型电源箱 |
| DE102016107985A1 (de) * | 2016-04-29 | 2017-11-02 | Von Ardenne Gmbh | Vakuumprozesskammer und Verfahren zum Herstellen einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR661226A (fr) * | 1928-01-19 | 1929-07-23 | Système de construction de boîtes, récipients ou réservoirs pour toutes applications |
-
1991
- 1991-04-09 DE DE69108084T patent/DE69108084T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1991-04-09 EP EP91105628A patent/EP0452778B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1991-04-19 JP JP3088056A patent/JPH04228970A/ja active Pending
- 1991-04-19 KR KR1019910006260A patent/KR100195305B1/ko not_active IP Right Cessation
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| US8763833B2 (en) | 2008-07-14 | 2014-07-01 | Canon Anelva Corporation | Vacuum vessel, vacuum processing apparatus comprising vacuum vessel, and vacuum vessel manufacturing method |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE69108084T2 (de) | 1995-11-23 |
| EP0452778B1 (en) | 1995-03-15 |
| KR910019185A (ko) | 1991-11-30 |
| EP0452778A2 (en) | 1991-10-23 |
| EP0452778A3 (en) | 1992-01-02 |
| DE69108084D1 (de) | 1995-04-20 |
| KR100195305B1 (ko) | 1999-06-15 |
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