KR910019185A - 압력 진공용기 및 그 제조방법 - Google Patents

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텝만 아비
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제임스 조셉 드롱
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Abstract

내용 없음

Description

압력 진공용기 및 그 제조방법
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제 4 및 5 도는 각각 본 발명의 실시예에 따라서 어떠한 다중모서리 또는 다중 용접 접합도 갖지 않는 용기의 개략적인 분리사시도 및 사시도, 제 6 도는 본 발명에 의해 제조된 용기의 다른 실시에를 도시한 도면, 제 7 도는 작은 풀프린드(footprint)다중 쳄버 집적회로 공정시스템내에서의 본 발명의 용기의 사용을 도시한 도면.

Claims (12)

  1. (a)둘러싸여진 다각형 단면의 챔버를 형성하기 위해 메이팅 모서리를 따라 협력적으로 함께 맞추어지도록 배열된 단부가 개방된 아아치형상으로 형성되고, 다중 모서리 접합없이 함께 맞추어지는 1쌍의 메이팅 박판; 및 (b) 상기 접합을 따라 상기 박판들을 함께 접합시키는 수단으로 이루어지는 용기.
  2. 제 1 항에 있어서, 각 박판이 U자형 배열임을 특징으로 하는 용기
  3. 제 1 항에 있어서, 각 박판이 3개의 U자형 측면 배열임을 특징으로 하는 용기.
  4. 제 3 항에 있어서, 상기 U자형 박판중 하나의 박판의 서로 마주해 있는 2개의 벽이 비 직사각의 다각형이고 2개의 박판중 나머지 벽이 직사각형임을 특징으로 하는 용기.
  5. 제 1 내지 4 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 박판이 금속이고 상기 접합수단이 하나이상의 용접임을 특징으로 하는 용기.
  6. 제 5 항에 있어서, 상기 접합수단이 연속 용접임을 특징으로 하는 용기.
  7. 용기를 형성시키는 방법에 있어서, (a)벽들이 다중 모서리 접합없이 함께 메이트되도록 1쌍의 각 박판을 상기 쌍의 다른것과 메이팅하기에 적합한 단부가 개방된 아아치형 배열로 형성시키는 단계; 및 (b) 상기 박판들을 상기 접합을 따라 함께 접합시키는 단계로 이루어짐을 특징으로하는 방법.
  8. 제 7 항에 있어서, 각 박판이 U자형 배열임을 특징으로 하는 용기.
  9. 제 7 항에 있어서, 각 박판이 3개 U자형 측면 배열임을 특징으로 하는 용기.
  10. 제 7 내지 9 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 박판들을 접합하는 단계가 단일 연속 용접단계로 이루어짐을 특징으로 하는 방법.
  11. 제 7 내지 9 항중 어느 한 항에 있어서, 상기 박판들이 금속으로 형성되고 용접으로 접함됨을 특징으로 하는 방법.
  12. 제 11항에 있어서, 상기 박판을 접합시키는 단계가 단일 연속 용접단계로 이루어짐을 특징으로 하는 방법.
    ※ 참고사항 : 최초출원내용에 의하여 공개하는 것임.
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