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Die Erfindung betrifft eine Vakuumprozesskammer, eine Prozesskammeranordnung und eine Prozessieranordnung.
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Im Allgemeinen können Substrate, z.B. plattenförmige Substrate, Glasscheiben, Wafer, Bandsubstrate, etc. in einer Vakuumprozessieranlage prozessiert werden, z.B. in einer Vakuumbeschichtungsanlage beschichtet werden. Dabei können die Substrate mittels eines geeigneten Transportsystems durch die Vakuumprozessieranlage hindurch transportiert werden und/oder in der Vakuumprozessieranlage positioniert werden.
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Die Vakuumprozessieranlage kann allgemein mindestens eine Vakuumprozesskammer (auch als Vakuumkammer, Kammergehäuse, Kammerkörper, etc. bezeichnet) aufweisen. Die wesentliche Funktion der hierin beschriebenen Vakuumprozesskammer bzw. deren Wandungen, Deckel, etc. ist das Bereitstellen eines evakuierbaren Raums innerhalb der Vakuumprozesskammer. Dazu muss die Vakuumprozesskammer entsprechend vakuumtauglich ausgestaltet sein oder werden. Zum Evakuieren der Vakuumprozesskammer kann eine Vakuumpumpenanordnung verwendet werden. Das Prozessieren eines Substrats im Vakuum kann beispielsweise zum Beschichten des Substrats notwendig sein, z.B. wenn eine chemische Gasphasenabscheidung (CVD) oder eine physikalische Gasphasenabscheidung (PVD) zum Beschichten des Substrats verwendet werden soll.
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Herkömmlicherweise wird eine Vakuumprozesskammer, sofern diese mehrere plattenförmige (z.B. ebene bzw. plane) Kammerwandabschnitte aufweist, aus einzelnen plattenförmigen Kammerwandsegmenten zusammengeschweißt. Aufgrund der Druckdifferenz, die beim Evakuieren der Vakuumprozesskammer gegenüber der äußeren Atmosphäre entsteht, insbesondere wenn die Vakuumprozesskammer ein großes Innenvolumen aufweist (beispielsweise von mehr als einem Kubikmeter), kann sich die Vakuumprozesskammer erheblich verformen, z.B. kann sich ein Kammerwandabschnitt nach innen wölben, wenn die Vakuumprozesskammer evakuiert wird. Selbst unter Verwendung zentimeterdicker Stahlplatten kann der Effekt, dass sich die Vakuumprozesskammer beim Evakuieren teilweise elastisch verformt, nicht verhindert werden. Wenn eine derartige Vakuumprozesskammer dann zyklisch be- und entlüftet wird, wie es beispielsweise bei einer Schleusenkammer der Fall sein kann, kommt es zu einer großen Beanspruchung der Schweißnähte. Allgemein können daher Schweißnähte einer Vakuumprozesskammer Schwachstellen sein, die zum Ausfall oder Defekt der Vakuumprozesskammer führen können. Selbst ein sehr kleines Leck in der Vakuumprozesskammer, z.B. ein Loch im Mikrometerbereich, kann den erreichbaren minimalen Kammerinnendruck stark beeinflussen. Anschaulich kann die Vakuumprozesskammer aufgrund eines kleinen Lecks unbrauchbar werden.
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Aufgrund der Schwierigkeit beim Bau einer Vakuumprozesskammer aus mehreren plattenförmigen Kammerwandsegmenten werden alternativ auch gebogene oder gewölbte Formen verwendet. Diese verursachen jedoch an einigen funktionalen Stellen der Vakuumprozesskammer, z.B. wo eine Vakuumpumpe oder eine andere Vorrichtung angeflanscht werden soll, zu erheblichen Kosten. Beispielsweise muss an eine gewölbte Fläche einer Vakuumprozesskammer ein Flanschabschnitt angeschweißt werden, der dann die ebene Dichtfläche zum Anschließen der Vakuumpumpe oder einer andere Vorrichtung bereitstellt. Dies erhöht dann die Anzahl der zum Bau der Vakuumprozesskammer benötigten Schweißnähte.
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Ein Aspekt verschiedener Ausführungsformen kann anschaulich darin gesehen werden, eine kostengünstige Vakuumprozesskammer bereitzustellen, welche mechanisch stabil ist, insbesondere bei zyklischen Belastungen. Allgemein wird eine Vakuumprozesskammer bereitgestellt, welche eine minimale (bzw. verglichen mit herkömmlichen Kammerkonzepten geringere) Anzahl an Schweißnähten aufweist.
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Eine Vakuumprozesskammer kann einen Kammerkörper oder mehrere miteinander verbundene Kammerkörper aufweisen.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: einen Kammerkörper mit einer umlaufenden Kammerwand, wobei die Kammerwand eine Vielzahl jeweils in einem Winkel aneinandergrenzender, plattenförmiger Kammerwandabschnitte aufweist, wobei der Winkel zwischen jeweils zwei aneinandergrenzenden plattenförmigen Kammerwandabschnitten ungleich 90° ist, und wobei die umlaufende Kammerwand an deren zwei einander gegenüberliegenden umlaufenden Endabschnitten jeweils eine Kammeröffnung derart bildet, dass die jeweilige Kammeröffnung mittels eines Kammerdeckels vakuumdicht verschlossen werden kann.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: einen Kammerkörper mit einer Kammerwand, wobei die Kammerwand ein Vielzahl jeweils in einem Winkel aneinandergrenzender, plattenförmiger Kammerwandabschnitte aufweist, und wobei die Kammerwand weniger Schweißnähte als plattenförmige Kammerwandabschnitte aufweist. Dies kann beispielsweise dadurch erreicht werden, dass die in einem Winkel aneinandergrenzenden, plattenförmigen Kammerwandabschnitte mittels Kantens hergestellt sind.
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Ferner kann die Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: jeweils eine Dichtungsstruktur an den zwei einander gegenüberliegenden (z.B. stirnseitigen) Endabschnitten der umlaufende Kammerwand, wobei die jeweilige Dichtungsstruktur eine plane Dichtfläche aufweist, die senkrecht zu der Vielzahl gewinkelt aneinandergrenzender, plattenförmiger Kammerwandabschnitte ausgerichtet ist.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann jeweils ein Flanschring (als Dichtungsstruktur) an jedem der zwei einander gegenüberliegenden Endabschnitte der umlaufenden Kammerwand angeschweißt sein oder werden. Mittels des jeweiligen Flanschrings kann eine Dichtfläche zum Anlegen des jeweiligen Kammerdeckels an die umlaufende Kammerwand bereitgestellt sein oder werden.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumprozesskammer ferner Folgendes aufweisen: einen ersten Kammerdeckel und einen zweiten Kammerdeckel zum vakuumdichten Verschließen der beiden Kammeröffnungen.
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Ferner kann in zumindest einem der plattenförmigen Kammerwandabschnitte eine Durchgangsöffnung bereitgestellt sein zum Evakuieren der Vakuumprozesskammer mittels einer Vakuumpumpe (z.B. mittels einer Turbomolekularpumpe oder Ähnlichem). Anschaulich kann ein Hochvakuumpumpenanschluss in zumindest einem der plattenförmigen Kammerwandabschnitte bereitgestellt sein oder werden. Dabei kann die Anschlussfläche zum Anschließen der Vakuumpumpe die äußere Oberfläche des plattenförmigen Kammerwandabschnitts sein. Somit kann beispielsweise auf einen separat angeschweißten Anschlussflansch verzichtet werden.
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Ferner kann jeweils der Innenwinkel zwischen zwei aneinandergrenzenden, plattenförmigen Kammerwandabschnitten größer als 90° sein, beispielsweise größer als 120°. Anschaulich kann die umlaufende Kammerwand eine polygonale Form beschreiben.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die beiden Kammeröffnungen eine n-eckige Außenkontur aufweisen so dass die Vakuumprozesskammer im Wesentlichen eine prismatische Form aufweist. Die umlaufende Kammerwand kann als Mantelfläche der prismatischen Form betrachtet werden, wobei die beiden Kammeröffnungen in der Grundfläche und der Deckfläche bereitgestellt sind. Dabei kann die Anzahl der Ecken größer als fünf, sechs, sieben, acht, neun oder zehn sein. Anschaulich kann die n-eckige Form der Vakuumprozesskammer an die Form eines Kreiszylinders angenähert sein. Zwischen den beiden Kammeröffnungen erstreckt sich ein Durchgang, der von der umlaufenden Kammerwand umgeben wird, welcher den Innenraum (z.B. einen Prozessierraum) der Vakuumprozesskammer definiert.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können mehrere erste plattenförmige Kammerwandabschnitte in jeweils einem ersten Winkel aneinander grenzen und mehrere zweite plattenförmige Kammerwandabschnitte können in jeweils einem zweiten Winkel aneinander grenzen, wobei der zweite Winkel verschieden von dem ersten Winkel ist. Anschaulich können verschiedene Abschnitte der umlaufenden Kammerwand verschiedene Krümmungsradien aufweisen. Wobei der Krümmungsradius so verstanden werden kann, dass die jeweiligen Kanten zwischen den jeweiligen plattenförmigen Kammerwandabschnitten auf einer gemeinsamen Kreisbahn liegen.
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Ferner kann die Vakuumprozesskammer mehrere Prozessierbereiche zum Prozessieren eines Substrats aufweisen, die mittels einer Trennungsstruktur (z.B. eines Gasseparationsstruktur) voneinander separiert sind, wobei jedem Prozessierbereich jeweils nur ein Kammerwandabschnitt zugeordnet ist.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozesskammeranordnung Folgendes aufweisen: eine Vakuumprozesskammer, wie sie hierin beschrieben ist; und eine Trägerstruktur zum Tragen der Vakuumprozesskammer.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Prozessieranordnung Folgendes aufweisen: eine Prozesskammeranordnung; und mindestens eine Prozessiervorrichtung zum Prozessieren eines Substrats innerhalb der Vakuumprozesskammer.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Herstellen einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: mehrmaliges Kanten mindestens eines Blechs; und Verschweißen des mindestens einen gekanteten Blechs zu einer umlaufenden Kammerwand, wobei das Kanten und das Verschweißen derart erfolgen, dass die umlaufende Kammerwand eine Vielzahl jeweils in einem Winkel aneinandergrenzender, plattenförmiger Kammerwandabschnitte aufweist, wobei der jeweilige Winkel zwischen jeweils zwei aneinandergrenzenden plattenförmigen Kammerwandabschnitten ungleich 90° ist.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Blech Edelstahl aufweisen oder daraus bestehen. Das Blech kann beispielsweise eine Blechstärke von mehr als 1 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 1 cm bis ungefähr 10 cm. Somit kann das gekantete Blech ausreichend stabil sein, um aus diesem eine Vakuumprozesskammer herzustellen.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Herstellen einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: mehrmaliges Kanten eines ersten Blechs; mehrmaliges Kanten eines zweiten Blechs; Verschweißen des gekanteten ersten Blechs mit dem gekanteten zweiten Blech zu einer umlaufenden Kammerwand, wobei das Kanten und Verschweißen derart erfolgen, dass die umlaufende Kammerwand eine Vielzahl jeweils in einem Winkel aneinandergrenzender, plattenförmiger Kammerwandabschnitte aufweist, wobei der jeweilige Winkel zwischen zwei aneinandergrenzenden plattenförmigen Kammerwandabschnitten ungleich 90° ist.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die umlaufende Kammerwand an deren zwei einander gegenüberliegenden umlaufenden Endabschnitten jeweils eine Kammeröffnung derart bilden, dass die jeweilige Kammeröffnung mittels eines Kammerdeckels vakuumdicht verschlossen werden kann.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Herstellen einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: Zuschneiden eines Blechs gemäß einem vordefinierten Körpernetz; Kanten des Blech entsprechend dem vordefinierten Körpernetz zu dem entsprechenden Körper; und Verschweißen mindestens eines aneinandergrenzenden Kantenpaares des gekanteten Blechs zu einer umlaufend geschlossenen Kammerwand.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Herstellen einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: Zuschneiden mehrerer Bleche jeweils gemäß einem vordefinierten Teil-Körpernetz; Kanten der mehreren Bleche entsprechend dem jeweiligen vordefinierten Teil-Körpernetz zu dem entsprechenden Teil-Körper; und Verschweißen der mehreren gekanteten Bleche miteinander an jeweils den Kanten der gekanteten Bleche zu einer umlaufend geschlossenen Kammerwand.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Herstellen einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: Kanten mindestens eines Blechs; und Verschweißen des mindestens einen gekanteten Blechs zu einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Verfahren zum Herstellen einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer Folgendes aufweisen: Zuschneiden mindestens eines Blechs gemäß einer Außenkontur eines vordefinierten Körpernetzes oder Teil-Körpernetzes; Kanten des mindestens einen Blechs entsprechend dem vordefinierten Körpernetz bzw. Teil-Körpernetz zu dem entsprechenden Körper oder Teil-Körper; und Verschweißen des mindestens einen gekanteten Blechs zu einer Kammerwand. Dabei kann der entsprechende Körper oder Teil-Körper einen Innenraum der Vakuumprozesskammer definieren oder bilden.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mindestens ein gekantetes Blech als Kammerwand oder Teil einer Kammerwand einer Vakuumprozesskammer verwendet werden, wobei die Kammerwand das Innere der Vakuumprozesskammer von der äußeren Atmosphäre (bzw. dem außerhalb der Vakuumprozesskammer herrschenden Luftdruck) separiert.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein polygonaler Kammerkörper oder zumindest ein polygonaler Teil eines Kammerkörpers aus einem entsprechend zugeschnittenen Blech gekantet sein oder werden. Um aus dem gekanteten Blech eine Vakuumprozesskammer bzw. einen Kammerkörper einer Vakuumprozesskammer herzustellen, muss das gekantete Blech mindestens einmal geschweißt werden. Um möglichst wenige Schweißnähte zu benötigen, kann das Blech vor dem Kanten entsprechend einem Körpernetz oder Teil-Körpernetz für einen polygonalen Körper (z.B. einen Würfel, einen Quader, ein Prisma, etc.) zugeschnitten werden.
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Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
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Es zeigen
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1A und 1B jeweils einen Kammerkörper einer Vakuumprozesskammer in verschiedenen Ansichten, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
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2A und 2B jeweils einen Kammerkörper einer Vakuumprozesskammer in verschiedenen Ansichten, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
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3A ein Blech zum Kanten eines Kammerkörpers gemäß einem vordefinierten Körpernetz;
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3B ein entsprechend dem vordefinierten Körpernetz gekantetes Blech eines Kammerkörpers, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
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4 einen Kammerkörper einer Vakuumprozesskammer in einer perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und
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5 eine Prozessieranordnung mit einer Vakuumprozesskammer in einer perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
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In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa "oben", "unten", "vorne", "hinten", "vorderes", "hinteres", usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
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Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe "verbunden", "angeschlossen" sowie "gekoppelt" verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Kammerwand einer Vakuumprozesskammer mittels Kantens in die entsprechende Form gebracht. Eine durch Kanten erzeugte Behälterform hat beispielsweise den Vorteil, dass die Blechdicke im Kantbereich vollkommen erhalten bleibt. Mittels des Kantens wird beispielsweise eine Kaltverfestigung des Materials im Kantbereich erzeugt.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Kammerwand oder ein Kammerkörper einer Vakuumkammer eine Anzahl ebener Abschnitte aufweisen und weniger Schweißnähte als ebene Abschnitte.
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In 1A und 1B ist jeweils ein Kammerkörper 100 mit einer umlaufenden Kammerwand 102 in zwei verschiedenen schematischen Seitenansichten dargestellt, wobei die umlaufende Kammerwand 102 eine Vielzahl jeweils in einem Winkel aneinandergrenzender, plattenförmiger Kammerwandabschnitte 102f aufweist.
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Dabei ist der Winkel zwischen jeweils zwei aneinandergrenzenden, plattenförmigen Kammerwandabschnitten 102f beispielsweise größer als 90°. Die umlaufende Kammerwand 102 bildet zwei einander gegenüberliegende Kammeröffnungen (an den beiden einander gegenüberliegenden Endabschnitten 102a, 102b der umlaufenden Kammerwand 102) derart, dass die jeweilige Kammeröffnung mittels eines Kammerdeckels vakuumdicht verschlossen werden kann.
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Anschaulich ist die in 1A und 1B dargestellte Kammerwand 102 aus einem viermal gekanteten rechtwinkligen Blech 102 hergestellt. Dabei liegen alle Kanten 102k parallel zueinander. Die Kammerwand 102 ist anschaulich beispielhaft in Form einer Mantelfläche eines geraden Prismas mit der Grundfläche eines regelmäßigen Fünfecks gekantet. Die Außenkontur des entsprechenden Teil-Körpernetzes, aus dem sich diese Form kanten lässt, entspricht der eines entsprechend dimensionierten Rechtecks.
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In 2A und 2 ist jeweils ein Kammerkörper 100 mit einer umlaufenden Kammerwand 102 in zwei verschiedenen schematischen Seitenansichten dargestellt, wobei die umlaufende Kammerwand 102 eine Vielzahl jeweils in einem Winkel aneinandergrenzender, plattenförmiger Kammerwandabschnitte 102f aufweist. In dieser Ausgestaltung ist die Kammerwand 102 anschaulich in Form einer Mantelfläche eines geraden Prismas mit der Grundfläche eines regelmäßigen Achtecks gekantet. Die Außenkontur des entsprechenden Teil-Körpernetzes, aus dem sich diese Form kanten lässt, entspricht der eines entsprechend dimensionierten Rechtecks.
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Die vorangehend dargestellten umlaufenden Kammerwände 102 sind an mindestens einer Stelle 102s miteinander zu verschweißen, so dass ein umlaufender Kammerkörper 100 gebildet ist. Dieser kann dann mittels zweier entsprechend passender Kammerdeckel vakuumdicht verschlossen werden.
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Sofern für das Kammerkonzept keine Kammerdeckel verwendet werden, kann der Kammerkörper 100 eine entsprechend ausgestaltete, geschlossene Wandung aufweisen und selbst als die Vakuumprozesskammer fungieren. Die Wandung kann dazu entsprechend gekantet und verscheißt sein oder werden.
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In 3A ist ein Blech 302 in einer Draufsicht dargestellt, wobei das Blech 302 entsprechend einem vordefinierten Körpernetz 302f zugeschnitten ist. Das Körpernetz definiert sich aus der angestrebten zu kantenden Körperform, die beispielhaft in 3B dargestellt ist. Die geplanten Körperkanten 302f sind in 3A gestrichelt dargestellt.
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Wie vorangehend beschrieben ist, kann das Blech 302 mittels Kantens in die entsprechende Form gebracht werden, so dass beispielsweise eine Kammerwand 102 für eine Vakuumprozesskammer gebildet wird, wie in 3B beispielhaft dargestellt ist.
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Die gekantete Kammerwand 102 kann beispielsweise nur einen Teil des Kammerkörpers 100 bilden. Die gekantete Kammerwand 102 kann beispielsweise zwei freiliegende Endabschnitte 302k aufweisen, die mit einem weiteren Kammerwandelement oder, wenn es die Form der gekanteten Kammerwand 102 zulässt, miteinander verschweißt werden können (siehe 1A und 2A).
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In 4 ist ein Kammerkörper 100 in einer perspektivischen Ansicht dargestellt, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Der Kammerkörper 100 besteht in diesem Fall aus zwei Teilen, nämlich einem Oberteil 400o und einem Unterteil 400u. Dabei können beispielsweise nur zwei Schweißnähte 408 notwendig sein, um die beiden Teile zu einem umlaufenden Kammerkörper 100 einer Vakuumprozesskammer zu verbinden.
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In analoger Weise können beliebig gekantete Bleche zu einem entsprechenden Kammerkörper 100 einer Vakuumkammer verbunden werden, wobei aufgrund des Kantens der Bleche Schweißnähte eingespart werden können.
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An die Kammerwand 102 können Stirnflansche 402a, 402b angebracht sein, z.B. angeschweißt sein. Mittels der Stirnflansche 402a, 402b kann jeweils eine Auflagefläche für entsprechend passend ausgestaltete Kammerdeckel bereitgestellt sein oder werden.
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Der Kammerkörper 100 hat anschaulich die Form eines Tunnels. Ein unterer Teil 400u des Kammerkörpers 100 kann 10-fach kantig sein mit elf ebenen Flächenabschnitten 102f. Mittels des unteren Teils 400u des Kammerkörpers 102 können beispielsweise neun Prozess-Kompartments 402p innerhalb des Kammerkörpers 100 bereitgestellt sein oder werden. Dabei definiert jeweils eine der ebenen Flächenabschnitte 102f genau ein Prozess-Kompartment 402p.
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Ein oberen Teil 400o des Kammerkörpers 100 kann 5-fach kantig sein mit sechs ebenen Flächenabschnitten 102f. In dem Innenraum des Kammerkörpers 100, der durch den oberen Teil 400o gebildet wird, kann beispielsweise ein Transportsystem.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Transportsystem eine oder mehrere Transportrollen aufweisen, wobei die jeweiligen Rollenachsen parallel zueinander ausgerichtet sind zum Transportieren eines Substrats entlang einer Transportrichtung senkrecht zu den Rollenachsen. Dabei können die Transportrollen einen Bandlauf für ein Bandsubstrat definieren. Ein Bandsubstrat kann beispielsweise ein flexibles Substrat sein (z.B. eine Metallfolie, eine Kunststofffolie, flexibles Glas, etc.), das auf eine Rolle aufgewickelt werden kann. Das Bandsubstrat kann somit von Rolle-zu-Rolle transportiert werden.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerkörper 100 eine Aufhängestruktur 440 aufweisen zum Aufhängen des Kammerkörpers 100 an einer Trägerstruktur. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können auch die jeweiligen Kammerdeckel an der Trägerstruktur aufgehängt sein oder werden. Dabei können beispielsweise mindestens einer der beiden Kammerdeckel und der Kammerkörper 100 derart verschiebbar aufgehängt sein oder werden, dass die Vakuumprozesskammer auf einfache Weise geöffnet und/oder geschlossen werden kann, indem mindestens einer der beiden Kammerdeckel sowie der Kammerkörper 100 bewegt wird.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können zwei mehrfach gekantete Bleche 400u, 400o gegeneinander zu einem Kammerkörper 100 zusammengeschweißt sein oder werden. Daraus ergibt sich eine stark vereinfachte Technologie der Kammerfertigung. Auch können beispielsweise Turbomolekularpumpen plan, ohne das Einschweißen eines Blockflanschs, angebracht werden. Dazu können die ebenen Flächenabschnitte 102f bzw. die plattenförmigen Kammerwandabschnitte 102f jeweils ein passendes Durchgangsloch 402d aufweisen. Ferner können sich die Innenanbauten an der ebenen Fläche der plattenförmigen Kammerwandabschnitte 102f orientieren.
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Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der untere Teil 400u des Kammerkörpers 100 an die Anforderungen eines Prozessierbereichs abgepasst sein oder werden. Unabhängig davon kann der obere Teil 400o des Kammerkörpers 100 an die Anforderungen eines Transportsystems abgepasst sein oder werden. Der Kammerkörper 100 kann somit auf einfache, kostengünstige Weise derart bereitgestellt sein oder werden, dass die Vakuumprozesskammer keinen unnötigen Innenraum aufweist. Der Krümmungsradius der Kammerwand 102 in dem unteren Teil 400u des Kammerkörpers 100 kann beispielsweise geringer gewählt sein oder werden als der Krümmungsradius der Kammerwand 102 in dem oberen Teil 400o des Kammerkörpers 100.
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Sofern der jeweilige Krümmungsradius zweier gekanteter Bleche 400u, 400o, die zu einem Kammerkörper 100 verbunden werden sollen, voneinander verschieden ist, kann beispielsweise eines der gekanteten Bleche 400u, 400o in zwei einander entgegengesetzte Richtungen gekantet sein. Eines der Bleche 400u, 400o kann beispielsweise derart gekantet sein oder werden, dass bei zwei ersten aneinandergrenzenden plattenförmigen Kammerwandabschnitten 102f der Innenwinkel kleiner als der Außenwinkel ist und dass bei zwei zweiten aneinandergrenzenden plattenförmigen Kammerwandabschnitten 102f der Innenwinkel größer als der Außenwinkel ist. Damit können beispielsweise die unterschiedlichen Krümmungsradien ausgeglichen werden, so dass die beiden Teile 400o, 400u zu dem Kammerkörper 100 mittels nur zwei Schweißnähten 408 zusammengeschweißt werden können.
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In 5 ist eine Prozesskammeranordnung 500 bzw. eine Prozessieranordnung 500 in einer perspektivischen Ansicht veranschaulicht. Beispielsweise kann eine Trägerstruktur 502 verwendet werden zum Tragen einer Vakuumprozesskammer 500p, wobei die Vakuumprozesskammer 500p einen ersten Kammerdeckel 504, den hierin beschriebenen Kammerkörper 100 und einen zweiten Kammerdeckel 506 aufweist, wobei der Kammerkörper 100 zwei einander gegenüberliegende Kammeröffnungen aufweist derart, dass die beiden Kammeröffnungen mittels der beiden Kammerdeckel 504, 506 abgedeckt werden können.
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Beispielsweise kann der erste Kammerdeckel 504 fest an der Trägerstruktur 502 montiert sein. Der Kammerkörper 100 und der zweite Kammerdeckel 506 können beweglich an der Trägerstruktur 502 montiert sein oder werden, so dass der zweite Kammerdeckel 506 und/oder der Kammerkörper 100 relativ zu dem ersten Kammerdeckel 504 bewegt werden können.
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Ferner kann mindestens eine Prozessiervorrichtung zum Prozessieren eines Substrats innerhalb der Vakuumprozesskammer 500p bereitgestellt sein oder werden. Die mindestens eine Prozessiervorrichtung kann beispielsweise an dem ersten Kammerdeckel 504 montiert sein oder werden.
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Die Prozessiervorrichtung kann beispielsweise ein Magnetron oder mehrere Magnetrons aufweisen zum Durchführen eines Sputter-Beschichtungsprozesses in der Vakuumprozesskammer 500p.
