DE102014107635B4

DE102014107635B4 - Vakuumkammer

Info

Publication number: DE102014107635B4
Application number: DE102014107635.4A
Authority: DE
Inventors: Kenne Marco; Dr. Christoph Häusler
Original assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Current assignee: Von Ardenne Asset GmbH and Co KG
Priority date: 2014-05-30
Filing date: 2014-05-30
Publication date: 2018-08-23
Anticipated expiration: 2034-05-31
Also published as: DE102014107635A1; CN204939605U

Abstract

Vakuumkammer (100), aufweisend:
• ein Kammergehäuse (102) mit einem Kammerboden (102b) und einer Kammer-Seitenwand (102s), wobei der Kammerboden (102b) einen Transportbereich (111) innerhalb des Kammergehäuses (102) nach unten begrenzt und wobei die Kammer-Seitenwand (102s) den Transportbereich (111) seitlich begrenzt,
• ein Transportsystem (110) zum Transportieren eines Substrats in dem Transportbereich (111);
• mindestens eine Anschlussöffnung (104) in der Kammer-Seitenwand (102s) zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das Kammergehäuse (102), wobei die mindestens eine Anschlussöffnung (104) teilweise unterhalb des Transportbereichs (111) angeordnet ist;
• mindestens eine Aussparung (102a) in dem Kammerboden (102b), wobei die mindestens eine Aussparung (102a) die mindestens eine Anschlussöffnung (104) freilegt.

Description

Die Erfindung betrifft eine Vakuumkammer.
Im Allgemeinen kann eine Vakuumprozessieranlage oder eine Vakuumbeschichtungsanlage dazu genutzt werden, Substrate, wie beispielsweise plattenförmige Substrate, Glasscheiben, Wafer oder andere Träger, zu prozessieren bzw. zu beschichten. Dabei kann eine Vakuumprozessieranlage eine oder mehrere Vakuumkammern (auch bezeichnet als Sektionen (Kompartments) oder Prozesskammern) aufweisen sowie ein Transportsystem zum Transportieren des jeweils zu beschichtenden Substrats durch die Vakuumprozessieranlage bzw. durch die mindestens eine Vakuumkammer hindurch. Zum Einschleusen eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein oder zum Ausschleusen eines Substrats aus der Vakuumprozessieranlage heraus, können beispielsweise eine oder mehrere Schleusenkammern, eine oder mehrere Pufferkammern (z.B. optional) und/oder eine oder mehrere Transferkammern verwendet werden.
In DE 10 2008 026 000 A1 sind ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Beschichtung flächiger Substrate beschrieben, wobei eine Vakuumkammer und eine Beschichtungseinrichtung verwendet werden, wobei im Arbeitsbereich der Beschichtungseinrichtung an mindestens einer Kammerwand der Vakuumkammer eine Saugöffnung bereitgestellt ist und an der Saugöffnung mindestens eine Vakuumpumpe angeordnet ist.
In DE 10 2012 110 284 B3 sind eine Sputter-Beschichtungseinrichtung in Cantilever-Anordnung und eine Vakuumbeschichtungsanlage beschrieben, wobei die Sputter-Beschichtungseinrichtung einen Befestigungsflansch aufweist sowie eine Sauöffnung in dem Befestigungsflansch und wobei eine Kammerwand der Vakuumbeschichtungsanlage einen Pumpenflansch sowie eine Saugöffnung in dem Pumpenflansch aufweist.
Zum Einschleusen mindestens eines Substrats in die Vakuumprozessieranlage hinein kann beispielsweise das mindestens eine Substrat in eine belüftete Schleusenkammer eingebracht werden, anschließend kann die Schleusenkammer mit dem mindestens einen Substrat evakuiert werden, und das Substrat kann schubweise aus der evakuierten Schleusenkammer heraus in eine angrenzende Vakuumkammer (z.B. in die Pufferkammer) der Vakuumprozessieranlage transportiert werden. Mittels der Pufferkammer kann beispielsweise ein Substrat vorgehalten werden und ein Druck kleiner als in der Schleusenkammer bereitgestellt werden. Mittels der Transferkammer können die schubweise eingebrachten Substrate zu einem so genannten Substratband (einer z.B. gleichförmig transportierten kontinuierlichen Folge von Substraten) zusammengeführt werden, so dass zwischen den Substraten nur kleine Lücken verbleiben, während die Substrate in mindestens einer entsprechend eingerichteten Prozesskammer der Vakuumprozessieranlage prozessiert (z.B. beschichtet) werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumkammer bereitgestellt, welche modulartig aufgebaut ist bzw. welche Teil einer modulartig aufgebauten Vakuumprozessieranlage sein kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer ein Kammergehäuse aufweisen, wobei das Kammergehäuse derart eingerichtet ist, dass eine Deckelöffnung des Kammergehäuses mit einem Kammerdeckel abgedeckt werden kann. Anschaulich kann die Vakuumkammer geöffnet werden, indem der Kammerdeckel abgenommen oder aufgeklappt (geöffnet) wird, und geschlossen werden, indem der Kammerdeckel aufgelegt oder zugeklappt (geschlossen) wird.
Das Kammergehäuse kann beispielsweise derart eingerichtet sein, dass dieses als Grundkammer (Rezipient) für verschiedene Vakuumkammern genutzt werden kann, z.B. kann das Kammergehäuse für eine Schleusenkammer genutzt werden, wobei die Schleusenkammer beispielsweise im Hochvakuumbereich (z.B. im Bereich des Prozessvakuums, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-7 mbar, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-5 mbar) betrieben werden kann. Ferner kann das Kammergehäuse für eine Pufferkammer oder Transferkammer genutzt werden. Dabei kann die Funktionsweise oder die Betriebsart der jeweiligen Vakuumkammer aufgrund des mit dem Kammergehäuse verwendeten Kammerdeckels definiert sein. Beispielsweise kann die Grundkammer mit einem Kammerdeckel als Schleusenkammer verwendet werden und mit einem anderen Kammerdeckel als Pufferkammer oder Transferkammer (oder Prozesskammer). Damit das Kammergehäuse universell eingesetzt werden kann, kann das Kammergehäuse mindestens einen Anschlussflansch zum Anschließen einer Vorvakuumpumpe oder einer Vorvakuumpumpen-Anordnung aufweisen. Somit kann in dem mittels des Kammerdeckels abgedichteten Kammergehäuse zumindest ein Vorvakuum erzeugt werden oder bereitgestellt sein. Wenn in dem abgedichteten Kammergehäuse ein Hochvakuum erzeugt werden soll, kann das mittels eines geeigneten Kammerdeckels erfolgen, wobei der Kammerdeckel beispielsweise einen Anschlussflansch zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe oder einer Hochvakuumpumpen-Anordnung aufweisen kann, oder das Kammergehäuse selbst kann einen Anschlussflansch aufweisen zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe oder einer Hochvakuumpumpen-Anordnung, z.B. kann der Anschlussflansch in einer seitlichen Kammerwand des Kammergehäuses bereitgestellt sein oder werden.
Ein Aspekt verschiedener Ausführungsformen kann anschaulich darin gesehen werden, eine Vakuumkammer (bzw. ein Kammergehäuse mit entsprechend zum Kammergehäuse passenden Kammerdeckel) bereitzustellen, welche effizient als Schleusenkammer oder Pufferkammer verwendet werden kann, wobei die Vakuumkammer ein möglichst geringes zu evakuierendes Innenvolumen aufweist und gleichzeitig effizient bis in den Hochvakuumbereich abgepumpt werden kann. Dabei kann sich die Effizienz einer Schleusenkammer beispielsweise auf die Zeitdauer beziehen, die notwendig ist, um die Schleusenkammer von einem ersten Druckbereich auf einen zweiten Druckbereich zu evakuieren, z.B. von normalem Atmosphärendruck bis in den Hochvakuumbereich (bis zu einem vordefinierten Prozessdruck), in Relation mit den dazu aufgewendeten Mitteln, z.B. der Anzahl und der Dimensionierung (Pumpleistung) der Hochvakuumpumpen (z.B. der Turbomolekularpumpen).
Anschaulich wird gemäß verschiedenen Ausführungsformen eine Vakuumkammer bereitgestellt, welche einen effizienten Zugriff einer Hochvakuumpumpe (z.B. Turbomolekularpumpe) in ein im Vergleich zum Durchmesser der Ansaugöffnung der Hochvakuumpumpe schmales Innenvolumen (Transportbereich) der Vakuumkammer ermöglicht. Beispielsweise kann die Saugleistung oder die Effizienz einer Turbomolekularpumpe dadurch reduziert sein oder werden, wenn nicht die gesamte Ansaugöffnung der Turbomolekularpumpe zum zu evakuierenden Volumen frei liegt. Mit anderen Worten kann ein teilweises Abdecken der Ansaugöffnung einer Turbomolekularpumpe dazu führen, dass eine Vakuumkammer langsamer evakuiert wird.
Anschaulich kann es in einem Druckbereich des Vorvakuums (z.B. in einem Bereich von ungefähr 1 bar bis ungefähr 10^-2 mbar) aufgrund des Strömungsverhaltens von Gasen in diesem Druckbereich ausreichen, eine Vakuumkammer mittels einer vergleichsweise kleinen Flanschöffnung, z.B. in einem Bereich von ungefähr 4 cm bis ungefähr 10 cm, abzupumpen. Im Hochvakuumbereich dagegen, kann eine vergleichsweise große Flanschöffnung, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 40 cm, notwendig oder hilfreich sein, um die Vakuumkammer zu evakuieren, da in diesem Druckbereich die mittlere freie Weglänge der Gasteilchen derart groß ist, z.B. in einem Bereich von ungefähr einigen Zentimetern bis ungefähr einigen hundert Metern, dass die Geometrie der Vakuumkammer, die relative Lage und/oder die Größe der entsprechenden Flanschöffnung eine wesentliche Rolle beim Evakuieren der Vakuumkammer spielen kann.
Ein Aspekt verschiedener Ausführungsformen kann anschaulich darin gesehen werden, eine Aussparung oder eine Vertiefung in einem Kammerboden einer Vakuumkammer derart bereitzustellen, dass eine Flanschöffnung in einer seitlichen Kammerwand der Vakuumkammer freigelegt wird. Somit kann ein Transportbereich mit möglichst geringer Höhe bereitgestellt sein oder werden, wobei der Transportbereich mittels der Flanschöffnung in der seitlichen Kammerwand evakuiert werden kann, wobei die Flanschöffnung größer ist als die Höhe des Transportbereichs. Mit anderen Worten kann ermöglicht werden, dass ein flacher Transportbereich, z.B. mit einer Höhe von weniger als ungefähr 10 cm, mittels einer Flanschöffnung in einer seitlichen Kammerwand, z.B. mit einem Durchmesser von mehr als 10 cm, effizient abgepumpt werden kann, da die Flanschöffnung mittels einer Aussparung oder Vertiefung in dem Kammerboden freigelegt sein kann oder werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse (Vakuumkammergehäuse) mit einem Kammerboden und einer Kammer-Seitenwand, wobei der Kammerboden einen Transportbereich innerhalb des Kammergehäuses nach unten begrenzt und wobei die Kammer-Seitenwand den Transportbereich innerhalb des Kammergehäuses seitlich begrenzt, ein Transportsystem zum Transportieren eines Substrats in dem Transportbereich; mindestens eine Anschlussöffnung in der Kammer-Seitenwand zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das Kammergehäuse, wobei die mindestens eine Anschlussöffnung teilweise unterhalb des Kammerbodens eingerichtet ist; mindestens eine Aussparung oder Vertiefung in dem Kammerboden, wobei die mindestens eine Aussparung oder Vertiefung die mindestens eine Anschlussöffnung freilegt. Dabei kann der Kammerboden im Wesentlichen plattenförmig ein (z.B. mit einer Dicke in einem Bereich von ungefähr 1 cm bis 5 cm ungefähr) und sich zwischen zwei gegenüberliegenden Kammer-Seitenwänden der Vakuumkammer erstrecken.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einem Kammerboden und einer Kammer-Seitenwand, wobei der Kammerboden einen Transportbereich innerhalb des Kammergehäuses nach unten begrenzt und wobei die Kammer-Seitenwand den Transportbereich innerhalb des Kammergehäuses seitlich begrenzt, ein Transportsystem zum Transportieren eines Substrats in dem Transportbereich; mindestens eine Anschlussöffnung in der Kammer-Seitenwand zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das Kammergehäuse, wobei die mindestens eine Anschlussöffnung teilweise unterhalb des Transportbereichs eingerichtet ist; mindestens eine Aussparung oder Vertiefung in dem Kammerboden, wobei die mindestens eine Aussparung oder Vertiefung die mindestens eine Anschlussöffnung freilegt. Dabei kann eine zum Transportbereich (zum Inneren der Vakuumkammer oder des Kammergehäuses hin) freiliegende Oberfläche des Kammerbodens eine Bodenebene definieren, wobei die mindestens eine Anschlussöffnung in der Kammer-Seitenwand teilweise unterhalb der Bodenebene eingerichtet ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Aussparung und/oder Vertiefung nur am Rand des Kammerbodens nahe der Kammer-Seitenwand eingerichtet sein, so dass das Volumen des Transportbereichs möglichst gering ist.
Ferner kann das Kammergehäuse eine Deckelöffnung in einer Oberseite des Kammergehäuses aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer ferner einen Kammerdeckel zum Abdecken der Deckelöffnung aufweisen, wobei der Kammerdeckel derart eingerichtet ist, dass die Deckelöffnung, in einem Geschlossen-Zustand, mittels des Kammerdeckels vakuumdicht abgedichtet ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann im Geschlossen-Zustand die Vakuumkammer vakuumdicht abgedichtet sein, bzw. kann die Deckelöffnung der Vakuumkammer mittels des Kammerdeckels vakuumdicht abgedichtet sein. Ferner kann im Geschlossen-Zustand das Kammergehäuse vakuumdicht abgedichtet sein, bzw. kann die Deckelöffnung des Kammergehäuses mittels des Kammerdeckels vakuumdicht abgedichtet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel derart eingerichtet sein, dass der Kammerdeckel in dem Geschlossen-Zustand den Transportbereich begrenzt, z.B. nach oben begrenzt.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Transportsystem eine Vielzahl von Transportrollen aufweisen, welche eine Transportebene im Wesentlichen parallel zum Kammerboden bereitstellt. Mit anderen Worten kann das Transportsystem eine Vielzahl von Transportrollen aufweisen, wobei die Transportrollen der Vielzahl von Transportrollen eine Transportebene bereitstellen, wobei die Transportebene im Wesentlichen parallel zum Kammerboden ausgerichtet ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Transportbereich eine Höhe von weniger als 10 cm aufweisen. Mit anderen Worten kann der Transportbereich eine Höhe senkrecht zur Transportebene von weniger als 10 cm aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Anschlussöffnung ein kreisrundes Durchgangsloch in der seitlichen Kammerwand der Vakuumkammer sein. Ferner kann die Anschlussöffnung ein Teil einer Flanschstruktur sein oder als Flansch-Öffnung bereitgestellt sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Anschlussöffnung einen Durchmesser von mehr als 10 cm aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer ferner mindestens einen Füllkörper innerhalb des Transportbereichs aufweisen zum Reduzieren des zu evakuierenden Innenvolumens der Vakuumkammer.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Deckelöffnung; einen Kammerdeckel zum Abdecken der Deckelöffnung derart, dass die Deckelöffnung beim Schließen des Kammerdeckels abgedichtet wird, wobei ein Kammerboden des Kammergehäuses derart eingerichtet ist, dass zwischen dem Kammerboden und dem geschlossenen Kammerdeckel ein Substrat durch die Vakuumkammer hindurch transportiert werden kann; mindestens eine Anschlussöffnung in einer Kammer-Seitenwand des Kammergehäuses zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das Kammergehäuse, wobei die mindestens eine Anschlussöffnung teilweise unterhalb des Kammerbodens angeordnet ist; mindestens eine Aussparung oder Vertiefung in dem Kammerboden zum Freilegen der mindestens einen Anschlussöffnung. Dabei kann der Kammerboden im Wesentlichen plattenförmig ein (z.B. mit einer Dicke in einem Bereich von ungefähr 1 cm bis 5 cm ungefähr) und sich zwischen zwei gegenüberliegenden Kammer-Seitenwänden der Vakuumkammer erstrecken.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer Folgendes aufweisen: ein Kammergehäuse mit einer Deckelöffnung; einen Kammerdeckel zum Abdecken der Deckelöffnung derart, dass die Deckelöffnung beim Schließen des Kammerdeckels abgedichtet wird, wobei ein Kammerboden des Kammergehäuses derart eingerichtet ist, dass zwischen dem Kammerboden und dem geschlossenen Kammerdeckel ein Substrat in einem Transportbereich durch die Vakuumkammer hindurch transportiert werden kann; mindestens eine Anschlussöffnung in einer Kammer-Seitenwand des Kammergehäuses zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das Kammergehäuse, wobei die mindestens eine Anschlussöffnung teilweise unterhalb des Transportbereichs eingerichtet ist; mindestens eine Aussparung oder Vertiefung in dem Kammerboden zum Freilegen der mindestens einen Anschlussöffnung. Dabei kann eine zum Transportbereich (zum Inneren der Vakuumkammer oder des Kammergehäuses hin) freiliegende Oberfläche des Kammerbodens eine Bodenebene definieren, wobei die mindestens eine Anschlussöffnung in der Kammer-Seitenwand teilweise unterhalb der Bodenebene eingerichtet ist.
Ferner kann bei geschlossenem Kammerdeckel ein Transportspalt zwischen dem Kammerboden und dem Kammerdeckel bereitgestellt sein, wobei ein Durchmesser der Anschlussöffnung größer ist als eine Spalthöhe des Transportspalts.
Ausführungsbeispiele der Erfindung sind in den Figuren dargestellt und werden im Folgenden näher erläutert.
Es zeigen

1 eine Vakuumkammer in einer schematischen Querschnittsansicht quer zur Transportrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
2 eine Detailansicht eines Bereichs einer Vakuumkammer in einer schematischen Querschnittsansicht quer zur Transportrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
3A eine Vakuumkammer mit einem Kammergehäuse und einem Kammerdeckel in geöffnetem Zustand in einer schematischen Querschnittsansicht quer zur Transportrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
3B eine Vakuumkammer mit einem Kammergehäuse und einem Kammerdeckel in geschlossenen Zustand in einer schematischen Querschnittsansicht quer zur Transportrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
4 eine Detailansicht eines Bereichs einer Vakuumkammer in einer schematischen perspektivischen Ansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen;
5A eine Vakuumkammer mit einem Kammergehäuse und einem Kammerdeckel in geöffnetem Zustand in einer schematischen Querschnittsansicht entlang der Transportrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen; und
5B eine Vakuumkammer mit einem Kammergehäuse und einem Kammerdeckel in geschlossenen Zustand in einer schematischen Querschnittsansicht entlang der Transportrichtung, gemäß verschiedenen Ausführungsformen.

In der folgenden ausführlichen Beschreibung wird auf die beigefügten Zeichnungen Bezug genommen, die Teil dieser bilden und in denen zur Veranschaulichung spezifische Ausführungsformen gezeigt sind, in denen die Erfindung ausgeübt werden kann. In dieser Hinsicht wird Richtungsterminologie wie etwa „oben“, „unten“, „vorne“, „hinten“, „vorderes“, „hinteres“, usw. mit Bezug auf die Orientierung der beschriebenen Figur(en) verwendet. Da Komponenten von Ausführungsformen in einer Anzahl verschiedener Orientierungen positioniert werden können, dient die Richtungsterminologie zur Veranschaulichung und ist auf keinerlei Weise einschränkend. Es versteht sich, dass andere Ausführungsformen benutzt und strukturelle oder logische Änderungen vorgenommen werden können, ohne von dem Schutzumfang der vorliegenden Erfindung abzuweichen. Es versteht sich, dass die Merkmale der hierin beschriebenen verschiedenen beispielhaften Ausführungsformen miteinander kombiniert werden können, sofern nicht spezifisch anders angegeben. Die folgende ausführliche Beschreibung ist deshalb nicht in einschränkendem Sinne aufzufassen, und der Schutzumfang der vorliegenden Erfindung wird durch die angefügten Ansprüche definiert.
Im Rahmen dieser Beschreibung werden die Begriffe „verbunden“, „angeschlossen“ sowie „gekoppelt“ verwendet zum Beschreiben sowohl einer direkten als auch einer indirekten Verbindung, eines direkten oder indirekten Anschlusses sowie einer direkten oder indirekten Kopplung. In den Figuren werden identische oder ähnliche Elemente mit identischen Bezugszeichen versehen, soweit dies zweckmäßig ist.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann eine Vakuumkammer dadurch bereitgestellt sein oder werden, dass ein Kammergehäuse mit einer Deckelöffnung mittels eines entsprechend passenden Kammerdeckels abgedichtet (verschlossen) wird. Der Kammerdeckel kann beispielsweise auf das Kammergehäuse aufgelegt sein oder werden und somit das Kammergehäuse vakuumdicht abschließen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel nicht fest mit dem Kammergehäuse verbunden sein und somit beispielsweise nach oben abgehoben werden. Alternativ kann der Kammerdeckel mittels eines Lagers schwenkbar an dem Kammergehäuse montiert sein und somit beispielsweise aufgeklappt werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse seitlich (in einer Seitenwand des Kammergehäuses) angeordnete Flansche zum Anschließen einer Vorvakuumpumpenanordnung und/oder einer Hochvakuumpumpenanordnung aufweisen. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Kammergehäuse in einer Seitenwand des Kammergehäuses mindestens einen Flansch aufweisen zum Anschließen einer Hochvakuumpumpenanordnung, z.B. zum Anschließen mindestens einer Turbomolekularpumpe. Ferner kann mindestens ein Flansch zum Anschließen einer Hochvakuumpumpenanordnung in dem Kammerdeckel eingerichtet sein, z.B. zum Anschließen mindestens einer Turbomolekularpumpe.
Alternativ kann eine Vakuumkammer ein geschlossenes Kammergehäuse (ohne eine Deckelöffnung) aufweisen. Anschaulich kann der Kammerdeckel mit dem Kammergehäuse fest verbunden sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die hierin beschriebene Vakuumkammer eine Schleusenkammer, eine Pufferkammer oder eine Transferkammer für eine Vakuumprozessieranlage sein. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Schleusenkammer für eine horizontale Vakuumbeschichtungsanlage bereitgestellt. Dabei ist die Schleusenkammer derart konzipiert, dass beispielsweise das Kammergehäuse der Schleusenkammer im Wesentlichen baugleich zu weiteren Kammergehäusen der horizontalen Vakuumbeschichtungsanlage ist, so dass ein einheitliches im Wesentlichen modulares Konzept für die Verwendung des Kammergehäuses bereitgestellt ist. Eine horizontale Vakuumbeschichtungsanlage kann beispielsweise verwendet werden, um Architekturglas zu beschichten, Architekturglas herzustellen oder um Photovoltaikmodule herzustellen.
Eine horizontale Vakuumbeschichtungsanlage kann beispielsweise als 3-Kammer-Anlage (mit drei verschiedenen Vakuumbereichen, z.B. Schleusendruckbereich in der Eingangsschleuse, Prozessdruckbereich in den Prozesskammern und Schleusendruckbereich in der Ausgangsschleuse) oder als 5-Kammer-Anlage (mit fünf verschiedenen Vakuumbereichen, z.B. Schleusendruckbereich in der Eingangsschleuse, Pufferkammerdruckbereich in der Pufferkammer an der Eingangsschleuse, Prozessdruckbereich in den Prozesskammern, Pufferkammerdruckbereich in der Pufferkammer an der Ausgangsschleuse und Schleusendruckbereich in der Ausgangsschleuse) bereitgestellt sein oder werden.
1 veranschaulicht eine Vakuumkammer 100 in einer schematischen Querschnittsansicht, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Die Vakuumkammer 100 kann beispielsweise ein Kammergehäuse 102 aufweisen, wobei das Kammergehäuse 102 einen Kammerboden 102b, mehrere Kammer-Seitenwände 102s und eine Kammerdeckenwand (oder alternativ zur Kammerdeckenwand einen Kammerdeckel) aufweist.
Wie in 1 veranschaulicht ist, können der Kammerboden 102b und die Kammer-Seitenwände 102s beispielsweise einen Transportbereich 111 innerhalb des Kammergehäuses 102 nach unten (parallel zur Richtung 105) und zur Seite hin (seitlich parallel zur Richtung 103) begrenzen. Mit anderen Worten kann der (flächige oder ebene) Kammerboden 102b im Wesentlichen senkrecht zur Richtung 105 angeordnet sein. Ferner können die (flächigen oder ebenen) Kammer-Seitenwände 102s im Wesentlichen senkrecht zur Richtung 103 angeordnet sein. Anschaulich können die Richtungen 103, 105 eine Ebene senkrecht zur Transportrichtung definieren.
Die Kammerwände 102b, 102s der Vakuumkammer 100 können im Wesentlichen plattenförmig ausgebildet sein (oder eine andere geeignete Form aufweisen) und beispielsweise Stahl aufweisen. Dabei wird der Transportbereich 111, in welchem ein Substrat durch die Vakuumkammer 100 entlang der Transportrichtung transportiert werden kann, von den jeweils nach innen freiliegenden Oberflächen der Kammerwände 102b, 102s definiert oder begrenzt.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Transportsystem 110 zum Transportieren eines Substrats in dem Transportbereich 111 innerhalb des Transportbereichs 111 eingerichtet sein, z.B. kann ein Transportrollensystem auf dem oder über dem Kammerboden 102b bereitgestellt sein oder werden. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Transportrollensystem mehrere Transportrollen 110 aufweisen, welche jeweils um eine Rotationsachse 110r drehbar in der Vakuumkammer 100 (bzw. im Transportbereich 111 der Vakuumkammer 100) gelagert sind, wobei die mehreren Transportrollen 110 eine Transportebene definieren können, in welcher das Substrat durch die Vakuumkammer 100 (bzw. durch den Transportbereich 111 der Vakuumkammer 100) hindurch transportiert werden kann.
Wie in 1 veranschaulicht ist, kann jeweils die Transportrolle 110 derart in der Vakuumkammer 100 bzw. in dem Kammergehäuse 102 angeordnet sein, dass sich die Rotationsachse 110r der Transportrolle 110 im Wesentlichen parallel zum Kammerboden 102b erstreckt. Somit kann der Kammerboden 102b beispielsweise den Transportbereich unterhalb der Transportrollen begrenzen. Dabei kann ein Aspekt sein, den Transportbereich 111 in der Vakuumkammer 100 bzw. in dem Kammergehäuse 102 möglichst nicht größer als zum Substrattransport notwendig bereitzustellen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerboden 102b im Wesentlichen plattenförmig eingerichtet sein (z.B. mit einer Dicke in einem Bereich von ungefähr 1 cm bis ungefähr 5 cm) und sich im Wesentlichen zwischen den zwei gegenüberliegenden Kammer-Seitenwänden 102s der Vakuumkammer 100 (bzw. des Kammergehäuses 102) erstrecken.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mindestens eine Anschlussöffnung 104 in der Kammer-Seitenwand 102s (in einer der Kammer-Seitenwände 102s oder in beiden gegenüberliegenden Kammer-Seitenwänden 102s) zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das Kammergehäuse 102 bereitgestellt sein oder werden, wobei die mindestens eine Anschlussöffnung 104 teilweise unterhalb des Kammerbodens 102b eingerichtet ist (vgl. beispielsweise 4).
Alternativ kann der Kammerboden 102b beliebig eingerichtet sein, wobei in diesem Fall anschaulich zumindest die zum Transportbereich 111 hin freiliegende Oberfläche des Kammerbodens 102b als Kammerboden verstanden werden kann. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zum Transportbereich 111 hin freiliegende Oberfläche des Kammerbodens 102b den Transportbereich 111 nach unten begrenzen (bzw. den Transportbereich 111 definieren). Dabei kann die Bodenebene (die zum Transportbereich 111 hin freiliegende Oberfläche des Kammerbodens 102b, welche den Transportbereich 111 definiert) im Wesentlichen parallel zur Transportebene eingerichtet sein. Ferner kann die Bodenebene senkrecht zur Kammer-Seitenwand 102s bzw. senkrecht zu beiden gegenüberliegenden Kammer-Seitenwänden 102s eingerichtet sein.
Anschaulich kann der Kammerboden 102b bzw. die Bodenebene mittels einer beliebig geeigneten Bodenstruktur der Vakuumkammer 100 bereitgestellt sein oder werden. Ferner kann der Kammerboden 102b Teil einer beliebig geeigneten Bodenstruktur sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die mindestens eine Anschlussöffnung 104 in der Kammer-Seitenwand 102s des Kammergehäuses 102 teilweise unterhalb des Transportbereichs 111 eingerichtet sein. Mit anderen Worten kann die mindestens eine Anschlussöffnung 104 in der Kammer-Seitenwand 102s des Kammergehäuses 102 teilweise unterhalb der Bodenebene (der zum Transportbereich 111 hin freiliegenden Oberfläche des Kammerbodens 102b) eingerichtet sein (vgl. beispielsweise 2).
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann mindestens eine Aussparung 102a oder Vertiefung 102a in dem Kammerboden 102b bereitgestellt sein zum Freilegen der mindestens einen Anschlussöffnung 104. Mit anderen Worten kann mindestens eine Aussparung 102a oder Vertiefung 102a in dem Kammerboden 102b derart bereitgestellt sein, dass die mindestens eine Anschlussöffnung 104 zum Transportbereich hin freiliegt. Anschaulich kann der Kammerboden einstückig sein und an den Randbereichen zur Kammer-Seitenwand 102s hin eine Aussparung 102a und/oder Vertiefung 102a aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können die zwei gegenüberliegenden Kammer-Seitenwände 102s einen Seitenwand-Abstand voneinander von mehreren Metern aufweisen. Ferner kann der Seitenwand-Abstand der Kammer-Seitenwände 102s die Breite des Kammergehäuses 102 definieren. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die räumliche Ausdehnung der Aussparung 102a und/oder der Vertiefung 102a entlang der Breite des Kammergehäuses 102 (entlang Richtung 103) kleiner sein als die Hälfte der Breite des Kammergehäuses 102 bzw. kleiner sein als die Hälfte des Seitenwand-Abstands. Anschaulich kann sich die Aussparung 102a und/oder die Vertiefung 102a nicht von einer Kammer-Seitenwand 102s bis zur gegenüberliegenden Kammer-Seitenwand 102s entlang der Breite des Kammergehäuses 102 (oder der Vakuumkammer 100) erstrecken.
2 veranschaulicht eine Vakuumkammer 100, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, im Bereich der Anschlussöffnung 104.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerboden 102b mindestens eine Aussparung 102a oder mindestens eine Vertiefung 102a aufweisen, wobei die mindestens eine Aussparung 102a oder die mindestens eine Vertiefung 102a die mindestens eine Anschlussöffnung 104 freilegt. Anschaulich kann der Kammerboden 102b an dessen Seitenrand nahe der Kammer-Seitenwand 102s derart eingerichtet sein, dass der Kammerboden 102b nicht die Anschlussöffnung 104 verdeckt, so dass beispielsweise eine Hochvakuumpumpe an die Anschlussöffnung 104 gekoppelt werden kann, und der Transportbereich 111 effizient evakuiert werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die zum Transportbereich 111 hin freiliegende Oberfläche 202b des Kammerbodens 102b eine Bodenebene 202e definieren, in welcher sich die zum Transportbereich 111 hin freiliegende Oberfläche 202b des Kammerbodens 102b im Wesentlichen (zum Großteil) erstreckt. Die Bodenebene 202e kann dabei den Transportbereich 111 teilweise definieren. Ferner kann die Bodenebene 202e im Wesentlichen parallel zur Transportebene verlaufen, so dass ein Transportbereich 111 mit einer möglichst geringen Höhe 111d bereitgestellt wird, unter der Maßgabe, dass ein Substrat mittels des Transportsystems durch den Transportbereich 111 hindurch transportiert werden kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Bereich 102a unterhalb der Bodenebene 202e bereitgestellt sein, welcher den unterhalb Bodenebene 202e liegenden Teil der Anschlussöffnung 104 zugänglich macht.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Transportbereich 111 eine Höhe (entlang der Richtung 105) in einem Bereich von ungefähr 5 cm bis ungefähr 10 cm aufweisen. Beispielsweise können die in dem Transportbereich 111 bereitgestellten Transportrollen 110 einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 3 cm bis ungefähr 7 cm aufweisen. Ferner kann die Anschlussöffnung 104 einen Durchmesser 212d von mehr als 10 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 15 cm bis ungefähr 30 cm.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Transportbereich 111 eine Höhe (entlang der Richtung 105) in einem Bereich von ungefähr 5 cm bis ungefähr 15 cm aufweisen. Beispielsweise können die in dem Transportbereich 111 bereitgestellten Transportrollen 110 einen Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 5 cm bis ungefähr 10 cm aufweisen. Ferner kann die Anschlussöffnung 104 einen Durchmesser 212d von mehr als 15 cm aufweisen, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 40 cm.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen wird eine Vakuumkammer 100 bereitgestellt, wobei eine an die Anschlussöffnung 104 gekuppelte Hochvakuumpumpe 212 aufgrund einer Aussparung 102a in dem Kammerboden 102b besser in das Innere (z.B. in den zu evakuierenden Transportbereich 111) der Vakuumkammer 100 zugreifen kann.
Beispielsweise kann die an die mindestens eine Anschlussöffnung 104 gekuppelte Hochvakuumpumpe 212 eine Turbomolekularpumpe sein, wobei der Durchmesser 212d der Anschlussöffnung 104 im Wesentlichen dem Durchmesser der Ansaugöffnung der Turbomolekularpumpe entspricht. Anschaulich kann die Anschlussöffnung 104 als ein Anschlussflansch für eine Hochvakuumpumpe 212 eingerichtet sein.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann ein Aspekt darin gesehen werden, mittels einer Hochvakuumpumpe 212 einen Transportbereich 111 (Transportspalt) möglichst effizient zu evakuieren, z.B. möglichst schnell, wobei die Ansaugöffnung der Hochvakuumpumpe 212 größer ist als die Höhe 111d (Spalthöhe) des Transportbereichs 111. Dazu kann der Kammerboden 102b entsprechend modifiziert sein oder werden.
Im Folgenden werden verschiedene Modifikationen und Konfigurationen der Vakuumkammer 100 und Details zu der Anschlussöffnung 104 und dem Kammerboden 102b beschrieben, wobei sich die bezüglich der 1A und 1B beschriebenen grundlegenden Merkmale und Funktionsweisen analog einbeziehen lassen. Ferner können die nachfolgend beschriebenen Merkmale und Funktionsweisen analog auf die in den 1 und 2 beschriebene Vakuumkammer 100 übertragen werden oder mit der in den 1 und 2 beschriebenen Vakuumkammer 100 kombiniert werden.
3A veranschaulicht eine Vakuumkammer 100 in einer schematischen Querschnittsansicht, analog zum vorangehend Beschriebenen, wobei das Kammergehäuse 102 ferner eine Deckelöffnung 103 in einer Oberseite des Kammergehäuses 103 aufweisen kann. Ferner kann ein Kammerdeckel 304 passend zu dem Kammergehäuse 102 und passend zu der Deckelöffnung 103 des Kammergehäuses 102 eingerichtet sein. Beispielsweise kann der Kammerdeckel 304 einen Dichtbereich 304d oder eine Dichtfläche 304d aufweisen, welche passend zu einem Dichtbereich 102d oder einer Dichtfläche 102d des Kammergehäuses 102 eingerichtet ist, so dass der Kammerdeckel 304 das Kammergehäuse 102 vakuumdicht oder gasdicht verschließen kann.
Ferner kann der Kammerdeckel 304 derart eingerichtet sein, dass dieser sich bei geschlossenem Kammerdeckel 304 durch die Deckelöffnung 103 hindurch teilweise in das Kammergehäuse 102 hinein erstreckt, z.B. kann der Kammerdeckel 304 eine Vertiefung 306 oder einen Abschnitt 306 aufweisen, welche/welcher sich bei geschlossenem Kammerdeckel 304 durch die Deckelöffnung 103 hindurch in das Kammergehäuse 102 hinein erstreckt. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Kammerdeckel 304 einen Füllkörper 306 an einer Innenseite des Kammerdeckels aufweisen, welcher bei geschlossenem Kammerdeckel 304 den Transportbereich 111 begrenzt und somit das zu evakuierende Volumen in der Vakuumkammer 100 reduziert. Anschaulich kann der Kammerdeckel 304 derart eingerichtet sein, dass dieser in geschlossenem Zustand den Transportbereich 111 nach oben begrenzt und somit das zu evakuierende Volumen 111 in der Vakuumkammer 100 reduziert.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann der Dichtbereich 304d oder die Dichtfläche 304d des Kammerdeckels 304 eine Vakuumdichtung aufweisen (z.B. umlaufen entlang des Dichtbereichs 304d oder der Dichtfläche 304d). Ferner kann der Dichtbereich 102d oder die Dichtfläche 102d des Kammergehäuses 102 eine Vakuumdichtung aufweisen (z.B. umlaufen entlang des Dichtbereichs 102d oder der Dichtfläche 102d). Die Vakuumdichtung kann beispielsweise eine Lippendichtung oder eine andere flexible Dichtstruktur aufweisen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 100 (das Kammergehäuse 102 und der Kammerdeckel 304) eine Breite entlang der Richtung 103 aufweisen in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 5 m. Ferner kann die Vakuumkammer 100 eine Höhe entlang der Richtung 105 aufweisen in einem Bereich von ungefähr 0,3 m bis ungefähr 2 m, z.B. in einem Bereich von ungefähr 0,5 m bis ungefähr 1 m. Ferner kann die Vakuumkammer 100 eine Länge (quer zu den Richtungen 103, 105) aufweisen in einem Bereich von ungefähr 1 m bis ungefähr 5 m (entlang der Richtung 101, vgl. Fig.5A und 5B). Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Aussparung 102a und/oder Vertiefung 102a in dem Kammerboden 102b eine Breite entlang der Richtung 103 aufweisen in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 2 m, z.B. in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 1 m, z.B. in einem Bereich von ungefähr 20 cm bis ungefähr 80 cm.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in der Vakuumkammer 100 bzw. in dem Kammergehäuse 102 ein Transportsystem bereitgestellt sein zum Transportieren eines Substrats 120 innerhalb der Vakuumkammer 100, zum Transportieren eines Substrats 120 durch die Vakuumkammer 100 hindurch, zum Transportieren eines Substrats 120 in die Vakuumkammer 100 hinein und/oder zum Transportieren eines Substrats 120 aus der Vakuumkammer 100 heraus. Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann das Transportsystem derart bereitgestellt sein, z.B. mittels einer Vielzahl von Transportrollen, dass ein Substrat 120 entlang einer Transportrichtung (quer zu den Richtungen 103, 105) transportiert werden kann. Das Transportsystem kann eine Transportebene bereitstellen, in welcher das Substrat 120 oder das Substratband 120 transportiert wird. Bei geöffnetem Kammerdeckel 304 oder bei geöffneter Vakuumkammer 100 kann das Transportsystem und/oder das Substrat 120 von der Deckelöffnung 103 aus zugänglich sein.
3B veranschaulicht die in 3A in geöffnetem Zustand dargestellte Vakuumkammer 100 im geschlossenen Zustand, gemäß verschiedenen Ausführungsformen. Dabei kann der Kammerdeckel 304 lose auf das Kammergehäuse 102 aufgelegt sein oder auch mittels einer zusätzlichen Befestigungsstruktur an dem Kammergehäuse 102 fixiert sein oder werden. Beim Schließen des Kammerdeckels 304 werden die entsprechenden Dichtflächen des Kammerdeckels 304 und des Kammergehäuses 102 aneinander gebracht, so dass eine vakuumdichte Vakuumkammer 100 bereitgestellt sein kann oder werden kann.
4 veranschaulicht eine Vakuumkammer 100, gemäß verschiedenen Ausführungsformen, in einer perspektivischen Ansicht, wobei der Kammerdeckel 304 auf das Kammergehäuse 102 aufgelegt ist, wie vorangehend beschrieben. Zwischen dem Kammerdeckel 304 und dem Kammerboden 102b des Kammergehäuses kann der Transportbereich bereitgestellt sein. In dem Transportbereich können die Transportrollen 110 mittels einer Halterung 410 gehalten werden, z.B. drehbar gelagert sein.
Ferner kann ein Antrieb für zumindest einen Teil der Transportrollen 110 bereitgestellt sein oder werden.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen können in dem Transportbereich Bereiche zwischen den Transportrollen 110 mittels zusätzlicher Füllkörper 414 gefüllt sein, so dass das zu evakuierende Volumen in dem Transportbereich reduziert ist. Es versteht sich, dass die Füllkörper 414 den Substrattransport in der mittels der Transportrollen 110 (auf den Transportrollen 110) bereitgestellten Transportebene nicht behindern.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann in dem Kammerboden 102b eine Aussparung bereitgestellt sein, so dass eine Vertiefung 102a ausgehend von dem Kammerboden 102b derart eingerichtet sein kann, dass die Anschlussöffnung 104 freiliegt und dass eine an die Anschlussöffnung 104 gekoppelte Hochvakuumpumpe in den Transportbereich 111 eingreifen kann.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 100 zusätzliche Anschlussflansche aufweisen, z.B. einen Anschlussflansch 422 in der Kammer-Seitenwand 102s zum Anschließen einer Vorvakuumpumpen-Anordnung an die Vakuumkammer 100.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 100 weitere Anschlussflansche oder Vakuumdrehdurchführungen aufweisen, z.B. einen Anschlussflansch zum Anschließen einer Sensor-Anordnung an die Vakuumkammer 100 oder zum Antreiben der Transportrollen 110.
Es versteht sich, dass die Aussparung 102a und/oder die Vertiefung 102a in und/oder an dem Kammerboden 102b derart bereitgestellt sind/ist, dass der Transportbereich vakuumdicht abgedichtet sein kann oder werden kann. Anschaulich können beispielsweise mehrere Plattenelemente an die Aussparung in dem Kammerboden 102b angeschweißt sein oder werden, so dass eine Vertiefung 102a in dem Kammerboden 102b bereitgestellt ist oder wird.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 100 derart eingerichtet sein, dass diese mit den Kammer-Seitenwänden 102s auf dem Boden steht. Somit kann in der Bodenplatte 102b eine Vertiefung 102a bereitgestellt sein.
Fig.5A und 5B veranschaulichen eine Vakuumkammer 100 in geöffnetem Zustand und in geschlossenem Zustand in einer schematischen Querschnittsansicht entlang der Transportrichtung 101, gemäß verschiedenen Ausführungsformen.
Gemäß verschiedenen Ausführungsformen kann die Vakuumkammer 100 zwei an jeweils weiteren gegenüberliegenden Seitenwänden 502s der Vakuumkammer 100 angeordnete Substrat-Transfer-Öffnungen 502 aufweisen, so dass ein Substrat 120 in die Vakuumkammer 100 hinein und aus der Vakuumkammer 100 heraus transportiert werden kann. Mit anderen Worten kann das Kammergehäuse 102 zwei an weiteren gegenüberliegenden Seitenwänden 502s des Kammergehäuses 102 angeordnete Substrat-Transfer-Öffnungen 502 aufweisen, so dass ein Substrat 120 in das Kammergehäuse 102 hinein und aus dem Kammergehäuse 102 heraus transportiert werden kann. Anschaulich können somit mehrere der Vakuumkammern 100 in einer Reihe zu einer Durchlauf-Prozessieranlage (z.B. einer Durchlauf-Beschichtungsanlage oder so genannten In-Line-Beschichtungsanlage) angeordnet sein oder werden, wobei die Vakuumkammern 100 zu einem gemeinsamen Vakuumsystem (zu einer 3-Kammer-Anlage mit drei Vakuumbereichen oder zu einer 5-Kammer-Anlage mit fünf Vakuumbereichen) gekoppelt sein können. Mit anderen Worten können mehrere der Kammergehäuse 102 in einer Reihe zu einer Durchlauf-Prozessieranlage angeordnet sein oder werden, wobei die Kammergehäuse 102 zu einem gemeinsamen Vakuumsystem (zu einer 3-Kammer-Anlage oder einer 5-Kammer-Anlage) gekoppelt sein können oder werden können.
Die in Fig.5A und 5B dargestellten Seitenwände 502s des Kammergehäuses 102 können den Transportbereich 111 entlang der Transportrichtung 101 begrenzen. Wie in 5B veranschaulicht ist, können der Kammerdeckel 304 und der Kammerboden 102b den Transportbereich 111 nach oben und unten begrenzen.
Das Kammergehäuse 102 kann beispielsweise mindestens einen Anschlussflansch aufweisen zum Anschließen einer Vorvakuumpumpe oder Vorvakuumpumpen-Anordnung an das Kammergehäuse 102 (nicht dargestellt). Eine Vorvakuumpumpen-Anordnung kann beispielsweise mindestens eine Schraubenpumpe und/oder mindestens eine Rootspumpe (oder eine andere Vorvakuumpumpe) aufweisen. Anschaulich kann zum Evakuieren der Vakuumkammer 100 bis in den Vorvakuumbereich (z.B. in einem Bereich von ungefähr 100 mbar bis ungefähr 10^-2 mbar) der entsprechende Anschlussflansch in mindestens einer der Kammer-Seitenwände 102s des Kammergehäuses 102, welche sich entlang der Transportrichtung 101 erstrecken, angeordnet sein (als Durchgangsöffnung). Beispielsweise kann die Seitenwand 102s eine Kammerwand 102s in der Ebene 101, 105 sein, wie in Fig.5A und 5B veranschaulicht ist. Somit kann in der Vakuumkammer 100 (in dem mittels des Kammerdeckels 304 abgedichteten Kammergehäuse 102) ein Druck in einem Bereich des Vorvakuums bereitgestellt sein oder werden.
Ferner kann die Vakuumkammer 100 mittels jeweils einer an die Anschlussöffnungen 104 angekoppelten Hochvakuumpumpe bis zu einem Druck im Hochvakuumbereich (z.B. in einem Bereich von ungefähr 10^-3 mbar bis ungefähr 10^-7 mbar) evakuiert werden, z.B. mittels einer oder mehrerer Turbomolekularpumpen. Eine Turbomolekularpumpe kann beispielsweise eine Fläche ausreichender Größe (z.B. einen Flansch mit einem Durchmesser von mehr als 10 cm, z.B. mit einem Durchmesser in einem Bereich von ungefähr 10 cm bis ungefähr 40 cm) benötigen, welche zum Inneren der Vakuumkammer 100 hin freiliegt. Anschaulich sollte die Turbomolekularpumpe effizient in die Vakuumkammer 100 zugreifen können, indem die gesamte Ansaugöffnung der Turbomolekularpumpe frei liegt, da die Gas-Teilchenbewegung in dem Druckbereich des Hochvakuums mit einer großen mittleren freien Weglänge erfolgt. Wie vorangehend beschrieben kann jeweils eine Turbomolekularpumpe (oder andere Hochvakuumpumpe oder Hochvakuumpumpen-Anordnung) an jeweils eine der Anschlussöffnungen 104 angeschlossen sein.
Anschaulich kann eine Turbomolekularpumpe (oder andere Hochvakuumpumpe oder Hochvakuumpumpen-Anordnung) einen Wirkbereich aufweisen, aus welchem die Turbomolekularpumpe Gasteilchen mit hoher Effizienz entfernen kann, wobei die Vakuumkammer 100 derart eingerichtet sein kann, dass der Wirkbereich der Turbomolekularpumpe entsprechend an den Transportbereich in der Vakuumkammer 100 ankoppeln kann.
Anschaulich kann der Kammerboden eine Trennung zwischen einem Vakuum in dem Transportbereich und der Umgebung der Prozesskammer bereitstellen.

Claims

Vakuumkammer (100), aufweisend: • ein Kammergehäuse (102) mit einem Kammerboden (102b) und einer Kammer-Seitenwand (102s), wobei der Kammerboden (102b) einen Transportbereich (111) innerhalb des Kammergehäuses (102) nach unten begrenzt und wobei die Kammer-Seitenwand (102s) den Transportbereich (111) seitlich begrenzt, • ein Transportsystem (110) zum Transportieren eines Substrats in dem Transportbereich (111); • mindestens eine Anschlussöffnung (104) in der Kammer-Seitenwand (102s) zum Anschließen einer Hochvakuumpumpe an das Kammergehäuse (102), wobei die mindestens eine Anschlussöffnung (104) teilweise unterhalb des Transportbereichs (111) angeordnet ist; • mindestens eine Aussparung (102a) in dem Kammerboden (102b), wobei die mindestens eine Aussparung (102a) die mindestens eine Anschlussöffnung (104) freilegt.
Vakuumkammer gemäß Anspruch 1, wobei das Kammergehäuse (102) eine Deckelöffnung (103) in einer Oberseite des Kammergehäuses (102) aufweist und wobei die Vakuumkammer ferner einen Kammerdeckel (304) aufweist zum Abdecken der Deckelöffnung (103) derart, dass dieser in einem Geschlossen-Zustand die Deckelöffnung (103) vakuumdicht abdichtet.
Vakuumkammer gemäß Anspruch 2, wobei der Kammerdeckel (304) derart eingerichtet ist, dass dieser in dem Geschlossen-Zustand den Transportbereich (111) nach oben begrenzt.
Vakuumkammer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 3, wobei das Transportsystem (110) eine Vielzahl von Transportrollen aufweist, welche eine Transportebene parallel zum Kammerboden (102b) bereitstellt.
Vakuumkammer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 4, wobei der Transportbereich (111) eine Höhe (111d) von weniger als 10 cm aufweist.
Vakuumkammer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 5, wobei die Anschlussöffnung (104) einen Durchmesser (212d) von mehr als 10 cm aufweist.
Vakuumkammer gemäß einem der Ansprüche 1 bis 6, ferner aufweisend: mindestens einen Füllkörper (414) innerhalb des Transportbereichs (111) zum Reduzieren des zu evakuierenden Innenvolumens der Vakuumkammer.
Vakuumkammer gemäß Anspruch 2 oder 3, wobei bei geschlossenem Kammerdeckel (304) ein Transportspalt (111) zwischen dem Kammerboden (102b) und dem Kammerdeckel (304) bereitgestellt ist, wobei ein Durchmesser (212d) der Anschlussöffnung (104) größer ist als eine Spalthöhe (111d) des Transportspalts (111).