KR20050086265A - 분리형 진공챔버 - Google Patents

Abstract

본 발명은 반도체 또는 평판표시소자의 제조에 있어서, 기판에 소정의 처리를 실시하는데 사용되는 진공챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상기 진공챔버를 여러 조각으로 분리시켜 제조함으로써, 대형 기판의 제조에 적합한 분리형 진공챔버에 관한 것이다.

본 발명에 따른 진공챔버는, 액정표시장치(LCD) 기판 제조에 사용되는 진공챔버에 있어서, 상기 진공챔버는 상기 진공챔버의 벽면을 이루는 챔버 구조체가 적어도 2개이상의 조각으로 분리되어 제조되고, 제조된 각 조각 및 내부 부품을 조립하여 형성되는 것을 특징으로 한다.

Description

분리형 진공챔버{Vacuum chamber for manufacturing FPD}

본 발명은 반도체 또는 평판표시소자의 제조에 있어서, 기판에 소정의 처리를 실시하는데 사용되는 진공챔버에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 상기 진공챔버를 여러 조각으로 분리시켜 제조함으로써, 대형 기판의 제조에 적합한 분리형 진공챔버에 관한 것이다.

일반적으로 반도체 또는 평판표시소자의 제조에 있어서는 도 1에 도시된 바와 같이, 로드락 챔버(100), 반송 챔버(200), 공정 챔버(300) 등의 내부에 진공분위기를 형성시킬 수 있는 여러가지 진공챔버가 요구된다. 따라서 반도체 또는 평판표시소자의 제조 설비에서는 많은 수의 진공챔버가 사용되고 있는 것이다.

그런데 액정표시장치(Liquid Crystal Disital) 등의 기판이 대형화되고 있어서, 상기 대형 기판을 그 내부에 반입시킨 후 소정의 처리를 실시하는데 사용되는 진공챔버의 크기도 병행하여 대형화되고 있다.

그러나 최근 상기 기판의 크기가 2m 이상으로 대형화되면서 상기 대형 기판을 처리하기 위한 진공챔버는 그 크기가 3m 이상이 되는 등 지나치게 대형화되어 진공챔버를 제조한 곳에서, 설치되는 곳으로 이동하는 데 많은 문제점이 있다. 즉, 폭이 3m 이상되는 진공챔버를 차량에 적재시킨 후 도로를 통해 이동시키는 것이 우리나라는 물론 외국에서도 도로 사정상 불가능한 문제점이 있다.

또한 이러한 대형 진공챔버를 하나의 조각으로 제조하는 경우에는 진공챔버의 외벽을 이루는 금속소재를 가공하는 데에도 대형 장비가 필요하고, 그 가공 작업 또한 어려워지는 문제점이 있다.

또한 상기 진공챔버의 운용 과정에서 발생하는 여러가지 문제로 그 내부를 수리하는 경우에 진공챔버의 상부를 개방시켜서 내부를 수리하여야 하나, 진공챔버가 하나의 조각으로 이루어지면, 그 개방이 어렵고, 많은 동력이 필요하여 진공챔버의 수리가 어려워지는 문제점이 있다.

본 발명의 목적은 제조, 이동, 보수 작업이 용이한 분리형 진공챔버를 제공하는 데 있다.

상술한 목적을 달성하기 위한 본 발명에 따른 진공챔버는, 액정표시장치(LCD) 기판 제조에 사용되는 진공챔버에 있어서, 상기 진공챔버는 상기 진공챔버의 벽면을 이루는 챔버 구조체가 적어도 2개 이상의 조각으로 분리되어 제조되고, 제조된 각 조각 및 내부 부품을 조립하여 형성되는 것을 특징으로 한다.

이하에서는 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 구성 및 작용을 상세하게 설명한다.

본 발명에 따른 진공챔버는 분리형 진공챔버이다. 분리형 진공챔버란 액정표시장치(LCD)의 기판 제조에 사용되는 진공챔버에 있어서, 상기 진공챔버의 벽면을 이루는 챔버 구조체가 2개 이상의 다수개의 조각으로 분리되어 제조되고, 제조된 각 조각을 내부 구성부품과 함께 조립하여 형성되는 진공챔버를 말한다.

이때 상기 분리형 진공챔버(400)는 도 2에 도시된 바와 같이 로드락 챔버와 공정 챔버 사이에서 기판을 전송하는 역할을 하는 반송 챔버(200)에 적용되는 것이 바람직하다. 반송 챔버(200)는 그 내부에서 기판의 반송을 위하여 그 내부에 구비된 반송 로봇이 회전하는 등 그 행동 반경을 확보하기 위하여 로드락 챔버와 공정챔버에 비하여 넓은 내부 공간이 요구된다. 따라서 기판의 대형화에 따른 영향을 더욱 많이 받기때문에 반송 챔버의 이송이 곤란한 점을 해결하기 위하여 다수개의 조각으로 제조하여 이송할 필요가 있기 때문에 주로 반송챔버에 분리형 진공챔버 기술이 적용되는 것이 바람직한 것이다.

그리고 분리형 진공챔버(400)는 도 2 또는 도 3에 도시된 바와 같이, 상기 분리형 진공챔버(400)의 상부에서 본 형상이 원형인 형상으로 형성되는 것이 바람직하다. 많은 수의 공정 챔버를 반송 챔버에 형성시키기 위해서는, 반송챔버를 사각형 또는 육각형 등의 다각형 챔버보다는 원형으로 형성시켜 필요한 수의 공정챔버를 자유롭게 형성시킬 수 있는 것이 유리하기 때문이다. 따라서 본 발명에서는 분리형 진공챔버의 형상을 지면과 수평한 단면의 형상이 원형인 것을 개시한다.

이때 분리형 진공챔버(400)를 형성시키는 모양은 도 3 또는 도 4에 도시된 바와 같이, 3조각으로 형성시키는 것이 바람직하다. 즉, 분리형 진공챔버(400)의 단면이 이루는 원의 2 현을 기준으로 분리된 3 조각을 형성시키되, 그 현은 상기 원의 현 중 중심각의 크기가 90±10˚이며, 서로 마주 보는 현으로 하는 것이 바람직하다. 따라서 기준이 되는 현의 길이가 가운데 조각(A)의 폭과 비슷한 길이가 되도록 조각이 형성되는 것이다.

이때 도 5에 도시된 바와 같이, 상기 각 조각의 결합면에는 밀봉부재 삽입홈(420)이 형성되고, 각 조각의 결합면 외측에는 각 조각의 조립시에 각 조각 간을 견고하게 결합하기 위한 체결부(410)가 더 구비된다.

상기 밀봉부재 삽입홈(420)이란 상기 각 조각이 결합될 때 서로 접촉되는 결합면에 그 결합면을 따라서 소정 깊이의 홈이 길게 형성되어 있는 것을 말한다. 상기 밀봉부재 삽입홈(420)에는 밀봉부재(430)가 위치된 후 각 조각이 결합된다.

따라서 상기 밀봉부재 결합홈(420)과 밀봉부재(430)는 각각 분리되어 제조된 진공챔버의 조각을 결합시켜 진공챔버를 완성하는 경우에 각 조각간의 결합면에 삽입되어 그 결합면을 통해 외부 공기가 유입되지 않도록 하고, 챔버 내부의 가스가 외부로 유출되지 않도록 하여 진공챔버를 밀봉시키는 역할을 하는 것이다.

그러므로 상기 밀봉부재(430)는 각 조각의 결합면을 따라서 연속하여 구비되며, 탄성을 가지는 부재로 형성되어 각 조각의 결합시에 약간 수축될 수 있는 것이 바람직하다.

또한 상기 체결부(410)는 각 조각을 결합시켜 진공챔버를 완성하는 경우, 각 조각을 견고하게 결합시키는 역할을 하는 것이고, 상기 체결부(410)를 이용하여 각 조각을 견고하게 결합시켜야만 탄성이 있는 상기 밀봉부재(430)가 약간 압축되면서 각 조각간의 결합면을 완벽하게 밀봉시킬 수 있다.

이때 상기 체결부(410)는 도 6에 도시된 바와 같이, 상기 챔버 구조체의 외측면(460)에 돌출되어 형성되고, 소정 간격으로 체결공(440)이 형성된다. 즉, 상기 각 조각의 결합면과 인접하여 상기 결합면의 연장면으로 상기 체결부(410)가 형성되며, 상기 체결부(410)는 소정 두께를 가지는 구조로 구비된다. 그리고 상기 체결부(410)에는 소정 간격으로 체결공(440)이 관통하여 형성된다. 상기 체결공(440)의 내부면에는 암나사 구조가 구비되어 체결볼트(450)와의 결합을 견고하면서도 용이하게 할 수 있다.

그리고 상기 체결공(440)에는 도 3 또는 도 4에 도시된 바와 같이, 상기 각 조각을 결합시키는 경우 체결볼트(450)가 결합되어, 각 조각의 결합을 견고하게 한다.

본 발명에 따르면 진공챔버를 전체를 하나의 조각으로 형성시키지 않고 작은 다수개의 조각으로 제조한 후 각 조각을 조립하여 형성시키는 것이므로 대형 진공챔버를 제조한 후 상기 진공챔버가 설치될 장소까지 용이하게 이동할 수 있는 장점이 있다. 즉, 대형 진공장치를 하나의 조각으로 형성시키는 경우에는 그 폭이 너무 커서 차량 등으로 이송할 수 없으나, 여러개의 조각으로 분리하여 제조하면 그 폭이 감소하여 용이하게 이송할 수 있는 것이다. 물론 설치될 장소에 이송한 후 각 조각을 조립하면 대형 진공챔버가 완벽하게 형성되며, 챔버 내부에 진공분위기를 형성시키는 데에도 아무런 문제가 발생하지 않는다.

더구나, 크기가 3m 이상되는 진공챔버를 1개의 조각으로 형성시키기 위해서는 진공챔버를 이루는 금속을 대형으로 가공하여야 하는데 대형으로 가공하기 위한 가공수단 역시 대형화되어야 하는 문제점이 있고, 대형 챔버의 가공 작업 자체 역시 어려워지는 문제점이 있는데, 본 발명에 따르면 이러한 문제점이 해결된다.

또한 진공챔버 내부에 손상이 와서 내부를 유지 보수하여야 하는 경우 일부 조각만 분리한 후 유지 보수 작업을 수행하면 되므로 유지 보수작업이 용이해지는 장점이 있다.

도 1은 일반적인 평판표시소자 제조장치의 챔버 배열을 나타내는 도면이다.

도 2는 반송 챔버를 원형으로 구성한 평판표시소자 제조장치의 챔버배열을 나타내는 도면이다.

도 3은 원형 반송 챔버를 3조각으로 분리한 분리형 진공챔버의 결합모습을 나타내는 도면이다.

도 4는 원형 반송 챔버를 3조각으로 분리한 분리형 진공챔버의 분리된 모습을 나타내는 도면이다.

도 5는 진공챔버 조각의 결합면의 구조를 나타내는 평면도이다.

도 6은 진공챔버 조각의 결합면의 구조를 나타내는 부분사시도이다.

< 도면의 주요부분에 대한 부호의 설명 >

100 : 로드락 챔버 200 : 반송챔버

300 : 공정챔버 400 : 본 발명의 분리형 진공챔버

410 : 체결부 420 : 밀봉부재 삽입홈

430 : 밀봉부재 440 : 체결홈

450 : 체결볼트 460 : 챔버 구조체 면

Claims (7)

1. 액정표시장치(LCD) 기판 제조에 사용되는 진공챔버에 있어서,

   상기 진공챔버는 상기 진공챔버의 벽면을 이루는 챔버 구조체가 적어도 2개이상의 조각으로 분리되어 제조되고, 제조된 각 조각 및 내부 부품을 조립하여 형성되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공챔버.
2. 제1항에 있어서, 상기 진공 챔버는,

   지면에 수평한 단면의 형상이 원형인 것을 특징으로 하는 분리형 진공챔버.
3. 제2항에 있어서, 상기 진공 챔버는,

   로드락 챔버와 공정 챔버 사이에서 기판을 반송하는 기능을 하는 반송 챔버인 것을 특징으로 하는 분리형 진공챔버.
4. 제3항에 있어서,

   상기 각 조각의 결합면에는 각 조각의 조립시에 각 조각 간을 견고하게 결합하기 위한 체결부가 더 구비되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공챔버.
5. 제4항에 있어서, 상기 체결부는,

   상기 챔버 구조체의 외측면에 돌출되어 형성되고, 소정 간격으로 체결공이 형성되며, 각 조각의 조립시에 상기 체결공에는 체결볼트가 결합되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공챔버.
6. 제5항에 있어서, 상기 진공챔버는,

   각 조각의 결합면에 밀봉부재 삽입홈을 형성시키며, 각 조각의 결합시에 상기 밀봉부재 삽입홈에 밀봉부재를 삽입하고, 각 조각을 결합시켜 형성되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공챔버.
7. 제2항 내지 제6항 중 어느 한 항에 있어서, 상기 진공챔버는,

   그 단면을 이루는 원의 현 중 중심각이 90 ± 10˚ 이며, 서로 마주보는 두 현을 따라서 분할된 3조각으로 제조되며, 각 조각을 조립하여 형성되는 것을 특징으로 하는 분리형 진공챔버.