KR101308389B1 - 기판처리장치의 챔버 - Google Patents

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KR101308389B1
KR101308389B1 KR1020110022523A KR20110022523A KR101308389B1 KR 101308389 B1 KR101308389 B1 KR 101308389B1 KR 1020110022523 A KR1020110022523 A KR 1020110022523A KR 20110022523 A KR20110022523 A KR 20110022523A KR 101308389 B1 KR101308389 B1 KR 101308389B1
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정선호
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엘아이지에이디피 주식회사
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    • H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
    • H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
    • H01L21/67155—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations
    • H01L21/67201—Apparatus for manufacturing or treating in a plurality of work-stations characterized by the construction of the load-lock chamber

Abstract

본 발명은 외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판을 외부로 내보내는 로드락 챔버 및 반송로봇을 이용하여 로드락 챔버의 기판을 공정챔버로 이송하거나 공정챔버에서 로드락 챔버로 기판을 이송하는 반송챔버 중 어느 하나의 챔버에 있어서, 상부에 개구면이 구비되는 하부바디, 상기 하부바디의 개구면에 결합되는 상부바디 및 상기 상부바디의 상부 내측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 내측 보강부재 및 상기 상부바디의 상부 외측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 외측 보강부재 중 적어도 하나를 포함하는 챔버를 제공한다.

Description

기판처리장치의 챔버{A chamber for a substrate processing apparatus}
본 발명은 기판처리장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 진공상태에서 기판을 처리하는 기판처리장치의 챔버에 관한 것이다.
일반적으로 반도체나 평판표시소자(Flat Panel Display)를 제조하는 장치에서 기판처리장치는 기판(반도체 웨이퍼, 글라스 등)을 진공의 공정챔버(Process chamber) 내부에서 처리한다.
평판표시소자를 제조하기 위한 평판표시소자 제조장치의 기판처리장치는 로드락 챔버(Load-Lock Chamber)와 공정챔버(Process Chamber)가 일 방향으로 배치된 인라인 타입(In-Line Type)과 하나의 로드락 챔버(또는 반송챔버) 주위에 복수 개의 공정챔버가 배치된 클러스터 타입(Cluster Type)이 사용된다.
특히 클러스터 타입의 기판처리장치는 공정챔버와 로드락 챔버 사이에 설치되어 기판을 공정챔버로 반입하거나 그 반대로 반출함에 있어 경유지 역할을 하는반송챔버를 더 구비한다.
한편, 로드락 챔버 또는 반송챔버는 상부바디와 하부바디의 결합하여 내부에 공간을 형성한다. 이때, 로드락 챔버 또는 반송챔버의 내부 구성, 즉, 기판탑재대(로드락 챔버의 경우) 또는 반송로봇(반송챔버의 경우)의 유지보수를 위하여 크레인 등을 이용하여 주기적으로 상부바디를 들어올려 하부바디와 분리시켜야 한다.
최근 기판이 대형화됨에 따라 로드락 챔버 또는 반송챔버를 이루는 상부바디도 대형화되는 추세이다. 상부바디가 대형화됨에 따라 상부바디의 무게 또한 증가할 수 밖에 없으며, 상부바디를 들어올리는 크레인도 대형화되고 있다. 로드락 챔버 또는 반송챔버의 유지보수를 위한 크레인이 대형화됨에 따라 크레인의 제작비용 또는 구입비용이 증가하며 로드락 챔버 또는 반송챔버의 유지보수 비용이 증가하는 문제가 있다. 더불어, 크레인의 대형화에 따른 크레인 설치공간이 증대되어 작업장에서 공간 효율성이 낮아지는 문제가 발생한다.
본 발명은 상술한 문제점을 해결하기 위해 창안된 것으로서, 로드락 챔버 또는 반송챔버의 유지보수 비용을 감소시키고 작업장의 공간 효율성을 높이는 기판처리장치의 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.
본 발명은 상술한 목적을 달성하기 위하여, 외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판을 외부로 내보내는 로드락 챔버 및 반송로봇을 이용하여 로드락 챔버의 기판을 공정챔버로 이송하거나 공정챔버에서 로드락 챔버로 기판을 이송하는 반송챔버 중 어느 하나의 챔버에 있어서, 상부에 개구면이 구비되는 하부바디, 상기 하부바디의 개구면에 결합되는 상부바디 및 상기 상부바디의 상부 내측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 내측 보강부재를 포함하는 챔버를 제공한다.
이때, 상기 상부바디는 다각 평면구조를 가지고, 상기 내측 보강부재의 양단은 상기 상부바디 또는 하부바디에 의해 지지되는 것이 바람직하다.
더불어, 상기 내측 보강부재의 일단은 상기 상부바디의 일변(one side)까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 상부바디의 일변과 인접한 변까지 연장될 수 있다.
또한, 상기 내측 보강부재의 일단은 상기 상부바디의 일변까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 상부바디의 일변의 대향변까지 연장될 수 있다.
한편, 상기 상부바디의 상부 외측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 외측 보강부재가 더 구비될 수 있다.
더불어, 상기 내측 보강부재와 상기 상부바디 사이에는 실링부재가 구비될 수 있다.
또한, 상기 외측 보강부재는 상기 내측 보강부재의 상부에 배치되며, 상기 외측 보강부재와 내측 보강부재는 하나의 체결부재를 통하여 상기 상부바디에 결합될 수 있다.
또한, 본 발명은 외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판을 외부로 내보내는 로드락 챔버 및 반송로봇을 이용하여 로드락 챔버의 기판을 공정챔버로 이송하거나 공정챔버에서 로드락 챔버로 기판을 이송하는 반송챔버 중 어느 하나의 챔버에 있어서, 상부에 개구면이 구비되는 하부바디, 상기 하부바디의 개구면에 결합되는 상부바디 및 상기 상부바디의 상부 내측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 내측 보강부재 및 상기 상부바디의 상부 외측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 외측 보강부재 중 적어도 하나를 포함하는 챔버를 제공한다.
이때, 상기 내측 보강부재 및 외측 보강부재는 복수 개가 구비되며, 상기 복수 개의 내측 보강부재 및 외측 보강부재는 적어도 2개의 독립된 벤딩 모멘트 축을 가질 수 있다.
더불어, 상기 복수 개의 내측 보강부재 또는 외측 보강부재는 서로 교차하지 않도록 배치되는 것이 바람직하다.
본 발명은, 로드락 챔버 또는 반송챔버의 유지보수 비용을 감소시키고 작업장의 공간 효율성을 높이는 기판처리장치의 챔버를 제공하는 것을 목적으로 한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 챔버의 단면을 나타낸 단면도이다.
도 2는 내측 보강부재 및 외측 보강부재와 상부바디의 결합을 나타낸 분리단면도이다.
도 3은 도 1의 Ⅰ-Ⅰ을 자른 단면도이다.
도 4는 상부리드의 다른 실시예를 나타낸 단면도이다.
도 5는 도 3의 Ⅱ-Ⅱ를 자른 단면도이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 내측 보강부재의 배치를 나타낸 도면이다.
이하 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직할 실시예를 설명하면 다음과 같다.
이하에서는 설명의 편의를 위해 본 발명에 따른 챔버는 로드락 챔버임을 가정하여 설명한다.
도 1은 본 발명의 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 단면을 도시한 단면도이다.
도 1을 참조하면, 로드락 챔버(1)는 상부에 개구면이 구비되는 하부바디(20)를 포함한다. 또한, 상기 하부바디(20)의 개구면에 결합되는 상부바디(10)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 상부바디(10)의 상부 내측면에 구비되는 내측 보강부재(30)를 포함할 수 있다. 또한, 상기 상부바디(10)의 상부 외측면에 구비되는 외측 보강부재(40)를 포함할 수 있다. 더불어, 하부바디(20)에는 기판의 반입 또는 반출을 위한 게이트(미도시)가 구비될 수 있으며, 로드락 챔버(1)의 내부에는 기판탑재대(미도시)가 구비될 수 있다.
상부바디(10)와 하부바디(20)는 다각 평면구조를 가질 수 있으며, 바람직하게는 4각 평면구조일 수 있다.
하부바디(20)는 단면이 대략 'ㄷ'자 형태이며, 상부면이 개구되어 있다. 즉, 하부바디(20)의 상부에는 개구면이 형성되어 있다.
상부바디(10)는 상기 하부바디(20)의 개구면에 결합되어 로드락 챔버(1) 내부에 밀폐된 공간을 형성한다.
한편, 최근 기판이 대형화됨에 따라 로드락 챔버의 상부바디도 대형화되고 있으며, 상부바디의 무게도 증가하고 있다. 이에 따라, 로드락 챔버의 유지보수를 위한 크레인도 대형화되고 있다. 크레인의 대형화는 크레인의 제작비용 또는 구입비용을 증가시켜 결과적으로 로드락 챔버의 유지보수 비용을 증가시키며 대형 크레인에 의해 작업장의 공간 효율성이 낮아지는 문제가 발생한다.
이러한 문제를 해결하기 위해서 본 발명에서는 상부리드의 무게를 감소시키는 구조를 제시하고 있다. 즉, 본 발명에 따를 경우 상부리드의 두께를 감소시켜 상부리드의 무게를 감소할 수 있다. 그러나, 상부리드의 두께가 감소됨에 따라 상부리드의 강성이 감소하는 문제가 발생한다. 따라서, 본 발명에서는 상부리드의 두께를 감소시켜 결과적으로 상부리드의 무게를 감소시킴과 더불어, 이에 따른 상부리드의 강성을 보완시키는 챔버 구조를 개시한다. 특히, 로드락 챔버가 진공으로 유지되는 경우 챔버 내외부의 압력차에 의해 상부바디가 처지는 현상이 발생하는데 이를 보완한 챔버 구조를 개시한다.
상기 상부바디(10)의 내측면에는 내측 보강부재(30)가 구비된다. 상기 내측 보강부재(30)는 플레이트일 수 있으며, 바람직하게는 장방형의 플레이트이다. 더불어, 상기 내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 상부 내측면에 복수 개가 구비될 수 있다. 상기 내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 상부 내측면에 구비되어 상부바디(10)의 강성을 보강한다. 즉, 로드락 챔버(1)의 내부가 진공으로 유지되는 경우, 챔버 내부와 외부의 압력차에 의한 상부바디(10)의 처짐을 방지한다. 한편, 상기 내측 보강부재(30)와 상부바디(10) 사이에는 실링부재(60)가 구비되는 것이 바람직하다.
상기 상부바디(10)의 외측면에는 외측 보강부재(40)가 구비된다. 상기 외측 보강부재(40)는 상부바디(10)의 상부 외측면에 구비되어 상부바디(10)의 처짐을 방지하고 상부바디(10)의 강성을 보강한다. 상기 외측 보강부재(40)는 플레이트일 수 있으며, 바람직하게는 'H'빔일 수 있다. 더불어, 상기 외측 보강부재(40)는 내측 보강부재(30)의 상부에 구비되는 것이 바람직하다.
한편, 상기 외측 보강부재(40)와 내측 보강부재(30)는 체결부재(50)에 의해 상부바디(10)에 결합된다. 상기 체결부재(50)는 볼트일 수 있다.
도 2를 참조하여 내측 보강부재(30)와 외측 보강부재(40)의 결합 구조에 대해 상세히 설명한다.
도 2를 참조하면, 외측 보강부재(40)는 하부 플랜지(42), 상부 플랜지(44) 및 두 플랜지(42)(44)를 연결하는 연결부(46)를 포함할 수 있다. 크레인을 이용하여 상부리드(10)을 들어올릴 경우 크레인의 일단에 연결된 포크가 상기 연결부(46)의 양측으로 삽입되어 상부리드(10)를 들어올릴 수 있다. 상기 하부 플랜지(42)와 상부바디(10)에는 체결부재(50)가 관통하는 체결홀(41)(11)이 각각 형성되어 있다. 더불어, 내측 보강부재(30)에는 체결부재(50)가 삽입되는 체결홈(31)이 형성되어 있다. 체결부재(50)는 하부 플랜지(42)에 형성된 체결홀(41) 및 상부바디(10)에 형성된 체결홀(11)을 차례로 관통하여 내측 보강부재(30)에 형성된 체결홈(31)에 삽입된다. 본 발명의 일 실시예에 따를 경우, 하나의 체결부재(50)에 의해 외측 보강부재(40) 및 내측 보강부재(30)가 상부바디(10)에 고정되어 결합된다. 즉, 내측 보강부재(30)의 상부에 외측 보강부재(40)를 배치함으로써, 하나의 체결부재(50)로서 내측 보강부재(30)와 외측 보강부재(40)를 상부바디(10)에 결합할 수 있다. 다시 말해, 내측 보강부재(30)를 상부바디(10)에 결합하는 체결부재(50)와 외측 보강부재(40)를 상부바디(10)에 결합하는 체결부재를 각각 별도로 구비하지 않고 하나의 체결부재(50)를 통해 두 보강부재(30)(40)를 상부바디(10)에 결합할 수 있다. 보다 안정적인 체결구조를 위해 체결부재(50)는 복수 개가 구비될 수 있으며, 바람직하게는 연결부(46)의 좌우측으로 2개의 체결부재(50)가 결합될 수 있다.
한편, 상부바디(10)에 형성된 체결홀(11)을 통해 로드락 챔버 내부로 외부 공기가 유입되어 진공이 파괴되는 것을 방지하기 위해 내측 보강부재(30)와 상부바디(10) 사이에는 실링부재(60)가 구비되는 것이 바람직하다. 상기 실링부재(60)는 탄성재질로 마련되는 것이 바람직하며, 일 실시예로 고무부재일 수 있다. 실링부재(60)의 안정적인 결합을 위해 상부바디(10)의 내측면 및 내측 보강부재(30)의 상부면에는 실링부재(60)가 안착되는 안착홈(13)(33)이 각각 구비될 수 있다.
한편,상기 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 상기 상부바디(10) 또는 하부바디(20)에 의해 지지되는 것이 바람직하다. 즉, 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 상부바디(10) 또는 하부바디(20)의 양측면까지 연장되어 구비되는 것이 바람직하다.
도 3을 참조하면, 상기 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 하부바디(20)에 의해 지지될 수 있다. 즉, 상부바디(10)가 플레이트 구조를 가지는 경우 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 하부바디(20)에 의해 지지된다. 하부바디(20)가 상부바디(10)와 접하는 부위에 로드락 챔버의 외측으로 요입된 요입부(25a)(25b)가 형성되며 상기 요입부(25a)(25b)에 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)이 각각 안착된다. 즉, 하부바디(20)의 양 측벽(25)의 내측면에 요입부(25a)(25b)가 각각 구비된다. 상기 하부바디(20)에 형성된 요입부(25a)(25b)는 'L'자로 형성된 단차일 수 있다. 더불어, 내측 보강부재(30)와 하부바디(20)의 안정적인 결합을 위해 내측 보강부재(30)는 볼트 등의 체결부재를 통해 하부바디(20)에 고정되어 결합될 수 있다.
도 4를 참조하면, 상기 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)은 상부바디(10)에 의해 지지될 수 있다. 즉, 상부바디(10)가 플레이트 구조가 아닌 'ㄷ'자 형태의 구조를 가질 때 상부바디(10)의 양 측벽(15)의 내측면에는 상기 내측 보강부재(30)가 결합되는 요입부(15a)(15b)가 형성될 수 있다. 도 3의 경우와 마찬가지로, 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)는 상부바디(10)의 양 측벽(15)에 형성된 요입부(15a)(15b)에 각각 안착된다. 상기 요입부(15a)(15b)의 형상은 내측 보강부재(30)의 양단(30a)(30b)의 형상과 대응되도록 형성된다. 본 발명의 일 실시예에 따를 경우 요입부(15a)(15b)는 'ㄷ'자 형태일 수 있다. 더불어, 내측 보강부재(30)와 상부바디(10)의 안정적인 결합을 위해 내측 보강부재(30)는 볼트 등의 체결부재를 통해 상부바디(10)에 고정되어 결합될 수 있다.
도 5를 참조하면, 내측 보강부재(30)는 복수 개가 구비될 수 있으며, 복수 개의 내측 보강부재(30)는 서로 이격되어 평행하게 배치될 수 있다. 상부바디(10)에 작용하는 x축 방향의 벤딩 모멘트(bending moment)는 상부바디(10)의 내측면에 y축 방향으로 배치된 내측 보강부재(30)에 의해 상쇄된다. 더불어, y축 방향의 벤딩 모멘트는 내측 보강부재(30)의 양단이 상부바디(10) 또는 하부바디(20)에 지지되어 있으므로 상부바디(10) 또는 하부바디(20)에 의해 효과적으로 상쇄된다. 본 발명에서 언급하는 x축(또는 y축) 방향의 벤딩 모멘트는 벡터량이다.
도 6은 본 발명의 다른 일 실시예에 따른 로드락 챔버의 내측 보강부재(30)의 배치를 나타낸 도면이다.
도 6을 참조하면, 본 발명의 다른 일 실시예에 따를 경우 로드락 챔버는 대각선 방향으로 배치되는 제1내측 보강부재(310)와 x축 또는 y축 방향으로 배치되는 제2내측 보강부재(330)를 포함할 수 있다.
로드락 챔버의 상부바디(10)가 4각 평면구조를 가지는 경우, 상부바디(10)는 4개의 변(side)(10a)(10b)(10c)(10d)를 가지게 된다. 이때, 제1내측 보강부재(310)의 일단은 상기 상부바디(10)의 일변(one side)(10a)까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 상부바디(10)의 일변(10a)과 인접한 변(10c)까지 연장되어 있을 수 있다. 즉, 제1내측 보강부재(30)는 대각선 방향으로 배치될 수 있다. 제1내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 2개 모서리에 각각 2개가 배치될 수 있다. 더불어, 2개의 제1내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 중심을 기준으로 대칭적으로 배치될 수 있다.
더불어, 제2내측 보강부재(30)의 일단은 상부바디(10)의 일변(10a)까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 일변(10a)의 대향변(10b)까지 연장되어 있을 수 있다. 즉, 제2내측 보강부재(30)는 상부바디(10)의 서로 마주보는 두 대향변(10a)(10b)에 양단이 연장되어 있다.
로드락 챔버의 내외부 압력차에 의해 상부바디(10)가 변형되는 경우 상부바디(10)에는 주로 x 및 y축 방향의 벤딩 모멘트가 작용하게 된다. 따라서, 상부바디(10)에 작용하는 모든 벤딩 모멘트를 상쇄하기 위해서는 내측 보강부재(30)는 적어도 2개의 독립된 축(axis)을 기준으로 배치되어야 한다. 가장 쉽게 접근할 수 있는 구조로서 x축 및 y축 방향으로 내측 보강부재를 배치할 수 있겠으나, 이 경우 x축 방향으로 배치되는 내측 보강부재와 y축 방향으로 배치되는 내측 보강부재가 교차하게 된다. 두 내측 보강부재를 교차되도록 배치할 경우 어느 하나의 내측 보강부재를 절단하여 연결하는 등 설치 및 구조가 복잡해지는 문제가 있다.
따라서, 본 발명에서는 적어도 2개의 독립된 모멘트 축을 따라 배치되는 구조를 가지면서, 복수 개의 내측 보강부재(30)가 교차되지 않는 구조를 제시한다.
도 6을 참조하면, 대각선으로 배치된 제1내측 보강부재(310)와 y축 방향으로 배치된 제2내측 보강부재(330)는 서로 독립된 2개의 모멘트 축을 가지게 된다. 따라서, 제1내측 보강부재(30)와 제2내측 보강부재(30)는 상부바디(10)에 작용하는 x축 및 y축 방향의 벤딩 모멘트를 효과적으로 상쇄할 수 있다.
도 6에 도시된 내측 보강부재(310)(330)의 배치는 바람직한 일 실시예에 해당하며 반드시 이에 한정되지 않는다. 즉, 복수 개의 내측 보강부재가 적어도 2개의 독립된 모멘트 축을 가지도록 배치되면 족하다. 따라서, 상부바디(10)의 네 모서리에 대각선 방향으로 4개의 내측 보강부재를 배치할 수 있다. 이 경우, 4개의 내측 보강부재의 연장선은 전체적으로 마름모 형상을 이루게 된다.
상술한 내측 보강부재의 배치 구조는 외측 보강부재에도 동일하게 적용할 수 있음은 물론이다.
상술한 실시예 및 첨부된 도면에서 내측 보강부재와 외측 보강부재가 상부리드에 동시에 구비되는 실시예를 설명하였으나, 기판처리장치의 제작환경에 따라 어느 하나의 보강부재만이 구비될 수 있다.
또한, 상기 실시예에서는 본 발명에 따른 챔버가 로드락 챔버임을 설명하였으나, 본 발명에 따른 챔버는 공정챔버 또는 반송챔버일 수 있다. 즉, 상부바디에 구비되는 내측 보강부재 및/또는 외측 보강부재는 공정챔버 또는 반송챔버의 상부바디에 그대로 적용될 수 있다.
이상과 같이, 본 발명은 비록 한정된 실시예와 도면에 의해 설명되었으나, 본 발명은 이것에 의해 한정되지 않으며 본 발명이 속하는 기술분야에서 통상의 지식을 가진 자에 의해 본 발명의 기술 사상과 아래에 기재될 청구범위의 균등 범위 내에서 다양한 수정 및 변형이 가능함은 물론이다.
1 챔버 10 상부바디
20 하부바디 30, 310, 330 내측 보강부재
40 외측 보강부재 50 체결부재
60 실링부재

Claims (9)

  1. 외부로부터 미처리된 기판을 받아서 보관하거나 처리된 기판을 외부로 내보내는 로드락 챔버 및 반송로봇을 이용하여 로드락 챔버의 기판을 공정챔버로 이송하거나 공정챔버에서 로드락 챔버로 기판을 이송하는 반송챔버 중 어느 하나의 챔버에 있어서,
    상부에 개구면이 구비되는 하부바디;
    상기 하부바디의 개구면에 결합되는 상부바디;
    상기 상부바디의 상부 내측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 내측 보강부재;
    상기 상부바디의 상부 외측면에 결합되어, 상부바디의 강성을 보강하는 외측 보강부재를 포함하며,
    상기 내측 보강부재와 상기 상부바디 사이에는 실링부재가 구비되는 것을 특징으로 하는 챔버.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 상부바디는 다각 평면구조를 가지고,
    상기 내측 보강부재의 양단은 상기 상부바디 또는 하부바디에 의해 지지되는 것을 특징으로 하는 챔버.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 내측 보강부재의 일단은 상기 상부바디의 일변(one side)까지 연장되어 있으며, 타단은 상기 상부바디의 일변과 인접한 변까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버.
  4. 제2항에 있어서,
    상기 내측 보강부재의 일단은 상기 상부바디의 일변까지 연장되어 있으며,
    타단은 상기 상부바디의 일변의 대향변까지 연장되어 있는 것을 특징으로 하는 챔버.
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  7. 제1항에 있어서,
    상기 외측 보강부재는 상기 내측 보강부재의 상부에 배치되며, 상기 외측 보강부재와 내측 보강부재는 하나의 체결부재를 통하여 상기 상부바디에 결합되는 것을 특징으로 하는 챔버.
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