KR100691214B1 - 평판표시소자 제조장치 - Google Patents

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Abstract

본 발명은, 다수의 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 챔버 상부에 마련된 출입구를 개폐하며, 두께 방향으로 관통된 적어도 하나의 개구부가 상면에 형성되는 상부커버; 상기 개구부에 상응하여 그 개구부를 개폐할 수 있도록 마련되는 보조커버;를 포함하며, 상기 보조커버는, 상기 상부커버와의 접촉면에 기밀을 유지하는 기밀부재가 개재되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.
평판표시소자 제조장치, 챔버, 상부커버, 보조커버, 크레인

Description

평판표시소자 제조장치{FPD manufacturing machine}
도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치중 반송 챔버에 상부커버가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 2는 상기 도 1의 횡단면도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치중 반송 챔버에 상부커버 및 보조커버가 결합된 상태를 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 4는 상기 도 3의 횡단면도이다.
도 5는 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 반송 챔버 상부 영역에 마련되는 상부커버와 보조커버를 도시한 분리사시도이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
110 : 반송 챔버 112 : 출입구
120 : 상부커버 122 : 보강부
124 : 개구부 128 : 보조커버
130 : 반송 로봇 140 : 연결고리
O : 기밀부재
본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 내부에 로드락 챔버 또는 공정 챔버로 기판을 반입 또는 반출시키는 반송 로봇이 반송 챔버에 마련된 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.
일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상술한 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Laodlock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 진공 챔버로 구성된다.
여기서, 상술한 로드락 챔버는 외부에 구비되며 다수개의 처리전 기판을 적재한 카세트에서 운송수단에 의해 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상술한 반송 챔버는 기판을 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 반송하기 위한 반송 로봇이 구비되어 있어서 처리할 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 상태에서 플라즈마 등을 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 각각 한다.
그러므로, 상술한 반송 챔버나 공정 챔버는 그 내부에 마련된 반송 로봇이나 전극 등과 같은 내부 구성물의 유지 보수 및 교체를 하기 위해서는 내부를 개폐하기 위해 챔버 상측에 상부커버가 마련된다.
종래의 평판표시소자 제조장치중 반송 챔버는 도 1 및 도 2에 도시된 바와 같이 그 반송 챔버(10) 상측에 반송 로봇 출입구(12)가 형성되고, 그 반송 로봇 출 입구(12)를 개폐하는 상부커버(20)가 마련되며 상술한 상부커버(20)를 반송 챔버(10)에서 탈부착을 하기 위해 크린룸 천장에 마련된 크레인으로 용이하게 실시할 수 있도록 상부커버(20)의 모서리부에 마련되거나 대향된 두 변에 연결고리(40)가 마련된다. 그리고, 상술한 반송 챔버(10)와 상부커버(20)와의 접촉면에 그 반송 챔버(10)내부의 기밀을 유지하는 기밀부재(O)가 개입된다.
여기서, 상술한 반송 챔버(10)는 그 양측벽에 기판(도면에 미도시)의 출입구가 각각 형성되어 그 출입구를 개폐하는 게이트 밸브가 각각 마련되고, 그 내부에 마련되어 기판을 로드락 챔버 또는 공정 챔버로 반송하기 위한 반송 로봇(30)은 구동부(32)와 반송암(34)으로 구성되며, 상술한 구동부(32)는 반송 챔버(10)내 저면에 안착되고 그 접촉 부위에 기밀을 유지하는 기밀부재(O)가 개입되며, 상술한 반송 로봇(30)의 유지 보수작업 및 교체를 하기 위해 반송 챔버(10)의 반송 로봇 출입구(12)의 개폐가 불가피함에 따라 상부 영역에 상부커버(20)가 마련된다.
여기서, 상술한 반송 챔버(10)의 상부커버(20)는 대면적 기판의 공정 처리가 요구됨에 따라 공정 챔버 및 로드락 챔버가 대형화되고 구조가 적층되는 형태로 바뀌면서 반송 챔버(10)도 초대형화되며, 그에 따라 응력 집중 및 변형량을 고려하여 상부커버(20)의 두께 또한 적정 두께로 설계되어야 하지만 그 상부커버(20)를 이송하는 크레인의 수용 용량 한계에 따라 상부커버(20)의 개폐 작업이 용이하지 못한 문제점이 있었다.
본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적 은 반송 챔버의 상부커버에 장탈식 보조커버를 마련하며, 각각으로 분할하여 이송함으로써 이송작업이 용이할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.
상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 다수의 챔버로 이루어져 기판에 소정 처리를 실시하는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 챔버 상부에 마련된 출입구를 개폐하며, 두께 방향으로 관통된 적어도 하나의 개구부가 상면에 형성되는 상부커버; 상기 개구부에 상응하여 그 개구부를 개폐할 수 있도록 마련되는 보조커버;를 포함하며, 상기 보조커버는, 상기 상부커버와의 접촉면에 기밀을 유지하는 기밀부재가 개재됨으로써, 상술한 챔버 상부에 마련된 상부커버의 이동시 그 상부커버에 마련된 보조커버를 분리한 다음 그 보조커버의 중량만큼 제외된 상부커버를 크레인에 의해 이동하므로 크레인에 과부하가 걸리는 것을 방지하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 상부커버는, 스테인레스 강재로 형성됨으로써, 내부 압력으로부터 강성, 응력집중, 변형량 등을 고려하므로 바람직하다.
또한, 본 발명에서의 상부커버에 마련되는 보조커버는, 2 내지 3개로 마련되는 것이 바람직하다.
이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 일실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.
본 발명의 바람직한 일 실시예의 평판표시소자 제조장치중 반송 챔버는 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이 그 반송 챔버(110)의 상면에 마련되어 내부의 반송 로봇(130)을 유지 보수 및 교체를 하기 위해 반송 챔버(110)의 외부로 이동시키는 반송 로봇 출입구(112)가 구비되며, 그 반송 로봇 출입구(112)를 개폐하는 상부커버(120)가 마련된다.
상술한 상부커버(120)는 도 5에 도시된 바와 같이 원형을 양측에서 부분 절개한 형상으로 상방으로 돌출되는 보강부(122)가 형성되고, 상술한 보강부(122)에 관통된 다수개의 개구부(124)가 형성되며, 상술한 상부커버(120)와 반송 챔버(110)과의 접촉면에 오링인 기밀부재(140)가 개입된다.
여기서, 상술한 개구부(124)는 사각 형상으로 2개 내지 3개가 바람직하고 다양한 변형 실시가 가능하며, 그 개구부(124)의 하부 영역에 내측으로 돌출되는 안착부(126)가 형성되고, 그 안착부의 상부 영역에 안착되는 보조커버(128)와의 기밀을 유지할 수 있게 오링인 기밀부재(O)가 개입된다. 그리고, 크린룸 천장에 구비된 크레인으로 이동시킬 수 있도록 와이어가 연결되는 연결고리(140)가 모서리부에 각각 결합된다. 또한, 상술한 개구부(124)에 그 개구부(124)의 폭과 동일한 횡방향의 보강부재(도면에 미도시)가 마련되어 열에 의한 비틀림으로 변형되는 것을 방지한다.
여기서, 상술한 상부커버(120)는 스테인레스 강재로 형성되어 강성, 내구성, 변형량을 고려한다.
상술한 보조커버(128)는 일체의 직육면체로 형성되거나, 박스 형상으로 그 자체 중량을 줄일 수 있도록 상방을 향해 개구 형성도 가능하다. 그리고 상면 양측에 크레인으로 이동시킬 수 있도록 연결고리(140)이 결합되며, 그 중량을 감소시키기 위해서 알루미늄 재로 형성된다.
상술한 반송 로봇(130)은 반송암(134)과 구동력을 반송암(134)에 제공하는 구동부(132)로 구성되며, 세부적으로는 로봇 하우징과, 기판이 안착되는 엔드 이펙터(End Effector)가 포함되며, 유지 보수를 하기 위해서는 반송 챔버(110)의 높이가 한정되어 있으므로 반송 로봇(130)의 반송암(134)과 구동부(132)를 각각 분리시킨 다음 반출하였다.
한편, 본 발명에 따른 상부커버(120)의 중량을 감소시켜 크레인으로 이동할 수 있는 제한된 중량 범위안에서 이동할 수 있도록 상부커버(120)에 다수개의 보조커버(128)를 마련하는 것은 반송 챔버(110)에 한정하지 않고 플라즈마 처리장치(CVD, Etcher, Asher 등)의 공정 챔버에도 적용이 가능하다.
그러므로, 본 발명에 따른 평판표시소자 제조장치의 반송 챔버 상부에 마련된 상부커버를 이동하는 과정은 도 4 및 도 5에 도시된 바와 같이 우선, 상술한 상부커버(120)는 대형화된 반송 챔버(110)에 따라 그에 상응하여 대형화된 상부커버(120)를 그 반송 챔버(110)에서 이탈시켜 이동하는 과정에서 크레인이 수용할 수 있는 중량 범위를 감안하여 분할하도록 상부커버(120)의 개구부(124)에 결합된 보조커버(128)를 그 상면에 결합된 연결고리(140)에 크린룸 천장에 마련된 크레인의 후크로 고정하여 이동시킨다.
그리고, 상술한 보조커버(128)의 이동으로 어느 정도 중량이 감소된 상부커버(120)를 그 상부커버(120)의 상면에 다수개 고정된 연결고리(140)를 크린룸 천장에 마련된 크레인의 후크로 고정시켜 다른 장소로 이동한 후 내부에 마련된 반송 로봇(130)을 외부로 이동한 다음 유지 보수하며, 유지 보수가 완료된 반송 로봇(130)은 역순으로 이동하여 반송 챔버(110)내에 위치시킨다.
여기서, 상술한 상부커버(120)는 반송 로봇(130)이나 대형 내부 구조물의 유지 보수시에 개방하고, 그 상부커버(120)에 마련된 보조커버(128)는 일반적으로 간단한 유지 보수시에 개방하여 활용한다.
그러므로, 상술한 크레인의 사용 용량이 한정되어 대형화된 반송 챔버(110)의 상부커버(120) 분리시 분리 작업을 용이하게 실시할 수 있도록 그 상부커버(120)의 총중량을 분할하여 부분적으로 감소시킬 수 있도록 장탈착이 가능한 다수개의 보조커버(128)를 구비함으로써, 상술한 보조커버(128)를 분리하면 그 보조커버(128)의 중량만큼 상부커버(120)의 중량이 감소되므로 그 상부커버(120)를 크레인에 의해 무리없이 이동할 수 있다.
이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 반송 챔버 내부에 마련된 반송 로봇의 조립 및 유지 보수를 하기 위해 그 반송 로봇의 반입 또는 반출을 상부커버를 분리시켜 실시하는 과정에서 반송 챔버의 상부에 마련된 상부커버 자체의 중량을 감소시킬 수 있도록 다수개의 보조커버를 마련하여 각각을 분리함으로써 크 레인이 수용할 수 있는 중량 범위내에서 장탈착이 이루어지므로 장탈착 작업이 용이한 효과가 있다.
또한, 상술한 반송 챔버에 한정하지 않고 공정 챔버에도 활용할 수 있는 효과가 있다.

Claims (7)

  1. 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버와 같이 다수 챔버로 이루어져 기판에 공정을 수행하는 평판표시소자 제조장치에 있어서,
    상기 챔버 상부에 마련된 출입구를 개폐하며, 두께 방향으로 관통된 적어도 하나의 개구부가 상면에 형성되는 상부커버;
    상기 개구부에 상응하여 그 개구부를 개폐할 수 있도록 마련되는 보조커버;를 포함하며,
    상기 보조커버는, 상기 상부커버와의 접촉면에 기밀을 유지하는 기밀부재가 개재되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 챔버는,
    반송 챔버인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  3. 제 1항에 있어서, 상기 챔버는,
    공정 챔버인 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  4. 제 2항 또는 제 3항중 어느 한 항에 있어서, 상기 상부커버는,
    스테인레스 강재로 형성되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  5. 제 4항에 있어서, 상기 상부커버에 마련되는 보조커버는,
    2 내지 3개로 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  6. 제 5항에 있어서, 상기 보조커버는,
    알루미늄 재로 형성된 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
  7. 제 6항에 있어서,
    상기 상부커버와 보조커버의 상면 대향 위치에 크레인에 고정할 수 있는 연결 고리가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
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