KR100773265B1

KR100773265B1 - 평판표시소자 제조장치

Info

Publication number: KR100773265B1
Application number: KR1020040111695A
Authority: KR
Inventors: 이영종; 최준영; 조생현
Original assignee: 주식회사 에이디피엔지니어링
Priority date: 2004-12-24
Filing date: 2004-12-24
Publication date: 2007-11-05
Also published as: KR20060072920A

Abstract

본 발명은 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 이루어지는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 기판을 반송하기 위한 매개인 반송 챔버; 상기 반송 챔버내 하측에 마련된 반송암과, 상기 반송암을 구동시키는 구동수단이 상기 반송암의 저면에서 서로 결합하여 반송 챔버내 바닥면에 안착되는 반송 로봇; 상기 반송 챔버의 하측에 마련되어 상기 반송 로봇을 개폐문의 위치까지 상승시키는 수직방향 구동부;를 포함하며, 상기 반송 챔버의 일측벽에 형성되며, 상기 구동수단이 출입하는 구동수단 출입구; 상기 구동수단 출입구를 개폐하는 개폐문;이 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치를 제공한다.

평판표시소자 제조장치, 반송 챔버, 개구부, 개폐문, 반송 로봇, 반송암

Description

평판표시소자 제조장치{FPD manufacturing machine}

도 1은 종래의 평판표시소자 제조장치의 구성요소인 반송 챔버의 구조를 나타낸 단면도이다.

도 2a 및 도 2b는 본 발명의 일 실시예에 따른 평판표시소자 제조장치중 반송 챔버에서 반송 로봇을 반출하는 과정을 단면도이다.

도 3은 도 2의 평단면도이다.

도 4는 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 반송 로봇이 외부로 반출되는 상태를 도시한 측면도이다.

< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >

110 : 반송 챔버 114 : 개폐문

116 : 구동수단 출입구

120 : 구동부 122 : 반송암

130 : 수직방향 구동부 132 : 안내 부재

O : 기밀부재

본 발명은 평판표시소자 제조장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 내부에 로드락 챔버 또는 공정 챔버로 기판을 반입 또는 반출시키는 반송 로봇이 반송 챔버에 마련된 평판표시소자 제조장치에 관한 것이다.

일반적으로, 평판표시소자 제조장치는 내부에 LCD, PDP, OLED 등과 같은 평판표시소자 기판을 반입시켜 플라즈마 가스등을 이용하여 식각 등의 처리를 실시하며 상술한 평판표시소자 제조장치는 일반적으로 로드락(Laodlock) 챔버, 반송 챔버 및 한 개 이상의 진공 챔버로 구성된다.

여기서 상술한 로드락 챔버는 외부에 구비되며 다수개의 처리전 기판을 적재한 카세트에서 운송수단에 의해 기판을 받아들이거나 처리가 끝난 기판을 외부로 반출하는 역할을 하며, 상술한 반송 챔버는 기판을 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 반송하기 위한 반송 로봇이 구비되어 있어서 처리할 기판을 로드락 챔버에서 공정 챔버로 전달하거나 처리가 완료된 기판을 공정 챔버에서 로드락 챔버로 전달하는 역할을 하며, 상술한 공정 챔버는 진공 상태에서 플라즈마 등을 이용하여 기판 상에 막을 성막하거나 에칭을 수행하는 역할을 각각 한다.

종래의 반송 챔버에 반송 로봇이 마련된 평판표시소자 제조장치는 도 1에 도시된 바와 같이 로드락 챔버와 반송 챔버(10)와 공정 챔버로 이루어지며, 그 각각들은 상호 연통될 수 있도록 출입구(도면에 미도시)가 각각 형성되어 그 출입구를 개폐하는 게이트 밸브(도면에 미도시) 각각 마련된다.

상술한 반송 챔버(10)는 그 내부에 상술한 바와 같이 기판(도면에 미도시)을 로드락 챔버 또는 공정 챔버로 반송하기 위해 반송 로봇인 반송암(22)과 구동부 (20)가 구비되며 상술한 반송 로봇의 유지 보수작업을 하기 위해 개폐가 불가피함에 따라 개구된 상부 영역에 상부 커버(12)를 마련한다.

여기서, 상술한 반송 로봇은 적정 길이만큼 절첩되는 반송암(22)이 상측에 구비되며 하측에 마련된 구동부(20)와, 로봇 하우징과, 기판이 안착되는 엔드 이펙터(End Effector)로 구성되며, 유지 보수를 하기 위해서는 크린룸 천정에 마련된 크레인으로 반송 챔버(10)의 상부 커버(12)를 개방한 다음, 상술한 크레인으로 반송암(22)과 구동부(20)을 각각 분리시킨 다음 그 각각을 반출하거나 중량이 적을 경우에는 일체로 반출하였다.

여기서, 상술한 반송 챔버(10)는 대면적 기판의 공정 처리가 요구됨에 따라 공정 챔버 및 로드락 챔버가 대형화되고 구조가 적층되는 형태로 바뀌면서 반송 챔버(10)도 대형화되며, 그 내부에 마련된 반송 로봇의 유지 보수를 위해 크린룸(Clean Room)의 천정에 구비된 크레인(30)으로 반송 로봇을 반입 및 반출하였다.

그러나, 크린룸의 천정 높이가 5.5m로 한정되어 반송 챔버(10)가 대형화됨에 따라 그 반송 챔버(10)는 3.5 m 에 이르고 있으며, 구동부(20)와 반송암(22)으로 구성된 반송 로봇 자체의 높이가 1.5m 에 이르므로, 반송 로봇(20)을 반송 챔버(10) 상측 방향으로 설치하거나 반출하기 위해서는 최소 5 m의 높이가 필요하고, 크레인 및 연결부재의 길이를 더 고려하면 5.5m 의 클린룸 높이로는 반송 로봇의 설치 및 반출이 불가능하며, 그에 따라 소요되는 시간이 증가하는 문제점이 있었다.

본 발명은 상기 종래의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로서, 그 목적은 반송 챔버의 일측벽을 통해 반송 로봇을 반입 또는 반출할 수 있게 한 평판표시소자 제조장치를 제공함에 있다.

상술한 목적을 달성하기 위하여 본 발명은, 로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 이루어지는 평판표시소자 제조장치에 있어서, 상기 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 기판을 반송하기 위한 매개인 반송 챔버; 상기 반송 챔버내 하측에 마련된 반송암과, 상기 반송암을 구동시키는 구동수단이 상기 반송암의 저면에서 서로 결합하여 반송 챔버내 바닥면에 안착되는 반송 로봇; 상기 반송 챔버의 하측에 마련되어 상기 반송 로봇을 개폐문의 위치까지 상승시키는 수직방향 구동부;를 포함하며, 상기 반송 챔버의 일측벽에 형성되며, 상기 구동수단이 출입하는 구동수단 출입구; 상기 구동수단 출입구를 개폐하는 개폐문;이 마련됨으로써, 크린룸 천정에 마련된 크레인 없이도 대형 반송 챔버의 내부에 마련된 반송 로봇의 반입 또는 반출이 일측벽에 마련된 개구부를 통해 이루어지므로 바람직하다.

또한, 본 발명에서는 반송 챔버의 출입구와 개폐문의 접촉면에 개입되어 기밀을 유지할 수 있게 기밀 부재가 마련됨으로써, 개폐문을 개폐하는 과정에서 반송 챔버 내부의 기밀을 유지할 수 있다.

또한, 본 발명에서는 반송 챔버내 바닥에서 개폐문을 향해 전방으로 직선 왕 복 운동하며, 반송 로봇을 외부로 꺼낼 수 있게 안내하는 안내 부재가 더 마련됨으로써, 반송 챔버 내부에 마련된 반송 로봇의 반출 작업시 그 반송 로봇이 안내 부재에 의해 반송 챔버 외부로 위치되므로 바람직하다.

이하, 본 발명의 평판표시소자 제조장치를 첨부도면을 참조하여 일실시예를 들어 설명하면 다음과 같다.

본 발명의 바람직한 일 실시예의 평판표시소자 제조장치는 다수 챔버로 구성되며, 그 다수 챔버중 로드락 챔버 또는 공정 챔버로 기판을 반입 또는 반출시키는 기능을 하는 반송 챔버(110)는 도 2a 및 도 2b에 도시된 바와 같이 양측에 출입구가 형성되고 그 출입구를 개폐하는 게이트 밸드가 각각 마련되며, 상부 영역에 상부 커버(112)가 구비된다. 여기서, 상술한 반송 챔버(110)내 바닥면에 기판을 이송하는 반송 로봇의 구동부(120)가 바닥면에 형성된 구멍에 안착되며, 그 접하는 접촉면에 구비되어 반송 챔버(110)의 기밀을 유지하는 오링인 기밀부재(O)가 마련된다.

상술한 반송 로봇은 크게는 상측에 적정 길이만큼 절첩되는 반송암(122)과, 하측에는 구동부(120)가 구비되고, 세부적으로는 로봇 하우징과, 기판이 안착되는 엔드 이펙터(End Effector)이 포함되며, 유지 보수를 하기 위해서는 반송 챔버(110)의 높이가 한정되어 있으므로 반송 로봇의 반송암(122)과 구동부(120)를 각각 분리시킨 다음 반출하였다.

그리고, 상술한 반송 챔버(110)의 일측벽에 마련되어 내부에 구비된 반송 로봇의 구동부(120)를 반입 또는 반출시키는 이동 통로인 구동수단 출입구(116)가 형성되며, 그 반송 로봇의 조립 및 유지 보수하고자 할 때 내부에 마련된 반송 로봇을 반출하기 위해 반송 챔버(110)의 구동수단 출입구(116)를 개폐하는 개폐문(114)이 구비된다.

여기서, 상술한 반송 챔버(110)의 구동수단 출입구(116) 내측면에 내측 방향으로 소정 두께로 연장되어 그 연장된 부분과 개폐문(114)과의 접하는 후면 가장자리 부근을 기밀부재(O)에 의해 기밀을 유지한다.

상술한 반송 챔버(110)의 바닥면에 안착된 구동부(120)와 상술한 반송 챔버(110)와 기밀을 유지하는 기밀부재(O)가 접촉면에 마련되며, 상술한 구동부(120)의 반출시 기밀부재(O)의 손상됨을 방지하기 위해 적정 높이까지 상승시키고, 반입시 상술한 반송 로봇의 구동부(120)를 원위치 시키는 수직방향 구동부(130)가 마련된다.

상술한 수직방향 구동부(130)는 실린더인 것이 바람직하다.

여기서, 상술한 반송 챔버(110)는 도 3에 도시된 바와 같이 일측벽에 마련된 구동수단 출입구(116)와 반송 로봇의 구동부(120)와의 사이에 구비되어 전후방으로 출몰하는 안내부재(132)가 마련되며, 상술한 안내부재(132)는 레일로써, 양측은 고정형인 안내부재(130)의 그 내측에서 반송 챔버(110)의 외측으로 슬라이딩하여 직선 왕복 운동하는 연장부(133)로 이루어지고, 그 연장부(133)의 상부 영역에 이동판(134)이 구비된다. 또한, 상술한 안내부재(132)의 끝단에서 각각 외측으로 힌지 회동하여 반송 챔버(110)의 외측으로 연장되는 연장부(133)가 구비된다.

즉, 상술한 이동판(134)이 이동형 안내부재(132)에 고정되어 반송 로봇의 구동부(120)를 상술한 이동판(134)에 안착시킨 후 전방인 외부로 이동형 안내부재(132)에서 슬라이딩시켜 상술한 반송 로봇 구동부(120)의 반입 및 반출이 용이하게 실시된다.(도 4참조) 또한, 상술한 평상시에는 고정형 안내부재(132)의 끝단에 이동형 연장부(133)를 경첩에 의해 고정시켜 평상시에는 접혀있는 상태에서 반송 로봇의 구동부(120)를 반출할 경우 접혀있던 연장부(133)를 펴서 연장시킨다.

여기서, 상술한 반송 로봇의 구동부(120)를 안내부재(132)에 구비된 이동판(134)으로 이동하는 이동수단(도면에 미도시)이 반송 로봇의 구동부(120)의 후방에 구비가 가능하다.

그러므로, 본 발명의 평판표시소자 제조장치의 반송 챔버에서 반송 로봇을 반입 또는 반출시키는 과정은 도 2a, 도 2b 및 도 3에 도시된 바와 같이 상술한 반송 로봇의 유지 보수 필요성에 따라 반출이 요구되면 상술한 반송 챔버(110)의 진공을 해제시키고 일측벽에 마련된 구동수단 출입구(116)에서 일측이 힌지 회동하는 개폐문(114)을 개방한다.

그리고, 상술한 반송 챔버(110)의 상부커버(112)를 크레인으로 이동시킨 다음 구동부(120)에서 반송암(122)를 작업자가 분리하여 그 반송암(122)을 크레인으로 반송 챔버(110)의 외부로 이동한다.

그리고, 상술한 반송 로봇의 구동부(120)와 접한 상태로 하측에 마련된 수직방향 구동부(130)를 구동하여 그 반송 로봇의 구동부(120)가 안착된 반송 챔버 (110)의 바닥과의 기밀을 유지하는 기밀부재(O)의 손상을 방지할 수 있으면서 이동이 가능한 개폐문(114)과 상응한 높이만큼 상승시킨다.

그후, 도 4에 도시된 바와 같이 상술한 안내부재(132)중 연장부(133)에 결합된 이동판(134)에 반송 로봇의 구동부(120)를 상술한 이동판(134) 상부로 이동시키는 이동수단에 의해 안착시켜 연장부(133)를 외부를 향해 이동하게 되며, 그 연장부(133)가 안내부재(132)를 따라 슬라이딩하면서 반송 챔버(110) 외부로 위치된다.

그리고, 상술한 반송 로봇의 반송암(122) 및 구동부(120)를 유지 보수하며, 유지 보수가 완료되면 역순으로 반송 챔버(110)에 반입시킨다.

그러므로, 상술한 반송 챔버(110)의 일측벽에 마련되어 구동수단 출입구(116)를 개폐하는 개폐문(114)을 통해 반송 로봇을 반입 또는 반출시키므로 상술한 반송 챔버(110)가 대형화되어 크린룸 천정과의 간격이 좁아지더라도 반송 로봇의 구동부(120)를 크레인을 사용하지 않고 반입 또는 반출할 수 있다.

이와 같은 본 발명의 평판표시소자 제조장치는 반송 챔버 내부에 마련된 반송 로봇의 조립 및 유지 보수를 하기 위해 반입 또는 반출시키는 과정에서 반송 챔버 일측에 마련된 출입구를 통해 반송 로봇의 구동부를 반입 또는 반출하여 크레인 없이도 반입 또는 반출시킬 수 있으며, 그에 따라 반입과 반출하는 작업 시간이 감소하는 효과가 있다.

또한, 외부로 반출시 상술한 반송 챔버와 반송 로봇과의 기밀을 유지하는 기밀 부재의 손상됨을 방지함과 아울러 반송 로봇을 반송 챔버의 출입구의 위치까지 이동시키기 위해 반송 로봇의 하측에 구비한 수직방향 구동부에 의해 적정 높이만큼 상승하며, 반송 챔버의 개폐문 방향으로 출몰 또는 회동하여 그 반송 챔버의 외측으로 연장되는 안내부재에 의해 반입 또는 반출이 용이한 효과가 있다.

Claims

로드락 챔버, 반송 챔버, 공정 챔버로 이루어지는 평판표시소자 제조장치에 있어서,

상기 로드락 챔버 또는 공정 챔버들 간에 기판을 반송하기 위한 매개로 그 일측벽에 상기 구동부가 출입하도록 형성되는 구동수단 출입구와, 상기 구동수단 출입구에 구비되어 이 구동수단 출입구를 개폐하는 개폐문 및 상기 반송 챔버내 바닥에 개폐문을 향해 전방으로 직선 왕복 운동하도록 마련되어 반송 로봇의 출입 방향을 안내하는 안내 부재가 마련되는 반송 챔버;

상기 반송 챔버내 하측에 마련된 반송암과, 상기 반송암을 구동시키는 구동부가 상기 반송암의 저면에서 서로 결합하여 반송 챔버내 바닥면에 안착되는 반송 로봇;

상기 반송 챔버의 하측에 마련되어 상기 반송 로봇을 상기 개폐문의 위치까지 상승시키는 수직방향 구동부;를 포함하여 이루어지는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
제 1항에 있어서,

상기 반송 챔버의 출입구와 개폐문의 접촉면에 개입되어 기밀을 유지할 수 있게 기밀 부재가 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
삭제
제 1항에 있어서,

상기 안내 부재에는 수평되게 고정된 반송 챔버의 바닥면 내측에서 외측으로 슬라이딩하는 연장부가 더 마련되는 것을 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.
제 1항에 있어서,

상기 안내 부재에는 수평되게 고정된 반송 챔버의 바닥면 내측에서 외측으로 힌지 회동하는 연장부가 더 마련되는 특징으로 하는 평판표시소자 제조장치.