KR101005887B1 - 기판 처리 설비 - Google Patents

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Abstract

기판 처리 설비가 제공된다. 본 발명에 의하면, 기판 처리 설비는 처리부, 처리부와 제 1방향으로 배치되며, 처리부와 로드 포트 간에 기판을 이송하는 인덱스부, 그리고 제 1 방향과 상이한 제 2 방향으로 상기 인덱스부의 측부에 배치되며, 내부에 기판을 수용하는 카세트가 놓이는 로드 포트를 포함한다. 로드 포트는 카세트가 놓이는 오프너, 오프너로 이동되기 전에 카세트가 놓이는 대기 포트, 오프너와 대기 포트 간에 카세트를 이송하는 카세트 이송 유닛을 포함한다.

Description

기판 처리 설비{EQUIPMENT FOR TREATING SUBSTRATE}
본 발명은 반도체 기판을 제조하는 장치에 관한 것으로, 보다 상세하게는 반도체 기판을 처리하는 기판 처리 설비에 관한 것이다.
일반적으로 반도체 소자는, 기판인 웨이퍼(wafer)상에 여러 가지 물질을 박막형태로 증착하고 이를 패터닝하여 구현되는데, 이를 위하여 증착공정, 식각공정, 세정공정, 건조공정 등 여러 단계의 서로 다른 공정이 요구된다.
이러한 각각의 공정에서 처리 대상물인 기판은 해당공정의 진행에 적절한 환경을 가지고 있는 기판 처리 설비로 이송되어 처리된다. 이러한 기판 처리 설비는 로딩/언로딩부, 인덱스부, 인덱스 로봇, 버퍼부, 공정챔버, 기판 이송 로봇을 포함하는 구조로 이루어진다.
한국 공개특허 10-2007-95098은 로딩/언로딩부, 인덱스부, 버퍼부, 그리고 공정챔버가 일방향을 따라 배치되고, 인덱스 로봇이 각각의 카세트로부터 기판을 반출하는 기판 처리 설비에 대한 기술을 개시하고 있다.
그러나 상술한 기판 처리 설비에 의할 경우, 기판 이송 로봇이 버퍼부 양측의 공정 설비로 기판을 이송하는 경우 버퍼부와 충돌이 발생하므로, 버퍼부의 측부 영역은 공정에 사용되지 못하게 된다. 또한, 인덱스 로봇이 동일선상에 놓인 카세트로 이동하여 기판을 반송해야 하므로 인덱스 로봇의 이동 경로가 길게 형성된다. 따라서, 한국 공개특허 10-2007-95098에 개시된 기판 처리 설비는 설비크기가 커지고, 공간활용이 효율적으로 이루어지지 못한다. 또한, 기판 이송시 인덱스 로봇의 이동량이 많아지므로 기판 이송 효율이 저하된다.
본 발명의 목적은 설비크기가 축소되는 기판 처리 설비를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 공간을 효율적으로 활용하는 기판 처리 설비를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 기판의 이송 효율을 향상시킬 수 있는 기판 처리 설비를 제공하는 것이다.
또한, 본 발명의 목적은 카세트의 연속 공급이 가능한 기판 처리 설비를 제공하는 것이다.
본 발명은 기판 처리 설비를 제공한다. 본 발명의 실시예에 의하면, 기판 처리 설비는 처리부; 내부에 기판을 수용하는 카세트가 놓이는 로드 포트; 및 상기 처리부와 제 1방향으로 배치되며, 상기 처리부와 상기 로드 포트 간에 기판을 이송하는 인덱스부를 포함하되, 상기 로드 포트는 상기 제 1 방향과 상이한 제 2 방향으로 상기 인덱스부의 측부에 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 제 2 방향은 상기 제 1 방향에 수직한 것을 특징으로 한다.
상기 로드 포트는 카세트가 놓이는 오프너; 상기 오프너로 이동되기 전에 상기 카세트가 놓이는 대기 포트; 상기 오프너와 상기 대기 포트 간에 상기 카세트를 이송하는 카세트 이송 유닛을 포함한다.
상기 처리부는 상기 제 1 방향으로 이동하며, 기판을 반송하는 메인 이송 로 봇; 상기 메인 이송 로봇이 이동하는 이동 통로; 상기 제 1 방향을 따라 상기 이동 통로의 일측 또는 양측에 배치되며, 공정을 처리하는 다수의 챔버들; 및 상기 이동 통로와 상기 제 1 방향으로 배치되며, 이송되는 기판이 일시 대기하는 버퍼부를 포함하는 것을 특징으로 한다.
상기 오프너는 상기 인덱스부와 인접하여 배치되며, 상기 대기 포트는 상기 버퍼부와 인접하여 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 카세트 이송 유닛은 상기 카세트를 지지하는 카세트 지지부; 상기 카세트 지지부와 결합하고, 상기 카세트 지지부를 승강 및 회전시키는 제 1 구동부; 상기 제 1 구동부와 결합하고, 상기 제 1 방향으로 이동하는 이동 플레이트; 및 상기 이동 플레이트와 결합하고, 상기 이동 플레이트를 상기 제 1 방향으로 이동시키는 제 2 구동부를 포함한다.
상기 로드 포트는 상기 인덱스부의 양측에 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 처리부, 상기 인덱스부 그리고 상기 로드 포트는 상부에서 보았을 때, 전체적으로 직사각 형상으로 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 오프너는 상기 카세트 지지부를 수용하여 상기 카세트 지지부가 승강할 수 있는 공간을 제공하는 제 1 개구부가 형성된 것을 특징으로 한다.
상기 대기 포트는 상기 카세트 지지부를 수용하여 상기 카세트 지지부가 승강할 수 있는 공간을 제공하는 제 2 개구부가 형성된 것을 특징으로 한다.
본 발명의 다른 실시예에 의하면, 기판 처리 설비는 처리부; 내부에 기판을 수용하는 카세트가 놓이는 로드 포트; 및 상기 처리부와 제 1방향으로 배치되며, 상기 처리부와 상기 로드 포트 간에 기판을 이송하는 인덱스부를 포함하되, 상기 처리부는 상기 제 1 방향으로 이동하며, 기판을 반송하는 메인 이송 로봇; 상기 메인 이송 로봇이 이동하는 이동 통로; 상기 제 1 방향을 따라 상기 이동 통로의 일측 또는 양측에 배치되며, 공정을 처리하는 다수의 챔버들; 및 상기 이동 통로와 상기 제 1 방향으로 배치되며, 이송되는 기판이 일시 대기하는 버퍼부를 포함하고, 상기 로드 포트는 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 상기 인덱스부의 측부에 배치되며, 상기 로드 포트는 카세트가 놓이는 오프너; 상기 오프너로 이동되기 전에 상기 카세트가 놓이는 대기 포트; 상기 오프너와 상기 대기 포트 간에 상기 카세트를 이송하는 카세트 이송 유닛을 포함한다.
상기 카세트 이송 유닛은 상기 카세트를 지지하는 카세트 지지부; 상기 카세트 지지부와 결합하고, 상기 카세트 지지부를 승강 및 회전시키는 제 1 구동부; 상기 제 1 구동부와 결합하고, 상기 제 1 방향으로 이동하는 이동 플레이트; 및 상기 이동 플레이트와 결합하고, 상기 이동 플레이트를 상기 제 1 방향으로 이동시키는 제 2 구동부를 포함한다.
상기 오프너는 상기 인덱스부와 인접하여 배치되며, 상기 대기 포트는 상기 버퍼부와 인접하여 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 로드 포트는 상기 인덱스부의 양측에 배치되는 것을 특징으로 한다.
상기 처리부, 상기 인덱스부 그리고 상기 로드 포트는 상부에서 보았을 때, 전체적으로 직사각 형상으로 배치되는 것을 특징으로 한다.
본 발명에 따르면, 기판 처리 설비의 크기를 축소시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 기판 처리 설비의 공간을 효율적으로 활용할 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 기판의 이송 시간을 단축시킬 수 있다.
또한, 본 발명에 따르면, 카세트를 연속하여 공급할 수 있다.
이하, 본 발명의 실시예를 첨부된 도면 도 1 내지 5d 를 참조하여 더욱 상세하게 설명한다. 본 발명의 실시예는 여러가지 형태로 변형할 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래의 실시 예들로 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시예는 당업계에서 평균적인 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 완전하게 설명하기 위해 제공되는 것이다. 따라서 도면에서의 요소의 형상은 보다 명확한 설명을 강조하기 위해 과장되었다.
본 실시예에서 기판은 반도체 웨이퍼 또는 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display), 플라즈마 표시패널(Plasma Display Panel), 진공 형광 표시(Vacuum Fluorescent Display), 전계방출 디스플레이(FieldEmission Display), 전계 방광 디스플레이(Electro Luminescence Display)와 같은 평판 디스플레이(flat panel display) 소자를 제조하기 위한 기판일 수 있다.
도 1 은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 평면도이다. 도 2 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 정면도이다. 도 3 은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 사시도이다. 도 4 는 도 3 에 도시된 카세트 이송 유닛을 나타낸 도면이다.
도 1 내지 4 를 참조하면, 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비는 처리부(300), 인덱스부(200), 그리고 로드 포트(100)를 구비한다.
도 1 을 참조하면, 처리부(300)는 후방에 위치하며 기판에 대한 처리를 한다. 인덱스부(200)는 처리부(300)의 전방에 처리부(300)와 제 1 방향으로 배치되며, 처리부(300)와 로드 포트(100) 간에 기판을 이송한다. 로드 포트(100)는 제 1 방향과 상이한 제 2 방향으로 인덱스부(200)의 측부에 배치되고, 기판을 수용하는 카세트(C)가 놓인다.
(처리부)
처리부(300)는 다수의 챔버들(330), 메인 이송 로봇(Main Transfer Robot)(310), 이동 통로(320), 그리고 버퍼부(340)를 포함한다. 챔버들(330)은 처리부(300) 내부에서 이동통로(320)를 사이에 두고 서로 마주보도록 제 1 방향을 따라 배치되며, 상층과 하층의 복층 구조를 가질 수 있다. 챔버들(330)은 독립적인 모듈의 형태로 제공될 수 있다. 모듈이라 함은 각 챔버들(330)이 각각의 기판 처리 기능을 수행함에 있어서 독립적인 동작이 가능하도록 관련 파트들이 하나의 독립적인 하우징 내에 설치된 것을 말한다. 모듈의 형태로 제공되는 챔버들(330)은 기판 처리 설비의 레이아웃에 따라 처리부(300)를 구성하게 된다.
메인 이송 로봇(330)은 이동 통로(320)에 설치되며, 각 챔버들(330) 및 버퍼 부(340) 간에 기판을 이송한다. 메인 이송 로봇(330)은 버퍼부(340)에 대기하는 기판을 각 챔버(330)로 제공하거나, 챔버(330)에서 공정이 완료된 기판을 버퍼부(340)로 이송한다. 메인 이송 로봇(330)은 제 1 핸드부(미도시)와 제 2 핸드부(미도시)를 갖는다. 제 1 핸드부와 제 2 핸드부는 적어도 하나 이상의 핸드를 갖는다. 제 1 핸드부와 제 2 핸드부 중 어느 하나는 공정처리가 완료된 기판을 챔버(330)에서 인출하여 버퍼부(340) 상층에 수납하는 작업을 수행하며, 나머지 하나는 공정처리가 완료되지 않은 기판을 버퍼부(340) 하층에서 인출하여 챔버(330)로 이송하는 작업을 수행한다. 제 1 핸드부와 제 2 핸드부는 서로 다른 높이에 설치되며, 독립적으로 전후 이동될 수 있다. 제 1 핸드부와 제 2 핸드부는 기판이 올려지는 포켓부를 포함하며, 포켓부는 메인 이송 로봇(330)의 이동 및 핸드부의 이동시 기판이 이탈하는 것을 방지한다.
이동통로(320)는 처리부(300)내에 제 1 방향을 따라 구비되며, 메인 이송 로봇(310)이 이동하는 통로를 제공한다. 이동통로(320)의 양측에는 챔버들(330)이 서로 마주보며 제 1 방향을 따라 배치된다. 이동통로(320)에는 메인 이송 로봇(310)이 제 1 방향을 따라 이동할 수 있고, 챔버(330)의 상하층, 그리고 버퍼부(340)의 상하층으로 승강할 수 있는 이동 레일(321)이 설치된다.
버퍼부(340)는 메인 이송 로봇(310)에 의해 기판이 챔버(330)로 제공되기 전, 또는 챔버들(330)에서 공정이 완료된 기판이 인덱스 로봇(210)에 의해 로드 포트(100)로 반송되기 전에 일시적으로 대기하는 장소를 제공한다. 버퍼부(340)는 이동통로(320)의 제 1 방향 전방에 위치하며, 상층 또는 하층으로 상호 분리된 복층 구조를 가질 수 있다. 예컨대, 버퍼부(340)의 상층은 공정 처리가 끝난 기판이 카세트(C)로 이송되기 전에 대기하는 장소로 제공되고, 하층은 공정 처리를 위하여 기판이 각 챔버(330)로 이송되기 전에 대기하는 장소로 제공될 수 있다.
(인덱스부)
도 1 및 도 2를 참조하면, 인덱스부(200)는 처리부(300)와 제 1 방향으로 배치되며, 버퍼부(340)와 로드 포트(100)간에 기판을 이송한다. 인덱스부(200)는 인덱스 로봇(Indexer Robot)(210)과 인덱스 레일(220)을 포함한다. 인덱스 로봇(210)은 버퍼부(340)의 상층에 대기하는 기판을 카세트(C)로 이송하거나, 카세트(C)에서 대기하는 기판을 버퍼부(340)의 하층으로 이송한다. 인덱스 로봇(210)은 기판 이송을 위해 회전 및 승강이 가능하다. 인덱스 로봇(210)은 카세트(C)로부터 일 회 동작에 적어도 한 장의 기판을 반출하여 버퍼부(340)로 반입할 수 있다. 또한, 버퍼부(340)로부터 일 회 동작에 적어도 한 장의 기판을 반출하여 카세트(C)로 반입할 수 있다. 이를 위하여 인덱스 로봇(210)은 제 1 핸드부(미도시)와 제 2 핸드부(미도시)를 갖는다. 제 1 핸드부와 제 2 핸드부는 적어도 하나 이상의 핸드를 갖는다. 제 1 핸드부와 제 2 핸드부 중 어느 하나는 공정처리가 완료된 기판을 버퍼부(340)의 상층에서 인출하여 카세트(C)에 수납하는 작업을 수행하며, 나머지 하나는 공정처리가 완료되지 않은 기판을 카세트(C)로부터 인출하여 버퍼부(340)의 하층으로 이송하는 작업을 수행한다. 제 1 핸드부와 제 2 핸드부는 서로 다른 높이에 설치되며, 독립적으로 전후 이동될 수 있다. 제 1 핸드부와 제 2 핸드부는 기판이 올려지는 포켓부(미도시)를 포함하며, 포켓부는 인덱스 로봇의 이동 및 핸드부의 이동시 기판이 이탈하는 것을 방지한다. 인덱스 로봇(210)은 인덱스 레일(220)에 안착되어 제 2 방향으로 이동한다.
(로드 포트)
도 1 및 도 3 을 참조하면, 로드 포트(100)는 제 1 방향과 상이한 제 2 방향으로 인덱스부(200)의 측부에 배치된다.
본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 제 2 방향은 제 1 방향에 수직하다. 로드포트(100)가 인덱스부(200)와 제 2 방향으로 배치되는 경우, 기판 처리 설비의 제 1 방향 길이를 축소시킬 수 있다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 로드 포트(100)는 인덱스부(200)의 양측에 배치된다. 인덱스 로봇(210)이 카세트(C)와 버퍼부(340)간에 기판을 이송함에 있어, 카세트(C)가 인덱스부(200)의 일측에 구비된 것보다 양측에 구비된 경우, 더 많은 기판을 인출 및 수용시킬 수 있어 기판의 이송 속도를 높인다.
또한, 본 발명의 바람직한 실시예에 의하면, 처리부(300), 인덱스부(200), 그리고 로드 포트(100)는 상부에서 바라볼 때 전체적으로 직사각 형상으로 배치된다. 로드 포트(200)는 제 1 방향에 수직한 제 2 방향을 따라 인덱스부(200)의 측부에 배치되되, 제 1 방향을 따라 챔버들(330)과 동일 선상에 위치한다. 또는, 로드 포트(200)는 제 1 방향에 수직한 제 2 방향을 따라 인덱스부(200)의 양측에 배치되되, 인덱스부(200)를 사이에 두고 제 1 방향을 따라 챔버들(330)과 동일 선상에 위치한다. 이 경우, 인덱스부(200)의 제 2 방향의 폭은 이동통로(320)의 제 2방향의 폭과 거의 일치하게 되고, 인덱스 로봇(210)의 이동경로가 줄어들게 된다.
로드 포트(100)는 오프너(110), 대기 포트(120), 그리고 카세트 이송 유닛(140)을 포함한다.
오프너(110)는 카세트(C)가 놓이는 곳으로, 인덱스부(200)와 인접하게 배치된다. 오프너(110)는 평판형상으로, 상면에는 카세트(C)를 고정시키는 고정유닛(111)이 일정 간격으로 돌출되어 있다. 카세트(C)는 기판을 수평한 상태로 수납하여 운반 및 보관하는 300mm 기판용 밀폐형 저장 용기인 프론트 오픈 유니파이드 포드(Front Open Unified Pod: FOUP)(밀폐형 카세트)일 수 있다. 카세트(C)가 오프너(110)에 놓이면, 오프너(110)는 카세트(C) 도어가 도어 개폐부재(150)와 결합되도록 도어 개폐부재(150) 방향으로 수평이동한다. 오프너(110)는 카세트 지지부(141)를 수용할 수 있고, 카세트 지지부(141)가 승강할 수 있는 공간을 제공하는 제 1 개구부(112)를 형성한다. 제 1 개구부(112)의 형상은 지지 플레이트(142) 형상에 따라 결정된다. 인덱스부(200)의 측벽에는 도어 개페부재(150)가 설치된다. 도어 개폐부재(150)는 인덱스부(200) 측벽에 설치되며 카세트(C) 도어를 오픈(open)한다. 도어 개폐부재(150)가 카세트(C) 도어와 결합하여 도어를 탈착함으로써 카세트(C) 도어는 오픈된다.
대기 포트(120)는 카세트(C)가 오프너(110)로 이동하기 전에 놓이는 곳으로 버퍼부(340)와 인접하게 배치된다. 대기 포트(120)는 평판형상으로, 상면에는 카세트(C)가 지정된 위치에 놓이도록 안내하는 안내 유닛(121)이 일정간격으로 돌출되어 있다. 로드 포트(100)는 카세트 지지부(141)를 수용할 수 있고, 카세트 지지부(141)가 승강할 수 있는 공간을 제공하는 제 2 개구부(122)를 형성한다. 제 2 개구부(122)의 형상은 지지 플레이트(142) 형상에 따라 결정된다. 제 2 개구부(122)는 카세트 지지부(141)가 직선이동하여 제 1 개구부(112)에 수용되도록 제 1 개구부(112)와 마주보며 동일선상에 위치한다.
도 3 및 도 4를 참조하면, 카세트 이송 유닛(140)은 오프너(110)와 대기 포트(120) 사이에 설치되며, 오프너(110)와 대기 포트(120) 간에 카세트(C)를 이송한다. 카세트 이송 유닛(140)은 카세트 지지부(141), 제 1 구동부(144), 이동 플레이트(145), 그리고 제 2 구동부(146)를 포함한다.
카세트 지지부(141)는 카세트(C)가 놓이는 지지 플레이트(142)와 지지 플레이트(142)를 지지하는 지지축(143)을 포함한다. 지지 플레이트(142)는 평판으로 다양한 형상으로 구비될 수 있다. 지지 플레이트(142)의 상단에는 돌출부(142a)가 다수 형성되어 카세트 이송 유닛(140)의 이동 및 지지 플레이트(142)의 회전시 카세트(C)가 지지 플레이트(142)로부터 이탈되는 것을 방지한다. 지지 플레이트(142)의 하단은 지지축(143)의 일단과 연결된다. 지지축(143)은 지지 플레이트(142)를 지지하며, 지지 플레이트(142)를 승강 및 회전 시킨다. 지지축(143)의 타단은 제 1 구동부(144)와 결합한다. 제 1 구동부(144)는 외부로부터 인가된 전력을 이용하여 지지축(143)을 승강 및 회전시킨다. 지지축(143)의 승강 및 회전으로 지지 플레이트(142)가 승강 및 회전한다. 제 1 구동부(144)는 이동 플레이트(145)의 상단과 결합한다. 이동 플레이트(145)는 평판형상으로 가이드 레일(147)을 따라 제 1 방향으로 이동한다. 이동 플레이트(145)의 상단에는 제 2 구동부(146)가 더 포함된 다. 제 2 구동부(146)는 외부에서 인가된 전력을 이용하여 이동 플레이트(145)를 가이드 레일(147)을 따라 제 1 방향으로 이동시킨다. 가이드 레일(147)은 오프너(110)와 대기 포트(120) 사이에 설치되며, 카세트 이송 유닛(140)이 오프너(110)와 대기 포트(120) 사이를 이동할 수 있도록 안내한다.
(카세트 공급 과정)
본 발명의 기판 처리 설비에서의 카세트(C) 공급 과정을 살펴보면 다음과 같다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 카세트(C) 공급 과정을 나타내는 도면이다.
도 5a 내지 도 5d 를 참조하면, 이송 수단(미도시)에 의하여 이송된 카세트(C)는 카세트(C) 하단에 형성된 홈과 안내 유닛(121)이 결합하도록 대기 포트(120)의 지정된 위치에 놓인다. 카세트(C)가 대기 포트(120)에 놓이면 카세트 이송 유닛(140)은 제 2 개구부(122)로 이동하여 카세트(C)의 하부에 위치한다. 또는 카세트(C)가 대기 포트(120)에 놓이기 전에 카세트 이송 유닛(140)이 제 2 개구부(122)의 하부에 먼저 위치할 수 있다. 카세트 이송 유닛(140)은 제 1 구동부(144)의 구동으로 카세트 지지부(141)를 승강시키고, 카세트 지지부(141)의 승강으로 카세트(C)는 대기 포트(120)의 상부로 승강된다. 이 때, 카세트(C)의 하단 홈과 돌출부(142a)가 결합하여 카세트 이송 유닛(140)의 이동시 카세트(C)가 이탈하는 것을 방지한다.
대기 포트(120)의 상부로 승강된 카세트(C)는 카세트 이송 유닛(140)의 이동 에 의하여 오프너(110) 상부로 이동한다. 카세트 이송 유닛(140)은 제 2 구동부(146)의 구동으로 가이드 레일(147)을 따라 오프너(110)로 이동하여 제 1 개구부에 수용된다.
오프너(110) 상부에 위치한 카세트(C)는 지지축(143)의 회전에 의하여 카세트(C) 도어가 도어 개폐부재(150)를 향하도록 회전된다. 지지축(143)은 제 1 구동부(144)의 구동으로 회전한다.
카세트(C) 도어가 도어 개폐부재(150)를 향하도록 회전된 카세트(C)는 카세트 지지부(141)의 하강으로 오프너(110)에 놓인다. 카세트(C)는 카세트(C)의 하단에 형성된 홈과 고정유닛(111)이 결합하도록 지정된 위치에 놓이며, 카세트(C) 도어는 도어 개폐부재(150)와 동일선상에서 마주한다. 카세트 이송 유닛(140)은 카세트 지지부(141)가 제 1 개구부(112) 하부로 하강하면, 가이드 레일(147)을 따라 대기 포트(120)로 이동하며, 오프너(110)는 카세트(C) 도어가 도어 개폐부재(150)와 결합되도록 도어 개폐부재(150) 방향으로 수평이동한다. 카세트(C) 도어가 도어 개폐부재(150)와 결합하면, 도어 개폐부재(150)는 카세트(C) 도어를 탈착시킨다. 그리고 카세트(C)에 수용된 기판은 인덱스 로봇(210)에 의해 반출되어 버퍼부(340)로 이송되며, 이후 각 챔버들(330)에 제공된다.
이상의 상세한 설명은 본 발명을 예시하는 것이다. 또한, 전술한 내용은 본 발명의 바람직한 실시 형태를 나태 내고 설명하는 것이며, 본 발명은 다양한 다른 조합, 변경 및 환경에서 사용할 수 있다. 즉 본 명세서에 개시된 발명의 개념의 범 위, 저술한 개시 내용과 균등한 범위 및/또는 당 업계의 기술 또는 지식의 범위 내에서 변경 또는 수정이 가능하다. 저술한 실시예는 본 발명의 기술적 사상을 구현하기 위한 최선의 상태를 설명하는 것이며, 본 발명의 구체적인 적용 분야 및 용도에서 요구되는 다양한 변경도 가능하다. 따라서 이상의 발명의 상세한 설명은 개시된 실시 상태로 본 발명을 제한하려는 의도가 아니다. 또한, 첨부된 청구범위는 다른 실시 상태도 포함하는 것으로 해석되어야 한다.
도 1 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 평면도이다.
도 2 은 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 정면도이다.
도 3 는 본 발명의 실시예에 따른 기판 처리 설비의 일부를 도시한 사시도이다.
도 4는 도 3에 도시된 카세트 이송 유닛의 구성을 나타내는 도면이다.
도 5a 내지 도 5d는 본 발명의 실시예에 따른 카세트 이송 방법을 나타내는 도면이다.

Claims (15)

  1. 처리부;
    내부에 기판을 수용하는 카세트가 놓이는 로드 포트; 및
    상기 처리부와 제 1방향으로 배치되며, 상기 처리부와 상기 로드 포트 간에 기판을 이송하는 인덱스부를 포함하되,
    상기 로드 포트는 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 상기 인덱스부의 측부에 배치되며, ,
    상기 로드 포트는
    카세트가 놓이는 오프너;
    상기 오프너로 이동되기 전에 상기 카세트가 놓이는 대기 포트;
    상기 오프너와 상기 대기 포트 간에 상기 카세트를 이송하는 카세트 이송 유닛을 포함하며,
    상기 카세트 이송 유닛은
    상기 카세트를 지지하는 카세트 지지부;
    상기 카세트 지지부와 결합하고, 상기 카세트 지지부를 승강 및 회전시키는 제 1 구동부;
    상기 제 1 구동부와 결합하고, 상기 제 1 방향으로 이동하는 이동 플레이트; 및
    상기 이동 플레이트와 결합하고, 상기 이동 플레이트를 상기 제 1 방향으로 이동시키는 제 2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제 1 항에 있어서,
    상기 처리부는
    상기 제 1 방향으로 이동하며, 기판을 반송하는 메인 이송 로봇;
    상기 메인 이송 로봇이 이동하는 이동 통로;
    상기 제 1 방향을 따라 상기 이동 통로의 일측 또는 양측에 배치되며, 공정을 처리하는 다수의 챔버들; 및
    상기 이동 통로와 상기 제 1 방향으로 배치되며, 이송되는 기판이 일시 대기하는 버퍼부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 오프너는 상기 인덱스부와 인접하여 배치되며, 상기 대기 포트는 상기 버퍼부와 인접하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  6. 삭제
  7. 제 1 항, 제 4 항, 및 제 5 항 중 어느 한 항에 있어서,
    상기 로드 포트는 상기 인덱스부의 양측에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  8. 제 1항에 있어서,
    상기 처리부, 상기 인덱스부 그리고 상기 로드 포트는 상부에서 보았을 때, 전체적으로 직사각 형상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  9. 제 1 항에 있어서,
    상기 오프너는 상기 카세트 지지부를 수용하여 상기 카세트 지지부가 승강 할 수 있는 공간을 제공하는 제 1 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  10. 제 1 항에 있어서,
    상기 대기 포트는 상기 카세트 지지부를 수용하여 상기 카세트 지지부가 승강할 수 있는 공간을 제공하는 제 2 개구부가 형성된 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  11. 처리부;
    내부에 기판을 수용하는 카세트가 놓이는 로드 포트; 및
    상기 처리부와 제 1방향으로 배치되며, 상기 처리부와 상기 로드 포트 간에 기판을 이송하는 인덱스부를 포함하되,
    상기 처리부는
    상기 제 1 방향으로 이동하며, 기판을 반송하는 메인 이송 로봇;
    상기 메인 이송 로봇이 이동하는 이동 통로;
    상기 제 1 방향을 따라 상기 이동 통로의 일측 또는 양측에 배치되며, 공정을 처리하는 다수의 챔버들; 및
    상기 이동 통로와 상기 제 1 방향으로 배치되며, 이송되는 기판이 일시 대기하는 버퍼부를 포함하고,
    상기 로드 포트는 상기 제 1 방향에 수직한 제 2 방향으로 상기 인덱스부의 측부에 배치되며,
    상기 로드 포트는
    카세트가 놓이는 오프너;
    상기 오프너로 이동되기 전에 상기 카세트가 놓이는 대기 포트;
    상기 오프너와 상기 대기 포트 간에 상기 카세트를 이송하는 카세트 이송 유닛을 포함하며,
    상기 카세트 이송 유닛은
    상기 카세트를 지지하는 카세트 지지부;
    상기 카세트 지지부와 결합하고, 상기 카세트 지지부를 승강 및 회전시키는 제 1 구동부;
    상기 제 1 구동부와 결합하고, 상기 제 1 방향으로 이동하는 이동 플레이트; 및
    상기 이동 플레이트와 결합하고, 상기 이동 플레이트를 상기 제 1 방향으로 이동시키는 제 2 구동부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  12. 삭제
  13. 제 11 항에 있어서,
    상기 오프너는 상기 인덱스부와 인접하여 배치되며, 상기 대기 포트는 상기 버퍼부와 인접하여 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  14. 제 11 항에 있어서,
    상기 로드 포트는 상기 인덱스부의 양측에 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
  15. 제 11 항 또는 14 항에 있어서,
    상기 처리부, 상기 인덱스부 그리고 상기 로드 포트는 상부에서 보았을 때, 전체적으로 직사각 형상으로 배치되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 설비.
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