JP2010241510A - 自動倉庫システム及びその容器移載方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】クリーンルームのコンパクト化、かつ、高清浄度化を達成可能な自動倉庫システム及びその容器移載方法を提供するものである。
【解決手段】本発明に係る自動倉庫システムは、クリーンルーム11内に配置されるものであり、容器14を格納する棚13を垂直方向に複数段設け、容器14をその棚13と搬入出ポート12との間で移載する移載手段16を棚13と平行に設けると共に、その移載手段16に棚16の側に向かって伸長自在なベース部材24を設けてなり、そのベース部材24は、固定系のベース本体71と、ベース本体71の長手方向に伸長自在なスライド部材72と、スライド部材72の上面に設けられ、スライド部材72の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材73とを備えたものである。
【選択図】図1
【解決手段】本発明に係る自動倉庫システムは、クリーンルーム11内に配置されるものであり、容器14を格納する棚13を垂直方向に複数段設け、容器14をその棚13と搬入出ポート12との間で移載する移載手段16を棚13と平行に設けると共に、その移載手段16に棚16の側に向かって伸長自在なベース部材24を設けてなり、そのベース部材24は、固定系のベース本体71と、ベース本体71の長手方向に伸長自在なスライド部材72と、スライド部材72の上面に設けられ、スライド部材72の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材73とを備えたものである。
【選択図】図1
Description
本発明は、自動倉庫システム及びその容器移載方法に係り、特に、棚に格納された容器を移載手段で搬入出ポートに移載する自動倉庫システム及びその容器移載方法に関するものである。
塵埃や菌の付着が好ましくない被処理物、例えば、FPD用ガラス基板、半導体ウエハ、食品、医薬品などについては、クリーンルーム内で各種の処理を行うことがある。そして、これらの処理を行う際、複数の被処理物を容器内に予め収納しておき、この容器をクリーンルーム内の棚に格納し、この棚に格納された容器を移載手段によりローダーに移載し、容器内の被処理物を一つずつ各処理装置に供給する自動倉庫システムがある(例えば、特許文献1参照)。処理装置で処理された各被処理物はアンローダーにより容器内に回収され、その容器は移載手段により別の異なる自動倉庫へと搬送される。
ここで、本願の他の先行技術文献として、以下に示す特許文献2〜4が挙げられる。
特開2006−256844号公報
特開平7−285615号公報
特開平7−215414号公報
特開平6−257311号公報
ところで、従来の自動倉庫システムにおいては、移載手段として荷昇降式のスタッカークレーンが用いられることが多い。このスタッカークレーンは、走行案内レールに沿って移動する駆動部と、その駆動部に対して垂直に設けられるガイドフレーム部と、そのガイドフレーム部に沿って上下するフォークとで構成される。実際に荷物(容器)の出し入れを行うフォークは、ほぼフォーク全体を荷物の下に潜り込ませ(差し込み)、上昇させることで、荷物の持ち上げを行い、その後、フォークを引き戻すことで荷物の取り出しを行っている。このため、フォークで荷物を持ち上げるには、荷物の上下に、持ち上げのための空間とフォーク差し込み空間とを設ける必要があった。すなわち、荷物の上下に大きな空間(デッドスペース)を必要とし、必然的に棚のサイズが大きくなってしまうという問題があった。クリーンルーム内に配置される自動倉庫システムにおいては、クリーンルームのサイズが大きくなるほど、ランニングコストが高くなることから、省スペース化、コンパクト化が求められており、棚の大きさは小さいほど好ましい。
しかしながら、自動倉庫システムの移載手段としてフォークを用いた荷昇降式のスタッカークレーンを用いる場合、クリーンルームの省スペース化、コンパクト化には限界があった。
しかしながら、自動倉庫システムの移載手段としてフォークを用いた荷昇降式のスタッカークレーンを用いる場合、クリーンルームの省スペース化、コンパクト化には限界があった。
また、荷物(容器)が格納される棚には、荷物の出し入れ性、搬送性を容易にするためにガイドローラが設けられることがあるが、荷物がガイドローラ上を搬送される際に僅かではあるが塵埃が発生する。クリーンルーム内に配置される自動倉庫システムにおいては、この荷物の搬送時に発生する僅かな塵埃がクリーンルーム内の清浄度(クリーン度)に悪影響を及ぼすため、この塵埃の低減又は発生の防止が求められている。
以上の事情を考慮して創案された本発明の目的は、クリーンルームのコンパクト化、かつ、高清浄度化を達成可能な自動倉庫システム及びその容器移載方法を提供することにある。
上記目的を達成すべく本発明に係る自動倉庫システムは、クリーンルーム内に設けられる自動倉庫システムであって、棚に被処理物を収容する容器を格納し、その容器を搬入出ポートに移載するものであり、
上記容器を格納する上記棚を垂直方向に複数段設け、
上記容器をその棚と上記搬入出ポートとの間で移載する移載手段を棚と平行に設けると共に、その移載手段に棚側に向かって伸長自在なベース部材を設けてなり、
そのベース部材は、棚側に向かって延びる固定系のベース本体と、ベース本体の長手方向に伸長自在なスライド部材と、スライド部材の上面に設けられ、スライド部材の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材とを備え、
スライド部材を伸長させ、爪部材をスライドさせると共に、爪部材を上昇させた際に、その爪部材を上記容器の移載手段側底面に予め設けておいた係合部に係合させ、上記容器の取り出しを行うものである。
上記容器を格納する上記棚を垂直方向に複数段設け、
上記容器をその棚と上記搬入出ポートとの間で移載する移載手段を棚と平行に設けると共に、その移載手段に棚側に向かって伸長自在なベース部材を設けてなり、
そのベース部材は、棚側に向かって延びる固定系のベース本体と、ベース本体の長手方向に伸長自在なスライド部材と、スライド部材の上面に設けられ、スライド部材の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材とを備え、
スライド部材を伸長させ、爪部材をスライドさせると共に、爪部材を上昇させた際に、その爪部材を上記容器の移載手段側底面に予め設けておいた係合部に係合させ、上記容器の取り出しを行うものである。
以上の構成によれば、棚に格納された容器をベース部材にて取り出す際に、従来のフォークのように容器を持ち上げる必要がないため、容器の上下のデッドスペースが小さくなり、棚の大きさを小さくすることができる。
ここで、上記移載手段がスタッカークレーンであり、上記棚と平行に設けた走行案内レールと、その走行案内レールに沿って移動する駆動部と、その駆動部に対して垂直に設けられる門形のガイドフレーム部と、そのガイドフレーム部に係合して設けられ、ガイドフレーム部に沿って昇降自在なリフトと、そのリフトと一体に設けられる上記ベース部材およびそのベース部材と並行に設けられる複数のガイド部材とを備えていてもよい。
また、上記棚は、垂直に延びる柱部材と、水平に延びる梁部材と、その梁部材で支持され、上記容器が載置される容器支持部材とを備え、その容器支持部材は両側の中空のフレーム部材に中央の中空のフレーム部材を直交させて、かつ、それぞれを連通させて組み合わせてなり、その容器支持部材の、両側フレーム部材に容器の移載をガイドするガイドローラを、ローラ面の一部を露出させた状態で所定間隔に埋設すると共に、中央フレーム部材に第1吸引ダクトを設けてもよい。
また、上記第1吸引ダクトに吸引手段を接続し、上記容器支持部材内の雰囲気ガスを吸引するようにしてもよい。
また、上記ベース部材のスライド部材先端に第2吸引ダクトを設けると共に、上記第1吸引ダクトと第2吸引ダクトとを接続自在に設け、上記第2吸引ダクトに吸引手段を接続し、上記容器支持部材内の雰囲気ガスを吸引するようにしてもよい。
一方、本発明に係る自動倉庫システムの容器移載方法は、クリーンルーム内に設けられる自動倉庫システムであって、棚に被処理物を収容する容器を格納し、その容器を搬入出ポートに移載するものであり、
上記容器を格納する上記棚を垂直方向に複数段設け、
容器をその棚と上記搬入出ポートとの間で移載する移載手段を、棚と平行に設けた走行案内レールに係合して設けると共に、その移載手段に棚側に向かって伸長自在なベース部材を設けてなり、
そのベース部材は、棚側に向かって延びる固定系のベース本体と、ベース本体の長手方向に伸長自在なスライド部材と、スライド部材の上面に設けられ、スライド部材の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材とを備え、
棚の所定位置に移載手段のベース部材を移動させる第1位置合わせ工程と、
ベース部材のスライド部材を伸長させてスライド部材の先端部を容器底面に潜り込ませると共に、爪部材をスライド部材先端側にスライドさせ、容器の移載手段側底面に予め設けておいた係合部と対向する位置に爪部材を移動させるスライド工程と、
爪部材を上昇させ、爪部材と上記係合部とを係合する係合工程と、
爪部材をスライド部材根元側にスライドさせると共に、スライド部材を収縮させ、容器を棚から移載手段に移し変える搬出工程と、
を含むものである。
上記容器を格納する上記棚を垂直方向に複数段設け、
容器をその棚と上記搬入出ポートとの間で移載する移載手段を、棚と平行に設けた走行案内レールに係合して設けると共に、その移載手段に棚側に向かって伸長自在なベース部材を設けてなり、
そのベース部材は、棚側に向かって延びる固定系のベース本体と、ベース本体の長手方向に伸長自在なスライド部材と、スライド部材の上面に設けられ、スライド部材の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材とを備え、
棚の所定位置に移載手段のベース部材を移動させる第1位置合わせ工程と、
ベース部材のスライド部材を伸長させてスライド部材の先端部を容器底面に潜り込ませると共に、爪部材をスライド部材先端側にスライドさせ、容器の移載手段側底面に予め設けておいた係合部と対向する位置に爪部材を移動させるスライド工程と、
爪部材を上昇させ、爪部材と上記係合部とを係合する係合工程と、
爪部材をスライド部材根元側にスライドさせると共に、スライド部材を収縮させ、容器を棚から移載手段に移し変える搬出工程と、
を含むものである。
以上の方法によれば、棚に格納された容器をベース部材にて引き出すだけで、移載手段に移し変えることができ、従来のフォークのように容器を持ち上げる工程を必要としない。
ここで、上記搬出工程の後、上記搬入出ポートの所定位置に上記移載手段の上記ベース部材を移動させる第2位置合わせ工程と、
ベース部材の上記スライド部材を伸長させて上記容器の先端部を搬入出ポートの上面に載せると共に、上記爪部材をスライド部材先端側にスライドさせて容器を搬入出ポートに移し変える搬入工程と、
爪部材と上記係合部との係合を解除し、爪部材を下降させる係合解除工程と、
をさらに含むことが好ましい。
ベース部材の上記スライド部材を伸長させて上記容器の先端部を搬入出ポートの上面に載せると共に、上記爪部材をスライド部材先端側にスライドさせて容器を搬入出ポートに移し変える搬入工程と、
爪部材と上記係合部との係合を解除し、爪部材を下降させる係合解除工程と、
をさらに含むことが好ましい。
本発明によれば、棚の容器格納空間を、容器の大きさとあまり変わらない程度に形成することができるという優れた効果を発揮する。
以下、本発明の好適一実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
本発明の好適一実施の形態に係る自動倉庫システムの全体斜視図を図1に示す。
図1に示すように、本実施の形態に係る自動倉庫システムは、搬入出ポート12と、搬入出ポート12の上部に設けられる棚13と、棚13に格納される容器14と、搬入出ポート12および棚13に平行に設けられ、容器14を棚13と搬入出ポート12との間で移載する移載手段16とで主に構成される。搬入出ポート12、棚13、および移載手段16は殻体11で覆われ、この殻体11の内部がクリーンルームとなる。容器(例えば、ワイヤーカセット)14内には複数の被処理物(例えば、FPD用のガラス基板)15が収容され、また、容器14の移載手段側底面には後述するチャック73と係合させるための係合部(図示せず)が形成される。また、殻体11の外側で、搬入出ポート12と隣接する箇所に処理装置10が設けられる。
本発明の好適一実施の形態に係る自動倉庫システムの全体斜視図を図1に示す。
図1に示すように、本実施の形態に係る自動倉庫システムは、搬入出ポート12と、搬入出ポート12の上部に設けられる棚13と、棚13に格納される容器14と、搬入出ポート12および棚13に平行に設けられ、容器14を棚13と搬入出ポート12との間で移載する移載手段16とで主に構成される。搬入出ポート12、棚13、および移載手段16は殻体11で覆われ、この殻体11の内部がクリーンルームとなる。容器(例えば、ワイヤーカセット)14内には複数の被処理物(例えば、FPD用のガラス基板)15が収容され、また、容器14の移載手段側底面には後述するチャック73と係合させるための係合部(図示せず)が形成される。また、殻体11の外側で、搬入出ポート12と隣接する箇所に処理装置10が設けられる。
搬入出ポート12は、図5に示すように、処理装置10に容器14内のガラス基板15を矢印53の方向に供給するローダー51と、処理後のガラス基板15を矢印54の方向に処理装置10から回収して容器14内に収容するアンローダー52とで構成される。処理装置10に臨んでローダー51およびアンローダー52が平行に設けられる。
棚13は、図2および図3に示すように、垂直に延びる柱部材45と、水平に延びる梁部材46と、その梁部材46で支持される容器支持部材47とで構成され、搬入出ポート12の上部に垂直方向に2段、水平方向に2列に設けられる。棚13の段数、列数は任意であり、3段以上、3列以上であってもよく、設置スペースに応じて適宜増減される。
棚13は、図2および図3に示すように、垂直に延びる柱部材45と、水平に延びる梁部材46と、その梁部材46で支持される容器支持部材47とで構成され、搬入出ポート12の上部に垂直方向に2段、水平方向に2列に設けられる。棚13の段数、列数は任意であり、3段以上、3列以上であってもよく、設置スペースに応じて適宜増減される。
容器支持部材47は、前述した矢印53、54の方向に延びる中空の各側フレーム部材48、48および各側フレーム部材48、48と直交する中空の中央フレーム部材50で構成され、各側フレーム部材48、48と中央フレーム部材50とがH字形に組み合わされ、各中空部がそれぞれ連通されている。各側フレーム部材48、48に対する中央フレーム部材50の取り付け位置は、移載手段16側に寄った位置とされる。また、中央フレーム部材50の移載手段16と臨む面に、後述する第1吸引ダクト75が設けられる。
図12に示すように、各側フレーム部材48、48内には、多数のガイドローラ49が、長手方向(図12中では左右方向)に沿って所定間隔で、かつ、ガイドローラ49のローラ面の一部が、各側フレーム部材48、48の上面に形成された隙間205から露出した状態で配置される。また、各側フレーム部材48、48の、棚奥側(図12中では左側)には固定ストッパ201が設けられ、棚手前側(移載手段16側、図12中では左側)には可動ストッパ202が設けられる。可動ストッパ202は、矢印207の方向に昇降自在なシリンダ203にストッパ板204を設けてなる。ガイドローラ49は従動ローラであり、自らは駆動しない。また、可動ストッパ202の代わりに、棚手前側における数個のガイドローラ49に、矢印208の方向にしか回転しないよう、例えばばねストッパなどのストッパ機構(図示せず)を取り付けるようにしてもよい。この場合、ストッパ機構は、後述する第1吸引ダクト75と第2吸引ダクト76との接続時に、そのロックが解除される。シリンダ203の駆動源としてはエア、電気などが好ましい。
移載手段16は、図2に示すように、搬入出ポート12および棚13に平行に設けられ、床に敷設される第1走行案内レール20と、その第1走行案内レール20に沿って移動する駆動部21と、その駆動部21に対して垂直に設けられる門形のガイドフレーム部23と、そのガイドフレーム部23に係合して設けられ、ガイドフレーム部23に沿って昇降自在なリフト32と、そのリフト32と一体に設けられるベース部材24およびそのベース部材24と並行に設けられるガイド部材25、25とで構成される。駆動部21上には、駆動部21の駆動、制御およびリフト32の昇降、制御を行うための駆動・制御手段22が設けられる。また、駆動部21上には、後述する吸引手段(真空ポンプ)29が設けられる。また、第1走行案内レール20とは別に、天井にも第2走行案内レール33が敷設され、この第2走行案内レール33を、図5に示すように、フレーム本体30の頂部から延びるアーム34、35にそれぞれ取り付けたローラ55、55が両側から挟み込み、第2走行案内レール33とアーム34、35とが係合される。第1走行案内レール20には、図示しない電力供給ラインが組み込まれており、この電力供給ラインを介して電力が取り出され、様々な駆動装置に供給される。電力の取り出し方式はクリーンルーム内で使用されることから非接触方式が好ましく、また、電力供給ラインは第1走行案内レール20ではなく第2走行案内レール33に組み込んでもよい。
ガイドフレーム部23は、図6に示すように、門形のフレーム本体30の内側垂直部に、ガイド部材31、31を設けてなる。また、リフト32は、水平部61の両端に、スライダ部62、62を立設してなる。ガイドフレーム部23のガイド部材31、31にリフト32のスライダ部62、62が係合され、リフト32がガイド部材31、31に沿って昇降自在となっている。また、リフト32の水平部61上に、ベース部材24およびガイド部材25,25が載置、固定される。
ベース部材24は、図7に示すように、水平部61(リフト32)に固定される固定系のベース本体71の上に、ベース本体71の長手方向(図7中では矢印77の方向)に伸長自在なスライド部材72を設け、スライド部材72の上面に、スライド部材72の長手方向(図7中では矢印78の方向)にスライド自在で、かつ、昇降自在なチャック(爪部材)73を設けてなる。スライド部材72およびチャック73のスライド機構としては、ねじ機構、ベルト機構またはラック・アンド・ピニオン機構などが挙げられる。また、チャック73の昇降機構としては、ラック・アンド・ピニオン機構、ねじ機構またはベルト機構などが挙げられる。さらに、チャック73は、容器14の係合部を確実に把持できるものであれば特に限定するものではない。
また、図2に示すように、ガイド部材25、25の中空フレーム41内には、多数のガイドローラ42が、長手方向に沿って所定間隔で、かつ、ガイドローラ42のローラ面の一部が中空フレーム41の上面から露出した状態で配置される。ガイド部材25、25は前述した側フレーム部材48、48と同様の構成であり、また、ガイドローラ42はガイドローラ49と同様に従動ローラであり、自らは駆動しない。ガイド部材25の本数は2本に限定するものではなく、3本以上であってもよい。また、両ガイド部材25、25とリフト32の水平部61との固定部は一部開口させ、両ガイド部材25、25とリフト32が連通して設けられる。
ベース部材24をより詳しく説明すると、例えば図7に示すように、ベース本体71を構成するベース本体フレーム101内に、その長手方向に沿って第1ボールねじ102が回動自在に設けられ、この第1ボールねじ102に第1モータ103が接続される。また、ベース本体フレーム101内に、その長手方向に沿って第1ガイドレール104が設けられる。さらに、ベース本体フレーム101には、その長手方向に沿ってスリット111が形成される。そして、第1スライダ105が、第1ボールねじ102に螺合して、第1ガイドレール104に係合して、かつ、その先端がスリット111から突出させて設けられる。第1ボールねじ102(第1モータ103)の回動駆動に伴い、第1スライダ105が第1ガイドレール104に沿って矢印77の方向にスライド移動する。そして、この第1スライダ105のスリット111から突出した先端がスライド部材72のスライダ本体フレーム106に固定され、第1スライダ105のスライド移動により、スライド部材72が伸長、収縮する。スリット111は、ベース本体フレーム101内への塵埃の進入を塞ぐべく、カバー部材(図示せず)で覆われる。このカバー部材は、第1スライダ105のスライド移動を妨げることなく、かつ、後述する吸引時にベース本体フレーム101内を気密に保つことができるものとされる。
また、スライド部材72を構成するスライダ本体フレーム106内に、その長手方向に沿って第2ボールねじ107が回動自在に設けられ、この第2ボールねじ107に第2モータ108が接続される。また、スライダ本体フレーム106内に、その長手方向に沿って第2ガイドレール109が設けられる。さらに、スライダ本体フレーム106には、その長手方向に沿ってスリット112が形成される。そして、第2スライダ110が、第2ボールねじ107に螺合して、第2ガイドレール109に係合して、かつ、その先端がスリット112から突出させて設けられる。第2ボールねじ107(第2モータ108)の回動駆動に伴い、第2スライダ110が第2ガイドレール109に沿ってスライド移動する。そして、この第2スライダ110のスリット112から突出した先端がチャック73に固定され、第2スライダ110のスライド移動により、チャック73が矢印78の方向にスライド移動する。第1モータ103および第2モータ108は図示しない制御手段に接続され、その回動駆動が制御される。スリット112も、スリット111と同様に、ベース本体フレーム106内への塵埃の進入を塞ぐべく、カバー部材(図示せず)で覆われる。
また、チャック73は、例えば図8に示すように、第2スライダ110上に昇降機構81を設け、その昇降機構81上にチャック開閉機構82を設けてなる。
より詳細には、昇降機構81は、有底矩形筒体の本体部83内に昇降手段(例えば、シリンダ)84を設け、そのシリンダ84にピストン板85を接続し、そのピストン板85の下面に本体部83の内壁に若干の隙間を有して当接する断面矩形状の筒体86を設けてなる。ピストン板85の上にチャック開閉機構82が設けられる。シリンダ84の駆動により、本体部83の内壁に沿って筒体86が案内され、ピストン板85が矢印88の方向に昇降する。シリンダ84の駆動源としてはエア、電気などが好ましい。
より詳細には、昇降機構81は、有底矩形筒体の本体部83内に昇降手段(例えば、シリンダ)84を設け、そのシリンダ84にピストン板85を接続し、そのピストン板85の下面に本体部83の内壁に若干の隙間を有して当接する断面矩形状の筒体86を設けてなる。ピストン板85の上にチャック開閉機構82が設けられる。シリンダ84の駆動により、本体部83の内壁に沿って筒体86が案内され、ピストン板85が矢印88の方向に昇降する。シリンダ84の駆動源としてはエア、電気などが好ましい。
チャック開閉機構82は、矩形箱体の本体部87内に、チャック73のスライド方向と同じ方向に、間隔を設けて2本のガイドレール91、91が設けられる。これらのガイドレール91、91に跨ってセンター部材93が係合して設けられ、このセンター部材93を挟むように、かつ、ガイドレール91、91に跨ってスライド部材94、95が係合して、かつ、その先端がスリット100から突出させて設けられる。このスライド部材94、95上に、断面コ字状のチャック本体98,99が向かい合わせに設けられる。また、センター部材93に対して垂直に軸96が回動自在に設けられ、この軸96にモータ90が接続される。また、センター部材93の下方には、ラック支持部材120が軸96に接続して設けられる。スリット100も、スリット111、112と同様に、本体部87内への塵埃の進入を塞ぐべく、カバー部材(図示せず)で覆われる。
このラック支持部材120には、軸96と接続される位置に穴121が形成され、穴121を挟む位置に、ガイドレール91、91と平行に穴122が形成される。この穴121にピニオン92が嵌入されると共に、穴122にラック部材123、124が挿通され、このピニオン92に軸96が接続される。ラック部材123、124の穴121に面した部分にはラック97が形成され、ピニオン92とラック部材123、124とでラック・アンド・ピニオンが構成される。ラック部材123は一端のみがスライド部材94に固定され、他端はフリーとなっている。一方、ラック部材124はスライド自在であり、両端がスライド部材94、95に固定される。モータ90による軸96の回動に伴ってラック・アンド・ピニオンが作動し、チャック本体98、99が矢印89の方向に開閉する。
一方、図7における要部(破線で囲んだ部分)の拡大斜視図を図10に示すように、スライド部材72の先端には、中央フレーム部材50に設けた第1吸引ダクト75に接続される第2吸引ダクト76が設けられる。
第1吸引ダクト75は、厚円板状の基部142の先端に、有蓋円筒状の接続部141を設けてなり、接続部141の蓋中央には第1穴131が形成されており、その第1穴131の周りに複数個(図10中では3個を図示)の第1ピン孔132が等間隔に形成される。図11(a)、図11(b)に示すように、基部142には環状の吸引孔143が形成されており、基部142における吸引孔143の内側部分に付勢部材(ばね)140の一端が接続され、ばね140の他端に第1蓋部材136が設けられる。この第1蓋部材136は、円板部147の一端面側中央に凸部137を設けてなり、円板部147の他端面側がばね140と接続される。凸部137の先端は第1穴131から突出して設けられる。円板部147の一端面側周縁部にはOリング135aが設けられ、このOリング135aは、ばね140で付勢された円板部147を介して、第1ピン孔132の外周部を取り囲むように接続部141の蓋裏に当接される。Oリング135aは、接続部141の蓋裏周縁部に設けてもよい。
第2吸引ダクト76は、厚円板状の基部145の先端に、有蓋円筒状の接続部144を設けてなり、接続部144の蓋中央には第2穴133が形成されており、その第2穴133の周りに、第1ピン孔132と対向する位置に第2ピン孔134が形成されている。基部145には円弧状の吸引孔146が形成されており、基部145における吸引孔146の内側部分に付勢部材(ばね)150の一端が接続され、ばね150の他端に第2蓋部材138が設けられる。この第2蓋部材138は、円板部139に、その一端面側の第2ピン孔134と対向する位置にピン152を設けてなり、円板部139の他端面側がばね150と接続される。各ピン152の先端は各第2ピン孔134から突出して設けられる。接続部144の蓋裏の、第2ピン孔134の内周部および外周部にはOリング135b、135bが設けられ、これらのOリング135b、135bに、ばね150で付勢された円板部139の周縁部が当接される。接続部144の蓋表周縁部にはOリング135cが設けられる。各ピン152の長さは、凸部137の長さと同等またはほぼ同等に形成される。付勢手段としては、ばね150の代わりにシリンダを用いてもよい。Oリング135b、135bは円板部139の一端側周縁部に設けてもよく、また、Oリング135cは接続部141の蓋表周縁部に設けてもよい。
図7に示すように、中央フレーム部材50における第1吸引ダクト75の取り付け部には環状穴173が形成されており、この環状穴173を介して、前述した基部142の吸引孔143と中央フレーム部材50の中空部174とが連通される。また、スライド部材72におけるスライダ本体フレーム106の先端部分には円弧状穴171が形成されており、この円弧状穴171を介して、前述した基部145の吸引孔146とスライダ本体フレーム106の内部とが連通される。また、スライダ本体フレーム106と第1スライダ105との固定部には、スライド部材72とベース本体71とを連通するための開口172が設けられる。これにより、スライダ本体フレーム106の内部とベース本体フレーム101の内部とが連通される。ベース本体フレーム101の内部とリフト32における水平部61の内部とは、開口175を介して連通される。
また、図8に示すように、第2スライダ110と本体部83との固定部には、スライド部材72と昇降機構81とを連通するための開口115が設けられる。また、ピストン板85と本体部87との固定部には、昇降機構81とチャック開閉機構82とを連通するための開口116が設けられる。これにより、スライダ本体フレーム106の内部とチャック73の内部とが連通される。
可動部(リフト32)と固定部(ガイドフレーム23および真空ポンプ29)との間の吸引機構については、本出願人らが以前に出願した特許出願(例えば、特開2000−243808号公報)などに記載されているように周知の技術であって、特に限定するものではなく、慣用的に用いられている吸引機構を適用することができる。これらの吸引機構を採用することにより、容器支持部材47、チャック73も含めたベース部材24、両ガイド部材25、25、リフト32、ガイドフレーム23および真空ポンプ29が連通され、吸引可能となる。
次に、本実施の形態に係る自動倉庫システムを用いた容器移載方法を説明する。
<容器14を棚13から移載手段16に移載するプロセス>
(第1位置合わせ工程)
先ず、第1走行案内レール20および第2走行案内レール33に沿って、移載手段16を移動させ、棚13の所定列の前に位置させる。次に、移載手段16のリフト32を上昇させ、ベース部材24および両ガイド部材25、25を棚13の所定段に位置させる。この時、制御手段およびセンサなどの測位手段を用い、移載手段16およびリフト32の正確な位置決めが行なわれる。この位置決めによって、図13(a)に示すように、容器支持部材47の各側フレーム部材48,48と対向する位置に両ガイド部材25、25が位置され、中央フレーム部材50の第1吸引ダクト75と対向する位置にベース部材24の第2吸引ダクト76が位置される。
<容器14を棚13から移載手段16に移載するプロセス>
(第1位置合わせ工程)
先ず、第1走行案内レール20および第2走行案内レール33に沿って、移載手段16を移動させ、棚13の所定列の前に位置させる。次に、移載手段16のリフト32を上昇させ、ベース部材24および両ガイド部材25、25を棚13の所定段に位置させる。この時、制御手段およびセンサなどの測位手段を用い、移載手段16およびリフト32の正確な位置決めが行なわれる。この位置決めによって、図13(a)に示すように、容器支持部材47の各側フレーム部材48,48と対向する位置に両ガイド部材25、25が位置され、中央フレーム部材50の第1吸引ダクト75と対向する位置にベース部材24の第2吸引ダクト76が位置される。
(スライド工程)
図7に示したモータ103をある方向に回転駆動させてベース部材24のスライド部材72を矢印77の左方向に伸長させ、図13(b)に示すように、スライド部材72の先端部を容器支持部材47に載置された容器14の底面に潜り込ませ、スライド部材72の先端に設けた第2吸引ダクト76が、容器支持部材47の中央フレーム部材50に設けた第1吸引ダクト75に接続される。
図7に示したモータ103をある方向に回転駆動させてベース部材24のスライド部材72を矢印77の左方向に伸長させ、図13(b)に示すように、スライド部材72の先端部を容器支持部材47に載置された容器14の底面に潜り込ませ、スライド部材72の先端に設けた第2吸引ダクト76が、容器支持部材47の中央フレーム部材50に設けた第1吸引ダクト75に接続される。
これらの接続時に、図11(b)に示したように、第2吸引ダクト76のピン152が第1ピン孔132に挿通されると共に、第1吸引ダクト75の凸部137が第2穴133に挿通される。ピン152は、第1ピン孔132のガイドにより第1蓋部材136の円板部147に当接される。また、凸部137は、第2穴133のガイドにより第2蓋部材138の円板部139に当接される。円板部147は、ばね140により矢印162の方向に付勢されているが、ピン152の当接により矢印161の方向に押され、第1蓋部材136による接続部141のシールが解除される。また、円板部139は、ばね150により矢印161の方向に付勢されているが、凸部137の当接により矢印162の方向に押され、第2蓋部材138による接続部144のシールが解除され、接続が完了する。第1吸引ダクト75および第2吸引ダクト76の接続部はOリング135cによりシールされる。第1吸引ダクト75および第2吸引ダクト76の接続完了後、真空ポンプ29による吸引をスタートさせ、図12に示したように各側フレーム部材48、48の内部およびその周囲の雰囲気ガス206、および両ガイド部材25、25における中空フレーム41の内部およびその周囲の雰囲気ガスが真空ポンプ29で吸引される。
また、この接続完了後、容器支持部材47における可動ストッパ202が駆動し、ストッパ板204が矢印207の下方向に下降して容器14のストッパが解除され、容器14の引き出しが可能となる。
次に、モータ108をある方向に回転駆動させてチャック73をスライド部材72の先端側(矢印78の左方向)にスライドさせ、容器14における移載手段側底面に予め設けておいた係合部(図示せず)と対向する位置にチャック73を位置させる。
スライド工程における位置合わせも、前述した第1位置合わせ工程と同様に、制御手段およびセンサなどの測位手段を用い、チャック73および第2吸引ダクト76(スライド部材72)の正確な位置決めが行なわれる。
スライド工程における位置合わせも、前述した第1位置合わせ工程と同様に、制御手段およびセンサなどの測位手段を用い、チャック73および第2吸引ダクト76(スライド部材72)の正確な位置決めが行なわれる。
(係合工程)
図8に示したシリンダ84を駆動させてチャック73を矢印88の上方向に上昇させ、係合部内にチャック73を嵌入させる。次に、モータ90をある方向に回転駆動させ、チャック本体98、99が近接する方向にスライド部材94、95をスライド移動させてチャック73が閉じる。これによって、係合部がチャック73で挟み込まれ、“ロック”がなされる。
図8に示したシリンダ84を駆動させてチャック73を矢印88の上方向に上昇させ、係合部内にチャック73を嵌入させる。次に、モータ90をある方向に回転駆動させ、チャック本体98、99が近接する方向にスライド部材94、95をスライド移動させてチャック73が閉じる。これによって、係合部がチャック73で挟み込まれ、“ロック”がなされる。
(搬出工程)
モータ108を逆方向に回転駆動させ、図13(c)に示すように、チャック73をスライド部材72の根元側(矢印78の右方向)にスライドさせ、容器支持部材47に載置されていた容器14をスライド部材72側に引き出し、容器14の一部を両ガイド部材25、25の上に載せる。次に、モータ103を逆方向に回転駆動させてスライド部材72を矢印77の右方向にスライドさせ、スライド部材72を収縮させる。これによって、容器14が、棚13の容器支持部材47上から移載手段16の両ガイド部材25、25上に移し変えられる。容器14の引き出し時に、容器14は各側フレーム部材48、48の各ガイドローラ49および両ガイド部材25、25の各ガイドローラ42と当接しており、各ガイドローラ49、42が回転することにより容器14が容易に取り出され、搬出される。
モータ108を逆方向に回転駆動させ、図13(c)に示すように、チャック73をスライド部材72の根元側(矢印78の右方向)にスライドさせ、容器支持部材47に載置されていた容器14をスライド部材72側に引き出し、容器14の一部を両ガイド部材25、25の上に載せる。次に、モータ103を逆方向に回転駆動させてスライド部材72を矢印77の右方向にスライドさせ、スライド部材72を収縮させる。これによって、容器14が、棚13の容器支持部材47上から移載手段16の両ガイド部材25、25上に移し変えられる。容器14の引き出し時に、容器14は各側フレーム部材48、48の各ガイドローラ49および両ガイド部材25、25の各ガイドローラ42と当接しており、各ガイドローラ49、42が回転することにより容器14が容易に取り出され、搬出される。
<容器14を移載手段16から搬入出ポート12に移載するプロセス>
(第2位置合わせ工程)
図4に示すように、容器14を載せた移載手段16を、第1走行案内レール20および第2走行案内レール33に沿って移動させ、搬入出ポート12の前に位置させる。次に、移載手段16のリフト32を上昇させ、ベース部材24および両ガイド部材25、25を搬入出ポート12の所定高さに位置させる。この時、制御手段およびセンサなどの測位手段を用い、移載手段16およびリフト32の正確な位置決めが行なわれる。
(第2位置合わせ工程)
図4に示すように、容器14を載せた移載手段16を、第1走行案内レール20および第2走行案内レール33に沿って移動させ、搬入出ポート12の前に位置させる。次に、移載手段16のリフト32を上昇させ、ベース部材24および両ガイド部材25、25を搬入出ポート12の所定高さに位置させる。この時、制御手段およびセンサなどの測位手段を用い、移載手段16およびリフト32の正確な位置決めが行なわれる。
(搬入工程)
図7に示したモータ103をある方向に回転駆動させてベース部材24のスライド部材72を矢印77の左方向に伸長させ、スライド部材72の先端部を搬入出ポート12に近接させ、ベース部材24および両ガイド部材25、25に載置されていた容器14を搬入出ポート12側に押し出し、容器14の一部を搬入出ポート12の上に載せる。
次に、モータ108をある方向に回転駆動させてチャック73をスライド部材72の先端側(矢印78の左方向)にスライドさせる。これによって、容器14が、移載手段16から搬入出ポート12に移し変えられる。
図7に示したモータ103をある方向に回転駆動させてベース部材24のスライド部材72を矢印77の左方向に伸長させ、スライド部材72の先端部を搬入出ポート12に近接させ、ベース部材24および両ガイド部材25、25に載置されていた容器14を搬入出ポート12側に押し出し、容器14の一部を搬入出ポート12の上に載せる。
次に、モータ108をある方向に回転駆動させてチャック73をスライド部材72の先端側(矢印78の左方向)にスライドさせる。これによって、容器14が、移載手段16から搬入出ポート12に移し変えられる。
(係合解除工程)
図8に示したモータ90を逆方向に回転駆動させ、チャック本体98、99が離間する方向にスライド部材94、95をスライド移動させてチャック73を開け、チャック73による係合部の“ロック”を解除する。次に、シリンダ84を駆動させてチャック73を矢印88の下方向に下降させる。
図8に示したモータ90を逆方向に回転駆動させ、チャック本体98、99が離間する方向にスライド部材94、95をスライド移動させてチャック73を開け、チャック73による係合部の“ロック”を解除する。次に、シリンダ84を駆動させてチャック73を矢印88の下方向に下降させる。
その後、モータ108を逆方向に回転駆動させてチャック73をスライド部材72の根元側(矢印78の右方向)にスライドさせ、次に、モータ103を逆方向に回転駆動させてスライド部材72を矢印77の右方向にスライドさせ、スライド部材72を収縮させる。これによって、容器14の移載プロセスが終了し、次の移載プロセスへと移る。
本実施の形態に係る自動倉庫システムによれば、棚13に格納された容器14の上下には必要最低限の隙間(空間)があればよく、従来のフォーク式の移載手段のように容器14の上下に大きなデッドスペースを必要としない。すなわち、棚13における容器一個当たりの格納空間を、従来のフォーク式の移載手段を用いた自動倉庫システムと比べて小さくすることができ、棚13の容器格納空間を容器14の大きさとあまり変わらない程度に形成することができる。その結果、棚13のサイズダウンを図ることができ、延いては、殻体11、すなわち、クリーンルームの省スペース化、コンパクト化を図ることができ、クリーンルームのランニングコストを低減することができる。
本実施の形態においては、容器14を棚13から取り出す際に、ベース部材24におけるスライド部材72の先端部のみを容器14の下に潜り込ませればよく、従来のフォーク式の移載手段のように、フォークをほぼ全長にわたって容器14の下に潜り込ませる必要がない。このため、本実施の形態においては、容器支持部材47の各側フレーム部材48,48に対する中央フレーム部材50の取り付け位置を、移載手段16寄りの位置にしたとしても、容器14の取り出し時において、スライド部材72のスライド移動を妨げることはない。その結果、容器支持部材47の内側に、高さはあまりないものの、まとまった大きさの空間を確保することができる。よって、この空間に様々な装置を配置することが可能となり、例えば、容器14内をパージするための不活性ガスなどのガスタンクを、容器支持部材47ごとに配置することができる。
また、通常、容器14がガイドローラ上を搬送される際には、それらの当接部などにおいて僅かながら塵埃が発生する。しかしながら、本実施の形態においては、各側フレーム部材48、48と両ガイド部材25、25の内部およびそれらの周囲の雰囲気ガスを真空ポンプ29により吸引しているため、搬出工程において容器14をガイドローラ49、42でローラ搬送する際に発生する塵埃は、各側フレーム部材48、48および両ガイド部材25、25内に吸引される。その結果、クリーンルーム内における塵埃発生の大幅な低減を図ることができ、クリーンルーム内の清浄度をより高めることができると共に、清浄度を保つためのランニングコストの低減を図ることができる。
次に、本実施の形態の変形例を説明する。
第1吸引ダクト75を、容器支持部材47の中央フレーム部材50ではなく、各側フレーム部材48、48のいずれか一方に設け、第2吸引ダクト76を、ベース部材24の先端ではなく、両ガイド部材25、25の先端のいずれか一方に設けるようにしてもよい。この場合、吸引のための通路、ラインは、ベース部材24の内部ではなく、ガイド部材25の内部に設ければよいため、構造が簡単となる。
第1吸引ダクト75を、容器支持部材47の中央フレーム部材50ではなく、各側フレーム部材48、48のいずれか一方に設け、第2吸引ダクト76を、ベース部材24の先端ではなく、両ガイド部材25、25の先端のいずれか一方に設けるようにしてもよい。この場合、吸引のための通路、ラインは、ベース部材24の内部ではなく、ガイド部材25の内部に設ければよいため、構造が簡単となる。
また、第1吸引ダクト75を、容器支持部材47の中央フレーム部材50ではなく、各側フレーム部材48、48のそれぞれに設け、第2吸引ダクト76を、ベース部材24の先端ではなく、両ガイド部材25、25の先端のそれぞれに設けるようにしてもよい。この場合、吸引系が2系統になるが、吸引系が1系統の場合と比べて、容量の小さい、安価な真空ポンプ29の使用が可能となる。また、容器支持部材47の各側フレーム部材48、48と中央フレーム部材50を連通させる必要がなくなる。このため、中央フレーム部材50を中空フレーム部材で構成する必要がなく、各種形鋼(H形鋼、T形鋼、山形鋼など)の使用が可能となり、軽量化を図ることができる。
容器支持部材47は、中空フレーム部材をH字形に組み合わせた場合を例に挙げて説明したが、これに限定するものではなく、複数本の中央フレーム部材50を用いて梯子形に組み合わせた容器支持部材47であってもよい。これによって、容器14をより安定に支持することができる。
棚13の設置箇所は、必ずしも搬入出ポート12の上部である必要はなく、設置スペースに応じて適宜選択されるものであり、例えば、走行案内レール20を挟んで搬入出ポート12と反対側の位置に棚13を設けるようにしてもよい。また、棚13の梁部材46の代わりに仕切り板を用い、棚13を段ごとに完全に仕切るようにしてもよい。
また、本実施の形態においては、容器14内に収容される被処理物15としてFPD用のガラス基板を例に挙げて説明を行ったが、被処理物として半導体ウエハ、食品、医薬品などを収容した容器にも適用できる。
また、本実施の形態においては、容器14内に収容される被処理物15としてFPD用のガラス基板を例に挙げて説明を行ったが、被処理物として半導体ウエハ、食品、医薬品などを収容した容器にも適用できる。
次に、本発明の他の実施の形態を添付図面に基づいて説明する。
前実施の形態に係る自動倉庫システムは、搬入出ポート12の上部に設けられる棚13を走行案内レール20の片側のみに設けていた。これに対して、本実施の形態に係る自動倉庫システムは、棚13を走行案内レール20の両側に設けるものであり、移載手段16のベース部材の構成が異なる以外は、図1に示した自動倉庫システムと同じ構成を有する。よって、以下には相違点のみを説明する。
前実施の形態に係る自動倉庫システムは、搬入出ポート12の上部に設けられる棚13を走行案内レール20の片側のみに設けていた。これに対して、本実施の形態に係る自動倉庫システムは、棚13を走行案内レール20の両側に設けるものであり、移載手段16のベース部材の構成が異なる以外は、図1に示した自動倉庫システムと同じ構成を有する。よって、以下には相違点のみを説明する。
本実施の形態に係る自動倉庫システムのベース部材224は、走行案内レール20の両側に設けた棚13に格納された容器14に対する移載および両側の棚13、13の容器支持部材47に対する吸引とが可能なものである。
具体的には、図14に示すように、ベース部材224は、ベース本体71、スライド部材72およびチャック73で主に構成され、このスライド部材72の長手方向両端に第2吸引ダクト76、76が設けられる。第2吸引ダクト76、76をスライド部材72の両端に設けるのに伴い、図7に示したチャック73をスライド移動させるためのモータ108は、スライド部材72のスライド移動および第2吸引ダクト76と第1吸引ダクト75との接続を阻害しないよう、取り付け位置が適宜変更される。
本実施の形態によれば、一の棚13に格納された容器14に対してベース部材224をある方向に伸長させ、その容器14を取り出した後、そのまま、ベース部材224を反対側の方向に伸長させることで、走行案内レール20を挟んで一の棚13の反対側に設けた別の棚13に、容器14を搬入することができ、容器14の搬入・搬出の効率を大幅に向上させることができる。
以上、本発明は、上述した実施の形態に限定されるものではなく、他にも種々のものが想定されることは言うまでもない。
11 殻体(クリーンルーム)
12 搬入出ポート
13 棚
14 容器
16 移載手段
24 ベース部材
71 ベース本体
72 スライド部材
73 チャック(爪部材)
12 搬入出ポート
13 棚
14 容器
16 移載手段
24 ベース部材
71 ベース本体
72 スライド部材
73 チャック(爪部材)
Claims (7)
- クリーンルーム内に設けられる自動倉庫システムであって、棚に被処理物を収容する容器を格納し、その容器を搬入出ポートに移載する自動倉庫システムにおいて、
上記容器を格納する上記棚を垂直方向に複数段設け、
上記容器をその棚と上記搬入出ポートとの間で移載する移載手段を棚と平行に設けると共に、その移載手段に棚側に向かって伸長自在なベース部材を設けてなり、
そのベース部材は、棚側に向かって延びる固定系のベース本体と、ベース本体の長手方向に伸長自在なスライド部材と、スライド部材の上面に設けられ、スライド部材の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材とを備え、
スライド部材を伸長させ、爪部材をスライドさせると共に、爪部材を上昇させた際に、その爪部材を上記容器の移載手段側底面に予め設けておいた係合部に係合させ、上記容器の取り出しを行うことを特徴とする自動倉庫システム。 - 上記移載手段がスタッカークレーンであり、上記棚と平行に設けた走行案内レールと、その走行案内レールに沿って移動する駆動部と、その駆動部に対して垂直に設けられる門形のガイドフレーム部と、そのガイドフレーム部に係合して設けられ、ガイドフレーム部に沿って昇降自在なリフトと、そのリフトと一体に設けられる上記ベース部材およびそのベース部材と並行に設けられる複数のガイド部材とを備えた請求項1記載の自動倉庫システム。
- 上記棚は、垂直に延びる柱部材と、水平に延びる梁部材と、その梁部材で支持され、上記容器が載置される容器支持部材とを備え、その容器支持部材は両側の中空のフレーム部材に中央の中空のフレーム部材を直交させて、かつ、それぞれを連通させて組み合わせてなり、その容器支持部材の、両側フレーム部材に容器の移載をガイドするガイドローラを、ローラ面の一部を露出させた状態で所定間隔に埋設すると共に、中央フレーム部材に第1吸引ダクトを設けた請求項1記載の自動倉庫システム。
- 上記第1吸引ダクトに吸引手段を接続し、上記容器支持部材内の雰囲気ガスを吸引する請求項3記載の自動倉庫システム。
- 上記ベース部材のスライド部材先端に第2吸引ダクトを設けると共に、上記第1吸引ダクトと第2吸引ダクトとを接続自在に設け、上記第2吸引ダクトに吸引手段を接続し、上記容器支持部材内の雰囲気ガスを吸引する請求項3載の自動倉庫システム。
- クリーンルーム内に設けられる自動倉庫システムであって、棚に被処理物を収容する容器を格納し、その容器を搬入出ポートに移載する自動倉庫システムの容器移載方法において、
上記容器を格納する上記棚を垂直方向に複数段設け、
容器をその棚と上記搬入出ポートとの間で移載する移載手段を、棚と平行に設けた走行案内レールに係合して設けると共に、その移載手段に棚側に向かって伸長自在なベース部材を設けてなり、
そのベース部材は、棚側に向かって延びる固定系のベース本体と、ベース本体の長手方向に伸長自在なスライド部材と、スライド部材の上面に設けられ、スライド部材の長手方向にスライド自在で、かつ、昇降自在な爪部材とを備え、
棚の所定位置に移載手段のベース部材を移動させる第1位置合わせ工程と、
ベース部材のスライド部材を伸長させてスライド部材の先端部を容器底面に潜り込ませると共に、爪部材をスライド部材先端側にスライドさせ、容器の移載手段側底面に予め設けておいた係合部と対向する位置に爪部材を移動させるスライド工程と、
爪部材を上昇させ、爪部材と上記係合部とを係合する係合工程と、
爪部材をスライド部材根元側にスライドさせると共に、スライド部材を収縮させ、容器を棚から移載手段に移し変える搬出工程と、
を含むことを特徴とする自動倉庫システムの容器移載方法。 - 上記搬出工程の後、上記搬入出ポートの所定位置に上記移載手段の上記ベース部材を移動させる第2位置合わせ工程と、
ベース部材の上記スライド部材を伸長させて上記容器の先端部を搬入出ポートの上面に載せると共に、上記爪部材をスライド部材先端側にスライドさせて容器を搬入出ポートに移し変える搬入工程と、
爪部材と上記係合部との係合を解除し、爪部材を下降させる係合解除工程と、
をさらに含む請求項6記載の自動倉庫システムの容器移載方法。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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