JP4532499B2

JP4532499B2 - 容器搬送装置

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Publication number: JP4532499B2
Application number: JP2006537567A
Authority: JP
Inventors: 勝義橘
Original assignee: Hirata Corp
Current assignee: Hirata Corp
Priority date: 2004-09-24
Filing date: 2004-09-24
Publication date: 2010-08-25
Anticipated expiration: 2024-09-24
Also published as: WO2006035473A1; US20080075564A1; JPWO2006035473A1; EP1801869A4; EP1801869A1; CN101027767A

Description

本願の発明は、容器搬送装置に関し、特に半導体ウエハや液晶表示パネルを密閉状態で収容する容器を複数の処理装置間で搬送するのに使用される容器搬送装置に関する。

半導体ウエハの表面に塵埃や気化した有機物などの不純物が付着すると、ウエハは汚染されて、製品の歩留り、すなわち、良品率を低下させる。そこで、ウエハを複数の各種処理装置間で搬送するに際しては、複数枚のウエハをＦＯＵＰ（Front Opening Unified Pod ）と呼ばれる密閉されたクリーン度の高い容器に収納して、ＦＯＵＰごと搬送される。また、この搬送空間や処理装置自体も、クリーン度の高い環境に維持されることが重要であり、処理装置を囲むベイエリア内の空間をクリーンルームとして構成することが行なわれている。

ところで、このようなクリーンルームを維持するのには高いコストが掛かるので、搬送装置や処理装置、人の作業領域等を如何に合理的に配置して、クリーンルームをコンパクトに構成するかが、重要な関心事になっている。

クリーンルームのみならず、一般に、ベイエリア内の空間のコンパクト化に応えるために、搬送装置を床上に配置せずに、天上空間に配置することが行なわれている。このようにすると、搬送装置の下方の空間を容器の待機場所（バッファ）として利用したり、搬送装置を複数段に構成して搬送能力、搬送効率をアップしたり、人の作業領域として利用したりすることができ、クリーンルーム維持のためのコストの削減、搬送効率の向上等に資することができる。

このような天井走行式の搬送装置を利用したこの種容器搬送装置の１つとして、特表平１４−５３２３６２号公報に記載されたものがある。このものにおいては、その搬送装置は、半導体ウエハを収容する容器等の「物品を移送するための統合システム」と呼ばれていて、以下に述べるような構成を備えている。なお、ここで言われる「物品」は、容器等を指しており、容器等に収容される内容物を指してはいない。

ベイエリア内の天上空間には、物品を移動させるためのコンベアが、複数の処理装置の整列方向に沿って配設されている。このコンベアには、エレベータシステムが取り付けられていて、このエレベータシステムは、コンベアによって運ばれる物品に係合し、かつ、該物品をコンベアの上方に上昇させるように構成された昇降装置を備えている。この昇降装置は、該昇降装置を通過するコンベア経路に沿った物品の移動を可能にする待機位置と、該物品をコンベアの上方に保持する作動位置との間で、移動可能である。

この統合システムは、また、物品をバッファゾーン内で支持するための貯蔵支持アッセンブリと、昇降装置の作動位置と貯蔵支持アッセンブリとの間で物品を移動させるための変位機構と、物品をワークステーション（処理装置）に近接したワークステーションゾーン内で支持するためのワークステーション支持アッセンブリ（ロードポート）と、コンベア経路に沿った水平方向及び垂直方向に移動するように構成された移送アームと、該移送アームに取り付けられ、かつ、物品を把持するように構成されたグリッパと、移送アームの移動を制御するためのコントローラとを備えている。そして、この移送アームは、平面視してコンベアとワークステーションとにより挟まれた領域内を水平方向及び垂直方向に移動して、物品を貯蔵支持アッセンブリとワークステーション支持アッセンブリとの間で移送するようになっている。

したがって、この統合システムは、コンベア上の物品をワークステーション支持アッセンブリまで移送し、また、その逆に移送するのに、昇降装置、変位機構、移送アームの各作動を要し、しかも、その間に物品をバッファゾーン内で支持するための貯蔵支持アッセンブリを必要とする。このため、コンベアと複数のワークステーションとの間で物品を移送するのに、これら装置・機構の組合せ一式で済む反面、装置・機構の種類が増加し、システムの作動が複雑化する。また、移送アームの移動空間とコンベアの走行空間とが平面視して隣り合っているので、特にコンベアの下方に比較的大きな無駄な空間を生じ易いなど、ベイエリア内の空間のコンパクト化の点で、なお、改善の余地が残されたものとなっている。さらに、この統合システムでは、物品は、コンベアの上に直接載置されて搬送されるので、搬送の安定が損なわれる虞がないとは言えない。
特表平１４−５３２３６２号公報

本願の発明は、従来の容器搬送装置が有する前記のような問題点を解決して、ベイエリア内の空間のさらなるコンパクト化を達成するとともに、容器搬送のより一層の安定と安全とを図ることができる容器搬送装置を提供することを課題とする。

本願の発明によれば、このような課題は、次のような容器搬送装置により解決される。
すなわち、その容器搬送装置は、半導体ウエハや液晶表示パネル等、表面を汚染のない状態に保持して搬送することが求められる物品を密閉状態で収容する容器を、ベイエリア内の複数の処理装置間で搬送するために使用される容器搬送装置であって、前記ベイエリア内の天井空間に、複数の前記処理装置の整列方向に沿って配設されて、前記容器をパレットに載置した状態で移動させるためのコンベアと、前記コンベアの下方に配置された複数の前記処理装置の各ロードポート毎に設けられ、前記ロードポートと前記コンベアとの間で、前記容器を昇降させるための昇降装置と、前記パレットを前記コンベアに対して挿脱するパレット挿脱手段とを備え、前記パレット挿脱手段は、前記昇降装置が前記容器を前記コンベアよりわずかに高い位置にまで上昇させて、その位置に前記容器を保持した状態で、前記容器を載置する前記パレットを、前記コンベア上に挿入もしくは前記コンベア上から離脱させるようにされていることを特徴としている。

本願の発明によれば、このような課題は、次のような容器搬送装置により解決される。
すなわち、その容器搬送装置は、半導体ウエハや液晶表示パネルを密閉状態で収容する容器を、ベイエリア内の複数の処理装置間で搬送するために使用される容器搬送装置であって、前記ベイエリア内の天井空間に、複数の前記処理装置の整列方向に沿って配設されて、前記容器をパレットに載置した状態で移動させるためのコンベアと、前記コンベアの下方に配置された複数の前記処理装置の各ロードポート毎に設けられ、前記ロードポートと前記コンベアとの間で、前記容器を昇降させるための昇降装置と、前記パレットを前記コンベアに対して挿脱するパレット挿脱手段とを備え、前記パレット挿脱手段は、前記昇降装置が前記容器を前記コンベアよりわずかに高い位置にまで上昇させて、その位置に前記容器を保持した状態で、前記容器を載置する前記パレットを、前記コンベア上に挿入もしくは前記コンベア上から離脱させるようにされていることを特徴としている。

この結果、コンベア上の容器を、昇降装置、パレット挿脱手段の２つの種類の装置・手段の協動により、所定の処理装置のロードポートに移送することができ、また、所定の処理装置のロードポートから再びコンベアを経由して他の所定の処理装置のロードポートに移送することができることとなり、容器搬送装置の全体としての動作が比較的単純化され、その制御が単純化される。

また、昇降装置及びパレット挿脱手段の作動により、容器がコンベアラインから離脱させられて、ロードポートにまで降下させられ、再びコンベアラインに戻されるまでの間、コンベア上流側の容器のコンベアラインに沿った移動に支障を及ぼすことがない。
さらに、容器は、パレットに載置された状態でコンベアにより搬送されるので、容器の搬送が安定化する。

好ましい実施形態では、隣り合うロードポート間を仕切る垂直壁が設けられ、昇降装置の駆動機構は、該垂直壁に取り付けられている。これにより、垂直壁が安全カバーとして働くので、コンベアとロードポートとの間を移送中の容器やロードポート上に載置された容器にとって、容易に落下するなどの事故が防がれ、安全であり、また、作業者にとっても、作業の安全が確保される。また、垂直壁は、昇降装置の駆動機構の取付け部を兼ねるので、昇降装置をコンパクトにまとめることができる。

前記のとおり、本願の発明の容器搬送装置によれば、コンベア上の容器を、昇降装置、パレット挿脱手段の２つの種類の装置・手段の協動により、所定の処理装置のロードポートに移送することができ、また、所定の処理装置のロードポートから再びコンベアを経由して他の所定の処理装置のロードポートに移送することができ、容器搬送装置の全体としての動作が比較的単純化されて、その制御も単純化される。

また、昇降装置及びパレット挿脱手段の作動により、容器がコンベアラインから離脱させられて、ロードポートにまで降下させられ、再びコンベアラインに投入されるまでの間、コンベア上流側の容器のコンベアラインに沿った移動に支障を及ぼすことがない。
さらに、容器は、パレットに載置された状態でコンベアにより搬送されるので、容器の搬送が安定化する。

また、隣り合うロードポート間を仕切る垂直壁が設けられ、昇降装置の駆動機構が、該垂直壁に取り付けられることにより、垂直壁が安全カバーとして働くので、コンベアとロードポートとの間を移送中の容器やロードポート上に載置された容器にとって、容易に落下するなどの事故が防がれ、安全であり、また、作業者にとっても、作業の安全が確保されるとともに、垂直壁は、昇降装置の駆動機構の取付け部を兼ねるので、昇降装置をコンパクトに構成することができる。

図１は、本実施例の容器搬送装置が適用された半導体製造装置の一ベイエリア内の一部の斜視図である。図１の部分拡大図である。同ベイエリア内の一部の正面図である。図３の部分拡大図である。図４の右側面図である。隣り合うロードポート間を仕切る垂直壁の正面図であって、内部に収容された昇降手段を示す図である。図６の左側面図である。

符号の説明

１−ｎ…処理装置、２−ｎ…ＦＯＵＰオープナ、３…ＦＯＵＰ、４…ロードポート、５…コンベア、５ａ、５ｂ…軌条、６…パレット、６ａ、６ｂ…切欠き部、７…昇降装置、７ａ、７ｂ…駆動側、被駆動側昇降装置部分、８…垂直壁、９…ショルダープレート、１０…アーム、１１ａ、１１ｂ…ＬＭガイド、１２…ベルト伝導機構、１３ａ、１３ｂ…駆動側、従動側プーリ、１４…タイミングベルト、１５…駆動用減速機付きモータ、１６…カウンターシャフト、１７…テンショナ、２０…パレット挿脱手段、２１…スライダー、Ｓ…凹部空間

半導体ウエハや液晶表示パネルを密閉状態で収容する容器を、ベイエリア内の複数の処理装置間で搬送するために使用される容器搬送装置が、ベイエリア内の天井空間に複数の処理装置の整列方向に沿って配設されて、容器をパレットに載置した状態で移動させるためのコンベアと、該コンベアの下方に配置された複数の処理装置の各ロードポート毎に設けられ、該ロードポートとコンベアとの間で容器を昇降させるための昇降装置と、パレットをコンベアに対して挿脱するパレット挿脱手段とを備えている。パレット挿脱手段は、昇降装置が容器をコンベアよりわずかに高い位置にまで上昇させて、その位置に容器を保持した状態で、パレットをコンベア上に挿入もしくはコンベア上から離脱させるようにする。また、隣り合うロードポート間を仕切る垂直壁を設け、該垂直壁に昇降装置の駆動機構を取り付けるようにする。

次に、本願の発明の実施例について説明する。
本実施例の容器搬送装置が適用される半導体製造装置のベイエリアは、クリーンルームとして構成されており、半導体ウエハに種々の処理を施して集積回路に仕上げて行くための複数の処理装置を含んでいる。これら複数の処理装置は、通常、一定の方向に整列させられて配置され、あるいは又、一定の方向に整列させられて配置された複数の処理装置が、さらに並列されて配置されるといった具合に、処理工程に沿ったワーク搬送のフットプリントが最小になるように、その配置が工夫されている。半導体製造装置は、通常、このようなベイエリアが複数連設されることにより構成されている。

一方、ワークをなす半導体ウエハは、通常、その複数枚が密閉されたクリーン度の高い容器であるＦＯＵＰに収納されて搬送される。ＦＯＵＰ内では、ウエハは、水平にされて、間隔を開けて上下方向に積み重ねられている。そこで、前記のようにして整列させられて配置された複数の処理装置の各々において、ウエハに所定の処理を施すに当たっては、これら複数の処理装置の各々とＦＯＵＰとの間で、ウエハを外部の汚染された雰囲気に曝すことなく受渡しできるようにすることが必要であり、このために、ＦＯＵＰオープナと呼ばれるインターフェイスが使用されている。

このＦＯＵＰオープナは、通常、各処理装置の同じ側の壁部に取り付けられ、その複数が、全体として、複数の処理装置が整列させられた方向と同じ方向に整列させられて配置されている。このようなＦＯＵＰオープナは、ＦＯＵＰを所定の位置に位置決めして支持するロードポートと、ＦＯＵＰ内部と処理装置内部とを外部雰囲気の侵入を許すことなく連通させるためのオープナとを備えている。

ロードポートは、オープナがそのように作動するに際しては、その支持台上にＦＯＵＰを載置させた状態で、その支持台を処理装置の壁部に接近させて、オープナがＦＯＵＰのドアを開閉することができるようにする。オープナは、ＦＯＵＰのドアをＦＯＵＰ本体（シェル）から分離し、分離されたＦＯＵＰのドアを保持して、ウエハの受渡しに支障のない処理装置内部の所定の位置にまで後退する。また、ＦＯＵＰのドアを元の位置に戻してＦＯＵＰ本体（シェル）を密封するに際しては、その逆に作動する。

図１には、半導体製造装置を構成する一ベイエリア内の一部が示されており、その床面には、複数の処理装置１−１、１−２、・・・、１−ｎ、・・・が一定の方向に整列させられて設置されている。そして、これらの処理装置の前方の壁部には、ＦＯＵＰオープナ２−１、２−２、・・・、２−ｎ、・・・が取り付けられている。これらのＦＯＵＰオープナは、ＦＯＵＰ３を所定の位置に位置決めして支持するロードポート４と、詳細には図示されないが、ＦＯＵＰ３内部と各処理装置１−ｎ内部とを外部雰囲気の侵入を許すことなく連通させるためのオープナとを備えている。

また、そのベイエリア内の天井空間には、整列させられた複数のロードポート４の直上の位置に、コンベア５が配設されている。このコンベア５は、左右一対の軌条５ａ、５ｂと、図示されない駆動機構とからなり、左右一対の軌条５ａ、５ｂには、その長さ方向に沿って、複数のローラ（図示されず）がそれぞれ取り付けられている。ＦＯＵＰ３は、左右一対の軌条５ａ、５ｂに跨がり、これらのローラの上に乗って走行するパレット６の上に載置されて、この状態でコンベア５により移動させられる。このパレット６の、コンベア５の進行方向に見て前部、後部の左右方向中央部分には、後述する昇降装置７の把持爪１０が上下方向に通過し得るコの字状の切欠き部６ａ、６ｂがそれぞれ形成されている（図２参照）。

各ロードポート４には、該ロードポート４とコンベア５との間でＦＯＵＰ３を昇降させるための昇降装置７が設けられている。この昇降装置７は、駆動側昇降装置部分７ａと被駆動側昇降装置部分７ｂとの２つの部分からなり、これらが協働して、ＦＯＵＰ３を両側から保持し、これを昇降させるように作動する。これら２つの昇降装置部分７ａ、７ｂの各々は、隣り合うロードポート４、４間を仕切る垂直壁８に取り付けられており、その駆動機構は、該垂直壁８の縦長の凹部空間Ｓ内に収納されている。

次に、昇降装置７の詳細構造について説明する。
昇降装置７の駆動側昇降装置部分７ａには、図７に図示されるように、駆動用減速機付きモータ１５が設けられ、このモータ１５の回転により、同側の昇降装置部分７ａが作動するとともに、このモータ１５の回転の出力がカウンターシャフト１６を介して被駆動側昇降装置部分７ｂに伝達されることにより、同側の昇降装置部分７ｂが、駆動側昇降装置部分７ａと全く同じように作動するようになっている。したがって、駆動側昇降装置部分７ａと被駆動側昇降装置部分７ｂとは、駆動側昇降装置部分７ａが駆動用減速機付きモータ１５を備える点を除いて、全く同一の構成となっている。

そこで、この昇降装置７の詳細構造を、駆動側昇降装置部分７ａを例に取って説明する。昇降装置７は、図６及び図７により良く図示されるように、比較的広い面積を持ったショルダープレート９と、このショルダープレート９の上端部に固着されたＬ字状折曲板からなるアーム１０と、ショルダープレート９の昇降をガイドする図において左右一対のＬＭガイド１１ａ、１１ｂと、ショルダープレート９を昇降させるベルト伝導機構１２とから成っている。ベルト伝導機構１２は、上下一対の駆動側プーリ１３ａ、従動側プーリ１３ｂと、これらの間に架け渡されたタイミングベルト１４と、駆動側プーリ１３ａに連結されて、その回転の出力を直接に駆動側プーリ１３ａに伝達するように取り付けられた駆動用減速機付きモータ１５と、このモータ１５の回転の出力を被駆動側昇降装置部分７ｂに伝達するカウンターシャフト１６と、タイミングベルト１４の張力を調節するテンショナ１７とから成っている。

ショルダープレート９は、図６に図示されるように、略矩形状のプレートの一角が矩形状に切り落とされた形状をなしており、そのようにして切り落とされた側と反対側の一側部は、タイミングベルト１４に固着されていて、タイミングベルト１４が走行するとき、これと一体になって昇降する。また、アーム１０の先端部の上面には、詳細には図示されないが、突起が形成されており、これがＦＯＵＰ３の底面に形成された凹部と嵌まり合うことにより、ＦＯＵＰ３を位置決めしながら安定に支持するようになっている。

したがって、今、駆動用減速機付きモータ１５が正逆回転すると、駆動側昇降装置部分７ａ側の駆動側プーリ１３ａが正逆回転し、同時に、カウンターシャフト１６を介して被駆動側昇降装置部分７ｂの駆動側プーリ１３ａが正逆回転する。これにより、駆動側昇降装置部分７ａ側及び被駆動側昇降装置部分７ｂ側の両側で、一対のベルト伝導機構１２が正逆回転を始める。そうすると、同じく一対のショルダープレート９が、一対のアーム１０と一体になって、それぞれ同じように昇降する。

ここで、駆動用減速機付きモータ１５が正回転する場合を例に取ると、一対のショルダープレート９は、一対のアーム１０と一体になって上昇するが、この一対のアーム１０は、コンベア５上で待機しているパレット６の前部及び後部の切欠き部６ａ、６ｂをそれぞれ通過し、やがて、このパレット６上に載置されているＦＯＵＰ３の底面に衝突して、ＦＯＵＰ３を底面の前後両端部で掬い上げる。そして、ＦＯＵＰ３がアーム１０によりコンベア５よりわずかに高い位置ｈ（図５参照）にまで上昇させられる過程において、ショルダープレート９のコンベア５の進行方向に見て左右両肩部がパレット６の切欠き部６ａ、６ｂの各々の両開口端縁の底面に衝突して、パレット６を前後部の２個所で掬い上げる（図５の鎖線で描かれたパレット６の位置変化の過程参照）。

そして、ＦＯＵＰ３が昇降装置７（アーム１０）により、図５に図示されるコンベア５よりわずかに高い位置ｈにまで上昇させられると、ＦＯＵＰ３は、その位置で保持され、同様に、パレット６も、その位置に対応する所定の位置で保持される。図１〜図４は、この状態を図示したものである。

このとき、パレット６とコンベア５との間には、図４及び図５に図示されるように、水平方向から見てわずかの隙間ｔが形成されているので、この隙間ｔに後述するパレット挿脱手段２０のスライダー２１が進入して、次いで、昇降装置７がわずかに下降することにより、スライダー２１上にパレット６を降下させることができる。次いで、昇降装置７がさらにわずかに下降することにより、スライダー２１にパレット６を完全に渡すことができる。この状態において、スライダー２１が後退すれば、パレット６をコンベア５上から離脱させることができる。その後、逆に、スライダー２１がその上にパレット６を載置したまま前進すれば、パレット６をコンベア５上に再び挿入することができる。このように、スライダー２１がパレット６をコンベア５上から離脱させ、また、コンベア５上に挿入することができるようにする昇降装置７の位置を、以下、「パレット離脱・挿入位置」と呼ぶこととする。

次いで、パレット６をコンベア５に乗せるには、昇降装置７が一旦わずかに上昇して、その一対のショルダープレート９の左右両肩部がパレット６を前後部の２個所で押し上げるようにし、パレット６をスライダー２１による支持から解放すれば、スライダー２１が後退することができ、その後、昇降装置７が下降して、その一対のショルダープレート９の左右両肩部がコンベア５の上端の位置より深く下降するようにすれば、パレット６をコンベア５にまで降下させて、これに乗せることができる。

以後、昇降装置７がさらに深く下降を続ければ、ＦＯＵＰ３をパレット６にまで降下させて、これに載置することができる。このようにして、ＦＯＵＰ３は、コンベアラインに投入される。

ＦＯＵＰ３をコンベアラインから離脱させるには、スライダー２１がその上にパレット６を載置したまま後退して、パレット６をコンベア５上から離脱させた状態において、一対のアーム１０がＦＯＵＰ３を支持したまま、昇降装置７がコンベア５より下方に下降し続ければよい。そして、一対のアーム１０がロードポート４のＦＯＵＰ支持面を通過して、それよりもわずかに下方の位置にまで来れば、ＦＯＵＰ３は、ロードポート４の支持面に渡される。このとき、アーム１０の内方先端部がロードポート４の支持面に衝突しないように、この支持面には逃げが形成されている。

ロードポート４の支持面に渡されたＦＯＵＰ３は、次いで、処理装置１−ｎの壁部方向に前進させられ、図示されないオープナの作動により、外部雰囲気が流入することのないようにしてそのドアが開かれ、処理装置１−ｎとの間でウエハの受渡しが可能な状態にされる。

処理装置１−ｎにおいて、ウエハに所定の処理が施されると、このウエハは、処理装置内ロボットの作動により、ＦＯＵＰ３に戻され、このようにして所定枚数のウエハに所定の処理を施す作業が完了すると、再びオープナの作動により、ＦＯＵＰ３のドアが閉じられる。

次いで、昇降装置７が上昇して、その一対のアーム１０が、ロードポート４の支持面に載置されたＦＯＵＰ３を掬い上げ、これを支持しながら上昇する。昇降装置７がパレット離脱・挿入位置まで上昇し、パレット挿脱手段２０がパレット６をコンベア５上に挿入すれば、先に述べた要領にしたがって、ＦＯＵＰ３を再びコンベアラインに戻すことができる。

パレット挿脱手段２０は、各処理装置１−ｎの屋根に設置されている。パレット６の上面には、ＦＯＵＰ３の底面の所定の個所の凹部と係合して、ＦＯＵＰ３をパレット６の上面の所定の位置に位置決めして安定に保持するための突子６ｃが複数個取り付けられている。

本実施例は、前記のように構成されているので、次のような作用、効果を奏することができる。
昇降装置７は、該昇降装置７がＦＯＵＰ３をコンベア５よりわずかに高い位置（パレット離脱・挿入位置）にまで上昇させて、その位置にＦＯＵＰ３を保持した状態で、パレット挿脱手段２０がパレット６をコンベア５上に挿入したり、コンベア５上から離脱させたりすることにより、ＦＯＵＰ３をコンベアラインに投入したり、コンベアラインから離脱させて、これをロードポート４にまで降下させたりすることができるので、コンベア５上のＦＯＵＰ３を、昇降装置７、パレット挿脱手段２０の２つの種類の装置・手段の協動により、所定の処理装置１−ｎのロードポート４に移送することができ、また、所定の処理装置１−ｎのロードポート４から再びコンベア５を経由して他の所定の処理装置のロードポート４に移送することができることとなり、容器搬送装置の全体としての動作が比較的単純化されて、その制御が単純化される。

また、昇降装置７及びパレット挿脱手段２０の作動により、ＦＯＵＰ３がコンベアラインから離脱させられて、ロードポート４にまで降下させられ、再びコンベアラインに戻されるまでの間、コンベア上流側のＦＯＵＰ３のコンベアラインに沿った移動に支障を及ぼすことがない。さらに、ＦＯＵＰ３は、パレット６に載置された状態でコンベア５により搬送されるので、ＦＯＵＰ３の搬送が安定化する。

また、隣り合うロードポート４、４間を仕切る垂直壁８が設けられ、昇降装置７の駆動機構は、該垂直壁８に取り付けられているので、垂直壁８が安全カバーとして働くこととなり、コンベア５とロードポート４との間を移送中のＦＯＵＰ３やロードポート４上に載置されたＦＯＵＰ３にとって、容易に落下するなどの事故が防がれ、安全であり、また、作業者にとっても、作業の安全が確保される。加えて、垂直壁８は、昇降装置７の駆動機構の取付け部を兼ねることとなり、昇降装置７をコンパクトにまとめることができる。

なお、本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。
例えば、容器はＦＯＵＰとされたが、これに限られず、ＳＭＩＦ(Standard Mechanical Interface) とされてもよい。この場合には、ＦＯＵＰオープナも、ＳＭＩＦオープナに代えられる。

Claims

半導体ウエハや液晶表示パネルを密閉状態で収容する容器を、ベイエリア内の複数の処理装置間で搬送するために使用される容器搬送装置であって、
前記ベイエリア内の天井空間に、複数の前記処理装置の整列方向に沿って配設されて、前記容器をパレットに載置した状態で移動させるためのコンベアと、
前記コンベアの下方に配置された複数の前記処理装置の各ロードポート毎に設けられ、前記ロードポートと前記コンベアとの間で、前記容器を昇降させるための昇降装置と、
前記パレットを前記コンベアに対して挿脱するパレット挿脱手段とを備え、
前記パレット挿脱手段は、前記昇降装置が前記容器を前記コンベアよりわずかに高い位置にまで上昇させて、その位置に前記容器を保持した状態で、前記容器を載置する前記パレットを、前記コンベア上に挿入もしくは前記コンベア上から離脱させるようにされている
ことを特徴とする容器搬送装置。
隣り合う前記ロードポート間を仕切る垂直壁が設けられ、
前記昇降装置の駆動機構は、前記垂直壁に取り付けられている
ことを特徴とする請求項１に記載の容器搬送装置。