WO2006035473A1

WO2006035473A1 - 容器搬送装置

Info

Publication number: WO2006035473A1
Application number: PCT/JP2004/013886
Authority: WO
Inventors: Katsuyoshi Tachibana
Original assignee: Hirata Corporation
Priority date: 2004-09-24
Filing date: 2004-09-24
Publication date: 2006-04-06
Also published as: JPWO2006035473A1; CN101027767A; EP1801869A4; EP1801869A1; US20080075564A1; JP4532499B2

Abstract

　半導体ウエハや液晶表示パネル等、表面を汚染のない状態に保持して搬送することが求められる物品を密閉状態で収容する容器３をベイエリア内の複数の処理装置１−ｎ間で搬送するために使用される容器搬送装置が、ベイエリア内の天井空間に複数の処理装置１−ｎの整列方向に沿って配設されて、容器３をパレット６に載置した状態で移動させるためのコンベア５と、コンベア５の下方に配置された複数の処理装置１−ｎの各ロードポート４毎に設けられ、ロードポート４とコンベア５との間で、容器３を昇降させるための昇降装置７と、パレット６をコンベア５に対して挿脱するパレット挿脱手段２０とを備えている。この容器搬送装置によれば、ベイエリア内の空間のさらなるコンパクト化を達成するとともに、容器搬送のより一層の安定と安全とを図ることができる。

Description

明細書

容器搬送装置

技術分野

[0001] 本願の発明は、容器搬送装置に関し、特に半導体ウェハや液晶表示パネル等、表面を汚染のない状態に保持して搬送することが求められる物品を密閉状態で収容する容器を複数の処理装置間で搬送するのに使用される容器搬送装置に関する。背景技術

[0002] 半導体ウェハの表面に塵埃や気化した有機物などの不純物が付着すると、ウェハは汚染されて、製品の歩留り、すなわち、良品率を低下させる。そこで、ウェハを複数の各種処理装置間で搬送するに際しては、複数枚のウェハを FOUP (Front Opening Unified Pod )と呼ばれる密閉されたクリーン度の高い容器に収納して、 FO UPごと搬送される。また、この搬送空間や処理装置自体も、クリーン度の高い環境に維持されることが重要であり、処理装置を囲むベイエリア内の空間をクリーンルームとして構成することが行なわれて、る。

[0003] ところで、このようなクリーンルームを維持するのには高いコストが掛かるので、搬送装置や処理装置、人の作業領域等を如何に合理的に配置して、クリーンルームをコンパタトに構成するか力重要な関心事になっている。

[0004] クリーンルームのみならず、一般に、ベイエリア内の空間のコンパクトィ匕に応えるために、搬送装置を床上に配置せずに、天上空間に配置することが行なわれている。このようにすると、搬送装置の下方の空間を容器の待機場所 (バッファ）として利用したり、搬送装置を複数段に構成して搬送能力、搬送効率をアップしたり、人の作業領域として利用したりすることができ、クリーンルーム維持のためのコストの削減、搬送効率の向上等に資することができる。

[0005] このような天井走行式の搬送装置を利用したこの種容器搬送装置の 1つとして、特表平 14— 532362号公報に記載されたものがある。このものにおいては、その搬送装置は、半導体ウェハを収容する容器等の「物品を移送するための統合システム」と呼ばれていて、以下に述べるような構成を備えている。なお、ここで言われる「物品」は、容器等を指しており、容器等に収容される内容物を指してはいない。

[0006] ベイエリア内の天上空間には、物品を移動させるためのコンベア力複数の処理装置の整列方向に沿って配設されている。このコンベアには、エレベータシステムが取り付けられていて、このエレベータシステムは、コンベアによって運ばれる物品に係合し、かつ、該物品をコンベアの上方に上昇させるように構成された昇降装置を備えている。この昇降装置は、該昇降装置を通過するコンベア経路に沿った物品の移動を可能にする待機位置と、該物品をコンベアの上方に保持する作動位置との間で、移動可能である。

[0007] この統合システムは、また、物品をバッファゾーン内で支持するための貯蔵支持アツセンプリと、昇降装置の作動位置と貯蔵支持アッセンプリとの間で物品を移動させるための変位機構と、物品をワークステーション (処理装置）に近接したワークステーシヨンゾーン内で支持するためのワークステーション支持アッセンブリ（ロードポート）と、コンベア経路に沿った水平方向及び垂直方向に移動するように構成された移送ァームと、該移送アームに取り付けられ、かつ、物品を把持するように構成されたグリッパと、移送アームの移動を制御するためのコントローラとを備えている。そして、この移送アームは、平面視してコンベアとワークステーションとにより挟まれた領域内を水平方向及び垂直方向に移動して、物品を貯蔵支持アッセンプリとワークステーション支持アッセンプリとの間で移送するようになって!/、る。

[0008] したがって、この統合システムは、コンベア上の物品をワークステーション支持アツセンプリまで移送し、また、その逆に移送するのに、昇降装置、変位機構、移送ァームの各作動を要し、しかも、その間に物品をバッファゾーン内で支持するための貯蔵支持アッセンブリを必要とする。このため、コンベアと複数のワークステーションとの間で物品を移送するのに、これら装置'機構の組合せ一式で済む反面、装置'機構の種類が増加し、システムの作動が複雑ィ匕する。また、移送アームの移動空間とコンペァの走行空間とが平面視して隣り合っているので、特にコンベアの下方に比較的大きな無駄な空間を生じ易いなど、ベイエリア内の空間のコンパクトィ匕の点で、なお、改善の余地が残されたものとなっている。さらに、この統合システムでは、物品は、コンベアの上に直接載置されて搬送されるので、搬送の安定が損なわれる虞がな、とは言えない。

特許文献 1：特表平 14— 532362号公報

発明の開示

発明が解決しょうとする課題

[0009] 本願の発明は、従来の容器搬送装置が有する前記のような問題点を解決して、ベイエリア内の空間のさらなるコンパクトィ匕を達成するとともに、容器搬送のより一層の安定と安全とを図ることができる容器搬送装置を提供することを課題とする。

課題を解決するための手段

[0010] 本願の発明によれば、このような課題は、次のような容器搬送装置により解決されるすなわち、その容器搬送装置は、半導体ウェハや液晶表示パネル等、表面を汚染のない状態に保持して搬送することが求められる物品を密閉状態で収容する容器を、ベイエリア内の複数の処理装置間で搬送するために使用される容器搬送装置であつて、前記べイエリア内の天井空間に、複数の前記処理装置の整列方向に沿って配設されて、前記容器をパレットに載置した状態で移動させるためのコンベアと、前記コンベアの下方に配置された複数の前記処理装置の各ロードポート毎に設けられ、前記ロードポートと前記コンベアとの間で、前記容器を昇降させるための昇降装置と、前記パレットを前記コンベアに対して挿脱するパレット挿脱手段とを備え、前記パレット揷脱手段は、前記昇降装置が前記容器を前記コンベアよりわずかに高い位置にまで上昇させて、その位置に前記容器を保持した状態で、前記容器を載置する前記パレットを、前記コンベア上に挿入もしくは前記コンベア上力離脱させるようにされて、ることを特徴として、る。

[0011] この容器搬送装置によれば、その昇降装置は、該昇降装置が容器をコンベアよりわずかに高い位置にまで上昇させて、その位置に該容器を保持した状態で、ノレット挿脱手段がパレットをコンベア上に挿入したり、コンベア上力離脱させたりすることにより、該容器をコンベアラインに投入したり、コンベアラインカゝら離脱させて、これをロードポートにまで降下させたりすることができる。

[0012] この結果、コンベア上の容器を、昇降装置、パレット挿脱手段の 2つの種類の装置' 手段の協動により、所定の処理装置のロードポートに移送することができ、また、所定の処理装置のロードポートから再びコンベアを経由して他の所定の処理装置のロードポートに移送することができることとなり、容器搬送装置の全体としての動作が比較的単純化され、その制御が単純化される。

[0013] また、昇降装置及びパレット挿脱手段の作動により、容器がコンベアライン力離脱させられて、ロードポートにまで降下させられ、再びコンベアラインに戻されるまでの間、コンベア上流側の容器のコンベアラインに沿った移動に支障を及ぼすことがなヽさらに、容器は、パレットに載置された状態でコンベアにより搬送されるので、容器の搬送が安定化する。

[0014] 好ましい実施形態では、隣り合うロードポート間を仕切る垂直壁が設けられ、昇降装置の駆動機構は、該垂直壁に取り付けられている。これにより、垂直壁が安全カバ一として働くので、コンベアとロードポートとの間を移送中の容器やロードポート上に載置された容器にとって、容易に落下するなどの事故が防がれ、安全であり、また、作業者にとっても、作業の安全が確保される。また、垂直壁は、昇降装置の駆動機構の取付け部を兼ねるので、昇降装置をコンパクトにまとめることができる。

発明の効果

[0015] 前記のとおり、本願の発明の容器搬送装置によれば、コンベア上の容器を、昇降装置、パレット挿脱手段の 2つの種類の装置'手段の協動により、所定の処理装置の口ードポートに移送することができ、また、所定の処理装置のロードポートから再びコンベアを経由して他の所定の処理装置のロードポートに移送することができ、容器搬送装置の全体としての動作が比較的単純ィ匕されて、その制御も単純ィ匕される。

[0016] また、昇降装置及びパレット挿脱手段の作動により、容器がコンベアライン力離脱させられて、ロードポートにまで降下させられ、再びコンベアラインに投入されるまでの間、コンベア上流側の容器のコンベアラインに沿った移動に支障を及ぼすことがない。

さらに、容器は、パレットに載置された状態でコンベアにより搬送されるので、容器の搬送が安定化する。 [0017] また、隣り合うロードポート間を仕切る垂直壁が設けられ、昇降装置の駆動機構が、該垂直壁に取り付けられることにより、垂直壁が安全カバーとして働くので、コンベアとロードポートとの間を移送中の容器やロードポート上に載置された容器にとって、容易に落下するなどの事故が防がれ、安全であり、また、作業者にとっても、作業の安全が確保されるとともに、垂直壁は、昇降装置の駆動機構の取付け部を兼ねるので、昇降装置をコンパクトに構成することができる。

図面の簡単な説明

[0018] [図 1]図 1は、本実施例の容器搬送装置が適用された半導体製造装置の一べィエリァ内の一部の斜視図である。

[図 2]図 1の部分拡大図である。

[図 3]同べイエリア内の一部の正面図である。

[図 4]図 3の部分拡大図である。

[図 5]図 4の右側面図である。

[図 6]隣り合うロードポート間を仕切る垂直壁の正面図であって、内部に収容された昇降手段を示す図である。

[図 7]図 6の左側面図である。

符号の説明

[0019] 1 n…処理装置、 2— n"'FOUPオーブナ、 3"'FOUP、 4…ロードポート、 5…コンベア、 5a、 5b…軌条、 6· ··ノルッ卜、 6a、 6b…切欠き部、 7· ··昇降装置、 7a、 7b…駆動側、被駆動側昇降装置部分、 8…垂直壁、 9· ··ショルダープレート、 10…アーム、 1 la、 l lb' "LMガイド、 12· ··ベルト伝導機構、 13a、 13b…駆動側、従動側プーリ、 1 4…タイミングベルト、 15· ··駆動用減速機付きモータ、 16· ··カウンターシャフト、 17· ·· テンショナ、 20…パレット挿脱手段、 21· ··スライダー、 S…凹部空間

発明を実施するための最良の形態

[0020] 半導体ウェハや液晶表示パネル等、表面を汚染のない状態に保持して搬送することが求められる物品を密閉状態で収容する容器を、ベイエリア内の複数の処理装置間で搬送するために使用される容器搬送装置が、ベイエリア内の天井空間に複数の処理装置の整列方向に沿って配設されて、容器をパレットに載置した状態で移動させるためのコンベアと、該コンベアの下方に配置された複数の処理装置の各ロードポート毎に設けられ、該ロードポートとコンベアとの間で容器を昇降させるための昇降装置と、パレットをコンベアに対して挿脱するパレット挿脱手段とを備えている。ノ《レット挿脱手段は、昇降装置が容器をコンベアよりわずかに高、位置にまで上昇させて、その位置に容器を保持した状態で、パレットをコンベア上に挿入もしくはコンベア上力も離脱させるようにする。また、隣り合うロードポート間を仕切る垂直壁を設け、該垂直壁に昇降装置の駆動機構を取り付けるようにする。

実施例

[0021] 次に、本願の発明の実施例について説明する。

本実施例の容器搬送装置が適用される半導体製造装置のベイエリアは、クリーンルームとして構成されており、半導体ウェハに種々の処理を施して集積回路に仕上げて行くための複数の処理装置を含んでいる。これら複数の処理装置は、通常、一定の方向に整列させられて配置され、あるいは又、一定の方向に整列させられて配置された複数の処理装置が、さらに並列されて配置されるといった具合に、処理工程に沿ったワーク搬送のフットプリントが最小になるように、その配置が工夫されている。半導体製造装置は、通常、このようなべイエリアが複数連設されることにより構成されている。

[0022] 一方、ワークをなす半導体ウェハは、通常、その複数枚が密閉されたクリーン度の高い容器である FOUPに収納されて搬送される。 FOUP内では、ウェハは、水平にされて、間隔を開けて上下方向に積み重ねられている。そこで、前記のようにして整列させられて配置された複数の処理装置の各々において、ウェハに所定の処理を施すに当たっては、これら複数の処理装置の各々と FOUPとの間で、ウェハを外部の汚染された雰囲気に曝すことなく受渡しできるようにすることが必要であり、このために、 FOUPオーブナと呼ばれるインターフェイスが使用されている。

[0023] この FOUPオーブナは、通常、各処理装置の同じ側の壁部に取り付けられ、その複数が、全体として、複数の処理装置が整列させられた方向と同じ方向に整列させられて配置されている。このような FOUPオーブナは、 FOUPを所定の位置に位置決めして支持するロードポートと、 FOUP内部と処理装置内部とを外部雰囲気の侵入を許すことなく連通させるためのオーブナとを備えている。

[0024] ロードポートは、オーブナがそのように作動するに際しては、その支持台上に FOU Pを載置させた状態で、その支持台を処理装置の壁部に接近させて、オーブナが F OUPのドアを開閉することができるようにする。オーブナは、 FOUPのドアを FOUP 本体 (シェル)から分離し、分離された FOUPのドアを保持して、ウェハの受渡しに支障のない処理装置内部の所定の位置にまで後退する。また、 FOUPのドアを元の位置に戻して FOUP本体 (シェル)を密封するに際しては、その逆に作動する。

[0025] 図 1には、半導体製造装置を構成する一べイエリア内の一部が示されており、その床面には、複数の処理装置 1 1、 1 2、 · · ·、 1 n、 · · ·が一定の方向に整列させられて設置されている。そして、これらの処理装置の前方の壁部には、 FOUPオーブナ 2— 1、 2—2、 · · ·、 2— n、 · · ·が取り付けられている。これらの FOUPオーブナは、 F OUP3を所定の位置に位置決めして支持するロードポート 4と、詳細には図示されないが、 FOUP3内部と各処理装置 1 - n内部とを外部雰囲気の侵入を許すことなく連通させるためのオーブナとを備えて、る。

[0026] また、そのべイエリア内の天井空間には、整列させられた複数のロードポート 4の直上の位置に、コンベア 5が配設されている。このコンベア 5は、左右一対の軌条 5a、 5 bと、図示されない駆動機構とからなり、左右一対の軌条 5a、 5bには、その長さ方向に沿って、複数のローラ（図示されず）がそれぞれ取り付けられている。 FOUP3は、左右一対の軌条 5a、 5bに跨がり、これらのローラの上に乗って走行するパレット 6の上に載置されて、この状態でコンベア 5により移動させられる。このパレット 6の、コンベア 5の進行方向に見て前部、後部の左右方向中央部分には、後述する昇降装置 7 の把持爪 10が上下方向に通過し得るコの字状の切欠き部 6a、 6bがそれぞれ形成されている（図 2参照)。

[0027] 各ロードポート 4には、該ロードポート 4とコンベア 5との間で FOUP3を昇降させるための昇降装置 7が設けられている。この昇降装置 7は、駆動側昇降装置部分 7aと被駆動側昇降装置部分 7bとの 2つの部分力もなり、これらが協働して、 FOUP3を両側から保持し、これを昇降させるように作動する。これら 2つの昇降装置部分 7a、 7bの各々は、隣り合うロードポート 4、 4間を仕切る垂直壁 8に取り付けられており、その駆動機構は、該垂直壁 8の縦長の凹部空間 S内に収納されている。

[0028] 次に、昇降装置 7の詳細構造について説明する。

昇降装置 7の駆動側昇降装置部分 7aには、図 7に図示されるように、駆動用減速機付きモータ 15が設けられ、このモータ 15の回転により、同側の昇降装置部分 7aが作動するとともに、このモータ 15の回転の出力がカウンターシャフト 16を介して被駆動側昇降装置部分 7bに伝達されることにより、同側の昇降装置部分 7bが、駆動側昇降装置部分 7aと全く同じように作動するようになっている。したがって、駆動側昇降装置部分 7aと被駆動側昇降装置部分 7bとは、駆動側昇降装置部分 7aが駆動用減速機付きモータ 15を備える点を除、て、全く同一の構成となって!/、る。

[0029] そこで、この昇降装置 7の詳細構造を、駆動側昇降装置部分 7aを例に取って説明する。昇降装置 7は、図 6及び図 7により良く図示されるように、比較的広い面積を持つたショルダープレート 9と、このショルダープレート 9の上端部に固着された L字状折曲板からなるアーム 10と、ショルダープレート 9の昇降をガイドする図において左右一対の LMガイド l la、 l ibと、ショルダープレート 9を昇降させるベルト伝導機構 12とから成っている。ベルト伝導機構 12は、上下一対の駆動側プーリ 13a、従動側プーリ 1 3bと、これらの間に架け渡されたタイミングベルト 14と、駆動側プーリ 13aに連結されて、その回転の出力を直接に駆動側プーリ 13aに伝達するように取り付けられた駆動用減速機付きモータ 15と、このモータ 15の回転の出力を被駆動側昇降装置部分 7b に伝達するカウンターシャフト 16と、タイミングベルト 14の張力を調節するテンショナ 17と力ら成って!/、る。

[0030] ショルダープレート 9は、図 6に図示されるように、略矩形状のプレートの一角が矩形状に切り落とされた形状をなしており、そのようにして切り落とされた側と反対側の一側部は、タイミングベルト 14に固着されていて、タイミングベルト 14が走行するとき、これと一体になつて昇降する。また、アーム 10の先端部の上面には、詳細には図示されないが、突起が形成されており、これが FOUP3の底面に形成された凹部と嵌まり合うことにより、 FOUP3を位置決めしながら安定に支持するようになっている。

[0031] したがって、今、駆動用減速機付きモータ 15が正逆回転すると、駆動側昇降装置部分 7a側の駆動側プーリ 13aが正逆回転し、同時に、カウンターシャフト 16を介して被駆動側昇降装置部分 7bの駆動側プーリ 13aが正逆回転する。これにより、駆動側昇降装置部分 7a側及び被駆動側昇降装置部分 7b側の両側で、一対のベルト伝導機構 12が正逆回転を始める。そうすると、同じく一対のショルダープレート 9が、一対のアーム 10と一体になつて、それぞれ同じように昇降する。

[0032] ここで、駆動用減速機付きモータ 15が正回転する場合を例に取ると、一対のショルダープレート 9は、一対のアーム 10と一体になつて上昇する力この一対のアーム 10 は、コンベア 5上で待機しているパレット 6の前部及び後部の切欠き部 6a、 6bをそれぞれ通過し、やがて、このパレット 6上に載置されている FOUP3の底面に衝突して、 FOUP3を底面の前後両端部で掬い上げる。そして、 FOUP3がアーム 10によりコンベア 5よりわずかに高い位置 h (図 5参照）にまで上昇させられる過程において、ショルダープレート 9のコンベア 5の進行方向に見て左右両肩部がパレット 6の切欠き部 6a 、 6bの各々の両開口端縁の底面に衝突して、パレット 6を前後部の 2個所で掬い上げる（図 5の鎖線で描かれたパレット 6の位置変化の過程参照)。

[0033] そして、 FOUP3が昇降装置 7 (アーム 10)により、図 5に図示されるコンベア 5よりわずかに高い位置 hにまで上昇させられると、 FOUP3は、その位置で保持され、同様に、パレット 6も、その位置に対応する所定の位置で保持される。図 1一図 4は、この状態を図示したものである。

[0034] このとき、パレット 6とコンベア 5との間には、図 4及び図 5に図示されるように、水平方向から見てわずかの隙間 tが形成されているので、この隙間 tに後述するパレット挿脱手段 20のスライダー 21が進入して、次いで、昇降装置 7がわずかに下降することにより、スライダー 21上にパレット 6を降下させることができる。次いで、昇降装置 7がさらにわずかに下降することにより、スライダー 21にパレット 6を完全に渡すことができる。この状態において、スライダー 21が後退すれば、パレット 6をコンベア 5上力離脱させることができる。その後、逆に、スライダー 21がその上にパレット 6を載置したまま前進すれば、パレット 6をコンベア 5上に再び挿入することができる。このように、スライダー 21がパレット 6をコンベア 5上から離脱させ、また、コンベア 5上に挿入することができるようにする昇降装置 7の位置を、以下、「パレット離脱 '挿入位置」と呼ぶこととする。 [0035] 次いで、パレット 6をコンベア 5に乗せるには、昇降装置 7がー且わずかに上昇して、その一対のショルダープレート 9の左右両肩部がパレット 6を前後部の 2個所で押し上げるようにし、パレット 6をスライダー 21による支持力も解放すれば、スライダー 21 が後退することができ、その後、昇降装置 7が下降して、その一対のショルダープレート 9の左右両肩部がコンベア 5の上端の位置より深く下降するようにすれば、パレツト 6をコンベア 5にまで降下させて、これに乗せることができる。

[0036] 以後、昇降装置 7がさらに深く下降を続ければ、 FOUP3をパレット 6にまで降下させて、これに載置することができる。このようにして、 FOUP3は、コンベアラインに投入される。

[0037] FOUP3をコンベアラインから離脱させるには、スライダー 21がその上にパレット 6を載置したまま後退して、パレット 6をコンベア 5上力も離脱させた状態において、一対のアーム 10が FOUP3を支持したまま、昇降装置 7がコンベア 5より下方に下降し続ければよい。そして、一対のアーム 10がロードポート 4の FOUP支持面を通過して、それよりもわずかに下方の位置にまで来れば、 FOUP3は、ロードポート 4の支持面に渡される。このとき、アーム 10の内方先端部がロードポート 4の支持面に衝突しな V、ように、この支持面には逃げが形成されて、る。

[0038] ロードポート 4の支持面に渡された FOUP3は、次いで、処理装置 1 nの壁部方向に前進させられ、図示されないオーブナの作動により、外部雰囲気が流入することのないようにしてそのドアが開かれ、処理装置 1 nとの間でウェハの受渡しが可能な状態にされる。

[0039] 処理装置 1 nにおいて、ウェハに所定の処理が施されると、このウェハは、処理装置内ロボットの作動により、 FOUP3に戻され、このようにして所定枚数のウェハに所定の処理を施す作業が完了すると、再びオーブナの作動により、 FOUP3のドアが閉じられる。

[0040] 次いで、昇降装置 7が上昇して、その一対のアーム 10が、ロードポート 4の支持面に載置された FOUP3を掬い上げ、これを支持しながら上昇する。昇降装置 7がパレット離脱 '挿入位置まで上昇し、パレット挿脱手段 20がパレット 6をコンベア 5上に挿入すれば、先に述べた要領にしたがって、 FOUP3を再びコンベアラインに戻すことができる。

[0041] パレット揷脱手段 20は、各処理装置 1 nの屋根に設置されている。パレット 6の上面には、 FOUP3の底面の所定の個所の凹部と係合して、 FOUP3をパレット 6の上面の所定の位置に位置決めして安定に保持するための突子 6cが複数個取り付けられている。

[0042] 本実施例は、前記のように構成されているので、次のような作用、効果を奏することができる。

昇降装置 7は、該昇降装置 7が FOUP3をコンベア 5よりわずかに高、位置 (パレツト離脱 '挿入位置）にまで上昇させて、その位置に FOUP3を保持した状態で、パレツト揷脱手段 20がパレット 6をコンベア 5上に挿入したり、コンベア 5上力も離脱させたりすることにより、 FOUP3をコンベアラインに投入したり、コンベアライン力も離脱させて、これをロードポート 4にまで降下させたりすることができるので、コンベア 5上の FO UP3を、昇降装置 7、パレット挿脱手段 20の 2つの種類の装置'手段の協動により、所定の処理装置 1 nのロードポート 4に移送することができ、また、所定の処理装置 1 nのロードポート 4から再びコンベア 5を経由して他の所定の処理装置のロードポート 4に移送することができることとなり、容器搬送装置の全体としての動作が比較的単純化されて、その制御が単純ィ匕される。

[0043] また、昇降装置 7及びパレット挿脱手段 20の作動により、 FOUP3がコンベアライン力離脱させられて、ロードポート 4にまで降下させられ、再びコンベアラインに戻されるまでの間、コンベア上流側の FOUP3のコンベアラインに沿った移動に支障を及ぼすことがない。さらに、 FOUP3は、パレット 6に載置された状態でコンベア 5により搬送されるので、 FOUP3の搬送が安定ィ匕する。

[0044] また、隣り合うロードポート 4、 4間を仕切る垂直壁 8が設けられ、昇降装置 7の駆動機構は、該垂直壁 8に取り付けられているので、垂直壁 8が安全カバーとして働くこととなり、コンベア 5とロードポート 4との間を移送中の FOUP3やロードポート 4上に載置された FOUP3にとつて、容易に落下するなどの事故が防がれ、安全であり、また、作業者にとっても、作業の安全が確保される。カロえて、垂直壁 8は、昇降装置 7の駆動機構の取付け部を兼ねることとなり、昇降装置 7をコンパクトにまとめることができるなお、本願の発明は、以上の実施例に限定されず、その要旨を逸脱しない範囲において、種々の変形が可能である。

例えば、容器は FOUPとされたが、これに限られず、 SMIF(Standard Mechanical Interface)とされてもよい。この場合には、 FOUPオーブナも、 SMIFオーブナに代えられる。

Claims

請求の範囲

[1] 半導体ウェハや液晶表示パネル等、表面を汚染のな、状態に保持して搬送することが求められる物品を密閉状態で収容する容器を、ベイエリア内の複数の処理装置間で搬送するために使用される容器搬送装置であって、

前記べイエリア内の天井空間に、複数の前記処理装置の整列方向に沿って配設されて、前記容器をパレットに載置した状態で移動させるためのコンベアと、

前記コンベアの下方に配置された複数の前記処理装置の各ロードポート毎に設けられ、前記ロードポートと前記コンベアとの間で、前記容器を昇降させるための昇降装置と、

前記パレットを前記コンベアに対して挿脱するパレット挿脱手段とを備え、前記パレット揷脱手段は、前記昇降装置が前記容器を前記コンベアよりわずかに高い位置にまで上昇させて、その位置に前記容器を保持した状態で、前記容器を載置する前記パレットを、前記コンベア上に挿入もしくは前記コンベア上力も離脱させるようにされている

ことを特徴とする容器搬送装置。

[2] 隣り合う前記ロードポート間を仕切る垂直壁が設けられ、

前記昇降装置の駆動機構は、前記垂直壁に取り付けられている

ことを特徴とする請求項 1に記載の容器搬送装置。